CN208121243U - 一种提高多晶硅锭生产质量的多晶炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，包括设置在多晶炉体内的石墨护板和坩埚，所述坩埚设置在石墨护板上，所述石墨护板下方依次设置有加热器、硬碳纤维板、冷却铜管和风门，所述坩埚底部设置有位于石墨护板上方的软碳纤维板，所述坩埚正前方和后方对称设置有位于石墨护板上的水平保温装置，所述坩埚两侧外侧对称设置有位于石墨护板上的纵向保温装置，2个水平保温装置和2个纵向保温装置首尾相互连接成一个环形密封保温圈。本实用新型所述的提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，通过对多晶炉内的特殊设计，提高了多晶硅锭长晶时温度控制均匀的特性，从而提高硅锭的内部质量，提高硅板的转化率，提升硅锭质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及多晶硅锭生产技术领域，尤其涉及一种提高多晶硅锭生产质量的多晶炉。
背景技术
多晶炉是生产多晶硅锭主要的设备，将硅材料及其它配合材料装在坩埚内，然后将坩埚吊装在多晶炉内进行融化和长晶，从而形成多晶硅锭。
现有技术中生产的多晶硅锭时，采用的多晶炉大多数在炉体臂上设置保温板进行热量保留，提高炉体内硅锭长晶质量。但是，这种多晶炉存在、热量损失不均匀，从而使得坩埚内硅材料在长晶时内部温度下降不均匀，从而降低了硅锭生产质量，降低硅片转化效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，提高硅锭长晶的均匀度，从而提高硅锭生产质量和硅片转化效率。
为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
一种提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，包括设置在多晶炉体内的石墨护板和坩埚，所述坩埚设置在石墨护板上，所述石墨护板下方依次设置有加热器、硬碳纤维板、冷却铜管和风门，所述坩埚底部设置有位于石墨护板上方的软碳纤维板，所述坩埚正前方和后方对称设置有位于石墨护板上的水平保温装置，所述坩埚两侧外侧对称设置有位于石墨护板上的纵向保温装置，2个水平保温装置和2个纵向保温装置首尾相互连接成一个环形密封保温圈。
其中，所述风门为矩形阵列的4个位于同一水平面的小风门组成。
其中，所述4个小风门的外侧均设置有位于多晶炉体内壁上的水平伸缩驱动装置。
其中，所述4个小风门上连接的水平伸缩驱动装置各自连接有控制开关。
其中，所软碳纤维板包括四边形板和同心设置在四边形板内的四方形板。
其中，所述水平保温装置和纵向保温装置分别包括两个间隔设置的竖板、第一隔板和第二隔板，所述第一隔板设置在两个竖板之间，所述第二隔板平行设置在第一隔板上方。
其中，所述第一竖板和第二竖板分别为带有网孔的耐高温板加工而成。
本实用新型的有益效果：一种提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，通过对多晶炉内的特殊设计，提高了多晶硅锭长晶时温度控制均匀的特性，从而提高硅锭的内部质量，提高硅板的转化率，提升硅锭质量。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是图1的中去掉坩埚的俯视图；
图3是风门结构示意图。
具体实施方式
下面结合图1~3并通过具体实施例来进一步说明本实用新型的技术方案。
一种提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，包括设置在多晶炉体1内的石墨护板2和坩埚3，所述坩埚3设置在石墨护板2上，坩埚3用来装载多晶硅的原材料。
所述石墨护板2下方依次设置有加热器4、硬碳纤维板5、冷却铜管6和风门7，所述坩埚3底部设置有位于石墨护板2上方的软碳纤维板8，所软碳纤维板包括四边形板81和同心设置在四边形板81内的四方形板82，软碳纤维板8使得坩埚3不与石墨护板2发生直接接触，降低热应力。
所述坩埚3正前方和后方对称设置有位于石墨护板2上的水平保温装置9，所述坩埚3两侧外侧对称设置有位于石墨护板2上的纵向保温装置10，2个水平保温装置9和2个纵向保温装10首尾相互连接成一个环形密封保温圈，防止底部冷却时，热量直接传导在石墨护板2上造成热量损失快，影响硅锭的长晶质量。
本实施例中，所述风门7为矩形阵列的4个位于同一水平面的小风门71组成，所述4个小风门71的外侧均设置有位于多晶炉体1内壁上的水平伸缩驱动装置11，所述4个小风门71上连接的水平伸缩驱动装置各自连接有控制开关，控制小风门71的打开与闭合，根据降温速度和温度要求，可慢慢打开不同的小风门，符合长晶的温控要求。
本实施例中，所述纵向保温装置9和水平保温装置10分别包括两个间隔设置的竖板91、第一隔板92和第二隔板93，所述第一隔板92设置在两个竖板91之间，所述第二隔板93平行设置在第一隔板92上方，每个隔板上放置不同厚度的保温板，起到保温或者降低热量损失的效果，防止石墨护板2位于坩埚3周边的面积降温过快而影响长晶质量的缺陷。
本实施例中，所述第一竖板92和第二竖板93分别为带有网孔的耐高温板加工而成，保温效果好，热传导慢。
以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
Claims (7)
1.一种提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，包括设置在多晶炉体内的石墨护板和坩埚，所述坩埚设置在石墨护板上，其特征在于，所述石墨护板下方依次设置有加热器、硬碳纤维板、冷却铜管和风门，所述坩埚底部设置有位于石墨护板上方的软碳纤维板，所述坩埚正前方和后方对称设置有位于石墨护板上的水平保温装置，所述坩埚两侧外侧对称设置有位于石墨护板上的纵向保温装置，2个水平保温装置和2个纵向保温装置首尾相互连接成一个环形密封保温圈。
2.根据权利要求1所述的提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，其特征在于，所述风门为矩形阵列的4个位于同一水平面的小风门组成。
3.根据权利要求2所述的提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，其特征在于，所述4个小风门的外侧均设置有位于多晶炉体内壁上的水平伸缩驱动装置。
4.根据权利要求3所述的提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，其特征在于，所述4个小风门上连接的水平伸缩驱动装置各自连接有控制开关。
5.根据权利要求1所述的提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，其特征在于，所软碳纤维板包括四边形板和同心设置在四边形板内的四方形板。
6.根据权利要求1所述的提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，其特征在于，所述水平保温装置和纵向保温装置分别包括两个间隔设置的竖板、第一隔板和第二隔板，所述第一隔板设置在两个竖板之间，所述第二隔板平行设置在第一隔板上方。
7.根据权利要求6所述的提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，其特征在于，所述第一隔板和第二隔板分别为带有网孔的耐高温板加工而成。
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