JPS60373U - 単結晶引上装置 - Google Patents
単結晶引上装置Info
- Publication number
- JPS60373U JPS60373U JP9312383U JP9312383U JPS60373U JP S60373 U JPS60373 U JP S60373U JP 9312383 U JP9312383 U JP 9312383U JP 9312383 U JP9312383 U JP 9312383U JP S60373 U JPS60373 U JP S60373U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- pulling device
- crystal pulling
- crystal
- molten
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来の結晶引上装置の概略を示す断面図、第2
図は本考案の実施例の概略を示す断面図である。図にお
いて 1・・・・・・カーボン坩堝、2・・・・・・坩堝、3
・・・・・・単結晶、4・・・・・・種子結晶、5・・
・・・・溶融体、6・・・・・・固液界面、7・・・・
・・円筒、8・・・・・・円筒7の切り込み、9・・・
・・・円筒支持体、である。
図は本考案の実施例の概略を示す断面図である。図にお
いて 1・・・・・・カーボン坩堝、2・・・・・・坩堝、3
・・・・・・単結晶、4・・・・・・種子結晶、5・・
・・・・溶融体、6・・・・・・固液界面、7・・・・
・・円筒、8・・・・・・円筒7の切り込み、9・・・
・・・円筒支持体、である。
Claims (1)
- 回転しながら引上げられる単結晶の溶融体と反応しにく
い材質からなり前記単結晶の外径よりやや犬きい内径を
有する円筒と、この円筒を前記単結晶を中心にして前記
溶融体を入れた坩堝内に浸漬する円筒支持手段とを備え
ることを特徴とする単結晶引上装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9312383U JPS60373U (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 単結晶引上装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9312383U JPS60373U (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 単結晶引上装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60373U true JPS60373U (ja) | 1985-01-05 |
Family
ID=30223754
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9312383U Pending JPS60373U (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 単結晶引上装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60373U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5869020U (ja) * | 1981-10-29 | 1983-05-11 | コスモ石油株式会社 | 耐火性防食被覆体 |
WO2011074533A1 (ja) * | 2009-12-17 | 2011-06-23 | 昭和電工株式会社 | 単結晶引き上げ装置および単結晶引き上げ方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5425281A (en) * | 1977-07-27 | 1979-02-26 | Nec Corp | Single crystal pulling apparatus |
JPS5891097A (ja) * | 1981-11-24 | 1983-05-30 | Hitachi Ltd | 単結晶製造装置 |
-
1983
- 1983-06-17 JP JP9312383U patent/JPS60373U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5425281A (en) * | 1977-07-27 | 1979-02-26 | Nec Corp | Single crystal pulling apparatus |
JPS5891097A (ja) * | 1981-11-24 | 1983-05-30 | Hitachi Ltd | 単結晶製造装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5869020U (ja) * | 1981-10-29 | 1983-05-11 | コスモ石油株式会社 | 耐火性防食被覆体 |
JPS6123097Y2 (ja) * | 1981-10-29 | 1986-07-10 | ||
WO2011074533A1 (ja) * | 2009-12-17 | 2011-06-23 | 昭和電工株式会社 | 単結晶引き上げ装置および単結晶引き上げ方法 |
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