JPS62291507A - 測定装置 - Google Patents

測定装置

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JPS62291507A
JPS62291507A JP62097660A JP9766087A JPS62291507A JP S62291507 A JPS62291507 A JP S62291507A JP 62097660 A JP62097660 A JP 62097660A JP 9766087 A JP9766087 A JP 9766087A JP S62291507 A JPS62291507 A JP S62291507A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 産業上の利用分野 本発明は２つの物体の相対位置を測定する測定装置に関
する。この装置では、測定器具は、目盛と、この目盛に
沿って目盛の測定方向に絶対的に割り当て＼ある基準マ
ークを有し、走査ユニットが少なくとも一個の走査信号
を発生する目盛と基準信号を発生する基準マークを走査
し、基準マークの絶対値を目盛の走査で決定している。
この種の測定装置は、特に加工しようとする工作物に関
して工具の相対距離を測定する工作機械、及び位置を調
べる及び／又は検査物体を測定する座標測定装置に導入
されている。
従来の技術 この種の測定装置では、基準マークのところで生じる基
準信号をいろいろな方法で利用することができる。例え
ば、計数器の零点を再現するため、測定の初めに所定の
位置を出発するため及び後続する制御装置を動作させる
ためなどに利用される。
西独特許第２５４０４１２号公報から、測定装置には向
い合わせに固定した間隔で目盛とこの目盛に絶対的に割
り当て＼ある同一の基準マークがある。測定に必要な基
準マークの少なくとも１つを選択するためには、目盛板
の溝に滑動できる少なくとも１個の選択素子を磁石の形
にして配設している。走査ユニットは少なくとも１個の
週期信号を発生する目盛と基準信号を発生する基準マー
クを走査する。更に、この走査ユニットは、選択した基
準マーク令に属する選択要素を通り過ぎるとき、選択信
号を供給する開閉要素を保有している。選択した基準マ
ークの基準信号と付属する選択信号が同時に現われたと
きのみ後続する構成ユニットが制御信号を供給する。
しかしながら、この測定装置を工作機械に導入すると、
振動によって選択要素が溝の中でずれることがある。従
って、この選択要素を選択した基準マークに対して一義
的に割り当て＼、この選択した基準マークを動作させる
ことは保証できない。狭い間隔で隣合っている基準マー
クでは、選択要素にそのようなずれがあると、誤った基
準マークが動作する。従って、誤った制御過程、例えば
零点にする過程が計数器の中で行われ、この計数器は誤
った測定結果になる。
それ故、走査ユニットの移動方向に滑動できる各選択要
素は、選択しである各基準マークに関して再現性のある
位置で付加手段によって溝に固定されていなくてはなら
ない。
西独特許第３２４５９１４号公報の測定器具には、目盛
とこの目盛に絶対的に割り当て＼ある同一基準マークを
向い合わせに固設した間隔にしである測定装置が記載さ
れている。測定に必要な少なくとも１個の基準マークを
選択するために、その基準マークには走査ユニットの成
る要素によって走査される電気的に導入された少なくと
も一つの選択情報の目盛トラックが割り当て＼ある。そ
れ故、基準マークの少なくとも一個を選択し、動作させ
ることができる。
この測定装置では、選択した基準マークに対して選択情
報を不変で一義的に割り当てることを保証しているが、
測定に必要な基準マークを選択するには、測定器具に所
属する選択情報を有する特別な目盛トラック及びこの選
択情報を走査する走査ユニット中に余分な要素が必要と
なる。
西独特許第２９５２１０６号公報には、測定目盛板が目
盛とこの目盛に絶対的に割り当てた、それぞれ異なる線
条群の区分の基準マークを有する測定装置が提示されて
いる。測定に必要な個々の基準マークを選ぶには、走査
ユニット中で各基準マークにその都度同一の線条群の区
分を有する走査領分が割り当て＼ある。この配置は比較
的経費がか＼る。何故ならば、個々の基準マークを一義
的に指定できるために、個々の基準マークの線条群区分
及び所属する各走査領分自体を、最も厳密に相互に区分
しなければならない。この場合、走査装置は各基準マー
クに対する同一走査領分を持たなくてはならない。
西独特許第８０３９４８８号公報は、測定目盛板に目盛
とこの目盛に絶対的に割り当てである同一基準マークを
同じ間隔にしである測定装置を引用している。個々の同
一基準マークを弁別するためには、各基準マークに符号
マークが割り当て＼ある。しかし、この符号マークを走
査するため特別な走査領分が走査ユニットの走査板上に
必要となる。
西独特許第２４１６２１２号公報から、測定目盛板には
、目盛と、この目盛に絶対的に付属する同一基準マーク
のある測定装置が公知になっている。各基準マークの絶
対値はその基準マークから隣接する基準マークに対する
特別な間隔をその都度決めている。隣接する基準マーク
間の異なる間隔は増分式目盛を走査して検出される。
個別の同一基準マークを各々に識別するには、この基準
マーク及びそれに付属する隣接基準マークが走査され、
相互の特別な間隔を検出しなくてはならない。
しかしながら、この測定装置では、測定距離そしてそれ
によって設置される同一基準マークの数が増加すればす
る程、より多くの異なった間隔が必要となる。従って、
割シ振っである間隔の量も長い基準マークは広い幅にな
っていて、そのような基準マークの絶対値を識別して測
定するためには、この基準マークと隣接するマークを走
査し、増分式の目盛が最大間隔に相当する目盛の長さを
通過しなければならない。従って、付属する長い間隔を
有するこれ等の基準マークを同定するには煩雑で時間が
か＼す、このような測定装置を例えば、工作機械に導入
することは経済上杵されない。工作機械で工作中に、例
えば電源に問題が生じて、位置測定値を一時的に見失う
時には、他の測定過程に対する乱れを除去した後、前も
って測定装置の絶対基準位置を決めなければならない。
測定装置の絶対基準位置を再び決定することは、時間的
な理由から最も近くにある基準マークによって行われる
。
この最近接基準マークを識別し、これによって絶対基準
位置の再決定に対しその絶対値を測定するためには、こ
の基準マークとこのマークに付属する隣接基準マークが
走査され、対向する特別な間隔を増分式目盛の走査によ
って検出されなくてはならない。この特別な間隔が非常
に大きいときには、この基準マークを識別することはそ
れに応じて時間がか＼す、工作機械の遊び時間を増大さ
せてしまう。結局、この種の大きい間隔を往々現在の工
作物の幾何学的な大きさに渡って走査することは不可能
である。
解決すべき課題 本発明の課題は、上記の類に属する測定装置で個々の基
準マークの絶対値を識別し測定するために時間の浪費を
低減する単位長さあたシの基準マークの数を増大するこ
とにある。
課題を解決する手段 本発明により、上記課題は以下のようにして解決されて
いる。即ち、各基準マーク（Ｒ９）（ｎ＝１．、２．　
ｇ…）の絶対値を決めるだめには、この基準マーク（Ｒ
ｒｌ）　　と少なくとも二つの他の基準７−り（Ｒｎ−
２・Ｒｎ−１：　Ｒｎ−１ｌＲｎ＋１　：　Ｒｎ＋１−
Ｒｎ−１−２）の間の間隔（ｄｎ−２＋ｄｎ−１：　ｄ
ｎ−１＋ｄｎ　：　ｄｎ＋ｄｎ＋１　）を測定すること
である。
発明の効果 本発明によって得られる利点は特に次のことにある、即
ち、各基準マークの絶対値を定める連続している少なく
とも二つの間隔を提示した検査によって、余分な出費な
しに、しかも余分な物なしで、測定目盛板上の基準マー
クの密な並びが得られ、測定装置中の計数器の計数状態
を制御したり、又はこの計数状態を補正することはより
狭い間隔で行うことができる。組み合わせによって主に
これ等の間隔の中の二つの間隔は幾重にもでき、これ等
の個々の間隔は一般に分離されなければならないので、
これ等の二つの間隔の全体の長さは既知の一つの間隔よ
りも短かい。従って、測定目盛板上に追加基準マークを
設置するためのスペースをかなり取ることができ、故障
したとき、基準位置を再度得るために、この故障を除去
したのち、隣接した基準マークの絶対値を決定する時間
の消費が少なくなる。
本発明の有利な構成は実施態様項に引用されている。
実施例及び作用 本発明の実施例を図面に基き詳しく説明する。
第１図には、増分式の光電式測長装置が模式的な側面図
にして示しである。この測長装置は、目盛板の形状をし
ている測長器具Ｍと相対距離を測る必要のある対象物体
に図示していないが接続されている走査ユニットＡから
できている。
上記の二つの対象物は、例えば工作機械の固定台と移動
台によって形成されている。目盛板Ｍ上には、増分式の
目盛Ｔが取シ付けである。この目盛Ｔは透過光で無接触
の光電方式にして走査ユニツ）Ａにより走査される。走
査ユニットＡには光源Ｌ１集束レンズに１走査板ＡＰ・
及び受光板ＰＰ、がある。
第３図には、目盛板Ｍ１走査板ＡＰ及び受光板ＰＰが平
面図にして示しである。目盛板Ｍには、周期間隔Ｐの増
分式目盛Ｔが等間隔の線状格子の形にしてあり、この目
盛Ｔに沿って測定方向Ｘに向けて不規則であるが一定し
た線状の割り付は区分を有する同一基準マークＲｎ（ｎ
−１，２，３１１１１つがあり、この基準マークは増分
式の目盛Ｔに絶対的に付属させである。この基準マーク
Ｒｎには、測定方向Ｘで定まる相対間隔ｄｎ（ｎ＝　１
．２．３　ａｍつがあり、これを以下により詳しく説明
する。目盛Ｔを走査するには、走査板ＡＰに二個の走査
目盛ＡＴａ、　ＡＴｂ　　がある。この走査目盛は目盛
Ｔと同じ周期長Ｐを有し、目盛Ｔと同一であるが、測定
方向Ｘで周期長Ｐの４分の１はどずらしである。目盛Ｔ
を走査するためには、更に受光素子板ＰＰ上に二個の受
光素子ｐａ、ｐｂが配設しである。これ等の素子はそれ
ぞれ走査板ＡＰの二つの走査目盛ＡＴａ、ＡＴｂに割り
当て＼ある。
目盛板Ｍに対して走査ユニットＡを測定方向目盛Ｔと両
走査目盛板ＡＴａ　、ＡＴｂによって変調され、２つの
周期走査信号Ｓａ、Ｓｂを発生する２つの受光素子ｐａ
　、ｐｂに入射し。上記走査信号はトリガー用の演算処
理装置ＡＷのトリガ一段ＴＳに導入される（第１図参照
）。このトリガ一段は２つの走査信号Ｓａ　、　Ｓｂ　
、から２つの矩形波信号［ａ　、ＩＪｂを発生する。こ
れ等の矩形波信号は演算処理装置ＡＷ中で方向識別器Ｒ
Ｄを経由して方向識別器ＲＤによって発生したパルスＪ
ａ、Ｉｂ　’ｔ：指令された方向に計数するアップ・ダ
ウン計数器Ｚに導入される。アップ・ダウン計数器Ｚに
よって提令される向きに、目盛ユニットは目盛板Ｍの増
分式目盛Ｔの周期間隔を有しているが、２つの物体の相
対位置に対する測定値ＭＷとしてこの位置測定値ＭＷを
デジタル表示する表示ユニットに導入する。方向識別器
ＲＤ中における測定方向Ｘの識別は、２つの走査目盛Ａ
Ｔａ　。
ＡＴｂの相互の位相のずれが周期間隔Ｐの４分の１はど
であるため、２つの矩形信号Ｕａ、Ｕｂの位相のすれが
９０°であることに基いて行われる。
目盛板Ｍの個々の同一基準マークＲｎを走査するだめに
、走査板ＡＰは線状区分にして、基準マークＲｎの線状
区分と同一の基準走査素子ＲＡＴを有する。個々の同一
な基準マークＲｎを走査するためには、更に受光素子板
ＰＰ上に基準受光素子ＲＰが基準走査素子として設置し
である。この基準受光素子は走査板ＡＰの基準走査目盛
ＲＡＴに付属している。
第２図には、よく知られた目盛板Ｍが周期間隔Ｐの増分
式目盛Ｔと、この目盛Ｔに沿って測定方向Ｘに向けて一
定の規則正しい線状区分の同一基準マークＲｎを有する
。この線条区分は増分式区分子に絶対的に割り当て＼あ
る。この要素に関しては、第２図と第３図の両方の目盛
板Ｍの間に一致がある。
第２図には、左から右に向けて第１基準マークＲ１と第
２基準マークＲ２の間に第１間隔ｄ１、第２と第３基準
マークｄ２．Ｒ５の間で第２間隔ｄ２、第３と第４基準
マークＲ３，Ｒ４の間で第３間隔ｄ３、等々がある。こ
の場合、間隔ｄ１の数字１は間隔の単位で、間隔ｄ２．
ｄ３…の数字２，３…はこの間隔の単位の整数倍である
。この間隔の単位は実施例では増分式目盛Ｔの周期間隔
Ｐの２つの目盛間隔になる。基準マークＲｎの隣接する
基準マークＲｎ　＋　１に対するこれ等の間隔ｄｎ（ｎ
＝　ｊ、２．３　ａａｍ　）は増分式目盛Ｔに関して同
一基準マークＲｎ。
Ｒｎ＋１の絶対値を表わし、基準マークＲｎ、Ｒｎ＋１
の中心（基準中心）間に延びている。
走査ユニットＡが第２図の目盛板Ｍに関して左から右の
測定方向に移動すると、第３図の走査板ＡＰの基準走査
区分ＲＡＴと受光素子板ＰＰの基準受光素子ＲＰによっ
て基準マークＲ，、Ｒ２゜Ｒ３…　を走査して、受光素
子ＲＰは同一基準マークＲｎに付属する区別のできない
同一基準信号Ｒ８ｎを発生する。この基準信号Ｒ８ｎは
基準パルスＲＩ。を出すトリガ段ＴＳに導入される。上
記基準パルスＲＩｎは絶対値測定装置ＡＢを動作させる
。この種の公知の絶対値測定装置ＡＢは、例えば西独特
許第２４１６２１２号公報に記載されていて、１個の計
数状態記憶器、１個の計数器比較器、１個の付属装置及
び論理結合回路を有する。
例えば、第２基準マークＲ２の絶対値を決定するには、
左から右に正の測定方向Ｘに向けて、第１基準マークＲ
１、次いで第２基準マークＲ２を走査する。第１基準マ
ークＲ１を走査して生じた第１基準パルスＲ１１はこの
第１時点で絶対値測定装置ＡＢの計数状態記憶器中のア
ップ・ダウン計数器Ｚの計数状態を記憶する。第２基準
マークＲ２を走査して生ずる第２基準パルスＲＩ２はこ
の第２時点でアップ・ダウン計数器Ｚの折々の計数状態
と計数状態記憶器の計数状態間の差を検出する計数状態
比較器と動作させる。両計数状態のこの差は第１基準マ
ークＲ１と第２基準マークＲ２の間の第１間＠ｄ１を表
わしている。計数状態比較器のこの第１間隔ｄ１は、計
数状態を点検するため又は誤計数状態のときその計数状
態を修正するだめのアップ・ダウン計数器Ｚのところで
、第２基準マークＲ２の付属する絶対値を出力する所属
装置に導入される。
第２基準マークＲ２の絶対値を右から左の負の測定方向
に向けて測定するためには、第３基準マークＲ３、次い
で第２基準マークＲ２を走査する。
上述と同じ方法で第３基準パルスＲＩ３と第２基準パル
スＲＩ２によって検出される計数状態比較器の第２間隔
ｄ２は、第２基準マークＲ２の付属する絶対値を計数状
態を同じように点検するアップ・ダウン計数器２に出力
するか、誤計数状態のときその計数状態を修正する付属
装置に導入される。
各同一基準マークＲｎに属する絶対値は、正か又は負の
測定方向に応じて、付属する特別な間隔ｄｎ−１，ｄｎ
に依存し付属装置に表の形にして記憶しである。この場
合、正の測定方向Ｘに対して、間隔ｄｎ−１の表が、負
の測定方向Ｘに対して間隔ｄｎＯ表が準備されている。
そのときの正又は負の測定方向は、方向識別器ＲＤの方
向パルスＲＤＩによって絶対値決定装置ＡＢに引き渡さ
れる。更に、基準マークＲｎの絶対値を決定することに
よって、乱れで失われた基準位置が、この乱れを除去し
た後、隣接している基準マークＲｎの絶対値を決定して
再び獲得できる。
しかしながら、この既知の目盛板Ｍの測定長が長くなり
、それによって用意する同一基準マークＲｎＯ数が増せ
ば増す程、より多くの異なった間隔ｄｎが必要になる。
従って、付属する最長間隔ｄｎの基準マークＲｎが互に
幅を広くして置かれ、この基準マークＲｎと隣接する基
準マークＲｎ　＋１を走査して、この基準マークＲ６を
識別し、決定するため、この最大間隔ｄｎに対応する増
分式目盛Ｔの目盛の間隔を残しておく必要がある。
この基準マークＲｎの絶対値を識別し、決定をする場合
時間の浪費を低減するため、そして、単位測定長あたり
の基準マークＲｎＯ数を増すために、各基準マークＲｎ
の絶対値を決定する少々くとも２つの連続する間隔ｄｎ
−２＋ｄｎ−１：　ｄｎ−Ｉ　Ｔｄｎ’＋ｄｎ　ｖｄｎ
＋１　をこの基準マークＲｎと少なくとも２つの隣接す
る基準マークＲｎ　−２＋　Ｒｎ−１：　Ｒｎ−１ｒＲ
ｎ−１−１：Ｒｎ−）−１ｔＲｎ＋２　　の間で調べる
ことが推薦される。
例えば、第３図で３番目の基準マークＲ３の絶対値を決
めるためには、正の測定方向Ｘで左から右に第１基準マ
ークＲ１、次いで第２基準マークＲ２が走査される。第
１基準マークＲ１を走査して生ずる第１基準パルスＲＩ
、は、この第１時点でアップ・ダウン計数器の計数状態
を絶対値測定装置ＡＢの計数状態記憶器に記憶する。第
２基準マークＲ２を走査して生ずる第２基準パルスＲＩ
２は、この第２時点でアップ・ダウン計数器のその時の
計数状態と計数状態記憶器の間の差を検出する計数状態
比較器を動作させる。２つの計数状態の間のこの差が第
１基準マークＲ１と第２基準マークＲ２の間の第１間隔
ｄ１を表わす。
つまり、計数状態比較器の第１間隔ｄ１は付属装置に導
入され、アップ拳ダウン計数器Ｚのその時の計数状態が
、第２時点で計数状態記憶器に記憶される。
次に行われる第３基準マークＲ３を走査して生ずる第３
基準パルスＲＩ３は、この第３時点で、アップ・ダウン
計数器のその時の計数状態と計数状態記憶器の計数状態
との差を検出する計数状態比較器を動作させる。両計数
状態の間のこの差は、第２基準マークＲ２と第３基準マ
ークＲ６間の第２間隔ｄ１を表わしている。即ち、計数
状態比較器のこの第２間隔ｄ１は、同じ様に付属装置に
導入される。第１間隔ｄ１及び第２間隔ｄ１が提出され
ると、付属装置は第３基準マークＲ３の付属する絶対値
を計数状態を制御する、あるいは計数状態が誤っている
ときその状態を修正するアップ・ダウン計数器Ｚに出力
する。
第３基準マークの絶対値を測定するため、第５番目の基
準マークＲ５、次いで第４番目の基準マークＲ４が右か
ら左に向う測定方向に走査される。第５番目の基準マー
クＲ５を走査して生じた第５基準パルスｆｔｔｓはこの
最初の時点で絶対値測定装置ＡＢの計数状態記憶器中で
アップ・ダウン計数器の計数状態を記憶する。第４基準
マークＲ４を走査して生ずる第４基準パルスＲＩ４は、
この第２時点で、アップ・ダウン計数器のその時の計数
状態と計数状態記憶器の計数状態との間の差の値を検出
する計数比較器を動作させる。
２つの計数状態間の差の値は第５基準マークＲ５と第４
基準マークＲ４間の第１間隔ｄ２を表わしている。計数
状態比較器のこの第１間隔ｄ２は、付属装置に導入され
、アップ・ダウン計数器のその時の計数状態が、この第
２時点で記憶される。
次いで、第３基準マークＲ３を走査して生じた第３基準
パルスＲＩ３は、この第３時点で、アップ・ダウン計数
器のその時の計数状態と計数状態記憶器の計数状態との
間の差の値を検出する計数状態比較器を動作させる。２
つの計数状態間のこの差の値は、第４基準マークＲ４と
第３基準マークＲ３間の第２間隔ｄ２を表わす。計数比
較器のこの第２間隔ｄ２は、同様に付属装置に導入され
る。第１間隔ｄ２と第２間隔ｄ２を提出して、付属装置
は第８基準マークＲ３の付属する絶対値を計数状態を調
べる、又はこの計数状態を誤りのある計数状態の場合に
、修正するアップ・ダウン計数器に出力する。
第２図及び第３図に、基準マークＲ１＋　Ｒｎ＋　１の
中点（基準中心）間の間隔ｄｎが広げである。
この基準中心は増分式目盛Ｔに対する基準マークの絶対
位置に印をつけている。間隔ｄｎはｎ個の間隔単位に相
当するもので、この間隔単位は増分式目盛Ｔの周期の長
さＰである目盛の単位の２倍に相当する。
第２図には、よく知られた目盛板Ｍが７個の基準マーク
Ｒ１〜Ｒ７と６つの相対する特殊間隔ｄ１〜ｄ６を有す
し、これ等は互に区別されなくてはならない。第３図で
、目盛板Ｍには、１１個の基準マークＲ１〜Ｒ１１、及
び１０の相体する間隔ｄ１〜ｄ３がある。この１１個の
基準マークＲ１〜Ｒ１１に対して、たった３つの異なる
間隔ｄ１〜ｄ３を必要とするので、第３図によるこの１
１個の基準マークＲ１〜Ｒ１１は、第２図による７個の
基準マークＲ１〜Ｒ７よりもスペースの消耗が少ない。
上に述べて来たように、基準マークＲｎの絶対値を識別
し、測定するためには、主に２つの連続する間隔ｄｎ−
２＋　ｄｎ−１：　ｄｎ−１＋　ｄｎ　：　ｄｎ　＋　
ｄｎ＋１を関係づけている。しかし、この目的【対して
二つの間隔以上を選ぶこともできる。第３図から明らか
なように、２つの間隔の組み合わせは、等しい間隔又は
等しくない間隔を有している。正の測定方向Ｘ及び負の
測定方向Ｘで２つの間隔の同じ組み合わせが現われるが
、これは各測定方向Ｘを手がかりに区別できる。
第３図には、測定長あたυできる限シ多くの基準マーク
Ｒｎを設置するため、右から左に向けて最も狭い間隔ｄ
ｎの異なった組み合わせが示しである。下表の第１列に
、第２図による間隔ｄｎＯ数ｎ１及び第２列に第３図に
よる間隔ｄｎＯ数ｎが記載しである。この数ｎは間隔の
単位のｎ倍を意味するもので、こ＼では、間隔の単位（
吐増分式目盛Ｔの周期長さＰを有する目盛単位の２倍に
なる。
この表から明らかになように、第２図の公知の目盛板Ｍ
では、１８個の基準マークを持込むのに１５３の間隔の
単位の区間Ｓが、また第３図による本発明の目盛板Ｍで
は、同じように１８個の基準マークを持込むには、わず
か４１間隔の単位の区間を必要とする。
基準マークの検出した絶対値を手がかりにして、この絶
対値に関する２つの間隔で測定方向に先行する基準マー
クを完結する。
上記の実施例では、有利な方法として同一な基準マーク
を設置したが、異なる基準マークを有する測定装置でも
、本発明は効果的に導入できる。
図示していないが、基準マークＲｎは少なくとも２本の
平行に並べた基準マーク用トラック上にも配設できる。
このようにすると、基準マークＲｎは互を非常に密に並
べることができる。各トラックの基準マークＲｎはそれ
に所属する基準マーク走査要素によって走査され、得ら
れた基準信号は演算処理装置中で適切な方法によシ演算
処理される。
【図面の簡単な説明】
第１図は増分式光電側表装置の模式的側面図で、第２図
は基準マークを有する測定器具の平面図で、第３図は基
準マークを有する測定器具、走査板及び受光板の平面で
ある。 引用記号：Ａ…走査ユニット、Ｍ…測定目盛板、ＡＰ…
走査板、ＰＰ…受光板、ＡＷ…演算処理装置。 算処理装置。

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）測定目盛板には、目盛と測定方向に向けこの目盛
    に沿って絶対的に配設した基準マークがあり、走査ユニ
    ットが少なくとも１個の走査信号を発生する目盛と、基
    準信号を発生する基準マークを走査し、基準マークの絶
    対値を目盛の走査で決定している２つの物体の相対位置
    を測定する測定装置において、各基準マーク（Ｒ＿ｎ；
    ｎ＝１、２、３…）の絶対値を定めるため、この基準マ
    ーク（Ｒ＿ｎ）と他の少なくとも２つの基準マーク（Ｒ
    ＿ｎ＿−＿２、Ｒ＿ｎ＿−＿４；Ｒ＿ｎ＿−＿１、Ｒ＿
    ｎ＿＋＿１；Ｒ＿ｎ＿＋＿１Ｒ＿ｎ＿＋＿２）との間の
    間隔（ｄ＿ｎ＿−＿２、ｄ＿ｎ＿−＿１；ｄ＿ｎ＿−＿
    １、ｄ＿ｎ；ｄ＿ｎ、ｄ＿ｎ＿＋＿１）が検出されるこ
    とを特徴とする測定装置。
  2. （２）上記の少なくとも２つの間隔（ｄ＿ｎ＿−＿２、
    ｄ＿ｎ＿−＿１；ｄ＿ｎ＿−＿１、ｄ＿ｎ；ｄ＿ｎ、ｄ
    ＿ｎ＿＋＿１）各基準マーク（Ｒ＿ｎ）の絶対値を定め
    る絶対値測定装置（ＡＢ）に導入できることを特徴とす
    る特許請求の範囲第１項記載の測定装置。
  3. （３）絶対値測定装置（ＡＢ）には、計数状態記憶器、
    計数状態比較器及び予め作成された間隔の表を有する付
    属装置があることを特徴とする特許請求の範囲第２項記
    載の測定装置。
  4. （４）付属装置には、各基準マーク（Ｒ＿ｎ）の絶対値
    を決定する少なくとも２つの間隔（ｄ＿ｎ＿−＿２、ｄ
    ＿ｎ＿−＿１；ｄ＿ｎ＿−＿１、ｄ＿ｎ；ｄ＿ｎ、ｄ＿
    ｎ＿＋＿１）が記憶されていることを特徴とする特許請
    求の範囲第３項記載の測定装置。
  5. （５）正の測定方向Ｘ及び負の測定方向Ｘで少なくとも
    ２つの連続する間隔（ｄ＿ｎ＿−＿２、ｄ＿ｎ＿−＿１
    ；ｄ＿ｎ＿−＿１、ｄ＿ｎ；ｄ＿ｎ、ｄ＿ｎ＿＋＿１）
    の同一である組み合わせが、実際に行う測定方向Ｘごと
    に区別できることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
    載の測定装置。
  6. （６）少なくとも２つの連続する間隔（ｄ＿ｎ＿−＿２
    、ｄ＿ｎ＿−＿１；ｄ＿ｎ＿−＿１、ｄ＿ｎ、ｄ＿ｎ、
    ｄ＿ｎ＿＋＿１）の組み合わせは各測定方向で判別され
    ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の測
    定装置。
  7. （７）間隔（ｄ＿ｎ）は増分式目盛（Ｔ）の周期長（Ｐ
    ）である目盛単位の整数倍であることを特徴とする特許
    請求の範囲第１項記載の測定装置。
  8. （８）基準マーク（Ｒ＿ｎ）は少なくとも二つの並列目
    盛トラック上に配設してあることを特徴とする特許請求
    の範囲第１項記載の測定装置。
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