JP2001208503A - リニアアクチュエータの絶対位置検出装置 - Google Patents

リニアアクチュエータの絶対位置検出装置

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JP2001208503A
JP2001208503A JP2000015440A JP2000015440A JP2001208503A JP 2001208503 A JP2001208503 A JP 2001208503A JP 2000015440 A JP2000015440 A JP 2000015440A JP 2000015440 A JP2000015440 A JP 2000015440A JP 2001208503 A JP2001208503 A JP 2001208503A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 リニアアクチュエータの長ストローク範囲で
の絶対リニア位置を検出可能な廉価な絶対位置検出装置
を提案すること。 【解決手段】 絶対位置検出装置10では、リニアアク
チュエータ1のモータ出力軸2aに取り付けられている
ロータリエンコーダ5の出力からモータ1回転毎の絶対
回転位置を表わす回転アブソリュート信号Aを得る。ま
た、リニアアクチュエータ1の出力軸3に取り付けた磁
気誘導型センサからなるリニアアブソリュートセンサ6
の出力から、出力軸3の軸線方向3aの検出1ピッチ毎
の絶対リニア位置を表わすリニアアブソリュート信号B
を得る。モータ1回転毎の出力軸3の移動距離Lpと、
リニアアブソリュートセンサの検出ピッチSpとが異な
る値に設定されているので、aLp=bSpを満たすま
での間は、出力軸3の移動位置毎に現れるアブソリュー
ト信号A、Bの組み合わせとして同一のものが発生しな
い。よって、これらの信号の組み合わせに基づき、長ス
トローク範囲での絶対リニア位置検出が可能である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はリニアアクチュエー
タの軸線方向の絶対位置を検出する絶対位置検出装置に
関し、特に、簡単な構成で、長ストローク範囲に亘り絶
対位置を検出可能な絶対位置検出装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】リニアアクチュエータの軸位置を絶対検
出する方法としては、リニアアブソリュートセンサをア
クチュエータ軸に取り付ける方法、およびボールねじが
形成されているアクチュエータ回転軸にマルチターン型
の回転アブソリュートセンサを取り付ける方法が知られ
ている。
【0003】ここで、一般的なリニアアクチュエータ
は、本発明の実施例を示す図1に示す構成となってい
る。この図に示すように、リニアアクチュエータ1は、
モータ2と、出力軸3と、モータ2の出力回転を出力軸
3の直線運動に変換する変換機構4とを有している。変
換機構4は、モータ出力軸2aに連結されたボールねじ
41と、出力軸3の中心を貫通する状態に形成したボー
ルナット42と、出力軸3を軸線方向3aにのみ移動可
能に支持しているスプライン43から構成されている。
【0004】かかる構成のリニアアクチュエータ1の出
力軸3の絶対リニア位置を検出するために前者のリニア
アブソリュートセンサを用いる方法では、アクチュエー
タ出力軸3にリニアエンコーダを取り付ける構成とされ
る。
【0005】この場合、リニアアブソリュートセンサと
して磁気誘導型センサを用いることができる。磁気誘導
型センサは、検出1ピッチの範囲内で絶対位置検出が可
能であり、回転型および直動型の双方に適用できる。
【0006】図2には、磁気誘導型センサをリニアアク
チュエータ1の出力軸3に組み込んだ場合の例を示して
ある。この図に示すように、磁気誘導型センサ6は、ア
クチュエータ出力軸3において軸線方向3aに沿って一
定のピッチで形成された磁気パターン61と、その周囲
を取り囲む状態に配置した検出コイル62を備えてい
る。この場合、検出の1ピッチは磁気パターン61の1
ピッチに相当し、この1ピッチ間では軸線方向の絶対位
置を検出できる。一般にその分解能は15ないし16ビ
ットであるので、例えば、1ピッチを16mmとする
と、約0.25ないし0.5ミクロンの分解能を実現で
きる。
【0007】これに対して、リニアアクチュエータ1の
出力軸3の絶対リニア位置を検出するために後者の回転
アブソリュートセンサを用いる方法では、モータ2の出
力軸2aに取り付けられているモータ用エンコーダ5に
マルチターン型のアブソリュートセンサを取り付ける構
成とされる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、リニア
アブソリュートセンサを用いる方法では、その分解能を
高めるとそれに比例して測定距離が短くなってしまう。
また、高分解能で測定距離が長い(長ストローク型の)
リニアアブソリュートセンサは一般に極めて高価なもの
になってしまう。
【0009】ここで、リニアアブソリュートセンサとし
て磁気誘導型センサを用いる場合において、長い距離間
で絶対位置を検出したい場合には、検出ピッチが何ピッ
チ目であるのかを検出すればよい。通常は、検出コイル
の出力信号に基づき、何ピッチ目であるかをカウンタに
よりカウントし、カウント値をバッテリバックアップ型
のメモリに常に記憶保持するようにしている。しかしな
がら、かかる構成は、測定の信頼性がバッテリの信頼性
に依存するので好ましくなく、また、バッテリやカウン
タを付設する必要があるので価格も高くなってしまう。
【0010】一方、後者の回転アブソリュートセンサを
用いる方法では、リニア型に比べてセンサ寸法が大き
く、また、変換機構を構成しているボールねじのバック
ラッシに起因した測定誤差が不可避的に発生してしま
う。
【0011】本発明の課題は、このような従来における
長ストロークに亘り絶対位置を検出可能なリニアアクチ
ュエータの絶対位置検出装置の問題点に着目し、簡単な
構成で、しかも廉価に、長ストロークに亘る絶対位置検
出を行うことのできるリニアアクチュエータの絶対位置
検出装置を提案することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明のリニアアクチュ
エータの絶対位置検出装置では、リニアアクチュエータ
の駆動源であるモータ出力軸に取り付けられているエン
コーダに着目し、このエンコーダのエンコード出力と、
アクチュエータ出力軸に取り付けたリニアアブソリュー
トセンサの出力とを利用することにより、長ストローク
範囲、好ましくは全ストローク範囲での絶対位置検出を
可能にしている。勿論、モータ出力軸に新たに1回転毎
の絶対回転位置を検出可能な回転アブソリュートセンサ
を取付け、ここから得られる出力を利用することも可能
である。
【0013】詳細に説明すると、本発明は、モータと、
出力軸と、前記モータの出力回転を前記出力軸の直線運
動に変換する変換機構とを有するリニアアクチュエータ
の絶対リニア位置を検出する絶対位置検出装置におい
て、前記モータ1回転毎の絶対回転位置を検出する回転
アブソリュートセンサと、前記出力軸の一定の移動範囲
内での絶対リニア位置を検出するリニアアブソリュート
センサと、前記回転アブソリュートセンサの出力および
前記リニアアブソリュートセンサの出力の組み合わせに
基づき、前記出力軸の絶対リニア位置を算出する絶対位
置算出手段とを有し、前記リニアアブソリュートセンサ
による絶対リニア位置を検出可能な前記出力軸の移動範
囲が、前記変換機構によるモータ1回転当たりの前記出
力軸の移動距離とは異なる値に設定されていることを特
徴としている。
【0014】
【発明の実施の形態】以下に、図1ないし図3を参照し
て、本発明を適用したリニアアクチュエータの絶対位置
検出装置の実施例を説明する。
【0015】図1には、本例のリニアアクチュエータの
絶対位置検出装置の概略構成を示してある。リニアアク
チュエータ1は、前述したように、モータ2と、出力軸
3と、モータ2の出力回転を出力軸3の直線運動に変換
する変換機構4とを有しており、本例の変換機構4は、
モータ出力軸2aに連結されたボールねじ41と、出力
軸3の中心を貫通する状態に形成したボールナット42
と、出力軸3を軸線方向3aにのみ移動可能に支持して
いるスプライン43から構成されている。
【0016】また、マイクロコンピュータを中心に構成
される駆動制御回路7を備えており、この駆動制御回路
7は、外部指令に基づきモータ2を駆動して、出力軸3
を目標位置に移動させる制御を行う。出力軸3の移動制
御は、絶対位置検出装置10から得られる出力軸3の絶
対リニア位置情報3Sに基づきフィードバック制御によ
り行われる。
【0017】絶対位置検出装置10は、モータ2に取り
付けられているロータリエンコーダ5からの出力信号
と、出力軸3に取り付けた磁気誘導型のリニアアブソリ
ュートセンサ6(図2参照)からの信号に基づき、出力
軸3の軸線方向3aにおける絶対リニア位置を算出し、
算出した絶対リニア位置情報3Sを駆動制御回路7に供
給する。
【0018】図3を参照して、絶対位置検出装置10に
おける絶対リニア位置の算出方法を説明する。図3
(a)は、モータ出力軸2aに取り付けられているロー
タリエンコーダ5から得られる出力に基づき得られるモ
ータ1回転毎の絶対回転位置を示す回転アブソリュート
信号Aである。図3(b)は、アクチュエータ出力軸3
に取り付けたリニアアブソリュートセンサ6の出力に基
づき得られるリニアストローク1ビッチ毎の絶対リニア
位置を示すアブソリュート信号である。これらの信号
A、Bは、各センサ5、6からの出力信号に基づき、絶
対位置検出装置10に組み込まれている信号処理回路
(図示せず)において生成される。
【0019】モータ2の1回転毎に、ボールねじ41の
リードピッチに従った移動量でアクチュエータ出力軸3
は軸線方向に往復直線運動する。ここで、モータ1回転
毎の絶対回転位置を示す回転アブソリュート信号Aと、
リニアストローク1ピッチ毎の絶対リニア位置を示すリ
ニアアブソリュート信号Bの組み合わせについて考察す
る。
【0020】この場合、モータ1回転毎の出力軸3の移
動量をLpとし、リニアアブソリュートセンサによる検
出ピッチ(リニアストローク1ピッチ)をSpとする
と、 Lp≠Sp であれば、2つの信号A、Bを組み合わせると、 aLp=bSp (a,bは任意の係数) になるまでの間の移動区間においては、出力軸3が移動
しても、両方の信号A、Bの組み合わせが同一となる移
動地点は発生しない。
【0021】従って、係数a、bが十分に大きな値であ
れば、2つの信号の組み合わせに基づき、長ストローク
に亘り、出力軸の軸線方向の絶対位置を検出可能なリニ
アアブソリュートセンサを実現できる。
【0022】特に、本例では、モータ1回転毎の絶対回
転位置を、通常モータに取り付けられているロータリエ
ンコーダ5を利用して取得しているので、当該絶対回転
位置を検出するためのセンサを別途、取り付ける必要が
ない。よって、リニアアクチュエータの寸法増加を抑制
でき、また、その価格高騰も抑制できるので好ましい。 (その他の実施の形態)上記の例では、変換機構はボー
ルねじを備えた構成であるが、これ以外の変換機構を備
えたリニアアクチュエータに対しても本発明を同様に適
用可能なことは勿論である。
【0023】また、モータ1回転毎の絶対回転位置を検
出するセンサは、上記例のロータリエンコーダに限定さ
れるものではなく、その他の形式の回転位置検出用のセ
ンサであってもよい。同様に、リニアアブソリュートセ
ンサも磁気誘導型センサに限定されるものではなく、そ
れ以外の検出方式のセンサであってもいい。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のリニアア
クチュエータの絶対位置検出装置では、リニアアクチュ
エータのモータ出力軸に取り付けたエンコーダから得ら
れるモータ1回転毎の絶対回転位置を表わす回転アブソ
リュート信号と、アクチュエータ出力軸に取り付けたリ
ニアアブソリュートセンサから得られるその軸線方向の
検出1ピッチ毎の絶対位置を表わすリニアアブソリュー
ト信号との組み合わせに基づき、リニアアクチュエータ
出力軸の絶対リニア位置を検出するようにしている。
【0025】従って、本発明によれば、簡単な構成で、
価格高騰を招くことなく、リニアアクチュエータの長ス
トローク範囲での絶対リニア位置を検出可能である。
【0026】特に、モータ1回転毎の絶対回転位置を、
モータに搭載されているモータ制御用のエンコーダ出力
を利用して取得している場合には、従来のリニアアブソ
リュートセンサが備わっているリニアアクチュエータに
対して、センサを別途追加することなく、長ストローク
範囲での絶対リニア位置検出を行うことができるので、
装置構成を小型にでき、また、廉価にできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用したリニアアクチュエータの絶対
位置検出装置を示す概略構成図である。
【図2】リニアアクチュエータの出力軸に組み込まれた
磁気誘導型センサを示す説明図である。
【図3】本発明による絶対位置の検出原理を説明するた
めの信号波形図である。
【符号の説明】
1 リニアアクチュエータ 2 モータ 2a モータ出力軸 3 アクチュエータ出力軸 4 変換機構 41 ボールねじ 5 ロータリエンコーダ 6 磁気誘導型センサ(リニアアブソリュートセン
サ) 7 駆動制御回路 10 絶対位置検出装置
フロントページの続き Fターム(参考) 2F063 AA02 BA30 DA05 DD08 EA02 EA03 GA01 JA08 JA10 KA01 KA03 2F077 AA28 CC02 FF03 NN06 NN19 NN24 PP06 QQ17

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 モータと、出力軸と、前記モータの出力
    回転を前記出力軸の直線運動に変換する変換機構とを有
    するリニアアクチュエータの絶対リニア位置を検出する
    絶対位置検出装置において、 前記モータ1回転毎の絶対回転位置を検出する回転アブ
    ソリュートセンサと、前記出力軸の一定の移動範囲内で
    の絶対リニア位置を検出するリニアアブソリュートセン
    サと、 前記回転アブソリュートセンサの出力および前記リニア
    アブソリュートセンサの出力の組み合わせに基づき、前
    記出力軸の絶対リニア位置を算出する絶対位置算出手段
    とを有し、 前記リニアアブソリュートセンサによる絶対リニア位置
    を検出可能な前記出力軸の移動範囲は、前記変換機構に
    よるモータ1回転当たりの前記出力軸の移動距離とは異
    なる値に設定されていることを特徴とするリニアアクチ
    ュエータの絶対位置検出装置。
  2. 【請求項2】 請求項1において、 前記回転アブソリュートセンサは、前記モータ出力軸に
    取り付けられたモータ制御用のエンコーダであることを
    特徴とするリニアアクチュエータの絶対位置検出装置。
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW542778B (en) * 2001-09-14 2003-07-21 Sumitomo Heavy Industries Injection apparatus
ATE391900T1 (de) * 2003-09-22 2008-04-15 Xitact Sa Optische vorrichtung zur bestimmung der longitudinalen position und des drehwinkels eines rotationssymmetrischen körpers
EP1879087A3 (de) * 2006-07-10 2010-08-18 Brose Schliesssysteme GmbH & Co. KG Positionserfassungsanordnung für ein motorisch verstellbares Funktionselement in einem Kraftfahrzeug
DE102006058154A1 (de) * 2006-12-09 2008-06-12 Conti Temic Microelectronic Gmbh Linearantrieb
CN103427539B (zh) * 2010-07-30 2016-04-13 Skf公司 线性促动器
US8716960B2 (en) 2010-07-30 2014-05-06 Aktiebolaget Skf Linear actuator
WO2012013207A1 (en) * 2010-07-30 2012-02-02 Aktiebolaget Skf Linear actuator
US10119842B1 (en) * 2014-08-05 2018-11-06 X Development Llc Encoder design and use
US10116190B2 (en) * 2016-01-05 2018-10-30 Systemantics India Pvt. Ltd. Rotary positioning system
EP3457091B1 (en) * 2017-09-18 2023-04-19 Ratier-Figeac SAS Actuator position sensor mechanism
CN109775567A (zh) * 2019-03-07 2019-05-21 浙江东川自动化科技有限公司 一种起升设备运动距离测试及限位装置
JP7412934B2 (ja) * 2019-09-17 2024-01-15 ナブテスコ株式会社 リニアアクチュエータ、ロッド位置算出方法、位置算出プログラム、及び位置算出装置

Family Cites Families (64)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US511679A (en) * 1893-12-26 buckley
US3159758A (en) * 1962-03-27 1964-12-01 Bendix Corp Rotary motor driven nonjamming linear actuator
FR1577532A (ja) * 1968-06-27 1969-08-08
US3566993A (en) * 1969-03-26 1971-03-02 Nasa Active vibration isolator for flexible bodies
GB1319586A (en) * 1969-10-06 1973-06-06 Findlay Irvine Ltd Displacement transducers
US3660704A (en) * 1970-07-31 1972-05-02 Thomas O Paine Ball-screw linear actuator
US3836835A (en) * 1971-04-19 1974-09-17 B Sawyer Multi axes linear movement positioning system
US3857075A (en) * 1971-07-19 1974-12-24 B Sawyer Positioning device
US4014015A (en) * 1975-05-05 1977-03-22 Devtron Corporation Absolute digital position measurement system
US4276003A (en) * 1977-03-04 1981-06-30 California Institute Of Technology Reciprocating piston pump system with screw drive
FR2388248A1 (fr) * 1977-04-20 1978-11-17 Radiotechnique Compelec Detecteur de position a effet hall
SE411581B (sv) * 1978-06-05 1980-01-14 Andersson Per Anordning for omvandling av roterande rorelse till linjer rorelse
US4318038A (en) * 1978-11-15 1982-03-02 Nippon Electric Co., Ltd. Moving-coil linear motor
US4260914A (en) * 1979-03-28 1981-04-07 Digital Equipment Corporation Differential linear velocity transducer
US4277706A (en) * 1979-04-16 1981-07-07 Nu-Tech Industries, Inc. Actuator for heart pump
DE2940018A1 (de) * 1979-10-03 1981-04-16 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Induktive messeinrichtung, insbesondere fuer eine brennkraftmaschine
US4319236A (en) * 1980-08-07 1982-03-09 Barber-Colman Company Hall effect position detector
JPS57135917U (ja) * 1981-02-20 1982-08-25
US4456934A (en) * 1982-05-10 1984-06-26 Kollmorgen Technologies Corporation Linear positioning system
US4493614A (en) * 1982-10-08 1985-01-15 Lifecare Services, Inc. Pump for a portable ventilator
US4467250A (en) * 1982-12-10 1984-08-21 Newport Corporation Electric motor controls for mechanical actuators
US4514689A (en) * 1982-12-27 1985-04-30 Varian Associates, Inc. High resolution position sensing apparatus with linear variable differential transformers having phase-shifted energizing signals
US4521707A (en) * 1983-12-12 1985-06-04 The Boeing Company Triple redundant electromechanical linear actuator and method
US4697144A (en) * 1984-04-19 1987-09-29 Verify Electronics Limited Position sensing apparatus
US4576057A (en) * 1984-06-13 1986-03-18 Illinois Tool Works Inc. Anti-friction nut/screw drive
US4659969A (en) * 1984-08-09 1987-04-21 Synektron Corporation Variable reluctance actuator having position sensing and control
US4638224A (en) * 1984-08-29 1987-01-20 Eaton Corporation Mechanically shifted position senor for self-synchronous machines
DE3582783D1 (de) * 1984-11-20 1991-06-13 S G Kk Einrichtung zum erfassen der drehlage.
US4629262A (en) * 1985-06-24 1986-12-16 Sperry Corporation Position sensor for magnetic suspension and pointing system
US4642501A (en) * 1985-10-15 1987-02-10 Sperry Corporation Magnetic suspension and pointing system with flux feedback linearization
US4879508A (en) * 1986-04-04 1989-11-07 Mitutoyo Corporation Capacitance-type measuring device for absolute measurement of positions
US4914437A (en) * 1986-12-04 1990-04-03 Regents Of The University Of California Encoder for measuring both incremental and absolute positions of moving elements
JP2600235B2 (ja) * 1987-12-28 1997-04-16 松下電器産業株式会社 位置検出装置
US4992766A (en) * 1988-07-25 1991-02-12 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Linear actuator
GB8826114D0 (en) * 1988-11-08 1988-12-14 The Technology Partnership Ltd Decoding of random sequences
US4964314A (en) * 1989-03-13 1990-10-23 Wilkes Donald F Device for converting rotary motion to linear motion
WO1991000984A1 (en) * 1989-07-07 1991-01-24 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki Seisakusho Absolute value encoder
US5053685A (en) * 1990-01-31 1991-10-01 Kensington Laboratories, Inc. High precision linear actuator
IT1238726B (it) * 1990-05-03 1993-09-01 Alessandro Dreoni Sensore di prossimita' induttivo e trasduttore di posizione con scala passiva
NL9001394A (nl) * 1990-06-19 1992-01-16 P G Van De Veen Consultancy B Bestuurbare demper.
US5444613A (en) * 1990-07-30 1995-08-22 Teac Corporation Device for generating a signal representative of the position of an angularly or linearly moveable member
IT221581Z2 (it) * 1991-01-25 1994-07-22 Ricerca Elettromeccanica Srl Pompa dosatrice in particolare per macchine da caffe'
US5279044A (en) * 1991-03-12 1994-01-18 U.S. Philips Corporation Measuring device for determining an absolute position of a movable element and scale graduation element suitable for use in such a measuring device
DE9104618U1 (ja) * 1991-04-16 1991-07-25 Palige, Erwin, 7951 Kirchdorf, De
US5499547A (en) * 1991-09-04 1996-03-19 Smc Kabushiki Kaisha Actuator
US5557154A (en) * 1991-10-11 1996-09-17 Exlar Corporation Linear actuator with feedback position sensor device
US5438330A (en) * 1991-10-28 1995-08-01 Nikon Corporation Absolute encoder
KR960009860B1 (ko) * 1992-01-31 1996-07-24 다니이 아끼오 복수축의 동기회전장치
JP3041645B2 (ja) * 1992-02-05 2000-05-15 アーエスエム オートマショーン、ゼンゾリック、メステクニック ゲーエムベーハー 複数回転数に亘る回転角度の絶対測定のための角度位置センサ
US5312233A (en) * 1992-02-25 1994-05-17 Ivek Corporation Linear liquid dispensing pump for dispensing liquid in nanoliter volumes
US5327790A (en) * 1992-06-19 1994-07-12 Massachusetts Institute Of Technology Reaction sensing torque actuator
US5434504A (en) * 1993-10-01 1995-07-18 International Business Machines Corporation Position sensors for linear motors including plural symmetrical fluxes generated by a planar drive coil and received by planar sense coils being colinear along an axis of motion
JP2628452B2 (ja) * 1993-12-29 1997-07-09 株式会社スリーデイコンポリサーチ ステッピング・アクチュエータ
US5570016A (en) * 1994-06-01 1996-10-29 General Motors Corporation Method and apparatus for detecting crankshaft angular position
US5754042A (en) * 1994-06-20 1998-05-19 General Motors Corporation Magnetoresistive encoder for tracking the angular position of a rotating ferromagnetic target wheel
US5714883A (en) * 1995-12-20 1998-02-03 General Motors Corporation Rotational sensor including axially adjacent targets one of which having invariant permeability the other having varying permeability as they rotate
US5731702A (en) * 1996-08-21 1998-03-24 General Motors Corporation High accuracy angle based rotation sensor with time based back up
US5752811A (en) * 1996-11-15 1998-05-19 Petro; John P. Linear actuator mechanism for converting rotary to linear movement including one end pulley Line attached to the stationary anchor and other end attached to the take-up drum
US5841274A (en) * 1997-01-29 1998-11-24 Mitutoyo Corporation Induced current absolute position transducer using a code-track-type scale and read head
GB9716658D0 (en) * 1997-08-07 1997-10-15 Lucas Ind Plc Improvements relating to motors
IT1303968B1 (it) * 1998-10-26 2001-03-01 Marposs Spa Trasduttori lineari induttivi .
JP2000205811A (ja) * 1999-01-08 2000-07-28 Alps Electric Co Ltd 回転型センサ
US6518682B2 (en) * 2000-12-04 2003-02-11 Systems, Machines, Automation Components Corporation System monitor for a linear/rotary actuator
DE10117460A1 (de) * 2001-04-06 2002-11-07 Siemens Ag Impulsgekoppelter Transmissionsantrieb

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