JPH0571984A - 絶対位置測定装置 - Google Patents
絶対位置測定装置Info
- Publication number
- JPH0571984A JPH0571984A JP4050727A JP5072792A JPH0571984A JP H0571984 A JPH0571984 A JP H0571984A JP 4050727 A JP4050727 A JP 4050727A JP 5072792 A JP5072792 A JP 5072792A JP H0571984 A JPH0571984 A JP H0571984A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- track
- absolute
- tracks
- incremental
- scale element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/249—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using pulse code
- G01D5/2492—Pulse stream
- G01D5/2495—Pseudo-random code
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
- G01D5/2454—Encoders incorporating incremental and absolute signals
- G01D5/2455—Encoders incorporating incremental and absolute signals with incremental and absolute tracks on the same encoder
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
することにある。 【構成】 本発明測定装置は増分トラック(9) と絶対ト
ラック(13)が設けられた目盛素子(3) と、これらトラッ
クに対応する検出素子(4, 6)とを具える。両トラックは
一連のストライプ状部分(11, 15)として形成され、各ス
トライプ状部分は目盛素子上の位置に依存して検出可能
な特性 (例えば二価特性)を有する。絶対トラック(13)
ではこの検出可能特性をストライプ状部分(15)間に擬ラ
ンダムに分布させて増分トラック(9) のピッチに対する
検出素子からの信号の組合せが各ピッチ(17)に対し特定
の値を発生するようにする。
Description
測定する装置であって、複数のトラックを有する目盛素
子と、該トラックの数と同数の検出素子を具えるピック
アップ装置とを具え、前記検出素子は複数のセンサを具
え、前記トラックは増分トラックと絶対トラックとを具
え、これらトラックは一連のストライプ状部分として形
成され、各ストライプ状部分は目盛素子上の位置に依存
すると共に前記センサで検出可能な特性を有し、更に絶
対トラックと関連する検出素子のセンサからの信号と増
分トラックと関連する検出素子のセンサからの信号との
組合せから可動素子の絶対位置を決定する信号処理装置
を具えた位置測定装置に関するものである。本発明はこ
のような測定装置に好適な目盛素子にも関するものであ
る。
6404A2から既知である。この欧州出願には、一方では増
分目盛が設けされ、他方では基準マークの目盛が設けら
れ、基準マークの目盛に絶対位置を割当てた測定定規の
形態の目盛素子を用いて2つの物体の相対位置を決定す
る測定装置が開示されている。
プ装置を少なくとも次の絶対基準マークまで移動させる
ことなしに絶対位置を測定することはできない欠点を有
する。増分トラックの検出はピッチ内の絶対測定値を発
生するが、測定定規上の絶対値の測定分解能は基準マー
クの符号化及びこれらマーク間に達成し得る最小距離に
より制限される。本発明の目的は絶対測定値をピックア
ップ装置の移動の必要なしに測定し得る高い分解能を有
する絶対位置測定装置を提供することにある。
明の測定装置にいては、前記絶対トラックの検出可能特
性を前記ストライプ状部分間に擬ランダムに分布させ、
増分トラックの各ピッチに対する信号の組合せが前記ピ
ッチに対し特定の値を有するようにしたことを特徴とす
る。このようにすると、増分トラックの各ピッチが唯一
の符号に符号化される。従って、絶対測定値をピッチ内
の絶対測定値と当該ピッチの唯一符号との組合せにより
発生させることができる。
トラックのストライプ状部分の中心線が互いに同一の間
隔に位置するものとする。このようにすると測定定規の
製造が著しく簡単になる。本発明測定装置の他の実施例
では、前記検出可能特性を二価特性とする。二価特性に
するとトラック及び検出素子の実現が簡単になる。
源を具え、該光源の光ビームを前記トラックの数に対応
する数の光偏向素子に入射させ、これら光偏向素子をそ
れぞれのトラックを照明するようにそれぞれのトラック
の区域に配置する。この構成は光学検出のために全ての
トラックを照明するのに単一の光源の使用で十分である
利点を有する。
対トラックと関連する検出素子は光感知センサのアレー
を具えるものとする。このようなセンサのアレーの使用
は二価特性の多数の組合せに適応し得る。擬ランダム分
布の使用可能な組合せの数を決定するのは本質的にセン
サの数である。
盛素子上の増分トラックと絶対トラックとを合成して複
合トラックにする。このようにすると目盛素子の製造が
簡単になると共に1つのピックアップ装置の使用で十分
となる。
発明の絶対位置測定装置1は目盛素子3と、2つの検出
素子4,6を具えるピックアップ装置5と、信号処理装
置7とを具える。各検出素子4,6は複数個のセンサ8
を具え、これらセンサはピックアップ装置4,6ごとに
相違させることができる。測定中、目盛素子3とピック
アップ装置5は矢印12で示す方向に相対的に移動する。
2つの検出素子4及び6は図平面の上方及び下方にそれ
ぞれ位置する。
素子3はストライプ状部分11から成る増分トラック9を
具える。連続する2つのストライプ状部分11の幅により
ピッチ17が決まる。ここでも目盛素子3の移動方向を矢
印12で示してある。
る。このトラック13もストライプ状部分15から成る。増
分トラックに対し慣例の如く、ストライプ状部分11の中
心線10は増分トラック9上に互に等しい間隔に位置す
る。図示の例では絶対トラック13上にストライプ状部分
15も等間隔に位置する。両トラック9,13ともストライ
プ状部分11, 15は長手方向及び目盛素子3の移動方向12
と直交する方向に延在する。ストライプ状部分11, 15は
移動方向12に対し異なる角度で延在させることもでき
る。
上の位置に依存すると共に検出素子4,6のセンサ8で
検出可能な特性を分布させる。トラック9,13及び測定
装置全体の構成を簡単にするには、この検出可能特性は
本実施例のように二価特性とするのが好適である。従っ
て、例えば反射性又は非反射性、透明性又は不透明性、
磁化状態、導電性又は非導電性のような特性が特にこの
目的のために好適である。色に関する二価特性は黒及び
白とすることができる。他の可能な例としてはカラー像
内のグレー値に対応する所定の特性を大きく又は小さく
存在させことができる。更に、検出可能特性は多数の異
なる色から成る多価特性とすることもできる。
間の検出可能特性の分布は、各ストライプ状部分11がそ
のすぐ隣りのストライプ状部分の特性と異なる特性を有
するようにする。絶対トラック13上ではストライプ状部
分15間に、検出可能特性の存在/不存在を擬ランダムに
分布させる。擬ランダムに分布とは、ピックアップ装置
5が増分トラック9の1ピッチ17に亘り移動すると、各
ピッチごとに特定のコードを常に発生する分布を意味す
る。このピッチごとの特定コードの発生と、増分トラッ
ク9の走査により得られるピッチ内の絶対値測定との組
み合わせにより位置の絶対測定値が得られる。本実施例
では、絶対トラック13のストライプ状部分15は増分トラ
ック9のストライプ状部分11と同一の幅を有する。しか
し、これは不可欠の要件ではない。増分トラック9の1
ピッチに亘る移動が唯一のコードを発生しなければなら
ない要件は、絶対トラック13のストライプ状部分15の幅
が増分トラック9のストライプ状部分11の幅の2倍のと
きでも満足させることができる。
射性に関するものである場合には、目盛素子3上のトラ
ック9,13を照明するようにする。この場合の第1の可
能な例では各トラック9,13を別々の光源19で照明す
る。第2の可能な例では各トラック9,13の区域に光偏
向素子21(図1)を設け、単一の光源19からの光をこれ
ら素子21により各トラック9,13に導いて照明する。光
偏向素子21は、例えばプリズムとすることができる。光
源19は、例えば発光ダイオードとすることができる。光
源19及び偏向素子21はピックアップ装置5に剛固に連結
し、従って、これら素子はそれぞれの検出素子4及び6
の区域の、図平面の下方及び上方に位置する。
射した後これらトラック9,13がピックアップ装置5の
一部を形成する検出素子4,6により検出される。検出
可能特性が光透過性に関するものであるときは、目盛素
子3を照明光学系19, 21とピックアップ装置5との間に
位置させる。反射性の場合には、照明光学系19, 21とピ
ックアップ装置5を目盛素子3の同一側に位置させる。
国特許第3973119 号明細書に記載されているような線状
ダイオードの列から成るマルチフォトセルとすることが
できる。絶対トラック13の検出素子も、例えば線状ダイ
オードの列又は光感知センサのアレー (例えばテキサス
インスッルメント社のタイプナンバ TC103) とするこ
とができる。
を具えるものとする。この数により、擬ランダム分布を
発生させるために二価特性のストライプ状部分15の系列
において実現し得る組合せの数が決まる。このような擬
ランダム分布は、例えば「 SIAM Review , Vol. 24, N
o.2」1982年4月、のハロルド フレドリクセンの論文
“A Survey of full length non-inear shiftregister
cycle algorism ”から既知の組合せ数列により発生さ
せることができる。このような組合せ数列の長さは、
得るn個の数の集合の実現し得る全組合せを含む連続数
列である。この数列の長さはnが大きくなるにつれて増
大する。検出可能特性が2価特性であり且つ検出素子6
が22個のセンサを具える場合にはk=2及びn=22であ
る。
方法を一数値例に基づいて説明する。例えば、12.8mの
長さを有する測定定規に 0.2mm(=ピッチ17) ごとに唯
一のコードを設ける必要がある場合には、64,000個の異
なるコードを存在させる必要がある。しかし、22個のセ
ンサ及び二価特性を用いると前記数列はこれより多数の
組合せを含む。必要に応じ、この数列から 64,000 個の
連続した数を選択することができ、22個の数の集合に所
定の条件を課すことができる。この条件としては、例え
ば絶対トラック13の活性ストライプ状部分の数に関し下
限値を課すことができ、擬ランダム分布の検出誤りを検
出及び訂正可能にするのも望ましい。
き説明する。上記の式から原理的に16の組合せが可能で
ある。0又は1を最高2回連続させてもよいという要件
により次の数列: が発生する。他の実現可能な数列は である。これは1集合当りの数の選択が数列の長さに影
響することを証明している。
信号と絶対トラック13と関連する検出素子6からの信号
とを信号処理装置7において既知の方法で組み合わせて
絶対測定値を形成し、これを並列又は直列出力信号に変
換する。検出素子4,6及び信号処理装置7(の一部)
を共通のプリント回路板(図示せず)上に一緒に取付け
ることができる。
ク、即ち増分トラック9と絶対トラック13とから成る。
増分トラック9をピックアップ装置5により多数のピッ
チ17に亘って同時に検出している。これはパターン内の
小さな不規則変化を平均化により除去するために行なっ
ている。しかし、このことは、このようなピックアップ
装置5は絶対トラックを検出することもできることを意
味する。この結果、増分トラック9と絶対トラック13と
を合成して単一の複合トラック23を構成することもでき
る。この場合には、複合トラック内に存在する増分情報
を認識し得るように十分な数のピッチ、例えば75%のピ
ッチを存在させる必要がある。図3は複合トラック23の
一列を示す。この場合には2つの検出素子4,6を必要
に応じ単一の検出素子と置き換えることができる。しか
し、機能上では2つのトラックが連続して存在している
ものとみなせる。以上、本発明を直線移動の測定につい
て説明したが、本発明は角度測定にも適用し得ること明
らかである。
面図である。
設けられた目盛素子の一実施例を示す平面図である。
子の一実施例を示す平面図である。
Claims (7)
- 【請求項1】 可動素子の絶対位置を測定する装置であ
って、複数のトラックを有する目盛素子と、該トラック
の数と同数の検出素子を具えるピックアップ装置とを具
え、前記検出素子は複数のセンサを具え、前記トラック
は増分トラックと絶対トラックとを具え、これらトラッ
クは一連のストライプ状部分として形成され、各ストラ
イプ状部分は目盛素子上の位置に依存すると共に前記セ
ンサで検出可能な特性を有し、更に絶対トラックと関連
する検出素子のセンサからの信号と増分トラックと関連
する検出素子のセンサからの信号との組合せから可動素
子の絶対位置を決定する信号処理装置を具えた位置測定
装置において、前記絶対トラックの検出可能特性を前記
ストライプ状部分間に擬ランダムに分布させ、増分トラ
ックの各ピッチに対する信号の組合せが前記ピッチに対
し特定の値を有するようにしたことを特徴とする絶対位
置測定装置。 - 【請求項2】 絶対トラックのストライプ状部分の中心
線が互いに同一の間隔に位置することを特徴とする請求
項1記載の装置。 - 【請求項3】 検出可能特性は二価特性であることを特
徴とする請求項1又は2記載の装置。 - 【請求項4】 光源を具え、該光源の光ビームを前記ト
ラックの数に対応する数の光偏向素子に入射させ、これ
ら光偏向素子をそれぞれのトラックを照明するようにそ
れぞれのトラックの区域に配置したことを特徴とする請
求項1〜3の何れかに記載の装置。 - 【請求項5】 絶対トラックと関連する検出素子は光感
知センサのアレーを具えるものであることを特徴とする
請求項1〜4の何れかに記載の装置。 - 【請求項6】 目盛素子上の増分トラックと絶対トラッ
クとを合成して複合トラックにしたことを特徴とする請
求項1〜5の何れかに記載の装置。 - 【請求項7】 請求項1、2又は6の何れかに記載の測
定装置に用いるのに好適な目盛素子。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL91200530:3 | 1991-03-12 | ||
NL912005303 | 1991-03-12 | ||
EP91200530 | 1991-03-12 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0571984A true JPH0571984A (ja) | 1993-03-23 |
JP3308579B2 JP3308579B2 (ja) | 2002-07-29 |
Family
ID=8207549
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP05072792A Expired - Lifetime JP3308579B2 (ja) | 1991-03-12 | 1992-03-09 | 絶対位置測定装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5279044A (ja) |
EP (1) | EP0503716B1 (ja) |
JP (1) | JP3308579B2 (ja) |
DE (1) | DE69222072T2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006145523A (ja) * | 2004-11-19 | 2006-06-08 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 第一の物体の第二の物体に対する空間的な位置の測定装置及び方法 |
EP2866001A1 (en) | 2013-09-03 | 2015-04-29 | Mitutoyo Corporation | Photoelectric encoder |
DE102016015225A1 (de) | 2015-12-22 | 2017-06-22 | Mitutoyo Corporation | Codiereinrichtung |
JP2019511723A (ja) * | 2016-04-14 | 2019-04-25 | グラジュエート スクール アット シェンチェン、 ツィングワ ユニバーシティー | 絶対式の格子スケール |
US11105656B2 (en) | 2019-04-03 | 2021-08-31 | Mitutoyo Corporation | Optical encoder using two different wavelengths to determine an absolute and incremental output for calculating a position |
Families Citing this family (75)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5294793A (en) * | 1991-08-23 | 1994-03-15 | Rsf-Elektronik Gesellschaft M.B.H. | System for measuring lengths or angles with a high-velocity movable scanning unit |
BE1007513A3 (nl) * | 1993-09-13 | 1995-07-18 | Philips Electronics Nv | Meetinrichting voor het bepalen van de verplaatsing van een beweegbaar voorwerp. |
DE4341190C2 (de) * | 1993-12-03 | 1995-09-07 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
DE19641035C2 (de) * | 1996-10-04 | 1999-09-16 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Vorrichtung und Verfahren zur Positionsmessung |
US5841274A (en) * | 1997-01-29 | 1998-11-24 | Mitutoyo Corporation | Induced current absolute position transducer using a code-track-type scale and read head |
EP0896206B1 (de) * | 1997-08-07 | 2002-12-11 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Abtasteinheit für eine optische Positionsmesseinrichtung |
GB9807020D0 (en) * | 1998-04-02 | 1998-06-03 | Bamford Excavators Ltd | A method of marking a mechanical element, an encoding scheme, a reading means for said marking and an apparatus for determining the position of said element |
DE19818654A1 (de) * | 1998-04-25 | 1999-11-04 | Hengstler Gmbh | Sensoreinheit für Gebersysteme |
US6545262B1 (en) * | 1999-06-04 | 2003-04-08 | Dr. Johannes Heidenhein Gmbh | Position measuring system |
GB9926571D0 (en) * | 1999-11-11 | 2000-01-12 | Renishaw Plc | Absolute position measurement |
JP2001208503A (ja) * | 2000-01-25 | 2001-08-03 | Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd | リニアアクチュエータの絶対位置検出装置 |
US6686188B2 (en) * | 2000-05-26 | 2004-02-03 | Amersham Plc | Polynucleotide encoding a human myosin-like polypeptide expressed predominantly in heart and muscle |
US6656700B2 (en) | 2000-05-26 | 2003-12-02 | Amersham Plc | Isoforms of human pregnancy-associated protein-E |
DE10029380A1 (de) * | 2000-06-20 | 2002-01-03 | Pwb Ruhlatec Ind Prod Gmbh | Taktlineal oder Taktscheibe |
US20020123474A1 (en) * | 2000-10-04 | 2002-09-05 | Shannon Mark E. | Human GTP-Rho binding protein2 |
GB0109057D0 (en) * | 2001-04-11 | 2001-05-30 | Renishaw Plc | Absolute postition measurement |
GB0200575D0 (en) * | 2002-01-11 | 2002-02-27 | Rls Merilna Tehnika D O O | Encoder with reference marks |
JP3622960B2 (ja) * | 2002-02-20 | 2005-02-23 | 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ | 投影型エンコーダ |
US6664535B1 (en) | 2002-07-16 | 2003-12-16 | Mitutoyo Corporation | Scale structures and methods usable in an absolute position transducer |
US6867412B2 (en) * | 2002-11-12 | 2005-03-15 | Mitutoyo Corporation | Scale structures and methods usable in an absolute position transducer |
DE602005002287T2 (de) * | 2004-03-17 | 2008-05-29 | Canon K.K. | Optischer Encoder |
DE102006048628A1 (de) * | 2006-10-13 | 2008-04-17 | Siemens Ag | Messelement mit einer als Maßverkörperung fungierenden Spur und korrespondierendes, mit einem solchen Messelement ausführbares Messverfahren |
FR2921480B1 (fr) * | 2007-09-20 | 2010-03-05 | Renault Sas | Capteur de position absolue a lecture serie |
DE102008055680A1 (de) * | 2008-10-28 | 2010-04-29 | Balluff Gmbh | Positons-/Wegmesssystem mit kodiertem Maßkörper |
GB0819767D0 (en) | 2008-10-28 | 2008-12-03 | Renishaw Plc | Absolute encoder setup indication |
US7608813B1 (en) | 2008-11-18 | 2009-10-27 | Mitutoyo Corporation | Scale track configuration for absolute optical encoder including a detector electronics with plurality of track detector portions |
EP2199752B1 (en) * | 2008-12-17 | 2019-08-28 | Fagor, S.Coop. | Absolute position encoder |
US8878526B2 (en) | 2009-01-27 | 2014-11-04 | Renishaw Plc | Magnetic encoder apparatus |
DE102009016663A1 (de) * | 2009-03-31 | 2010-10-07 | Balluff Gmbh | Positions-/Wegmesssystem |
GB0906258D0 (en) | 2009-04-08 | 2009-05-20 | Renishaw Plc | Position encoder apparatus |
GB0906257D0 (en) | 2009-04-08 | 2009-05-20 | Renishaw Plc | Position encoder apparatus |
US8094323B2 (en) | 2009-06-26 | 2012-01-10 | Mitutoyo Corporation | Displacement encoder including phosphor illumination source |
US8309906B2 (en) | 2010-06-10 | 2012-11-13 | Mitutoyo Corporation | Absolute optical encoder with long range intensity modulation on scale |
CN101922947A (zh) * | 2010-08-20 | 2010-12-22 | 西南交通大学 | 一种光电编码器 |
US9651412B2 (en) * | 2011-01-31 | 2017-05-16 | Sage Vision Inc. | Bottle dispenser having a digital volume display |
US20140123458A1 (en) | 2011-07-06 | 2014-05-08 | Renishaw Plc | Method of manufacture and apparatus therefor |
DE102011053309A1 (de) | 2011-09-06 | 2013-03-07 | Balluff Gmbh | Positions-/Wegmesssystem |
CN102519496B (zh) * | 2011-11-25 | 2014-04-16 | 上海交通大学 | 直线运动检测装置 |
US8941052B2 (en) | 2011-12-23 | 2015-01-27 | Mitutoyo Corporation | Illumination portion for an adaptable resolution optical encoder |
US9018578B2 (en) | 2011-12-23 | 2015-04-28 | Mitutoyo Corporation | Adaptable resolution optical encoder having structured illumination and spatial filtering |
US9029757B2 (en) | 2011-12-23 | 2015-05-12 | Mitutoyo Corporation | Illumination portion for an adaptable resolution optical encoder |
US9080899B2 (en) | 2011-12-23 | 2015-07-14 | Mitutoyo Corporation | Optical displacement encoder having plural scale grating portions with spatial phase offset of scale pitch |
US20130204574A1 (en) * | 2012-02-07 | 2013-08-08 | Amit Agrawal | Method for Estimating Positions Using Absolute Encoders |
GB201204066D0 (en) | 2012-03-08 | 2012-04-18 | Renishaw Plc | Magnetic encoder apparatus |
ES2546989T3 (es) | 2012-06-13 | 2015-09-30 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Dispositivo de medición de posición |
US20140002642A1 (en) | 2012-06-15 | 2014-01-02 | Elmar SWIEGOT | Absolute position detection |
JP6199596B2 (ja) | 2012-12-17 | 2017-09-20 | 株式会社ミツトヨ | 光学エンコーダ用の照明部 |
EP2743650B1 (en) | 2012-12-17 | 2017-05-31 | Mitutoyo Corporation | Illumination portion for an adaptable resolution optical encoder |
DE102015209716B4 (de) | 2014-05-29 | 2023-04-20 | Mitutoyo Corporation | Optischer Codierer mit anpassbarer Auflösung |
US9267819B2 (en) | 2014-06-12 | 2016-02-23 | Mitutoyo Corporation | Absolute position encoder scale having plates alternating with varying recesses |
US9435663B2 (en) | 2014-08-22 | 2016-09-06 | Mitutoyo Corporation | Absolute position encoder scale having layers in a stacked configuration |
US9612136B1 (en) | 2015-09-30 | 2017-04-04 | Mitutoyo Corporation | Absolute position encoder including a redundant spatial phase signal |
DE102015121474A1 (de) * | 2015-12-09 | 2017-06-14 | Balluff Gmbh | Absolut messendes Längenmesssystem und Verfahren zu seinem Betrieb |
US11826522B2 (en) | 2016-06-01 | 2023-11-28 | Becton, Dickinson And Company | Medical devices, systems and methods utilizing permanent magnet and magnetizable feature |
US20170347914A1 (en) | 2016-06-01 | 2017-12-07 | Becton, Dickinson And Company | Invasive Medical Devices Including Magnetic Region And Systems And Methods |
US11413429B2 (en) | 2016-06-01 | 2022-08-16 | Becton, Dickinson And Company | Medical devices, systems and methods utilizing permanent magnet and magnetizable feature |
US9958294B2 (en) | 2016-06-30 | 2018-05-01 | Mitutoyo Corporation | Absolute position encoder including scale with varying spatial characteristic and utilizing Fourier transform or other signal processing |
US9772202B1 (en) | 2016-07-01 | 2017-09-26 | Mitutoyo Corporation | Absolute position encoder combining signals of two widely separated wavelengths |
US10077991B2 (en) | 2016-09-27 | 2018-09-18 | Mitutoyo Corporation | Optical encoder configured to mitigate undesired interfering light components |
US10422666B2 (en) | 2016-12-23 | 2019-09-24 | Mitutoyo Corporation | Electronic position encoder and method for reducing short range errors |
US10295648B2 (en) | 2017-06-29 | 2019-05-21 | Mitutoyo Corporation | Contamination and defect resistant optical encoder configuration including a normal of readhead plane at a non-zero pitch angle relative to measuring axis for providing displacement signals |
US10168189B1 (en) | 2017-06-29 | 2019-01-01 | Mitutoyo Corporation | Contamination and defect resistant optical encoder configuration for providing displacement signal having a plurality of spatial phase detectors arranged in a spatial phase sequence along a direction transverse to the measuring axis |
US10302466B2 (en) | 2017-06-29 | 2019-05-28 | Mitutoyo Corporation | Contamination and defect resistant optical encoder configuration including first and second illumination source diffraction gratings arranged in first and second parallel planes for providing displacement signals |
US10648838B2 (en) | 2017-06-29 | 2020-05-12 | Mitutoyo Corporation | Contamination and defect resistant rotary optical encoder configuration including a rotary scale with yawed scale grating bars and structured illumination generating arrangement with a beam deflector configuration |
US10295378B2 (en) | 2017-06-29 | 2019-05-21 | Mitutoyo Corporation | Contamination and defect resistant optical encoder configuration outputting structured illumination to a scale plane for providing displacement signals |
US10724877B2 (en) | 2017-10-23 | 2020-07-28 | Mitutoyo Corporation | Compact pseudorandom scale and read head for an inductive type absolute position encoder |
DE102018251727A1 (de) | 2017-12-29 | 2019-07-04 | Mitutoyo Corporation | Verschmutzungs- und defektbeständige optische Drehpositionsgeberkonfiguration zum Bereitstellen von Verschiebungssignalen |
EP4012349B1 (de) * | 2020-12-08 | 2023-03-15 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Abtastelement und induktive positionsmesseinrichtung mit diesem abtastelement |
EP4384778A1 (en) | 2021-08-12 | 2024-06-19 | Renishaw PLC | Position encoder apparatus |
EP4134633A1 (en) | 2021-08-12 | 2023-02-15 | Renishaw PLC | Position encoder apparatus |
EP4390325A1 (en) | 2022-12-20 | 2024-06-26 | Renishaw PLC | Encoder apparatus |
EP4390327A1 (en) | 2022-12-20 | 2024-06-26 | Renishaw PLC | Encoder apparatus |
EP4390326A1 (en) | 2022-12-20 | 2024-06-26 | Renishaw PLC | Encoder apparatus |
WO2024134152A1 (en) | 2022-12-20 | 2024-06-27 | Renishaw Plc | Encoder apparatus |
EP4390328A1 (en) | 2022-12-21 | 2024-06-26 | Renishaw plc | Encoder apparatus |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59501725A (ja) * | 1982-09-01 | 1984-10-11 | ロ−ズマウント エンジニアリング コムパニ− リミテツド | 位置測定装置 |
JPS6275416U (ja) * | 1985-10-30 | 1987-05-14 | ||
JPS62291507A (ja) * | 1986-05-22 | 1987-12-18 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング | 測定装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3816003A (en) * | 1973-03-12 | 1974-06-11 | Dynamics Res Corp | Sealed linear encoder |
GB2126444B (en) * | 1982-09-01 | 1986-03-19 | Rosemount Eng Co Ltd | Position measuring apparatus |
GB2183951B (en) * | 1985-11-28 | 1990-05-23 | Duracell Int | Displacement measuring apparatus |
US4786891A (en) * | 1986-04-08 | 1988-11-22 | Yokogawa Electric Corporation | Absolute encoder for linear or angular position measurements |
SE460928B (sv) * | 1986-10-13 | 1989-12-04 | Johansson Ab C E | Absolutmaetande skalsystem |
-
1992
- 1992-02-18 US US07/837,516 patent/US5279044A/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-03-04 DE DE69222072T patent/DE69222072T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-03-04 EP EP92200621A patent/EP0503716B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-03-09 JP JP05072792A patent/JP3308579B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59501725A (ja) * | 1982-09-01 | 1984-10-11 | ロ−ズマウント エンジニアリング コムパニ− リミテツド | 位置測定装置 |
JPS6275416U (ja) * | 1985-10-30 | 1987-05-14 | ||
JPS62291507A (ja) * | 1986-05-22 | 1987-12-18 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング | 測定装置 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006145523A (ja) * | 2004-11-19 | 2006-06-08 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 第一の物体の第二の物体に対する空間的な位置の測定装置及び方法 |
EP2866001A1 (en) | 2013-09-03 | 2015-04-29 | Mitutoyo Corporation | Photoelectric encoder |
US9383231B2 (en) | 2013-09-03 | 2016-07-05 | Mitutoyo Corporation | Photoelectric encoder having an interference pattern signal processing unit detects the pseudo-random data of the absolute pattern of an absolute scale |
DE102016015225A1 (de) | 2015-12-22 | 2017-06-22 | Mitutoyo Corporation | Codiereinrichtung |
US10190893B2 (en) | 2015-12-22 | 2019-01-29 | Mitutoyo Corporation | Encoder |
DE102016015225B4 (de) | 2015-12-22 | 2022-08-11 | Mitutoyo Corporation | Codiereinrichtung |
JP2019511723A (ja) * | 2016-04-14 | 2019-04-25 | グラジュエート スクール アット シェンチェン、 ツィングワ ユニバーシティー | 絶対式の格子スケール |
US11105656B2 (en) | 2019-04-03 | 2021-08-31 | Mitutoyo Corporation | Optical encoder using two different wavelengths to determine an absolute and incremental output for calculating a position |
DE102020204280B4 (de) | 2019-04-03 | 2024-03-07 | Mitutoyo Corporation | Optische Kodiervorrichtung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0503716A1 (en) | 1992-09-16 |
JP3308579B2 (ja) | 2002-07-29 |
DE69222072T2 (de) | 1998-03-05 |
DE69222072D1 (de) | 1997-10-16 |
US5279044A (en) | 1994-01-18 |
EP0503716B1 (en) | 1997-09-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3308579B2 (ja) | 絶対位置測定装置 | |
US5235181A (en) | Absolute position detector for an apparatus for measuring linear angular values | |
US4631519A (en) | Position measuring apparatus | |
US6765195B1 (en) | Method and apparatus for two-dimensional absolute optical encoding | |
US6476405B1 (en) | Measurement apparatus having a diffraction grating structure | |
US5539993A (en) | Location scale and optical reading sensor for reading the location scale | |
EP0042179B1 (en) | Encoder | |
US4712100A (en) | Coordinate inputting apparatus using multiple sensors | |
US4677293A (en) | Photoelectric measuring system | |
CN104864809B (zh) | 一种基于视觉的位置检测编码靶标及系统 | |
EP0843159A2 (en) | Opto-electronic scale-reading apparatus | |
US5204524A (en) | Two-dimensional optical encoder with three gratings in each dimension | |
JP2004163435A (ja) | 絶対位置検出装置および測定方法 | |
GB2126444A (en) | Position measuring apparatus | |
JP2004053604A (ja) | 絶対位置検出装置および測定方法 | |
JP4233814B2 (ja) | 位置測定装置および位置測定装置の動作方法 | |
EP0419172A1 (en) | Optical encoders | |
CN100445695C (zh) | 用于标尺标记的读出器 | |
GB2353421A (en) | Determining the position between two parts which move relative to each other | |
JPH02129518A (ja) | 光電位置測定装置 | |
US6828548B1 (en) | Optical displacement measuring device | |
US20050088667A1 (en) | Absolute position encoder requiring less than one encoding track per bit | |
JP6873760B2 (ja) | 光学式の距離センサおよび光学式の距離センサを備える位置測定装置 | |
US6822219B1 (en) | Timing device | |
US7123354B2 (en) | Optical position measuring device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080517 Year of fee payment: 6 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080517 Year of fee payment: 6 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090517 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090517 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100517 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100517 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110517 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120517 Year of fee payment: 10 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |