JPS5954572U - 単結晶引上装置 - Google Patents

単結晶引上装置

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JPS5954572U
JPS5954572U JP14901882U JP14901882U JPS5954572U JP S5954572 U JPS5954572 U JP S5954572U JP 14901882 U JP14901882 U JP 14901882U JP 14901882 U JP14901882 U JP 14901882U JP S5954572 U JPS5954572 U JP S5954572U
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JP
Japan
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single crystal
crystal pulling
pulling device
pulling
stirring device
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JP14901882U
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JPS6118046Y2 (ja
Inventor
河崎 亮久
Original Assignee
住友電気工業株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は従来の単結晶引上装置の例を示す縦断面図であ
る。第2図および第3図はそれぞれ本考案の実施例を示
す図で、第2図は縦断面図、第3図は側面図である。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. (1)引上軸の下方に、該軸と共に回転し、種結晶の周
    りの封止剤融液を攪拌する攪拌装置を設けたことを特徴
    とする単結晶引上装置。
  2. (2)攪拌装置が、線状又は棒状のものより成り、シー
    ドチャックに取付けられたものである実用新案登録請求
    の範囲第1項記載の単結晶引上装置。
JP14901882U 1982-09-29 1982-09-29 単結晶引上装置 Granted JPS5954572U (ja)

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JP14901882U JPS5954572U (ja) 1982-09-29 1982-09-29 単結晶引上装置

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JP14901882U JPS5954572U (ja) 1982-09-29 1982-09-29 単結晶引上装置

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Publication Number Publication Date
JPS5954572U true JPS5954572U (ja) 1984-04-10
JPS6118046Y2 JPS6118046Y2 (ja) 1986-06-02

Family

ID=30330914

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JP14901882U Granted JPS5954572U (ja) 1982-09-29 1982-09-29 単結晶引上装置

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Publication number Publication date
JPS6118046Y2 (ja) 1986-06-02

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