JPH116708A - 誘導型位置測定器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 変動磁場を発生する駆動コイルとこれと結合
して誘起電圧を発生する検出用コイルの組み合わせによ
り、一つのスケールトラックでアブソリュート測定とイ
ンクリメンタル測定を可能とした小型で高精度の誘導型
位置測定器を提供する。 【解決手段】 スケール１に三角形状の駆動コイル１１
を上向き，下向きを絶対位置コードの“０”，“１”に
対応させて配列して、長手方向の全長にわたって同じ組
み合わせコードが発生しないような絶対位置コードを付
与したスケールトラック１２を形成する。スライダ２上
には、駆動コイル１１と結合して絶対位置コードを検出
する絶対位置コードのビット数分の絶対位置検出用コイ
ル２２を形成し、同じスケールトラックの駆動コイル１
１と結合してインクリメンタル測定用の変位信号を得る
一対の相対位置検出用コイル２１Ａ，２１Ｂを形成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、相対移動する第
１及び第２部材の相対変位や位置を変動磁場との誘導結
合によるコイルの誘起電圧変化を利用して測定する誘導
型位置測定器に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、位置や直線変位，角度変位等
の測定を行うエンコーダとして、静電容量式、光学式、
磁気式等、種々の形式のものが用いられている。磁気式
には、静磁場を用いる方式と、変動磁場を用いる方式と
がある。またエンコーダには、絶対位置測定を行う方式
（アブソリュート型）と、相対位置測定を行う方式（イ
ンクリメンタル型）とがある。

【０００３】静磁場を用いるアブソリュート型エンコー
ダとしては、例えば特開昭６４−７０９６１９号公報が
ある。また変動磁場を発生するスケールと、これと誘導
結合する平面型コイルとを用いて位置測定を行うエンコ
ーダについては、特公昭５１−１８１８１号公報、特公
昭５１−４７５４４号公報等が提案されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】一般にアブソリュート
型エンコーダでは、高精密な位置測定が難しく、高精密
の位置測定にはインクリメンタル型が適している。その
ためアブソリュート型とインクリメンタル型の併用型エ
ンコーダを作ろうとすると、通常アブソリュート用スケ
ールトラックとインクリメンタル用スケールトラックと
は構成原理が異なるから、それらのトラックを並べて設
けることが必要になる（例えば、特開平２−３５３１４
号公報）。しかし二つのスケールトラックを用意するに
は大きなスケール幅を必要とするため、エンコーダの小
型化が損なわれる。

【０００５】この発明は、変動磁場を発生する駆動コイ
ルと、これと結合して誘起電圧を発生する検出用コイル
とのパターンの組み合わせによりアブソリュート測定を
行う誘導型位置測定器を提供することを目的としてい
る。この発明はまた、変動磁場を発生する駆動コイルと
これと結合して誘起電圧を発生する検出用コイルとのパ
ターンの組み合わせにより、一つのスケールトラックを
用いてアブソリュート測定と同時にインクリメンタル測
定をも可能とした、小型で高精度の誘導型位置測定器を
提供することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明に係る誘導型位
置測定器は、所定ギャップをもって相対移動可能に対向
配置された第１及び第２の部材と、前記第１の部材上に
前記相対移動方向に沿って交流電源により励磁される駆
動コイルが一定ピッチで配列形成され、各駆動コイルは
それぞれ“０”，“１”に対応させて前記相対移動方向
に直交する方向の上向き，下向きの三角形状パターンと
して相対移動方向に同じ組み合わせコードが発生しない
複数ビットの絶対位置コードを付与してなるスケールト
ラックと、前記第２の部材上に前記駆動コイルからの変
動磁場に応じ、かつ前記駆動コイルの上向き，下向きの
三角形状パターンに応じて互いに逆極性の誘起電圧を生
じるようにパターン形成された前記絶対位置コードのビ
ット数分の絶対位置検出用コイルとを備えたことを特徴
とする。

【０００７】この発明に係る誘導型位置測定器はまた、
所定ギャップをもって相対移動可能に対向配置された第
１及び第２の部材と、前記第１の部材上に前記相対移動
方向に沿って交流電源により励磁される駆動コイルが一
定ピッチで配列形成され、各駆動コイルはそれぞれ
“０”，“１”に対応させて前記相対移動方向に直交す
る方向の上向き，下向きの三角形状パターンとして相対
移動方向に同じ組み合わせコードが発生しない複数ビッ
トの絶対位置コードを付与してなるスケールトラック
と、前記第２の部材上に前記駆動コイルからの変動磁場
に応じ、かつ前記駆動コイルの上向き，下向きの三角形
状パターンに応じて互いに逆極性の誘起電圧を生じるよ
うにパターン形成された前記絶対位置コードのビット数
分の絶対位置検出用コイルと、前記第２の部材上に前記
駆動コイルからの変動磁場に応じ、かつ前記相対移動に
応じて前記駆動コイルの配列ピッチと等しいピッチの繰
り返し波形となる誘起電圧を生じるようにパターン形成
された、前記駆動コイルの配列ピッチの１／４の位相差
をもつ少なくとも２相の相対位置検出用コイルとを備え
たことを特徴とする。

【０００８】この発明において好ましくは、前記各絶対
位置検出用コイルは、前記駆動コイルの前記相対移動方
向と直交する方向の上半分に対向する第１コイル部と、
この第１コイル部に直列に形成されて下半分に対向す
る，第１コイル部とは逆巻きの第２コイル部とを有し、
かつ各絶対位置検出用コイルは一端が共通に基準電位に
接続され、他端を前記絶対位置コードの各ビット出力端
子とする。この発明において好ましくは、前記相対位置
検出用コイルは、前記駆動コイルの配列ピッチの１／４
の位相差をもつ前記駆動コイルの配列ピッチの半周期毎
に逆巻きとなる第１コイル部と第２コイル部とが前記相
対移動方向に直列に所定の繰り返し数をもって配列形成
されるものとする。

【０００９】この発明においては、第１部材上に交流駆
動される駆動コイルを所定ピッチで配列形成してこれを
スケールトラックとする。スケールトラックの各駆動コ
イルは三角形状パターンのコイルとして、相対移動方向
（スケール長手方向）と直交する方向の上向きと下向き
を絶対位置コードの“０”と“１”に対応させて、スケ
ール長手方向に同じ組み合わせコードが発生しないよう
に配列することにより、スケールトラックには複数ビッ
トの絶対位置コードが付与される。一方、第２部材上に
は、スケールトラック上の駆動コイルの上向き，下向き
の三角形状パターンに応じて互いに逆極性の誘起電圧を
生じるようにパターン形成された絶対位置コードのビッ
ト数分の絶対位置検出用コイルが形成される。これによ
り、絶対位置測定用（アブソリュート型）エンコーダが
得られる。また、三角形状の駆動コイルを用いたスケー
ルトラックに対して、駆動コイルの配列ピッチと等しい
ピッチの繰り返し波形となる誘起電圧を生じるようにパ
ターン形成された相対位置検出用コイルを駆動コイルの
配列ピッチの１／４の位相差をもつ少なくとも２相分設
けることにより、同じスケールトラックを利用してアブ
ソリュート型より高精細のインクリメンタル測定が可能
となる。即ちこの発明によれば、小型で高精度の絶対位
置測定を可能としたエンコーダが得られる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施例を説明する。図１は、この発明の一実施例によ
る誘導型リニアエンコーダの要部構成を示す分解斜視図
である。第１の部材であるスケール１と第２の部材であ
るスライダ２とは、所定ギャップをもって矢印で示す方
向に相対移動可能に配置される。スライダ２は、スケー
ル１のスケールトラックを読み取るセンサが搭載された
ものであり、図では第１層２ａと第２層２ｂを分離して
示しているが、好ましくは例えば多層配線基板等を用い
て一体に形成される。なお第１層２ａと第２層２ｂの上
下関係は問わない。また、第１層２ａと第２層２ｂが別
々の基板であって、スケール１がこれら第１層２ａと第
２層２ｂの間に挿入される構成であってもよい。

【００１１】スケール１は、絶縁性基板１０上に金属薄
膜により形成した三角形状の多数の平面型駆動コイル１
１をスケール長手方向に所定ピッチλで配列したスケー
ルトラック１２を有する。駆動コイル１１は疑似閉路を
なしているが、全てが共通に交流電源１３により励磁さ
れて、変動磁場を生成する。スケール１とスライダ２の
間のキャップは、スケール１上の駆動コイル１１からの
磁束がスライダ２を垂直に貫通するように設定される。
各駆動コイル１１は、スケール１の長手方向に直交する
方向に上向きのものと下向きのものとがあり、それぞれ
が絶対位置コードを表すビット“０”，“１”に対応す
るもので、その組み合わせによりスケール１の長手方向
全長に絶対位置コードが設定される。その詳細は後述す
る。

【００１２】スライダ１の第１層２ａには、スケール１
の駆動コイル１１からの変動磁場を検出して相対位置を
測定するための少なくとも一対の相対位置検出用コイル
２１（２１Ａ，２１Ｂ）が金属薄膜によりパターン形成
されている。またスライダの第２層２ｂには、スケール
１の駆動コイル１１からの変動磁場を検出して絶対位置
を測定するために、同様に金属薄膜により絶対位置コー
ドのビット数分（図１では、４ビット分を例示してい
る）の絶対位置検出用コイル２２（２２a0〜２２a3）が
パターン形成されている。

【００１３】図２は、以上のスケール１上の駆動コイル
１１によるスケールトラックと、スライダ２上の相対位
置検出用コイル２１及び絶対位置検出用コイル２２のパ
ターンの重なり関係を平面に並べて示している。高さ２
Ｌをもちピッチλで配列された駆動コイル１１に対し
て、相対位置検出用コイル２１は、駆動コイルの配列ピ
ッチλの半周期毎に逆巻き、即ち＋，−で示した逆極性
電圧を誘起する第１コイル部２３1 と第２コイル部２３
2 とが、スケール１の長手方向に直列に所定の繰り返し
数（図の場合、繰り返し数が２）をもって配列形成され
る。第１コイル部２３1 と第２コイル部２３2 は、矩形
パターンの３／４周からなる疑似閉路をなして直列に接
続されて、高さ２Ｌの矩形パターンをなしている。対を
なす相対位置検出用コイル２１Ａ，２１Ｂは、λ／４の
位相差をもって配置されて、一端は共通に基準電位に接
続され、他端がそれぞれ９０°位相差の変位信号（Ａ，
Ｂ相出力信号）を出力する出力端子Ａ，Ｂとなる。

【００１４】絶対位置検出用コイル２２は、相対位置検
出用コイル２１とは９０°回転した形の矩形パターンを
もつ。即ち駆動コイル１１のスケール長手方向と直交す
る方向の上半分に対向する第１コイル部２４1 と、この
第１コイル部２４1 に直列に形成されて下半分に対向す
る，第１コイル部２４1 とは逆巻きの第２コイル部２４
2 とを有する。従って第１コイル部２４1 と第２コイル
部２４2 には、＋，−で示したように互いに逆極性の誘
起電圧が得られる。各絶対位置検出用コイル２２は一端
が共通に基準電位に接続され、他端を絶対位置コードの
各ビット出力端子ａ０〜ａ３としている。

【００１５】なお、図では駆動コイル１１はほぼ１ター
ンの平面コイルとして、また相対位置検出用コイル２１
及び絶対位置検出用コイル２２の各第１コイル部２３1
，２４1 ，第２コイル部２３2 ，２４2 はいずれも３
／４ターンの平面コイルとして示したが、これらを例え
ば多層配線技術を等を利用した複数ターンのコイルとし
て構成してもよい。

【００１６】次に、この実施例のエンコーダの位置測定
動作を説明する。図３は、インクリメンタル測定の原理
を説明するために、スケール１上の駆動コイル１１と、
スライダ２上の相対位置検出用コイル２１（図では、第
１コイル部２３1 と第２コイル部２３2 が一つずつの基
本単位構成のみを示している）のスケール移動に伴う重
なり状態の変化を示している。インクリメンタル測定に
は、スケール１上の駆動コイル１１の上向きと下向きは
無関係であり、スケール１の移動に伴う駆動コイル１１
からの相対位置検出用コイル２１への鎖交磁束数の変化
を相対位置検出用コイル２１の誘起電圧により検出す
る。

【００１７】全ての駆動コイル１１には、上向き，下向
きパターンに拘らず、矢印で示したように同じ向きとな
る交流駆動電流が流される。図３（ａ）の状態（これを
相対変位ｘ＝０とする）では、駆動コイル１１と、相対
位置検出用コイル２１の第１コイル部２３1 及び第２コ
イル部２３2 との重なり面積は等しく、したがって第１
コイル部２３1 と第２コイル部２３2 の互いに逆極性の
誘起電圧は相殺されて、トータルの差動検出電圧はゼロ
となる。スケール移動して、図３（ｂ）のようにｘ＝λ
／４になると、駆動コイル１１と第１コイル部２３1 と
の重なり面積は最大になり、逆に第２コイル部２３2 と
の重なり面積は最小になる。このとき、相対位置検出用
コイル２１には、第１コイル部２３1 の最大誘起電圧
（これを正とする）がほぼそのまま検出電圧として出力
される。以下、図３（ｃ）のｘ＝λ／２で再び検出出力
はゼロになり、図３（ｄ）のようにｘ＝３λ／４では第
２コイル部２３2 による負の最大検出電圧が得られる。

【００１８】以下、同様の繰り返しにより、図４に示す
ように、変位ｘに応じて疑似正弦波となる変位検出出力
が得られる。対をなす相対位置検出用コイル２１Ａ，２
１Ｂによる検出出力はそれぞれ実線と破線で示すよう
に、９０°ずれたＡ相，Ｂ相出力となる。これらの変位
出力信号を周知の方法で処理することにより、駆動コイ
ル１１の配列ピッチλに対して内挿数４のインクリメン
タル測定ができる。

【００１９】次に、アブソリュート測定の原理を説明す
る。図５は、スケール１上の駆動コイル１１と、スライ
ダ２上の絶対位置検出用コイル２２の重なり状態を示し
ている。駆動コイル１１は、前述のように上向き三角形
と下向き三角形があり、上向き三角形の場合、絶対位置
検出用コイル２２の上半分の第１コイル部２４1 と下半
分の第２コイル部２４2 とでは、前者の方が駆動コイル
１１との重なり面積が小さい。したがって、第２コイル
部２４2 の誘起電圧（これを＋とする）が第１コイル部
２４1 のそれに比べて大きい。下向きの三角形の場合は
その関係が逆になり、負の誘起電圧が大きくなる。した
がって図５の重なり位置で、端子ａ０，ａ１，ａ３と端
子ａ２の検出出力電圧は逆極性になり、これらの極性を
検知することによって、ａ０＝ａ１＝ａ３＝０，ａ２＝
１が得られる。これにより、図の例の場合、４個の駆動
コイル１１による４ビットの絶対位置コードが絶対値検
出用コイル２２により検出されることになる。

【００２０】実際の絶対位置コードは、上述した三角形
状の駆動コイル１１の向きにより、スケール長手方向の
全長にわたって同じ組み合わせコードが発生しないよう
な非繰り返しの絶対位置コードとして付与される。具体
的に、７ビットで１〜１２８の絶対位置コードを設定し
た場合のスケール１上の駆動コイル１１のパターンと、
相対移動したときのスライダ２上の絶対位置検出用コイ
ル２２（これも７個となる）による出力の関係を図６に
示す。この様な非繰り返しのコード自体は既に知られて
いるものであり、これにより、駆動コイル１１の配列ピ
ッチλを最小単位とするアブソリュート測定が可能にな
る。

【００２１】以上のようにこの実施例によれば、一本の
スケールが絶対位置コードトラックであると同時に、イ
ンクリメンタルスケールしても用いられる誘導型エンコ
ーダが得られる。スケールトラックが一つであるから、
スケール全体の幅は小さいものでよく、従ってエンコー
ダは小型化が可能である。しかも相対位置検出用コイル
を搭載することによって、絶対位置検出用コイル２２の
みを用いたアブソリュート測定では得られない高精細の
絶対位置測定が可能となる。また、相対位置検出用コイ
ルと絶対位置検出用コイルは、多層配線基板を用いるこ
とにより、スライダ内に薄く積層形成することができ
る。

【００２２】実施例では、Ａ，Ｂ相の相対位置検出用コ
イル２１Ａ，２１Ｂを同一面内に並べたが、図７に示す
ようにこれらを異なる層２a1，２a2に分けて重ねて構成
してもよい。これらの層２a1，２a2は、絶対位置検出用
コイル２２を形成した層２ｂと共に、スケール１の変動
磁場を検出できるように、多層配線基板技術を用いて微
小ギャップをもって一体形成してスライダ２を構成する
ことができる。なお、層２a1，２a2及び２ｂの積層順は
問わないし、先にも述べたようにスライダ２がスケール
１を挟んで上下に分けられても差し支えない。

【００２３】相対位置及び絶対位置検出用コイルは、上
記実施例に示した矩形パターン（櫛型パターン）に限ら
れず、駆動コイル１１の変位方向或いはそれと直交する
方向の磁束幅の変化や差を検出できるものであればよ
い。図８（ａ）は、先の実施例に示した図８（ｂ）の矩
形パターン（櫛型パターン）の相対位置検出用コイル２
１に対応させて、λ／２のピッチで励磁電流を反転させ
るツイストペアコイルからなる相対位置検出用コイル２
５を示している。絶対位置検出用コイルについても同様
のツイストペアコイルを用いることができる。

【００２４】スケール１上の三角形状の駆動コイル１１
についても、厳密な三角形である必要はなく、スケール
移動に伴って相対位置検出用コイル２１の鎖交磁束数が
繰り返し変化を示し、またスケール移動方向と直交する
方向について上半分と下半分の面積が異なるようなパタ
ーンであればよい。具体的にこの発明に用いられる三角
形状の駆動コイル１１としては、図９に示すような正弦
波波形に近いものも含まれる。

【００２５】上記実施例では、スケール１上の駆動コイ
ル１１に直接励磁源１３を接続したが、スライダ２上に
スケール１上の駆動コイル１１を励磁する送信部を配置
してもよい。図１０はその様な実施例の要部構成を示
す。スライダ２上には、相対位置検出用コイル２１に対
してスケール幅方向に隣接して、交流電源１３が接続さ
れる送信用コイル３１が配置される。スケール１上に
は、送信用コイル３１と誘導結合する転送用コイル３２
が各駆動コイル１１に隣接して配置される。各転送用コ
イル３２とそれぞれ対応する駆動用コイル１１とは細い
連結部を介して接続されて完全な閉コイルを構成する。
スライダ２上の送信用コイル３１のスケール移動方向の
幅は、スライダ２上の相対位置検出用コイル２１Ａ，２
１Ｂの全体の幅、及び図１０では省略しているが絶対位
置検出用コイル２２の全体の幅をカバーする範囲とす
る。

【００２６】この実施例の場合、スライダ２上の送信用
コイル３１からの磁束はスケール１上の転送用コイル３
２と鎖交して、転送用コイル３２に生じる誘導電流はそ
のまま駆動コイル１１に流れる。これにより、先の実施
例と同様に駆動コイル１１に生じる変動磁場がスライダ
２上の相対位置検出用コイル２１及び絶対位置検出用コ
イル２２により検出される。この様な構成とすれば、ス
ケール１からの配線引き出しは必要がなくなり、スライ
ダ２上に励磁源及び検出回路をまとめて搭載することが
可能となる。

【００２７】この発明は上記実施例に限られない。例え
ば実施例では、リニアエンコーダを説明したが、ロータ
リーエンコーダにも同様にこの発明を適用することが可
能である。

【００２８】

【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、第
１部材上に、変動磁場を発生する三角形状の駆動コイル
をそのパターンの上下関係の組み合わせにより絶対位置
コードを付与したスケールトラックを構成し、第２部材
上には駆動コイルと結合して誘起電圧を発生する絶対位
置検出用コイルを形成して、アブソリュート測定を可能
とした誘導型エンコーダが得られる。また、第２部材上
に、三角形状の駆動コイルとの結合により相対移動に伴
って正弦波出力が得られるような相対位置検出用コイル
を配置することにより、一つのスケールトラックでイン
クリメンタル測定をも可能として、小型の高精度エンコ
ーダを実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の一実施例に係るリニアエンコーダ
の要部構成を示す分解斜視図である。

【図２】 同実施例のスケール及びスライダ上の各コイ
ルパターンを示す図である。

【図３】 同実施例の相対位置検出の動作を説明するた
めの図である。

【図４】 同実施例の相対位置検出の変位出力信号波形
を示す。

【図５】 同実施例の絶対位置検出の原理を説明するた
めの図である。

【図６】 具体的なスケール上の絶対位置コードとその
検出出力の例を示す図である。

【図７】 他の実施例の検出用コイルの積層構造を示す
図である。

【図８】 他の実施例の検出用コイルの構成を示す図で
ある。

【図９】 他の実施例のスケールの駆動コイルのパター
ンを示す図である。

【図１０】 他の実施例のリニアエンコーダの要部構成
を示す分解斜視図である。

【符号の説明】

１…スケール（第１の部材）、２…スライダ（第２の部
材）、１１…駆動コイル、１２…スケールトラック、１
３…交流電源、２１（２１Ａ，２１Ｂ）…相対位置検出
用コイル、２３1 …第１コイル部、２３2 …第２コイル
部、２２（２２a0〜２２a3）…絶対位置測定用コイル、
２４1 …第１コイル部、２４2 …第２コイル部。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定ギャップをもって相対移動可能に対
   向配置された第１及び第２の部材と、 前記第１の部材上に前記相対移動方向に沿って交流電源
   により励磁される駆動コイルが一定ピッチで配列形成さ
   れ、各駆動コイルはそれぞれ“０”，“１”に対応させ
   て前記相対移動方向に直交する方向の上向き，下向きの
   三角形状パターンとして相対移動方向に同じ組み合わせ
   コードが発生しない複数ビットの絶対位置コードを付与
   してなるスケールトラックと、 前記第２の部材上に前記駆動コイルからの変動磁場に応
   じ、かつ前記駆動コイルの上向き，下向きの三角形状パ
   ターンに応じて互いに逆極性の誘起電圧を生じるように
   パターン形成された前記絶対位置コードのビット数分の
   絶対位置検出用コイルとを備えたことを特徴とする誘導
   型位置測定器。
2. 【請求項２】 所定ギャップをもって相対移動可能に対
   向配置された第１及び第２の部材と、 前記第１の部材上に前記相対移動方向に沿って交流電源
   により励磁される駆動コイルが一定ピッチで配列形成さ
   れ、各駆動コイルはそれぞれ“０”，“１”に対応させ
   て前記相対移動方向に直交する方向の上向き，下向きの
   三角形状パターンとして相対移動方向に同じ組み合わせ
   コードが発生しない複数ビットの絶対位置コードを付与
   してなるスケールトラックと、 前記第２の部材上に前記駆動コイルからの変動磁場に応
   じ、かつ前記駆動コイルの上向き，下向きの三角形状パ
   ターンに応じて互いに逆極性の誘起電圧を生じるように
   パターン形成された前記絶対位置コードのビット数分の
   絶対位置検出用コイルと、 前記第２の部材上に前記駆動コイルからの変動磁場に応
   じ、かつ前記相対移動に応じて前記駆動コイルの配列ピ
   ッチと等しいピッチの繰り返し波形となる誘起電圧を生
   じるようにパターン形成された、前記駆動コイルの配列
   ピッチの１／４の位相差をもつ少なくとも２相の相対位
   置検出用コイルとを備えたことを特徴とする誘導型位置
   測定器。
3. 【請求項３】 前記各絶対位置検出用コイルは、前記駆
   動コイルの前記相対移動方向と直交する方向の上半分に
   対向する第１コイル部と、この第１コイル部に直列に形
   成されて下半分に対向する，第１コイル部とは逆巻きの
   第２コイル部とを有し、かつ各絶対位置検出用コイルは
   一端が共通に基準電位に接続され、他端を前記絶対位置
   コードの各ビット出力端子としたことを特徴とする請求
   項１または２に記載の誘導型位置測定器。
4. 【請求項４】 前記相対位置検出用コイルは、前記駆動
   コイルの配列ピッチの１／４の位相差をもつ前記駆動コ
   イルの配列ピッチの半周期毎に逆巻きとなる第１コイル
   部と第２コイル部とが前記相対移動方向に直列に所定の
   繰り返し数をもって配列形成されていることを特徴とす
   る請求項２記載の誘導型位置測定器。