JP4204986B2 - X線発生方法及び回転対陰極x線発生装置 - Google Patents
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Description
回転対陰極の表面に電子線を照射し、前記回転対陰極の前記電子線が照射された部分を前記回転対陰極の融点近傍又は融点以上にまで加熱して、少なくとも部分的に溶解させた状態で前記回転対陰極よりX線を発生させる工程と、
前記回転対陰極の、前記電子線が照射された前記部分に対して、その表面から内部に向かうように遠心力を作用させ、前記部分を前記回転対陰極の内方に設けられた所定の構造物で支持する工程とを具え、
前記回転対陰極の、前記電子線が照射される前記部分をV字溝状又はU字溝状に形成することを特徴とする、X線発生方法であり、
回転対陰極に陰極から放出される電子線を照射してX線を発生させる回転対陰極X線発生装置であって、
回転対陰極の表面に電子線を照射し、前記回転対陰極の前記電子線が照射された部分を前記回転対陰極の融点近傍又は融点以上にまで加熱して、少なくとも部分的に溶解させた状態で前記回転対陰極より前記X線を発生させるとともに、前記回転対陰極の、前記電子線が照射された前記部分に対して、その表面から内部に向かうように遠心力を作用させ、前記部分を前記回転対陰極の内方に設けられた所定の構造物で支持するように構成し、前記回転対陰極の、前記電子線が照射される前記部分をV字溝状又はU字溝状に形成した、回転対陰極X線発生装置である。
1a 電子線照射部、
2 対陰極室
3 陰極
4 陰極室、
5 駆動モータ
6 回転駆動部
11 筒状部
20 X線
30 電子線
Claims (18)
- 回転対陰極の表面に電子線を照射し、前記回転対陰極の前記電子線が照射された部分を前記回転対陰極の融点近傍又は融点以上にまで加熱して、少なくとも部分的に溶解させた状態で前記回転対陰極よりX線を発生させる工程と、
前記回転対陰極の、前記電子線が照射された前記部分に対して、その表面から内部に向かうように遠心力を作用させ、前記部分を前記回転対陰極の内方に設けられた所定の構造物で支持する工程とを具え、
前記回転対陰極の、前記電子線が照射される前記部分をV字溝状又はU字溝状に形成することを特徴とする、X線発生方法。 - 前記回転対陰極の、前記電子線が照射される前記V字溝状又は前記U字溝状に形成された前記部分は、前記電子線照射による溶解後の、前記遠心力が作用した場合の形状と略同形状に形成することを特徴とする、請求項1に記載のX線発生方法。
- 前記回転対陰極は、前記回転対陰極の回転中心を中心軸とする筒状部分を有し、前記電子線は前記筒状部分の内壁表面に照射することを特徴とする、請求項1又は2に記載のX線発生方法。
- 前記電子線は前記回転対陰極に対向するようにして設けられた陰極から放出され、前記回転対陰極を収納する対陰極室と、前記陰極を収納する陰極室とを隣接させて気密部材で構成し、前記対陰極室及び前記陰極室を仕切る隔壁に前記陰極から射出される前記電子線を通過させる小さな貫通孔を設けるとともに、前記対陰極室及び前記陰極室それぞれに真空排気装置を接続して、真空排気することを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一に記載のX線発生方法。
- 前記筒状部材の側壁を前記中心軸側へ向けて傾斜させ、前記回転対陰極の、前記電子線を照射した前記部分の、溶解に伴う飛散を抑制することを特徴とする、請求項3又は4に記載のX線発生方法。
- 前記筒状部材の側壁を前記中心軸から外方へ向けて傾斜させ、前記回転対陰極から発生した前記X線の取り出しを容易にすることを特徴とする、請求項3又は4に記載のX線発生方法。
- 前記回転対陰極の、前記電子線が照射される前記部分の周囲を、前記回転対陰極の、前記X線発生に寄与するターゲット材料よりも高融点及び/又は高熱伝導度の物質で構成することを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一に記載のX線発生方法。
- 前記X線は、前記気密部材に設けられた所定のX線透過膜を介して外部に取り出すことを特徴とする、請求項4〜7のいずれか一に記載のX線発生方法。
- 前記X線透過膜の前方に、前記回転対陰極の、前記X線発生に寄与するターゲット材料の蒸発に伴う前記X線透過膜の汚染を防止するための、保護膜を設けることを特徴とする、請求項8に記載のX線発生方法。
- 回転対陰極に陰極から放出される電子線を照射してX線を発生させる回転対陰極X線発生装置であって、
回転対陰極の表面に電子線を照射し、前記回転対陰極の前記電子線が照射された部分を前記回転対陰極の融点近傍又は融点以上にまで加熱して、少なくとも部分的に溶解させた状態で前記回転対陰極より前記X線を発生させるとともに、前記回転対陰極の、前記電子線が照射された前記部分に対して、その表面から内部に向かうように遠心力を作用させ、前記部分を前記回転対陰極の内方に設けられた所定の構造物で支持するように構成し、前記回転対陰極の、前記電子線が照射される前記部分をV字溝状又はU字溝状に形成した、回転対陰極X線発生装置。 - 前記回転対陰極の、前記電子線が照射される前記V字溝状又は前記U字溝状に形成された前記部分は、前記電子線照射による溶解後の、前記遠心力が作用した場合の形状と略同形状に形成したことを特徴とする、請求項10に記載の回転対陰極X線発生装置。
- 前記回転対陰極は、前記回転対陰極の回転中心を中心軸とする筒状部分を有し、前記電子線は前記筒状部分の内壁表面に照射するように構成したことを特徴とする、請求項10又は11に記載の回転対陰極X線発生装置。
- 前記回転対陰極を収納する対陰極室と、前記陰極を収納する陰極室とを隣接させて気密部材で構成し、前記対陰極室及び前記陰極室を仕切る隔壁に前記陰極から射出される前記電子線を通過させる小さな貫通孔を設けるとともに、前記対陰極室及び前記陰極室それぞれに真空排気装置を接続して、真空排気するように構成したことを特徴とする、請求項10〜12のいずれか一に記載の回転対陰極X線発生装置。
- 前記筒状部材の側壁を前記中心軸側へ向けて傾斜させ、前記回転対陰極の、前記電子線を照射した前記部分の、溶解に伴う飛散を抑制したことを特徴とする、請求項12又は13に記載の回転対陰極X線発生装置。
- 前記筒状部材の側壁を前記中心軸から外方へ向けて傾斜させ、前記回転対陰極から発生した前記X線の取り出しを容易にしたことを特徴とする、請求項12又は13に記載の回転対陰極X線発生装置。
- 前記回転対陰極の、前記電子線が照射される前記部分の周囲を、前記回転対陰極の、前記X線発生に寄与するターゲット材料よりも高融点及び/又は高熱伝導度の物質で構成したことを特徴とする、請求項10〜15のいずれか一に記載の回転対陰極X線発生装置。
- 前記気密部材に所定のX線透過膜を設け、前記X線は前記X線透過膜を介して外部に取り出すようにしたことを特徴とする、請求項13〜16のいずれか一に記載の回転対陰極X線発生装置。
- 前記X線透過膜の前方に、前記回転対陰極の、前記X線発生に寄与するターゲット材料の蒸発に伴う前記X線透過膜の汚染を防止するための、保護膜を設けたことを特徴とする、請求項17に記載の回転対陰極X線発生装置。
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