JPS58191635U - 縦形気相成長装置 - Google Patents
縦形気相成長装置Info
- Publication number
- JPS58191635U JPS58191635U JP15213782U JP15213782U JPS58191635U JP S58191635 U JPS58191635 U JP S58191635U JP 15213782 U JP15213782 U JP 15213782U JP 15213782 U JP15213782 U JP 15213782U JP S58191635 U JPS58191635 U JP S58191635U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor phase
- phase growth
- growth apparatus
- gas mixer
- vertical vapor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の縦形気相成長装置の反応容器模 一式図
、第２図はこの考案による縦形気相成長装置の反応容器
模式図、第３図はこの考案の装置に用いたガス混合器平
面図、第４図はガス混合器の設置位置と気相成長層厚さ
のウェハ内バラッ牛との関係を表わす厚さ分布図である
。
、第２図はこの考案による縦形気相成長装置の反応容器
模式図、第３図はこの考案の装置に用いたガス混合器平
面図、第４図はガス混合器の設置位置と気相成長層厚さ
のウェハ内バラッ牛との関係を表わす厚さ分布図である
。
Claims (1)
- 反応容器内に原料ガスを導くノズル、この容器内に配置
され上面に試料を載置するための支持台、及びこの支持
台上方でノズル下方に配置されるガス混合器を備える縦
形気相成長装置に於いて、この反応容器は、内壁周面に
突設された複数の突起群を段状に分布させ、ガス混合器
は、これ等各段の突起群にそれぞれ対応するように周面
が切り欠かれていることによりガス混合器を反応容器内
の可変水平位置に′着脱自在に設置させることを特徴と
する縦形気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15213782U JPS58191635U (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | 縦形気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15213782U JPS58191635U (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | 縦形気相成長装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58191635U true JPS58191635U (ja) | 1983-12-20 |
Family
ID=30101787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15213782U Pending JPS58191635U (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | 縦形気相成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58191635U (ja) |
-
1982
- 1982-10-08 JP JP15213782U patent/JPS58191635U/ja active Pending
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