JPS5841724A - 金属酸化被膜形成組成物 - Google Patents
金属酸化被膜形成組成物Info
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- JPS5841724A JPS5841724A JP13813681A JP13813681A JPS5841724A JP S5841724 A JPS5841724 A JP S5841724A JP 13813681 A JP13813681 A JP 13813681A JP 13813681 A JP13813681 A JP 13813681A JP S5841724 A JPS5841724 A JP S5841724A
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- metal oxide
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本１ＩＷＡは金属酸化被膜形成組成物、特に超音波ｌ化
被膜形成法により基板上に金属酸化被膜を形成せしめる
に適した組成物に関する。ガラス、七う亀ツク、金属呼
の耐熱性基体上に形成せしめた金属酸化被膜［Ｑ下「金
属酸化被膜」という。）はその種類により特有の電気特
性、光学特性、化学特性、および／または機械特性を有
し、導電膜、絶縁膜、配向膜、フオシマスク、アルカヲ
１止膜、熱線反射膜、紫外線吸収膜、ＩＩ絨的な保護膜
等、エレクトロニクス分野。
被膜形成法により基板上に金属酸化被膜を形成せしめる
に適した組成物に関する。ガラス、七う亀ツク、金属呼
の耐熱性基体上に形成せしめた金属酸化被膜［Ｑ下「金
属酸化被膜」という。）はその種類により特有の電気特
性、光学特性、化学特性、および／または機械特性を有
し、導電膜、絶縁膜、配向膜、フオシマスク、アルカヲ
１止膜、熱線反射膜、紫外線吸収膜、ＩＩ絨的な保護膜
等、エレクトロニクス分野。
光学機械会費を始めとする広範な分野において利用され
ている。一方、金属酸化被膜利用分野の多様化に伴い、
被ｌｌ［１１ｗ１．すなわち、酸化被膜に用いられ墨金
属原子の種類およびその組会せとの密着性等の改善はも
とより応用目的に応じた厚みに対する遥択の自自度も強
く要求されている。
ている。一方、金属酸化被膜利用分野の多様化に伴い、
被ｌｌ［１１ｗ１．すなわち、酸化被膜に用いられ墨金
属原子の種類およびその組会せとの密着性等の改善はも
とより応用目的に応じた厚みに対する遥択の自自度も強
く要求されている。
また、金属酸化被膜の形成方法も多様化してい°番が、
１槃的な方法としての膜性能と経済性とを同時に満足せ
しめる方法はな（、それぞれの方法？−よりその何れか
を犠牲にせざるを得ないのが現状である。良質の金属酸
化被膜な彫威せしめる方法の一つとして二超音故霧化被
ＩＩ形成法（時分１１１４８−３７７８１号、時分＠
６８−１１１５４１＄号）が知られている。該方法は、
酸化被膜を形成せしめる金属の無機または有機°の化金
物を単独に、または滉壷して水または有機溶剤の溶液（
以下、「被膜形成組成物」という、）とし、該被膜−滴
をキャリヤーガスに闘伴せしめ【その中に會まれ墨金属
化金物の分解温度以上の温度に加熱保持せしめた耐熱性
基体と接触せしめ、酸化分解と焼結とを該基体上で同時
に起宴せ、該基体上に種々の厚みを有する金属酸化被膜
を形成せしめる方法である。該方法は比較的簡単な装置
を用い簡単な操作により均質、かつ緻密な金属酸化被膜
を比較的広い膜厚範囲で形成せしめ得る点で、工業的に
応用、範囲の広い方法となり得ることが予ａＳれるが、
該方法に関する実施例は余り知られていないため、如何
なる化金物の如何なる溶液を被膜形−組成物として使用
すべきかについて知られていない部分が多い、たとえｇ
ｖＪ記の特公昭４１１−１７７８６号公報には、有機錫
（たとえは、低級１ルキルエステルなど）を使用し得る
ことが示唆されでいるものの、実施例として塩化錫のエ
タノール溶液が記ｌｌ″Ｓれているにすぎず、またｓ
＊ ’に紹８８−１！！８４８号公報には、金属酸化被
膜の一類については種々述べているが、被膜形成組成物
については、塩化鉄の水溶液が記＠されているのみであ
る。１９８０年覗；ジエ本−ブで閤かれたセミナーｒ
ＯＱＡ’ｒｌＮ３ＯＮ ＧＬＡ８８１９８０４において
超音波霧化被膜形成法が開示され、被膜形成組成物とし
て金属の１ルコラート類等の有機金属化合物、金属のク
ロライド類、クロライド類等の無機塩の使用が示唆され
たが、具体的には、Ａノのイソプロポキシドのブタノー
ル溶液、Ｔ１オよびＺｒのブトキナイドのブタノール−
アセチルアセトン溶液についての実施例が提示されてい
るに過ぎない。
１槃的な方法としての膜性能と経済性とを同時に満足せ
しめる方法はな（、それぞれの方法？−よりその何れか
を犠牲にせざるを得ないのが現状である。良質の金属酸
化被膜な彫威せしめる方法の一つとして二超音故霧化被
ＩＩ形成法（時分１１１４８−３７７８１号、時分＠
６８−１１１５４１＄号）が知られている。該方法は、
酸化被膜を形成せしめる金属の無機または有機°の化金
物を単独に、または滉壷して水または有機溶剤の溶液（
以下、「被膜形成組成物」という、）とし、該被膜−滴
をキャリヤーガスに闘伴せしめ【その中に會まれ墨金属
化金物の分解温度以上の温度に加熱保持せしめた耐熱性
基体と接触せしめ、酸化分解と焼結とを該基体上で同時
に起宴せ、該基体上に種々の厚みを有する金属酸化被膜
を形成せしめる方法である。該方法は比較的簡単な装置
を用い簡単な操作により均質、かつ緻密な金属酸化被膜
を比較的広い膜厚範囲で形成せしめ得る点で、工業的に
応用、範囲の広い方法となり得ることが予ａＳれるが、
該方法に関する実施例は余り知られていないため、如何
なる化金物の如何なる溶液を被膜形−組成物として使用
すべきかについて知られていない部分が多い、たとえｇ
ｖＪ記の特公昭４１１−１７７８６号公報には、有機錫
（たとえは、低級１ルキルエステルなど）を使用し得る
ことが示唆されでいるものの、実施例として塩化錫のエ
タノール溶液が記ｌｌ″Ｓれているにすぎず、またｓ
＊ ’に紹８８−１！！８４８号公報には、金属酸化被
膜の一類については種々述べているが、被膜形成組成物
については、塩化鉄の水溶液が記＠されているのみであ
る。１９８０年覗；ジエ本−ブで閤かれたセミナーｒ
ＯＱＡ’ｒｌＮ３ＯＮ ＧＬＡ８８１９８０４において
超音波霧化被膜形成法が開示され、被膜形成組成物とし
て金属の１ルコラート類等の有機金属化合物、金属のク
ロライド類、クロライド類等の無機塩の使用が示唆され
たが、具体的には、Ａノのイソプロポキシドのブタノー
ル溶液、Ｔ１オよびＺｒのブトキナイドのブタノール−
アセチルアセトン溶液についての実施例が提示されてい
るに過ぎない。
しかしながら、前記したアルコキシド類は、加水分解性
が太き（酸化被膜形成にあたり、キャリヤーガス中の水
分を管廻しなければ良質の酸化被膜が得られないばかり
でなく、被膜形成組成物自体の安定性が悪い欠陥を有し
ている。すなわち、金属アルコキシド類の安定性のため
に加えられたアルコールおよび／またはアセチルアセト
ンは空気中の湿気を吸！溶解することにより、該溶液中
に含まれる金属アルコキシド類の加水分解を促進し、被
膜形成組成物の安定性が劣化するばかりでな（高温の基
体に接近した場合、有機溶剤の揮散により相対的に霧滴
中の金属アルコキシ基類および溶解水分の濃度かたかま
り、かつ、高温にさらされるため霧滴中の該金属アルコ
キシ基は粉体ないし白濁するまでに加水分解が進行し、
Ｓ化、搬送、基体温度等の条件によっては被膜が形成し
ても白濁し絢−１かつ緻密な被膜を形成せしめることが
できな（なる。
が太き（酸化被膜形成にあたり、キャリヤーガス中の水
分を管廻しなければ良質の酸化被膜が得られないばかり
でなく、被膜形成組成物自体の安定性が悪い欠陥を有し
ている。すなわち、金属アルコキシド類の安定性のため
に加えられたアルコールおよび／またはアセチルアセト
ンは空気中の湿気を吸！溶解することにより、該溶液中
に含まれる金属アルコキシド類の加水分解を促進し、被
膜形成組成物の安定性が劣化するばかりでな（高温の基
体に接近した場合、有機溶剤の揮散により相対的に霧滴
中の金属アルコキシ基類および溶解水分の濃度かたかま
り、かつ、高温にさらされるため霧滴中の該金属アルコ
キシ基は粉体ないし白濁するまでに加水分解が進行し、
Ｓ化、搬送、基体温度等の条件によっては被膜が形成し
ても白濁し絢−１かつ緻密な被膜を形成せしめることが
できな（なる。
本発明者等は銀書波霧化被膜形成法による金属酸化被膜
の形成に関し、鋭意研究の結果、以下に述べる有機金属
化合物を金属酸化被膜形成成分として含有する有機溶剤
溶液を被膜形成組成物として用いることにより、従来の
欠点を排除し、通常の霧化、搬送の条件はもとより、広
い範囲の基体温度において良質の金属酸化被―が得られ
ることを見出し本発明を完成した０本発明は超音波謹化
被ｌＩ彫威法による金属酸化被膜の形成において安定性
に優れ、かつ良質の金属酸化被膜の得られる金属酸化被
膜形成組成物を操供することを間約とする。
の形成に関し、鋭意研究の結果、以下に述べる有機金属
化合物を金属酸化被膜形成成分として含有する有機溶剤
溶液を被膜形成組成物として用いることにより、従来の
欠点を排除し、通常の霧化、搬送の条件はもとより、広
い範囲の基体温度において良質の金属酸化被―が得られ
ることを見出し本発明を完成した０本発明は超音波謹化
被ｌＩ彫威法による金属酸化被膜の形成において安定性
に優れ、かつ良質の金属酸化被膜の得られる金属酸化被
膜形成組成物を操供することを間約とする。
本発明は、一般式〔１〕
Ｍ・（ＯＲ）ｍ−Ｘ（ｎ−ｍ） ”・・（１）で表わ
される有機金属化合物の単量体および／または多量体、
ならびに 一般式（１） ％式％（１） で表わされる金属のアルコキシ基類と水との反応で得ら
れる平均分子量ｓ、ｏ ｏ ｏ以下の縮重合物の群から
遥ばれた１種もしくは２種以上の有機金属化合物を金属
酸化被膜形成成分として有機溶剤に會有せし、めで成る
ことを特徴とする超青妓謹化被膜形成法用の金属酸化被
膜形成組成物である。
される有機金属化合物の単量体および／または多量体、
ならびに 一般式（１） ％式％（１） で表わされる金属のアルコキシ基類と水との反応で得ら
れる平均分子量ｓ、ｏ ｏ ｏ以下の縮重合物の群から
遥ばれた１種もしくは２種以上の有機金属化合物を金属
酸化被膜形成成分として有機溶剤に會有せし、めで成る
ことを特徴とする超青妓謹化被膜形成法用の金属酸化被
膜形成組成物である。
本発明において、一般式〔Ｄ中のＭは、Ａｊ、ＴＩおよ
びＺｒの群から遥ばれた１種の金属原子を表し、Ｒは炭
素数１〜８の同種もしくは異種の１ルキル基を表し、Ｘ
は金属原子Ｍとキレート環を形成し得る一般式Ｘ−ＨＪ
（ことにＩは１または２を表す。）で表わされる有機
化合物の同種または異種の残基を表し、ｎは金属原子Ｍ
の原子価１ｍは０または１ないし１１−１の整数である
。また、一般式ω中におけるＭ、Ｒおよびｎは前記と同
じ意味を表す。
びＺｒの群から遥ばれた１種の金属原子を表し、Ｒは炭
素数１〜８の同種もしくは異種の１ルキル基を表し、Ｘ
は金属原子Ｍとキレート環を形成し得る一般式Ｘ−ＨＪ
（ことにＩは１または２を表す。）で表わされる有機
化合物の同種または異種の残基を表し、ｎは金属原子Ｍ
の原子価１ｍは０または１ないし１１−１の整数である
。また、一般式ω中におけるＭ、Ｒおよびｎは前記と同
じ意味を表す。
一般式の中のＸを表す、一般式Ｘ−Ｈｊで表わされる有
機化合物とは、アセチルアセトン、メチルアセトアセテ
ート、エチルアセトアセテート、炭素数２〜１８の飽和
または不飽和の★ルボン酸類、たとえば酢酸、プロピオ
ン酸、酪酸、ラクデン酸、ステ１ｇン酸、アクツル酸、
メタクリル酸、ククトン酸、マレイン酸、フマル酸等、
ヒドロキシカルボｙ酸類たとえば乳酸、ブリセラｙ酸、
９７ゴ酸等、グリコール類たとえばエチレングツブール
、プロピレングリブール、オクチレｙグツプール等、お
よびアミン類、たとえばトデエタノール１ｔン等、金属
原子Ｍとキレート環を形成し得る有機化合物顛である。
機化合物とは、アセチルアセトン、メチルアセトアセテ
ート、エチルアセトアセテート、炭素数２〜１８の飽和
または不飽和の★ルボン酸類、たとえば酢酸、プロピオ
ン酸、酪酸、ラクデン酸、ステ１ｇン酸、アクツル酸、
メタクリル酸、ククトン酸、マレイン酸、フマル酸等、
ヒドロキシカルボｙ酸類たとえば乳酸、ブリセラｙ酸、
９７ゴ酸等、グリコール類たとえばエチレングツブール
、プロピレングリブール、オクチレｙグツプール等、お
よびアミン類、たとえばトデエタノール１ｔン等、金属
原子Ｍとキレート環を形成し得る有機化合物顛である。
本発明において、一般式■で表わされる有機金属化合物
は一般式■で表わされる金属原子Ｍのメトキシド、エト
キシド、イソプロポキシド、ブトキシＦ、ベントキシド
、ヘキシルオキシド等、およびこれらの３種以上の異種
アルコキシ基を有する 。
は一般式■で表わされる金属原子Ｍのメトキシド、エト
キシド、イソプロポキシド、ブトキシＦ、ベントキシド
、ヘキシルオキシド等、およびこれらの３種以上の異種
アルコキシ基を有する 。
誉午餐豊アルコキシＦ類のアルコキシ基の１部または全
部を前記一般式Ｘ−Ｈｊで表わされる有機化合物の残基
Ｘで置換せしめた有機金属化合物類で、これらの単量体
および／または多量体である。これらの有機金属化金物
類は、製造方法、溶剤の種類等により単量体もしくは多
量体として存在する。今一つの金属酸化被膜形成成分は
前記金属原子Ｍのアルコキシ基類と水との反応で得られ
る繰返しの構成二ニットが一般式００ ％式％（１） （ここにＭ％Ｒおよびｎは前記と同じ意味を表し、ｍは
１ないしくａ−１）の整数を表す、）で表わされる金属
原子ＭのオキＶアルプキシド類の前記構成エエットの繰
□返し数が２′〜２０であり、かつ、平均分子量ｓ、ｏ
ｏ ｏ以下の縮重合物である０本発明において被膜形
成組成物中の被膜形成成分は前記有機金属化金物類のう
ち有機溶剤溶液の化合物類である。一方の組成物である
有機溶剤は、メタノール、エタノール、インプロパツー
ル、ブタノール岬の炭素数１ないし４のアルコール類、
メチルアセテート、エチルアセテート等の炭素数３〜６
のアルキル酢酸エステル類、メチルアセトアセテート、
エチルア４）アセテート等の炭素数Ｓ〜６の１ルキルア
セト酢酸エステル類および１セチルアセトンの群から遥
ばれた１種の溶剤もしくは２種以上の部会溶剤である０
本発明の被膜形成組成物は前記有機金属化金物の１種も
しくは２種以上を金属酸化被膜形成成分として使用する
溶剤への溶解度以下、好ましく紘１０−以下、さらに好
ましくは３〜６−會有せしめた前記有機溶剤溶液で今る
。有機金属化金物の２種以上な會有すしめる場合には、
異種金属の同種もしくは異種置換基を有する有機金属化
金物を含有せしめることができ、また同種金属の異種置
換基を有する有機金属を含有せしめることができる。さ
らに、前記金属Ｍ以外の金属の同種もしくは異種置換基
を有する有機金属化金物をドープ剤等としで含有せしめ
ることもできる。本発明の被膜形成組成物において、金
属酸化被膜形成成分である前記有機金属化合物類は酸素
含有気流中種；おいて２００℃以上の温度まで安定であ
り、かつ、該化合物に特有の温度において急激に分解し
、金属酸化物を主成分とする被膜を基体上に形成する。
部を前記一般式Ｘ−Ｈｊで表わされる有機化合物の残基
Ｘで置換せしめた有機金属化合物類で、これらの単量体
および／または多量体である。これらの有機金属化金物
類は、製造方法、溶剤の種類等により単量体もしくは多
量体として存在する。今一つの金属酸化被膜形成成分は
前記金属原子Ｍのアルコキシ基類と水との反応で得られ
る繰返しの構成二ニットが一般式００ ％式％（１） （ここにＭ％Ｒおよびｎは前記と同じ意味を表し、ｍは
１ないしくａ−１）の整数を表す、）で表わされる金属
原子ＭのオキＶアルプキシド類の前記構成エエットの繰
□返し数が２′〜２０であり、かつ、平均分子量ｓ、ｏ
ｏ ｏ以下の縮重合物である０本発明において被膜形
成組成物中の被膜形成成分は前記有機金属化金物類のう
ち有機溶剤溶液の化合物類である。一方の組成物である
有機溶剤は、メタノール、エタノール、インプロパツー
ル、ブタノール岬の炭素数１ないし４のアルコール類、
メチルアセテート、エチルアセテート等の炭素数３〜６
のアルキル酢酸エステル類、メチルアセトアセテート、
エチルア４）アセテート等の炭素数Ｓ〜６の１ルキルア
セト酢酸エステル類および１セチルアセトンの群から遥
ばれた１種の溶剤もしくは２種以上の部会溶剤である０
本発明の被膜形成組成物は前記有機金属化金物の１種も
しくは２種以上を金属酸化被膜形成成分として使用する
溶剤への溶解度以下、好ましく紘１０−以下、さらに好
ましくは３〜６−會有せしめた前記有機溶剤溶液で今る
。有機金属化金物の２種以上な會有すしめる場合には、
異種金属の同種もしくは異種置換基を有する有機金属化
金物を含有せしめることができ、また同種金属の異種置
換基を有する有機金属を含有せしめることができる。さ
らに、前記金属Ｍ以外の金属の同種もしくは異種置換基
を有する有機金属化金物をドープ剤等としで含有せしめ
ることもできる。本発明の被膜形成組成物において、金
属酸化被膜形成成分である前記有機金属化合物類は酸素
含有気流中種；おいて２００℃以上の温度まで安定であ
り、かつ、該化合物に特有の温度において急激に分解し
、金属酸化物を主成分とする被膜を基体上に形成する。
したがって、該金属酸化被膜形成成分である前記有機金
属化合物類は、超音波霧化被膜形成法における３００℃
以上の温度に保持せしめた耐熱性基体上で酸化分解（加
水分解と脱水噛合とが併記する場合を含む、以下同じ）
と、分解生成物の焼結とを同時に行わしめるか、または
焼結は別に行うとして一次的に酸化分解を行わしめる条
件を充足する。一方、組成物の他の成分である有機溶剤
は超音波霧化被膜形成法における霧化条件、特に超音波
を作用せしめて生成する霧滴の平均粒径に及ぼす因子で
ある組成物の密度、および表面張力を−１する。したが
って、一方の組成成分である有機金属化合物の種類およ
び濃度舊二より興るが、前記有機溶剤の単独もしくは２
種以上の部会溶剤を用いることにより、所望の平均粒径
の組成物の霧滴を得ることができる。
属化合物類は、超音波霧化被膜形成法における３００℃
以上の温度に保持せしめた耐熱性基体上で酸化分解（加
水分解と脱水噛合とが併記する場合を含む、以下同じ）
と、分解生成物の焼結とを同時に行わしめるか、または
焼結は別に行うとして一次的に酸化分解を行わしめる条
件を充足する。一方、組成物の他の成分である有機溶剤
は超音波霧化被膜形成法における霧化条件、特に超音波
を作用せしめて生成する霧滴の平均粒径に及ぼす因子で
ある組成物の密度、および表面張力を−１する。したが
って、一方の組成成分である有機金属化合物の種類およ
び濃度舊二より興るが、前記有機溶剤の単独もしくは２
種以上の部会溶剤を用いることにより、所望の平均粒径
の組成物の霧滴を得ることができる。
本発明の被膜形成組成物を用いて超音波霧化被膜形成法
により金属酸化被膜を形成せしめる暑二は、超音ＷＩＩ
Ｉ化装置の容器内のまたは該容器から滝出する該被膜形
成組成物に超音波を作用せしめて霧滴を発生せしめ、該
霧滴を適宜のキャヲヤーガスに同伴せしめ咳被膜形成装
置内においｃ ｓｏｏ℃以上の温度１；保持せしめられ
た耐熱性基体に接触せしめることにより、該基体上暑二
厚さ２００〜ｌ０Ｊ）Ｇｏλの緻密な金属酸化被膜が形
成されるか％または―結前の被膜が形成され、後者の鳩
舎引−き焼結部層を行うことにより金属酸化被膜が形成
される。
により金属酸化被膜を形成せしめる暑二は、超音ＷＩＩ
Ｉ化装置の容器内のまたは該容器から滝出する該被膜形
成組成物に超音波を作用せしめて霧滴を発生せしめ、該
霧滴を適宜のキャヲヤーガスに同伴せしめ咳被膜形成装
置内においｃ ｓｏｏ℃以上の温度１；保持せしめられ
た耐熱性基体に接触せしめることにより、該基体上暑二
厚さ２００〜ｌ０Ｊ）Ｇｏλの緻密な金属酸化被膜が形
成されるか％または―結前の被膜が形成され、後者の鳩
舎引−き焼結部層を行うことにより金属酸化被膜が形成
される。
本発明の金属酸化被膜形成成分は、超音波霧化被膜形成
法により耐熱性基体上に金属酸化被膜を形成せしめる場
合、下記の特徴な有する。
法により耐熱性基体上に金属酸化被膜を形成せしめる場
合、下記の特徴な有する。
イ 平均粒径が緻−と微細な、かつ１粒径分布の狭い安
定した被膜形成組成物の霧滴が得られる。
定した被膜形成組成物の霧滴が得られる。
ロ 酸化分解温度昼下では霧滴中で安定に存在し、かつ
、高温に保持された基体上において完全分解して金属酸
化被膜を形成せしめるか、または、さらに高温の焼結に
より高性能の金属酸化被膜を与えるような酸化分解被膜
を形成する。
、高温に保持された基体上において完全分解して金属酸
化被膜を形成せしめるか、または、さらに高温の焼結に
より高性能の金属酸化被膜を与えるような酸化分解被膜
を形成する。
＾ 得られる金属酸化被膜は緻密であり、かつ。
化学的にも機械的にも均質である。
二 所望の２種以上の異種金属の有機化合物を含有する
被膜形成組成物を用いることにより所望の組成の金属酸
化組成物被膜を得ることができる。
被膜形成組成物を用いることにより所望の組成の金属酸
化組成物被膜を得ることができる。
本発明の被膜形成組成物は、超音波霧化被膜形成法ばか
りでなくディッピング法、スプレー法、スビＶｔ″−法
、ロールコート法等溶液状の被膜形成組成物を使用する
金属酸化被膜形成法においても使用でき、良質の金属酸
化被膜を得ることができる。
りでなくディッピング法、スプレー法、スビＶｔ″−法
、ロールコート法等溶液状の被膜形成組成物を使用する
金属酸化被膜形成法においても使用でき、良質の金属酸
化被膜を得ることができる。
本発明は、超音波霧化被膜形成法により、基板上に隷書
な、かつ、均質な金属酸化被膜を形成し得る金属酸化被
膜形成組成物を提供するものであり、本発明の被膜形成
組成物を用いることにより、超音波霧化被膜形成法によ
って、従来得られなかった高性能の各種金属の酸化被膜
を得ることが可能となった。
な、かつ、均質な金属酸化被膜を形成し得る金属酸化被
膜形成組成物を提供するものであり、本発明の被膜形成
組成物を用いることにより、超音波霧化被膜形成法によ
って、従来得られなかった高性能の各種金属の酸化被膜
を得ることが可能となった。
以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明する。た
だし、本発明の範囲は下記実施例に限定されるものでは
ない。
だし、本発明の範囲は下記実施例に限定されるものでは
ない。
実施例 １゜
テトラブトキシチタンのブトキシ基のうちの２−を乳酸
残基で置換せしめて安定化した化合物Ｓ部、ブタノール
ーメデルアセテーＦａ）混合溶剤９５部とからなる被膜
形成組成物−を用い、発振周波数α８ＭＨｍ の超音
波霧化被膜形成装置Ｃ二よりガラス基板上に酸化ブタン
被膜を形成せしめた。銀音波鱒化により得られた平均粒
径５〜６＠１１ｍの被膜形成組成物の霧滴を空気をキャ
リヤーガスとして、あらかじめ４００℃の温度に保持さ
れたガラス基板上（二導くことにより該基板上に厚８５
００λの透明な酸化チタン被膜が形成された。形成され
た被膜は均質で硬く基板との接着力が大きく、かつ、高
屈折率を有する被膜であった。（ｎａ＝＊２・３） 実施例 ２ 実施例１で用いたと同一の超音ａＳ化被膜形成装置を用
い、添付第１表に示す被膜形成組成物を用いて基体上に
金属酸化被膜を形成せしめた。使用した被膜形成組成物
および得られた金属酸化被膜の特性を第１表に示す。
残基で置換せしめて安定化した化合物Ｓ部、ブタノール
ーメデルアセテーＦａ）混合溶剤９５部とからなる被膜
形成組成物−を用い、発振周波数α８ＭＨｍ の超音
波霧化被膜形成装置Ｃ二よりガラス基板上に酸化ブタン
被膜を形成せしめた。銀音波鱒化により得られた平均粒
径５〜６＠１１ｍの被膜形成組成物の霧滴を空気をキャ
リヤーガスとして、あらかじめ４００℃の温度に保持さ
れたガラス基板上（二導くことにより該基板上に厚８５
００λの透明な酸化チタン被膜が形成された。形成され
た被膜は均質で硬く基板との接着力が大きく、かつ、高
屈折率を有する被膜であった。（ｎａ＝＊２・３） 実施例 ２ 実施例１で用いたと同一の超音ａＳ化被膜形成装置を用
い、添付第１表に示す被膜形成組成物を用いて基体上に
金属酸化被膜を形成せしめた。使用した被膜形成組成物
および得られた金属酸化被膜の特性を第１表に示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、一般式（１〕 Ｍ・（ＯＲ）ｍ−Ｘ（ｍ−ｍ ・・・・・（１）（こ
こにＭは、Ａｊ、ＴｉおよびＺｒの群から選ばれた１種
の金属原子 Ｒは、炭素数１〜８の同種または異種 のアルキル基 Ｘは、金属原子Ｍとキレート環を形成 し得る一般式ＸΦＨＪＩ （ここにｊは１または２で
ある。）で表わされ る有機化合物の同種または異種の 残基 ｎは、金属原子Ｍの原子価 ｍは、Ｏまたは１ないし１１−１の整数を表す、） で表わされる有機化合物の単量体および／または・多量
体ならびに 一般式（１） ％式％ （ここにＭ、Ｒおよびｎは１記と同じ意味を表す。） で表わされる金属原子ＭのアルプキνＦ−と水との反応
で□得られる平均分子量ｓ、ｏｏｏ以下め縮重合物の群
から遥ばれた１種もしくは２種以上の有機・金属化合物
を金属酸化被膜形成成分として、有機溶剤に含有せしめ
て成ることを特徴とす、る超音波−化被膜形成法用の金
属酸化被膜形成組成物。 ２、一般式〔Ｄ中のＸを表す、一般式Ｘ−Ｈｊで表わさ
れる有機化合物が、アセチ゛ルアセトン＝メチル１セト
アセテート、エテルアセトアセテート、炭素数１〜１８
の飽和または不飽和のカルボン酸類、ヒドロキシカルボ
ン酸類、グ９コール類およびアミン類の群°から選ばれ
た１口たは２Ｎ以上である特許請求の範囲第１項記載の
被膜形成組成物。 ３□ 有機溶剤が炭素数１〜４のアルコール類、チルア
セ）ｙの群から選ばれた溶剤の単独もしくは２種以上の
混合溶剤である特許請求の範囲第１項記載の被膜形成組
成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13813681A JPS5841724A (ja) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | 金属酸化被膜形成組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13813681A JPS5841724A (ja) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | 金属酸化被膜形成組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5841724A true JPS5841724A (ja) | 1983-03-11 |
Family
ID=15214829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13813681A Pending JPS5841724A (ja) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | 金属酸化被膜形成組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5841724A (ja) |
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- 1981-09-02 JP JP13813681A patent/JPS5841724A/ja active Pending
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