JPS5954572U - 単結晶引上装置 - Google Patents
単結晶引上装置Info
- Publication number
- JPS5954572U JPS5954572U JP14901882U JP14901882U JPS5954572U JP S5954572 U JPS5954572 U JP S5954572U JP 14901882 U JP14901882 U JP 14901882U JP 14901882 U JP14901882 U JP 14901882U JP S5954572 U JPS5954572 U JP S5954572U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- crystal pulling
- pulling device
- pulling
- stirring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来の単結晶引上装置の例を示す縦断面図であ
る。第2図および第3図はそれぞれ本考案の実施例を示
す図で、第2図は縦断面図、第3図は側面図である。
る。第2図および第3図はそれぞれ本考案の実施例を示
す図で、第2図は縦断面図、第3図は側面図である。
Claims (2)
- (1)引上軸の下方に、該軸と共に回転し、種結晶の周
りの封止剤融液を攪拌する攪拌装置を設けたことを特徴
とする単結晶引上装置。 - (2)攪拌装置が、線状又は棒状のものより成り、シー
ドチャックに取付けられたものである実用新案登録請求
の範囲第1項記載の単結晶引上装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14901882U JPS5954572U (ja) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | 単結晶引上装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14901882U JPS5954572U (ja) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | 単結晶引上装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5954572U true JPS5954572U (ja) | 1984-04-10 |
JPS6118046Y2 JPS6118046Y2 (ja) | 1986-06-02 |
Family
ID=30330914
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14901882U Granted JPS5954572U (ja) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | 単結晶引上装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5954572U (ja) |
-
1982
- 1982-09-29 JP JP14901882U patent/JPS5954572U/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6118046Y2 (ja) | 1986-06-02 |
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