JPS5887874U - 気相成長用ボ−ト - Google Patents
気相成長用ボ−トInfo
- Publication number
- JPS5887874U JPS5887874U JP18336781U JP18336781U JPS5887874U JP S5887874 U JPS5887874 U JP S5887874U JP 18336781 U JP18336781 U JP 18336781U JP 18336781 U JP18336781 U JP 18336781U JP S5887874 U JPS5887874 U JP S5887874U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor phase
- phase growth
- base
- growth boat
- boat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、横形気相成長装置およびこれに使用した従来
の気相成長用ボートの断面図、第２図は、この考案に係
る気相成長用ボートの一例を示す断面図である。 ４ａ、 ４ｂ・・・原料、８・・・基台、８ａ・・・
凹部、９・・・原料溜め器。なお、図中、同一符号は、
同一もしくは相当部分を示す。
の気相成長用ボートの断面図、第２図は、この考案に係
る気相成長用ボートの一例を示す断面図である。 ４ａ、 ４ｂ・・・原料、８・・・基台、８ａ・・・
凹部、９・・・原料溜め器。なお、図中、同一符号は、
同一もしくは相当部分を示す。
Claims (1)
- 基台と、この基台上にスライド可能に設定された底壁開
口の原料溜め器とを備え、上記原料溜め器が対向位置ま
でスライドされた際に該溜め器から一定量になるまで原
料を受けとる凹部を上記基台上に形成した気相成長用ボ
ート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18336781U JPS5887874U (ja) | 1981-12-08 | 1981-12-08 | 気相成長用ボ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18336781U JPS5887874U (ja) | 1981-12-08 | 1981-12-08 | 気相成長用ボ−ト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5887874U true JPS5887874U (ja) | 1983-06-14 |
Family
ID=29982563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18336781U Pending JPS5887874U (ja) | 1981-12-08 | 1981-12-08 | 気相成長用ボ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5887874U (ja) |
-
1981
- 1981-12-08 JP JP18336781U patent/JPS5887874U/ja active Pending
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