JPH11514078A - ピストンロッドのない直線駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、ピストンロッドのない直線駆動装置に関する。本駆動装置のハウジング（２）は、駆動部（５）が配置される内部空間（４）を画定する。前記ハウジング（２）には、そのいずれの側にもハウジングリム（２５、２６）が接するスリット状の縦方向開口部（２４）が設けられている。駆動部（５）に連結されたカップリング部（３５）は、縦方向開口部（２４）を通って外側に突き出し、ランナー（３６）に対し、当該カップリング部とランナーとが共に運動できるように接続されている。当該ランナーは、ガイド装置（４１）を介してハウジング（２）に搭載され、二つのハウジングリム（２５）の一つは、縦方向開口部（２４）を越えて延び、他のハウジングリム（２６）に面した側にガイド装置（４１）を支持している。

Description

【発明の詳細な説明】 ピストンロッドのない直線駆動装置 本発明は縦方向に延びる内部空間を画定するハウジングを備える、ピストンロ ッドのない（ここではロッドレスと呼ぶ）直線駆動装置に関する。このハウジン グは、その内部に縦方向の移動のための駆動部を有し、また、当該ハウジングの 内部空間に向かって開口したスリット状の開口部を有する。この開口部の縦方向 の両側には、各々ハウジングの一部分を形成するハウジングリムが設けられてい る。そして、縦方向開口部を通って外方向に延びる牽引部が駆動部に連設され、 この牽引部がハウジングの外側でスライドと運動可能に接続されている。当該ス ライドはガイド手段によってハウジングに対し縦方向にガイドされ、横方向には 支持されている。 このようなロッドレス直線駆動装置は、例えばヨーロッパ特許公報０５４０１ ５Ｂ１に開示されている。この駆動装置では、ガイド手段は直線駆動装置の好ま しい使用姿勢において、その上部に位置するハウジングリムの外側に設けられ、 このリムにはガイド手段と協働するスライドが覆い重なっている。そして、ハウ ジングリムに覆い重なるスライドの部分の上側には、運搬すべき積載物を載せる ための運搬面が設けられている。運搬する積載物の荷重のハウジングへの影響を 少なくするために、スライドは他のハウジングリム上に設けられた支持面の上を 走行する車輪により付加的に支持されている。この支持作用にもかかわらず、運 搬する積載物が非常に重い場合には、ガイド手段を備えたハウジングリムが僅か に変形する恐れがあり、その結果、縦方向開口部の幅減少につながり、従って縦 方向開口部の側面と牽引部の、摩耗を促進する摩擦を発 生させるおそれがあった。更に、この変形はスライドの位置精度を悪化させ、ス ライドが僅かに歪んだ状態で走行するおそれがあった。また、ハウジングが内部 圧力により広がる場合、同様の不都合な効果が現れ、スライドが付加的な支持面 から持ち上がることさえ起こりかねなかった。 従って、本発明の一目的は、運搬する積載物に関係なく、殆ど摩耗せずに極め て正確に走行し、同時にコンパクトな構造を有するロッドレス直線駆動装置を提 供することである。 この目的を達成するため、本発明の装置では、ハウジングリムの一つが縦方向 開口部の深さ方向に、該開口部を通って延びて延長部を構成し、その延長部のも う一つのハウジングリムに面した側で、スライドを備えたガイド手段を支持する ことにより、このもう一つのハウジングリムがスライドの荷重から開放されるよ うになっている。 本発明の装置によれば、スライドにより運搬する積載物の大きさに関係なく、 ハウジングの内部空間及び縦方向開口部の変形が防止される。同時に、移動する スライドは、常に極めて高い精度でガイドされる。本直線駆動装置を、ガイド手 段を備えた側が上を向いたその好適な使用姿勢で操作すれば、ガイドし支持する ために必要な全ての力が延長ハウジングリムにより受け止められる。もう一つの より短いハウジングリムはスライドから外れているため、運搬する積載物の作用 を受けない。この結果、運搬する積載物の荷重により縦方向開口部が収縮する可 能性がなくなり、それに起因する摩耗も起こらない。そのうえ、スライドから外 れたハウジングリムが変形しても、この変形がガイド手段やスライドに影響を与 えることがないため、ハウジングの高い内部圧力に起因する広がりを生じても正 確なガイドが損なわれることがない。 ヨーロッパ特許公報０７１１９２８Ａ２にはロッドレス直線駆動装置が開示さ れており、ここではガイド手段はハウジングの後方空間に隣接 した好適な使用位置に位置するように、一方のハウジングリム上に配置されてい るため、ハウジングが変形する危険はない。しかし、このことは次のような犠牲 をはらってのみ可能となる。すなわち、ガイド手段を縦方向開口部の横に隣接し て、横方向の隙間を持たせて配置し、縦方向開口部の深さ方向に測ってかなりの 全高さとなるように、内部空間を有するハウジングの上にスライドを取り付けな ければならない。これに対し、本発明の装置では、縦方向開口部がガイド手段に 面した配置となっている。このため、駆動部とスライドとが牽引部により直接連 結されるので、内部空間を有するハウジングとスライドとを低い全高さで互いに 並べて配置することが可能となる。 さらに有利な本発明の展開を独立の請求項に述べている。 縦方向開口部とその深さ方向に隣接し、一方が延長部で画定されるハウジング の受容部にスライドを配置するのが好都合である。このようにして高さ方向の寸 法を特に小さくすることができる。 スライドは延長部に平行に配置され、延長部側とは反対側に、移動すべき積載 物を取り付けるための運搬面を有し、この運搬面が短いハウジングリムに隣接し ているのが好ましい。特に低い全配置を構成するために、さらに運搬面は短いハ ウジングリムの外面と同じ高さに揃えることができる。ここでは、上述の外面よ り運搬面を僅かに高くして、運搬面に配置する大きな表面積の積載物が、ハウジ ングにより妨げられることなく運搬面を越えて横方向に延びることができるよう にするのがよい。 さらに、ガイド手段はハウジングの縦方向に延び、延長部に設けられたガイド レールと側面に備えられたガイド本体とで構成され、このガイド本体がガイドレ ールに取り付けられ、レールに沿って移動し、同時に横方向には支持されている のが好適である。安価に製造できるこのガイド手段によって、縦方向の十分なガ イド作用が達成できると同時に、発 生する横方向の力に耐えることができる。 また、ボールベアリングのような低摩擦のベアリング装置がガイド本体とガイ ドレール間に設けられているので、ガイド本体とガイドレール間の摩擦力が大幅 に減少し、大荷重に対してもガイド本体がガイドレールに沿って自由に走行可能 となる。 さらに好適な実施形態では、駆動部は流体作動ピストンで構成され、フレキシ ブルシールテープが縦方向開口部の内側に接して効果的に設けられ、この開口部 をシールする。実際、このようないわゆる溝付シリンダーは、特にスライドを高 加速で運転する場合に、直線駆動装置に必要とされる。 以下に本発明の実施例を、図を参照しつつ詳細に説明する。 図１は本発明の実施例にかかる直線駆動装置の部分切欠き平面図であり、図２ の矢印Ｉ方向に見た図を示す。 図２は図１の直線駆動装置のＩＩ−ＩＩ断面を示す。 図３は別の実施例にかかる直線駆動装置のハウジングの正面図を示す。 図に示すロッドレス直線駆動装置１は、縦方向３に延びる内部空間４を画定す るハウジング２を備えている。内部空間には縦方向の運動のために駆動部５が設 けられている。 原理的に、駆動部５は流体又は電力により縦方向に駆動できる。本例では、駆 動部５は流体圧、特に空圧駆動のピストン８からなり、このピストン８は縦方向 ３に間隔をおいて配置された二つのシーリング部材９及び１０を有し、ハウジン グの内部空間を三つの縦部分１１、１２及び１３に分割している。二つのシール 部材９と１０との間の縦部分１２は常時圧力を受けないが、縦部分１１及び１３ で構成される作動空間１４ 及び１５は圧力密に設計されている。このために、ハウジング２の内部空間４は その両軸方向端部１８及び１９において、各々挿入された端部カバー２０及び２ １によりシールされている。 ピストン８の流体操作のため、作動空間１４及び１５へ開口している流体連結 部２２及び２３が設けられている。これらは本実施例では端部カバー２０及び２ １に設けられている。 本実施例では、ピストン８及びハウジングの内部空間４は円形断面を有する。 ハウジング２には一方でハウジングの内部空間４に、他方で外部に面した溝状 縦方向開口部２４が設けられ、この開口部の両側には縦方向３に、各々ハウジン グ２の一部により形成されるハウジングリム２５と２６とが接している。 縦方向開口部２４をシールするために、フレキシブルシールテープ３１が縦方 向開口部２４の内側３０に取り付けられ、これが二つの作動空間１４及び１５に おいて、ハウジング２の外部からハウジングの内部空間４をシールする。このた めに、シールテープ３１は、縦方向開口部２４の内側３０の、開口部２４に向か ってテーパ状になっている部分を気密にシールできるように、台形の断面を有す るものがよい。ハウジングの内部空間４の縦部分１２に隣接した作動空間１４と １５との間で、シールテープ３１はピストン８を通って延びる溝状開口部３２を 突き抜ける。その結果、シールテープ３１はピストン８の二つのシール部材９と １０との間で、縦方向開口部２４の内側から離れる。 このようにして、貫通開口部３２近傍において、ピストン８からなる駆動部５ に牽引部３５を配置することができる。この牽引部３５は、縦方向開口部２４を 通って外側に延び、ハウジング内部空間４で駆動部５に固定され、ハウジング２ の外部で運動可能なスライド３６に連結され ている。縦方向開口部２４の内側３０と貫通開口部３２との間に、ピストン８は 連結部３７を有し、これにより牽引部３５が連結される。本実施例では、牽引部 ３５とピストン８からなる駆動部５は同一部材から一体的に形成されている。 牽引部３５は、軸方向に運動可能なスライド３６に強固に連結されている。本 実施例では、牽引部３５はリブ状に形成され、スライド３６に連結された端部３ ８は幅が大きく形成され、スライド３６に設けられたヘッド部３９に固定支持さ れている。 スライド３６はガイド手段４１により、ハウジング２に対する縦方向３の移動 をガイドされ、横方向４２には支持される。従って、スライド３６はハウジング ２の縦方向３に移動でき、ガイド手段４１がスライド３６にかかる横方向４２の 力を吸収する。ベアリングに全く遊びがなければ、スライド３６は横方向４２に は移動できない。 ハウジングリム２６の一つは延長部４６として縦方向開口部２４を通って、縦 方向開口部２４の深さ方向４５に延びている（以下、これを延長ハウジングリム ２６と呼ぶ）。また、延長部４６の、短いハウジングリム２５に面した側４７に は、スライド３６を搭載したガイド手段４１が設けられている。従って、延長ハ ウジングリム２６は、短いハウジングリム２５に対向する位置に設けられたベー ス部４８と、ベース部４８に縦方向開口部２４の深さ方向に連設された延長部４ ６とから構成される。延長部４６は一般に平板状の形状を有する。 従って、ハウジングは、断面がＵ字状で内部ハウジング空間４と縦方向開口部 ２４とを有する第一ハウジング部２７を備え、このハウジング部２７は短いハウ ジングリム２５と延長ハウジングリム２６のベース部４８とからなり、さらに第 二ハウジング部２８が延長部４６からなる。 延長ハウジングリム２６の構成のために、ハウジング２にはスライド ３６を取り付けるための受容部５１が形成され、スライド３６は縦方向開口部２ ４の深さ方向４５で、縦方向開口部２４と短いハウジングリム２５に隣接し、一 側面が延長部４６により画定されている。従って、受容部５１は、延長部４６の 短いリム２５に面した側４７及び短いハウジングリム２５の縦側面の自由端に隣 接して配置される。 短いハウジングリム２５は、延長部４６で保持されガイドされるスライド３６ とは、荷重の面では切り離されている。スライド３６は短いハウジングリム２５ には支持されず、これから離れているので、短いハウジングリム２５に伝わる如 何なる変形力や短いハウジングリム２５の如何なる変形もスライド３６の正確な ガイドを損なうことがない。 受容部５１に配置されたスライド３６上に、実質的に延長部４６に平行で、そ の反対側５４に有り、積載物（図示せず）を載せるための運搬面５５が設けられ ている。この運搬面５５は短いハウジングリム２５と深さ方向４５に隣接してい る。 スライド３６の運搬面５５は実質的に延長部４６に対向する側で受容部５１を 画定している。運搬面５５は短いハウジングリム２５の上面５６と同じ高さ、又 はより低い受容域内にあるのがよい。好ましくは、運搬面５５は直線駆動装置１ の高さ方向５２に上面５６より僅かに高くし、運搬面５５に積載物が置かれた場 合に、当該積載物が運搬面を横方向に越えて突き出ても短いハウジングリム２５ に当たらぬようにするのがよい。 ここでは高さ方向５２は深さ方向４２と縦方向３に直角な方向とする。直線駆 動装置１は、好適な使用姿勢では、高さ方向が垂直に延び、延長部４６の内側４ ７、運搬面５５及び短いハウジングリム２５の上面５６が垂直上方に向いている 。運搬面５５に固定される積載物の全荷重はこの場合、後述するベース本体９２ に固定された延長部４６に作用する。 本実施例ではスライド３６は、もう一つの第二運搬面５８を有する。これは、 短いハウジングリム２５又は第一ハウジング部２７の反対側に位置する、スライ ド３６の縦側面５９に備えられ、延長部４６に向かって延びるハウジングリム６ ０上に設けられている。該第二運搬面５８は実質上第一運搬面５５に対し直角に 配置される。ねじ孔６２又は他の取り付け手段が積載物を取り付けるために運搬 面５５及び５８に設けられている。 本実施例では、平板状のスライドリム６０が、深さ方向４５において第一ハウ ジング部２７とは反対側で、縦方向３に延びる延長部４６の自由端部６１に対向 して延びている。従って、スライドリム６０は短いハウジングリム２５とは反対 側で受容部５１を画定する。 実施例では、ガイド手段４１は延長部４６とスライド３６との間にある。ガイ ド手段４１には、ハウジング２の縦方向３に延び、延長部４６に設けられたガイ ドレール６４が備えられている。図１及び２の実施例で、ガイドレール６４は延 長部４６とは別に形成され、延長部４６に適当な取り付け手段で固定されている 。すなわち、端部６１には、短いハウジングリム２５に面した側４７に縦方向３ に延びる取り付け溝６５が設けられている。延長部４６の外側自由端６６とは反 対側の溝側面６７が取り付け溝６５の開放側に向かってテーパ状に延びている。 延長部４６の自由端６６に並列する外溝側壁６８は、縦方向３に延びる外壁部６ ９の面により形成され、この面は取り付け溝６５の横幅を画定する。ガイドレー ル６４を延長部４６に取り付ける前に、この壁部は溝状の取り付け溝６５の溝床 ７０に直角に配置される。 ガイドレール６４の延長部４６につながる部分は台形断面の取り付け部７３と 成っている。取り付け溝６５にガイドレール６４をはめ込んだ後は、取り付け部 ７３が少なくとも部分的にこの取り付け溝６５に嵌合 し、取り付け部の内溝側面６７に面した縦側面７４が広い表面積にわたりこの内 溝側面６７に係合する。次いで、延長部４６の壁部６９が例えばローリングによ り塑性変形させられ、これに接する外溝側壁６８がガイドレール６４の取り付け 部７３の縦側面７５と広い面積にわたり同様に係合する。このようにしてガイド レール６４がねじを使わずに、延長ハウジングリム２６の延長部４６に強固に係 合される。 ガイド手段４１はさらに延長部４６に面したスライド３６の下部に設けられた ガイド本体７９を備える。このガイド本体７９はガイドレール６４上を移動可能 に横方向４２に支持され、その縦方向３に移動される。ガイド本体７９は実質Ｕ 字状で、これに縦方向３に延びる縦溝８０を備え、この縦溝８０にガイドレール ６４のガイド部７８が少なくとも部分的に嵌合し、ガイド部７８が取り付け部７ ３に連設し、延長部４６から延びている。縦溝８０の反対側でガイド本体７９が 取り外し可能にスライド３６に係合されている。本実施例では、ねじ連結手段８ ２がこのために備えられている。ガイド本体７９は、それに取り付けられたスラ イド３６と同じ縦方向３の長さを有するのが望ましい。 ガイド本体７９とガイドレール６４との間に、例えば、ボールベアリングのよ うな低摩擦ベアリング装置８６が装着される。このようにして、低摩擦で、しか も精密なガイドシステムがガイド本体７９とガイドレール６４との間に形成され る。本実施例では、低摩擦ベアリング装置８６は縦溝８０の側壁８７と各々隣接 するガイド部７８の縦側面８８との間に設けられる。ここで用いられるボールス ライド８５の場合、そのボール８９はリング状の経路に沿って移動し、常に複数 のボール８９が溝側壁８７とガイド部７８の互いに並列する縦側面に設けられた 溝状くぼみ９５との間にある。 ガイド本体７９とガイドレール６４との間の転がりベアリングの代わ りに、滑りベアリング手段を用いてもよい。 本実施例ではスライド３６がガイド手段４１にまたがり、ガイド手段４１の一 方の縦側面にスライドリム６０が、また他方の縦側面に牽引部３５に係合したヘ ッド部が隣接している。図示しない大規模システムにおいて直線駆動装置を据え 付けるために、延長ハウジングリム２６の、ガイド手段４１とは反対の側９０を 取り付け側９１にすることができ、この取り付け側でハウジング２が支持ベース ９２に取り付けられる。 本実施例において、延長部４６にはスライド３６に面した内側４７に、その長 さ方向に間隔をあけて設けられた複数の孔９７を通り、取り付け側９１に対して 開放された、縦方向に延びる少なくとも一つの溝９６が設けられ、取り付けねじ ９３が孔９７を通ってベース９２のねじ孔にねじ止めされて、ハウジング２が延 長ハウジングリム２６の外面でベース２に強固に固定される。 本直線駆動装置１は上述の高さ方向５２に極めてコンパクトな寸法を有し、低 い構成をとる。第一ハウジング部２７とスライド３６とは、縦方向開口部２４の 深さ方向４５と一致する横方向４２に並び合っており、実質上同じ高さにある。 縦方向開口部２４はその深さ方向４５がハウジング２の横方向４２に一致するよ うに形成され、ハウジング２の内部空間４に対して半径方向に外側に位置する、 縦方向開口部２４の外開口部９８が受容部５１に面しているので、駆動部５と実 質上横方向４２に延びるスライド３６との間を、極めて短い牽引部で係合可能と なる。従って、牽引部材を、高さ方向５２に第一ハウジング部２７を越えて、ス ライドへつなぐという、実質的に高さ寸法の増大につながることがなくなる。 さらに、スライド３６に固定される積載物はガイド手段４１を介して延長部４ ６にのみ作用する。このとき、延長部４６がベース９２に取り 付けられているので、全慣性力がベース９２に伝わり、短いハウジングリム２５ には働かない。この結果、短いハウジングリム２５は荷重の面でスライドから切 り離されるため、常時十分な縦方向開口部２４の幅が保たれ、牽引部材３５が確 実に問題なく縦方向に移動される。 作動空間１４及び１５に作用する圧力の影響により、第一ハウジング部２７は 縦方向開口部２４で外方向に開く傾向があるが、このことがスライド３６による ガイドと位置決めの精度に好ましからぬ影響を与えることはない。短いハウジン グリム２５は、ベース９２に固定された延長ハウジングリム２６や、これに取り 付けられたガイド手段４１により妨げられることなく変形できる。スライド３６ の全体のガイドと横方向の支持が延長ハウジングリム２６で行われるので、スラ イド３６と第一ハウジング部２７との間に別の支持手段は必要とされない。 図３は直線駆動装置のハウジング２の別のデザインを示す。上述の部品と同じ 部品にはここでは同じ符号を使った。図１及び２に示した実施例と大きく異なる 点は、ガイドレール６４が延長部４６と同一部材で一体的に作られていることで ある。このことは、ガイドレール６４を含むハウジング２が共に押出し成形によ り一工程で製造できるという、有利な可能性を導く。この場合、型を用いて一体 的に成形されたガイドレール６４は特に平滑なスライド式ガイドを製造するのに 適しており、図１及び２に示される低摩擦ベアリングによるガイドに比べ更にコ スト低減が可能になる。 また、ガイドレール６４のねじ溝７１をも一体に成形できる。この溝は周囲が 密閉され、ガイドレール６４の縦方向に延びている。この溝の対向する壁面には 縦に延びる歯が設けられている。一方の狭い側にねじ溝７１をあければ、例えば 、固定のためのねじがこの溝にねじ込まれ、相対して位置する歯がねじ山の働き をする。 図３は、さらにハウジング２の、特にＵ字状の第一ハウジング部２７外面に、 付加部品を取り付けるための縦溝７２が、一つ又は複数個備えられることを示す 。例えば、駆動部５の位置を確認するためのセンサーをこれに取り付けることが できる。実施例では、二つの縦溝７２が第一ハウジング部２７の、縦方向開口部 ２４とは反対の後ろ側に設けられ、外面が凸に湾曲し、縦溝７２がアーチ状の線 上に設けられている。 図３にはさらに、駆動部５の操作に用いる加圧媒体に好適に利用できる、第一 ハウジング部２７を通り縦方向に延びる二つの溝７６が示されている。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．縦方向（３）に延びる内部空間（４）を画定し、縦方向の移動のための駆動 部（５）を内蔵するハウジング（２）を有し、 該ハウジングの内部空間（４）に向いた溝状開口部（２４）を有し、 該開口部（２４）の縦方向の両側には、各々ハウジング（２）の一部で構成さ れるハウジングリム（２５及び２６）が接して位置し、 牽引部（３５）が駆動部（５）に設けられ、該牽引部（３５）が前記縦方向開 口部（２４）を通って外側へ延び、前記ハウジング（２）の外側で運動可能なス ライド（３６）に係合され、該スライド（３６）が、該ハウジング（２）に対し 縦方向（３）に移動するためのガイド手段（４１）により誘導され、横方向（４ ２）には支持されるピストンロッドのない直線駆動装置において、 前記二つのハウジングリムの一方（２６）が前記縦方向開口部（２４）を通り 、その深さ方向（４５）に延び、 該ハウジングリム（２６）の延長部（４６）の、他方のハウジングリム（２６ ）に面した側に、該スライド（３６）を備えた該ガイド手段（４１）を備え、 該他方のハウジングリム（２６）が荷重に関し該スライド（３６）から切り離 されることを特徴とする、直線駆動装置。 ２．前記スライド（３６）が、前記縦方向開口部（２４）の深さ方向（４５）で 前記縦方向開口部（２４）に隣接し、その一側面が前記延長部（４６）で画定さ れる前記ハウジング（２）の前記受容部（５１）に配置されることを特徴とする 、請求項１記載の直線駆動装置。 ３．前記スライド（３６）は、前記延長部（４６）側とは反対側に、移動すべき 積載物の取り付けのための運搬面（５５）を備え、前記スライド（３６）が好ま しくは前記延長部（４６）に平行に並べられ、前記運搬面が前記短いハウジング リム（２５）に隣接していることを特徴とする、請求項１又は２記載の直線駆動 装置。 ４．前記運搬面（５５）が前記短いハウジングリム（２５）の上面（５６）とほ ぼ同じ高さに配置され、好ましくは僅かにこれを越えて延びることを特徴とする 、請求項３記載の直線駆動装置。 ５．前記スライド（３６）の前記短いハウジングリム（２５）とは反対側の縦側 面（５９）に、前記延長部（４６）の縦方向（３）に延びる自由端部（６１）の 前面に突出したスライドリム（６０）が設けられていることを特徴とする、請求 項１から４のいずれかに記載の直線駆動装置。 ６．前記延長ハウジングリム（２６）の、前記ガイド手段（４１）側とは反対側 （９０）が、前記ハウジング（２）をベース（９２）に取り付け支持する取り付 け側（９１）を構成することを特徴とする、請求項１から５のいずれかに記載の 直線駆動装置。 ７．前記ハウジング（２）の縦方向（３）に延び、前記延長部（４６）上に配置 されたガイドレール（６４）が前記ガイド手段（４１）に設けられることを特徴 とする、請求項１から６のいずれかに記載の直線駆動装置。 ８．前記ガイド手段（４１）が前記スライド（３６）に設けられたガイ ド本体（７９）を備え、該ガイド本体（７９）が前記ガイドレール（６４）上を ガイドされて滑動し、同時に横方向（４２）に支持されている、請求項７記載の 直線駆動装置。 ９．前記ガイド本体（７９）と前記ガイドレール（６４）との間に、ボールベア リング（８５）のような、低摩擦ベアリング装置（８６）が備えられていること を特徴とする、請求項８記載の直線駆動装置。 １０．前記ガイド本体（７９）の縦方向（３）に延び、前記ガイドレール（６４ ）に少なくとも部分的に嵌合する縦溝（８０）を備えていることを特徴とする、 請求項８又は９記載の直線駆動装置。 １１．前記スライド（３６）が、前記ガイド本体（７９）と前記ガイドレール（ ６４）とにまたがっていることを特徴とする、請求項８から１０のいずれかに記 載の直線駆動装置。 １２．前記ガイドレール（６４）が前記延長部（４６）に取り付け手段により固 定された別体の部品から形成されていることを特徴とする、請求項７から１１の いずれかに記載の直線駆動装置。 １３．前記ガイドレール（６４）と前記延長部（４６）とが互いに同一部材から 一体的に形成されていることを特徴とする、請求項７から１１のいずれかに記載 の直線駆動装置。 １４．前記ガイド手段（４１）が転がりベアリング手段又は滑りベアリング手段 で形成されることを特徴とする、請求項１から１３のいずれか に記載の直線駆動装置。 １５．前記駆動部（５）が流体により操作されるピストン（８）で構成され、前 記縦方向開口部（２４）をシールするため、フレキシブルシールテープがその内 側の領域（３０）に設けられていることを特徴とする、請求項１から１４のいず れかに記載の直線駆動装置。