JPS59173711A - 測定装置 - Google Patents

測定装置

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JPS59173711A
JPS59173711A JP59045727A JP4572784A JPS59173711A JP S59173711 A JPS59173711 A JP S59173711A JP 59045727 A JP59045727 A JP 59045727A JP 4572784 A JP4572784 A JP 4572784A JP S59173711 A JPS59173711 A JP S59173711A
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    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/245Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
    • G01D5/2454Encoders incorporating incremental and absolute signals
    • G01D5/2455Encoders incorporating incremental and absolute signals with incremental and absolute tracks on the same encoder
    • G01D5/2457Incremental encoders having reference marks
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03MCODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
    • H03M1/00Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
    • H03M1/12Analogue/digital converters
    • H03M1/22Analogue/digital converters pattern-reading type
    • H03M1/24Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
    • H03M1/28Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding
    • H03M1/30Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding incremental
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は特許請求の範囲第1項の前提概念による測定装
置に関する。
この種の測定装置では参照マークで生ずる電気制御パル
スは種々の方法で、例えばゼロ位置の再生のためにカウ
ンタに、測定の開始時に所定の位置に到達するため、及
び妨害パルスの制御及び次の制御装置への入力のために
使用される。
西独国特許明細書2416212からインクレメンタル
長さ又は角度測定装置が公知であり、その際測定尺土に
インクレメンタル目盛の外に参照マークが別のトラック
上に設けられている。
この参照マークの絶対値は個々の参照マークの間の相異
なる距離から決定される。この参照マークの間の距離は
インクレメンタル目盛の走査によって検出される。従っ
て参照マークの絶対的位置の認識のために常に二つの参
照マークが走査されなければならない。この方法は例え
ば二つのこの種の参照マークが相互に広く位置する場合
に面倒で、時間がか\る。このため二つの参照マークの
間のインクレメンタルの誤った計数をすると参照マーク
のだめの距離の誤シ従って絶対的誤差が検出されうる。
西独国特許明細書295210/+においてインクレメ
ンタル長さ又は角度測定装置が記載されており、その際
測定尺土に目盛の外缶々相異な兎けい線群目盛を備えた
参照マークが設けられている。個々の参照マークは走査
窓によって走査装置において走′査され、その際参照マ
ークに各走査窓が所属しておシ、こうして同一のけい線
群目盛を有する。この構成は比較的コスト高である、そ
のわけは個々の参照マニクのけい線群目盛は個々の参照
マークの明らかな識別を可能にするためにできる限シ、
相違したものとされるか′らである。その際走査装置は
各参照マークのだめに同一の走査窓を有する。
西独国特許公開公報5059483からインクレメンタ
ル長さ又は角度測定装置が把握さへその際測定尺土に目
盛トラックの外相互に平行に参照マークトラックとコー
ドマークトラックと−が配設されている。しかし参照マ
ークと各所属のコードマーク部分の走査のだめに走査装
置の走査板上に別個の走査窓が必要とされ、そa際各コ
ードマーク部分に固有の走査窓が所属している。
本発明は参照マークと各所属のコードマークの走査が実
質上簡単化されうる上記の種類の測定装置を提供するこ
とを課題の基礎とする。
この課題は本発明によれば、特許請求の範囲第1項の特
徴によって解決される。
本発明によって得られる利点は特に参照マークと各所属
のコードマーク部分の走査のために走査装置の走査板上
に唯一つの走査窓しか必要とされないととにある、その
わけは参照マークとコードマーク部分は少なくとも測定
方向に同一の構造を有するからである。この参照マーク
とコードマーク部分のか\る構造的一致によって測定尺
の製造並びに走査窓の製造が簡単にされ、その結果ニス
上の安い測定装置が得られる。
本発明の有利外利点は実施態様項に記載されている。
第1図において、光電的インクレメンタル長さ測定装置
が示されておシ、この装置は測定尺Mと走査ユニットA
゛から成シ、それぞれ図示しない方法で工作機械の被測
定対象物に結合されている。測定尺M上には直線(けい
線)格子の・ 4Q 形(第2図)のインクレメンタル目盛Tが設けられてお
シ、目盛は走査ユニツ)Aによって照射光によシ光電的
に無接触で走査される。目盛TK沿って測定尺M上にで
列の参照マークRn(n = 1.2,5.−−− )
が設けられており、参照マークはそれぞれ所定の直線目
盛と同一の直線群を有する。目盛Tの走査によって生ず
る周期的走査信号SI、s2は走査ユニッ)Aにおいて
増「1〕されかつ矩形信号sI + ”2に変形され、
測定値をデジタル表示する電子カウンタ2を制御する。
目盛Tの目盛ピッチの%だけ位相のずれだ矩形信号S1
 r ”’2は走査方向の区別に役立つ。参照マークR
n  で生じた参照信号R8nは走査ユニットAにおい
て増巾され、矩形波R8n′に変形され同様にカウンタ
2に入力される。
得られた参照信号R8nによって種々の機能が始動され
ることができる。不変のゼロ点に関する絶対位置を示す
数が各参照マークRn  に所属している場合、例えば
インクレメンタル測定装置から参照信号R8nの評価に
よって略絶対的な測定方向が示される。更に所定の参照
マーク九から得られた参照信号RSnが生じた際にカウ
ンタ2を値「ゼロ」にするために役立つ。しかしこの機
能は選択された参照マーク札 が明らかに識別されうる
場合にのみ実施可能である。
識別のために各個々の参照マークRn  に連続的にコ
ードマークCn  が所属しており、コードマークは少
なくとも一つのコードマーク部分Onm (n + m
−I + 215−−− )から成シ、その際各コード
マーク部分Cは少なくとも測定方向におの間のコードマ
〜り部分0は測定尺M上参照マークRn  に対してシ
リー7に配設されている。
参照マークRn  の列からコードマークOn1〜Cn
4が所属する参照マークRn  のみが示されている。
参照マークRn  からコードマーク部分Cn1〜On
4を区別するためにコードマーク部分よればa = 1
1)/2である。
測定尺Mの走査のために走査ユニツ)Aにお↓ いて第2図による走査板AP が設けられておシ、走査
板は目盛Tの走査のために目盛Tの格子定 。
数の%だけずれた二つの走査窓ATI  * AT2を
有し、走査窓は目盛Tと同−巾である。走査窓ム’rl
、 ATgに走査信号s1182の発生のための図示し
ない光電要素が付設されている。参照マークRn  と
コードマーク部分On1 ’−Cn4の走査のために走
査板AP 上に走査窓ARが設けられておシ、走査窓に
は参照信号RSnとコード信号08n1−C8n4の発
生のための光電要素が付設されており走査窓ARは参照
マークRn  と一致す際に発生するコード信号C8n
、〜G5n4は所属の参照マークRn(第3図)の識別
のための二進数[1oloJを生ずる。参照マークRn
  の巾すがコードマーク部分Cn1  ’n4の巾a
の二倍であるので、コードマークaSn、〜C3n4は
相異なる信号高さのだめに参照信号R8nとははつさシ
相違する。巾aとbとの間の比は任意に選ばれることが
できる。コード信号CBn、〜C3n4はカウンタ2の
評価装置に入力される。
走査ユニツ)Aが測定尺Mを正の測定方向Xにおいて左
方から右方へ走査すると、参照マークRn 上に次のコ
ードマーク部分On+1.m がそしてその上に所属の
参照マークRn+1  等(第2図には示されていない
)が従う。この走査方向で第一のコードマーク部分Cn
+1,1  を認識することができるためにこのコード
マーク部分Cn+1 、1  は例えば二進数「1」を
有する。全く一般的にコードマーク部分Cnmはスター
ト及び終了情報を有する。スタート情報によってカウン
タ2中の評価装置がスタート情報につづいてコード情報
が読取られるように準備される。最終情報は全コード情
報が読取られることを確保するために役立ち、それによ
ってコード情報の走置中の測定方向Xの同時の反転が認
められうる。
左方から右方への正の測定方向Xの走査ユニットムの運
動では所属の参照マークRn  の走査のためにコード
マーク部分Cnmのコード情報の走査が行われる。右方
から左方への負の測定方向−Xの走査運動ではコード情
報の方向に依存した評価によってコードマーク部分Cn
+1.In  の後に参照マークRn 従わねばならな
いことが認められる。
コードマーク部分Cnmと所属の参照マークRnは相互
にすきま寿ぐ続き又は相互に所定の間隔を有する。
すきまのない配列は個々の参照マークRn  の間に僅
かのスペースしかない時に推奨される。コードマーク部
分Cと参照マークRn は合理的にインクレメンタル目
盛Tの目盛ピッチの整数部分及び又は整数倍として設け
られ;その結果コードマーク部分○と参照マークRn 
 の走歪はインクレメンタル目盛Tの走査と同期して行
われ断面上参照マークRn  並びに所属のコードマー
ク部分”n1〜Cn4 及び正の測定方向Xに従う図示
しない参照マークRnや、の第一コードマーク部分”n
+1.1がシリースに配設されている。
コードマーク部分0/、−01n4とC/、ヤ4,1は
参照マークRn  と完全に同一でありかつ第2図によ
る走査板AP  の走査窓ARによって走査される。
所属のコードマーク部分”n 1〜C′n4  からの
参照マークRn  の区別のために参照マークRnと次
のコードマーク部分”n 4との間の距離rは個々の隣
接したコードマーク部分C′n1〜C′n40間の距離
Cとは区別される。正の測定方向Xに従う図示しないコ
ードマーク部分”n+1 、1 から参照マークRn 
 を区別するために対拡距離Uが設けられている。発生
したコード信号C6′n1〜C8′n4は二進数II 
I 01Jを生じる。
区別のために距離c、 、 r 、 uの代りに参照マ
ークTLn  とコードマーク”nm  との間の対応
した距離c’、r’、u’も関連するようにすることが
できる。参照マークRn  とコードマーク部分”nm
並びに距離C,r、u、C’、r’、u’は測定方向に
おいて測定尺M上にインクレメンタル目盛Tの整数部分
及び又は整数倍として形成されることができる。
発生したコード信号aSヤ並びに距離c 、 r。
u 、 c’ : r’u’の評価はカウンタ2の評価
装置において行われる。この評価装置は選択装置を含み
え、それによって参照マークRn  0列から特定の参
照マークRn  が選択され、かつ作用に持ち来される
ことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はインクレメンタル長さ測定装置の図式第6図は
参照信号及びコード信号の信号ダイヤグラム、そして シ 第4図は第2図による測定尺の部分を示す。 図中符号 Rn   参照マーク C!1   コードマーク C111m  コードマーク部分 X  測定方向 代理人  江 崎 光 好 代理人  江 崎 光 史

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)測定装置、特にインクレメンタル測定装置であっ
    て、測定方向において測定尺の目盛に沿って設けられた
    参照マークを備え、参照マークは目盛に絶対的に所属し
    ており、かつ参照マークで走査装置と共働して再生可能
    な電気パルスが発生され、電気パルスは測定装置のカウ
    ンタ及び又は制御装置に入力される、測定装置において
    、 一つのコードマーク(On)が同一の参照マーク(Rn
    )の各々にシリースに付設されておシ、コードマークは
    少なくとも一つのコードマーク部分(Cnm) (n+
    m ”” L2+3+−−−)から成シ、各コードマー
    ク部分(Cnm)は少なくとも測定方向Xにおいて参照
    マーク(Rn)と構造的に一致している、ことを特徴と
    する測定装置。
  2. (2)  参照マーク(Rn)とコードマーク部分(C
    nm)の連続的走査のために走査板(AP)上に単一の
    走査窓(AR)が設けられている、特許請求の範囲第1
    項記載の測定装置。
  3. (3)参照マーク(Rn)カラコードマーク部分(Cn
    m)を区別するために測定方向Xに対して垂直のコード
    マーク部分(Cnm)の巾aは参照マーク(Rn)の巾
    すよシも小さい、特許請求の範囲第1項記載の測定装置
  4. (4)所属のコードマーク部分(” nm)  から参
    照マーク(Rn)を区別するために参照マーク(Rn)
    と次に位置する所属のコードマーク部分(”nm)  
    との間の距離rは隣接した所属のコードマーク(” n
    ml” n、m+1又は” nm、” n、m−1)の
    間の距離Cと区別されている、特許請求の範囲第1項記
    載の測定装置。
  5. (5)  次の所属のコードマーク(”n、m2と次の
    所属してないコードマーク部分(010ヤ1,1)から
    参照マーク(Rn)を区別するために参照マーク(Rn
    )と次の所属のコードマーク部分(” nm)  との
    間の距離rは参照マーク(Rn)と次に位置する所属し
    ないコードマーク部材(0”fi+1.1’)との間の
    距離Uから区別されている、特許請求の範囲第1項記載
    の測定装置。
  6. (6)  コードマーク部分(C□)が所属の参照マー
    ク(Rn’)のだめの識別特徴の外に伺少なくとも完全
    認識のための情報を有する、特許請求の範囲第1項記載
    の測定装置。
  7. (7)  コードマーク部分(0゜)と参照マーク(R
    n)並びに距離c、r、uが測定方向において測定尺(
    M)の目盛のピッチの整数部分及び又は整数倍として形
    成されている、特許請求の範囲第1項記載の測定装置。
JP59045727A 1983-03-12 1984-03-12 測定装置 Granted JPS59173711A (ja)

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DE3308814.4 1983-03-12
DE3308814A DE3308814C2 (de) 1983-03-12 1983-03-12 Meßeinrichtung

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JPS59173711A true JPS59173711A (ja) 1984-10-01
JPH043810B2 JPH043810B2 (ja) 1992-01-24

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US (1) US4654527A (ja)
EP (1) EP0118673B1 (ja)
JP (1) JPS59173711A (ja)
AT (1) ATE51071T1 (ja)
DE (2) DE3308814C2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62500543A (ja) * 1984-10-08 1987-03-05 アクチエンゲゼルシャフト・フュ−ル・インヅストリエル・エレクトロニ−ク・アギ−・ロ−ソネ・バイ・ロカルノ 2個の部材の位置又はそれらの移動を制御するためにそれらの間の相対的位置を決定するための装置及びこの装置の運転方法
JPS62291507A (ja) * 1986-05-22 1987-12-18 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング 測定装置

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT396631B (de) * 1984-07-06 1993-10-25 Rsf Elektronik Gmbh Inkrementales messsystem
CH669457A5 (ja) * 1986-02-18 1989-03-15 Mettler Instrumente Ag
JP2645350B2 (ja) * 1987-01-28 1997-08-25 チノン株式会社 シリアルドットマトリクスプリンタ
DE3727854A1 (de) * 1987-08-20 1989-03-02 Messerschmitt Boelkow Blohm Positionsgeber
DD297702B5 (de) * 1990-09-07 1993-09-23 Carl Zeiss Jena Gmbh Zentralbe Verfahren zum messen von laengen
JPH04125408A (ja) * 1990-09-17 1992-04-24 Futaba Corp リニアスケール測長装置
DE4040794A1 (de) * 1990-12-17 1992-06-25 Ems Technik Gmbh Verfahren und lagegeber zur lagebestimmung eines positionierkoerpers relativ zu einem bezugskoerper
EP0498904B1 (de) * 1991-02-11 1994-11-30 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Photoelektrische Positionsmesseinrichtung
DE59102126D1 (de) * 1991-05-18 1994-08-11 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Interferentielle Positionsmessvorrichtung.
JPH0727543A (ja) * 1993-07-12 1995-01-27 Canon Inc 光学式変位センサー
DE59305801D1 (de) * 1993-12-08 1997-04-17 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längenmesssystem
FR2722312B1 (fr) * 1994-07-06 1996-09-06 Primax Electronics Ltd Procede de detection de la direction d'un curseur et dispositif de commande d'un curseur correspondant
DE4428590C2 (de) * 1994-08-12 1996-06-20 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
DE4442371A1 (de) * 1994-11-29 1996-05-30 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Maßverkörperung
DE19642200A1 (de) * 1996-10-12 1998-04-16 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Kontrollvorrichtung und Verfahren zur Prüfung von positionsabhängigen Abtastsignalen
DE19939643B4 (de) * 1999-08-18 2005-10-13 Trimble Jena Gmbh Einrichtung und Verfahren zur Positionsbestimmung zwischen zwei relativ zueinander beweglichen Teilen
ATE448466T1 (de) 1999-09-16 2009-11-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Vorrichtung zur positionsbestimmung und ermittlung von führungsfehlern
DE19962278A1 (de) 1999-12-23 2001-08-02 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
DE10132521A1 (de) * 2001-07-09 2003-01-30 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmesseinrichtung
RU2248093C1 (ru) * 2003-07-04 2005-03-10 Общество с ограниченной ответственностью "СКБ ИС ПЛЮС" Оптико-электронный преобразователь положение-код
GB0413711D0 (en) * 2004-06-21 2004-07-21 Renishaw Plc Scale and readhead apparatus
US8011112B2 (en) * 2006-12-07 2011-09-06 Leica Geosystems Ag Method and apparatus for determining positions
DE102007056612A1 (de) 2007-11-23 2009-05-28 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Optische Positionsmesseinrichtung
TWI681004B (zh) 2015-12-30 2020-01-01 美商聖高拜陶器塑膠公司 改質氮化物顆粒、寡聚物官能化氮化物顆粒、基於聚合物之複合材料及其形成方法
US10875753B2 (en) 2018-09-20 2020-12-29 Manitou Equipment America, Llc Telehandler boom extension monitoring system

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3982106A (en) * 1973-05-14 1976-09-21 Contraves Ag System for measuring the longitudinal or angular displacement of a movable component
DE2540412C3 (de) * 1975-09-11 1987-01-22 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementales Meßsystem
DE2952106C2 (de) * 1979-12-22 1982-11-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Lichtelektrische inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
DE3039483C2 (de) * 1980-10-18 1986-09-11 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
DE3102125A1 (de) * 1981-01-23 1982-08-05 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale laengen- oder winkelmesseinrichtung
DD159211A1 (de) * 1981-05-29 1983-02-23 Franz Kebschull Anordnung zur lagebestimmung eines index gegenueber einer teilung
DE3144334C2 (de) * 1981-11-07 1985-06-13 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Wegmeßeinrichtung mit Referenzmarken

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62500543A (ja) * 1984-10-08 1987-03-05 アクチエンゲゼルシャフト・フュ−ル・インヅストリエル・エレクトロニ−ク・アギ−・ロ−ソネ・バイ・ロカルノ 2個の部材の位置又はそれらの移動を制御するためにそれらの間の相対的位置を決定するための装置及びこの装置の運転方法
JPS62291507A (ja) * 1986-05-22 1987-12-18 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング 測定装置
JPH0551847B2 (ja) * 1986-05-22 1993-08-03 Heidenhain Gmbh Dr Johannes

Also Published As

Publication number Publication date
DE3481641D1 (de) 1990-04-19
EP0118673A3 (en) 1988-05-04
EP0118673A2 (de) 1984-09-19
EP0118673B1 (de) 1990-03-14
JPH043810B2 (ja) 1992-01-24
US4654527A (en) 1987-03-31
ATE51071T1 (de) 1990-03-15
DE3308814C2 (de) 1985-02-07
DE3308814A1 (de) 1984-09-20

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