JPS5891019A - 窒化アルミニウム質粉末の製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム質粉末の製造方法Info
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- JPS5891019A JPS5891019A JP18884681A JP18884681A JPS5891019A JP S5891019 A JPS5891019 A JP S5891019A JP 18884681 A JP18884681 A JP 18884681A JP 18884681 A JP18884681 A JP 18884681A JP S5891019 A JPS5891019 A JP S5891019A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
- C01B21/072—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with aluminium
- C01B21/0726—Preparation by carboreductive nitridation
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術０野
本発明は窒化アルミニウム質粉末の製造方法に関し、符
にアルミナ朽木と炭素粉末とのα金粉末に家出アルミニ
ウム粉末、室１ヒケイ素粉末、炭１ヒケイ素粉禾の群よ
りＪ！！ばれた物質を添加した原料粉末を焼成して箪比
アルミニウム貿扮末全１皓る方法の改良に係わるもので
ある。
にアルミナ朽木と炭素粉末とのα金粉末に家出アルミニ
ウム粉末、室１ヒケイ素粉末、炭１ヒケイ素粉禾の群よ
りＪ！！ばれた物質を添加した原料粉末を焼成して箪比
アルミニウム貿扮末全１皓る方法の改良に係わるもので
ある。
発明の４’＆ ９１ｆｆ的背般とその間照点を１ヒアル
ミニラム質焼結体は、面温での叱学的安ボ性と熱伝導性
が良好であるため／？！ｊ柿高温Ｈ料舛に用いられてい
るが、その時性は・焼結材料である室１ヒアルミニウム
質初禾の平均粒径、粒径および粒形のばらつきの程度に
より非線に大きい影響を受ける。
ミニラム質焼結体は、面温での叱学的安ボ性と熱伝導性
が良好であるため／？！ｊ柿高温Ｈ料舛に用いられてい
るが、その時性は・焼結材料である室１ヒアルミニウム
質初禾の平均粒径、粒径および粒形のばらつきの程度に
より非線に大きい影響を受ける。
従来、窒化アルミニウム質粉末は、アルミニウムの直接
窒化や、アルミナの炭素還元等により製造されているが
、その粒径全率さくすること、ならひに粒径および粒形
のばらつきを少なくすることが困ψにであった。
窒化や、アルミナの炭素還元等により製造されているが
、その粒径全率さくすること、ならひに粒径および粒形
のばらつきを少なくすることが困ψにであった。
この点を改善するため、本発明者等は、先にアルミナ粉
末または両温においてアルミナ粉末を生成する出合物と
、炭素粉末との混合粉末に窒出アルミニウム粉末、窒出
ケイ累粉末、炭化ケイ素粉木却よび高温でそれらを生成
する物質よりなる解から選ばれる物質全１棟以上冷加し
て型銅をばむ非Ｉ′ｌ！Ｊ＋ｅ件疼囲気中で焼成する窒
化アルミニウム質粉末の製造方法を開発し゛、提案した
。
末または両温においてアルミナ粉末を生成する出合物と
、炭素粉末との混合粉末に窒出アルミニウム粉末、窒出
ケイ累粉末、炭化ケイ素粉木却よび高温でそれらを生成
する物質よりなる解から選ばれる物質全１棟以上冷加し
て型銅をばむ非Ｉ′ｌ！Ｊ＋ｅ件疼囲気中で焼成する窒
化アルミニウム質粉末の製造方法を開発し゛、提案した
。
しかしながら、鍔られた窒化アルミニウム質粉末の粒形
が多肉形状になり易く、捷た粒径の１散Ｍ１１１ヒ、ば
らつきの広がりなど均−出もｆ分でなく、史に改善すべ
き曲題点が残されていた。
が多肉形状になり易く、捷た粒径の１散Ｍ１１１ヒ、ば
らつきの広がりなど均−出もｆ分でなく、史に改善すべ
き曲題点が残されていた。
発明の目的
本発明は、かかる点に鐵み、ｑｊ１元を電ねた結果、絵
肌成分である式化アルミニウム粉末、窒出ケイ素粉末、
炭１ヒケイ素粉末の性状が、優られる窒化アルミニウム
質粉末の時性に犬さく影響することを児い出し、炉加成
分を特定するこトによす、ｆ％られる窒化アルミニウム
質粉末の形状を球形化すると共に、粒径を微細比し、且
つＱゴらつきを少なく抑えて均一１ヒを図った窒出アル
ミニウム質粉末の製造方法を提供するものである。
肌成分である式化アルミニウム粉末、窒出ケイ素粉末、
炭１ヒケイ素粉末の性状が、優られる窒化アルミニウム
質粉末の時性に犬さく影響することを児い出し、炉加成
分を特定するこトによす、ｆ％られる窒化アルミニウム
質粉末の形状を球形化すると共に、粒径を微細比し、且
つＱゴらつきを少なく抑えて均一１ヒを図った窒出アル
ミニウム質粉末の製造方法を提供するものである。
発明の似、要
本軸ｌカにおいて用いる原料粉末としでは、アルミナ粉
末または焼成過程でアルミナ粉末を生成する出合物と、
炭素粉末捷たは高温で炭素を生成する物質との、混合粉
末に、結晶質の型化アルミニウム粉末、窒化ケイ素粉末
、炭化ケイ素紛禾および高温でそれらを生成する物質よ
シなる畔から選は些る物質を１棟以上添加した混合粉末
を用いる。
末または焼成過程でアルミナ粉末を生成する出合物と、
炭素粉末捷たは高温で炭素を生成する物質との、混合粉
末に、結晶質の型化アルミニウム粉末、窒化ケイ素粉末
、炭化ケイ素紛禾および高温でそれらを生成する物質よ
シなる畔から選は些る物質を１棟以上添加した混合粉末
を用いる。
焼成過程においてアルミナ粉末を生成する出合物の具体
例としては、例えば硝酸アルミニウム（Ａ４’ （Ｎｏ
ｔ）ｓ ） 、ＩＰｋ Ｉ’ｌｌアルミニウム（Ａｌｔ
（８０４）ｍ ）等が挙げられる。
例としては、例えば硝酸アルミニウム（Ａ４’ （Ｎｏ
ｔ）ｓ ） 、ＩＰｋ Ｉ’ｌｌアルミニウム（Ａｌｔ
（８０４）ｍ ）等が挙げられる。
炭素粉末としてはカーポンプレツク、グラファイト等が
挙げられ、寸だ高温で炭素粉末を生成する出合物として
は、例えば各種樹脂系物質が用いられる。
挙げられ、寸だ高温で炭素粉末を生成する出合物として
は、例えば各種樹脂系物質が用いられる。
捷だ４ｈ温の焼成過程で、を吉晶′ｍの窒化アルミニウ
ム粉末、・ソ比ケイ素粉末、炭化ケイ素粉末を生成する
物質としては、例えはポリカルボシラン、シリコンニト
ロゲンイミド、ケイ素等が挙けられる。
ム粉末、・ソ比ケイ素粉末、炭化ケイ素粉末を生成する
物質としては、例えはポリカルボシラン、シリコンニト
ロゲンイミド、ケイ素等が挙けられる。
本発明に用いるアルミナ粉末および炭素粉末の粒径は０
．５μｍ以下で、添〃口物の粒径は１．０μｍ以下、好
ましくは０．５μｍ以下で、純度は９９％以上（金属不
純物片針として）であることが好−チしいが、これらの
ものは工業的に容易！製造することができる。
．５μｍ以下で、添〃口物の粒径は１．０μｍ以下、好
ましくは０．５μｍ以下で、純度は９９％以上（金属不
純物片針として）であることが好−チしいが、これらの
ものは工業的に容易！製造することができる。
本発明において上記原料粉末の組成としては、アルミナ
粉末１−ｉ−ｉ部に対（７て、炭素粉末が０．３５〜４
．０重量部、好ましくは０．４〜２．０重量部であり、
また結晶質の添加物はアルミナ粉末１重首部に対して０
０１〜１０重墳・部、好ましくは００１〜０，２重量゛
部である。なお窒出アルミニウム単一の組成粉末を合成
する場合には、結晶質の窒１ヒアルミニウム粉末の添加
量は少ない方が良いので０．０１〜０．０５重量部の近
辺を選定する方が有利であり、一方複合系の粉末を合成
する場合には、この範囲より多値に添加しても艮い。
粉末１−ｉ−ｉ部に対（７て、炭素粉末が０．３５〜４
．０重量部、好ましくは０．４〜２．０重量部であり、
また結晶質の添加物はアルミナ粉末１重首部に対して０
０１〜１０重墳・部、好ましくは００１〜０，２重量゛
部である。なお窒出アルミニウム単一の組成粉末を合成
する場合には、結晶質の窒１ヒアルミニウム粉末の添加
量は少ない方が良いので０．０１〜０．０５重量部の近
辺を選定する方が有利であり、一方複合系の粉末を合成
する場合には、この範囲より多値に添加しても艮い。
またこれら原料粉末の混合比率を上記範囲に規定した理
由は、次の通りである。炭素粉末の量が０．３５重量部
未満ではアルミナ粉末が未反応の１ま残留してしまい、
４．０重層部を越える値では生成は可能であるものの収
率低下が避けられない。
由は、次の通りである。炭素粉末の量が０．３５重量部
未満ではアルミナ粉末が未反応の１ま残留してしまい、
４．０重層部を越える値では生成は可能であるものの収
率低下が避けられない。
また結晶質の窒化アルミ・ニウム粉末、窒化ケイ素粉末
、炭化ケイ素粉末など添カロ物の量が０．０１重量部未
満では添加の効果は非常に少なく、また１、０重量部を
越える値では添加物の性質が顕著となる。
、炭化ケイ素粉末など添カロ物の量が０．０１重量部未
満では添加の効果は非常に少なく、また１、０重量部を
越える値では添加物の性質が顕著となる。
なお焼成過程でアルミナ粉末を生成する化合物、炭素粉
末を生成する化合物、および結晶質の余加物を生成する
物質の址は、生成物が上記割合となるように定める。
末を生成する化合物、および結晶質の余加物を生成する
物質の址は、生成物が上記割合となるように定める。
焼成は、窒素をよむ非酸１ヒ性イ囲気中、列えは留累、
アンモニアガス単独、窒素−アルゴン、またけ水素−望
素寺の′〆囲気中で行ない、工業比を勘系すると好まし
くは墜累甲で１５００〜１８５０”Ｃ，畢ましくは１６
００〜１７５０’Ｃで行なうと艮い。なお添加物として
屋比ケイ素系を加える場合には、これらが低融点である
ため溶＃誤して全体が不均一にならないよう１８００′
Ｃ捷での温度で焼成する必要がある。
アンモニアガス単独、窒素−アルゴン、またけ水素−望
素寺の′〆囲気中で行ない、工業比を勘系すると好まし
くは墜累甲で１５００〜１８５０”Ｃ，畢ましくは１６
００〜１７５０’Ｃで行なうと艮い。なお添加物として
屋比ケイ素系を加える場合には、これらが低融点である
ため溶＃誤して全体が不均一にならないよう１８００′
Ｃ捷での温度で焼成する必要がある。
焼成温度が１５００’Ｃ禾７両では、窒化アルミニウム
質粉末は生成し難く、葦だ１８５０℃を越える温度では
、粒の成長が畦着で、将にケイ素ＩＬ合物を光加物に用
いた場合その物置の分解も生ずるので好ましくない。
質粉末は生成し難く、葦だ１８５０℃を越える温度では
、粒の成長が畦着で、将にケイ素ＩＬ合物を光加物に用
いた場合その物置の分解も生ずるので好ましくない。
本ヲ１へ明方法における反応はアルミナの炭素還元によ
り生成した窒化アルミニウムが、最初に添カロ物として
冷加された結晶質の窒１ヒアルミニウム粉末、輩出ケイ
素粉末、または炭化ケイ素粉末を核として進行し、形状
が球形１ヒし、粒形も３μｍｌυ下、好ましくは１μｍ
以下で、粒径のばらつきの少ない均一化しだ屋１ヒアル
ミニウム質粉末を優ることができる。添〃１１物が結晶
質の窒化アルミニウム粉末の場合にＣ１、反応によす菫
比アルミニウム粉末単体が得られ、添加物が結晶質の了
比ケイ素粉末、ケイ素粉末、または炭１ヒケイ累粉禾の
場合にはサイアロン（５ＩＡＬＯＮ）と称きれるものや
、心安にＬｒ：、じてアルミニウム、ケイ素、炭素、酸
累、窒素寺をぎむ粉末が舟られる。
り生成した窒化アルミニウムが、最初に添カロ物として
冷加された結晶質の窒１ヒアルミニウム粉末、輩出ケイ
素粉末、または炭化ケイ素粉末を核として進行し、形状
が球形１ヒし、粒形も３μｍｌυ下、好ましくは１μｍ
以下で、粒径のばらつきの少ない均一化しだ屋１ヒアル
ミニウム質粉末を優ることができる。添〃１１物が結晶
質の窒化アルミニウム粉末の場合にＣ１、反応によす菫
比アルミニウム粉末単体が得られ、添加物が結晶質の了
比ケイ素粉末、ケイ素粉末、または炭１ヒケイ累粉禾の
場合にはサイアロン（５ＩＡＬＯＮ）と称きれるものや
、心安にＬｒ：、じてアルミニウム、ケイ素、炭素、酸
累、窒素寺をぎむ粉末が舟られる。
この場合、添加物として無定形の室「ヒアルミニラム粉
末、窒化ケイ素粉末、捷たは炭山ケイ素粉末を１史用す
ると、これ自体が高温で不安定であるため、ガスの放出
が起ったシ、分解が生じたりして、その結果として詳細
なメカニズムは定かではないが、優られる窒化アルミニ
ウム質粉末の粒の粗大比、変形化および粒径のばらつき
を招くと共に、冷加物の有効利用を図ることができない
。
末、窒化ケイ素粉末、捷たは炭山ケイ素粉末を１史用す
ると、これ自体が高温で不安定であるため、ガスの放出
が起ったシ、分解が生じたりして、その結果として詳細
なメカニズムは定かではないが、優られる窒化アルミニ
ウム質粉末の粒の粗大比、変形化および粒径のばらつき
を招くと共に、冷加物の有効利用を図ることができない
。
これに対して本発明では、添加物として結晶質のものを
離別するので、反応温就においてもガス放出や分解がな
く安定した核の状態を維持できるため、成長した室１ヒ
アルミニウム賞粉末が粗大化せず球形１ヒすると共に、
粒径も微Ｋ（ｌ比し、ばらつきも少ないｊ司−ｆヒした
粉末が侮られ、しかも添加した結晶質の添加物が有効利
用されるため、従来の無定形の冷別物に比べて少量の冷
加量でも有効な反応を行々うことができる。
離別するので、反応温就においてもガス放出や分解がな
く安定した核の状態を維持できるため、成長した室１ヒ
アルミニウム賞粉末が粗大化せず球形１ヒすると共に、
粒径も微Ｋ（ｌ比し、ばらつきも少ないｊ司−ｆヒした
粉末が侮られ、しかも添加した結晶質の添加物が有効利
用されるため、従来の無定形の冷別物に比べて少量の冷
加量でも有効な反応を行々うことができる。
また炭素松末金過剰に添加した場合には、未反応の炭素
粉末が残留するが、焼成後に酸比性雰囲気中、６００〜
８５０℃で炭素をｒ１Ｊ／、ｒヒして除去することがで
きる。
粉末が残留するが、焼成後に酸比性雰囲気中、６００〜
８５０℃で炭素をｒ１Ｊ／、ｒヒして除去することがで
きる。
発明の実／ｌｌ！ｉ列
実施例１
粒径０．０５μｍのアルミナ粉末１亜量部、粒イー１ｉ
０．０５μｍ以下のカーボンブラック０５軍量部、粒径
０．５μｍの結晶質の窒化アルミニウム粉末０．５重量
部の混合粉末１００ｙ−をカーボン容器に入れて望素気
流中（’３１７ｍ１ｒｈ ） 、１７００℃で５時間焼
成した。この生成物を更に６５０℃で５時間空気中で酸
化して残留炭素を除去した。゛ このようにして優られた生成物をＸＳ回折によりｇべた
ところ窒化アルミニウム粉末であることが確認された。
０．０５μｍ以下のカーボンブラック０５軍量部、粒径
０．５μｍの結晶質の窒化アルミニウム粉末０．５重量
部の混合粉末１００ｙ−をカーボン容器に入れて望素気
流中（’３１７ｍ１ｒｈ ） 、１７００℃で５時間焼
成した。この生成物を更に６５０℃で５時間空気中で酸
化して残留炭素を除去した。゛ このようにして優られた生成物をＸＳ回折によりｇべた
ところ窒化アルミニウム粉末であることが確認された。
筐た竜子顧倣′鏡写真により覗祭したところ、窒化アル
ミニウム粉末の粒形は、はぼ球形をなし、１だ平均粒径
は０．９μｍで、粒径のばらつきも、平均粒径±１０％
以内の粒子の割合が９２％と均一であった。
ミニウム粉末の粒形は、はぼ球形をなし、１だ平均粒径
は０．９μｍで、粒径のばらつきも、平均粒径±１０％
以内の粒子の割合が９２％と均一であった。
実施例２
粒径０．０５μｍのアルミナ粉末１事景部、粒４４０．
０５μｍのカーボンブラック０．８ 重うｉ部、および
粒径０．４μｍのα型室比ケイ素粉末０５１Ｆ量部の混
合粉末１００１を窒素気流中（３看／ｍｉｎ ）、１６
５０℃で５時間焼成した。この生酸物を更に６５０℃で
５時間空気中で酸比して残留炭素を除去した。
０５μｍのカーボンブラック０．８ 重うｉ部、および
粒径０．４μｍのα型室比ケイ素粉末０５１Ｆ量部の混
合粉末１００１を窒素気流中（３看／ｍｉｎ ）、１６
５０℃で５時間焼成した。この生酸物を更に６５０℃で
５時間空気中で酸比して残留炭素を除去した。
このようにして慢られた生成物をＸ ＃ｊ１回折により
調べたところきケイ素窒化アルミニウム粉末であった。
調べたところきケイ素窒化アルミニウム粉末であった。
また電子顕１ｇ、続写真により観察したところ、粉末粒
子の粒形は、はぼ球形をなし、また平均粒径は０８μｍ
で、粒径のばらつきも、平均粒径±１０％以内の割合が
９２％と均一であった。
子の粒形は、はぼ球形をなし、また平均粒径は０８μｍ
で、粒径のばらつきも、平均粒径±１０％以内の割合が
９２％と均一であった。
実Ｍｌし１１３〜８
平均粒径００５μｍのアルミナ粉末と、粒径０８０５μ
ｍ以下のカーボンブラックとの混合粉末に、粒イ蚤０５
μｍの帖晶實の家出アルミニウム粉末または在住０．２
μｍのβ型炭比ケイ素粉末を６加し−Ｃ１第ｌ衣に事す
未件で反応させた。
ｍ以下のカーボンブラックとの混合粉末に、粒イ蚤０５
μｍの帖晶實の家出アルミニウム粉末または在住０．２
μｍのβ型炭比ケイ素粉末を６加し−Ｃ１第ｌ衣に事す
未件で反応させた。
なおノ又応鼓・、生成物全空気中で７００℃、５時間焼
成して残留する炭素を除去した。
成して残留する炭素を除去した。
このようにして優られた窒１ヒアルミニウム質粉末の特
性は第１−茨に小すように、ぼれた特性をイーすること
がｉ忍められた。
性は第１−茨に小すように、ぼれた特性をイーすること
がｉ忍められた。
発明の効果
以上祝明した如く本発明に係わる窒化アルミニウム質粉
末の製造方法によれば、侮られる窒化フルミニラム質粉
末の粒形を球形化すると共に、粒径を微油１化し、ばら
つきを少なくして均−比７図り、尚部用焼結材料として
の特性を同上することができる。
末の製造方法によれば、侮られる窒化フルミニラム質粉
末の粒形を球形化すると共に、粒径を微油１化し、ばら
つきを少なくして均−比７図り、尚部用焼結材料として
の特性を同上することができる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）アルミナ粉末ぼたは焼成過程でアルミナ粉末を生
成する［ヒ金物と、炭素粉末または高温で炭素を生成す
る夕質との混合粉末に、結晶質の窒化アルミニウム粉末
、異化ケイ素粉末、炭化ケイ素粉末、および高温でそれ
らを生成する物質よりなる群から選ばれる物質を１運以
上添加して、窒素を宮む非酸比性雰囲気中で焼成するこ
とを特徴とする窒化アルミニウム貿粉末の製造方法。 （２）アルミナ粉末１重量部に対して、炭素粉末が０．
３５〜４，０重世部、１種以上の結晶質の窒化アルミニ
ウム、窒化ケイ素、または炭化ケイ素が合計でｏ、ｏｉ
〜１．０重量部であることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の窒１ヒアルミニウム質粉末の製造方法。 （３フアルミナ粉末および炭素粉末の粒径がＱ、 ５６
ｍｍ上下あり、添加物の粒径が１８０μｎｔ以下である
ことを特徴とする特許６Ｎ求の範囲第１項６己載の窒出
アルミニウム質粉末の製造方法。 （４）焼成ｍ度が１５００〜１８５０ ’Ｇであること
を′特徴とするＬ爵奸謂氷の範囲第１項記載の窒化アル
ミニウム實粉禾の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18884681A JPS5891019A (ja) | 1981-11-25 | 1981-11-25 | 窒化アルミニウム質粉末の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18884681A JPS5891019A (ja) | 1981-11-25 | 1981-11-25 | 窒化アルミニウム質粉末の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5891019A true JPS5891019A (ja) | 1983-05-30 |
Family
ID=16230860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18884681A Pending JPS5891019A (ja) | 1981-11-25 | 1981-11-25 | 窒化アルミニウム質粉末の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5891019A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60171270A (ja) * | 1984-02-13 | 1985-09-04 | 株式会社トクヤマ | 透光性を有する窒化アルミニウム焼結体製造用原料組成物 |
| US4869892A (en) * | 1987-09-11 | 1989-09-26 | Alcan International Limited | Methods of making fine particulate aluminum nitride |
| US4917877A (en) * | 1987-10-14 | 1990-04-17 | Nippon Light Metal Co., Ltd. | Process for producing aluminum nitride powder |
| US4992253A (en) * | 1989-12-29 | 1991-02-12 | National Science Council | Process for producing an ultrafine powder of aluminum nitride |
| WO2021161883A1 (ja) * | 2020-02-10 | 2021-08-19 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム粉末および製造方法 |
-
1981
- 1981-11-25 JP JP18884681A patent/JPS5891019A/ja active Pending
Cited By (7)
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|---|---|---|---|---|
| JPS60171270A (ja) * | 1984-02-13 | 1985-09-04 | 株式会社トクヤマ | 透光性を有する窒化アルミニウム焼結体製造用原料組成物 |
| JPH0223496B2 (ja) * | 1984-02-13 | 1990-05-24 | Tokuyama Soda Kk | |
| US4869892A (en) * | 1987-09-11 | 1989-09-26 | Alcan International Limited | Methods of making fine particulate aluminum nitride |
| US4917877A (en) * | 1987-10-14 | 1990-04-17 | Nippon Light Metal Co., Ltd. | Process for producing aluminum nitride powder |
| US4992253A (en) * | 1989-12-29 | 1991-02-12 | National Science Council | Process for producing an ultrafine powder of aluminum nitride |
| JPH03208805A (ja) * | 1989-12-29 | 1991-09-12 | Natl Sci Council | 超微粒子な窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
| WO2021161883A1 (ja) * | 2020-02-10 | 2021-08-19 | 株式会社トクヤマ | 窒化アルミニウム粉末および製造方法 |
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