JPH0685927U - スプライン軸受 - Google Patents

スプライン軸受

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JPH0685927U
JPH0685927U JP032528U JP3252893U JPH0685927U JP H0685927 U JPH0685927 U JP H0685927U JP 032528 U JP032528 U JP 032528U JP 3252893 U JP3252893 U JP 3252893U JP H0685927 U JPH0685927 U JP H0685927U
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JP
Japan
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spline
magnetized
bearing according
track
spline bearing
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JP032528U
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誠治 武井
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Nippon Thompson Co Ltd
Original Assignee
Nippon Thompson Co Ltd
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Publication date
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    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/04Ball or roller bearings
    • F16C29/06Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load
    • F16C29/068Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with the bearing body fully encircling the guide rail or track
    • F16C29/0692Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with the bearing body fully encircling the guide rail or track the bearing body encircles a guide rail or track of non-circular cross-section, e.g. with grooves or protrusions, i.e. the linear bearing is suited to transmit torque
    • F16C29/0695Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with the bearing body fully encircling the guide rail or track the bearing body encircles a guide rail or track of non-circular cross-section, e.g. with grooves or protrusions, i.e. the linear bearing is suited to transmit torque with balls
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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    • F16C29/005Guide rails or tracks for a linear bearing, i.e. adapted for movement of a carriage or bearing body there along
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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  • General Engineering & Computer Science (AREA)
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  • Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 産業用ロボット等、組み込まれるべき装置の
小型化及びコスト低減に寄与し、しかもスプライン軸及
び外筒の相対的位置決めの信頼性が高いスプライン軸受
を提供すること。 【構成】 スプライン軸1の軌道溝1aに沿って被検知
部21を形成し、外筒2側に該被検知部21を検知する
検知手段25、29、30を設け、以て上記の効果を得
ている。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案はスプライン軸受に関する。
【0002】
【従来の技術】
図9に乃至図11に、従来のスプライン軸受の一例としてボールスプライン
を 示す。
【0003】 図において、スプライン軸1には軌道として直線状の6条の軌道溝1aが長手 方向に沿って互いに平行に形成されており、外筒2が該スプライン軸1に遊嵌さ れている。この外筒2には、上記各軌道溝1aと同数、すなわち6条の転動体循 環路(詳細は後述)が夫々の軌道溝1aに対応して形成されており、転動体とし ての多数のボール3がこれら転動体循環路内に配列収容されている。各ボール3 は、スプライン軸1及び外筒2の相対運動に伴って上記軌道溝1a上を転動しつ つ循環し、スプライン軸1と外筒2との間で荷重を負荷する。
【0004】 外筒2は、円筒状の外筒本体5と、各々円環状に形成されて該外筒本体5の両 端部に内嵌状態にて結合された一対のエンドキャップ6と、該両エンドキャップ 6の外面側に取り付けられたシール7とを有している。但し、図(図1)には片 側のエンドキャップ6及びシール7のみを示している。
【0005】 図1及び図2から明らかなように、前述した転動体循環路は、外筒本体5に夫 々直線的にかつ互いに平行に形成された負荷軌道溝9aすなわち負荷軌道及びリ ターン路9bと、両エンドキャップ6に形成されて該負荷軌道溝9a及びリター ン路9bをこれらの両端部にて連通させる一対の半円状の方向転換路9c(図1 参照)とからなる。なお、上記負荷軌道溝9aがスプライン軸1の軌道溝1aと 対向している。
【0006】 上記した構成のボールスプラインは、例えば産業用ロボットやトランスファマ シンなどにおいて、ラジアル荷重、トルクを同時に負荷させつつ直線的相対運動 を行わせるべき機構部分に用いられる。
【0007】
【考案が解決しようとする課題】
産業用ロボットなどのように極めて高い作動精度が要求される装置の場合、ス プライン軸1及び外筒2の相対的位置を高精度に検出する必要があり、そのため の位置検出手段として図9に示すような長尺のリニアスケール11及びセンサ1 2からなるものが併設される。このリニアスケール11は、例えば、その長手方 向において微細に多極着磁されたもので、例えばスプライン軸1を固定側として 使用する場合、該スプライン軸1に対して固設される。また、センサ12は磁気 センサからなり、外筒2に対して取り付けられる。
【0008】 上記から明らかなように、従来のスプライン軸受においては、スプライン軸及 び外筒の相対的位置を検出すべく設けられる位置検出手段が、これを構成する部 品の占有スペースが大きく、また比較的高価であり、組込まれるべき産業用ロボ ット等の小型化及び低コスト化を図る上で解決されるべき問題となっている。
【0009】 また、上記スプライン軸1は所定のベース部材(図示せず)上にブラケット等 を介して取り付けられ、リニアスケール11についても該ベース部材上にブラケ ット等を介して取り付けられることから、スプライン軸1とリニアスケール11 との間には機構的に、これらベース部材及びブラケット等の多数の部材が介在す ることとなる。よって、上記位置検出手段による検出精度を高く設定しようとも 、これら各部材同士の組付け誤差などが影響してスプライン軸1及び外筒2の相 対的位置決めの信頼性を高めることは必ずしも容易ではなかった。
【0010】 そこで、本考案は上記従来技術の欠点に鑑みてなされたものであって、産業用 ロボット等、組込まれるべき装置の小型化及びコスト低減に寄与し、しかも、ス プライン軸及び外筒の相対的位置決めの信頼性が高いスプライン軸受を提供する ことを目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本考案によるスプライン軸受は、長手方向に軌道が形成されたスプライン軸と 、前記軌道に対応する負荷軌道を含む転動体循環路を有して前記スプライン軸に 対して相対運動自在な外筒と、前記転動体循環路に配列収容されて前記軌道上を 転動しつつ荷重を負荷する複数の転動体とを備え、前記スプライン軸に前記軌道 に沿って被検知部が形成され、外筒側に該被検知部を検知する検知手段が設けら れるように構成したものである。
【0012】
【実施例】
次に、本考案の実施例について、添付図面を参照しつつ説明する。なお、以下 に示す各実施例としてのボールスプラインは、説明する部分以外は図9乃至図1 1に示した従来のボールスプラインと同様に構成されている故、全体としての説 明は省略する。また、以下の説明において、該従来のボールスプラインの構成部 分と同一の構成部分については同じ参照符号を用いている。
【0013】 図1に、本考案の第1実施例としてのボールスプラインを示す。
【0014】 図示のように、当該ボールスプラインにおいては、スプライン軸1の軌道溝1 a間に、該軌道溝1aに沿って被検知部21が形成されている。そして、外筒2 の端部には、該被検知部21を検知する検知手段(後述)を内蔵した小さなケー ス22が取り付けられている。
【0015】 軌道溝1a間の表面には、図2に示すように磁性皮膜24が設けられており、 上記被検知部22は該磁性皮膜24に対して下記のように着磁することにより形 成されている。なお、この磁性皮膜24は、溶融状態の磁性剤をスプライン軸1 の軌道溝1a間に塗布し、固化させてなる。但し、このように磁性皮膜24を形 成することをせず、スプライン軸1自体の表層部分に直接着磁することも可能で ある。また、めっきあるいはスパッタリングにて磁性皮膜を形成してもよい。
【0016】 図3は、軌道溝1aに沿って設けられた上記被検知部21を詳細に示すもので ある。
【0017】 図示のように、被検知部21は、軌道溝1aに沿って多極着磁してなる。この 場合、上記外筒2の位置検知用として、軌道溝1aに沿ってN及びSの磁極を微 細にかつ交互に配設着磁している。図3において、この各々の着磁部については 参照符号26にて示しているが、ハッチング(点による)を付すと共に参照符号 27にて示しているのは非着磁部である。図示のように、これら着磁部26は、 その各々の、軌道溝1aに沿う方向の境界26aが、該軌道溝1aに対して垂直 若しくは略垂直となっている。なお、上記各着磁部26のうち最端に位置するも のに対応して、測定基準となる原点としての着磁部28が設けられている。
【0018】 一方、前述のケース22内に設けられて上記被検知部21を検知する検知手段 については、下記の各磁気センサにより構成されている。
【0019】 すなわち、図3に示すように、上記各着磁部26を検知するために設けられた ホール効果素子等からなる2つの磁電変換素子29及び30と、原点たる着磁部 28を検知するための磁気抵抗素子(MR素子)25とである。
【0020】 上記磁電変換素子30は、磁電変換素子29に対して各着磁部26間のピッチ Pの1/2だけずれて設けられており、これにより図5の(A)に示す波形に対 してπ/2だけ位相の異なる波形が得られる。なお、図5に示すように、磁電変 換素子29及び磁電変換素子30により得られる波形はOレベルを基準として正 ・負の連続した正弦波が得られるが、図4に示すように増幅回路31a及び31 bを通すことによってOレベルからVmaxのレベルになるように増幅処理がな されている。これは後段における信号処理を容易にするためである。
【0021】 次に、上記検知手段より発せられる検知信号に基づいて外筒2の位置制御をな す制御系の構成について説明する。
【0022】 図4に示すように、磁電変換素子29及び磁電変換素子30より出力された波 形は増幅回路31a及び31bに入力される。この増幅回路31a及び31bは 、A/D変換回路32a及び32b、ラッチ回路33a及び33b、マルチプレ クサ(MPX)34が順次接続され、このマルチプレクサ34の出力がCPU( 制御回路)35に入力される構成となっている。また、CPU35にはメモリ( ROM)37及び計数手段としてのアップダウンカウンタ38、D/A変換回路 39が接続されている。
【0023】 上記A/D変換回路32a及び32bは、前段の増幅回路31a及び31bに よりレベル増幅されたアナログ波形を二値化データに変換してラッチ回路33a 及び33bに夫々のデータを入力する。このラッチ回路33a及び33bは、前 段のA/D変換回路32a及び32bによって刻刻変換されるデータを同期処理 するために該A/D変換回路32aと32bのデータをラッチしてホールドさせ る。このホールドされたデータはマルチプレクサ(MPX)34に入力される。 このマルチプレクサ(MPX)34は、後段のCPU35に出力する場合にラッ チ回路33a及び33bでラッチ処理されたデータを同時に出力することができ ないので、時分割処理して別々にCPU35に出力して演算処理がなされる。
【0024】 次に、CPU35の演算処理について説明する。
【0025】 まず、初期動作として外筒2が駆動されて基準位置に移動し、磁気抵抗素子2 5が原点たる着磁部28を検知することにより発する信号に応じてメモリ(RA M)40にメモリされたスケール位置データがリセットされる。このリセット指 令により外筒2が所望の位置に移動を開始する。これに応じて磁電変換素子29 及び磁電変換素子30から図5(A)及び(B)に示すようなレベル増幅された 位相の異なる連続波形が得られる。
【0026】 図5(A)及び(B)に示すように、例えばmの領域についてみると、磁電変 換素子29及び磁電変換素子30の出力データは図5の(A)と(B)とでは対 応する波形が異なることがわかる。その結果、CPU35はこの異なるデータを 比較することによって外筒2の移動方向を判定することができる。
【0027】 次に、外筒2の移動量については下記のように求まる。
【0028】 すなわち、図3において、ケース22に設けられた磁電変換素子29、30及 び磁気抵抗素子25の、被検知部21に対する移動量をSとすると、これが外筒 2の移動量となる。
【0029】 上記の移動量Sは、図5の(A)及び(B)に示すように例えば、磁電変換素 子29の出力をVA 、磁電変換素子30の出力をVB とすると、VA /VB の電 圧の比を求める。これは例えば、磁電変換素子29及び磁電変換素子30と、こ れらに検知されるべき各着磁部26とのギャップの変化により、α×VA 及びα ×VB の電圧が得られるが、このようなギャップが変化したにもかかわらず恰も 移動したような演算処理がなされる恐れがある。そこで、このような機械的な誤 差を防ぐためα×VA /α×VB として処理すると、αは位置データとは関係し ないものとしてVA /VB として求めることができる。
【0030】 しかして、メモリ37内にはVA /VB に対応する1ピッチ(P)内の微細な 位置データが予めメモリされているので、CPU35は、上記のような演算処理 によって求められたVA /VB の値と一値する値をメモリ(ROM)37から読 み出して比較することによって図3に示す距離αを求めることができる。この求 められた距離αの位置データは、それ以前に求められた位置データが既にメモリ 40にメモリ(前記基準位置から最初に書き込まれる時点ではメモリされていな い。)されているから、該データをCPU35は読み出した後今回求められた距 離αを加算し、これによって算出された距離Sを位置データとしてメモリ40に 書き込む。
【0031】 このような演算処理を繰り返すことによって上記距離Sが前記メモリ40内に 位置データとしてメモリされることになる。
【0032】 ところで、CPU35には、図示せぬ制御手段によって与えられるパルスをア ップダウンするアップダウンカウンタ38が接続されている。このアップダウン カウンタ38は、メモリ40のリセット指令に対応して作動するように構成され ており、また図3に示す1ピッチ(P)に発生するパルス数が予め求められてい るので、CPU35は、このアップダウンカウンタ38から出力されるパルス数 を計数することによって距離S’を算出することができる。
【0033】 この求められる距離S’と前記メモリ40内にメモリされた距離Sとを比較し て偏差量を求める。この求められた偏差量をCPU35はD/A変換器39によ り出力する。この出力に基づいて外筒2は、正規の位置まで駆動される。
【0034】 なお、図3から明らかなように、本実施例においては上記磁電変換素子29、 30により検知されるべき各着磁部26が互いに隙間なく形成されているが、こ れら着磁部26間に非着磁部を介在させて各着磁部26間のピッチPを大きく設 定してもよい。
【0035】 また、本実施例においては、スプライン軸1の軌道溝1a間に、移動量検知用 の着磁部26と共に、測定基準たる着磁部28をも併設しているが、この軌道溝 1a間の幅寸法が比較的小さくて該着磁部28を設けることが困難な場合、図1 において参照符号42にて示すスイッチを測定基準位置に対応して設けることな どを行う。すなわち、外筒2が測定基準位置に戻ることによりこのスイッチ42 の作動子42aに係合してこれを作動させ、原点信号を発生させるものである。
【0036】 続いて、本考案の第2実施例としてのボールスプラインについて図6及び図7 に基づいて説明する。なお、当該ボールスプラインは以下に説明する部分以外は 図1乃至図4に示した第1実施例としてのボールスプラインと同様に構成されて いる故、要部のみの説明に留める。また、以下の説明において、第1実施例とし てのボールスプラインと同一又は対応する構成部分については同じ参照符号を付 している。なお、これらのことは、後述する第3実施例に関しても同様である。
【0037】 図6及び図7に示すように、当該ボールスプラインにおいては、被検知部21 に設けられた移動量検知用の各着磁部26について、スプライン軸1の軌道溝1 aに沿う方向の境界26aが、該軌道溝1aに対して交差するようになされてい る。
【0038】 このように、各着磁部26の境界26aを軌道溝1aに対して交差させる場合 、着磁するための着磁ヘッド(図示せず)の磁極を交互に切り換えながら、スプ ライン軸1を螺旋状に回転送りすることを行う。なお、前述した第1実施例とし てのボールスプラインにおけるように、各着磁部26の境界26aを軌道溝1a に対して略垂直とする場合には、スプライン軸1を単に軸方向に直線的に移動さ せつつ着磁ヘッドの磁極を変化させて着磁すれば完了する。
【0039】 ところで、本実施例においては、外筒2が測定基準位置に至ったことの検知を 、図6に示すスイッチ42により行っている。よって、被検知部21には原点た る着磁部が設けられていない。この構成により、被検知部21を形成するための 着磁作業は上述の工程を終了するだけで終了する。但し、原点となる着磁部を設 けてもよい。この場合、上記のように移動量検知用の各着磁部26の着磁を完了 した後、図7に示す被検知部21の片側について所定幅だけ磁気イレーサ(図示 せず)にて着磁を消去し、原点位置に測定基準となるべき着磁部(図3における 着磁部28と同様のもの)を1箇所設ける。そして、この原点となる着磁部を検 知するための磁気抵抗素子(図示せず)をケース22に設ける。
【0040】 上記した構成の第2実施例としてのボールスプラインにおいても、前述の第1 実施例のボールスプラインにおけると同じ測定原理に基づいて外筒2の位置が検 出せられる故、該測定原理等に関する説明は省略する。なお、図7から明らかな ように、各着磁部26を検知すべくケース22に設けられた2つの磁電変換素子 29、30は、該各着磁部26と平行となるように取り付けられる。
【0041】 次に、本考案の第3実施例としてのボールスプラインの要部について、図8に 基づき説明する。
【0042】 図示のように、本実施例においては、移動量検知用の各着磁部26が、その各 々の間に非着磁部27を挾んで設けられている。なお、この場合、スプライン軸 1(図1など参照)の軌道溝1aに沿う方向における非着磁部27の寸法は着磁 部26と同じに設定されている。
【0043】 そして、各着磁部26については、軌道溝1aの幅方向における一側がN極、 他側がS極となるように着磁されている。
【0044】 かかる構成においては、前述した第1及び第2実施例の構成においては隣接し て設けられた各着磁部26間に磁束が発生するのに対し、磁束は夫々の着磁部2 6のN極、S極の間において発生する。しかしながら、この磁束の密度は、着磁 部26の、軌道溝1aに沿う方向における中央部にて最大となるものの、漸次弱 まりつつも隣接する非着磁部27の範囲まで及んで該非着磁部の中央部にて最小 となる。よって、各磁電変換素子29、30により得られる波形はやはり正・負 の連続した正弦波となり、第1及び第2実施例と同様の原理に基づいて移動量を 求めることが出来る。
【0045】 ところで、上記第1乃至第3実施例においては、外筒2の位置を検知する手段 として磁気を利用した構成を示しているが、他の実施例として、光学的に検知す る構成としてもよい。すなわち、例えば図8において、各着磁部26、28及び 非着磁部27についてこれらを、光を反射する反射部と非反射部とに変え、検知 手段として作用する各磁電変換素子29、30及び磁気抵抗素子25に関しては 反射型のフォトカプラなどの光学手段に変えて、該光学手段から光を照射させる と共に該反射部よりの反射光を受光させ、この受光した反射光に基づいて検知信 号を発生させるのである。
【0046】 なお、本考案は、上述した各実施例の構成に限らず、これら各実施例が含む構 成を互いに適宜組合わせることなどにより、多岐にわたる構成を実現できること は勿論である。
【0047】 また、上記各実施例においては、外筒2の移動に伴ってボール3が循環する構 成を示しているが、転動体としてころを用いることも可能である。また、前記各 実施例は、スプライン軸1の軌道溝1aが直線状のものを示したが、軌道溝が螺 旋状のヘリカルスプラインについても本考案が適用可能であることは言及するま でもない。
【0048】 また、各実施例においては6条列のボールスプラインを示しているが、他に2 条列のものなど、種々のボールスプラインにも適用可能である。
【0049】 更に、前述した磁気を利用した位置検出の構成において、外筒2の移動する方 向を判定することを目的として2つの磁電変換素子29、30を用いているが、 移動方向を判定する必要のない場合にはこれを1つとしてよい。
【0050】 また、外筒2の移動検知の分解能としてそれ程高いものが要求されない場合に は、図3、図7及び図8に示したαの値を演算せず、検知した磁気のピーク 値を単にカウンタにより計数するだけでも足りる。
【0051】
【考案の効果】
以上説明したように、本考案によるスプライン軸受においては、スプライン軸 及び外筒の相対的位置を検出するための位置検出手段を構成する被検知部をスプ ライン軸に配設している故、該位置検出手段が占めるスペースは実質的に検知手 段たる磁気センサ等の占有スペースのみとなって極めて小さく抑えられ、組み込 まれるべき産業用ロボット等の装置の小型化に寄与するという効果がある。 また、従来用いられていた別体のリニアスケール等が不要であることからコス トの低減が達成されるという効果が奏される。 更に、本考案によれば、スプライン軸自体がスケールとして作用することから 、スプライン軸及び外筒の相対的位置決めの信頼性が高いという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本考案の第1実施例としてのボールス
プラインの斜視図である。
【図2】図2は、図1に示したボールスプラインの一部
の縦断面図である。
【図3】図3は、図1に示したボールスプラインに設け
られた被検知部と、該被検知部の検知をなす検知手段と
を示す平面図である。
【図4】図4は、図1に示したボールスプラインの作動
制御をなす制御系のブロック図である。
【図5】図5は、図1乃至図3に示したボールスプライ
ンが具備する磁電変換素子により得られる波形を示す図
である。
【図6】図6は、本考案の第2実施例としてのボールス
プラインの斜視図である。
【図7】図7は、図6に示したボールスプラインに設け
られた被検知部と、該被検知部の検知をなす検知手段と
を示す平面図である。
【図8】図8は、本考案の第3実施例としてのボールス
プラインに設けられた被検知部と、該被検知部の検知を
なす検知手段とを示す平面図である。
【図9】図9は、従来のボールスプラインとその周辺部
材を示す斜視図である。
【図10】図10は、図9に示したボールスプラインの
側面図である。
【図11】図11は、図9に示したボールスプラインの
縦断面図である。
【符号の説明】
1 スプライン軸 1a 軌道溝 2 外筒 3 ボール(転動体) 21 被検知部 24 磁性被膜 25 磁気抵抗素子 26 着磁部(移動量検知用) 27 非着磁部 28 着磁部(原点) 29、30 磁電変換素子

Claims (12)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 長手方向に軌道が形成されたスプライン
    軸と、前記軌道に対応する負荷軌道を含む転動体循環路
    を有して前記スプライン軸に対して相対運動自在な外筒
    と、前記転動体循環路に配列収容されて前記軌道上を転
    動しつつ荷重を負荷する複数の転動体とを備え、前記ス
    プライン軸に前記軌道に沿って被検知部が形成され、外
    筒側に該被検知部を検知する検知手段が設けられている
    ことを特徴とするスプライン軸受。
  2. 【請求項2】 前記被検知部は測定基準となる原点が形
    成されてなることを特徴とする請求項1記載のスプライ
    ン軸受。
  3. 【請求項3】 前記被検知部は前記軌道に沿って多極着
    磁してなり、前記検知手段は磁気センサからなることを
    特徴とする請求項1又は請求項2記載のスプライン軸
    受。
  4. 【請求項4】 前記軌道に沿って異なる磁極を交互に配
    設着磁してなることを特徴とする請求項3記載のスプラ
    イン軸受。
  5. 【請求項5】 前記軌道に沿って複数の着磁部をその各
    々の間に非着磁部を挾んで並設し、該着磁部各々につい
    て前記軌道の幅方向における一側をN極、他側をS極と
    して着磁してなることを特徴とする請求項3記載のスプ
    ライン軸受。
  6. 【請求項6】 着磁部各々の前記軌道に沿う方向の境界
    が該軌道に対して略垂直となっていることを特徴とする
    請求項3乃至請求項5のうちいずれか1記載のスプライ
    ン軸受。
  7. 【請求項7】 着磁部各々の前記軌道に沿う方向の境界
    が該軌道に対して交差することを特徴とする請求項3乃
    至請求項5のうちいずれか1記載のスプライン軸受。
  8. 【請求項8】 前記磁気センサは磁電変換素子から成る
    ことを特徴とする請求項3乃至請求項7のうちいずれか
    1記載のスプライン軸受。
  9. 【請求項9】 前記磁気センサは磁気抵抗素子から成る
    ことを特徴とする請求項3乃至請求項8のうちいずれか
    1記載のスプライン軸受。
  10. 【請求項10】 前記スプライン軸の表面に磁性皮膜が
    設けられ、該磁性皮膜に着磁してなることを特徴とする
    請求項3乃至請求項9のうちいずれか1記載のスプライ
    ン軸受。
  11. 【請求項11】 前記被検知部は光を反射する反射部と
    非反射部とを配設してなり、前記検知手段は光を照射す
    ると共に該反射部よりの反射光を受光する光学手段から
    なることを特徴とする請求項1又は請求項2記載のスプ
    ライン軸受。
  12. 【請求項12】 ボールスプラインであることを特徴と
    する請求項1乃至請求項11のうちいずれか1記載のス
    プライン軸受。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002243402A (ja) * 2001-02-22 2002-08-28 Juki Corp 直動軸の位置検出構造及び電子部品搭載用ヘッド
JP2003056563A (ja) * 2001-08-10 2003-02-26 Isel Co Ltd ガイド装置

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1061665A (ja) * 1996-08-15 1998-03-06 Nippon Thompson Co Ltd スプライン軸受
US7547141B2 (en) * 2006-10-23 2009-06-16 Hiwin Technologies Corp. Linear motion guide apparatus having detecting device
US9731418B2 (en) 2008-01-25 2017-08-15 Systems Machine Automation Components Corporation Methods and apparatus for closed loop force control in a linear actuator
US20100133924A1 (en) * 2008-11-21 2010-06-03 Neff Edward August Compact linear actuator and method of making same
US9375848B2 (en) 2012-06-25 2016-06-28 Systems Machine Automation Components Corporation Robotic finger
JP5963755B2 (ja) 2010-09-23 2016-08-03 システムズ マシーンズ オートメーション コンポーネンツ コーポレイション 低コストのマルチコイルリニアアクチュエータ
DE112013003169T5 (de) 2012-06-25 2015-03-26 Mark Cato Preiswerter linearer Stellantrieb mit reduziertem Durchmesser
CN103009925A (zh) * 2012-12-22 2013-04-03 青特集团有限公司 一种新结构驱动桥半轴
US10807248B2 (en) 2014-01-31 2020-10-20 Systems, Machines, Automation Components Corporation Direct drive brushless motor for robotic finger
US9871435B2 (en) 2014-01-31 2018-01-16 Systems, Machines, Automation Components Corporation Direct drive motor for robotic finger
WO2017011406A1 (en) 2015-07-10 2017-01-19 Systems, Machines, Automation Components Corporation Apparatus and methods for linear actuator with piston assembly having an integrated controller and encoder
WO2017053881A1 (en) 2015-09-24 2017-03-30 Systems, Machines, Automation Components Corporation Magnetically-latched actuator
US10675723B1 (en) 2016-04-08 2020-06-09 Systems, Machines, Automation Components Corporation Methods and apparatus for inserting a threaded fastener using a linear rotary actuator
US10865085B1 (en) 2016-04-08 2020-12-15 Systems, Machines, Automation Components Corporation Methods and apparatus for applying a threaded cap using a linear rotary actuator
US10205355B2 (en) 2017-01-03 2019-02-12 Systems, Machines, Automation Components Corporation High-torque, low-current brushless motor

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0159813B2 (ja) * 1981-02-17 1989-12-19 Meidensha Electric Mfg Co Ltd
JPH0315702A (ja) * 1989-06-14 1991-01-24 Yamaha Corp 駆動シリンダ用位置検出器
JPH04160315A (ja) * 1990-10-24 1992-06-03 Fujitsu Ltd リニア型位置センサ
JPH0529851A (ja) * 1991-07-19 1993-02-05 Hitachi Ltd 高周波高効率電力増幅器

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02104174A (ja) * 1988-10-13 1990-04-17 Toshiba Corp X線診断装置
JP2555058Y2 (ja) * 1991-08-07 1997-11-19 日本精工株式会社 リニアガイド装置のボール転動溝構造
US5221145A (en) * 1992-01-17 1993-06-22 Rmb Roulements Miniatures Linear bearing

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0159813B2 (ja) * 1981-02-17 1989-12-19 Meidensha Electric Mfg Co Ltd
JPH0315702A (ja) * 1989-06-14 1991-01-24 Yamaha Corp 駆動シリンダ用位置検出器
JPH04160315A (ja) * 1990-10-24 1992-06-03 Fujitsu Ltd リニア型位置センサ
JPH0529851A (ja) * 1991-07-19 1993-02-05 Hitachi Ltd 高周波高効率電力増幅器

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002243402A (ja) * 2001-02-22 2002-08-28 Juki Corp 直動軸の位置検出構造及び電子部品搭載用ヘッド
JP2003056563A (ja) * 2001-08-10 2003-02-26 Isel Co Ltd ガイド装置
JP4567926B2 (ja) * 2001-08-10 2010-10-27 アイセル株式会社 ガイド装置

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Publication number Publication date
US5476324A (en) 1995-12-19

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