JPH08101009A - 位置測定装置 - Google Patents

位置測定装置

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JPH08101009A JP7198869A JP19886995A JPH08101009A JP H08101009 A JPH08101009 A JP H08101009A JP 7198869 A JP7198869 A JP 7198869A JP 19886995 A JP19886995 A JP 19886995A JP H08101009 A JPH08101009 A JP H08101009A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 計数信号を形成する走査ユニットで走査され
る少なくとも一つの増分目盛３と、列中の多数の基準マ
ークの間の固有な間隔により基準マークを区別できるよ
うに異なった間隔に配置された第一列の同一の基準マー
クと、少なくとも一つの他の基準マークとを備えた位置
測定装置にあって統一化を行い、製造経費と保管経費を
低減し、使用可能性を拡張し、同時に位置測定装置の形
状を小さくする。 【構成】 第一列の基準マークと、少なくとも一つの他
の基準マークとをただ一つのトラック４中に設け、第一
列の基準マークが前記トラック４の少なくとも一つの他
の基準マークとは異なっている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、計数信号を形成
する走査ユニットで走査される少なくとも一つの増分目
盛と、列中の多数の基準マークの間の固有な間隔により
基準マークを区別できるように異なった間隔に配置され
た第一列の同一の基準マークと、少なくとも一つの他の
基準マークとを備えた位置測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の測定装置は、特に工作機械で工
具の相対位置を測定するため、および座標測定機械で検
査物体の位置と寸法を求めるために採用される。基準マ
ークのところで発生する電気パルスは、計数器中で基準
位置を再現するため、および、測定の開始時点あるいは
中断した後、特定の位置から出発するため、計数状態を
管理または修正するため、および後続する制御装置に信
号を送るために使用される。
【０００３】増分式測定装置で基準位置を求めるため、
二つの基本原理が知られている。一方の原理では、増分
目盛に平行に一連の同一基準マークが一定間隔にして付
けてある。測定過程で作用する各基準マークには、一つ
のスイッチング手段が付属している。このスイチング手
段および基準マークの走査部材の電気出力端は評価ユニ
ットに接続している。この評価ユニットは、基準マーク
の走査部材と、スイッチング手段に同時に電気信号が印
加した時のみ計数器に制御パルスを出力する。この制御
パルスは、計数器中で所定の計数値をセットするように
働く。この種の測定装置は、例えばドイツ特許第 25 40
412 C3 号明細書により周知である。
【０００４】他方の原理では、増分目盛に平行に同じ基
準マークを有する少なくとも一つの基準マークトラック
が同じように付属している。各基準マークは、基準マー
クを特徴付ける他の基準マークからの特別な間隔を有す
る。基準マーク間の異なった間隔は、増分目盛を走査し
測定ステップ（増分）を計数して決定される。この種の
測定装置は、例えばドイツ特許第 24 16 212 C号明細書
により周知である。欧州特許第 0 246 404号明細書で
は、一つの基準マークの絶対的な値を求めるため基準マ
ークの間の連続する二つの間隔が使用される。
【０００５】ドイツ特許第 42 43 778 A1 号明細書で
は、計数信号を形成する増分目盛と、絶対位置を求める
他のトラックとを備えている位置測定装置が同じように
記載されている。この他のトラックは、一実施例の場
合、間隔が異なるが一連の同じ基準マークで構成されて
いる。その結果、個々の基準マーク位置は連続する二つ
の基準マークの特異な間隔によって区別できる。他の実
施例では、他のトラックは位置を決める符号語を発生さ
せるシーケンス符号を形成するマークで構成されてい
る。
【０００６】既に研究された測定装置が提唱されてい
る。この装置では、位置測定装置中で二つの原理を合体
させている。これ等の測定装置の一つは、ドイツ特許第
39 14739 C2 号明細書に開示されている。増分トラッ
クに平行に、基準マークトラックが配置されている。こ
の基準マークトラック中では、同一な基準マークが順次
異なった間隔で配置されている。一つの基準マークから
隣の基準マークへ増分を計数することにより、その絶対
位置が求まる。他のトラックには、同じ間隔で配置され
ている一連のマークがある。基準マークを選択するた
め、これ等のマークには一定の基準マークが付属してい
る。これ等のマークから更にそれに付属する基準マーク
を何より作動させることが選択される。更に、間隔符号
原理により全ての基準マークを評価する、あるいはマー
クされた基準マークのみを評価することのできる動作モ
ード・切換スイッチが設けてある。
【０００７】この位置測定装置の難点は、等間隔の基準
マークを選択するために付加的なトラックが必要であ
り、マークの中の一つを更に選ぶために第三のトラック
を必要とする点にある。更に、マークには基準マークを
正確に対応させる必要があり、これはコストのかかる調
整作業を必要にする。他の難点は、測定長が長い場合、
連続する基準マークは互いに長い間隔を有する必要があ
り、全測定長にわたり異なった間隔にすべきである点に
ある。第二トラックのマークの可能性のある最も短い間
隔は基準マークの最大の間隔に相当するので、マークに
より選択された第二測定原理の基準マークは実際には長
すぎる間隔を有する。
【０００８】最後の述べた難点を排除するため、ドイツ
特許第42 44 178 A1号明細書（この発明の前提とする）
によれば、基準マークを備えた少なくとも二つのトラッ
クがある。この難点は、増分目盛の外に比較的広い場所
を要し、走査ユニットが大きな幅を有する点にある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】この発明の主要な課題
は、位置測定装置を統一化して、製造経費と保管経費を
低減し、使用可能性を拡張し、同時に位置測定装置の形
状を小さくできることにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、この発明
により、計数信号を形成する走査ユニット２で走査され
る少なくとも一つの増分目盛３と、列中の多数の基準マ
ークＡ1 〜Ａ8 の間の固有な間隔ａ1 〜ａ8 により基準
マークＡ1 〜Ａ9 を区別できるように異なった間隔ａ1
〜ａ8 に配置された第一列の同一の基準マークＡ1 〜Ａ
9 と、少なくとも一つの他の基準マークＢ1 〜Ｂ8 とを
備えた位置測定装置にあって、第一列の基準マークＡ1
〜Ａ9 と、少なくとも一つの他の基準マークＢ1 〜Ｂ8
とをただ一つのトラック４中に設け、第一列の基準マー
クＡ1 〜Ａ9 が前記トラック４の少なくとも一つの他の
基準マークＢ1 〜Ｂ8 とは異なっていることによって解
決されている。
【００１１】この発明による他の有利な構成は特許請求
の範囲の従属請求項に記載されている。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、実施例を表す添付図面に基
づき、この発明をより詳しく説明する。図１は目盛板１
を備えた光電増分式測長装置を示す。この目盛板１は走
査ユニット２に対して測定方向ＺＸに相対移動可能であ
る。図２に詳しく示す目盛板１の一つのトラックに増分
目盛３と、他のトラック４に多数の基準マークＡ1 〜Ａ
9 とＢ1 〜Ｂ8 が付けてある。増分目盛３とトラック４
を光電走査するため、走査ユニット２が設けてある。こ
の走査ユニット２は光源６を備え、この光源の光がコリ
メータ７により平行ビームにされ、目盛板１に指向され
る。光は増分目盛３と基準マークＡ1 〜Ａ9 ，Ｂ1 〜Ｂ
8 の透光領域を通過し、光電受信装置９に入射する。
【００１３】図２に詳しく示すように、増分目盛３には
同じ幅の線条と隙間がある。光電走査を行うと、周期的
なアナログ電気信号が発生し、これ等の信号から周知の
ようにトリガーにより以後計数信号と呼ぶ計数可能な矩
形波信号が形成される。増分目盛３に平行に、トラック
４には異なった構成の基準マークＡ1 〜Ａ9 およびＢ1
〜Ｂ8 が付けてある。第一列の同じ基準マークＡ1 〜Ａ
9 は連続して異なる間隔ａ1 〜ａ8 にして設けてある。
第二列の同じ基準マークＢ1 〜Ｂ8 順次同じ間隔ｂ1 〜
ｂ7 ＝ 50 mmにして取り付けてある。二列の基準マーク
Ａ1 〜Ａ9 とＢ1 〜Ｂ8 を区別するため、両者を図２に
異なった高さの線条で示してある。事実、各個別基準マ
ークＡ1 〜Ａ9 とＢ1 〜Ｂ8 は、増分目盛３の多数の増
分にわたり延びる不透明な線条と透明な隙間の組み合わ
せで構成されている。図３には、簡単な構成の基準マー
クＡ1 が、また図４には基準マークＢ1 が図示されてい
る。実際には、これ等の基準マークＡ1 ，Ｂ1 が増分目
盛３の８増分にわたったのびるだけでなく、多数、例え
ば約 70 にわたってのびる。基準マークＡ1，Ｂ1 の不
透明な線条と透明な隙間を組み合わせると、走査時に一
増分計数パルスを中心とする狭い基準マークのパルスＲ
Ａ，ＲＢが生じる。
【００１４】基準マークＡ1 〜Ａ9 とＢ1 〜Ｂ8 を走査
するため、走査ユニット２には二つの走査視野８Ａ，８
Ｂが設けてある。走査視野８Ａは基準マークＡ1 〜Ａ9
と同じような線条・隙間の分布を有する。走査視野８Ｂ
の線条・隙間の分布は基準マークＢ1 〜Ｂ8 の線条・隙
間の分布と対応している。各基準マークＡ1 〜Ａ9 を走
査視野８Ａで走査すると、付属する受信視野９Ａには、
図５に示す振幅Ｓを有する信号Ａが発生する。各基準マ
ークＢ1 〜Ｂ8 を走査視野８Ｂで走査すると、付属する
受信視野９Ｂには、図６に示す信号Ｂが発生する。信号
Ａ，Ｂをトリガーして増分目盛３の１増分にほぼ等しい
幅を有するそれぞれ一つの基準マークパルスＲＡ，ＲＢ
が発生する。二列の基準マークＡ1 〜Ａ9 とＢ1 〜Ｂ8
がただ一つのトラック４に入り組んだ状態で配置されて
いるので、基準マークＡ1 〜Ａ9を走査視野８Ａで走査
する場合、および基準マークＢ1 〜Ｂ8 を走査視野８Ｂ
で走査する場合、基準パルスＲＢあるいはＲＡが発生す
るように、基準マークＡ1〜Ａ9 とＢ1 〜Ｂ8 が形成さ
れていることが重要である。図７に示すように、両方の
場合で、対応する受信視野９Ｂ，９Ａから発生する信号
ＣのレベルＳが基準パルスＲＢあるいはＲＡを形成する
のに必要な信号レベルＴ以下である。
【００１５】目盛板１を効果的に構成すると、使用者自
身が二つの操作モードの間を選択できる。第一の操作モ
ードでは、第一列の基準マークＡ1 〜Ａ9 のみを評価
し、ただ基準マークパルスＲＡのみ評価ユニット１３に
導入される。周知のように、連続する二つの基準マーク
Ａ1 〜Ａ9 の間の増分を計数することにより、各基準マ
ークＡ1 〜Ａ9 に絶対位置が確実に対応する。これに
は、各間隔ａ1 〜ａ8 に対する評価ユニット１３の記憶
領域に絶対位置が記憶される。絶対位置を対応させるに
は、欧州特許第 0 246 404 A2 号明細書に開示するよう
に、多数の間隔ａ1〜ａ8 でも行われる。
【００１６】第二の操作モードでは、第二列の同じ間隔
の基準マークＢ1 〜Ｂ8 のみが周知の方法（ドイツ特許
第 25 40 412 C3 号明細書）により評価される。この場
合でも、同じように計数信号を発生する増分目盛３が走
査される。基準マークＢ1 〜Ｂ8 の一つには選択手段１
１が付属している。これにより、この基準マークＢ1
は、走査ユニット２が通過した時、一列の基準マークＢ
1 〜Ｂ8 から選択されるので、この基準マークのみが作
用を及ぼす。選択されたこの基準マークＢ1 を検知する
と、位置表示装置の計数状態が予め設定された値にセッ
トされる。図８に模式的に示すように、これには評価ユ
ニット１３中に記憶領域が設けてある。この中には、基
準マークＢ1 に付属する前記絶対位置が記憶されてい
る。
【００１７】選択手段としては、図１に磁石１１が示し
てある。この磁石は、走査ユニットが通過する時、そこ
に取り付けてあるホール素子１２を作動させる。ホール
素子１２は選択信号を発生する。この選択信号は評価ユ
ニット１３に導入されるので、選択信号と基準マークパ
ルスＲＢが同時に発生した時のみ、絶対位置を出力す
る。絶対位置に代わりに、制御信号のみを位置表示装置
あるいは数値制御部に与えることもできる。
【００１８】説明した二つの操作モードの間を切り換え
るために選択手段１０が設けてある。この選択手段１０
は、走査ユニット２あるいは位置表示装置に主として切
換スイッチとして形成されている。その結果、基準マー
クパルスＲＡかＲＢが評価ユニット１３に導入されれ
る。操作モードが既に製造メーカーで、例えば一定の連
結をハンダ付けして走査ユニット２中で選択されている
場合でも、この発明の枠内にある。
【００１９】同様に、使用しない受信視野９A あるいは
９B または使用しない走査視野８Aあるいは８B を遮蔽
して選択できる。これには、外部で操作可能なスリット
も採用できる。操作モードを選択する他の可能性は、た
だ一つの走査視野８A あるいは８B を有する走査板８お
よび／またはただ一つの受信視野９A あるいは９B を有
する受信装置９を使用することにある。
【００２０】この発明は、測角装置にも効果的に使用で
きる。更に、この発明は光電走査原理だけでなく、例え
ば磁気測定装置でも使用できる。
【００２１】
【発明の効果】以上、説明したように、この発明による
位置測定装置の利点は、使用者の要請に簡単に合わせる
ことができ、それにもかかわらず、形状を小さくできる
点にある。
【図面の簡単な説明】
【図１】 光電増分式測長装置の斜視図である。
【図２】 測長装置の目盛板の平面図である。
【図３】 図２の目盛板の一部の拡大平面図である。
【図４】 図２の目盛板の他の部分の拡大平面図であ
る。
【図５】 信号波形図である。
【図６】 第二の信号波形図である。
【図７】 第三の信号波形図である。
【図８】 絶対位置を求める原理を示す信号処理図であ
る。
【符号の説明】
１ 目盛板 ２ 走査ユニット ３ 増分目盛 ４ トラック ６ 光源 ７ コリメータ ８ 走査板 ８A,８B 走査視野 ９ 受信装置 ９A,９B 受信視野 １０ 選択手段 １１ 選択手段（磁石） １２ ホール素子 １３ 評価ユニット Ａ 信号 Ａ1 〜Ａ9,Ｂ1 〜Ｂ8 基準マーク ＲＡ，ＲＢ 基準マークパルス Ｓ 振幅
フロントページの続き (72)発明者 アルフレート・アファ ドイツ連邦共和国、83371 シュタイン ／トラウン、ホッホフエルンストラーセ、 ６

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 計数信号を形成する走査ユニット（２）
    で走査される少なくとも一つの増分目盛（３）と、列中
    の多数の基準マーク（Ａ1 〜Ａ8 ）の間の固有な間隔
    （ａ1 〜ａ8 ）により基準マーク（Ａ1 〜Ａ9 ）を区別
    できるように異なった間隔（ａ1 〜ａ8 ）に配置された
    第一列の同一の基準マーク（Ａ1 〜Ａ9）と、少なくと
    も一つの他の基準マーク（Ｂ1 〜Ｂ8 ）とを備えた位置
    測定装置において、第一列の基準マーク（Ａ1 〜Ａ9 ）
    と、少なくとも一つの他の基準マーク（Ｂ1 〜Ｂ8 ）と
    をただ一つのトラック（４）中に設け、第一列の基準マ
    ーク（Ａ1 〜Ａ9 ）が前記トラック（４）の少なくとも
    一つの他の基準マーク（Ｂ1 〜Ｂ8 ）とは異なっている
    ことを特徴とする位置測定装置。
  2. 【請求項２】 トラック（４）には、第一列の同じ基準
    マーク（Ａ1 〜Ａ9）が異なった間隔（ａ1 〜ａ8 ）に
    して、また第二列の同じ基準マーク（Ｂ1 〜Ｂ8 ）が順
    次同じ間隔（ｂ1 〜ｂ7 ）にして配置され、第一列の基
    準マーク（Ａ1 〜Ａ9 ）が第二列の基準マーク（Ｂ1 〜
    Ｂ8 ）とは異なっている、ことを特徴とする請求項１に
    記載の位置測定装置。
  3. 【請求項３】 前記トラック（４）には、第二列の同じ
    基準マーク（Ｂ1 〜Ｂ8 ）が順次同じ間隔（ｂ1 〜ｂ7
    ）にして配置され、第一列の基準マーク（Ａ1 〜Ａ9
    ）が第二列の基準マーク（Ｂ1 〜Ｂ8 ）とは異なり、 更に、第一列の基準マーク（Ａ1 〜Ａ9 ）が基準マーク
    パルス（ＲＡ）を発生するため前記基準マーク（Ａ1 〜
    Ａ9 ）の各々のところで作動し、基準マークパルス（Ｒ
    Ａ）を評価ユニット（１３）に導入し、この評価ユニッ
    トが基準マーク（Ａ1 〜Ａ9 ）の一つの絶対位置を、計
    数信号により得られる基準マーク（Ａ1〜Ａ9 ）間の固
    有な間隔（ａ1 〜ａ8 ）から求めるか、あるいは、 第二列の基準マーク（Ｂ1 〜Ｂ8 ）が作動し、これ等の
    基準マーク（Ｂ1 〜Ｂ8 ）の少なくとも一つに選択手段
    （１１）が付属していて、この選択手段の動作により前
    記基準マークの一つ（Ｂ1 ）が選択され、基準マークパ
    ルス（ＲＢ）が評価ユニット（１３）に導入される、こ
    とを特徴とする請求項２に記載の位置測定装置。
  4. 【請求項４】 基準マーク（Ａ1 〜Ａ9 ，Ｂ1 〜Ｂ8 ）
    の各々は、走査ユニット（２）で光電的に走査される、
    一連の交互に続く不透明あるいは反射しない線条および
    透明なあるいは反射する隙間で構成され、走査ユニット
    （２）中には、第一列の基準マーク（Ａ1 〜Ａ9 ）と同
    じ線条・隙間分布を有する第一走査視野（８A ）および
    ／または少なくとも一つの他の基準マーク（Ｂ1 〜Ｂ8
    ）と同じ線条・隙間分布を有する第二走査視野（８B
    ）が設けてあり、第一列の基準マーク（Ａ1 〜Ａ9 ）
    の線条・隙間の比率は、第一列の基準マーク（Ａ1 〜Ａ
    9 ）を第二走査視野（８B ）で走査した時、および少な
    くとも一つの他の基準マーク（Ｂ1 〜Ｂ8 ）を第一走査
    視野（８A ）で走査した時、基準パルス（ＲＡ，ＲＢ）
    が発生しないように、少なくとも一つの他の基準マーク
    （Ｂ1 〜Ｂ8 ）の線条・隙間の比率とは異なっている、
    ことを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の位
    置測定装置。
  5. 【請求項５】 選択手段（１０）が設けてあり、この選
    択手段により、以下の操作モード、 a) 増分目盛（３）と、同時に第一列の基準マーク（Ａ1
    〜Ａ9 ）を走査し、基準マーク（Ａ1 〜Ａ9 ）の各々
    のところで基準マークパルス（ＲＡ）を発生させ、その
    場合、基準マークパルス（ＲＡ）を評価ユニット（１
    ３）に導入し、この評価ユニットは基準マーク（Ａ1 〜
    Ａ9 ）の絶対位置を計数信号から得られた基準マーク
    （Ａ1 〜Ａ9 ）の間の固有な間隔（ａ1 〜ａ8 ）から求
    めるか、あるいは、 b) 増分目盛（３）と、同時に第二列の基準マーク（Ｂ1
    〜Ｂ8 ）を走査し、その場合、基準マーク（Ｂ1 〜Ｂ8
    ）の少なくとも一つに選択手段（１１）が付属してい
    て、選択手段の作動により前記少なくとも一つの基準マ
    ーク（Ｂ1 ）が選択され、基準マークパルス（ＲＢ）が
    評価ユニット（１３）に導入される、 が選択できる、ことを特徴とする請求項２〜４の何れか
    １項に記載の位置測定装置。
  6. 【請求項６】 操作モード a) あるいは b) を選択する
    選択手段（１０）は、位置測定装置に装着された電気切
    換スイッチである、ことを特徴とする請求項５に記載の
    位置測定装置。
  7. 【請求項７】 操作モード a) あるいは b) を選択する
    選択手段（１０）は、被覆体であり、この被覆体は、光
    源（６）と第一走査視野（８A ）に付属する第一受信視
    野（９A ）の間のビーム通路、あるいは光源（６）と第
    二走査視野（８B ）に付属する第二受信視野（９B ）の
    間のビーム通路中に設けてある、ことを特徴とする請求
    項５に記載の位置測定装置。
  8. 【請求項８】 基準マークの一つ（Ｂ1 ）に付属する選
    択手段は、走査ユニット（２）のホール素子（１２）に
    より走査される磁石（１１）である、ことを特徴とする
    請求項３〜５の何れか１項に記載の位置測定装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11320457A (ja) * 1998-04-02 1999-11-24 Jc Bamford Excavators Ltd 可動機械要素の位置測定用装置および機械要素のマ―キング方法
JP2007010656A (ja) * 2005-06-27 2007-01-18 General Electric Co <Ge> クリアランス測定システムおよび動作方法
JP2016536576A (ja) * 2013-10-01 2016-11-24 レニショウ パブリック リミテッド カンパニーＲｅｎｉｓｈａｗ Ｐｕｂｌｉｃ Ｌｉｍｉｔｅｄ Ｃｏｍｐａｎｙ 基準マーク検出器配列

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3649576B2 (ja) * 1998-03-19 2005-05-18 パイオニア株式会社 位置検出機構
DE19815241A1 (de) * 1998-04-04 1999-10-07 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
US6175109B1 (en) 1998-12-16 2001-01-16 Renco Encoders, Inc. Encoder for providing incremental and absolute position data
US6327791B1 (en) * 1999-06-09 2001-12-11 The Government Of The United States As Represented By The Secretary Of Commerce Chain code position detector
DE10043635A1 (de) 1999-09-16 2001-03-22 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Vorrichtung zur Positionsbestimmung und Ermittlung von Führungsfehlern
US6543149B1 (en) * 1999-12-02 2003-04-08 The Regents Of The University Of California Coordinate measuring system
DE19962278A1 (de) 1999-12-23 2001-08-02 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
DE10030038B4 (de) * 2000-06-17 2020-10-01 Sew-Eurodrive Gmbh & Co Kg Verfahren zum Betreiben verschiedener Absolutwertgeber für einen Umrichter und Umrichter
DE10041692A1 (de) * 2000-08-24 2002-03-07 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längen- oder Winkelmeßgerät
US6912797B2 (en) * 2001-04-05 2005-07-05 Anton Rodi Measuring system for recording absolute angular or position values
GB0200575D0 (en) * 2002-01-11 2002-02-27 Rls Merilna Tehnika D O O Encoder with reference marks
DE10201496A1 (de) * 2002-01-17 2003-07-31 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Maßstab und Positionsmesseinrichtung zur absoluten Positionsbestimmung
DE10300918B4 (de) * 2003-01-13 2014-11-06 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Erfassen der Relativbewegung zweier relativ zueinander bewegbarer Maschinenteile
DE10313676A1 (de) * 2003-03-26 2004-10-07 Imi Norgren-Herion Fluidtronic Gmbh & Co. Kg Positionsmeßvorrichtung für fluidische Zylinder-Kolben-Anordnungen
DE10329374A1 (de) * 2003-06-30 2005-01-20 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Abtastbaueinheit einer Positionsmesseinrichtung
GB0413711D0 (en) * 2004-06-21 2004-07-21 Renishaw Plc Scale and readhead apparatus
US20060268549A1 (en) * 2005-05-09 2006-11-30 Shawn Oehlke Omnidirectional light
US20060272405A1 (en) * 2005-06-07 2006-12-07 Lajos Feher Casing for in-tank hall effect sensor used for fuel level sensing
CN102062615B (zh) * 2010-08-27 2012-07-25 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 单码道位置编码方法
CN102095439B (zh) * 2010-08-27 2012-07-25 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 单码道绝对位置编码方法、解码方法及测量装置
ES2618855T3 (es) * 2014-10-14 2017-06-22 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Dispositivo de medición de posición con dispositivo para la compensación de errores por dilatación térmica de una regla graduada
DE102016103721A1 (de) * 2016-03-02 2017-09-07 Jungheinrich Aktiengesellschaft Zylinder mit einem optischen Positionssensor
DE102016224012A1 (de) * 2016-12-02 2018-06-07 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Positionsmesseinrichtung

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL7403468A (nl) * 1974-03-15 1975-09-17 Philips Nv Inrichting voor het bepalen van de verplaat- sing van een onderdeel van een werktuig.
US3981106A (en) * 1975-04-29 1976-09-21 Alfredo Gallo Scrubber-sander with cleaner dispensing means
DE2540412C3 (de) * 1975-09-11 1987-01-22 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementales Meßsystem
DE2948854A1 (de) * 1979-12-05 1981-06-11 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementales messsystem
DE3308814C2 (de) * 1983-03-12 1985-02-07 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Meßeinrichtung
AT396631B (de) * 1984-07-06 1993-10-25 Rsf Elektronik Gmbh Inkrementales messsystem
DE3617254A1 (de) * 1986-05-22 1987-11-26 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Messeinrichtung
AT394781B (de) * 1989-02-03 1992-06-25 Rsf Elektronik Gmbh Inkrementales messsystem
AT395071B (de) * 1989-02-09 1992-09-10 Rieder & Schwaiger Sentop Inkrementales messsystem
DE3914739A1 (de) * 1989-05-05 1990-11-08 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Inkrementale positionsmesseinrichtung mit referenzmarken
ES2054406T3 (es) * 1990-08-09 1994-08-01 Hohner Elektrotechnik Kg Dispositivo explorador optoelectronico.
AT394446B (de) * 1990-10-11 1992-03-25 Rsf Elektronik Gmbh Inkrementales laengenmesssystem
DE4037545C2 (de) * 1990-11-26 1994-03-17 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Meßeinrichtung
DE4243778A1 (de) * 1992-12-23 1994-06-30 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung oder Verfahren zur Lageerkennung
DE4244178C2 (de) * 1992-12-24 1997-01-23 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längen- oder Winkelmeßeinrichtung

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11320457A (ja) * 1998-04-02 1999-11-24 Jc Bamford Excavators Ltd 可動機械要素の位置測定用装置および機械要素のマ―キング方法
JP2007010656A (ja) * 2005-06-27 2007-01-18 General Electric Co <Ge> クリアランス測定システムおよび動作方法
JP2016536576A (ja) * 2013-10-01 2016-11-24 レニショウ パブリック リミテッド カンパニーＲｅｎｉｓｈａｗ Ｐｕｂｌｉｃ Ｌｉｍｉｔｅｄ Ｃｏｍｐａｎｙ 基準マーク検出器配列
US10281301B2 (en) 2013-10-01 2019-05-07 Renishaw Plc Reference mark detector arrangement

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