JPS5874051A - 集積回路を作る方法 - Google Patents

集積回路を作る方法

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JPS5874051A
JPS5874051A JP57169474A JP16947482A JPS5874051A JP S5874051 A JPS5874051 A JP S5874051A JP 57169474 A JP57169474 A JP 57169474A JP 16947482 A JP16947482 A JP 16947482A JP S5874051 A JPS5874051 A JP S5874051A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、集積回路の製造方法の改良に関する。
集積回路には共通の珪素基板上に電気的に隔離された能
動部品が多数設けられる。か）る回路を製造する場合、
能動部品を形成する基板の活性領域を二酸化珪素の薄い
層でマスクし、二酸化珪素層の上に窒化珪素の厚い隔を
形成する。窒化珪素層は、二酸化珪素層の露出部分をエ
ツチングしまた珪素基板に凹所をエツチングするための
マスクとして働くだけでなく、その後凹所内の珪素を酸
−化して、能動部品を電気的に隔離する厚いフィールド
酸化物を形成するためのマスクとして働く。
基板の活性領域を覆う二酸化珪素の薄層を設けるのは、
珪素基板と窒化珪素、マスク−との藺の熱膨張の不整合
を緩和するため°である。
１ 酸化工程では、酸化物の薄層を介して酸素が横方向に拡
散することにより、活性領域の表面の外側部分に酸化物
が成長し、当業界で「鳥のくちばし」部と称される酸化
物の横方向突出部が形成される。「くちばし」部は表面
寸法の減少した活性領域の縁部とフィールド酸化物領域
の縁部との間の二酸化珪素の遷移領域を意味する。「く
ちばし」部ができると、活性領域の表面に曲面ができる
。
したがって「くちばし」部が生じると、その結果活性領
域の縁部が移行するだけでなく、能動部品の形成に使用
できる基板の表面が著しく減少する。
本発明の目的は、集積回路の製作時に「くちばし」部を
実質的になくす方法を提供することにある。
本発明の他の目的は、集積回路に於いて平面性（プレー
ナ性）が向上し密度が増大した活性領域を形成する比較
的簡単な方法を提供することにある。
本発明の方法をその１実施例に従って実施する場合、ま
ず主表面を有する一導電型の半導体材料の基板を用意す
るｍ：酸化珪素の薄い層を主表面上に形成する。窒化珪
素の厚い層を二酸化珪素層の上に形成する。窒化珪素層
をパターン形成（ｐａｔｔｅｒｎｉｎｏ）　Ｌ／て、主
表面の活性領域に重なりかつ活性領域と整合する残留部
分を形成する。窒化珪素のパターン形成された層を利用
して二酸化珪素層を所定のパターンに形成して、主表面
の活性領域に重なりかつ活性領域と整合した残留部分を
形成する。窒化珪素のパターン形成された層を利用して
二酸化珪素層のパターンを形成して、主表面の活性領域
に重なりかつ活性領域と整合する残留部分を形成するこ
とにより、活性領域を囲む基板主表面を露出させる。珪
素基板の主表面の露出部分を第１の深さまでエツチング
して活性領域を囲む堀または溝を形成する。上記二酸化
珪素−の残留部分の局面領域をオキシ窒化珪素に転化す
る。次に基板を酸化性雰囲気中で適切な温度に十分な時
間加熱して、活性領域を囲む珪素半導体材料を二酸化珪
素に転化する。次に活性領域に重なっている窒化珪素層
の残留部分および二酸化珪素層の残留部分を除去する。
本発明に特有と考えられる新規な特徴は特許請求の範囲
に記載されている。本発明の構成および操作を、本発明
の他の目的および利点ともども、一層明瞭にするために
、以下に図面を参照しながら本発明を具体的に説明する
。
第１図および第２図に、本発明に従って製造した集積回
路の一部を表わす複合体１０を示す。複合体１０は主表
面を有する珪素の基板１１を含み、基板１１には、二酸
化珪素の厚い絶縁隔離層１４で囲まれた活性領域１３が
設けられている。電界効果トランジスタのようなデバイ
スの能動部品（図示せず）がこの活性領域内に形成され
、基板に形成された他の同様の能動部品から、二酸化珪
素の厚い絶縁隔離１１１４により隔離される。この構造
の特徴は、活性領域１３の表面部分が、本発明に従って
絶縁隔離層を形成する基板の加工処理以前に指定したほ
ずその通りの寸法および基板上の位置を、該基板加工処
理による減縮をほとんどこうむらずに維持することにあ
る。「くちばし」の形成を最小に抑えることにより、活
性領域の平面性（プレーナ性）を所望通りに維持するこ
とができる。第２図に示す厚い酸化物層の隆起部１５ａ
および１５ｂは、「（ちばし」の形成に付随する頭部形
成を表わしている。
第１および２図の複合構造を本発明に従って製造する方
法を第３Ａ〜３Ｆ図に従って説明する。
第３Ａ〜３Ｆ図において、第１および２図の要素と同じ
要素には同一符号を付しである。抵抗率４Ω−Ｃ−、Ｐ
導電型の珪素半導体材料の基板１１を用意し、基板の（
１００）面に平行な主表面１２を有する。珪素基板を約
１０００”Ｃの温度で酸素雰囲気に３０分間露呈するこ
とにより、第３Ａ図に示すように、厚さ約３００オング
ストロームの二酸化珪素の薄い層１７を主表面１２上に
形成する。次に化学的蒸着により窒化珪素の層を二酸化
珪素の薄い層の表面に付着する。このプロセスでは、容
積比１対２００のシランおよびアンモニアの蒸気を水素
キャリアガスで運び、１ｏｏｏ℃の温度で２０分間加熱
することに□より、厚さ約２０００オングストロームの
窒化珪素の層を形成する。
次に窒化珪素の層をパターン形成して残留部分１８を得
る。この残留部分１８は基板の活性領域１３に重なりか
つ縦方向に活性領域と整合している。
窒化珪素層のパターン形成は当業界で周知の技術で行う
ことができ、例えば適当なホトレジストのパターン形成
されたＮｉ１９を窒化珪素上に設け、４％酸素含有四フ
ッ化炭素を用いてプラズマエツチングにより、ホトレジ
ストで保護されていない窒化珪素層の部分を除去する。
こうして第３Ｂ図に示す構造を得る。次に、窒化珪素の
残留部分でマスクされていない二酸化珪素の薄い層を、
フッ化水素酸緩衝液のような適当なエッチ液でエツチン
グして、二酸化珪素の残留部分１７ａを得る。
二酸化珪素の薄い層のマスクされていない部分の下側に
あった基板の表面部分を、四塩化炭素のような適当なエ
ッチ液を用いて、第３Ｃ図に示すように所定の深さまで
反応性イオンエツチングにより除去する。珪素基−のエ
ツチング深さは、後で、堀すなわちエラチン夛により除
去された部分に二酸化珪素を再成長させたときに、得ら
れた二酸化珪素の厚さがその表面が活性領域の表面とは
ず同一平面になるような厚さになるように選択する。
このような条件を満たすためには、エツチング深さを最
終的に得られる二酸化珪素■の厚さの約５７％に設定す
る。ホトレジストパターン層１９を除去した後、基板に
対し窒素キャリア中の乾燥アンモニア中で高温アニール
を□施す。アニール処理は１０００℃の温度で１時間行
って、第３Ｄ図に示すように、二酸化珪素層１７の残留
部分１７ａの周面部分をオキシ窒化珪素に、即７ち二酸
化珪素と窒化珪素の二成分系（ｂｉｎａｒｙ　　５ｙｓ
ｔｅ■）に十分に転化する。オキシ窒化珪素はそこを通
る酸素の拡散に対する障壁として二酸化珪素より良好で
ある。そのような部分を十分に厚く、例えば５００オン
ゲストＯ−ムにすることにより、そこを通ろうとする酸
素（拡散）のほとんど大部分を阻止し、これにより基板
の活性領域の表面部分の二酸化珪素への転化を抑制し、
「くちばし」の形成を防ぐ。
二酸化珪素層１７の周面部分にオキシ窒化物を形成する
間に珪素基板の露出表面が窒化珪素の薄層に転化するが
、そのような窒化珪素層は非常に薄く、例えば５０オン
グストロ一ム程度である。次の工程として、基板を酸化
性雰囲気中で適当な温度に十分時間加熱し、その上に形
成された窒化珪素の薄層を含み、かつ□活性領域を囲む
、即ちエツチングにより除去された部分の珪素半導体材
料を、第３Ｅ図に示すように、二酸化珪素１４に変える
。
しかる後、窒化珪素の残留部分および層１７上に残・で
いるオキシ窒イを珪素の部分を沸とう燐酸中で除去する
。その下側にある二酸化珪素層１７の残留部分をフッ化
水素酸緩衝液のような適当なエッチ液で除去し、第３Ｆ
図に示す構造を得る。この時点で、能動デバイスまたは
部品、例えば電界効果トランジスタを活性領域にすぐに
形成することができる。　　　　□ 二酸化珪素のｌｌｌ１の残留部分１７ａおよび窒化珪素
層の残留部分１８でマスクされていない珪素基板の部分
を基板の酸化に先立ってエツチングしておき、酸化によ
り厚いフィールド酸化物１４を形成したが、希望に応じ
てこのエツチング工程を省略できる。但し、その場合、
活性領域１３の表面とフィールド酸化物１４の外表面と
はや）平坦（プレーナ）でなくなる。
本発明を特定の実施例について詳述したが、当業者であ
れば上述したような種々の変更を行うことができること
を理解すべきであり、本発明は本発明の要旨の範囲内に
入るかする変形、変更すべてを包含する。
【図面の簡単な説明】
第１図は集積回路の一部であって、二酸化珪素の厚い隔
離層で囲まれた単一の活性領域が形成された珪素基板を
示す複合体の平面図、 第２図は第１図の基板を２−２線方向に見た断面図、お
よび 第３Ａ〜３Ｆ図は本発明に従って第１図の複合構造を製
造する方法における一連の工程を示す断面図である。 １０・・・・・・・・・複合体、 １１・・・・・・・・・珪素基板、　　、１１２・・・
・・・・・・主表面、 １３・・・・・・・・・活性領域、 １４・・・・・・・・・厚い二酸化珪素の層、１７・・
・・・・・・・薄い二酸化珪素の層１７ａ・・・・・・
残留部分、 １８・・・・・・・・・窒化珪素喘の残留部分、１９・
・・・・・・・・ホトレジスト 特許出願人 ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ代理人　（７６
３０）　　生　沼　徳　二図面の浄書（内容に変更なし
） 手続補正書く方式） １．事件の表示 昭和５７年特許願第１６９４７４号 ２、発明の名称 集積回路を作る方法 ３、補正をする者 事件との関係　　　　　　出願人 住　所　　アメリカ合衆国、１２３０５、ニューヨーク
州、スケネクタデイ、リバー【」−ド、１番名　称　　
ゼネラル・エレクトリック・カンバニイ代表者　　サム
ソン・ヘルツゴツト ４、代理人 住　所　　１０７東京都港区赤坂１丁目１４番１４号第
３５興和ビル　４１ 日本ゼネラル・エレクトリック株式会社・極東特許部内
電話（５８８）５２００−５２０７ 自発 ６、補正の対象 図面 ７、補正の内容 図面の浄書（内容に変更なし） ８、添伺門類の目録 浄書した図面　　　　　　１通

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、　主表面を有する一導電型・の半導体材料の基板に
    二酸化珪素の厚い層で囲まれた活□性領域を設ける方法
    であって、 イ）活性傾城を含む主表面を有する一導電型の珪素半導
    体材料の基板を設け、口）上記主表面に二酸化珪素の薄
    い層を形成し、該二酸化珪素層上に窒化珪素の厚い−を
    形成し、ハ）上記窒化珪素層をパターン形成して上記主
    表面の上□２活性領域に重なりかつ該活性領域と整合し
    た残留部分を形成し、二）上記二酸化珪素層をパターン
    形成して上記主表面の上記活性領域に重なりかつ該活性
    領域と整合した残留部分を形成し、かくして上記活性領
    域を囲む上記主表面を露出；せ、ホ）上記二酸化珪素層
    の残留部分の局面部分をオキシ窒化□珪素に転化し、へ
    ）上記基板を酸化性雰囲気中で加熱して上記活性領域を
    囲む珪素半導体材料を二酸化珪素に転化し、ト）上記活
    性領域に喬なる上記窒化珪素層の残留部分および上記二
    酸化珪素層の残留部分を除去することを特徴とする方法
    。 ２、　上記基板を酸化性雰囲気中で加熱する前に、上記
    珪素基板の露出部分を第１の深さまでエツチングして上
    記活性領域を囲む堀を基板に形成３、　上記第１の深さ
    が上記加熱工程によりその上に形成すべき酸化珪素の厚
    さの約５７％で直上珪素層の表面とがはず同一平面とな
    るようにし４、　上記基板および上記二酸化珪素層の残
    留部分を窒素キャリア中の乾燥アンモニアの雰囲気に約
    １０００℃の温度で十分な時間露埜して、上記二酸化珪
    素層の残留部分の周面部分をオキシ窒化珪素に転化する
    特許請求の範囲第１項記載の方法。 ５、　上記転化した局面部分の横方向厚さを約５００オ
    ングストロ一ム以上とする特許請求の範囲第４項記載の
    方法。
JP57169474A 1981-09-28 1982-09-28 集積回路を作る方法 Granted JPS5874051A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
US30588381A 1981-09-28 1981-09-28
US305883 1981-09-28

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5874051A true JPS5874051A (ja) 1983-05-04
JPH0254657B2 JPH0254657B2 (ja) 1990-11-22

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ID=23182776

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JP57169474A Granted JPS5874051A (ja) 1981-09-28 1982-09-28 集積回路を作る方法

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EP (1) EP0075875A3 (ja)
JP (1) JPS5874051A (ja)

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