JPS6143274U - 単結晶育成装置 - Google Patents
単結晶育成装置Info
- Publication number
- JPS6143274U JPS6143274U JP12633784U JP12633784U JPS6143274U JP S6143274 U JPS6143274 U JP S6143274U JP 12633784 U JP12633784 U JP 12633784U JP 12633784 U JP12633784 U JP 12633784U JP S6143274 U JPS6143274 U JP S6143274U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- crystal growth
- growth equipment
- equipment
- parabolic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の単結晶育成装置の一実施態様の縦断側
面図、第２図は従来の単結晶育成装置を示す。 １・・・・・・ルツボ、２・・・・・・ルツボ内面、３
・・・・・・回転軸、４・・・・・・引上げ結晶、５・
・・・・・溶融液、６・・・・・・ルツボ保持台。
面図、第２図は従来の単結晶育成装置を示す。 １・・・・・・ルツボ、２・・・・・・ルツボ内面、３
・・・・・・回転軸、４・・・・・・引上げ結晶、５・
・・・・・溶融液、６・・・・・・ルツボ保持台。
Claims (1)
- ルツボ内面形状を円錐形状、放物体形状または半楕円形
状とし、これを軸を中心として回転するように構成した
回転ルツボを用いたものからなるトップシーデイング単
結晶育成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12633784U JPS6143274U (ja) | 1984-08-20 | 1984-08-20 | 単結晶育成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12633784U JPS6143274U (ja) | 1984-08-20 | 1984-08-20 | 単結晶育成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6143274U true JPS6143274U (ja) | 1986-03-20 |
| JPH0410224Y2 JPH0410224Y2 (ja) | 1992-03-13 |
Family
ID=30685016
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12633784U Granted JPS6143274U (ja) | 1984-08-20 | 1984-08-20 | 単結晶育成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6143274U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5738398A (en) * | 1980-08-12 | 1982-03-03 | Toshiba Ceramics Co Ltd | Quartz glass crucible for pulling up silicon single crystal |
| JPS57188498A (en) * | 1981-05-15 | 1982-11-19 | Toshiba Ceramics Co Ltd | Quartz crucible for pulling up silicon single crystal |
| JPS57191295A (en) * | 1981-04-29 | 1982-11-25 | Philips Nv | Method of pulling out silicon rod and semiconductor device manufactured therefrom |
-
1984
- 1984-08-20 JP JP12633784U patent/JPS6143274U/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5738398A (en) * | 1980-08-12 | 1982-03-03 | Toshiba Ceramics Co Ltd | Quartz glass crucible for pulling up silicon single crystal |
| JPS57191295A (en) * | 1981-04-29 | 1982-11-25 | Philips Nv | Method of pulling out silicon rod and semiconductor device manufactured therefrom |
| JPS57188498A (en) * | 1981-05-15 | 1982-11-19 | Toshiba Ceramics Co Ltd | Quartz crucible for pulling up silicon single crystal |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0410224Y2 (ja) | 1992-03-13 |
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