JPS58180013A - プリント回路における厚膜コンデンサおよびその製造方法 - Google Patents

プリント回路における厚膜コンデンサおよびその製造方法

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JPS58180013A
JPS58180013A JP57193539A JP19353982A JPS58180013A JP S58180013 A JPS58180013 A JP S58180013A JP 57193539 A JP57193539 A JP 57193539A JP 19353982 A JP19353982 A JP 19353982A JP S58180013 A JPS58180013 A JP S58180013A
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ギゼラ・ウエステルマイル
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Preh GmbH
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 +発明の技術分野 この発明はプリント回路の技術で作られる厚膜コンデン
サおよびこの種のコンデンサであって、各コンデンサの
端子あるいは各コンデンサ間を接続する導電路を組込ん
でなるプリント回路とこれらの製法に関する。
従来技術 簡単かつ安価に作れるコンデンサは以前から、′時ニグ
リ/ト回路に使用するだめに、待望されCいる。最近で
はデータ処理装置において容量性結合を利用したキーボ
ードが出現するに及んでこのような要望はますます強く
なった。西独公開特許第2744226号公報には、こ
のような個所に使用する容量結合性のキースインチにつ
いて記載されている。しかし、この場合のコンデンサは
従来通り相互に動くメカニックな構造を備えている。
プリント回路の分野においてコンデ/すが広く用いられ
ていることは周知である。西独公開特許第284174
2号公報には容量(キヤ・くシティ)に関する回路網が
、特に電圧増倍回路における容量従続装置として使用さ
れるものが、記載されている。このものでは、コンデン
サの誘電体が形成された基板の上に金属層がプリントさ
れており、この層はコンデンサの電極や接続端子として
機能する。誘電体の板やプリントによる金属層を積層し
たり、個々の層を適宜接続するためにメタライジングし
たりしてノシラレルあるいはシリーズに構成された積層
構造のコンデンサを得ることができる。このよく知られ
た構成法、すなわちコンデンサの誘電体として誘電体板
を使用するものは、基板あるいは支持仮トヘ全ての電子
部品を殆んどプリントで形成するプリント回路で用いる
には適してい々い。
このことは従来のコンデンサ構成法においても同じであ
って、このものではコンデンサ′鑞極として金属板を用
いるので、殆んどプリントやエツチングで形成されるプ
リント回路の技術にうまく適合しない。
西独公開特許第21329’ 35号公報には、プリン
ト方法で製造できるコンデンサが記載されている。この
製法では支持板上に銀ペーストをコンデン−す電極とし
てプリントした後、担体を加熱して蒸発させる。そして
、この上にプリント可能な誘電体、これはガラスあるい
はセラミックのプリントを例えばテレピン油と液状エチ
ルセルローズの混合物のような担体に混合し/“こもの
であるが、を厚膜誘電体として積み重ね、ついで800
℃〜1000℃で加熱する。このようにしてできた誘電
体の上にさらにコンデンサ電極用の銀ペーストを積み重
ね、780℃以下で加熱する。
このよく知られたいわゆる厚膜コンデンサの構成法は次
のような欠点を有している。すなわち、加熱温度がほぼ
1000℃と比較的高いため耐熱性の支持体が例えばA
t203  に限定されてしまう。このものは、また、
利用できる有効面積に制限がある。つまp ht2o3
 から作られた耐熱性支持体は、比較的多数のコンデン
サおよびこれらに関する端子と導電路を備えた大きな面
積の入力用キーボードとして必要となる大きな面積を平
らに形成することができないし、また、利用が困難なほ
どに高価である。コンデンサ電極を銀ペーストからプリ
ントと加熱手段で作製すると、加熱中やあるいは動作状
態時に銀が拡散する危険本銀ペーストでメタライジング
した個所は半田付ができないという欠点を有している。
本発明の梗概 この発明は、プリント回路の技術で厚模コ/テンプを作
ることであり、その製造方法において、1000℃の大
台に乗る高温の加熱は必要でなく、また、プリント回路
の製造工程へ組込むのに一層適したものである。特に、
この発明によれば、前記のコンデンサを多数、プリント
回路の技術分野において、大面積の支持板上に適用する
ことができる。これは例えばデータ処理装置の容l結合
性の入力キーボードにおいて必蟹となるものである。前
記コンデンサあるいは相互に導電路で結合された多数の
コンデンサの一群を含んだプリント回路は、実際上は専
らシルクスクリーンによる層形成工程(場合によ′つて
は選択的なエツチング手段)で形成される。
また、コンデンサの上部電極および導電端子は経済性か
らあるいは直接に半田付けが可能なように特に銅まだは
ニッケルによるメタライジングとして形成される。
したがって、この発明は、基板あるいは支持板上に設け
られた固定電極、この上へ特にシルクスクリーン法でプ
リントされだ厚膜誘電体および固定電極に対応させて配
置された対向電極からなる、プリント回路技術内におけ
る厚膜コンデンサに関する。
このような発明の課題は、誘電体を混入しシルクスクリ
ーンでプリント可能な混練物からなる誘電体を比較的低
温で硬化する高分子材料から形成することで解決されて
いる。厚膜誘電体は特に誘電体の混入比7.0〜90%
(重量比)、ポリマー材10〜30%(同)とした混線
物から々る。ポリマー材としてはポリウレタン、ポリエ
ステルあるいはエポキシあるいはメラミン樹脂のグルー
プから一つまだは複数の合成樹脂が選定される。誘電性
の混入物としては、ZnO。
A120B、 5rTi03 、 BaTiO3あるい
はセラミックを基材とするもの、の一つあるいは複数が
選択される。
この発明が基本とするところは、コンデンサ誘電体を、
比較(的低温で硬化するポリマー材をペースとし、シル
クスクリーンでプリント可能な厚膜ペーストで作り、1
000℃の大台に乗るようなυ0熱処理温度を除去した
ことである。
この発明の目的に清って採用する合成樹脂は130℃の
高温側、特にほぼ150℃〜250℃の間の温度で硬化
するものである。したがって、基板としてプリント回路
用として普通に用いら7tqる通常の硬質紙、合成樹脂
あるいは箔を用いることが可能である。これは西独公開
特許第2132935号公報において開示されている、
誘電体がガラスまたはセラミックフリットで形成され;
そ厚膜コンデンサ用のセラミック基板の場合とは異なる
。また、コンデンサを備えた比較的大面積のプリント回
路を製造することが可能となり、特にデータ処理装置に
おける入力機構の容量結合性キーボードの製作が可能と
なる。
イ\発明によれば、厚膜誘電体の結合材として使1(1
される合成樹脂は、周知のガラスまたはセラミックフリ
ットを用いた厚膜誘電体における結i’F A=4より
安価である。さらに、格段に低い温度で硬化が行なわれ
ることは著るしい省エネルギーとなるし、1000℃も
の加熱処理による高温の影響を避は難く結果として本発
明におけるようなコンデンサをプリント回路中に組み込
むことを妨げているプリント回路における他の部分の損
耗を確実に除去することができる。
コンデンサの下部ある騎は固定電極および場合によって
はこれに付属した導電路の製作は基板の金属被覆層を選
択的エツチングする通常の基板処理技術によるかあるい
は導電ペースト、特に金、銀ペーストで希埴のレイアウ
トに直接プリントすることによる。本発明の特に好しい
実施態様では、コンデンサの固定電極や場合によってそ
の付属する導電路は還元融媒を含有した、シルクスクリ
ーンによるプリント層を化学的に還元した金属面であり
、このメタライジング面は銅もしくはニッケルからなる
。前記の活性基部層上に還元で形成された金属面は完全
な半田付けが可能であり、例えばチップ部品を直接に接
続できる。このようにして得られた金属層(コンデンサ
電極および/あるいは導電路)はその基部層に確固とし
て保持されており、まタ、パラジウム、金、銀あるいは
ケルメツトのペーストをプリントして作られた電極もし
くは導電路より経済的である。
上記に対応してコンデンサの対向電極すなわち−F部電
極が、場合によってはその導電路も含めて、還元による
析出金属として第2の誘電体層上に形成される。第2の
誘電体は還元用の触媒を含んだもので第1の誘電体に重
ねて形成さJlだものである。すなわち、本発明の好し
い実施態様では1.第1の誘電体層上に、これが硬化し
た後シルクスクリーン法で、コンデンサの対向電極とし
て、場合によってはその導電路も含、V)での、希望す
るレイアウトで同様な第2の誘1に体層をプリントする
。この第2の誘電体層は層を還元によってメタライジン
グするのに有効な触媒を含有している。そして、この第
2の誘電体層は化学的な処理液槽(化学浴)で処理さt
1メタライジングされ、コンデンサの対向電極五その接
続用導電路が形成される。
前記したコンデンサの対向電極(場合によってはその導
電路も含めて)を還元析出にて形成するだめの基材とな
る第2の誘電体層は第1の誘電体層と同じ、もしくは類
似の組成でよいが、触媒としてパラジウムあるいは還元
可能なパラジウム化合物、例えばPd O12を含有し
ている。
第1の誘電体層は実質的に完全なモ面に形成されること
が好しい。すなわち、コンデンサ領域、第1の導電面(
下部導電面)の導電路および両者間の間隙にわたって平
らにプリントされる。したがってその際、必要とあれば
コンデンサ領域以外の個所には、誘電率の低い誘電体ペ
ースト、例えば誘電率の低いAt203. M!i’o
あるいはセラミックを基材とした誘電性混入物を用いる
。このことは第2の誘電体層をプリント形成する際も同
じである。
本発明が、多数のこのようなコンデンサとこれに関する
接続用端子あるいは結線用導電路を含めた導電路をし体
に形成したプリント回路としての形態をとる場合、プリ
ント回路は、コンデンサの固定電極と対向電極と同じ形
成面にそFlそれ接続用端子や結線用を含めた導電路が
形成される。そしてこの場合、コンデンサと導電路の製
作は完全に一体化した一元的な方法で達成される。
本発明は、データ処理装置の入力機構における容量結合
性のキーボードとして組立てられる、多数のコンデンサ
を備えたプリント回路に対し、好適に用いることができ
る。この場合、コンデンサはマトリクス(格子様)に配
置ぞれ、そのコンデ/すの対向電極はこれが属する同じ
形成面の接続端子で直接に結合されているのではなく、
これらにスイッチ機能を有する橋絡接点を介して選択的
に接続されるようになっている。
’+!+ 、?′f請求の範囲第15頃、第16項はこ
の種の実施態様の詳細を要旨としている。この発明は目
り作に高い信頼性をもつ容量結合性の入カスイノf機構
を製造する簡素で安価な手段を提供し、時々のスイッチ
部分におけるコンデンサ容量は1′(1実に設定されて
おり、それらのスイッチを操1′1するとスイッチング
のON −OFF状況が転換する。
実施例の説明 以下、図示の実施例に基づいて説明する。第1図の各図
はこの発明による厚膜コンデンサとその付属導電路のプ
リント回路技術による製造法を種々の連続した製造過程
に対応させて説明したものであり、例示的にコンデンサ
のマトリクス配置をデータ処理装置の入力機構における
容量結合性のキーボードに採用されたものを示したもの
である。
まず、硬質紙やポリエステルあるいはポリイミド箔など
から成る基板すなわち支持板1上にコンデンサの電極つ
まり付着物とこれに付属する結合用とリード線としての
導電路が形成される。これは図示した1a、1bの二過
程で行なわれる。1a図の過程では、基板1上にシルク
スクリーン法で金属を還元析出できるペースト2がコン
デンサ領域3と導電路領域4として定められたレイアウ
トに沿ってブクト/される。
1b図に示す第2の過程では、ペースト2がイヒ学浴で
図中の記号5で示すように還元金属化さtr ル。コレ
らの例えば銅またはニッケルからなり半田付けが可能な
メタライジングはコンデンサ用電極においてはコンデン
サ用固定電極C1を導電路領域では導電路L1となる。
これに対し、コンデンサ電極C,と導電路り、の形成を
1a、Ib図に示す二過程によるものに換え、第1図の
領域2,3に導電性ペーストを直接プリントするという
一過程で行うこともできる。この場合、ニッケルあるい
は銀のペーストが問題となる。すなわち、以後の製造過
程やこの種のものを組込んだ回路構成の動作中において
銀が拡散する危険がある。また導電性ペースト、特に銀
ペーストで作られた導電路にはその′ままでは半田付が
不可である。領域3にコンデンサ電極を領域4に導電路
を形成するにはさC〕に他の方法がある。すなわち、基
板形成の技術を使用して、支持基板上の完全に平らな例
え:ず銅のような金属被膜から例えば光学的プリン1−
 d、を用いたフォトレジスト用エツチングマスクによ
る選択的エツチングでコンデンサ用電極C1と導電路L
1を形成する。
10図は次の重要な過程を示しコンデンサ用の誘電体層
を形成する。図示した実施例では全ての回路が完全にシ
ルクスクリーン法でプリント可能な誘電物質で覆われて
いる。本発明で基本とするところは、例えばZn、O、
At203.5rTi03あるいはBaTiO3のよう
な誘電体粒子と例えば、ポリウレタンや他の合成樹脂す
なわち、例えばポリエステル、エポキシ樹脂、メラミン
樹脂との混合物であるシルクスクリーンでプリン)ET
能な物質を用いることである。10図に示すように、コ
ンデンサ領域5や導電領域4およびこれらの間の間隙は
同様に誘電体物質でほぼ平らに覆われる。あるいは、コ
ンデンサ領域3にのみ誘電体をプリントし、導電路面お
よび/あるいは両者間の間隙には、表面を一様な平坦面
とし絶縁体として(機能する他のペースト、好しくけ誘
電率の小さなものがプリントされる。導電路の固有容量
はできるだけ減少させるべきであるし、また、0N−O
FF動作として希望する応答性を得るにはできるだけ大
きな電圧差の得られることが好しいからである。
本発明において、誘電体として使用された合成樹脂を基
材とする混合物は、比較的低い150℃〜230℃の温
度領域で硬化し、このことは、セラミックあるいはガラ
スフワットペーストかCつ作られた、加熱処理に100
0℃を要する周相Oケルメソトコンデンザに対し、実質
的な利点を有し、特に通常の安価で強靭な基板粉料を)
1]いることができる。
ついで、第2の電極すなわち、コンデンサにおける上方
電極の製作にあって、これはこの電(全に関するリード
線や結線用導電路をもつ第2の導電面と共に作られるこ
とが有利である。こ7′1は実施例においては1d、I
e図に示すよう(ζ、二つの過程を得て達成される。1
a図によると、捷ず、第2の誘電体層8が第2の導電面
1−のコンデンサ領域6および導電路領域9とな、bよ
う、光に得られた誘電体層6(10図)に、必要とする
レイアラ)K従ってシルクスクリーンによりプリントさ
れる(図示した実施例において第2の導電路領域9は図
を簡素にするため下方の導電面における導電路領域4と
重ねである)。誘電体層8は、誘電体層6と同じあるい
は類似の組成でよいが、パラジウムをベースとした活性
剤を含有し、これによって第2の誘電体層8は化学的に
メタライジングされるという差異がある。メタライジン
グ用活性剤すなわち触媒としては、金属パラジウムを誘
電体物質8中に0.1%含有させるかあるいはPdCl
2のようなパラジウム化合体が好しい。パラジウム化合
体を用いる場合は、プリント層の加熱処理後化学浴など
の適宜な手段で金属パラジウムに変化させる必要がある
。これは、次の過程である化学浴によるメタライジング
において第2の誘電体層に所定の活性を確実に持たせる
ためである。
第2の前記触媒を含有した誘電体層8の硬化後、この硬
化は比較的低い150℃〜230℃の範囲で達成される
が、10図に示す次の過程でこの第2誘電体層8は他に
何らの準備も要せず(当初に触媒として金属パラジウム
を混入している場合)、あるいは前記の化学的な還元処
理の後に(当初に触媒成分としてパラジウム化に物を用
いている場合)Ie図に記号1oで示1ように化学浴で
メタライジングされる。このようにして、コンデンサ領
域3に第2のあるいはE方の電極C2が、また、導電路
領域9に第2の導電面における導電路L2が形成される
ia、Ib図に示された、コンデンサの下方+[極およ
び下方の導電面における導電路L1の製作と同様に上方
の電極C2および上方の導電路L2の製作において、1
d図のコンデンサ領域6のプリント層(被覆)と導電路
領域9の(化学的なメタライジングに有効な)誘電物質
を含有し/こプリント層とは誘電率を異ならせることが
で久る。他の手段によればコンデンサ電極C2および上
方の導電面L2の製作を、前記の化学的なメタライジン
グに至る1d、Ie図に示すような一段階方式に換えて
、導電性のシルクスクリーンによるプリント可能なペー
スト、例えば銀ペーストあるいはニッケルペーストをプ
リントすることにより一段階で達成することができる。
しかしながら、この場合、銀が不測に拡散するという難
点があり、また、このようにして形成された金属層はそ
のままで半田付けできないという欠点を有する。
10図の状態で厚膜コンデンサとこれに関連したリード
用あるいは結線用の導電路の製作は終了する。コンデン
サ領域c2と導電路L2間の間隙は例えば誘電率が同じ
か異なる(小さい)同様のシルクスクリーン用ペースト
で覆われる。
これにより、実際上平らな表面が得られ、金属層10の
厚さを10μm の程度とできる。さらに絶縁塗料が保
護と固定用の層として平らに(接続端子をうまく利用し
て)施こされる。
任意に交叉が可能な導電面Ll、L2における二つの導
電路を周卸のスルーホール方式で絶縁体である誘電体層
8,6を貫通して接続することが可能である。さらに、
スルーホールによる接続は基板もしくは支持板1を貫通
して行うことができる。例えば、基板の両面に配された
電子回路を接続する場合である。このようなスルーポー
ルによる接続は導電路Ll、L2間であっても基板1の
両面にわたるものであっても、前記の実施例で採用した
コンデンサ電極と導電路を製・f′1する際のメタライ
ジング用の化学浴と一体的に(同時に)行うのが特に有
利である。
コンデンサ電極や導電路を作るだめに採用さハた前記の
化学的なメタライジングによる金属層は、完全な半田付
けが可能であり、チップと1、′1″接に接続できる。
化学的なメタライジングで得られた金属層はまた、これ
を有している誘電体層と、製造法に基づく、直接的で緊
密な接触が原因の良好な定着力を有しているとの利点も
(11hえる。
1f図には、さらに他の実施例が、本発明による厚膜コ
ンデンサがデータ処理装置における人力機構の容量結合
性キーボードへの特別な適用とその結果の構成として開
示されており、これはこの発明を適用してプリント回路
技術で作られたコンデンサの好しい適用分野を示してい
る。
このように適用する場合は非常に多数のコンデンサ領域
3を必要とし、これらは、入力機構のキーボードにおい
て普通のマトリックスに配置される。このような特別の
適用例では、上部形成面におけるコンデンサ電極C2と
導電路L2間の間隙はそのままとされ、コンデンサ電極
C2に対するそれぞれの接続端子L2は両者が直接に接
続されることはない。個々のコンデンサの選択的なON
 −OFFは外部から操作可能な橋絡接点板で行う。1
f図に示すように下方の第1誘電体層6上でコンデンサ
領域3と上方の導電面における導電路L2間(但し、−
組のコンデンサ電極C2とこれに属する接続端子52間
ではなく)の適宜個所に支持機構11を配する。ここで
は橋絡されるコンデンサC2と接続端子L2の粗間の領
域に対応した断面を持つ一枚のスペーサが好しい。
このスペーサ11は例えばポリエチレンあるいはポリエ
ステル箔である。そして、このスペーツ11上にこれら
に支えられてマトリクス構成部分の全部を覆う外部被覆
12が配される。この被覆は、その下面でスペーサ11
の空間に対し11、した領域にそれぞれのコンデンサ電
極とその(iζ続端子L2に対面した金属性の橋絡接点
板16、例えばニッケル、銀、好しくは金製のものをプ
リントにより備えている。外部被覆12も!!、たド゛
リエチレンあるいはポリエステルで構成されるつ;、特
に高温下で使用する場合にはポリイミド等も用いられる
。スペーサ11の高さく膜厚)は、橋絡接点板13を非
操作時にはコンデンサ′J: if C2とその接続端
子L2から離しておく程度の・ものとする。外部被覆1
2を押圧すると、それそ1れの成極13に対応した領域
において、対向1、て−組となったコンデンサC2,C
1は回路にスイッチ・オンし、解放するとオフする。こ
のような容量結合性キイーボードの構成は、個々のスイ
ッチに配された容量(キャパシティ)が固、ゼされてお
り、それぞれのスイッチを操作するだけでON −OF
Fが行なわれるという利点がある。
このようにすると、容量の誤差が僅少に抑えられ、個々
のこれまで記述してきた構成でプリント回路技術で作ら
れるコンデンサは比較的高い精度をもっているし、個々
のコンデンサにおける完全なON −OFFはスイッチ
の応答性として機能する。操作キイーを操作してコンデ
ンサをオンするとその応答として容量が大きく変化する
これは特に、コンデンサ領域以外の個所に低誘電率の誘
電体ペーストを有するものが大きく変化する。
第2図は、この種の容量結合性入力機構の典型的な利用
状況を示すもので、デコーダを備えてデータを出力する
ブロック図としている。記号14はデコーダを15はマ
ルチプレクサ回路を示し、マルチプレクサは容量性イン
ターフェース装置16を介してデコーダと接続している
記号17は容量結合性キーボードを示し、本発明の実施
態−としそ形成され得るものである。記号18はデータ
の出力部を示し、装置全体の各部におけるデータや処理
の流れは矢印で示されている。
この発明は、好しい実施例をもとにして説明してきたが
、本発明の要旨を変更することなくf?々に変形が可能
である。本発明の基本的な技術顕想は、コンデンサを、
プリント回路に適合する厚膜プリント技術で製造するこ
とであり、比較的低い温度が硬化する合成樹脂を基材と
したンルクスクリーンで印刷可能な誘電体物質を用い、
コンデンサ電極や導電路を触媒を含有した誘電体層を利
用して化学的なメタライジングで製作することを組込ん
だものである。
【図面の簡単な説明】
第1図(la図〜1f図) 容量結合性のキーボード用として形成された実施例を断
面にて示すもので、各図は製造工程順である。 第2図 データ出力部をもつデコーダで容量結合性の入力機構を
備えたものを、本発明の適用例として、ブロック図にて
示す。 1:基板 2.8:メタライジング用ペースト 6:コンデンサ領域 4:導電路領域 5.10 :金属層(メタライジング層)C1:固定電
極 C2:対向電極 6:被覆層 LI+”2  ’導電路 特許庁長官 若杉和夫  殿 1. 4Jj件の表示 昭和タフ年特許願第 793537号 2、 発明の名称 ;(、補正をする者 事件との関係  出願人 111i  東京都港区虎)門二丁目8番1号(虎の門
・ト気ヒル):; −hli +E命令の1−1附 昭和58年 2月 2日 7 補iEの山谷 別キJ(の通り 4、図面の簡単な説明 第4=@−+1a図〜1f図十 容量結合性のキーボード用として形成された実施例を断
面にて示すもので、各図は製造工程順である。 第2図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)  プリント回路における厚膜コンデンサであっ
    て、基板上に固定電極を配し、その上に特にメルクスク
    リーン法で厚膜誘電体とさらにその上に固定電極と対応
    させた対向電極を有しており、 前記誘電体(6)が比較的低温で硬化するポリマー材中
    に誘電性の混入物を分散させ、かつ、メルクスクリーン
    法でブリット可能なも・yノであることを特徴としたも
    の。 (2、特許請求の範囲第1項に記載したコンデン・Jで
    あって、厚膜誘電体は70〜90%(重:14比)の誘
    電性混入物と50〜10%(重量」I)のポリマー材と
    からなる混合物であるこノニを′F!f敵としたもの。 (、()  特許請求の範囲第1項または第2項に記載
    (だコンデンサであって、厚膜1iPj’4体(6)は
    誘電性混入物としてZnO、Al2O3、5rTi03
     。 BaTiO3あるいはセラミックを基材としだもののグ
    ループから1つまたは複数を採用していることを特徴と
    したもの。 (4)特許請求の範囲第1項、第22項または第3項の
    いずれかに記載のコンデンサであって、厚膜誘電体がポ
    リマー材として、ポリウレタン、ポリエステル、エポキ
    シ、メラミンの各合成樹脂のグループから1つまたは複
    数の合成樹脂を採用していることを特徴としたもの。 (5)特許請求の範囲第1項ないし第4項のいずれかに
    記載したコンデンサの1つまたは複数とこれらのコンデ
    ンサに関連した接続用端子および結線用の導電路を備え
    だプリント回路であって、 コンデンサ領域(3)以外の個所(4,7)をコンデン
    サの厚膜誘電体より誘電率が低い物質で充てんしてなる
    ことを特徴としたもの。 (6)特許請求の範囲第5項に記載したプリント回路で
    あって、コンデンサ領域以外の個所を、有機的なラック
    もしくは樹脂中に低誘電率の物質を分散させた混合物で
    充てんしてなることを特徴としたもの。 (7)特許請求の範囲第6項に記載したプリント回路で
    あって、コンデンサ領域以外の個所が、低誘電率のAz
    2o3. MrOあるいはセラミックを基材としたもの
    のグループから珠用した1つ−または複数の混入物を保
    有していることを特徴としたもの。 (8)特許請求の範囲第5項、第6項または第7項のい
    ずれかに記載したプリント回路であって、コンデンサの
    固定電極((!+)および対向電極(C2)が属するそ
    れぞれの形成面に、これらコンデンサに付属する接続端
    子および結線用の導電路を含めた導電路(Ll r L
    2 )が配されていることを特徴としたもの。 (9) 特許請求の範囲第1項ないし第8項のいずハか
    一つに記載した、厚膜コンデンサまたはこれらコンデン
    サの複数とこれらに付属した導電路を備えたプリント回
    路であって、コンデ/すの固定電極(C1)と場合によ
    ってはこれに付属する導電路(Ll)が化学的なメタラ
    イジングに機能する触媒を含有している、シルクスクリ
    ーンでプリントした層(2)上に形成された[ヒ学的な
    析出による金属層(5,1b図)であることを特徴とし
    たもの。 00)特許請求の範囲第1項ないし第9項のいずれか一
    つに記載した、コンデンサまたはこれらコンデンサの複
    数とこれらに付属した導電路を有しているプリント回路
    であって、コンデンサの対向電極(C2)と場合によっ
    ては、これに付属した導電路(L2)が、第1の厚膜誘
    電体(6)上に位置し化学的なメタライジングに機能す
    る触媒を含有した誘電体層(8)上に形成された化学的
    な析出による金属層(10)であることを特徴としたも
    の。 0υ 特許請求の範囲第9項まだは第10項のいずれか
    に記載Llたコンデンサおよびプリント回路であって、
    化学的にメタライ/フグが可能なシルクスクリーンでの
    プリントによる誘電体層(2あるいは6)が触媒として
    パラジウムあるいはパラジクム化合物を含有しているこ
    表を特徴としたもの。 (12、特許請求の範囲第1項ないし第8項のいずhか
    一つに記載した、コンデンサまだは複数のコンデンサと
    これらに付属した導電路を備えたプリント回路であって
    、 コンデンサの固定電極(C1)と/あるいは対向電極(
    C2)、および同様にこれらに付属した導電路(Lxl
     L2 )が導電性のシルクスクリーン用ペーストから
    形成されていることを特徴としたもの。 (1:3)  特許請求の範囲第1項ないし第12項の
    いずれか一つにおける、コンデンサまたはプリント回路
    であって、基板(1)が硬質紙やガラス繊維で強化した
    合成樹脂材、リドン、ポリエステルあるいはポリイミド
    箔または熱硬化性樹脂からなることを特徴としたもの。 (11)特許請求の範囲第1項ないし第16項のいずれ
    か一つに記載したプリント回路であって、データ処理装
    置の入力機構における容量結合性のキイーボードとして
    構成された多数のコンデンサを備え、 これらコンデンサ(0+、2)はマトリクスに配置され
    ていること、対向電極(C2)は、これと同一形成面に
    ある接続用端子(L2)と直接には接続されておらず、
    これらに対してスイッチング操作が可能な橋絡電極(1
    3)が選択的にスイッチング可能として配置されている
    こと、を特徴としたもの、(1f図)。 (151特許請求の範囲第14項に記載したプリント回
    路であって、マトリクスに配されたコンデンサ間の間隙
    にスペーサ(11,1f図)を有し、これは上方の対向
    電極(C2)およびこれに付属した導電路(L2)の上
    方へ突出し、これらの上には対向電極(C2)とこれに
    付属した接続端子(L2)とを結合するよう作動する橋
    絡接点板(13)を備えた操作具(12)が配されてい
    ること、を特徴としたもの。 (16)特許請求の範囲第15項に記載したプリント回
    路であって、スペーサはコンデンサ(02)とこれに付
    属した接続端子(Ll)に対応した個所に四部を有する
    一枚の箔であること、および、橋絡接点の保持体が、ス
    ペーサ11上に被覆されだ可撓性の膜体(12)であシ
    、その下面に、スペーサ箔(11)の四部で対向ミノ全
    (C2)とこれに付属した導電路(Ll)に対応した位
    置に橋絡電極としてのプリントされた金属層(13)が
    配されていること、を特徴としたもの。 (17)特許請求の範囲第5項ないし第16項のいずれ
    か一つ、特に特許請求の範囲第8項に記載した、プリン
    ト回路であって、異なる形成面に位置した導電路(LI
     r Ll )間をスルーホールで結合したこと、を特
    徴としたもの。 118)特許請求の範囲第5項ないし第17項のいずれ
    か一つに記載したプリント回路であって、基板の表裏に
    形成された回路を、基板を貫通するスルーホールで結合
    してなること、を特徴としたもの。 09)  1つまたは複数の厚膜コンデンサとこれに付
    属した導電路を備えたプリント回路におけるプリント回
    路の技術による厚膜コンデンサの製造方法であって、基
    板上にコンデンサの固定電極がそれぞれのコンデンサに
    対応して設けられ、ついでこの電極上にシルクスクリー
    ン法で厚膜誘電体が設けられ、これの硬化後対向電極が
    前記の固定電極に対応して設けられるもので、 誘電体の層形成に、比較的低温で硬化するポリマー材中
    に誘電性混入物を分散させた、シルクスクリーンでプリ
    ント可能な混合物が用いられること、を特徴とした方法
    。 (2、特許請求の範囲第19項に記載した方法であって
    、厚膜誘電体が誘電性混入物60〜70%(重量比)と
    ポリマー材30〜10%(重量比)の混合物から形成さ
    れることを特徴としたもの。  ( (2、特許請求の範囲第19項まだは第20項のいずれ
    かに記載した方法であって、厚膜誘電体(6)を形成す
    るためのシルクスクリーンでプリント可能な混合物が、
    誘電性混入物としてZnO+A/’203.5rTi0
    3.BaTiO3あるいはセラミックを基材としたもの
    、のグループから1つまだは複数を保有していることを
    特徴としたもの。 (ン2、特許請求の範囲第19項ないし第21項のいず
    れか一つに記載した方法であって、厚膜誘電体(6)を
    形成するための、シルクスクリーンでプリント可能な混
    合物が、ポリマー材として、ポリウレタンポリエステル
    、エポキ/、メラミンの合成樹脂グループから1つまだ
    は複数を保有していることを特徴としたもの。 (23+  特許請求の範囲第19項ないし第22項の
    いずれか一つに記載した方法であって、対向電極(C2
    )および場合によってはこれに付属する導電路(Ll)
    を形成するために、第1の誘電体層(6)上に、これが
    硬化後、シルクスクリーン法でこれら対向電極および場
    合によってはこれに付属する導電路のために設定された
    レイアウトに従って第2の一同様な誘電体層(8)が設
    けられ、この層は化学的なメタライジングに機能する触
    媒を含有していること、 つづいてこの第2の誘電体層(8)は対向電極(C2)
    と導電路(Ll)を形成するため、化学浴でメタライジ
    ングされること(10,18図)、 を特徴とした方法。 (24特許請求の範囲第19項ないし第25項のいずれ
    か一つに記載した方法であって、対向電極(C2)とこ
    れに付属する導電路(Ll)がシルクスクリーンでプリ
    ント可能な導電性ペーストを第1の誘電体層上にプリン
    トで形成すること、を特徴とした方法。 (2、特許請求の範囲第19項ないし第24項のいずれ
    か一つに記載した方法であって、コンデンサの固定電極
    (C1)およびこれに付属した導電路(Ll)を形成す
    るだめに、基板(1)上にとれら電極(C,)と導電路
    (LI)のためQて設定されたレイアウトに従って、化
    学的なメタライジングに活性を示すペーストをシルクス
    クリーン法でプリントし、これの硬化後、前記電極と導
    電路を形成すべく化学〆谷でメタライジング(5)され
    る(Ia図、1b図)こと、を特徴とした方法。 1:4ii)  特許請求の範囲第19項ないし第24
    項のいずれか一つに記載した方法であって、コンテ/す
    の固定電極(C0)とこれに付属する導電路(Ll)が
    基板上にシルクスクリーンでプリント可能な導電性ペー
    ストで、設定されたレイアウトに従って形成されること
    を特徴とした方法。 (271特許請求の範囲第19項ないし第24項のいr
    れか一つに記載した方法であって、コンデンサの固定電
    極(C1)とこれに付属する導電路(Ll)が基板の金
    属被覆層を選択的にエツチングする除去法で形成される
    こと、を特徴としンそ方法。 +281  特許請求の範囲第19項ないし第27項の
    いずれか一つに記載した方法であって、誘電体層(6,
    1c図;s、1a図)は130℃以上、特に150〜2
    30℃間の領域における温度で硬化されること、を特徴
    とした方法。 (29)厚膜によるコンデンサと、これに付属する導電
    路を包含したプリント回路の製造方法であって、次の工
    程からなることを特徴とするもの。 (a)基板上に、下方形成面におけるコンデンサ領域(
    3,1a図)およびこれに付属した導電路(4)をこれ
    らに関するレイアウトに従って、特に化学的にメタライ
    ジングが可能なペースト(2)でシルクスクリーン法に
    よりプリントする(Ia図); (b)  プリントされたペーストは硬化後化学浴でメ
    タライジングされ、下方の導電面におけるコンデンサめ
    固定電極(C1)およびこれに付属する(導電路(L+
    )を形成する(1b図) (C)形成された回路面を低い温度で硬化する誘電体層
    (6)で覆う。この層は誘電性混入物をポリマー材中に
    分散した混合物である。 また、コンデンサ(6)の領域以外の個所(4,7)で
    は誘電率の低い誘電体を用い得る(11ニジ1); (d)誘電体層(6)を160℃以上、特に150℃〜
    260℃の範囲における温度で硬化する;(θ)第1の
    誘′遊体層(6)上に、コンデンサ領域(ろ、1d図)
    および第2の導電面において導電路となる領域(9)に
    第2の誘電体、1(8)ヲシルクスクリーン法でそのレ
    イアウトに従ってプリントする。第2の層(8)は化学
    的にメタライジングする際に機能する触媒を含何してい
    る(1d図)。また、同様にコンデンサ領域(3)以外
    の個所は低い誘電率の誘電体層とすることができる:(
    f)  第2の誘電体層(8)を160℃以上、特に1
    50℃〜230℃の範囲における温度で11更化する: (g)第2の誘電体層(8)を化学浴でメタライジング
    しく10.1e図)、第2の導電面にコンデンサの対向
    電極(C2)とこれに付属する導電路(L2)を形成す
    る(18図)。 (30)特許請求の範囲第29項に記載した方法であっ
    て、コンデンサ領域(6)における誘電体層(6,81
    c図、1d図)が高い誘電率をもつZnO、At203
    .5rTi03 、 BaTiO3あるいはセラミック
    を基材としたもの、のグループから1つまたは複数の誘
    電性混入物を含有していること、を特徴とした方法。 (31)特許請求の範囲第29項または第30項に記載
    した方法であって、誘電体層(6,8)がコンデンサ領
    域(3)以外の個所において、低い誘電率のAz2o3
    . MfOあるいはセラミックを基材としたもの、のグ
    ループから1つまたは複数の誘電性混入物を含有してい
    ること、を特徴とした方法。 (32、特許請求の範囲第29項ないし第61項のいず
    れか一つに記載の方法であって、誘電体層(6,8)が
    誘電性混入物を、ポリウレタン、ポリエステル、エポキ
    シ、メラミンの合成樹脂のグループからの合成樹脂中に
    分散させていること、を特徴とした方法。 ・)、3)特許請求の範囲第29項ないし第32項のい
    ずれか一つに記載した方法であって、第2の、化学的に
    メタライジングの可能な誘電体層(8)が触媒としてパ
    ラジウムあるいは還元可能なパラジウム化合物を含有し
    ていることを特徴とした方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05502313A (ja) * 1989-12-18 1993-04-22 ストレイジ テクノロジー コーポレイション データ記憶システム

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3143995A1 (de) * 1981-11-05 1983-05-19 Preh, Elektrofeinmechanische Werke, Jakob Preh, Nachf. Gmbh & Co, 8740 Bad Neustadt Dickschichtkondensator in druckschaltungstechnik
EP0260665A3 (de) * 1986-09-18 1989-03-29 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur Herstellung eines schichtartig aufgebauten elektrischen Bauteils
AU631595B2 (en) * 1988-12-24 1992-12-03 Technology Applications Company Limited Improved method for making printed circuits
US5821033A (en) * 1992-09-18 1998-10-13 Pinnacle Research Institute, Inc. Photolithographic production of microprotrusions for use as a space separator in an electrical storage device
US5464453A (en) * 1992-09-18 1995-11-07 Pinnacle Research Institute, Inc. Method to fabricate a reliable electrical storage device and the device thereof
US5711988A (en) * 1992-09-18 1998-01-27 Pinnacle Research Institute, Inc. Energy storage device and its methods of manufacture
US5800857A (en) * 1992-09-18 1998-09-01 Pinnacle Research Institute, Inc. Energy storage device and methods of manufacture
US5384685A (en) * 1992-09-18 1995-01-24 Pinnacle Research Institute, Inc. Screen printing of microprotrusions for use as a space separator in an electrical storage device
US5867363A (en) 1992-09-18 1999-02-02 Pinnacle Research Institute, Inc. Energy storage device
WO1994007272A1 (en) * 1992-09-18 1994-03-31 Pinnacle Research Institute, Inc. Energy storage device and methods of manufacture
US5382928A (en) * 1993-01-22 1995-01-17 The Whitaker Corporation RF filter having composite dielectric layer and method of manufacture
US5980977A (en) * 1996-12-09 1999-11-09 Pinnacle Research Institute, Inc. Method of producing high surface area metal oxynitrides as substrates in electrical energy storage
US6935002B1 (en) * 1997-10-13 2005-08-30 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method of manufacturing a nonreciprocal circuit device
US6618238B2 (en) * 1998-04-01 2003-09-09 Polyclad Laminates, Inc. Parallel plate buried capacitor
US6021050A (en) * 1998-12-02 2000-02-01 Bourns, Inc. Printed circuit boards with integrated passive components and method for making same
DE19902769A1 (de) * 1999-01-25 2000-07-27 Philips Corp Intellectual Pty Keramisches, passives Bauelement
DE19939483A1 (de) * 1999-08-20 2001-03-08 Philips Corp Intellectual Pty Passives Bauelement mit Verbundwerkstoff
CN100380540C (zh) * 2001-11-26 2008-04-09 希普利公司 介电结构
US6661642B2 (en) * 2001-11-26 2003-12-09 Shipley Company, L.L.C. Dielectric structure
US7056800B2 (en) * 2003-12-15 2006-06-06 Motorola, Inc. Printed circuit embedded capacitors
KR100586963B1 (ko) * 2004-05-04 2006-06-08 삼성전기주식회사 유전체 형성용 조성물, 이로 제조된 캐패시터층 및 이를포함하는 인쇄회로기판
EP3091821A1 (en) * 2015-05-08 2016-11-09 AT & S Austria Technologie & Systemtechnik Aktiengesellschaft Printed circuit board
DE102015113694B4 (de) * 2015-08-19 2021-09-09 Preh Gmbh Kapazitives Bedienelement mit verbesserter Störunanfälligkeit
KR102440363B1 (ko) * 2017-08-11 2022-09-05 삼성전자주식회사 필름 프레임, 디스플레이 기판 제조 시스템 및 디스플레이 기판 제조 방법

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS49105151A (ja) * 1973-02-13 1974-10-04
JPS52155363A (en) * 1976-06-18 1977-12-23 Tokyo Shibaura Electric Co Thick integrated circuit unit
JPS55130127A (en) * 1979-03-30 1980-10-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd Printed capacitor and method of fabricating same
JPS5664423A (en) * 1979-10-29 1981-06-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd Thick film capacitor and method of manufacturing same
JPS56124223A (en) * 1980-03-05 1981-09-29 Tdk Electronics Co Ltd Method of forming electrode for electronic part
JPS56130911A (en) * 1980-03-17 1981-10-14 Tdk Electronics Co Ltd Method of forming electrode of electronic component

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB706067A (ja) * 1900-01-01
GB584672A (en) * 1944-01-14 1947-01-21 Erich Schaefer Improvements in or relating to electrical condensers having plastic film dielectrics
FR1051606A (fr) * 1951-02-07 1954-01-18 Csf Nouveau procédé de fabrication de matières isolantes à constante diélectrique élevée et leur application à la fabrication de condensateurs
US2934479A (en) * 1957-01-22 1960-04-26 Leon L Deer Process for masking printed circuits before plating
US3310432A (en) * 1963-07-11 1967-03-21 Corning Glass Works Method for applying electrical conductors on a smooth vitreous surface and article
US3481777A (en) * 1967-02-17 1969-12-02 Ibm Electroless coating method for making printed circuits
US3660328A (en) * 1970-07-27 1972-05-02 Pfizer Dielectric films
DE2132935C3 (de) * 1971-07-02 1978-07-20 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Elektrischer, im Siebdruckverfahren hergestellter Kondensator
DE2434390A1 (de) * 1973-07-17 1975-02-27 Alphameric Holdings Ltd Tastatur
DD114315A1 (ja) * 1974-07-18 1975-07-20
US3996502A (en) * 1975-06-02 1976-12-07 Zenith Radio Corporation Thick film capacitors
US4090229A (en) * 1976-09-30 1978-05-16 Becton, Dickinson Electronics Company Capacitive key for keyboard
US4182781A (en) * 1977-09-21 1980-01-08 Texas Instruments Incorporated Low cost method for forming elevated metal bumps on integrated circuit bodies employing an aluminum/palladium metallization base for electroless plating
DE2841742A1 (de) * 1978-09-26 1980-04-03 Draloric Electronic Kapazitives netzwerk
US4327126A (en) * 1980-11-10 1982-04-27 Ralph Ogden Method of making printed circuit boards
DE3143995A1 (de) * 1981-11-05 1983-05-19 Preh, Elektrofeinmechanische Werke, Jakob Preh, Nachf. Gmbh & Co, 8740 Bad Neustadt Dickschichtkondensator in druckschaltungstechnik

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS49105151A (ja) * 1973-02-13 1974-10-04
JPS52155363A (en) * 1976-06-18 1977-12-23 Tokyo Shibaura Electric Co Thick integrated circuit unit
JPS55130127A (en) * 1979-03-30 1980-10-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd Printed capacitor and method of fabricating same
JPS5664423A (en) * 1979-10-29 1981-06-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd Thick film capacitor and method of manufacturing same
JPS56124223A (en) * 1980-03-05 1981-09-29 Tdk Electronics Co Ltd Method of forming electrode for electronic part
JPS56130911A (en) * 1980-03-17 1981-10-14 Tdk Electronics Co Ltd Method of forming electrode of electronic component

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05502313A (ja) * 1989-12-18 1993-04-22 ストレイジ テクノロジー コーポレイション データ記憶システム

Also Published As

Publication number Publication date
US4555745A (en) 1985-11-26
EP0078935B1 (de) 1989-01-11
DE3143995C2 (ja) 1992-08-20
EP0078935A2 (de) 1983-05-18
DE3143995A1 (de) 1983-05-19
EP0078935A3 (en) 1985-10-02

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