JPS5862820A

JPS5862820A - 磁気ヘツドの製造方法

Info

Publication number: JPS5862820A
Application number: JP15946381A
Authority: JP
Inventors: Takayuki Kumasaka; 登行熊坂; Moichi Otomo; 茂一大友; Hideo Fujiwara; 英夫藤原; Takeo Yamashita; 武夫山下; Sanehiro Kudo; 實弘工藤
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1981-10-08
Filing date: 1981-10-08
Publication date: 1983-04-14

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、磁気記録再生用磁気ヘッド（以後。

磁気ヘッドと記す。）及びその製造方法に関し、さらに
詳細には、ビデオ磁気ヘッドのように高周波信号の記録
再生に適した磁気ヘッドの製造方法に関するものである
。

磁気ヘッドのコアを構成する磁性材料として。

高透磁率フェライト材料を用いたものが実用化されてい
る。フェライト材料よシなる磁気ヘッドは。

高周波領域において高透磁率特性を示すために再生能率
が高く、また、耐摩耗性にも優れているだめ、家庭用Ｖ
ＴＲの磁気ヘッドとして広く用いられている。しかし、
フェライト材料の飽和磁束密度は５０００ガウス程度で
あるため、磁気テープの保磁力が１０００エルステツド
を越える場合には、十分な記録を行なうことが困難とな
る。

また、他の材料としては、結晶質Ｆｅ　−ＡＩ　−８ｉ
合金あるいは非晶質磁性合金のような金属磁性材料があ
シ、この金属磁性材料を用いた磁気ヘッドはフェライト
材料を用いたものより飽和磁束密度が高く、かつ、摺動
雑音が低いという優れた特性を有する。しかし、バルク
の金属磁性材料は電気抵抗が低いので、高周波領域で用
いると、渦電流損失が犬きぐ゛、高周波領域での透磁率
の低下が起る。また、耐摩耗性も劣る。このだめ、高周
波記録用磁気ヘッド材料として、金属磁性材料を用いる
場合には、渦電流損失による磁気特性の劣化を防ぐため
に、これを薄板化したものが必要となる。

上記のような従来の金属磁性材料の欠点を解消するため
に、磁気ヘッド用金属磁性材料の開発とその薄板化技術
の開発が鋭意性なわれてきた。とくに、超急冷法（スプ
ラットクーリング法）技術の発達によって、非晶質磁性
合金の薄板化が進歩し、最近では、Ｆｅ−Ａｌ−８ｉ合
金（いわゆるセンダスト）などの結晶質磁性合金の薄板
化も可能となった。また、加工技術の進歩によシ、セン
ダスト合金のバルク材から薄板を切り出すとさも可能と
なった。このようにして得られた金属磁性材料の薄板は
、従来の金属磁性材料の特徴である高飽和磁束密度、高
透磁率特性を保持しており、かつ。

高周波特性にすぐれているため、高周波用磁気ヘッド材
料として有望であることが報告されている。

従来、金属磁性薄板を用いた磁気ヘッドは薄板を多層に
積層して作製されていだが、耐摩耗性に対する欠点は解
決されておらず、また、多層に積層する技術が困難で９
作製プロセス上の問題が多かった。

そこで２上記欠点を解決するために、金属磁性薄板を用
いた磁気ヘッドとして、第１図に示すように、補強材（
例えば、磁性フェライト）に溝を設け、この溝に金属磁
性薄板を埋め込み、接着材で固定、保護する構造のもの
が提案された。例えば、第１図（ａ）および（ｂ）に示
される磁気ヘッドコア１０においては９例遠は、磁製フ
ェイトブロソク、からなる一対のコア部片１１．１１’
のギャップ突き合せ面に溝を設け、この溝に厚さ１０〜
５０μｍの金属磁性薄板１２　、１２’をさし込み、接
着材１３で固定し、少なくとも一方のコア部片９例えば
、１１′のギャップ突き合せ面にコイル巻線用溝を設け
て。

一対のコア部片１１　、１１’のギャップ突き合せ面を
非磁性ギャップ規制材層を介して所定の空隙を保って貼
シ合せ９作動ギャンプ１４を形成し、磁気ヘッド１０を
作製するものである。また、第２図（ａ）および（ｂ）
に示された磁気へノド１６は金属磁性薄板１２　、１２
’をフェライト・コア部片１１，１１′の記録媒体対向
面側に設けた溝に挿し込んだ構造である。なお９両図に
おいて、１５は作動ギヤノブ幅（トラック幅）を決める
ために切シ欠き溝に充填されたガラスなどの非磁性物質
、１７はコア後部補強のために溝に充填されたガラスな
どの非磁性物質、１８はコイル巻線用窓である。

上記のような磁気ヘッドにおいて、磁性を有するフェラ
イトブロックを補強材とする場合には。

作動ギャップを金牌磁性薄板のみで構成するために、フ
ェライトブロックの作動ギヤツブ近傍部に切シ欠き溝を
設け、この切り欠き溝に非磁性物Ｉｆｌ（１５を充填す
る。このようなヘッド構造によって機械的接合強度が増
し、かつ、耐摩耗畔すぐれたものが得られるようになる
。

しかし、溝に金属磁性薄板を挿し込む方法においては、
溝と金属磁性薄板の間に間隙が生じ、ヘッドを作製した
場合、磁気テープと摺動させた時に間隙に塵が詰ったり
、欠けが生じ易い欠点がある。また、フェライトと密着
性が悪いことによって磁気ヘッドの磁気抵抗が高くなシ
、十分な記録再生特性が得られない。さらに、このよう
な溝への金属磁性薄板の挿し込み作業を量産的に能率を
良くするためには７例えば、２５μｍ厚みの金属磁性薄
板を溝に挿し込む場合に、溝幅を３０〜３５μｍ程度に
することが必要となり、５〜１０□ｍの間隙ができる。

一方、溝と金属磁性薄板の間隙を小さくしようとすると
、金属磁性薄板の挿し込み深さのばらつきが大きくなり
、ヘッド作製能率が悪く。

歩留りが低下する欠点がある。また、溝幅の精度も厳密
にしなければならず、金属磁性薄板の厚みや面積度のコ
ントロールを考えると困難である。

本発明は前述のような従来の磁気ヘッドの製造方法にお
ける欠点を解消し、高密度磁気記録再生に適した磁気ヘ
ッドを提供することを目的とするものである。さらに詳
細には、金属磁性薄板と非磁性体又は高透磁率磁性体か
らなる補強材ブロックとを組み合せた磁気へノドの製造
の際における両者の接合に際して両者の密着性、接着強
度を高め、かつ、磁気回路における磁束の流れを能率よ
くシ、得られる磁気ヘッドの性能を高めることを目的と
する。

本発明は、上記の目的を達成するために、実質的に作動
ギャップ部が金属磁性薄板がらなり、該金属磁性薄板を
その両側面から挾むようにして補強ブロック中に埋め込
んだ形の磁気ヘッドの製造方法において、（１）直方体
状補強ブロックの第１の面の中間に数面と数面に隣接す
る両側面に直交する第１の溝を設け、該第１の溝に低融
点ガラス智の第１の接着材を溶融、充填する第１工程、
　（ｉｉ）第１工程で形成した前記第１の溝の延長線」
二の前記補強ブロックの第２の面から少なくともＭｆｆ
記第１の溝に達する第２の溝を設ける第２工程、　（ｉ
ｉｉ）第２工程で形成した前記第２の溝に金属磁性薄板
を挿入し、前記補強ブロックの第２の面の該金属磁性薄
板の両側に接して低融点ガラス等の第２の接着材を配置
し、該補強ブロック全体を加熱して前記第１及び第２の
接着材を溶融した上積金属磁性薄板の板面に直角な方向
に該補強ブロックを両側から加圧した後冷却し２９、該
金属磁性薄板を該補榔ブロックの第２の溝中に固定する
第３工程、（Ｖ）第６エ程で得られた補強ブロックの外
周面から突出している部分を研磨して除去し、直方体状
複合ブロックを得る第４工程、（）第４工程で得られた
複合ブロックの一対（この各々を磁気ヘッドコア部片と
称する。）、−！だは、前記複合ブロックを前記金属磁
性薄板の板面と前記補強ブロックの第２の面に直交する
面に清ってほぼ同形の直方体に２分割して得られた一対
の磁気ヘッドコア部片の前記金属磁性薄板端面が同形に
現われている面をギヤノブ構成面とし、該ギャップ構成
面を鏡面研磨する第５工程、（イ第５工程で得られた一
対の磁気ヘッドコア部片の少なくとも一方の前記ギャッ
プ構成面の所定位置に該ギャップ構成面に現われている
前記金属磁性薄板端面に直角なコイル巻線用窓となるべ
き溝を形成する第６エ程、　（ｖｉＤ第６エ程で得られ
た前記一対の磁気へソドコア部片同志を前記ギャップ構
成面に現われている前記金属磁性薄板端面同志が精確に
相対峙するようにして低融点ガラス等の接着材層を介し
て接合させて磁気ヘッドコアブロックを得る第７エ程、
　（ｖｉｉｉ）第７エ程で得られた磁気へソドコアプロ
ソクを前記金属磁性薄板を間に挾んで前記補強ブロック
部分から所定め厚さに切断して磁気ヘッドを得る第８工
程を主たる工程とすることを特徴とするものである。

本発明に用いる上記直方体補強ブロックは非磁性材料（
例えば、リチウム・シリケー訃系セラミックス）でもよ
く、好ましくは、Ｍｎ−ＺｎフェライトあるいはＮｉ−
Ｚｎフェライト等の高透磁率フェライト材が良い。例え
ば、高透磁率材を用いれ９．１ば、補強材であると共に補助磁極の役もなし、磁気ヘッ
ドの特性も向上する利点がある。さらに耐摩耗性に耐し
ても優れている。

一方９本発明に使用され、る金属磁性薄板はＦｅ−８ｉ
系、Ｆｅ−Ａｌ系、Ｆｅ−Ａｌ−３ｉ系あるいはＦｅ−
Ｎｉ系合金のような結晶質磁性合金、もしくは非晶質磁
性合金（例えば、特開昭５１−６５５９５号、特開昭７
５９２０号、特開昭５１−７３９２３号で提案されてい
る。Ｆｅ　、Ｎｉ　、　ｃｏの１つ以上の元素とｐ、ｃ
。

Ｂ　、　Ｓ　ｉの１つ以上の元素とからなる合金または
。

これらを主成分とし＋　　Ａ　Ｉ　＋　Ｇ　ｅ　＋　Ｂ
　ｅ　＋　Ｓ　ｎ　ｒ　Ｉ　ｎ　＋　Ｍ　ｏ　＋Ｗ、Ｔ
ｉ、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ等を含んだ合金を溶
解し、高速急冷して薄板として作製される。）が用いら
れる。これらの金属磁性薄板の厚さは特に限定されるも
のではないが、実用上は約１０〜６０μｍで。

１枚の金属磁性薄板を用いる場合は、少なくとも磁気ヘ
ッドのトラック幅の厚みのものが用いられる。この薄板
を複数枚用いる場合は、各薄板の厚さの合計がトランク
幅もしくはそれ以上あればよい。

第１工程における第１の溝には接着材（例えば低融点ガ
ラス）が充填され、第２工程における第２の溝には金属
磁性薄板が挿入される。第１０溝の役目は第２の溝に挿
入された金属磁性薄板と第２の溝との間隙をできるだけ
なりシ、補強ブロックと密着性良く接合させるためのも
のである。すなわち、補強ブロックの第２の溝に金属磁
性薄板を挿入後、補強ブロックの側面を加圧しながら第
１の溝に充填された接着材の軟化あるいは溶融する温度
で加熱し、前記加圧力によって金属磁性薄板と補強ブロ
ックの間隙を押し縮め９両者の密着性を増すとと−にあ
る。このため、第２の溝は少なくとも第１の溝に達する
ように形成することが必要である。

前記第１の溝の幅は前記第２の溝の幅に対してとくに規
定するものではないが、第２の溝幅より狭くしておく方
が密着性に対して有利である。また、金属磁性薄板の挿
入深さはコイル巻線用溝より深くシておくことが好まし
い。

本発明において少なくとも作動ギャップを形成する部分
及びその近傍部が実質的に金属磁性薄板からなるように
構成すれば、磁気ヘッドの作動ギャップ近傍部の飽和磁
束密度を十分高めることができ、とくに好ましい結果が
得られる。このため。

補強ブロックとして高透磁率フェライトを用いる場合に
は、金属磁性薄板の構成する作動ギャップ両側面近傍の
フェライト補強ブロックに少なくとも金属磁性薄板に達
する切り欠き溝を設けることが好ましい。この切り欠き
溝は作動ギヤツブ部付近のトラック幅を狭くするのにも
寄与する。この場合１作動ギャップ側面近傍の切り欠き
溝が金属磁性薄板の一部におよび、該薄板にも切り欠き
が入るようにしてもよい。この切り欠き溝には１通常、
補強用の非磁性材を充填する。この補強用非磁性材とし
ては、一般に、低融点ガラスを用いることが多い。この
ようにして９作動ギャップ部を構成する高透磁率磁性材
料が実質的に金属磁性材料板で、該作動ギャップ部を除
く磁気記録媒体対向部及び後部磁気回路形成部が該金属
磁性薄板と高透磁率フェライト補強ブロックとの複合体
からなるように磁気ヘッドを構成することができる。な
お、前記切り欠き溝は前記第２の溝を形成する前に設け
ておくこともできる。この場合、磁気ヘッドのトラック
幅は前記第２の溝に挿入された金属磁性薄板の厚さに相
当するものとなる。金属磁性薄板を複数枚挿入した場合
には、その全厚みがトランク幅となる。

一方、前記補強ブロックが非磁性材である場合には、前
記切シ欠き溝は必要なく、磁気ヘッドの磁気回路形成部
はすべて金属磁性薄板により構成される。

第３図は本発明によって得られる磁気ヘッドの代表例を
示す図である。例えば、同図（ａ）に示されている磁気
ヘッド２０においては、補強ブロックに高透磁率フェラ
イトを用い、これを２分した磁気コア部片２１．２１’
のギャップ突き合せ面側に前記第２の溝を設け、これに
金属磁性薄板２２．２２’を挿入したものである。２３
．２３’は前記第１の溝に相当し、接着材が充填されて
いる。２４．２４’は接合されたフェライト磁気コア部
片２１．２１’の作Ｉ・・動ギャップ部に設けた切シ欠き溝であり、トラック幅決
め用のものであり、ここにも接着材が充填されている。

２５はコイル巻線用窓である。これに対して、同図（ｂ
）に示す磁気ヘッド２６は接合された一対のフェライト
磁気コア部片２１．２１’の磁気記録媒体に対向する面
の中間を両側まで貫通して前記第２の溝が設けられ、こ
れに金属磁性薄板２２．２２’が挿入されたものである
。

また、第３図（Ｃ）に示す磁気ヘッド２７は補強ブロッ
クに非磁性材（例えば、米国コーニング社製。

商品名フォトセラム）を用い、一対の非磁性ブロックか
ら力る磁気ヘッドコア部片２８．２８’の磁気記録媒体
に対向する両側に同図（ｂ）と同様に金属磁性薄板２２
．２２’を挿入したものである。ただし。

この場合は、補強ブロックが非磁性材であるため。

同図（ａ）　、　（ｂ）に示すような切シ欠き溝２４’
　、　２’４’を必要としない。さらに、同図（ａ）に
おいて、磁気ヘッドコア部片２１．２１’を非磁性のも
のとし、切シ欠き溝２４．２４’を設けない形の磁気ヘ
ッドも本発明によって得ることができる。

本発明によって得られる磁気ヘッドは機械的強度が強い
が、その理由は、第３図に示した磁気ヘッドに代表され
るように、各主要接合部が磁性フェライト、非磁性のガ
ラス、セラミックスからなる磁気へラドコア部片２１．
２１’又は２８．２８’同志間で行なかれていることに
よる。すなわち、金属磁性材料はガラスなどの接着材に
対して接着強度が弱く、前記磁気へラドコア部片を金属
磁性薄板と全面で接合した場合、過酷な機械加工に対し
て十分耐え得るものではなかった。−その点、フェライ
トやセラミックス材はガラスとのぬれ性も良く。

十分な接合強度が得られるという利点がある。本発明に
おける磁気ヘッドは、このよう々点に着目して、接合部
の補強は主に補強ブロック同志をガラスなどの接着材で
行ない９機械的強度を高めだものである。

さらに９本発明によって得られる磁気ヘッドは。

第３図（ｄ）にその磁気記録媒体対向面の一部の例を゛
平面図で示すように、金属磁性薄板２２．２２’と磁気
へ入ドコア部片２１．２１’との接合部２８に介在する
接着材層を第１図、第２図に示した従来の同種磁気ヘッ
ドに比べて極めて薄く、１〜２１ｔＨ稈度まで密着でき
る特“徴がある。

本発明の磁気ヘッドの製造方法によれば、とくに金属磁
性薄板を主磁極とし、フェライトを補助磁極とした第３
図（ａ）　、　（ｂ）に示した磁気ヘッドにおいては、
金属磁性薄板とフェライト補強ブロックとの密着性の向
上によって、磁気回路において磁束の流れを有利にする
利点があり、従来の同一構造の磁気へノドに比べ９周波
数４．１　ＭＨｚにおける出力−雑音比で数テシベル以
上の向上が認められた。

捷だ、製造面では、金属磁性薄板を挿入する補強ブロッ
クの溝幅を従来法より広くすることができ、磁気ヘッド
作製能率が高められ９歩留りが向」ニすると共に大量生
産に適したものである。

以下９本発明を実施例を参照して詳細に説明する。

第４図（イ）〜（す）は本発明による磁気ヘッドの製造
工程の一実施例を示す。ここで、第４図では説明を簡午
にするために、１個の磁気全ノドコアを作製する場合に
ついて説明するが、実際は後に説明するように、一つの
ブロックから複数個の磁気ヘッドコアが作製できる工程
に拡張できるものである。

第４図（イ）において、３０は補強ブロックとして用意
された非磁性材ブロックで、米国コーニング社製の商品
名フオトセラムからなる直方体フ゛ロックである。この
補強ブロック３０の所定の一頂１に。

この面を２分する第１の溝６１を設ける。この第１の溝
３１は幅２０μｍ、深さ０．５７ｚｍとした。溝加には
高速ダイサーで行ない、ブレードはダイヤモンド砥粒＋
　１００’［］のメタルボンドを用いた。

つぎに、第４図（ロ）に示すように、前記第１の？１η
３１に接着材として低融点ｐｂガラス６２を充填した。

低融点ガラスはｐｂを約７０％含む、軟化温度４００℃
のものを用いた。

ついで、第４図←うに示すように、補強ブロック３０の
第１の溝３１の深さ方向の延長」二の裏面（磁気記録媒
体対向面となる面）から金属磁性薄板を挿入するだめの
第２の溝３３を少なくとも第１の溝６１に達する深さに
形成する。第２の溝３３の幅は約４０μｍとした。

つぎに、第４図に）に示すように、補強ブ０７り３０の
第２の溝６３に厚み約２５μｍの金属磁性薄板３４を挿
入し、金属磁性薄板３４の両側部に沿ってガラス棒３５
を配置して、加圧治具で、矢印Ｐの方向に加圧しながら
、約５５０℃に加熱してガラス棒３５を溶融し、溝３１
の間隙に流入させると共に第１の溝３１内のガラス３２
も軟化させ。

加圧力によって補強ブロック３０と金属磁性薄板３４を
密着、接合させる。この工程が従来の方法と大きな相違
をもつものであり、これによって第２の溝６３と金属磁
性薄板３４を密着、接合させることが可能とカっだ。

ここで用いた金属磁性薄板６４はＦｅ−Ａｌ−８ｊ系合
金であり、３〜１０ωｔ、係のＡｌ、６〜１２ωｔ０％
のＳｉおよび残部Ｆｅからなる組成を基本とするもので
ある。これに各種の添加元素を加えることによって磁気
特性、４食性、耐摩耗性の改善および薄板形成が容易に
なるようにしだものである。なお。

薄板は合金を溶融し、スプラット・クーリング法によっ
て９幅３ｍｍ、厚さ２５μｍのものを作製して使用した
。

一方、第１の溝３１および第２の溝３６の充填用ガラス
には、軟化温度が約４００℃、熱膨張係数が１０４　Ｘ
　１０−’／’Ｃの≠８４６５ガラス（米国コーニング
社製品の商品名）を用いた。

つぎに、第４図に）で得た補強プロ７り３０の表面から
はみでた余分な金属磁性薄板およびガラスを研削、研摩
によって除去し、第４図（ホ）に示すような複合ブロッ
ク６６とし、これを金属磁性薄板３４に直角に一点鎖線
３８に泪って２分割し、切断面を鏡面研磨して磁気コア
部片３７．３７’とする。

ついで、第４図（ホ）で得た磁気コア部片３７．＋７’
の少なくとも一方９例えば磁気コア部片３７の鏡面研磨
面に、この面に露出している金属磁性薄板３４に直角に
、かつ、磁気コア部片３７の磁気記録媒体対向面側に作
動ギャップ深さに和尚する幅の面４０が残るようにコイ
ル巻線用溝３９を設ける（第４図（へ）。）。一方、他
方の磁気コア部片６７′は溝を設けずにおく（第４図（
ト）。）。ここで、磁気コア部片３７の面４０を作動ギ
ャップ構成面９面４１を後部ギヤツブ構成面と呼ぶこと
にする。寸た、これに対応する磁気コア部片３７′の研
磨面部分４０’、４１’も同様に呼ぶことにする。

つぎに、第４図（へ）で得た磁気コア部片６７のギャッ
プ構成面４０．４１にギャップ規制材となる非磁性材料
を所要のギャップ長（約０．４μｍ）となる厚みだけ、
スパッタ蒸着法によって被着した。なお、磁気コア部片
３７．３７’の両者に被着する場合には、その半分の厚
みとする。ギャップ規制材はガラス、セラミックス、金
属等の非磁性材が用いられ、一般には、５ｉｎ２や硼珪
酸ガラスが用いられる。

場合によっては１作動ギャップ構成面４０．４０’には
高融点ガラス、後部ギャップ構成面４１．４１’には低
融点ガラスを用いて、後の磁気コア部片３７゜５７′の
接合の際に、後部ギャップ構成面の低融点ガラスを溶か
して接合するようにしてもよい。

つぎに、ギャップ規制材膜を被着された磁気コア部片３
７と同規制膜を被着されまたは被５着されていない磁気
コア部片３７′をそれぞれの作動ギャップ構成面、後部
ギャップ構成面同志を対向させて、第５図（１）に示す
ように突き合せる。この時。

金属磁性薄板３４は、その厚さがトラック幅となるため
、互いに正確に対応するように、精度良く。

位置合せを行なう必要がある。突き合せた一対の磁気コ
ア部片は治具に固定し、加圧、加熱して接合して磁気へ
ッドコアプロソク４２を得る。接合に際してはコイル巻
線用窓４３の一部に非磁性接着材を充填するか、あるい
は磁気ヘッドコアブロック４２の後部ギャップ構成面の
一部に溝を設け。

、この溝に非磁性接着材を充填するか９両者を併用して
補強してもよい。

このようにして得た磁気ヘッドコアブロック４２は外周
スライサ、ダイサ、ワイヤソー等で、金属磁性薄板３４
を挾む一点鎖線Ａ、Ａ’に清って切断し、第４図（更に
示す磁気ヘッド４４を得る。コア幅Ｔｗは補強材が残る
ように、トラック幅ｔｗより広くする。ここでは、ＴＷ
は１００〜２００μｍとした。

つぎに２本発明？、他の実施例を第５図（ａ）　、　（
ｂ）　。

（ｃ）に示す。第４図のものは磁気コア部片同志の接合
強度をよシ強固にするために行なったものである。第４
図（ホ）で得た磁気コア部片５７　、３７’のギャップ
構成面の金属磁性薄板３４の両側部近傍にこれと平行に
溝４５．４５’を設け、これらの溝に低融点ガラスを充
填した後、一方の磁気へラドコア部片３７にコイル巻線
用溝３９を設けて第５図（ａ）。

（Ｊ））に示す磁気コア部片３７．３７’を作製する。

しかる後、この磁気コア部片３７．３７’を第６図の場
合と同様にして接合した後、溝４５　、４５’のほぼ中
心を通り、金属磁性薄板３４に平行な面で切断すれば、
第５図（Ｃ）に示す磁気ヘッドが得られる。

また、磁気ヘッドの個々の形状については多少の変更も
可能である。例えば、第６図に示すように補強ブロック
３０に設けた第２の溝に複数枚の金属磁性板３４を挿入
することもできる。この場合、薄板に厚みが５〜１０μ
ｍのものを使用すれば。

渦電流損失を小さくすることができ、高周波領域での透
磁率を高めることができる。さらに、補強ブロックに磁
性材を用いた場合には、磁性層の体積が増し、磁気回路
の磁気抵抗を下げることができる。場合によっては、第
７図に示すように、複数枚の金属磁性薄板のうち、得ら
れる磁気ヘッドのトラック幅に相当するもの以外の金属
磁性薄板３４′の作動ギツプ近傍に切り欠き部４４を設
けておくことによって、狭トラツクの磁気ヘッドにする
こともできる。

さらに、第８図に示すように、補強ブロック６゜に補強
部とする第１の溝３１の幅を金属磁性薄板６４を挿入す
るだめの第２の溝６３の幅よりも広くしてもよい。この
ように接着層３２を十分に厚くとれば、第１の溝３１と
第２の溝３３の位置の自由度が広がり９位置合せ精度を
ゆるめることができる。

実施例　２゜つぎに、補強ブロックに高透磁率フェライトを用いた場
合についての実施例を以下に説明する。

磁性フェライト材としては、’Ｍｎ−Ｚｎフェライト（
Ｆｅ２０５５４モル％　＋　Ｍｎ　０２７モル％　＋　
Ｚ　ｎ　０１ｑモル％）からなるブロックを用いた。金
属磁性薄板としては、非晶質磁性薄板を用いた。この非
晶質磁性薄板はＣｏ　−Ｆｅ−８ｉ−Ｂ系の合金を溶融
し、スプラットクーリング法で作製した。例えば＋　　
（Ｉ’８０．０６ＣＯｏ、９４　）７５　Ｓｉ＋＋、ｓ
　Ｂ＋ｇ、ｓの組成で、板厚は約２５　μ７／ｌのもの
である。

第９図〜第１５図は補強ブロックに磁性フェライトを用
いた時のヘッド作製工程における個々の中間部品形状を
示すものである。主々ヘッド作製工程は実施例１に順す
るものである。とくに、異なる工程は、補強ブロックに
磁性フェライトを用いているため９作動ギヤノブ近傍部
の金属磁性薄板のみを残し、フェライトを除去するため
１作動ギヤノブ近傍部に切シ欠き溝を設けることである
。

これは前述したように少なくとも作動ギヤツブ部を実質
的に金属磁性薄板で構成するためである。

磁性フェライトを用いる場合には、金属磁性薄板を主磁
極とし、磁性フェライトを補助磁極として耐摩耗性を向
上させると共にヘッド特性を向上させることを目的とし
ている。

第９図（イ）に示したのは、補強ブロックとして磁′ｌ性ツーライトを用い、第４ｉ（イ）〜（ホ）と同様な工
程で作製した複合ブロック５６を示す。ここで、５０は
磁性フェライトからなる補強ブロック、５１は第１の溝
、５２は第１の溝５１に充填され、た低融点ガラス等の
接合材、５３は第２の溝、５４は第２の溝５３に挿入さ
れた非晶質磁性合金薄板である。

ここで、注意すべきことは、非晶質磁性合金薄板を用い
た場合、磁気ヘッド作製プロセスにおける熱処理は非晶
質磁性合金の結晶化温度以下の温度で行なう必要があり
、接合材にガラスを用いる時には、この結晶化温度以下
に軟化温度をもったガラスを選ばなければならない。

本実施例で用いた非晶質磁性合金は（Ｆｅ０゜６ＣＯ０
，９４）　７５５ｉｆｔｓ　Ｂ１＆５であり、その結晶
化温度は５２０℃であった。この磁性材料を用いた磁気
ヘッドに用いる接合用ガラスとしては、　　ＰｂＯ’７
５〜８５重量％、Ｂ２０３１０〜１５重量係、　　５ｉ
Ｑ２０．５〜５重量先Ａｌ２０３０．５〜２，５重量％
で、熱膨張係数９５〜１２０×１０７０Ｃ！軟化温度３
５０Ｔ−４００°Ｃであるガラスが適当であった。

上記ガラスは前記Ｍｎ−Ｚｎフェライト（熱膨ｎ長係数
１１０〜１１８×１０−７／℃）と前記Ｃｏ−Ｆｅ−８
ｉ　−Ｂ系非晶質磁性合金（熱膨張係数１１５〜ｊ２０
×１０−７／℃）を組み合せて接合するのに適した熱膨
張係数を有し、４５０〜５００℃の温度で接合すること
ができる。

つぎに、この場合には、第９図（ロ）に示すように。

複合ブロック５６の金属磁性薄板５４の両端の現われて
いる両側面をギャップ構成面５５とし、この面を研磨し
た後、この面の金属磁性薄板５４の両側で、少なくとも
補強ブロック５０の上面角部（作動ギヤノブ近傍部）に
切り欠き溝５８．５８’を設ける。この切り欠き溝５８
．５８’は作動ギヤツブ部付近のトランク幅を狭くする
のにも寄与する。

この場合１作動ギヤノブ側面近傍の切り欠き溝が金属磁
性薄板の一部におよび、該薄板にも切シ欠きが入るよう
にしてもよい。例えば、第１０図（イ）のものでは、厚
み３０μｍの非晶質磁性合金薄板５４に対して２両側か
ら５μｍづつ切り込みが入るように切り欠き溝５８．５
８’を形成し、トランク幅を２０μｍとしだ。また、第
１０図仲）のものでは、厚み２０μｍの非晶質磁性合金
薄板５４を３枚重ねて挿入し。

両側２０μｍに切シ込みが入るように切り欠き溝５８．
５８’を形成し、トラック幅を２０１１ｍとした。

以上述べた切シ欠き溝５８．５８’には通常、第９図（
・今に示すように、非磁性材料であるガラス５９゜５９
′を充填する。この場合には、ガラス充填後。

ギャップ構成面５５をさらに鏡面研磨する。このガラス
充填は、とくに順序を規定するものではなく、一対の磁
気へラドコア部片同志を接合する後の工程において同時
に行なってもよい。

以上の工程で得られた複合ブロック５６は一点鎖線に沿
って、一対の磁気へンドコアブロノク５７゜５７′に分
割する。

その後は、第４図（へ）〜（男とほぼ同様な工程で。

第９図に）に示すような磁気ヘッドが得られる。

第１１図は、第９図に示したものに対して、切り欠き溝
を金属磁性薄板を挿入するための第２の溝を磁性フェラ
イトからなる補強ブロックに形成する前に設けるように
した例である。すなわち。

第４図（イ）、（ロ）と同様な工程で、補強ブロツク５
０に第１の溝５１を設け、これにガラス等の接着材５２
を充填した後、ギャップ構成面５５を研磨して前記第１
の溝５１の延長上の補強ブロック５゜の角部に切り欠き
溝６０を設ける。この切り欠き溝６０には接着材として
のガラス６１を充填し。

さらに面５５を鏡面研磨する（第１１図（イ））。なお
、この切り欠き溝６０はつぎに設ける金属磁性薄板挿入
用の第２の溝の幅より十分広くしておく。

つぎに、第１１図（ロ）に示すように、切り欠き溝６０
の中央を通り、第１の溝５１に達する第２の溝５３を設
け、ついで、第１１図（・→に示すように。

第２の溝５３に金属磁性薄板５４を挿入して加圧。

加熱し、金属磁性薄板５４と補強ブロック５ｏとを接合
し、複合ブロック５６を作製する。その後。

複合ブロック５６を一点鎖線に沿って一対の磁気ヘッド
コア部片５７．５７’に切断する。以後は、第４図（へ
）〜（男とほぼ同様な工程で、第９図に）に示したもの
と同様な磁気ヘッドが得られる。

第１２図（イ）は第９図に示したよ・うな切り欠き溝５
８．５８’を金属磁性薄板挿入用の第２の溝５３を形成
する前に設けたものである。この場合、切シ欠き溝５８
．５８’の間に挾まれた平坦部６２の幅は後に形成する
第２の溝の幅とするか、もしくはこれよりやや狭いもの
とする。作動ギャップ部には少なくともフェライト部が
残らないようにし、かつ、金属磁性薄板の作動ギャップ
近傍まで残っていることが好ましい。

第１２図仲）は上記の切り欠き溝５８．５８’を第１の
溝５１の側まで平行に突きぬけるように形成した場合を
示す。第９図（ロ）の場合にも切り欠き溝５８゜５８′
をこのように形成してもよい。

第９図においては、複合ブロック５−Δの金属磁性薄板
５４の両端の現われている両側面をギャップ構成面５５
とし、これらの面を当接させて磁気ヘッドを作製しだが
、−このように金属磁性薄板の当接する位置が離れてｂ
ると、第１の溝の間隔などの微小なくるいなどによりト
ラックずれを生ずる可能性が増加す賦。これを防ぐため
には、第１３図（イ）に示すように、第４図（イ）〜（
・→と同様な工程で第１の溝５１にガラス５２を充填し
た後、第２の溝５３を設け、第２の溝５３の中間部に円
錐形のダイヤモンド工具等によシ第２の溝５３の幅より
も径の太きい切り欠き穴６５を設ける。しかる後、第１
３図（ロ）に示すように第２の溝５３に金属磁性薄板５
４を挿入した後、金属磁性薄板５４０両側に低融点ガラ
スを配置して補強ブロック５０全体を加熱して低融点ガ
ラスを溶融した上、補強ブロック５０を金属磁性薄板５
４の面に直角外方向から加圧した後冷却し、得られた補
強ブロック表面から突出している金属磁性薄板等を研磨
して除去し、複合ブロック５６とする。しかる後、同図
の一点鎖線に沿って複合ブロック５６を２分割して一対
の磁気ヘッドコア部片５７．５７’とし９両者の切断面
を鏡面研磨した上、少なくとも一方の磁気ヘッドコア部
片の切断面にコイル巻線用溝を設けた後１両磁気ヘッド
コア部片５７．５７’を切断面に現われている金属磁性
薄板の端面同志を精確に相対峙させて接着拐層を介して
接合する。このようにすれば９作動ギャップ部で当接す
る金属磁性薄板同志は切断前の複合ブロックにおいて隣
接していたものであるだめ、トラックずれの可能性は前
述のものよシ著るしく減少する。

また、第１４図に示す磁気ヘッドコアは、第９図（イ）
、（ロ）、（・→の工程で得られた複合ブロック５６の
上面を鏡面研磨した後、一点鎖線に沿って一対の磁気ヘ
ンドコア部片５７．５７’に切断した後、少なくとも一
方の磁気ヘッドコア部片の前記鏡面研磨面にコイル巻線
用溝を設けた上９両磁気ヘッドコア部片５７．５７’を
前記鏡面研磨面に現われている金属磁性薄板５４の端面
を精確に相対峙させて。

非磁性接着材層を介在させて接合した後、金属磁性薄板
５４を間に挾んで一点鎖線に漬って切断して得たもので
第３図（ａ）に示したものと同様のものである。第１４
図で示した磁気へノドの作製」−注意すべきことは、磁
気記録媒体対向面に現われる金属磁性薄板の両端のフェ
ライトとの接合部が作動ギャップ面と平行な部分をもた
ないように形成することが好ましい。第１４図に示す磁
気ヘッドにおいては、第１５図（イ）にその磁気記録媒
体対向面を示すように、金属磁性薄板５４を挿入した補
強ブロックの第２の溝５５の底部が磁気記録媒体対向面
に現われるため１作動ギャップ６４と第２の溝５３の底
部、すなわち、金属磁性薄板５４の端が平行であると、
この部分が疑似ギャップとして作動する可能性があるの
で、同図に示すように。

第２の溝５３及び金属磁性薄板５４の端部には図示のよ
うに丸みをつけることが好ましい。本発明では第１４図
（ロ）に示すように金属磁性片板５４には端部が丸みを
もっているものを用いた。このような薄板はスプラット
クーリング法によって作製した薄板の幅方向の端部を利
用することもできる。

したがって、金属磁性薄板の幅は１〜２　ｍｍ程度あれ
ばよい。幅広の薄板から切シ出しだものは、その端部の
角を適当に加工する必要がある。

その他１本発明において用いられる非磁性接着材はガラ
スが適当であるが、樹脂や無機接着材を組み合せて用い
てもよい。

なお９本発明は第１６図に示すように、大きな補強ブロ
ック６６に多数の第１の溝５１．第２の溝５３・を設け
、金属磁性薄板５４を第２の溝５５に挿入するようにす
れば、同時に多数の磁気ヘッドを得ることができ、量産
に適したものとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は高透磁率フェライトブロックに金属磁性
薄板を挿入した従来の磁気ヘッドの斜視図。第１図（ｂ）は第１図（ａ）の磁気ヘッドの記録媒体対
向面の平面図、第２図（ａ）は他の磁気ヘッドの斜視図
。第２図（ｂ）は第２図（ａ）の磁気ヘッドの記録媒体対
向面の平面図、第３図（ａ）　、　（ｂ）　、　＜Ｃ）
は本発明による補強ブロックに金属磁性薄板を挿入した
磁気ヘッドの斜視図で１図（ａ）　、　（ｔ））は補強
ブロックに高透磁率フェライトブロックを用いた場合の
磁気ヘッド。（ｃ）は補強ブロックに非磁性ブロックを用いた場合の
磁気ヘッド、第６図（ｄ）は第６図（ａ）　、　（ｂ）
の磁気ヘッドの磁気ヘッドの記録媒体対向面の平面図、
第４図は補強ブロックに非磁性ブロックを用いた本発明
の磁気ヘッドの製造工程説明図、第５図は本発明の他の
実施例の中間：：工程説明図、第６図、第１□ニア図、第８図は本発明のさらに′他の実施例の中間工程
説明図、第９図は補強ブロックに高透磁率フェライトブ
ロックを用いた本発明の磁気ヘッドの製造工程説明図、
第１０図は本発明の磁気へノドの他の実施例を示す中間
工程説明図、第１１図は本発明のさらに仙の実施例の製
造工程説明図、第１２図は本発明の他の実施例の中間工
程説明図。第１３図は本発明の他の実施例の製造工程説明図。第１４図、第１５図は本発明の他の実施例の中間工程説
明図、第１６図は本発明により一つの補強ブロックから
多数の磁気ヘッドを作製する場合の中間工程説明図であ
る。図において。１０：磁気ヘッド１１．１１′：磁気ヘッドコア部片１２．１り′：金属磁性薄板１３ニガラス等の接着材１４：作動ギャップ１５ニガラス等の充填材１６：磁気ヘッド１７：ガラス等の充填材１８：コイル巻線用窓２１．２１’：フェライト磁気ヘッドコア部片２２．２
２’：金属磁性薄板２３．２３’：第１の溝２４．２４’：切り欠き溝２５：コイル巻線用窓２８．２８’：非磁性磁気へンドコア部片３０：補強ブ
ロック３１：第１の溝３２：接着材層３３：第２の溝３４：金属磁性薄板５５：低融点ガラス棒３６：複合ブロック３７．３７’：磁気へラドコア部片３８：切断面３９：コイル巻線用溝４０　、４０’　：作動ギャップ構成図４１　、４　＊
’　：後部ギャップ構成図４２：磁気今ツドコアブロッ
ク４３：コイル巻線用溝４４：磁気ヘッド４５　、４５’　：接着材充填溝５０：フェライト補強ブロック５１：第１の溝５２：低融点ガラス接着材５３：第２の溝５４：金属磁性薄板５５：作動ギャップ構成図５６：複合ブロック５７．５７’：磁気ヘッドコア部片５８．５８’：切シ欠き溝５９．５９’：低融点ガラス充填材　　　′６０：切り
欠き溝６１：低融点ガラス充填材６３：切シ欠き穴６４：作動ギャップ６５：金属磁性薄板の端部６６：補強ブロック才４図才１３― 第１頁の続き０発　明　者　工藤實弘国分寺市東恋ケ窪−丁目２８０番地株式会社日立製作所中央研究所内

Claims

【特許請求の範囲】１、　所定寸法の直方体状非磁性補強プロレフの第１の
面の中間に該面と顔面に隣接する両側面に直交する所定
幅、所定深さの第１の溝を設け、該第１の溝に低融点ガ
ラス等の第１の非磁性接着材を溶融、充填する第１工程
と、第１工程で形成した前記絹１の溝の延長線上の前記
補強ブロックの第１の面の裏側の第２の面から少なくと
も前記第１の溝に達する所定幅の第２の溝を設ける第２
工程と、第２工程で設けた前記補強ブロックの前記第２
の溝に該溝の矩形内側壁形状よシやや大きい一枚以上の
矩形金属磁性薄板を挿入し、前記補強ブロックの第２の
面の該金属磁性薄板の両側に接して低融点ガラス等の第
２の非磁性接着材を配置し、該補強ブロック全体を加熱
して前記第１及び第２の非磁性接着材を軟化、溶融した
上積金属磁性薄板の板面に直角な方向に該補強ブロック
を両側面から加圧した後冷却し、該金属磁性薄板を該補
強ブロックの第２の溝中に固定する第３工程と。第３工程で得られた補強ブロックの外周面から突出して
いる部分を研磨して除去し、直方体状複合ブロックを得
る第４工程と、第４工程で得られた複合ブロックの一対
（この各々も磁気ヘッドコア部片と称する。）、または
、前記複合ブロックを前記金属磁性薄板の板面と前記補
強ブロックの第２の面に直交する面に治ってほぼ同形の
直方体に２分割して得られた一対の磁気ヘッドコア部片
の前記金属磁性薄板端面が同形に現われている面をギャ
ップ構成面とし、該ギャップ構成面を鏡面研磨する第５
工程と、第５工程で得られた一対の磁気ヘッドコア部片
の少なくとも一方の前記ギャップ構成面の所定位置に該
ギャップ構成面に現われている前記金属磁性薄板端面に
直角々コイル巻線用窓となるべき溝を形成する第６エ程
と、第６二［程で得られた前記一対の磁気ヘッドコア部
片同志を前記ギャップ構成面に現われている前記金属磁
性薄板の端面同志が精確に相対峙するようにして低融点
ガラス等の接着材層を介して接合させて磁気ヘッドコア
ブロックを得る第７エ程と、第７エ程で得られた磁気ヘ
ッドブロックを前記金属磁性薄板を間に挾んで前記補強
ブロック部分から所定厚さに切断して磁気ヘッドを得る
第８工程とを含むことを特徴とする磁気ヘッドの製造方
法。２、特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘッドの製造方法
において、前記第５工程中に得られる前記一対の磁気ヘ
ッドコア部片のギャップ構成面を鏡面研磨する１）行に
、前記ギャップ構成面に現われている前記金属磁性薄板
の両側に所定間隔を置いて該金属磁性薄板端面に平行外
所定断面形状の溝を設け、該溝内に低融点ガラス等の非
磁性物質を充填する工程を設けることを特徴とする磁気
ヘッドの製造方法、。６　特許請求の範囲第１項または第２項記載の磁気ヘッ
ドの製造方法において、前記第３工程が前記補強ブロッ
クの第２の溝に前記金属磁性薄板の複数枚を重ねて挿入
するものであるとき、中間に挾まれた所定枚数の前記金
属磁性薄板はそのままとし、残余の両側にある前記金属
磁性薄板の前記第２の溝の上面側にくる中央部分に所定
幅、所定深さの切シ欠きを設けた形のものとして挿入す
ることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。４、特許請求の範囲第１項、第２項または第３項記載の
磁気ヘッドの製造方法において、前記第５工程における
前記ギャップ構成面の鏡面研磨工程を前記第６エ程と前
記第７エ程の間に挿入することを特徴とする磁気ヘッド
の製造方法。５、　特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘッドの製造方
法において、前記第１工程に用いる補強ブロックに非磁
性材でなく、高透磁率フェライト材を用い、前記第５工
程において、前記一対の磁気へノドコア部片を鏡面研磨
する前に、該各磁気ヘッドコア部片の磁気記録媒体対向
面となるべき面と前記ギヤツブ構、！面との交わる角部
の前記金属磁性薄板の両側に□゛接して所定トラック幅
に相当する厚さに該金属磁性薄板が残るように所定太さ
の切シ欠き溝を設け、該切シ欠き溝に低融点ガラス等の
非磁性物質を充填する工程を挿入することを特徴とする
磁気ヘッドの製造方法。６、　特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘッドの製造方
法において、前記第１工程に用いる補強ブロックに非磁
性材でなく、高透磁率フェライト材を用い、前記第４工
程で得られた複合ブロックを構成する前記補強ブロック
の第２の溝の両端角部の前記金属磁性薄板の両側に接す
るように所定トランク幅に相当する厚さに該磁性薄板が
残るように所定太さの切り欠き溝を設け、該切り欠き溝
に低融点ガラス等の非磁性物質を充填する工程を前記第
４工程と前記第５工程の間に挿入すると共に。前記第５工程は前記中間挿入工程を終った前記複合ブロ
ックを２分割して一対の磁気へノドコア部片とし、該磁
気へノドコア部片の前記切り欠き溝の現われている面を
ギャップ構成面としたものであることを特徴とする磁気
ヘッドの製造方法。７　特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘッドの製造方法
において、前記第１工程に用いる補強ブロックに非磁性
材でなく、高透磁率フェライト材を用い、前記第２工程
で前記補強ブロックに設けた第２の溝の中央部に該第２
の溝の幅より径が大きく、深さの浅い切り欠き穴を設け
る工程を前記第２工程と前記第３工程の間に挿入すると
共に。前記第３工程は前記切シ欠き穴にも前記第２の接着材を
充填す不工程とし、ついで前記第４工程を経た後の前記
第５工程は前記工程を終った前記複合ブロックを２分割
して一対の磁気ヘッドコア部片とし、該磁気へノドコア
部片の切断面を前記ギャップ構成面とするものであるこ
とを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。８、　特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘッドの製造方
法において、前記第１工程に用いる補強ブロックに非磁
性材でなく、高透磁率フェライト材を用い、前記第２工
程は前記補強ブロックの第２の面に前記第２の溝を設け
る前に、該第２の溝の両端に相当する該補強ブロックの
角部に該第２の溝の幅よシ広い幅をもった所定太さの切
り欠き溝を設け、該切り欠き溝に低融点ガラス等の非磁
性物質を充填した後前記第２の溝を設けるものとすると
共に前記第５工程は前記第４工程で得られた複合フロッ
クを２分割して一対の磁気ヘッドコア部片とし、該磁気
ヘッドコア部片の前記切り欠き溝の現われている面を前
記ギャップ構成面としだものであることを特徴とする磁
気へノドの製造方法。９、　特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘッドの製造方
法において、前記第１工程に用いる補強ブロックに非磁
性相でなく、高透磁率フェライト材を用い、前記第１工
程と前記第２工程との間に前記第２工程で設けるべき前
記補強ブロックの第２の溝の両端角部の両側となるべき
位置に少なくとも該第２の溝に辺部が接するような所定
太さの切り欠き溝を設けるか、あるいは、少なくとも該
第２の溝に辺部が接し、かつ該第２の溝に平行な所定太
さの溝を設ける工程を挿入したことを特徴とする磁気ヘ
ッドの製造方法。１０　　特許請求の範囲第５項記載の磁気へノドの製造
方法において、前記第５工程における前記切り欠き溝に
前記非磁性物質を充填する工程を前記第７エ程において
前記一対の磁気ヘッドコア部ハ同志を接合する際に同時
に行なうことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。１１、特許請求の範囲第６項記載の磁気ヘッドの製造方
法において、前記第４工程と前記第５工程の間に挿入し
た前記切り欠き溝に前記非磁性物質を充填する工程を前
記第７エ程において前記一対の磁気ヘッドコア部片同志
を接合する際に同時に行なうことを特徴とする磁気ヘッ
ドの製造方法。１２、特許請求の範囲第８項記載の磁気ヘットの製造方
法において、前記第２工程において前記補強ブロックに
設けた前記切り欠き溝に前記非磁性物質を充填する工程
を前記第７エ程において前記一対の磁気へノドコア部片
同志を接合する際に同時に行なうことを特徴とする磁気
ヘッドの製造方法。１５、特許請求の範囲：・第９項記載の磁気ヘッドの製
造方法において、前記第１工程と前記第２工程の間に挿
入した前記補強ブロックに設けた前記切り欠き溝あるい
は溝に非磁性物質を充填する工程を前記第７エ程におい
て前記一対の磁気ヘッドコア部片同志を接合する際に同
時に行なうことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。