JPS63102770U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63102770U JPS63102770U JP19766886U JP19766886U JPS63102770U JP S63102770 U JPS63102770 U JP S63102770U JP 19766886 U JP19766886 U JP 19766886U JP 19766886 U JP19766886 U JP 19766886U JP S63102770 U JPS63102770 U JP S63102770U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- immersion body
- melt
- manufacturing apparatus
- encapsulant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第1図は本考案の化合物半導体単結晶製造装置
の一実施例の説明図、第2図は同じく他の実施例
の説明図である。 1:融液、2:封止剤、3:るつぼ、4:種結
晶、5:成長結晶、6:引上軸、7:浸漬体、8
:高圧容器、10:保温筒、13:固定浸漬体。
の一実施例の説明図、第2図は同じく他の実施例
の説明図である。 1:融液、2:封止剤、3:るつぼ、4:種結
晶、5:成長結晶、6:引上軸、7:浸漬体、8
:高圧容器、10:保温筒、13:固定浸漬体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) るつぼ内で融解した融液の上部を封止剤で
覆い、上方より圧力を加えながら前記融液に浸し
た種結晶を引上げて単結晶を成長させる化合物半
導体単結晶製造装置において、前記封止剤の内部
に挿入され、その昇降により該封止剤の液位を調
整する浸漬体が設けてあることを特徴とする化合
物半導体単結晶製造装置。 (2) 前記浸漬体は前記種結晶の移動との連動お
よび単独の移動、固定が可能である実用新案登録
請求の範囲第1項記載の化合物半導体単結晶製造
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19766886U JPS63102770U (ja) | 1986-12-23 | 1986-12-23 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19766886U JPS63102770U (ja) | 1986-12-23 | 1986-12-23 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63102770U true JPS63102770U (ja) | 1988-07-04 |
Family
ID=31157631
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19766886U Pending JPS63102770U (ja) | 1986-12-23 | 1986-12-23 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63102770U (ja) |
-
1986
- 1986-12-23 JP JP19766886U patent/JPS63102770U/ja active Pending
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