JPS58152355A - レンズ電流設定回路 - Google Patents
レンズ電流設定回路Info
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- JPS58152355A JPS58152355A JP3551882A JP3551882A JPS58152355A JP S58152355 A JPS58152355 A JP S58152355A JP 3551882 A JP3551882 A JP 3551882A JP 3551882 A JP3551882 A JP 3551882A JP S58152355 A JPS58152355 A JP S58152355A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/21—Means for adjusting the focus
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- Analytical Chemistry (AREA)
- Analogue/Digital Conversion (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ディジタルアナログ変換器（以下、Ｄ 、−
’ Ａ変換器と略す）及び該Ｄ／△変換器に設定データ
を与える制御回路を備え、前記Ｄ 、／ Ａ変換器の出
力に応じた電流をレンズに励磁電流として供給するよう
に構成した１ノンズ電流設定回路に関づる。
’ Ａ変換器と略す）及び該Ｄ／△変換器に設定データ
を与える制御回路を備え、前記Ｄ 、／ Ａ変換器の出
力に応じた電流をレンズに励磁電流として供給するよう
に構成した１ノンズ電流設定回路に関づる。
例えば、電子顕微鏡におりる対物レンズは、電子線像の
分解能の終局の限界を決定Ｊるｂので、最も重要な構成
要素の１つである３、このため、対物レンズの焦点距離
の調節を微細に目つ容易になしつる対物レンズ電流設定
回路が必要とされる。又、対物レンズ電流の変動は、電
子線像のゆらぎとなって像の分解能を低１・さμるので
、設定回路の出力電流は高い安定性を要求される。そこ
で、従来から、励１に電流の設定回路には、Ｄ 、、／
Ａ変換器が用いられている。このＤ 、／△変換器を
用いた設定回路は、焦点距１Ｉｉｌｌ調節つまみを回す
ことにより、Ｄ／△変換器の入力データを変化させ、定
電流回路から、Ｄ／Ａ変換器の出力に応じた電流を対物
レンズの励磁コイルに流すものである。ところで、鮮明
な電子線像を得るためには、対物レンズの焦点を試料上
に正確に合わせ込む必要があり、従って、対物レンズの
励磁電流を微小量ずつ変化させることができるものでな
（プればならない。それ故、励磁電流をつくり出すＤ／
Ａ変換器どしては、極めて高い分解能のものが要求され
る。しかし、このような高分解能のＤ／Ａ変換器は非常
に高価であり、当然これを用いた設定回路も高価になる
。この種の問題は、電子顕微鏡の対物レンズの場合に限
らず、他のレンズの場合においても生じていた。
分解能の終局の限界を決定Ｊるｂので、最も重要な構成
要素の１つである３、このため、対物レンズの焦点距離
の調節を微細に目つ容易になしつる対物レンズ電流設定
回路が必要とされる。又、対物レンズ電流の変動は、電
子線像のゆらぎとなって像の分解能を低１・さμるので
、設定回路の出力電流は高い安定性を要求される。そこ
で、従来から、励１に電流の設定回路には、Ｄ 、、／
Ａ変換器が用いられている。このＤ 、／△変換器を
用いた設定回路は、焦点距１Ｉｉｌｌ調節つまみを回す
ことにより、Ｄ／△変換器の入力データを変化させ、定
電流回路から、Ｄ／Ａ変換器の出力に応じた電流を対物
レンズの励磁コイルに流すものである。ところで、鮮明
な電子線像を得るためには、対物レンズの焦点を試料上
に正確に合わせ込む必要があり、従って、対物レンズの
励磁電流を微小量ずつ変化させることができるものでな
（プればならない。それ故、励磁電流をつくり出すＤ／
Ａ変換器どしては、極めて高い分解能のものが要求され
る。しかし、このような高分解能のＤ／Ａ変換器は非常
に高価であり、当然これを用いた設定回路も高価になる
。この種の問題は、電子顕微鏡の対物レンズの場合に限
らず、他のレンズの場合においても生じていた。
本発明は、この問題に鑑みてなされたもので、Ｍビット
の分解能をもつ第１のＤ／Ａ変換器と、Ｌビットの分解
能をもつ第２のＤ／Ａ変換器と、前記第１及び第２のＤ
／Ａ変換器に焦点距離調節つまみからの入力信号に応じ
たデータを出力する制御回路とを備え、前記第１のＤ／
Ａ変換器の下位Ａピッ１〜と前記第２のＤ／Ａ変換器の
上位Ａビットとを重ねて金側でＮビット（Ｎ＝Ｍ＋１−
Ａ）のＤ／’Ａ変換器を構成せしめ、前記第２のＤ／Ａ
変換器の非重合部のビット数Ｌ−Ａに応じた重み付４：
ｔ ′ｃもって、前記第１及び第２の１）／Ａ変換器の
出力を加算し、該加算結果に応じた電流を、レンズに励
磁電流として供給するように構成して、レンズの励磁電
流を極少間ずつ変えることができ、しかも安価なレンズ
電流設定回路を実現したものである。
の分解能をもつ第１のＤ／Ａ変換器と、Ｌビットの分解
能をもつ第２のＤ／Ａ変換器と、前記第１及び第２のＤ
／Ａ変換器に焦点距離調節つまみからの入力信号に応じ
たデータを出力する制御回路とを備え、前記第１のＤ／
Ａ変換器の下位Ａピッ１〜と前記第２のＤ／Ａ変換器の
上位Ａビットとを重ねて金側でＮビット（Ｎ＝Ｍ＋１−
Ａ）のＤ／’Ａ変換器を構成せしめ、前記第２のＤ／Ａ
変換器の非重合部のビット数Ｌ−Ａに応じた重み付４：
ｔ ′ｃもって、前記第１及び第２の１）／Ａ変換器の
出力を加算し、該加算結果に応じた電流を、レンズに励
磁電流として供給するように構成して、レンズの励磁電
流を極少間ずつ変えることができ、しかも安価なレンズ
電流設定回路を実現したものである。
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明の一実施例で、電子顕微鏡用対物レン
ズ電流設定回路として用いられるものを示す電気的構成
図である。図において、１は焦点距離調節つまみ（図示
せず）からの信号を受け、必要な設定データを作成し出
力する制御回路である。該制御回路１としては、コンビ
コータが用いられる。２は上記制御回路１の出力データ
をデータバ・スＤＢ＋を介して受けるビット数Ｍの第１
のＤ／Ａ変換器、３は上記制御回路１の出力データをデ
ータバス０８２を介し３− て受けるビット数りの第２のＤ／Ａ変換器である。Ｒ１
は第１のＤ／Ａ変換器２の出力端に接続された抵抗、Ｒ
しは第２のＤ／Ａ変換器３の出力端に接続された抵抗、
Ｕｌは上記抵抗Ｒ１゜Ｒ２を介してＤ／Ａ変換器２，３
の出力を受ける第１の演算増幅器、Ｒｆは該演算増幅器
Ｕ１の入出力端間に接続された帰還抵抗である。これら
の抵抗Ｒｚ 、Ｒ２、Ｒｆ及び演算増幅器（）１は、加
算器４を構成している。Ｕｌは第２の演算増幅器で、そ
の出力端には、対物レンズの励磁コイルＬｏの一端が接
続されている。Ｒ８は励磁コイルＬｏの他端に一端が接
続された基準抵抗で、その他端は接地されている。そし
て、励磁コイルＬｏと基準抵抗Ｒ３の接続点の電位は、
演算増幅器Ｕ２の入力側に帰還されている。
ズ電流設定回路として用いられるものを示す電気的構成
図である。図において、１は焦点距離調節つまみ（図示
せず）からの信号を受け、必要な設定データを作成し出
力する制御回路である。該制御回路１としては、コンビ
コータが用いられる。２は上記制御回路１の出力データ
をデータバ・スＤＢ＋を介して受けるビット数Ｍの第１
のＤ／Ａ変換器、３は上記制御回路１の出力データをデ
ータバス０８２を介し３− て受けるビット数りの第２のＤ／Ａ変換器である。Ｒ１
は第１のＤ／Ａ変換器２の出力端に接続された抵抗、Ｒ
しは第２のＤ／Ａ変換器３の出力端に接続された抵抗、
Ｕｌは上記抵抗Ｒ１゜Ｒ２を介してＤ／Ａ変換器２，３
の出力を受ける第１の演算増幅器、Ｒｆは該演算増幅器
Ｕ１の入出力端間に接続された帰還抵抗である。これら
の抵抗Ｒｚ 、Ｒ２、Ｒｆ及び演算増幅器（）１は、加
算器４を構成している。Ｕｌは第２の演算増幅器で、そ
の出力端には、対物レンズの励磁コイルＬｏの一端が接
続されている。Ｒ８は励磁コイルＬｏの他端に一端が接
続された基準抵抗で、その他端は接地されている。そし
て、励磁コイルＬｏと基準抵抗Ｒ３の接続点の電位は、
演算増幅器Ｕ２の入力側に帰還されている。
この演算増幅器Ｕ２及び基準抵抗Ｒ３は定電流回路５を
構成している。
構成している。
以上のように構成され／ｊ対物レンズ電流設定回路の動
作は、次の通りである。
作は、次の通りである。
制御回路１から、Ｄ／Ａ変換器２，３にそれ＝４＝
それデータバスＤＢ＋ 、ＤＢ２を介してデータが送ら
れると、１〕／Ａ変換器２，３は、入力データに応じた
アナログ電圧Ｅ＋ 、Ｒ２を出力する。この時、加算器
４の出力Ｅｒは次式で示される。
れると、１〕／Ａ変換器２，３は、入力データに応じた
アナログ電圧Ｅ＋ 、Ｒ２を出力する。この時、加算器
４の出力Ｅｒは次式で示される。
Ｅｒ ＝−［（Ｒｆ ／Ｒ＋ ）Ｅ＋
＋ （Ｒｆ ／Ｒ２） Ｒ２］・・・・・・（１）但し
、各抵抗の値として各抵抗を示す記号をそのまま用いた
（以下同様）、。
、各抵抗の値として各抵抗を示す記号をそのまま用いた
（以下同様）、。
この加算器４の出力「ｒは、続く定電流回路５の基準電
圧となる。従って、定電流回路５の出力電流Ｉは次式で
示され、 １＝Ｅｒ ／Ｒｓ・・・・・・（２） この出力電流■が対物レンズの励磁コイルＬ。
圧となる。従って、定電流回路５の出力電流Ｉは次式で
示され、 １＝Ｅｒ ／Ｒｓ・・・・・・（２） この出力電流■が対物レンズの励磁コイルＬ。
を流れることにより、焦点距離が調節されることになる
。−ト記（１）式及び（２）式から明らかなように、Ｄ
／Ａ変換器２，３の入力データを変えることにより、励
磁電流Ｉを変えることができる。
。−ト記（１）式及び（２）式から明らかなように、Ｄ
／Ａ変換器２，３の入力データを変えることにより、励
磁電流Ｉを変えることができる。
本発明では、２個のＤ／Ａ変換器２．３を用いてビット
数ＮのＩ） ／△変換器１０を実現りるため、第１及び
第２のＤ ／ Ａ変換器２．３の出力を、第２のＤ／Ａ
変換器３の非重合部のビット数へに応じて重み付けを行
い加算している。
数ＮのＩ） ／△変換器１０を実現りるため、第１及び
第２のＤ ／ Ａ変換器２．３の出力を、第２のＤ／Ａ
変換器３の非重合部のビット数へに応じて重み付けを行
い加算している。
例えば、第１の１）／△変換器２のビット数Ｍを１６、
第２のＤ／Ａ変換器３のビット数しを１２、重合部のビ
ット数Ａを８どして、分解能２０ピツ１〜のＤ／Ａ変換
器を実現するものとづれば、」−記抵抗Ｒ＋ 、Ｒ２に
、次のような重み（ｄけを行う。即ち、抵抗Ｒ＋の抵抗
値に対して、抵抗Ｒ２の抵抗値を２４倍（Ｒ２−１６Ｒ
＋ ）にとっている。これにより、Ｄ／Ａ変換器３の出
力電圧は１７１６となり、加粋器４の出力ＥＥｒは、次
式のようになる。
第２のＤ／Ａ変換器３のビット数しを１２、重合部のビ
ット数Ａを８どして、分解能２０ピツ１〜のＤ／Ａ変換
器を実現するものとづれば、」−記抵抗Ｒ＋ 、Ｒ２に
、次のような重み（ｄけを行う。即ち、抵抗Ｒ＋の抵抗
値に対して、抵抗Ｒ２の抵抗値を２４倍（Ｒ２−１６Ｒ
＋ ）にとっている。これにより、Ｄ／Ａ変換器３の出
力電圧は１７１６となり、加粋器４の出力ＥＥｒは、次
式のようになる。
Ｅｒ ＝−［（Ｒｆ ／Ｒ＋ ）Ｅ＋
＋ （Ｒｆ ／１６Ｒ＋ ）Ｅ２ ］・・・・・・（３
）以下、この具体的数値を例にとって、本発明設定回路
の動作を更に詳細に説明する。
）以下、この具体的数値を例にとって、本発明設定回路
の動作を更に詳細に説明する。
尚、ここで述べる設定回路は、ステップ選択スイッチで
６って２つの選択モード（モード１゜モード２）を選べ
ると共に、各モードにおりる、微調整用及びｌｆｌ調整
用の焦点距ｌｌ！を調節つまみによるフィーカスステッ
プ（Ｄ７′△変換器３の１Ｌ、、 Ｓ Ｂ相当の変化を
１とする）が次表で示され、しかも、モード１での調節
が、主に第２のＤ／Ａ変換器３でなされ、モード２での
調節が、主に第１の１〕／Δ変換器２でなされるもので
ある。
６って２つの選択モード（モード１゜モード２）を選べ
ると共に、各モードにおりる、微調整用及びｌｆｌ調整
用の焦点距ｌｌ！を調節つまみによるフィーカスステッ
プ（Ｄ７′△変換器３の１Ｌ、、 Ｓ Ｂ相当の変化を
１とする）が次表で示され、しかも、モード１での調節
が、主に第２のＤ／Ａ変換器３でなされ、モード２での
調節が、主に第１の１〕／Δ変換器２でなされるもので
ある。
先ず、第１図に示す設定回路の電源をオンすると、制御
回路１は、第２のＤ ／Δ変換器３（以下、１４４１：
’１２ビットＤ 、、、、／’ Ａと記す）の入力デー
タを中心値にヒツトする（ＭＳＢに１をセットする）ｎ
これにより、１２ビツトＤ／△への入力データＤ？は、
次のようになる（但し、ｄ、〜ｄ、９ は各ビットを
表わす）。
回路１は、第２のＤ ／Δ変換器３（以下、１４４１：
’１２ビットＤ 、、、、／’ Ａと記す）の入力デー
タを中心値にヒツトする（ＭＳＢに１をセットする）ｎ
これにより、１２ビツトＤ／△への入力データＤ？は、
次のようになる（但し、ｄ、〜ｄ、９ は各ビットを
表わす）。
ｄｔｔｄｍｄ９ ［１？ ｄ７ ｄ６ ｄ５−ｄ４ｄ３
ｄよｄ、ｄρ１０００００００００００ ・・−−−
−（４，）従って、モード１において、微調整用の調節
つまみを操作し、データをＩＬＳＢずつ増加させると、
２０４７スデツプで、全ビットに１が立つ（十進数で４
０９６に相当）。即ち、次のようになる。
ｄよｄ、ｄρ１０００００００００００ ・・−−−
−（４，）従って、モード１において、微調整用の調節
つまみを操作し、データをＩＬＳＢずつ増加させると、
２０４７スデツプで、全ビットに１が立つ（十進数で４
０９６に相当）。即ち、次のようになる。
ｄ、７ｄ、ρｄ、ｄ、ｄ、ｄ、ｄダｄ４ｄＪｄ、：、ｄ
７ｄ。
７ｄ。
１１１１１１１１１１１１−・・・・・（５）逆に、（
４）に示すデータを１ＬＳＢずつ減少させていくと、２
０４８ステツプで、全データがＯ（十進数でＯに相当〉
になる。即ら、次のようになる。
４）に示すデータを１ＬＳＢずつ減少させていくと、２
０４８ステツプで、全データがＯ（十進数でＯに相当〉
になる。即ら、次のようになる。
ｄ、７ｄ、０ｄ７ｄａｄ、ｄｇｄｒｄ４ｄｊｄ工ｄ／ｄ
９ｏｏｏｏｏｏｏｏｏｏｏｏ・・・・・・（６）調節つ
まみの回動操作によって、１２ビツトＤ／Ａが４０９６
をオーバー、又はＯよりアンダーになるときには、制御
回路１は、１２ビツトＤ／△の値を中心に移し、２０ビ
ツトのＤ／Ａ変換器１０（以下、単に２０ビツト１′）
／△と記す）としての値が、ビット操作の前後で変わら
ないように、第１のＤ／Ａ変換器２（以下、単に１６ビ
ツトＤ／Ａと記す）の入カテ゛−タＤ１を操作する。
９ｏｏｏｏｏｏｏｏｏｏｏｏ・・・・・・（６）調節つ
まみの回動操作によって、１２ビツトＤ／Ａが４０９６
をオーバー、又はＯよりアンダーになるときには、制御
回路１は、１２ビツトＤ／△の値を中心に移し、２０ビ
ツトのＤ／Ａ変換器１０（以下、単に２０ビツト１′）
／△と記す）としての値が、ビット操作の前後で変わら
ないように、第１のＤ／Ａ変換器２（以下、単に１６ビ
ツトＤ／Ａと記す）の入カテ゛−タＤ１を操作する。
例えば、１６ビツトＤ／Ａ、１２ビツトＤ／△への入力
データがそれぞれ、次に示すような状態にあるときに、 ｄ／ｙｄｌａｄｎｄｔｂｄ ｔｔｄｔａ（Ｌａｄ、、ｄ
／ｙ ｄ、ｏｄ ｙ ｄ 、９ ｄ７ｄ６ｄｒ （ｌダ
ｄ ３ ｄ Ｊ ／ｄ 。
データがそれぞれ、次に示すような状態にあるときに、 ｄ／ｙｄｌａｄｎｄｔｂｄ ｔｔｄｔａ（Ｌａｄ、、ｄ
／ｙ ｄ、ｏｄ ｙ ｄ 、９ ｄ７ｄ６ｄｒ （ｌダ
ｄ ３ ｄ Ｊ ／ｄ 。
Ｄ＋ ０００００００１０００１００１０Ｄ２
１１１１１１１１１１１１・・・・・・（７） 焦点調節つまみを回して１ＬＳＢだけ増加させると、制
御回路１は、１６ヒツトＤ／Ａのｄ／／に１を立て、１
２ビツトＤ ／ Ａの入力データＤ２を中心値に戻す。
１１１１１１１１１１１１・・・・・・（７） 焦点調節つまみを回して１ＬＳＢだけ増加させると、制
御回路１は、１６ヒツトＤ／Ａのｄ／／に１を立て、１
２ビツトＤ ／ Ａの入力データＤ２を中心値に戻す。
これをデータとして示すと次のようになる。
ｄｙｙｄｔ＆ｄ／７ｄａ（１／ＡｔＡｔａｄｔＡｎｄｒ
ｔｙｄ 、９ｄ 、？ｄｙｄｂｄｓ−ｄａｄａ ｄ、ｈ
ｄ ／ｄｔｙＤ＋ ０００００００１１００１００１０
Ｄ ２ １０００００００００００・・
・・・・（８） ＤｌのＬＳＢは、２０ビツトＤ／Ａとして考えると、１
ではなく２″＝１６の重みをもち、ＤｌのＬＳＢは、２
０ビツトＤ／ＡとしてのＬ８Ｂでもある。従って、（７
）でのＤｌの値は４３８４、Ｄｌの値は４０９５であり
、２０ピッｌ−Ｄ ／ Ａとしての値は８４７９となる
。一方、（８）でのＤｌは６４３２、Ｄｌは２０４８で
あり、２０ビツトＤ／Ａとしての値は８４８０となり、
（７〉で示した値８４７９より１だけ増加し、連続して
変化していることが確認できる。従って、このような操
作があった場合にも、励磁コイルＬｏの励磁電流ｌが１
ＬＳＢ相当分だけ増加していることになる。
ｔｙｄ 、９ｄ 、？ｄｙｄｂｄｓ−ｄａｄａ ｄ、ｈ
ｄ ／ｄｔｙＤ＋ ０００００００１１００１００１０
Ｄ ２ １０００００００００００・・
・・・・（８） ＤｌのＬＳＢは、２０ビツトＤ／Ａとして考えると、１
ではなく２″＝１６の重みをもち、ＤｌのＬＳＢは、２
０ビツトＤ／ＡとしてのＬ８Ｂでもある。従って、（７
）でのＤｌの値は４３８４、Ｄｌの値は４０９５であり
、２０ピッｌ−Ｄ ／ Ａとしての値は８４７９となる
。一方、（８）でのＤｌは６４３２、Ｄｌは２０４８で
あり、２０ビツトＤ／Ａとしての値は８４８０となり、
（７〉で示した値８４７９より１だけ増加し、連続して
変化していることが確認できる。従って、このような操
作があった場合にも、励磁コイルＬｏの励磁電流ｌが１
ＬＳＢ相当分だけ増加していることになる。
モード１において、粗調整用調節つまみを回した場合に
ついては、１２ビツトＤ／Ａへの入力データＤ２が１６
ＬＳＢずつ変化する。しかし、制御回路１のビット操作
は、４０９６をオーバーあるいは０よりアンダーかを判
断しながら、微調整の場合と全く同様に行われる。
ついては、１２ビツトＤ／Ａへの入力データＤ２が１６
ＬＳＢずつ変化する。しかし、制御回路１のビット操作
は、４０９６をオーバーあるいは０よりアンダーかを判
断しながら、微調整の場合と全く同様に行われる。
次に、モード２が選択された場合のビット操作について
説明する。このとき、制御回路１は、調節つまみから設
定変更があると、入）〕データＤ２のＭＳＢに１をセッ
トし、下位４ビツトの値はそのままにすると共に、入力
データＤ２と全体の設定値との差を入力データＤＩにヒ
ツト覆る。例えばへ、１６ビツトＤ／Ａ及び１２ビツト
１）／Ａの入力データＤ＋ 、Ｄｌがそれぞれ次のよう
な値をとっているとき、 （１）夕ｄｔＦｒｄ、７ｄｔｔ（ＪｔｔｄｒｕｄｔＡＡ
ｄｔｔ ｄｔｏｄりｄ２ｄ７ｄ４ｄｌｄｌｄ、）ｄＪ７
ｄρＤ＋ ０００００００１０００１００１０Ｄ２
１０１０１１００１０１１・・・・・・（
９） 微調整用調節つまみを回して、１６ビツトＤ／Ａの最小
ピッ１−を１ステツプ増加させると、ＤＩ 十０２は、
計算上、次のようになる。
説明する。このとき、制御回路１は、調節つまみから設
定変更があると、入）〕データＤ２のＭＳＢに１をセッ
トし、下位４ビツトの値はそのままにすると共に、入力
データＤ２と全体の設定値との差を入力データＤＩにヒ
ツト覆る。例えばへ、１６ビツトＤ／Ａ及び１２ビツト
１）／Ａの入力データＤ＋ 、Ｄｌがそれぞれ次のよう
な値をとっているとき、 （１）夕ｄｔＦｒｄ、７ｄｔｔ（ＪｔｔｄｒｕｄｔＡＡ
ｄｔｔ ｄｔｏｄりｄ２ｄ７ｄ４ｄｌｄｌｄ、）ｄＪ７
ｄρＤ＋ ０００００００１０００１００１０Ｄ２
１０１０１１００１０１１・・・・・・（
９） 微調整用調節つまみを回して、１６ビツトＤ／Ａの最小
ピッ１−を１ステツプ増加させると、ＤＩ 十０２は、
計算上、次のようになる。
ｄ／９ ｄｔ２ ｄ／７ｄ７＆ ｄ／ぐｄ岸ｄｚＪ ｄ
ｉＡｉ／ｄｔρｄ９ｄｐｄ、ｄ６ｄ、ｄダｄ、３ｄ、Ｊ
／ｄρＤ＋ ０００００００１０００１ ＱＯｌ １Ｄ
２ １０１０１１００１０１１Ｄｉ ＋
Ｄ２ ０００００００１１０１１１１１１１０１１・・・・・
・（１０） そこで、制御回路１は変更後の設定データＤ＋＋Ｄ２と
して、次のものを出力する。
ｉＡｉ／ｄｔρｄ９ｄｐｄ、ｄ６ｄ、ｄダｄ、３ｄ、Ｊ
／ｄρＤ＋ ０００００００１０００１ ＱＯｌ １Ｄ
２ １０１０１１００１０１１Ｄｉ ＋
Ｄ２ ０００００００１１０１１１１１１１０１１・・・・・
・（１０） そこで、制御回路１は変更後の設定データＤ＋＋Ｄ２と
して、次のものを出力する。
ｄ、２ｄ／、？ ｄ７７鋺ｄＡｔＡＬＪｄμｄｚｚｄｚ
ａｄ７［痔ｄ７ｄｓｄｉｄ≠ｄＪｄよｄ／ｄρＤ＋
０００００００１００１ １ １ １ １ １Ｄ２
１００００００．０１ ０１
１・・・・・・ （１１） この（１１）の値は７１６３であり、（９）の値７１４
７よりも、１６ビツトＤ／Ａの最小桁の重み１６だけ増
加した値になっている。尚、粗調整用調節つまみを回し
た場合であっても全く同様である。
ａｄ７［痔ｄ７ｄｓｄｉｄ≠ｄＪｄよｄ／ｄρＤ＋
０００００００１００１ １ １ １ １ １Ｄ２
１００００００．０１ ０１
１・・・・・・ （１１） この（１１）の値は７１６３であり、（９）の値７１４
７よりも、１６ビツトＤ／Ａの最小桁の重み１６だけ増
加した値になっている。尚、粗調整用調節つまみを回し
た場合であっても全く同様である。
以上、具体的データで示したように、上記実施例では焦
点調整つまみを回すことにより必要なフォーカスステン
・プを得ることができる。
点調整つまみを回すことにより必要なフォーカスステン
・プを得ることができる。
尚、上述の説明ではデータを増加させる場合について説
明したが、データを減少させる場合についても全く同様
である。又、当然のことながら、第１のＤ／Ａ変換器は
必ずしも１６ビツトである必要はなく、第２のＤ／Ａ変
換器も１２ビツトである必要はない。更に、第１のＤ／
Ａ変換器と第２のＤ／Ａ変換器を組み合せてつくるＤ／
Ａ変換器のビット数も２０ Ｔ−ある必要はなく、重合
部のビット数を変える等して、任意のビット数のＤ／Ａ
をつくることができる。
明したが、データを減少させる場合についても全く同様
である。又、当然のことながら、第１のＤ／Ａ変換器は
必ずしも１６ビツトである必要はなく、第２のＤ／Ａ変
換器も１２ビツトである必要はない。更に、第１のＤ／
Ａ変換器と第２のＤ／Ａ変換器を組み合せてつくるＤ／
Ａ変換器のビット数も２０ Ｔ−ある必要はなく、重合
部のビット数を変える等して、任意のビット数のＤ／Ａ
をつくることができる。
又、上記説明は、電子顕微鏡の対物レンズについての実
施例であったが、本発明設定回路は、電子顕微鏡の収束
レンズ、投影レンズ等の他のレンズ、更には電子ビーム
露光装置等の他の電子ビーム装置にも適用できることは
言うまでもない。
施例であったが、本発明設定回路は、電子顕微鏡の収束
レンズ、投影レンズ等の他のレンズ、更には電子ビーム
露光装置等の他の電子ビーム装置にも適用できることは
言うまでもない。
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、レンズ
の励磁電流を極少量ずつ変えることができるレンズ電流
設定回路を安価に実現できる。
の励磁電流を極少量ずつ変えることができるレンズ電流
設定回路を安価に実現できる。
第１図は本発明の一実施例を示す電気的構成図、第２図
はＤ／Ａ変換器の分解能を示す図である。 １・・・制御回路 ２．３．１０・・・Ｄ／Ａ変換器 ４・・・加算器 ５・・・定電流回路Ｒ＋ 、
Ｒ２、Ｒｆ 、Ｒ，Ｒ８・・・抵抗ＩＪ＋ 、Ｕ２・・
・演算増幅器 ＬＤ・・・励磁コイル 特γＦ出願人 日本電子株式会ネ１ 代 理 人 弁理士 井島１１ｉ泊−１５
＝ 第１図 ０ 第２図
はＤ／Ａ変換器の分解能を示す図である。 １・・・制御回路 ２．３．１０・・・Ｄ／Ａ変換器 ４・・・加算器 ５・・・定電流回路Ｒ＋ 、
Ｒ２、Ｒｆ 、Ｒ，Ｒ８・・・抵抗ＩＪ＋ 、Ｕ２・・
・演算増幅器 ＬＤ・・・励磁コイル 特γＦ出願人 日本電子株式会ネ１ 代 理 人 弁理士 井島１１ｉ泊−１５
＝ 第１図 ０ 第２図
Claims (1)
- Ｍビットの分解能をもつ第１のディジタルアナログ変換
器と、Ｌビットの分解能をもつ第２のディジタルアナロ
グ変換器と、前記第１及び第２のディジタルアナログ変
換器に焦点距離調節つまみからの入力信号に応じたデー
タを出力する制御回路とを備え、前記第１のディジタル
アナログ変換器の下位Ａビットと前記第２のディジタル
アナログ変換器の上位Ａビットとを重ねて合計でＮビッ
ト（Ｎ＝Ｍ＋Ｌ−Ａ＞のディジタルアナログ変換器を構
成せしめ、前記第２のディジタルアナログ変換器の非重
合部のピット数Ｌ−Ａに応じた重み付けでもって、前記
第１及び第２のディジタルアナログ変換器の出力を加算
し、該加算結果に応じた電流を、レンズに励磁電流とし
て供給するように構成したことを特徴とするレンズ電流
設定回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3551882A JPS58152355A (ja) | 1982-03-05 | 1982-03-05 | レンズ電流設定回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3551882A JPS58152355A (ja) | 1982-03-05 | 1982-03-05 | レンズ電流設定回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58152355A true JPS58152355A (ja) | 1983-09-09 |
| JPH0372185B2 JPH0372185B2 (ja) | 1991-11-15 |
Family
ID=12443968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3551882A Granted JPS58152355A (ja) | 1982-03-05 | 1982-03-05 | レンズ電流設定回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58152355A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60220867A (ja) * | 1984-04-17 | 1985-11-05 | Fujitsu Ltd | 電圧設定回路 |
| JPS61196621A (ja) * | 1985-02-26 | 1986-08-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | デイジタル−アナログ変換器 |
| JPH02249310A (ja) * | 1988-12-14 | 1990-10-05 | Victor Co Of Japan Ltd | Ｄ／ａ変換装置 |
| JPH043623A (ja) * | 1990-04-20 | 1992-01-08 | Nakamichi Corp | デイジタル／アナログ変換装置 |
| JPH05507590A (ja) * | 1990-07-30 | 1993-10-28 | インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン | ディジタル―アナログ変換システム |
| WO2003028220A1 (en) * | 2001-09-28 | 2003-04-03 | Telefonaktiebolaget L M Ericsson (Publ) | Method and apparatus for digital-to-analog conversion with improved signal-to-noise and distortion ratio |
| EP2154477A2 (en) * | 2008-08-04 | 2010-02-17 | Honeywell International | Segmented optics circuit drive for closed loop fiber optic sensors |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5725721A (en) * | 1980-07-21 | 1982-02-10 | Mitsubishi Electric Corp | Digital-to-analog converter |
-
1982
- 1982-03-05 JP JP3551882A patent/JPS58152355A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5725721A (en) * | 1980-07-21 | 1982-02-10 | Mitsubishi Electric Corp | Digital-to-analog converter |
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| EP2154477A3 (en) * | 2008-08-04 | 2015-02-25 | Honeywell International Inc. | Segmented optics circuit drive for closed loop fiber optic sensors |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0372185B2 (ja) | 1991-11-15 |
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