JPS60132459U - 気相成長装置 - Google Patents
気相成長装置Info
- Publication number
- JPS60132459U JPS60132459U JP9708384U JP9708384U JPS60132459U JP S60132459 U JPS60132459 U JP S60132459U JP 9708384 U JP9708384 U JP 9708384U JP 9708384 U JP9708384 U JP 9708384U JP S60132459 U JPS60132459 U JP S60132459U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor phase
- phase growth
- growth equipment
- equipment
- tiltable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例の断面図、第２図は本考案の一実施例の
断面図である。 １１・・・反応容器、１１Ａ・・・フランジ、１１Ｂ・
・・反応室、１３・・・パツキン材、２１・・・連結部
材、２２・・・昇降装置、２３・・・アーム。
断面図である。 １１・・・反応容器、１１Ａ・・・フランジ、１１Ｂ・
・・反応室、１３・・・パツキン材、２１・・・連結部
材、２２・・・昇降装置、２３・・・アーム。
Claims (1)
- パンケーキ型の気相成長装置において、基台とにより反
応室を形成する反応容器を昇降装置に対して傾動可能に
設けたことを特徴とする縦型気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9708384U JPS60132459U (ja) | 1984-06-28 | 1984-06-28 | 気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9708384U JPS60132459U (ja) | 1984-06-28 | 1984-06-28 | 気相成長装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60132459U true JPS60132459U (ja) | 1985-09-04 |
Family
ID=30656609
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9708384U Pending JPS60132459U (ja) | 1984-06-28 | 1984-06-28 | 気相成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60132459U (ja) |
-
1984
- 1984-06-28 JP JP9708384U patent/JPS60132459U/ja active Pending
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