JPH11320457A - 可動機械要素の位置測定用装置および機械要素のマ―キング方法 - Google Patents

可動機械要素の位置測定用装置および機械要素のマ―キング方法

Info

Publication number
JPH11320457A
JPH11320457A JP11096679A JP9667999A JPH11320457A JP H11320457 A JPH11320457 A JP H11320457A JP 11096679 A JP11096679 A JP 11096679A JP 9667999 A JP9667999 A JP 9667999A JP H11320457 A JPH11320457 A JP H11320457A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mechanical element
measuring
reflectivity
marking
movable mechanical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11096679A
Other languages
English (en)
Inventor
Mark Lewis Whatley
マーク・ルイス・ワットレー
John Shepherd
ジョン・シェファード
Roger William Brassington
ロジャー・ウイリアム・ブラッシントン
Ian Arnold Moore
イアン・アーノルド・ムーア
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JC Bamford Excavators Ltd
Original Assignee
JC Bamford Excavators Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JC Bamford Excavators Ltd filed Critical JC Bamford Excavators Ltd
Publication of JPH11320457A publication Critical patent/JPH11320457A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/20—Other details, e.g. assembly with regulating devices
    • F15B15/28—Means for indicating the position, e.g. end of stroke
    • F15B15/2815—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT
    • F15B15/2846—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using detection of markings, e.g. markings on the piston rod
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/08—Characterised by the construction of the motor unit
    • F15B15/14—Characterised by the construction of the motor unit of the straight-cylinder type
    • F15B15/1423—Component parts; Constructional details
    • F15B15/1457—Piston rods
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/20—Other details, e.g. assembly with regulating devices
    • F15B15/28—Means for indicating the position, e.g. end of stroke
    • F15B15/2815—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT
    • F15B15/2869—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using electromagnetic radiation, e.g. radar or microwaves
    • F15B15/2876—Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using electromagnetic radiation, e.g. radar or microwaves using optical means, e.g. laser
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/249—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using pulse code
    • G01D5/2492—Pulse stream
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M2205/00—General characteristics of the apparatus
    • A61M2205/33—Controlling, regulating or measuring
    • A61M2205/3306—Optical measuring means
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M2205/00—General characteristics of the apparatus
    • A61M2205/33—Controlling, regulating or measuring
    • A61M2205/3379—Masses, volumes, levels of fluids in reservoirs, flow rates
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M2205/00—General characteristics of the apparatus
    • A61M2205/33—Controlling, regulating or measuring
    • A61M2205/3379—Masses, volumes, levels of fluids in reservoirs, flow rates
    • A61M2205/3389—Continuous level detection
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M5/00—Devices for bringing media into the body in a subcutaneous, intra-vascular or intramuscular way; Accessories therefor, e.g. filling or cleaning devices, arm-rests
    • A61M5/14—Infusion devices, e.g. infusing by gravity; Blood infusion; Accessories therefor
    • A61M5/168—Means for controlling media flow to the body or for metering media to the body, e.g. drip meters, counters ; Monitoring media flow to the body
    • A61M5/16831—Monitoring, detecting, signalling or eliminating infusion flow anomalies
    • A61M5/1684—Monitoring, detecting, signalling or eliminating infusion flow anomalies by detecting the amount of infusate remaining, e.g. signalling end of infusion

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Fittings On The Vehicle Exterior For Carrying Loads, And Devices For Holding Or Mounting Articles (AREA)
  • Impact Printers (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】従来装置の課題の少なくとも１つまたはそれ以
上を克服または低減することにより可動機械要素の位置
測定用装置および機械要素のマーキング方法を提供する
ことにある。 【解決手段】機械要素が、機械要素の位置に依存する第
１出力を供給するための読み取り手段からなる、光学的
に読み取り可能な方法においてマーキングされる、機械
要素の位置測定用装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、可動機械要素の位
置測定用装置および機械要素、とくにしかし排他的でな
くラムのシリンダに対して動き得るラムのピストンロッ
ドからなる機械要素のマーキング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】流体作動のラムのシリンダに対するピス
トンロッドの位置を検出するための手段は知られている
が、しかし装置の支点に置かれたセンサ（ポテンショメ
ータのような）の使用によりラムによって作動される装
置の位置を検出しかつ次いでラムによって作動された装
置の位置からロッドの位置を推測することに依存してい
る。しかしながら、得られるロッド位置測定はロッドと
作動された装置との間の反動（バックラッシュ）のごと
き機械的欠陥を被るかも知れない。かかる位置検出器は
また機械的にすることができかつそこで欠陥およびそれ
ら自体の磨耗を被る。ピストンロッドの磁気的マーキン
グがロッドの位置の直接的な指示を付与するのに使用さ
れるが、かかる磁気装置は電磁干渉およびマーキングの
消磁を被る。
【０００３】
【発明が解決すべき課題】機械的要素の表面に光学的に
読み取り可能なマーキングを設けること、かつとくにこ
れらのマーキングをレーザマーキングによって設けるこ
とが知られている。しかしながら、かかるレーザマーキ
ングはロッドの腐食抵抗を弱める。
【０００４】本発明の目的は上述した課題の少なくとも
１つまたはそれ以上を克服または低減することにより可
動機械要素の位置測定用装置および機械要素のマーキン
グ方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の１態様によれ
ば、我々は、可動の機械要素の位置を測定する、可動機
械要素の位置測定用装置において、機械要素が光学的に
読み取り可能であるマーキングを有し、この光学的に読
み取り可能なマーキングが第１の反射力を有する表面お
よび第２の反射力を有する複数の区域を備えた機械要素
の少なくとも１部分からなり、さらに、以下の方策、す
なわち、 ａ）前記機械要素の前記部分がこの機械要素と表面との
間に基板を備えていること、 ｂ）前記区域が機械要素の運動の方向に対して平行な方
向に略一定である幅を有する第２の反射力を有している
こと、の少なくとも１つからなることを特徴とする可動
の機械要素の位置測定用装置を提供する。
【０００６】方策ａ）が存在するならば、基板は腐食に
対して抗することができる。
【０００７】基板は第１の反射力を有する前記表面より
レーザマーキングに対して多く抵抗を有することがで
き、前記第１の反射力を有する表面はクロムからなるこ
とができる。
【０００８】基板は青銅からなっても良い
【０００９】青銅は８８％〜９２％の銅および１２％〜
８％のスズからなることが可能である。
【００１０】基板は０．０３８ｍｍ〜０．０５１ｍｍの
範囲の厚さを有しても良い。
【００１１】基板は０．２〜０．４μｍの表面仕上げを
有することができる。
【００１２】基板を備えるような機械要素の少なくとも
１部分は０．８μｍ以下の表面仕上げを有することがで
きる。
【００１３】第１の反射力は第２の反射力より大きくす
ることができる。
【００１４】方策ｂ）が存在するならば、マーキングは
複数のコード要素からなることができ、各コード要素は
複数の前記第２の反射力の区域からなる。
【００１５】各コード要素は二進数字の数値を符号化す
ることができる。
【００１６】各二進数字は第２の反射力を有する前記区
域の２つの間の距離によって示され得る。
【００１７】各コード要素は独特な数を符号化すること
ができる。
【００１８】各コード要素は疑似乱数の二進シーケンス
の独特な部分からなることも可能である。
【００１９】装置は、さらに、機械要素の位置に依存す
る出力を供給するための読み取り手段からなることがで
き、この読み取り手段が照明手段、検出手段および復号
手段からなっている。
【００２０】照明手段は発光ダイオードからなることも
可能である。
【００２１】検出手段は第１の反射力を有する表面およ
び第２の反射力を有する区域から反射された照明手段か
らの光を検出するように配置されることができ、検出手
段は前記第１の反射力を有する前記表面の１部分からの
光が前記表面上で反射されるとき第１の範囲内の値を有
しかつ前記第２の反射力を有する区域からの光がこの区
域上で反射されるとき第２の範囲内の値を有する信号を
供給する検出器からなっている。
【００２２】検出器は複数の前記検出器を有しているア
レイからなることができる。
【００２３】アレイは前記復号手段へ中間信号を供給す
ることができ、この中間信号は前記検出器の各々からの
信号からなっている。
【００２４】復号手段は前記出力を供給するために前記
検出手段からの中間信号を復号するための電子手段から
なることができる。
【００２５】前記復号手段は第２の反射力の区域の縁部
に対応する遷移に対応する中間信号の検出器信号を検出
するための手段および複数の前記遷移の分離から複数の
二進数字を識別するための手段からなることができる。
【００２６】前記復号手段は前記二進数字からコード要
素を識別するための手段からなりかつ前記コード要素に
依存する機械ロッドの位置を指示する前記出力を供給す
ることができる。
【００２７】復号手段は、さらに、微細な位置を提供す
るために、前記遷移の選択された遷移が符号する検出器
アレイの検出器を識別するための手段からなることも可
能である。
【００２８】装置は、さらに、前記機械要素の前記表面
および前記区域から反射された光を前記検出器上に焦点
合わせするための焦点合わせ手段からなることができ
る。
【００２９】機械要素が流体作動のラムのピストンロッ
ドからなることができる。
【００３０】本発明の第２の態様によれば、我々は、機
械要素にマーク付けをする機械要素のマーキング方法に
おいて、機械要素上に第１の反射力を有する表面を設
け、かつこの表面上にレーザによりマーキングを設ける
工程からなり、このマーキングが第２の反射力を有する
複数の区域からなり、さらに、以下の方策、すなわち、 ａ）前記機械要素に第１の反射力を有する表面を備える
前に、前記機械要素に前記表面がその場合にその上に設
けられる基板を設ける工程、 ｂ）前記区域が前記機械要素の運動の方向に対して平行
な方向に略一定である幅を有するように第２の反射力を
有する前記区域をマーキングする工程、 の１つからなることを特徴とする機械要素のマーキング
方法を提供する。
【００３１】本発明の第３の態様によれば、我々は、本
発明の第２の態様による方法によってマーキングされた
機械要素を提供する。
【００３２】本発明の第１の態様による装置は、本発明
の第３の態様による機械要素からなることができる。
【００３３】本発明の実施例を、添付図面を参照して以
下で説明する。
【００３４】
【実施例】図１を参照すると、符号９で流体作動のラム
が示されており、このラムはシリンダ１０に受容されか
つピストンロッド１２に取着されたピストン１１を有す
るシリンダ１０からなっている。本実施例において、機
械要素は、本発明が適宜な機械要素により使用され得る
ことは明らかであるけれども、ピストンロッド１２から
なっている。シリンダ１０およびピストンロッド１２は
それぞれ耳部１３および１４によって所望されるような
他の機械装置に取着され得る。シリンダ１０の１端はシ
リンダ端部キャップ１５によって密封される。ピストン
ロッド１２は表面１２ａ上に配置された光学的に読み取
り可能なマーキング１６でマーキングされた表面１２ａ
を有している。読み取り手段１７がシリンダ端部キャッ
プ１５内に配置されかつ符号１８で総括的に示される復
号手段に接続されている。光学的に読み取り可能なマー
キング１６は、後で記載される方法において、ロッド１
２の長さに沿ってコード要素の位置に基づいて各々すう
ち符号化する一連のコード要素からなっている。
【００３５】読み取り手段１７は図２に示される。光学
通路１９ａ，１９ｂが端部キャップ１５に設けられる。
多数の発光ダイオード（ＬＥＤｓ）２０からなっている
照明手段１７ａは、光がピストンロッド１２の表面１２
ａに設けられた光学的に読み取り可能なマーキング１６
の１部分上に達するように通路１９ａの下へ光を伝達す
る。光学通路１９ｂは、ピストンロッド１２の表面１２
ａから反射された光が通路１９ｂに沿って走行しかつ好
ましくはレンズ２２によって検出器アレイ２１上に焦点
合わせされるように配置されている。ＬＥＤ２０は続い
て起こる処理を簡単化するために検出器アレイ２１によ
って観察された光学的に読み取り可能なマーキング１６
の１部分の均一な照明を設けるように配置される。読み
取り手段１７は図示のごとま端部キャップ１５にまたは
その近くに取り付けられ得るようにコンパクトにするこ
とが必要とされる。
【００３６】符号化計画の例が図３に示される。この図
は１つのコード要素１６ａ、すなわち、二進数字（ビッ
ト）の１数値を符号化している光学的に読み取り可能な
マーキング１６の識別可能な部分を示す。数値はロッド
１２上のコード要素１６ａの位置を指示する。コード要
素１６ａは、第２の、低い反射力を有しているマーキン
グ区域２４がその上にある第１の反射力を有しているピ
ストンロッド１２の表面１２ａの１部分２３からなって
いる。区域２４は一定の幅Ｔを有している。区域２４の
間に配置されるのは空間２５である。各空間２５の幅は
ビットを符号化し、空間２５の幅が２Ｔであるならば、
この幅は値”１”を有するビットを示しそして空間２５
が１Ｔの幅を有するならば、この幅は値”０”を有する
ビットを示す。図３に示されるコード要素１６ａはした
がって二進シーケンス１０１０１０１０１０を符号化し
ている。
【００３７】マーキングは、一連の連続する、別個のコ
ード要素からなることができ、その場合にタンブのマー
カは、例えば、１対の隣接する区域２４の間に４Ｔの幅
が含まれ得る。この場合に、各連続するコード要素１６
ａはロッドの長さに沿ってその位置により増加している
値を符号化することができる。コード要素１６ａの大き
さはロッド位置がそれにより測定され得る解像度を決定
する。
【００３８】より好ましくは、マーキングは位置情報を
符号化するために疑似乱数二進シーケンスを使用する。
疑似乱数シーケンスおよび疑似乱数シーケンスを発生す
るる方法は良く知られている。この疑似乱数シーケンス
の利点は順序Ｎの疑似乱数シーケンスに関して、シーケ
ンスのＮビット部分が１度だけ発生する、すなわち、各
Ｎビット部分は独特である。それゆえマーキングは長さ
Ｎビットの一連の独特の、重なり合ったコード要素から
なっている。
【００３９】順次Ｎのシーケンスが疑似乱数シーケンス
として使用される場合、シーケンスのビットの長さは２
N −１で示され、そして発生されるシーケンスは値”
１”を有する２N - 1 ビットおよび値”０”を有する２
N - 1 ビットを包含する。”１”ビットが２Ｔの幅を有
しかつ”０”ビットがＴの幅を有しそして数字が幅Ｔの
マークで分離される場合のかかるシーケンスのマーキン
グ１６の全体の長さは（２N + 1 ＋２N - 1 ＋１）Ｔで
ある。疑似乱数シーケンスの使用は、マーキングの単一
軌道が１つの二進数字の幅の解像度により感知する絶対
位置を設けるように使用され得るという利点を有してい
る。装置の解像度は長さＴおよび疑似乱数二進シーケン
スの順序を変化することにより選択されることが可能
で、そしてマーキングは疑似乱数二進数字の順序を変更
することにより機械要素の種々の長さにわたって密封し
得る。
【００４０】位置情報の解像度は、さらに、以下で記載
されるような微細な位置を計算することにより検出器ア
レイの１つの検出器の幅に増大され得る。
【００４１】直線検出器アレイ２１はロッド１２の長手
方向軸線に対して平行に配置されたラインに配置される
別個の光検出器のアレイからなっている半導体装置から
なる。各光検出器は電圧がこの光検出器上に入る光の量
に比例する信号を発生する。検出器アレイからの中間の
信号は一連の電圧値からなり、各値は光検出器中の１つ
の光検出器の信号に対応している。各別個の値はアレイ
中のその発生している検出器の位置（以下でその「検出
器数」と称される）により言及され得る。使用点合わせ
手段２２および区域２４の幅Ｔは好ましくは、幅Ｔを有
する表面１２ａの付与された領域からの光が少なくとも
２つの光検出器に入るように選択される。最大の大きさ
のコード要素１６ａ（８ビットを有する例において、コ
ードフレーム１６ａが値１１１１１１１１を符号化す
る）が検出器アレイの長さ内に適合することを保証する
のが必須である。位置が測定される解像度および幅Ｔは
それゆえ検出器アレイの解像度に依存する変数である。
検出器アレイ２１の使用は高密度の光検出器を備えたコ
ンパクトな検出器手段を提供する。
【００４２】より好ましくは、検出器は、独特のコード
要素を識別するのに必要とされる最小より多いビットを
検出する。疑似乱数二進シーケンスの場合において、追
加のビットがエラーチェックのために使用され得る。
【００４３】検出器アレイ２１からの中間信号の例が図
４に示される。区域２４が最小２６として現れ、一方、
二進”０”数字に対応する空間２５は狭いピーク２７と
して現れかつ二進”１”数字に対応する空間２５は広い
ピーク２８として現れる。
【００４４】復号手段の考え得る形状が計画の形状にお
いて図５に示される。中間の信号は、第２の出力の電圧
を変化するためにマイクロコントローラ３２によって制
御し得る、ＤＣ電圧レベルシフト３１へのライン３０上
で図２の検出器アレイ２１によって供給される。電圧シ
フトされた中間信号はライン３３上でＤＣ電圧レベルシ
フト３１から、中間信号の値をしきい値電圧と比較する
弁別器３４へ供給される。中間信号の値がしきい値電圧
以上であるならば、弁別器３４は＋５ボルトの信号電圧
を発生し、そして中間信号の値がしきい値電圧以下であ
るならば、０ボルトの信号電圧を発生する。
【００４５】弁別器３４は、かくして、中間信号を、空
間２５に対応する５ボルト「マーク」および区域２４に
対応する０ボルト「空間」からなる波形に変換する。波
形は次いでライン３５上で符号化された数値を引き出し
かつそれをライン３７上の出力しきい値に変換するマイ
クロコントローラ３２に供給される。ライン３３上の中
間信号はマイクロコントローラ３２によって読み取られ
かつ電圧シフト調整信号は、したがって、ライン３６上
で弁別器３４のしきい値電圧と一致する中間信号の最大
と最小との間の中間点を維持するためにＤＣ電圧レベル
シフト３１に供給される。
【００４６】復号手段は、代替的に、アナログ−デジタ
ル変換器およびマイクロコントローラ、コンピュータま
たは中間信号を復号するための適宜なソフトウエアを備
えた他の適宜なプログラム可能な装置からなることがで
きる。アナログ−デジタル変換器は中間信号を、マイク
ロコントローラに通される一連のデジタル化された値に
変換する。本例のソフトウエアはその場合に中間信号の
高周波成分を平滑にするために中間信号の隣接する値の
平均を採ることによりデジタル化された中間信号をまず
滑らかにし、かつ次いで隣接する検出器からの信号間の
変化の割合を比較することにより最小と最大の有為だの
遷移の中間点に対応する中間信号のそれらの値を識別す
る工程を実施する。各遷移は区域２４の縁部に対応す
る。いったん第１の遷移が識別されると、次の遷移を識
別かる工程は速められることができる。
【００４７】各区域２４の縁部が既知の距離だけ離れる
ので、高い方から低い方への遷移が低い方から高い方へ
の遷移だけ一定の距離だけ遅れて追随されねばならず、
かつ低い方から高い方への遷移が、それぞれ幅Ｔまたは
２Ｔのの空間２５に対応している、一定の距離または一
定の距離の２倍遅れて高い方から低い方への遷移により
追随されることが明らかであるので、遷移に同様に対応
するような中間信号のそれらの値のみがソフトウエアに
よって試験される必要がある。どれくらい多くの検出器
が区域２４の幅Ｔに対応するかは知られているので、検
出器の数によって遷移の同様な間隔は知られている。
【００４８】復号手段によって実施される工程は図８の
フローチャートに示されている。中間信号は遷移を検出
しかつ遷移に対応する中間信号の値の検出器数を書き留
める弁別器に通される。各々遷移に対応している検出器
数のシーケンスはその場合に遷移間の分離の幅からビッ
トを識別することにより二進シーケンスを引き出すため
に復号される。疑似乱数シーケンスのワードに対応する
ビットの数は二進シーケンスから引き出されかつ疑似乱
数シーケンスの有効部分であることを保証するのに有効
にされる。いったん有効として確認されると、機械要素
の位置は、疑似乱数二進シーケンスの各ワードがロッド
の対応する位置に対して整合される、ルックアップテー
ブルから見い出され得る。
【００４９】かかる方法は機械要素の位置をこの機械要
素にマーキングされた疑似乱数シーケンスの１つの二進
数字の解像度内に付与する。微細な位置は次いで第１の
遷移が図４に達する検出器の検出器数Ｘを識別すること
により計算され得る。検出器Ｘの位置はしたがってこの
場合の付与された基準点、アレイの第１の検出器０から
の二進シーケンスの開始を示す。上記で議論されたよう
に、どれくらい多くの検出器が疑似乱数シーケンスの幅
Ｔに対応するかは既知であるので、Ｘと０間の検出器の
数をカウントすることにより、ピストンロッドの微細な
位置は検出器アレイの１つの検出器の幅内に計算され得
る。
【００５０】有効段階用の簡単なフローチャートが図９
に示されている。識別されたビットはこれらのビットが
有効なワードを形成しているかどうかを見るためにチェ
ックされる。有効なワードを形成してないならば、ワー
ドの最も左のビットは除かれることができかつ二進シー
ケンスの次のビットが新たな最も右のビットを設けるよ
うに付加される。結果として生じるワードはそれが有効
なワードを形成しているかどうかを見るために再びチェ
ックされる。有効なワードを形成しているならば、ワー
ドは上述されたような位置を設けるためにルックアップ
テーブルで研削される。有効なワードを形成していない
ならば、最も左のビットを除きかつ新たな最も右のビッ
トを付加する工程が繰り返される。すべてのビットが有
効なワードを発生することなくチェックされるならば、
その場合に無効な測定が合図される。有効段階はしたが
ってマーキングまたはロッド表面の損傷または検出手段
および復号手段の電気的雑音により発生されるエラーを
識別することができる。
【００５１】復号手段が、例えば隣接する有効なビット
からの無効なビットであるに違いない推論により、例え
ば区域２４の腐食により発生される場合を識別するのが
望ましい。かかる無効ビットの位置が識別され得るなら
ば、ビットの正しい値が識別されかつ次の測定において
使用され得る。
【００５２】機械要素の位置を測定するためのかかる装
置はこの装置の出力信号に応答して機械要素を制御する
ように作動し得るサーボ装置に使用され得る。本実施例
において、適宜な弁装置が設けられ、それなよりシリン
ダへの流体圧力の供給が電子的に制御される。考え得る
概略的な配置が図１０に示される。図１に示されたと同
様な流体作動のラムは前述されたごとく読み取り手段１
７および復号手段１８からなっている。復号手段１８か
らの出力はライン４１上で電子コントローラ４０に通さ
れる。所望されるような他のセンサまたは制御手段から
の信号はまたライン４２上で電子コントローラ４０に通
される。電子コントローラ４０はその場合に、復号手段
１８からの位置情報およびライン４２上のセンサ情報に
応答してラム９へのライン４５上の流体の供給を制御す
るようにライン４３上に信号を送ることにより、例え
ば、ソレノイド弁からなっている流体圧力制御手段４４
を作動することができる。したがって、ロッド１２が動
きかつその新たな位置が読み取り手段１７および復号手
段１８によって検出されかつ電子コントローラ４０に通
される。
【００５３】光学的に読み取り可能なマーキング１６の
要件は、ロッドの絶対変位が所望の解像度に決定され、
区域２４の損失によって導入されるエラーを許容しそし
てロッド表面上に必要とされる区域２４の数を最小にし
得るように位置情報を符号化すべきであるということで
ある。また、マーキングが耐久力がありかつ腐食に耐え
そしてできる限りロッド自体の腐食耐性を損なわないこ
とが望ましい。機械要素の腐食耐性の損傷に抗するのが
望ましい場合には幾つかの方策が使用されることができ
る。
【００５４】本発明の第１の方策によれば、光学的に読
み取り可能なマーキングは、いったんマヘキングが所定
の直径に基礎が置かれたならば、機械要素上に設けられ
る。本実施例において、機械要素は鋼でありそしてその
適宜な部分がまず青銅基板で被覆される。機械要素は、
０．８μｍまたはそれ以下に表面仕上げを有するように
被覆する前に好ましくは研削または湿式研磨される。青
銅基板は０．０３８〜０．０５１ｍｍの範囲の厚さを有
しかつ８８％〜９２％の銅および８％〜１２％のスズか
らなっている。
【００５５】被覆後、青銅基板は多孔性の徴候を示さず
かつ０．２〜０．４μｍの表面仕上げを達成するように
研磨される。クロム表面が、第１の反射力を有する表面
１２ａを設けるために通常の電着技術により０．００１
ｍｍ／時間の割合で青銅上に堆積される。表面はおよそ
４００亀裂／直線ｃｍ最小で微小亀裂を有しても良い。
最終のクロム厚さは構成要素の最終の使用に依存して種
々の構成要素に関して変化され得る。他の適宜な技術ま
たはパラメータが所望されるように使用され得る。
【００５６】クロムは次いで、第２の、よリ低い反射力
を有する青銅の露出された区域を生じるようにレーザで
所望の区域を走査することにより除去される。レーザは
ピストンロッド１２の軸線に対して垂直な平面において
周部のマークを設けるためにロッド周部の１部分のまわ
りに走査される。ロッド１２は軸方向に僅かな距離だけ
動かされかつ他の領域が、所望の幅を有する区域２４が
発生されるまで走査される。この工程は所望のごとく各
区域２４に繰り返される。区域２４は、代替的に、とく
に本発明の方策（ｂ）が基板または他の基板が設けられ
ないことが考えられる場合に設けられるならば、クロム
を完全に残すことなくクロムを部分的に除去または脱色
することにより形成され得る。
【００５７】本実施例において。使用されるレーザは６
００ワットのパワー（出力）でＱモードにおいて作動さ
れる７０ワットの連続波パワーを有するＱ−スイッチＮ
ｄ−ＹＡＧである。ビーム直径は４ｍｍてそして焦点距
離は７０ｍｍ／秒の走査速度により１３７ｍｍであっ
た。４０ｍｍの周囲を有するロッドに関して、各区域２
４はロッド周囲の５．７ｍｍのまわりに延びるようにか
つ０．５ｍｍの幅を有するように走査された。
【００５８】この方法は耐久力のある腐食耐性マーキン
グを発生し、青銅基板はクロムのレーザマーキングから
生起するロッドの腐食抵抗の損傷に抗する。ニッケルが
通常鋼上にクロムを堆積するとき基板として使用される
けれども、ニッケルは一般に青銅基板より良好な腐食耐
性を設けるように見なされるので、期待に反してニッケ
ル基板がクロムのレーザマーキングによって発生される
腐食耐性の損傷に対抗するのに有効性が少ないことが認
められた。とくに、クロムがマーキングされるがレーザ
が基板および機械要素に著しく影響を及ぼさないように
レーザパワーを制御するのは困難である。代替的に、ク
ロムのみが設けられるならば、レーザはクロム中の微小
亀裂を通って腐食路を開く。青銅基板はマーキングレー
ザに対して非常に反射する腐食耐性基板を設ける。
【００５９】レーザ出力は、いったんクロム表面がマー
キングされると、レーザ光が続いて青銅基板によつて反
射されるので正確に制御される必要はなく、基板を通っ
て機械要素を処理するかまたは機械要素を通って腐食通
路を開くことを同様に少なくさせる。さらに、クロムに
対する非常に異なる反射力を有する青銅の使用は高いコ
ントラストの区域２４を提供する。マーキング方法は、
劣化なしに予め定めた有効期間にわたって存続する読み
取り可能なマーキングを提供する。マーキングはまた通
常の使用によって容易に腐食されないかまたは偶発的な
衝撃によって損傷されないように十分に耐久力がある。
機械要素がクロム表面を塗布する通常の密封を備えるな
らば、要素上の埃または油は、区域が僅かに凹まされか
つ幾らかの油または埃を蓄積し、かくしてそれらの反射
力をさらに低減するので、表面と区域との間のコントラ
ストを高めるのに役立つ。
【００６０】本方法は高周波焼き入れ鋼、ならびに非高
周波焼き入れ鋼を含む他の等級の鋼に使用されることも
できる。
【００６１】本発明の第２の方策による一定の幅のマー
キングの使用はまた表面のレーザマーキングによって発
生される腐食抵抗の損傷に抗する。クロムのみが設けら
れるならば、マーキングは、深さおよび貫通かつそれゆ
えレーザの出力の制御を必要とする、クロムを通って機
械要素に貫通しないことが望ましい。基板が設けられる
ならば、マーキングがクロムを貫通しないか、または代
替的にマーキングが基板の顕著な貫通または加熱を結果
として生じないことがさらに望ましい。マークが機械要
素上にレーザによって形成されるとき、機械要素によっ
て発生される加熱の量は、レーザの貫通の深さにさらに
影響を及ぼす、マークの大きさに依存する。
【００６２】一定の幅のマークを作ることにより、機械
要素の加熱は通常一定でありかつ貫通の深さは、マーク
を作る作用がマークの種々の大きさに関してレーザ出力
を較正すべきことなく知られるので、より容易に制御さ
れる。本方法は、腐食耐性を設けるために上述された青
銅基板を設ける方法に加えてまたはそれと別個に使用さ
れ得る。マーキングは前述された技術を使用して形成さ
れ得る。
【００６３】さらに、上述されたように、区域の幅は一
定でかつ区域間の空間の幅は１または２つの区域の幅で
あるので、地勇敢信号の遷移の検出は速められることが
でき、したがって復号工程を促進する。
【００６４】読み取り手段は可動部分を含まずかつ機械
要素の運動と干渉しない。位置測定はロッドから直接か
つ機械要素に作動される装置の部片からでなく行われ
る。このことは、位置測定が、ラムと装置との間の反
動、または読み取り手段自体における反動のごとき機械
的な欠陥によって影響を及ぼされないことを意味する。
読み取り手段は、また、磨耗を被るラムに剰余の可動部
分を追加しない。
【００６５】他の符号化またはマーキング手段が所望さ
れるごとく使用され得る。本実施例においてピストンロ
ッドがマーキングされたが、光学的に位置を測定するか
かる方法は軸方向のまたは他の運動に従う他の機械要素
に適切であることは明らかである。照明手段および検出
手段はシリンダの端部キャップに取り付けられかつそれ
ゆえ電磁妨害から機械的に保護されかつ遮蔽されねなら
びに比較的コンパクトである。
【００６６】本発明が所望のごとく機械要素上で使用さ
れることができかつとくにマーキングが所望のごとく適
宜な技術によって設けられ得ることは明らかである。本
発明の方策のいずれかまたは両方が、機械要素の腐食耐
性の損傷に抗するのに望まれる場合に使用され得る。
【００６７】特別な形状または開示された機能を実施す
るための手段、または適切なごとく、開示された結果を
達成するための方法によって表された、前記説明、特許
請求の範囲、または添付図面において開示された特徴
は、別個にまたはかかる特徴の組み合わせにおいて、そ
の種々の形状において本発明を実現するのに利用され得
る。
【００６８】
【発明の効果】叙上のごとく、本発明は、可動の機械要
素の位置を測定する、可動機械要素の位置測定用装置に
おいて、機械要素が光学的に読み取り可能であるマーキ
ングを有し、この光学的に読み取り可能なマーキングが
第１の反射力を有する表面および第２の反射力を有する
複数の区域を備えた機械要素の少なくとも１部分からな
り、さらに、以下の方策、すなわち、ａ）前記機械要素
の前記部分がこの機械要素と表面との間に基板を備えて
いること、ｂ）前記区域が機械要素の運動の方向に対し
て平行な方向に略一定である幅を有する第２の反射力を
有していること、の少なくとも１つからなる構成とした
ので、ロッドの腐食抵抗を弱めるという欠点を克服また
は低減し得る可動機械要素の位置測定用装置を提供する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を組み込んでいる流体作動のラ
ムを示す概略図である。
【図２】図１の線２−２の断面図である。
【図３】図１の部分の拡大図である。
【図４】中間手段をグラフで示す図である。
【図５】復号手段の概略配置を示す図である
【図６】中間手段の１部分の例を示す図である。
【図７】図３の復号手段を通過した後の図６の中間信号
を示す図である。
【図８】本発明の１つの態様による復号手段によって実
施された工程の例を示すフローチャートである。
【図９】本発明の１つの態様による復号手段によって実
施されたエラーチェック工程の例を示すフローチャート
である。
【図１０】本発明の実施例を組み込んでいる電子フィー
ドバック制御装置を示す概略図である。
【符号の説明】
９ 流体作動のラム １０ シリンダ １１ ピストン １２ ピストンロッド（機械要素） １２ａ 表面 １６ 光学的に読み取り可能なマーキング １６ａ コード要素 １７ 読み取り手段 １７ａ 照明手段 １８ 復号手段 ２０ 発光ダイオード（ＬＥＤ） ２１ 検出器アレイ ２４ 区域 ２５ 空間
フロントページの続き (72)発明者 ジョン・シェファード イギリス国、スタッフォード、リトル・ヘ イウッド、マノー・ファーム・ロード 18 (72)発明者 ロジャー・ウイリアム・ブラッシントン イギリス国、スタッフォードシャー、スト ーク・オン・トレント、ディルホーン、テ ィックヒル・レーン、スタンスモア・ホー ル・ファーム (72)発明者 イアン・アーノルド・ムーア イギリス国、スタッフォードシャー、スト ーク・オン・トレント、チードル、ネス・ グローヴ 103

Claims (32)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 可動の機械要素の位置を測定する、可動
    機械要素の位置測定用装置において、前記機械要素が光
    学的に読み取り可能であるマーキングを有し、この光学
    的に読み取り可能なマーキングが第１の反射力を有する
    表面および第２の反射力を有する複数の区域を備えた前
    記機械要素の少なくとも１部分からなり、さらに、以下
    の方策、すなわち、 ａ）前記機械要素の前記部分がこの機械要素と表面との
    間に基板を備えていること、 ｂ）前記区域が前記機械要素の運動の方向に対して平行
    な方向に略一定である幅を有する第２の反射力を有して
    いること、の少なくとも１つからなることを特徴とする
    可動機械要素の位置測定用装置。
  2. 【請求項２】 前記方策ａ）が存在するならば、基板は
    腐食に対して抗することを特徴とする請求項１に記載の
    可動機械要素の位置測定用装置。
  3. 【請求項３】 前記方策ａ）が存在する場合に、前記基
    板が第１の反射力を有する前記表面よりレーザマーキン
    グに対してより多く抵抗することを特徴とする請求項１
    または２に記載の可動機械要素の位置測定用装置。
  4. 【請求項４】 第１の反射力を有する前記表面がクロム
    からなることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか
    １項に記載の可動機械要素の位置測定用装置。
  5. 【請求項５】 前記方策ａ）が存在するる場合に、前記
    基板が青銅からることを特徴とする請求項１ないし４の
    いずれか１項に記載の可動機械要素の位置測定用装置
  6. 【請求項６】 前記青銅が８８％〜９２％の銅および１
    ２％〜８％のスズからなることを特徴とする請求項５に
    記載の可動機械要素の位置測定用装置。
  7. 【請求項７】 前記基板が０．０３８ｍｍ〜０．０５１
    ｍｍの範囲の厚さを有することを特徴とする請求項５ま
    たは６に記載の可動機械要素の位置測定用装置。
  8. 【請求項８】 前記基板が０．２〜０．４μの表面仕上
    げを有することを特徴とする請求項５ないし７のいずれ
    か１項に記載の可動機械要素の位置測定用装置。
  9. 【請求項９】 前記方策ａ）が存在する場合に、前記基
    板を備えるような前記機械要素の少なくとも１部分は
    ０．８μｍ以下の表面仕上げを有することを特徴とする
    前記請求項のいずれか１項に記載の可動機械要素の位置
    測定用装置。
  10. 【請求項１０】 前記第１の反射力は第２の反射力より
    大きくすることができることを特徴とする前記請求項の
    いずれか１項に記載の可動機械要素の位置測定用装置。
  11. 【請求項１１】 前記方策ｂ）が存在するならば、前記
    マーキングは複数のコード要素からなることができ、各
    コード要素は複数の前記第２の反射力の区域からなるこ
    とを特徴とする前記請求項のいずれか１項に記載の可動
    機械要素の位置測定用装置。
  12. 【請求項１２】 各コード要素は二進数字の異なる数値
    を符号化することができることを特徴とする請求項１１
    に記載の可動機械要素の位置測定用装置。
  13. 【請求項１３】 各二進数字が第２の反射力を有する前
    記区域の２つの間の距離によって示されることを特徴と
    する請求項１２に記載の可動機械要素の位置測定用装
    置。
  14. 【請求項１４】 各コード要素が独特な数を符号化する
    ことを特徴とする請求項１２または１３に記載の可動機
    械要素の位置測定用装置。
  15. 【請求項１５】 各コード要素が疑似乱数の二進シーケ
    ンスの独特な部分からなることを特徴とする請求項１に
    記載の可動機械要素の位置測定用装置。
  16. 【請求項１６】 前記装置が、さらに、前記機械要素の
    位置に依存する出力を供給するための読み取り手段から
    なり、この読み取り手段が照明手段、検出手段および復
    号手段からなっていることを特徴とする前記請求項のい
    ずれか１項に記載の可動機械要素の位置測定用装置。
  17. 【請求項１７】 前記照明手段が発光ダイオードからな
    ることを特徴とする請求項１６に記載の可動機械要素の
    位置測定用装置。
  18. 【請求項１８】 前記検出手段が第１の反射力を有する
    表面および第２の反射力を有する区域から反射された照
    明手段からの光を検出するように配置され、前記検出手
    段は前記第１の反射力を有する前記表面の１部分からの
    光が前記表面上で反射されるとき第１の範囲内の値を有
    しかつ前記第２の反射力を有する区域からの光がこの区
    域上で反射されるとき第２の範囲内の値を有する信号を
    供給する検出器からなっていることを特徴とする請求項
    １６または１７に記載の可動機械要素の位置測定用装
    置。
  19. 【請求項１９】 前記検出手段が複数の前記検出器を有
    しているアレイからなることを特徴とする請求項１８に
    記載の可動機械要素の位置測定用装置。
  20. 【請求項２０】 前記アレイが前記復号手段へ中間信号
    を供給し、この中間信号が前記検出器の各々からの信号
    からなっていることを特徴とする請求項１９に記載の可
    動機械要素の位置測定用装置。
  21. 【請求項２１】 前記復号手段が前記出力を供給するた
    めに前記検出手段からの中間信号を復号するための電子
    手段からなることを特徴とする請求項２０に記載の可動
    機械要素の位置測定用装置。
  22. 【請求項２２】 前記復号手段が第２の反射力の区域の
    縁部に対応する遷移に対応する中間信号の検出器信号を
    検出するための手段および複数の前記遷移の分離から複
    数の二進数字を識別するための手段からなることを特徴
    とする請求項１２に直接または間接に依存する場合に請
    求項２１に記載の可動機械要素の位置測定用装置。
  23. 【請求項２３】 前記復号手段が前記二進数字からコー
    ド要素を識別するための手段からなりかつ前記コード要
    素に依存する機械ロッドの位置を指示する前記出力を供
    給することを特徴とする請求項２２に記載の可動機械要
    素の位置測定用装置。
  24. 【請求項２４】 前記復号手段が、さらに、微細な位置
    を提供するために、前記遷移の選択された遷移が符号す
    る検出器アレイの検出器を識別するための手段からなる
    ことを特徴とする請求項２３に記載の可動機械要素の位
    置測定用装置。
  25. 【請求項２５】 前記装置が、さらに、前記機械要素の
    前記表面および前記区域から反射された光を前記検出器
    上に焦点合わせするための焦点合わせ手段からなること
    を特徴とする請求項１８ないし２４のいずれか１項に記
    載の可動機械要素の位置測定用装置。
  26. 【請求項２６】 前記機械要素が流体作動のラムのピス
    トンロッドからなることを特徴とする前記請求項のいず
    れか１項に記載の可動機械要素の位置測定用装置。
  27. 【請求項２７】 添付図面を参照して本書で説明された
    と実質上同様な可動機械要素の位置測定用装置。
  28. 【請求項２８】 機械要素にマーク付けをする機械要素
    のマーキング方法において、前記機械要素上に第１の反
    射力を有する表面を設け、かつこの表面上にレーザによ
    りマーキングを設ける工程からなり、このマーキングが
    第２の反射力を有する複数の区域からなり、さらに、以
    下の方策、すなわち、 ａ）前記機械要素に第１の反射力を有する表面を備える
    前に、前記機械要素に前記表面がその場合にその上に設
    けられる基板を設ける工程、 ｂ）前記区域が前記機械要素の運動の方向に対して平行
    な方向に略一定である幅を有するように第２の反射力を
    有する前記区域をマーキングする工程、の１つからなる
    ことを特徴とする機械要素のマーキング方法。
  29. 【請求項２９】 添付図面を参照して本書で説明された
    と実質上同様な機械要素のマーキング方法。
  30. 【請求項３０】 請求項２８または２９によりマーキン
    グされる場合である機械要素。
  31. 【請求項３１】 前記機械要素が請求項３０による機械
    要素からなることを特徴とする可動機械要素の位置測定
    用装置。
  32. 【請求項３２】 本書および／または添付図面において
    説明された新規な特徴またはこれらの特徴の新規な組み
    合わせ。
JP11096679A 1998-04-02 1999-04-02 可動機械要素の位置測定用装置および機械要素のマ―キング方法 Pending JPH11320457A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB9807020-4 1998-04-02
GBGB9807020.4A GB9807020D0 (en) 1998-04-02 1998-04-02 A method of marking a mechanical element, an encoding scheme, a reading means for said marking and an apparatus for determining the position of said element

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11320457A true JPH11320457A (ja) 1999-11-24

Family

ID=10829696

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11096679A Pending JPH11320457A (ja) 1998-04-02 1999-04-02 可動機械要素の位置測定用装置および機械要素のマ―キング方法

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6452158B1 (ja)
EP (2) EP1426737B1 (ja)
JP (1) JPH11320457A (ja)
AT (2) ATE394649T1 (ja)
CA (2) CA2267806C (ja)
DE (2) DE69938631D1 (ja)
ES (1) ES2303728T3 (ja)
GB (2) GB9807020D0 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114278645A (zh) * 2021-12-17 2022-04-05 合肥长源液压股份有限公司 一种数字液压缸

Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1328892A1 (en) * 2000-10-23 2003-07-23 International Pipe Technology Management (Ireland) Limited A method and an apparatus for providing an identity marking on an object
US6526793B1 (en) * 2000-10-25 2003-03-04 Donald M. Danko Magnetic marking and positioning system for unfinished metal bars
US6834574B2 (en) 2002-01-04 2004-12-28 Parker-Hannifin Corporation Cylinder with optical position sensing device and method
US7552671B2 (en) * 2002-01-04 2009-06-30 Parker-Hannifin Corporation Cylinder with fiber optical position sensing device and method
AU2003206963A1 (en) * 2002-03-01 2003-09-16 Cooper Cameron Corporation Absolute position encoder
JP4658599B2 (ja) * 2002-07-24 2011-03-23 デカ・プロダクツ・リミテッド・パートナーシップ 注入装置用の光学的偏位センサ
NL1022128C2 (nl) * 2002-12-10 2004-07-05 Hytop B V Meetmethode voor het bepalen van de verplaatsing van een beweegbaar deel van een actuator en inrichting voor toepassing van de meetmethode.
US7034283B2 (en) * 2003-03-05 2006-04-25 Raytheon Company Absolute incremental position encoder and method
WO2004099724A2 (en) 2003-05-06 2004-11-18 Sri International Hydraulic cylinder with piston and a magnetic layer on the piston rod for piston position determination
GB0316921D0 (en) * 2003-07-19 2003-08-27 Renishaw Plc Reader for a scale marking
TWI282047B (en) * 2003-07-23 2007-06-01 Murata Machinery Ltd Carrying vehicle system and carrying vehicle
TWI290272B (en) * 2004-03-12 2007-11-21 Murata Machinery Ltd Moving body system
EP1600256A1 (en) * 2004-05-24 2005-11-30 Wila B.V. Location and identification of a tool in a tool receiving part
GB0415141D0 (en) 2004-07-06 2004-08-11 Renishaw Plc Scale reading apparatus
US7191943B2 (en) 2004-07-28 2007-03-20 Caterpillar Inc Robust barcode and reader for rod position determination
GB0419882D0 (en) * 2004-09-08 2004-10-13 Bamford Excavators Ltd Calculation module
GB2417943B (en) * 2004-09-08 2008-10-15 Bamford Excavators Ltd Material handling vehicle
US7259553B2 (en) 2005-04-13 2007-08-21 Sri International System and method of magnetically sensing position of a moving component
JP4172477B2 (ja) * 2005-08-17 2008-10-29 村田機械株式会社 パターンの実機への実装方法
US20080023553A1 (en) * 2006-07-31 2008-01-31 Robert Jones Optical reader having integral lens and diffuser
JP4707198B2 (ja) * 2006-10-19 2011-06-22 富士通株式会社 情報検索プログラム、該プログラムを記録した記録媒体、情報検索方法、および情報検索装置
US7927067B2 (en) * 2007-05-01 2011-04-19 United Technologies Corporation System and method for controlling stator assemblies
GB2452730A (en) 2007-09-12 2009-03-18 Bamford Excavators Ltd Method of providing a machine readable marking
EP2277012B1 (en) 2008-05-16 2014-07-30 Parker-Hannifin Corporation Probe for determining an absolute position of a rod of a cylinder
US8970208B2 (en) * 2010-02-11 2015-03-03 Sri International Displacement measurement system and method using magnetic encodings
DE102010045355A1 (de) * 2010-09-14 2012-03-15 Festo Ag & Co. Kg Positionsmesssystem und Verfahren zur Ermittlung einer Absolutposition
ITTO20110623A1 (it) * 2011-07-14 2013-01-15 Cizeta Medicali S P A Dispositivo a rullo, per trattamenti di drenaggio linfatico
US9255830B2 (en) 2012-05-21 2016-02-09 Common Sensing Inc. Dose measurement system and method
US8817258B2 (en) 2012-05-21 2014-08-26 Common Sensing Inc. Dose measurement system and method
EP2950850B1 (en) * 2013-01-29 2016-10-26 Sanofi-Aventis Deutschland GmbH Arrangement for detecting a position of a plunger
ITVR20130191A1 (it) * 2013-08-07 2015-02-08 Giuliani S R L Unitá cilindro-pistone e metodo di rilevamento in continuo della posizione reciproca tra il cilindro ed il pistone di tale unitá.
US10267303B2 (en) * 2013-08-30 2019-04-23 Flow Control Llc. High viscosity portion pump
CA2952844A1 (en) 2014-08-01 2016-02-04 Common Sensing Inc. Liquid measurement systems, apparatus, and methods optimized with temperature sensing
DE102015104201A1 (de) 2015-03-20 2016-09-22 Jungheinrich Aktiengesellschaft Fluidzylinder
US9765711B2 (en) * 2015-05-27 2017-09-19 Deere & Company System and method for determining information related to a rotation of a shaft
DK3995810T3 (da) 2015-07-12 2024-01-29 Patients Pending Ltd Dæksel til et væskeleveringssystem med integreret stempelpositionsregistrering og tilsvarende fremgangsmåde
DE102016103721A1 (de) 2016-03-02 2017-09-07 Jungheinrich Aktiengesellschaft Zylinder mit einem optischen Positionssensor
CA3029651A1 (en) 2016-07-15 2018-01-18 Common Sensing Inc. Dose measurement systems and methods
IT201700030602A1 (it) * 2017-03-20 2018-09-20 Giuliani S R L Sistema per la misurazione della posizione di un organo meccanico e metodo per la misurazione della posizione di un organo meccanico
DE102017118509A1 (de) 2017-08-14 2019-02-14 Jungheinrich Aktiengesellschaft Zylinder mit einer Kolbenstange und einem optischen Positionsmesser
CN110160563B (zh) * 2018-02-12 2021-03-09 杭州微策生物技术股份有限公司 一种生物传感器电阻调节编码信息的方法
DE102018108956A1 (de) * 2018-04-16 2019-10-17 Jungheinrich Aktiengesellschaft Verfahren zum Betrieb einer optischen Sensoreinheit eines Flurförderzeugs sowie eine optische Sensoreinheit
EP3693708B1 (de) 2019-02-08 2024-07-17 Jungheinrich Aktiengesellschaft Zylinder mit einer kolbenstange und einem optischen positionsmesser
CN115143164B (zh) * 2021-03-31 2023-07-25 三一汽车制造有限公司 活塞杆的位置检测方法、装置、液压缸及作业机械

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5829093A (ja) * 1981-08-13 1983-02-21 株式会社トプコン アブソリユ−トエンコ−ダ
JPS58132892A (ja) * 1982-01-30 1983-08-08 株式会社ニコン 光電式エンコ−ダ装置
JPS60236010A (ja) * 1984-04-21 1985-11-22 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング 位置測定装置
JPS61213628A (ja) * 1985-03-19 1986-09-22 Mitsutoyo Mfg Co Ltd 位置検出装置
JPS6270915A (ja) * 1985-09-24 1987-04-01 Japan Tobacco Inc 無人搬送車
JPH01502530A (ja) * 1987-03-06 1989-08-31 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー 位置決定装置
JPH0310108A (ja) * 1989-05-05 1991-01-17 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 基準マークを備えた増分式位置測定装置
JPH0599650A (ja) * 1991-10-09 1993-04-23 Komatsu Ltd 位置検出装置
JPH08101009A (ja) * 1994-08-12 1996-04-16 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 位置測定装置
JPH09113213A (ja) * 1995-09-01 1997-05-02 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 高調波信号成分を濾波する装置
JPH1082663A (ja) * 1996-04-26 1998-03-31 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 光電位置測定装置

Family Cites Families (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1284641A (en) 1970-01-08 1972-08-09 Ferranti Ltd Improvements relating to measuring apparatus
US3746842A (en) 1971-09-27 1973-07-17 Laitram Corp Digital magnetic compass
FR2233512A1 (en) 1973-06-14 1975-01-10 Repiquet Sa Vice with controlled displacement - has plastic marks on stem for photodetector
US3963098A (en) 1974-05-07 1976-06-15 Westinghouse Electric Corporation Position measurement apparatus
US4112295A (en) 1974-12-30 1978-09-05 Instytut Geodezji I Kartograffi Apparatus for direct measurement of displacements with a holographic scale
FR2310549A1 (fr) 1975-05-07 1976-12-03 Sagem Perfectionnements aux dispositifs optiques de determination de la position d'un organe mobile
US4071818A (en) 1975-11-03 1978-01-31 Combustion Engineering, Inc. Magnetostrictive position indicator
JPS56159798A (en) 1980-05-12 1981-12-09 Tokyo Shibaura Electric Co Length or angle measuring device
DE3035774A1 (de) 1980-09-23 1982-05-27 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Digitaler positionsgeber
DE3116333C2 (de) 1981-04-24 1984-01-12 H. Kuhnke Gmbh Kg, 2427 Malente Meßsystem zum berührungslosen Erfassen von Positionen der Kolbenstange einer Kolben-Zylinder-Einheit
CH658514A5 (de) 1982-02-09 1986-11-14 Wild Heerbrugg Ag Verfahren und vorrichtung zur erfassung einer messgroesse.
GB2121252A (en) 1982-05-18 1983-12-14 Marconi Co Ltd Apparatus for indicating the position of a member
US4572952A (en) 1982-07-28 1986-02-25 Adrian March Research Ltd. Position sensor with moire interpolation
EP0116636B1 (en) 1982-09-01 1988-08-10 Rosemount Limited Position measuring apparatus
JPS6063416A (ja) 1983-09-16 1985-04-11 Max Co Ltd 移動位置読取装置
CH676043A5 (ja) 1983-12-30 1990-11-30 Wild Leitz Ag
US4756229A (en) 1986-09-25 1988-07-12 United Technologies Corporation Digital motor feedback for a position actuator
DE3634730A1 (de) 1986-10-11 1988-04-21 Klaus Huegler Arbeitszylinder, insbesondere pneumatikzylinder fuer komponenten von handlingautomaten
US4901073A (en) 1986-12-04 1990-02-13 Regent Of The University Of California Encoder for measuring the absolute position of moving elements
JPS63280435A (ja) 1987-05-12 1988-11-17 Nikon Corp ウエハのプリアライメント装置
DE3868714D1 (de) 1987-06-22 1992-04-09 Parker Hannifin Corp Einrichtung zum erfassen der position und zugehoerige hin- und hergehende kolbenstange.
US4972061A (en) 1987-12-17 1990-11-20 Duley Walter W Laser surface treatment
GB8802054D0 (en) 1988-01-29 1988-02-24 Baugh J J Method of marking object using laser beam & method & device for use in reading bar code
DE3818044A1 (de) 1988-05-27 1989-11-30 Christoph Dipl Phys Kuehne Praezisions-messeinrichtung fuer grosse verschiebungen
KR900702328A (ko) 1988-07-12 1990-12-06 후루노 기요까따 로타리 엔코더
US4922077A (en) 1989-01-31 1990-05-01 Raytheon Company Method of laser marking metal packages
DE3910873A1 (de) 1989-04-04 1990-10-18 Stahl R Foerdertech Gmbh Positionsmessvorrichtung fuer kran- und elektrohaengebahnen
CH683798A5 (fr) 1990-12-10 1994-05-13 Tesa Sa Capteur de position pour un appareil de mesure de grandeurs linéaires ou angulaires.
IT1245008B (it) * 1991-01-25 1994-09-13 Lamsweerde Edoardo Van Elemento graduato per lettura ottica a riflessione e procedimento per la sua fabbricazione
US5279044A (en) * 1991-03-12 1994-01-18 U.S. Philips Corporation Measuring device for determining an absolute position of a movable element and scale graduation element suitable for use in such a measuring device
US5239177A (en) 1991-12-06 1993-08-24 Hughes Aircraft Company Angular position and rotational velocity detection using "perfect words"
FI91325C (fi) 1992-04-07 1994-06-10 Partek Cargotec Oy Paikka-asteikko ja optinen lukuanturi tämän paikka-asteikon lukemiseksi
DE4217612A1 (de) * 1992-05-27 1993-12-02 Linde Ag Oberflächenschutzschicht sowie Verfahren zur Herstellung derselben
NL9201059A (nl) * 1992-06-15 1994-01-03 Bootsman Holding Bv Positiedetectiesysteem.
DE4303975A1 (de) * 1993-02-11 1994-08-18 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Teilungsträger
AU4503293A (en) * 1993-07-02 1995-01-24 Partek Cargotec Oy A hydraulic, pneumatic or another similar cylinder
BE1007404A3 (nl) * 1993-08-09 1995-06-06 Agfa Gevaert Nv Encoder element.
US5371598A (en) 1993-10-07 1994-12-06 Motorola, Inc. Optical displacement sensor and method for sensing linear displacements in a shock absorber
GB9502534D0 (en) * 1995-02-09 1995-03-29 R D P Electronics Limited Sensing means
US6147342A (en) * 1998-06-02 2000-11-14 Caterpillar Inc. Encoding system for determining the position of a cylinder rod along a path of movement

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5829093A (ja) * 1981-08-13 1983-02-21 株式会社トプコン アブソリユ−トエンコ−ダ
JPS58132892A (ja) * 1982-01-30 1983-08-08 株式会社ニコン 光電式エンコ−ダ装置
JPS60236010A (ja) * 1984-04-21 1985-11-22 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング 位置測定装置
JPS61213628A (ja) * 1985-03-19 1986-09-22 Mitsutoyo Mfg Co Ltd 位置検出装置
JPS6270915A (ja) * 1985-09-24 1987-04-01 Japan Tobacco Inc 無人搬送車
JPH01502530A (ja) * 1987-03-06 1989-08-31 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー 位置決定装置
JPH0310108A (ja) * 1989-05-05 1991-01-17 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 基準マークを備えた増分式位置測定装置
JPH0599650A (ja) * 1991-10-09 1993-04-23 Komatsu Ltd 位置検出装置
JPH08101009A (ja) * 1994-08-12 1996-04-16 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 位置測定装置
JPH09113213A (ja) * 1995-09-01 1997-05-02 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 高調波信号成分を濾波する装置
JPH1082663A (ja) * 1996-04-26 1998-03-31 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 光電位置測定装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114278645A (zh) * 2021-12-17 2022-04-05 合肥长源液压股份有限公司 一种数字液压缸

Also Published As

Publication number Publication date
US6452158B1 (en) 2002-09-17
EP1426737B1 (en) 2010-11-03
EP0947805B1 (en) 2008-05-07
EP0947805A3 (en) 1999-12-01
CA2585151A1 (en) 1999-10-02
ATE487115T1 (de) 2010-11-15
CA2267806A1 (en) 1999-10-02
ATE394649T1 (de) 2008-05-15
GB9907301D0 (en) 1999-05-26
CA2585151C (en) 2008-03-18
EP1426737A2 (en) 2004-06-09
GB9807020D0 (en) 1998-06-03
ES2303728T3 (es) 2008-08-16
EP0947805A2 (en) 1999-10-06
DE69942916D1 (de) 2010-12-16
GB2335980B (en) 2002-10-02
GB2335980A (en) 1999-10-06
EP1426737A3 (en) 2004-12-15
CA2267806C (en) 2011-01-25
DE69938631D1 (de) 2008-06-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH11320457A (ja) 可動機械要素の位置測定用装置および機械要素のマ―キング方法
EP1635073B1 (en) Calculation module
EP2417423B1 (en) Position encoder apparatus
EP1360461B1 (en) Position determination system
CN106122162B (zh) 流体缸
US20060144217A1 (en) Cylinder with fiber optical position sensing device and method
JP4150337B2 (ja) 位置測定装置
US6438860B1 (en) Device and process for determining position between two parts which are movable relative to one another
JP2012515912A (ja) 磁気式エンコーダスケール
CA2025806A1 (en) Optical encoders
EP2946176B1 (en) Measurement scale comprising a periodic nanostructure
US6854649B2 (en) Optoelectronic device
JP2019168343A (ja) 光電式エンコーダの信号処理方法
US6693565B2 (en) Position transducer
US20040012793A1 (en) Optical transmitter element and positioning device
EP3379207B1 (en) System for measuring the position of a mechanical member and method for measuring the position of a mechanical member
WO2005071363A1 (de) Drehgeber und verfahren zum betreiben eines drehgebers
EP2946175B1 (en) A method of reading data represented by a periodic, polarising nanostructure
WO2008074998A1 (en) Phase constrast encoding
AU700191B2 (en) Improvements in data derivation from movable surfaces
WO2015078860A1 (en) Metrological scale
HUT50966A (en) Method for determining position and construction for carrying out thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060313

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20060425

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081216

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20090316

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20090319

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20090616