CN205711031U - 一种单晶炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种单晶炉，包括炉体，所述炉体设置有炉腔，所述炉腔内设置有石英钳锅，所述石英钳锅的外部设置有石墨钳锅，所述石墨钳锅的外部设置有加热器，所述炉腔内位于石英钳锅的上部设置有导流筒，所述导流筒的下端延伸至石英钳锅内部，所述导流筒的上部设置有水冷套，所述水冷套的下端延伸至导流筒内，水冷套的外部设置有保温隔热装置。所述一种单晶炉通过在水冷套外部增设保温隔热装置，进而隔断了水冷套与外部的热交换，与此同时，水冷套内部可与硅单晶进行换热，对硅单晶进行冷却，从而可大大提高硅单晶的提拉速度，提高生产效率，结构简单、易于实现。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅生产领域，尤其涉及一种单晶炉。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
单晶炉在生产过程中，硅单晶从熔体中不断凝固并向上提拉，如果凝固体的温度越低，通过固体导出的热量越多，硅单晶向上提拉的速度就可以越大，从而可大大提高生产效率。目前，为了提高生产效率，通常会增设水冷套来冷却硅单晶，然而，水冷套内部与硅单晶换热，与此同时，其外部与导流筒、石英钳锅内的熔体换热，使得导流筒和石英钳锅内的熔体降温，进而为了满足生产温度要求，需加大加热功率，从而使得水冷套提高晶体拉速的作用有限，由此，急需解决。
实用新型内容
本实用新型的目的在于针对上述问题，提供一种单晶炉，以解决现有水冷套对提高晶体拉速作用有限的问题。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现：
一种单晶炉，包括炉体，所述炉体设置有炉腔，所述炉腔内设置有石英钳锅，所述石英钳锅的外部设置有石墨钳锅，所述石墨钳锅的外部设置有加热器，所述炉腔内位于石英钳锅的上部设置有导流筒，所述导流筒的下端延伸至石英钳锅内部，所述导流筒的上部设置有水冷套，所述水冷套的下端延伸至导流筒内，水冷套的外部设置有保温隔热装置。
作为本实用新型的一种优选方案，所述水冷套上焊接有螺母，所述保温隔热装置通过螺钉与水冷套固定连接。
作为本实用新型的一种优选方案，所述保温隔热装置为隔热筒，所述隔热筒由保温隔热材料制成。
作为本实用新型的一种优选方案，所述保温隔热材料为不锈钢材料或钼材料或石墨材料或石墨毡材料。
作为本实用新型的一种优选方案，所述隔热筒包括内筒、外筒，所述外筒套接在内筒上。
作为本实用新型的一种优选方案，所述隔热筒的下端设置有锥度。
本实用新型的有益效果为，所述一种单晶炉通过在水冷套外部增设保温隔热装置，进而隔断了水冷套与外部的热交换，与此同时，水冷套内部可与硅单晶进行换热，对硅单晶进行冷却，从而可大大提高硅单晶的提拉速度，提高生产效率，结构简单、易于实现。
附图说明
图1为本实用新型一种单晶炉的结构示意图。
图中:
1、石英钳锅；2、石墨钳锅；3、加热器；4、导流筒；5、水冷套；6、隔热筒。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。可以理解的是，此处所描述的实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。
请参照图1所示，图1为本实用新型一种单晶炉的结构示意图。
于本实施例中，一种单晶炉，包括炉体，所述炉体设置有炉腔，所述炉腔内设置有石英钳锅1，所述石英钳锅1的外部设置有石墨钳锅2，所述石墨钳锅2的外部设置有加热器3，所述炉腔内位于石英钳锅1的上部设置有导流筒4，所述导流筒4的下端延伸至石英钳锅1内部，所述导流筒4的上部设置有水冷套5，所述水冷套5的下端延伸至导流筒4内，水冷套5的外部焊接有螺母，并通过螺钉固定连接有隔热筒6，所述隔热筒6的下端设置有锥度，且隔热筒6包括内筒、外筒，所述外筒套接在内筒上，所述内筒由不锈钢板制成，所述外筒由钼板制成。
虽然上述实施例中，内筒由不锈钢板制成，外筒由钼板制成，但是本实用新型不限于此，内筒、外筒亦可采用石墨、石墨毡或其他保温隔热材料制成，只要能够起到保温隔热作用即可。
虽然上述实施例中，隔热筒6由内筒、外筒两个构成，但是本实用新型不限于此，可根据保温隔热要求相应的增多或减少个数。
上述一种单晶炉，导流筒4的下端延伸至石英钳锅1内部，进而可将石英坩埚1侧面的热量与硅单晶隔离开来，也可将加热器3的热量与硅单晶隔离开来，并通过在水冷套5外部增设隔热筒6，进而隔断了水冷套5与外部的热交换，与此同时，水冷套5内部可与硅单晶进行换热，对硅单晶进行冷却，从而可大大提高硅单晶的提拉速度，提高生产效率。
以上实施例只是阐述了本实用新型的基本原理和特性，本实用新型不受上述实施例限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书界定。
Claims (6)
1.一种单晶炉，其特征在于：包括炉体，所述炉体设置有炉腔，所述炉腔内设置有石英钳锅，所述石英钳锅的外部设置有石墨钳锅，所述石墨钳锅的外部设置有加热器，所述炉腔内位于石英钳锅的上部设置有导流筒，所述导流筒的下端延伸至石英钳锅内部，所述导流筒的上部设置有水冷套，所述水冷套的下端延伸至导流筒内，水冷套的外部设置有保温隔热装置。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉，其特征在于：所述水冷套上焊接有螺母，所述保温隔热装置通过螺钉与水冷套固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉，其特征在于：所述保温隔热装置为隔热筒，所述隔热筒由保温隔热材料制成。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉，其特征在于：所述保温隔热材料为不锈钢材料或钼材料或石墨材料或石墨毡材料。
5.根据权利要求3所述的一种单晶炉，其特征在于：所述隔热筒包括内筒、外筒，所述外筒套接在内筒上。
6.根据权利要求3所述的一种单晶炉，其特征在于：所述隔热筒的下端设置有锥度。
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