CN204058647U - 一种晶硅铸锭炉炉体 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶硅铸锭炉炉体，它包括坩埚、保温层、炉体和管道进气口。所述炉体上设有联通隔热层外空间的管道进出口；所述炉体内的保温层包括外保温层和内保温层；所述内保温层上设置有碳复合材料板；所述坩埚设置与炉体内部；所述坩埚上方设有挡板且在坩埚挡板两侧设置有可上下移动的导轨；所述坩埚下方设有热交换台；所述坩埚与热交换台之间设有隔热件；所述保温层上设置有测量孔；所述坩埚下方设置有两根石墨支柱固定于炉体底部内壁与热交换台之间。本实用新型铸锭炉炉体具有结构设计合理、操作方便和使用寿命长等优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶体硅生产领域，尤其涉及一种晶硅铸锭炉炉体。
背景技术
目前，硅铸锭炉是一种硅重熔铸锭设备，而晶硅铸锭炉对晶体生长系统的优劣影响主要是由炉中的热场决定的，随着生产强度的不断提高，人们对铸锭炉的使用性能也提出了更高的要求，市面上所出售的多种型号的铸锭炉，其内部的设计也大都不同，现有的铸锭炉因其结构设计等元婴，往往会使坩埚内的晶粒不能垂直液面生长，这种会很严重影响到后续的加工和使用，而且因为铸锭炉内部环境温度很高，普通的材料本身抗腐蚀性能差，这样会导致保温层不能继续使用，给生产加工带来了很多不便。
实用新型内容
为克服上述不足，本实用新型目的是提供一种晶硅铸锭炉炉体。
本实用新型的方案如下：一种晶硅铸锭炉炉体，它包括坩埚、保温层、炉体和管道进气口，所述炉体上设有联通隔热层外空间的管道进气口；所述炉体内的保温层包括外保温层和内保温层；所述内保温层上设置有碳复合材料板；所述坩埚设置与炉体内部；所述坩埚上方设有挡板且在坩埚挡板两侧设置有可上下移动的导轨；所述坩埚下方设有热交换台；所述坩埚与热交换台之间设有隔热件；所述保温层上设置有测量孔；所述坩埚下方设置有两根石墨支柱固定于炉体底部内壁与热交换台之间；所述炉体顶部和炉体内部的保温层之间设有用于向所述炉体内充气的管道；所述炉体内隔热件的材料为石墨毡条；所述石墨毡条的厚度在10mm～50mm之间；所述碳复合材料上连接有螺杆，且所述螺杆以及与所述螺杆相适配的螺母与内外保温层连接固定。
本实用新型的有益效果：本实用新型铸锭炉炉体具有结构设计合理、操作方便和使用寿命长等优点，所述设置的多层保温层能够有效的降低了坩埚内的散热速度，使坩埚内壁和外壁温度差减小；所述坩埚内设置的挡板，可以使坩埚内晶粒能够垂直生长。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图，
其中：1、炉体；2、管道进气口；3、加热层；4、测量孔；5、坩埚；6、挡板；7、导轨；8、热交换台；9、石墨支柱；10、内保温层；11、外保温层；12、碳复合材料板；13、螺母；14、螺杆；15、隔热件。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步说明：
如图1所示：一种晶硅铸锭炉炉体，它包括坩埚5、保温层、炉体1和管道进气口2，所述炉体1上设有联通保温层外空间的管道进气口2；所述炉体1内的保温层包括外保温层11和内保温层10；所述内保温层10上设置有碳复合材料板12；所述坩埚5设置于炉体1内部；所述坩埚5上方设有挡板6且在坩埚5挡板6两侧设置有可上下移动的导轨7；所述坩埚5下方设有热交换台8；所述坩埚5与热交换台8之间设有隔热件15；所述保温层上设置有测量孔4；所述坩埚5下方设置有两根石墨支柱9固定于炉体底部内壁与热交换台8之间。
当使用该装置时，将硅料放入坩埚5中，所述炉体顶部与保温层之间设置的管道进气口2可以对炉体中注入氩气；所述坩埚5上方设置有加热层3；所述坩埚5外部设置有外保温层11和内保温层10，能够起到有效的保温效果，避免因为温度过低而造成硅料因受热不均匀造成其质量出现问题；所述通过螺杆14与内外保温层固定的碳复合材料板12，因为材料本身强度高，且耐高温和耐腐蚀，能有效的提高铸锭炉工作的稳定性；且所述硅料加热过程中，坩埚5上方设置的挡板6设置有可移动的导轨7，可以随固液生长截面上升而上升，从而使坩埚内晶粒能够垂直生长，有效的提高硅片的生产质量。
尽管上文对本实用新型的具体方式给予了详细描述和说明，但是应该指明的是我们可以依据对本实用新型的构想对上述各种实施方式进行各种等效改变和修改，其所产生的功能作用仍未超出说明书所涵盖的精神时，均应在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种晶硅铸锭炉炉体，它包括坩埚、保温层、炉体和管道进气口，其特征在于：所述炉体上设有联通隔热层外空间的管道进气口；所述炉体内的保温层包括外保温层和内保温层；所述内保温层上设置有碳复合材料板；所述坩埚设置与炉体内部；所述坩埚上方设有挡板且在坩埚挡板两侧设置有可上下移动的导轨；所述坩埚下方设有热交换台；所述坩埚与热交换台之间设有隔热件；所述保温层上设置有测量孔；所述坩埚下方设置有两根石墨支柱固定于炉体底部内壁与热交换台之间。
2.根据权利要求1所述的一种晶硅铸锭炉炉体，其特征在于：所述炉体顶部和炉体内部的保温层之间设有用于向所述炉体内充气的管道。
3.根据权利要求1所述的一种晶硅铸锭炉炉体，其特征在于：所述炉体内隔热件的材料为石墨毡条。
4.根据权利要求3所述的一种晶硅铸锭炉炉体，其特征在于：所述石墨毡条的厚度在10mm～50mm之间。
5.根据权利要求1所述的一种晶硅铸锭炉炉体，其特征在于：所述碳复合材料上连接有螺杆，且所述螺杆以及与所述螺杆相适配的螺母与内外保温层连接固定。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN110560191A (zh) * | 2018-12-11 | 2019-12-13 | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 | 一种容积动态可变的高温共晶点坩埚 |
| CN110657676A (zh) * | 2018-12-13 | 2020-01-07 | 株洲诺天电热科技有限公司 | 一种卧式电加热炉的炉膛支撑方法及支撑装置 |
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2014
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| CN110560191A (zh) * | 2018-12-11 | 2019-12-13 | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 | 一种容积动态可变的高温共晶点坩埚 |
| CN110560191B (zh) * | 2018-12-11 | 2021-08-31 | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 | 一种容积动态可变的高温共晶点坩埚 |
| CN110657676A (zh) * | 2018-12-13 | 2020-01-07 | 株洲诺天电热科技有限公司 | 一种卧式电加热炉的炉膛支撑方法及支撑装置 |
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