JPH11339704A - 回転対陰極ｘ線発生装置 - Google Patents
回転対陰極ｘ線発生装置Info
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- JPH11339704A JPH11339704A JP10148650A JP14865098A JPH11339704A JP H11339704 A JPH11339704 A JP H11339704A JP 10148650 A JP10148650 A JP 10148650A JP 14865098 A JP14865098 A JP 14865098A JP H11339704 A JPH11339704 A JP H11339704A
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
- H01J35/10—Rotary anodes; Arrangements for rotating anodes; Cooling rotary anodes
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2235/00—X-ray tubes
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の回転対陰極Ｘ線発生装置の出力限界を
越えた出力を得ることが可能な回転対陰極Ｘ線発生装置
を提供する。 【解決手段】 回転対陰極１の表面であって該対陰極の
回転による遠心力が対陰極の表面から内部に向かって作
用する部位に電子線照射部１ａを設けた。
越えた出力を得ることが可能な回転対陰極Ｘ線発生装置
を提供する。 【解決手段】 回転対陰極１の表面であって該対陰極の
回転による遠心力が対陰極の表面から内部に向かって作
用する部位に電子線照射部１ａを設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超高輝度を実現で
きる回転対陰極Ｘ線発生装置にに関する。
きる回転対陰極Ｘ線発生装置にに関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線回折測定等においては、可能なかぎ
り強い強度のＸ線を試料に照射して測定を行う必要のあ
る場合がある。この様な場合に用いられるＸ線発生装置
として従来から回転対陰極Ｘ線発生装置が知られてい
る。
り強い強度のＸ線を試料に照射して測定を行う必要のあ
る場合がある。この様な場合に用いられるＸ線発生装置
として従来から回転対陰極Ｘ線発生装置が知られてい
る。
【０００３】この回転対陰極Ｘ線発生装置は、内部に冷
却媒体を流通させた円柱状の対陰極（ターゲット）を高
速で回転させながら、その外周表面に電子線を照射して
Ｘ線を発生させるものである。この回転対陰極Ｘ線発生
装置は、ターゲットを固定した固定ターゲットのタイプ
に比較してターゲット上の電子線の照射位置が時々刻々
と変化するので冷却効率が極めて高く、したがって、対
陰極に大電流の電子線を照射することができ、強力な
（高輝度の）Ｘ線を発生させることができる。
却媒体を流通させた円柱状の対陰極（ターゲット）を高
速で回転させながら、その外周表面に電子線を照射して
Ｘ線を発生させるものである。この回転対陰極Ｘ線発生
装置は、ターゲットを固定した固定ターゲットのタイプ
に比較してターゲット上の電子線の照射位置が時々刻々
と変化するので冷却効率が極めて高く、したがって、対
陰極に大電流の電子線を照射することができ、強力な
（高輝度の）Ｘ線を発生させることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、一般的にＸ
線の出力は陰極と対陰極との間に印加する電力（電流×
電圧）に対応するので、Ｘ線の出力強度をこの電力で表
示すると、上記従来の回転対陰極Ｘ線発生装置では、タ
ーゲット上に０．１×１ｍｍの電子ビームを照射する汎
用のＸ線発生装置の場合は、最大１．２ｋＷ程度、超高
輝度といわれるものでも最大３．５ｋＷ程度の出力を得
るのが限界であった。
線の出力は陰極と対陰極との間に印加する電力（電流×
電圧）に対応するので、Ｘ線の出力強度をこの電力で表
示すると、上記従来の回転対陰極Ｘ線発生装置では、タ
ーゲット上に０．１×１ｍｍの電子ビームを照射する汎
用のＸ線発生装置の場合は、最大１．２ｋＷ程度、超高
輝度といわれるものでも最大３．５ｋＷ程度の出力を得
るのが限界であった。
【０００５】本発明は、上述の背景のもとでなされたも
のであり、従来の回転対陰極Ｘ線発生装置の出力限界を
越えた出力を得ることが可能な回転対陰極Ｘ線発生装置
を提供することを目的とするものである。
のであり、従来の回転対陰極Ｘ線発生装置の出力限界を
越えた出力を得ることが可能な回転対陰極Ｘ線発生装置
を提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めの手段として、第１の発明は、回転する対陰極に陰極
から射出される電子線を照射してＸ線を発生させる回転
対陰極Ｘ線発生装置において、前記対陰極の表面であっ
て回転による遠心力が該対陰極の表面から内部に向かっ
て作用する部位に前記電子線を照射するようにしたこと
を特徴とする回転対陰極Ｘ線発生装置である。
めの手段として、第１の発明は、回転する対陰極に陰極
から射出される電子線を照射してＸ線を発生させる回転
対陰極Ｘ線発生装置において、前記対陰極の表面であっ
て回転による遠心力が該対陰極の表面から内部に向かっ
て作用する部位に前記電子線を照射するようにしたこと
を特徴とする回転対陰極Ｘ線発生装置である。
【０００７】第２の発明は、回転する対陰極に陰極から
射出される電子線を照射してＸ線を発生させる回転対陰
極Ｘ線発生装置において、前記対陰極は、該対陰極の回
転の中心軸をその中心軸とする筒状部分を有し、この筒
状部分の筒の内壁表面に前記電子線を照射するものであ
ることを特徴とする回転対陰極Ｘ線発生装置である。
射出される電子線を照射してＸ線を発生させる回転対陰
極Ｘ線発生装置において、前記対陰極は、該対陰極の回
転の中心軸をその中心軸とする筒状部分を有し、この筒
状部分の筒の内壁表面に前記電子線を照射するものであ
ることを特徴とする回転対陰極Ｘ線発生装置である。
【０００８】第３の発明は、第１又は第２の発明の回転
対陰極Ｘ線発生装置において、前記対陰極が収納される
対陰極室と前記陰極が収納される陰極室とを隣接して気
密部材で形成し、これら両室を仕切る隔壁に前記陰極か
ら射出される電子線を通過させる小さな貫通孔を設ける
とともに、前記対陰極室及び陰極室の各々に真空排気装
置を接続してそれぞれ真空排気するようにしたことを特
徴とする回転対陰極Ｘ線発生装置である。
対陰極Ｘ線発生装置において、前記対陰極が収納される
対陰極室と前記陰極が収納される陰極室とを隣接して気
密部材で形成し、これら両室を仕切る隔壁に前記陰極か
ら射出される電子線を通過させる小さな貫通孔を設ける
とともに、前記対陰極室及び陰極室の各々に真空排気装
置を接続してそれぞれ真空排気するようにしたことを特
徴とする回転対陰極Ｘ線発生装置である。
【０００９】上述の発明によれば、対陰極の表面であっ
て回転による遠心力が該対陰極の表面から内部に向かっ
て作用する部位に電子線を照射するように構成したこと
によって、仮に、電子線の照射によって対陰極表面が溶
解に近い状態になった場合でもその電子線照射部分が対
陰極内部の構造物に支えられて変形もしくは破損するお
それを効果的に阻止することが可能になる。そのため、
対陰極表面を構成する物質が融点に近い温度になるまで
照射電子線の電流を増やすことが可能になる。
て回転による遠心力が該対陰極の表面から内部に向かっ
て作用する部位に電子線を照射するように構成したこと
によって、仮に、電子線の照射によって対陰極表面が溶
解に近い状態になった場合でもその電子線照射部分が対
陰極内部の構造物に支えられて変形もしくは破損するお
それを効果的に阻止することが可能になる。そのため、
対陰極表面を構成する物質が融点に近い温度になるまで
照射電子線の電流を増やすことが可能になる。
【００１０】これに対して、従来の回転対陰極Ｘ線発生
装置では、回転による遠心力が電子線照射部である表面
から外方に向かって作用するので、この遠心力に抗して
表面の形状を維持するために融点より大巾に低い温度
（１／２以下程度）に対陰極表面を維持しなければなら
なかった。また、それゆえ、対陰極表面の温度がその範
囲を越えないように、照射する電子線による電流が制限
されていたものである。
装置では、回転による遠心力が電子線照射部である表面
から外方に向かって作用するので、この遠心力に抗して
表面の形状を維持するために融点より大巾に低い温度
（１／２以下程度）に対陰極表面を維持しなければなら
なかった。また、それゆえ、対陰極表面の温度がその範
囲を越えないように、照射する電子線による電流が制限
されていたものである。
【００１１】これに対して本発明では、遠心力の作用に
よる変形を著しく軽減できるので、対陰極表面の温度を
融点の近傍もしくは融点以上（従来の２．５倍以上）に
設定可能であることから、本発明では、従来の超高輝度
の回転対陰極Ｘ線発生装置の最大許容負荷電力の少なく
とも２．５倍以上の許容負荷電力を有するものとするこ
とが可能であることが判明している。
よる変形を著しく軽減できるので、対陰極表面の温度を
融点の近傍もしくは融点以上（従来の２．５倍以上）に
設定可能であることから、本発明では、従来の超高輝度
の回転対陰極Ｘ線発生装置の最大許容負荷電力の少なく
とも２．５倍以上の許容負荷電力を有するものとするこ
とが可能であることが判明している。
【００１２】また、第３の発明のように、対陰極を収納
する部屋である対陰極室と陰極を収納する部屋である陰
極室とを仕切って各々独立に排気するようにすれば、対
陰極の電子線照射部の近傍の真空度の変化が陰極の近傍
の真空度に影響を及ぼすのを軽減できるので、イレギュ
ラー放電のおそれを防止することができる。
する部屋である対陰極室と陰極を収納する部屋である陰
極室とを仕切って各々独立に排気するようにすれば、対
陰極の電子線照射部の近傍の真空度の変化が陰極の近傍
の真空度に影響を及ぼすのを軽減できるので、イレギュ
ラー放電のおそれを防止することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施の形態に係
るＸ線発生装置の構成を示す断面図であり、図２は図１
の一部拡大図である。以下、これらの図を参照にしなが
ら一実施の形態を説明する。
るＸ線発生装置の構成を示す断面図であり、図２は図１
の一部拡大図である。以下、これらの図を参照にしなが
ら一実施の形態を説明する。
【００１４】図において、回転対陰極１が収納される対
陰極室２と、陰極３が収納される陰極室４と、回転対陰
極１を回転駆動する駆動モータ５が設けられた回転駆動
部６とが、隣接して気密構造部材２ａ、４ａ及び６ａに
よってそれぞれ形成されている。また、対陰極室２と陰
極室４とを仕切る隔壁部２ｂには、陰極３から射出され
る電子線３０を通過させる小さな貫通孔２ｃが設けられ
ている。さらに、対陰極室２及び陰極室４の各々には図
示しない真空排気装置が接続される真空排気口２ｄ及び
４ｄが設けられている。
陰極室２と、陰極３が収納される陰極室４と、回転対陰
極１を回転駆動する駆動モータ５が設けられた回転駆動
部６とが、隣接して気密構造部材２ａ、４ａ及び６ａに
よってそれぞれ形成されている。また、対陰極室２と陰
極室４とを仕切る隔壁部２ｂには、陰極３から射出され
る電子線３０を通過させる小さな貫通孔２ｃが設けられ
ている。さらに、対陰極室２及び陰極室４の各々には図
示しない真空排気装置が接続される真空排気口２ｄ及び
４ｄが設けられている。
【００１５】回転対陰極１は、Ｃｕ（銅）等からなる筒
状部１１と、この筒状部１１の筒の一方の開口部を塞ぐ
ように形成された円板状部１２と、前記筒状部１１及び
円板状部１２の共通の中心軸をその中心軸とする回転軸
部１３とが連続して一体に形成され、かつ内部は空洞に
形成されたもので、前記筒状部１１の筒の内壁表面１ａ
を電子線照射部とするものである。
状部１１と、この筒状部１１の筒の一方の開口部を塞ぐ
ように形成された円板状部１２と、前記筒状部１１及び
円板状部１２の共通の中心軸をその中心軸とする回転軸
部１３とが連続して一体に形成され、かつ内部は空洞に
形成されたもので、前記筒状部１１の筒の内壁表面１ａ
を電子線照射部とするものである。
【００１６】回転対陰極１の回転軸部１３は、回転駆動
部６内に設けられた１対の軸受け部材１３ａ，１３ｂに
よって回転自在に支持されている。また、回転軸部１３
の外周部には上記駆動モータ５の回転子５ｂが取付けら
れ、この回転子５ｂを回転駆動する固定子５ｂが上記回
転駆動部６内において気密構造部材６ａに取付けられて
いる。
部６内に設けられた１対の軸受け部材１３ａ，１３ｂに
よって回転自在に支持されている。また、回転軸部１３
の外周部には上記駆動モータ５の回転子５ｂが取付けら
れ、この回転子５ｂを回転駆動する固定子５ｂが上記回
転駆動部６内において気密構造部材６ａに取付けられて
いる。
【００１７】回転軸部１３の円板状部１２寄りの根元部
には、該回転軸部１３と気密構造部材６ａとの間を気密
に保持して上記体対陰極室２の真空を維持する回転軸シ
ール部材１３ｃが設けられている。
には、該回転軸部１３と気密構造部材６ａとの間を気密
に保持して上記体対陰極室２の真空を維持する回転軸シ
ール部材１３ｃが設けられている。
【００１８】さらに、回転対陰極１の内部には、電子線
照射部１ａの内壁面に冷却水を流通させるための固定隔
壁部材１４が挿入設置されている。この固定隔壁部材１
４は、回転軸部１３の内部においては筒状をなしてお
り、円板状部１２に至ってその筒の端部を円板状に拡
げ、筒状部１１の内部の右端部内壁の手前で延長されて
いる。
照射部１ａの内壁面に冷却水を流通させるための固定隔
壁部材１４が挿入設置されている。この固定隔壁部材１
４は、回転軸部１３の内部においては筒状をなしてお
り、円板状部１２に至ってその筒の端部を円板状に拡
げ、筒状部１１の内部の右端部内壁の手前で延長されて
いる。
【００１９】すなわち、この固定隔壁１４は、回転対陰
極１の内部の空洞部分をいわば二重管構造に仕切ってい
る。この二重管の外側管部１４ａは冷却水の導入口１５
に連通されている。なお、回転軸部１３の左端部の外周
には軸シール部材１５が設けられており、冷却水の導入
口１６から導入された冷却水が軸受け部材１３ｂや駆動
モータ５が設けられた収納スペース内に洩れ出ないよう
にしつつ二重管の外側管部１４ａ内に導入されるように
なっている。
極１の内部の空洞部分をいわば二重管構造に仕切ってい
る。この二重管の外側管部１４ａは冷却水の導入口１５
に連通されている。なお、回転軸部１３の左端部の外周
には軸シール部材１５が設けられており、冷却水の導入
口１６から導入された冷却水が軸受け部材１３ｂや駆動
モータ５が設けられた収納スペース内に洩れ出ないよう
にしつつ二重管の外側管部１４ａ内に導入されるように
なっている。
【００２０】したがって、冷却水導入口１６から導入さ
れた冷却水は、二重管の外側管部１４ａを進行し、上記
筒状部１１の内部の右端部内壁で折り返して二重管の内
側管部１４ｂに進行して電子線照射部１ａの内壁面を冷
却した後、内側管部１４ｂ内をさらに進行して冷却水の
排出口１７を通じて外部に排出される。
れた冷却水は、二重管の外側管部１４ａを進行し、上記
筒状部１１の内部の右端部内壁で折り返して二重管の内
側管部１４ｂに進行して電子線照射部１ａの内壁面を冷
却した後、内側管部１４ｂ内をさらに進行して冷却水の
排出口１７を通じて外部に排出される。
【００２１】回転対陰極１の電子線照射部１ａの近傍の
気密構造部材２ａには、電子線照射部１ａに電子線３０
が照射されたときに発生するＸ線２０を外部に取り出す
ためのＸ線窓２１が形成されている。このＸ線窓２１に
はベリリウム膜やニッケル膜等のＸ線透過性の材料から
なるＸ線透過膜２２が形成されており、対陰極室２の真
空の維持しながらＸ線を取り出せるようになっている。
気密構造部材２ａには、電子線照射部１ａに電子線３０
が照射されたときに発生するＸ線２０を外部に取り出す
ためのＸ線窓２１が形成されている。このＸ線窓２１に
はベリリウム膜やニッケル膜等のＸ線透過性の材料から
なるＸ線透過膜２２が形成されており、対陰極室２の真
空の維持しながらＸ線を取り出せるようになっている。
【００２２】陰極３は、絶縁構造部３２、フィラメント
３３及びウエーネルト３４等とから構成されており、高
圧導入部３１から導入された数十ＫＶの高圧電力及びフ
ィラメント電力を供給することによって、対陰極１に電
子線３０を照射する。
３３及びウエーネルト３４等とから構成されており、高
圧導入部３１から導入された数十ＫＶの高圧電力及びフ
ィラメント電力を供給することによって、対陰極１に電
子線３０を照射する。
【００２３】上述の構成において、冷却水導入口１６か
ら冷却水を導入し、駆動モータ５によって回転対陰極１
を高速回転させ、陰極３から対陰極１の電子線照射部１
ａに電子線３０を照射するとＸ線２０を発生させること
ができる。
ら冷却水を導入し、駆動モータ５によって回転対陰極１
を高速回転させ、陰極３から対陰極１の電子線照射部１
ａに電子線３０を照射するとＸ線２０を発生させること
ができる。
【００２４】上述の構成によれば、遠心力の作用による
変形を著しく軽減できるので、対陰極表面の温度を融点
の近傍もしくは融点以上（従来の２．５倍以上）に設定
可能であることから、本発明では、従来の超高輝度の回
転対陰極Ｘ線発生装置の最大許容負荷電力の少なくとも
２．５倍以上の許容負荷電力を有するものとすることが
可能である。
変形を著しく軽減できるので、対陰極表面の温度を融点
の近傍もしくは融点以上（従来の２．５倍以上）に設定
可能であることから、本発明では、従来の超高輝度の回
転対陰極Ｘ線発生装置の最大許容負荷電力の少なくとも
２．５倍以上の許容負荷電力を有するものとすることが
可能である。
【００２５】なお、上述の実施例では、回転対陰極１の
筒状部１１の筒の内壁面形状に特に変形加工を加えるこ
となく、すなわち、断面の表面輪郭線が水平（回転軸線
に平行）になる状態のままで、該内壁面を電子線照射部
１ａとしたが、これは例えば、電子線照射部１ａの表面
をその断面の表面輪郭線が回転軸線に対して数度ないし
十数度いずれかに傾くように形成してもよい。この場
合、この傾きを円板状部１１に向かって半径が増すよう
にした場合には、仮に電子線照射部１ａの一部が溶解し
てもそれが回転対陰極外部に飛び散るおそれを防止でき
る。また、傾きを逆にした場合には、Ｘ線の取り出しが
容易になる。
筒状部１１の筒の内壁面形状に特に変形加工を加えるこ
となく、すなわち、断面の表面輪郭線が水平（回転軸線
に平行）になる状態のままで、該内壁面を電子線照射部
１ａとしたが、これは例えば、電子線照射部１ａの表面
をその断面の表面輪郭線が回転軸線に対して数度ないし
十数度いずれかに傾くように形成してもよい。この場
合、この傾きを円板状部１１に向かって半径が増すよう
にした場合には、仮に電子線照射部１ａの一部が溶解し
てもそれが回転対陰極外部に飛び散るおそれを防止でき
る。また、傾きを逆にした場合には、Ｘ線の取り出しが
容易になる。
【００２６】さらに、電子線照射部１ａの部分を断面が
Ｖ字溝状又はＵ字溝状に形成すれば、仮に電子線照射部
１ａの一部が溶解してもそれが回転対陰極１の外部に飛
び散るおそれをより効果的に防止できる。この場合に
は、Ｖ字又はＵ字の溝巾やＶの傾斜角度もしくは溝深さ
等は、Ｘ線取り出しが可能な寸法にすることは勿論であ
る。さらには、上記Ｕ字の曲線形状を、該表面部分が溶
解して液状になった場合に遠心力の作用によって形成さ
れる液状部の表面形状と同一の表面形状に予め形成して
おけば、仮に、表面が溶解状態に近い状態になった場合
においても表面の変形のおそれを軽減することが可能に
なる。
Ｖ字溝状又はＵ字溝状に形成すれば、仮に電子線照射部
１ａの一部が溶解してもそれが回転対陰極１の外部に飛
び散るおそれをより効果的に防止できる。この場合に
は、Ｖ字又はＵ字の溝巾やＶの傾斜角度もしくは溝深さ
等は、Ｘ線取り出しが可能な寸法にすることは勿論であ
る。さらには、上記Ｕ字の曲線形状を、該表面部分が溶
解して液状になった場合に遠心力の作用によって形成さ
れる液状部の表面形状と同一の表面形状に予め形成して
おけば、仮に、表面が溶解状態に近い状態になった場合
においても表面の変形のおそれを軽減することが可能に
なる。
【００２７】また、電子線照射部１ａの部分だけを、発
生させるＸ線の種類で決まるターゲット物質で構成し、
その周囲をより高融点の物質及び／又は熱伝導度のより
高い物質で構成すれば、ターゲット物質の冷却効率の向
上、あるいは、変形防止が図られて、より高出力化する
ことが可能になる。
生させるＸ線の種類で決まるターゲット物質で構成し、
その周囲をより高融点の物質及び／又は熱伝導度のより
高い物質で構成すれば、ターゲット物質の冷却効率の向
上、あるいは、変形防止が図られて、より高出力化する
ことが可能になる。
【００２８】さらに、本発明においては、電子線照射部
１ａの温度を融点近傍もしくはそれ以上に設定する場合
がある。この場合には対陰極室２内において、電子線照
射部１ａを構成する金属の蒸気圧が上昇し、Ｘ線透過膜
２２が汚染される場合がある。これを防止するために、
対陰極室２内のＸ線透過膜１ａの前面に交換可能なＸ線
透過性の保護膜を設けることが望ましい。この保護膜と
しては、例えば、反跳電子に耐えられるＮｉ膜等の長尺
状の保護膜をロールに巻いた供給ロールと、この供給ロ
ールの保護膜を巻き取る巻取ロールとをＸ線窓２１の内
側に設け、供給ロールと巻取ロールとの間に張られた保
護膜がＸ線透過膜１ａの前面に配置されるようにすれば
よい。
１ａの温度を融点近傍もしくはそれ以上に設定する場合
がある。この場合には対陰極室２内において、電子線照
射部１ａを構成する金属の蒸気圧が上昇し、Ｘ線透過膜
２２が汚染される場合がある。これを防止するために、
対陰極室２内のＸ線透過膜１ａの前面に交換可能なＸ線
透過性の保護膜を設けることが望ましい。この保護膜と
しては、例えば、反跳電子に耐えられるＮｉ膜等の長尺
状の保護膜をロールに巻いた供給ロールと、この供給ロ
ールの保護膜を巻き取る巻取ロールとをＸ線窓２１の内
側に設け、供給ロールと巻取ロールとの間に張られた保
護膜がＸ線透過膜１ａの前面に配置されるようにすれば
よい。
【００２９】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明は、回転対
陰極の表面であって回転による遠心力が該対陰極の表面
から内部に向かって作用する部位に電子線を照射するよ
うに構成したことによって、対陰極表面が溶解に近い状
態になるまで照射電子線の電流を増大することを可能に
し、これによって従来の回転対陰極Ｘ線発生装置の出力
限界を越えた極めて大出力の回転対陰極Ｘ線発生装置を
得ているものである。
陰極の表面であって回転による遠心力が該対陰極の表面
から内部に向かって作用する部位に電子線を照射するよ
うに構成したことによって、対陰極表面が溶解に近い状
態になるまで照射電子線の電流を増大することを可能に
し、これによって従来の回転対陰極Ｘ線発生装置の出力
限界を越えた極めて大出力の回転対陰極Ｘ線発生装置を
得ているものである。
【図１】本発明の一実施の形態に係るＸ線発生装置の構
成を示す断面図である。
成を示す断面図である。
【図２】図１の一部拡大図である。
１…回転対陰極、１ａ…電子線照射部、２…対陰極室、
３…陰極、４…陰極室、５…駆動モータ、６…回転駆動
部、１１…筒状部、２０…Ｘ線、３０…電子線。
３…陰極、４…陰極室、５…駆動モータ、６…回転駆動
部、１１…筒状部、２０…Ｘ線、３０…電子線。
Claims (3)
- 【請求項１】 回転する対陰極に陰極から射出される電
子線を照射してＸ線を発生させる回転対陰極Ｘ線発生装
置において、 前記対陰極の表面であって回転による遠心力が該対陰極
の表面から内部に向かって作用する部位に前記電子線を
照射するようにしたことを特徴とする回転対陰極Ｘ線発
生装置。 - 【請求項２】 回転する対陰極に陰極から射出される電
子線を照射してＸ線を発生させる回転対陰極Ｘ線発生装
置において、 前記対陰極は、該対陰極の回転の中心軸をその中心軸と
する筒状部分を有し、この筒状部分の筒の内壁表面に前
記電子線を照射するものであることを特徴とする回転対
陰極Ｘ線発生装置。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載の回転対陰極Ｘ線
発生装置において、 前記対陰極が収納される対陰極室と前記陰極が収納され
る陰極室とを隣接して気密部材で形成し、これらを仕切
る隔壁に前記陰極から射出される電子線を通過させる小
さな貫通孔を設けるとともに、前記対陰極室及び陰極室
の各々に真空排気装置を接続してそれぞれ真空排気する
ようにしたことを特徴とする回転対陰極Ｘ線発生装置。
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