JPS59169368U - 液相エピタキシヤル成長装置 - Google Patents
液相エピタキシヤル成長装置Info
- Publication number
- JPS59169368U JPS59169368U JP6318683U JP6318683U JPS59169368U JP S59169368 U JPS59169368 U JP S59169368U JP 6318683 U JP6318683 U JP 6318683U JP 6318683 U JP6318683 U JP 6318683U JP S59169368 U JPS59169368 U JP S59169368U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- raw material
- crucible
- liquid phase
- epitaxial growth
- material melt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例の断面概略図、第２図はルツ
ボの構造を示す断面図、第３図は典型的原料治具の構成
を示す斜視図、第４図は本考案による装置を用いて、エ
ピタキシャル層を成長せしめる一例のプロセスを説明す
るための説明図である。 １・・・・・・支持ホルダ、２・・・・・・基板、３・
・・・・・原料融液槽、５・・・・・・電気炉、６・・
・・・・反応管、７・・・・・・成長用ルツボ、８・・
・・・・原料治具、１２・・・・・・シャッター、１３
・・・・・・原料注入口。
ボの構造を示す断面図、第３図は典型的原料治具の構成
を示す斜視図、第４図は本考案による装置を用いて、エ
ピタキシャル層を成長せしめる一例のプロセスを説明す
るための説明図である。 １・・・・・・支持ホルダ、２・・・・・・基板、３・
・・・・・原料融液槽、５・・・・・・電気炉、６・・
・・・・反応管、７・・・・・・成長用ルツボ、８・・
・・・・原料治具、１２・・・・・・シャッター、１３
・・・・・・原料注入口。
Claims (1)
- 縦型の電気炉に反応管を設け、この反応管内に、回転上
下可能な基板ホルダ及びこの基板ホルダに支持される基
板と接触する原料融液を保持するための成長用ルツボを
備えた液相エピタキシャル成長装置において、前記原料
融液を注入するための原料注入口を有する前記成長ルツ
ボの外側に複数の原料融液槽を備えた原料治具を嵌合し
、前記治具あるいはルツボを回転せしめることによって
、前記ルツボの原料注入口が原料融液槽に対し、開閉す
るようにするとともに、前記基板ホルダと成長用ルツボ
の間に開閉可能なシャッターを設けたことを特徴とする
液相エピキシャル成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6318683U JPS59169368U (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | 液相エピタキシヤル成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6318683U JPS59169368U (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | 液相エピタキシヤル成長装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59169368U true JPS59169368U (ja) | 1984-11-13 |
| JPS6120041Y2 JPS6120041Y2 (ja) | 1986-06-17 |
Family
ID=30193378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6318683U Granted JPS59169368U (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | 液相エピタキシヤル成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59169368U (ja) |
-
1983
- 1983-04-27 JP JP6318683U patent/JPS59169368U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6120041Y2 (ja) | 1986-06-17 |
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