DE2540412B2 - Inkrementales Meßsystem - Google Patents

Inkrementales Meßsystem

Info

Publication number
DE2540412B2
DE2540412B2 DE2540412A DE2540412A DE2540412B2 DE 2540412 B2 DE2540412 B2 DE 2540412B2 DE 2540412 A DE2540412 A DE 2540412A DE 2540412 A DE2540412 A DE 2540412A DE 2540412 B2 DE2540412 B2 DE 2540412B2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
zero pulse
measuring system
scanning head
electrical
output
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE2540412A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2540412A1 (de
DE2540412C3 (de
Inventor
Guenter Dr.-Ing. 8221 Siegsdorf Nelle
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority to DE2540412A priority Critical patent/DE2540412B2/de
Priority to US05/719,847 priority patent/US4101764A/en
Priority to CH1118376A priority patent/CH607795A5/xx
Priority to FR7626893A priority patent/FR2323983A1/fr
Priority to GB37243/76A priority patent/GB1563308A/en
Priority to JP51107968A priority patent/JPS5840684B2/ja
Publication of DE2540412A1 publication Critical patent/DE2540412A1/de
Publication of DE2540412B2 publication Critical patent/DE2540412B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2540412C3 publication Critical patent/DE2540412C3/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36Forming the light into pulses

Description

vorteilhaft aus einzelnen Strichgruppen, an denen beim Vorbeibewegen einer zweiten, im Abtastkopf befindlichen gleichartigen Strichgruppe ein elektrisches Signal erzeugt wird, das in der Nähe einer bestimmten Lagezuordnung der vorgenannten Strichgnippen eine wesentlich steilere Änderung seines Betrages erfährt als in anderen Lagezuordnungen. Nullimpulsmarken dieser Art sind bekannt und beschrieben z. B. in der amerikanischen Patentschrift 3591842.
In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt.
Es zeigt
Fig. 1 schematisch ein Meßsystem nach der Erfindung,
Fig. 2 eine Draufsicht auf den Gittermafistab.
Das Ausführungsbeispiel zeigt ein lichtelektrisches inkrementales Meßsystem, das aus Maßstab 1 und Abtastkopf 2 besteht. Am Metallmaßstab 1 ist ein Strichgitter 3 (Fig. 2) aufgebracht, das im Auflicht photoelektrisch berührungsfrei abgetastet wird. Entlang des Strichgitters 3 ist eine Reihe Nullimpulsmarken 4 vorgesehen, die jeweils aus Strichgruppen bestehen. Die am Strichgitter 3 erzeugten elektrischen Signale, die im Abtastkopf 2 verstärkt und in Rechtecksignale T1ZT1 umgeformt werden, steuern über elektrische Leitungen 5/6 einen elektronischen Zähler 7, der die Meßwerte in digitaler Form anzeigt. Das an den Nullimpulsmarken 4 erzeugte Signal wird im Abtastkopf 2 verstärkt und in ein Rechtecksignal SB umgeformt. Inkremental Meßsysteme mit Nu';impulsmarken sind bekannt und beschrieben z. B. im Prospekt der Firma Dr. Johannes Heidenhain GmbH, Traunreut, »LIDA 55.12«, insbesondere Fig. 2, 2. Ausgabe März 1971.
Die Auswahl aus den Nullimpulsmarken 4, die beim Meßvorgang zur Wirkung gelangen sollen, er-
folgt mittels Magneten 9, die zweckmäßig in Meßrichtung einstellbar sind und deren Magnetfeld bei Annäherung des Abtastkopfes 2 einen darauf befindlichen Reed-Schalter 10 ansteuert. Der Ausgang 11 des Recd-Schalters 10 und der Ausgang 12 des Abtastkopfes 2 sind an eine elektronische Baueinheit 8 gelegt, deren Logik so organisiert ist, daß am Ausgang 13 nur dann ein Signal SB, auftritt, wenn gleichzeitig am Ausgang 11 des Reed-Schalters 10 und am Ausgang 12 des Abtastkopfes 2 ein elektrisches Signal S3IS11 anliegt. Der Ausgang 13 der elektronischen Baueinheit 8 ist am Zähler 7 angeschlossen, der beim Auftreten eines Impulses SB. gesteuert, z. B. auf Null gesetzt wird.
Die Erfindung ist nicht auf das gezeigte Ausfuhrungsbeispiel beschränkt, sondern es sind im Rahmen der Erfindung selbstverständlich auch andere Ausführungsformen denkbar. So können z. 8. bei gekapselten inkrementalen Meßsystemen, wie sie aus dem deutschen Gebrauchsmuster 7504025 bekannt sind, die Magnete in dem den Gittermaßstab gegen Umwelteinflüsse abschirmenden Hohlkörper angebracht sein.
Es ist auch eine Ausführungsform denkbar, bei der ein elektrischer Schalter, vorzugsweise ein Reed-Schalter, in Reihe geschaltet ist direkt mit dem den Nullimpulsmarken zugeordneten elektrischen Wandler (z. B. ein Fotoelement) des Abtastkopfes. Dabei ist jeder Nullimpulsmarke, die beim Meß Vorgang zur Wirkung gelangen soll, ein Magnet zugeordnet, der beim Vorbeibewegen des Abtastkopfes den darauf angebrachten elektrischen Schalter ansteuert. Ein am Ausgang des vorgenannten elektrischen Wandlers anliegendes analoges elektrisches Signal gelangt hierbei nur dann zur Wirkung, wenn der elektrische Schalter unter der Einwirkung des Magnetfeldes geschlossen ist.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (6)

Patentansprüche:
1. Inkrementales Meßsystem mit entlang der Teilungsspur vorgesehenen Nullimpulsmarken, an denen im Zusammenwirken mit einem Abtastergan reproduzierbare Impulse erzeugt werden, deren Lage zur Teilung des Gittermaßstabes absolut festgelegt ist und die Steuervorgänge im elektronischen Zähler des Meßsystems auslösen, gekennzeichnet durch die Kombination folgender Merkmale:
a) auf dem Gittermaßstab (1) ist bereits bei der Teilungsherstellung in zueinander festgelegten Abständen eine Reihe von Nullimpulsmarken (4) angebracht;
b) mindestens ein elektrisches Schaltmittel (9/ 10) ist auf dem Maßstab (1) selbst oder in dessen unmittelbarer Nähe angeordnet;
c) durch den Wirkzusammenhang des Schaltmitels (9/10) mit jeweils einer der Nullimpulsmarken (4) können eine oder mehrere Nullimpulsmarken (4) ausgewählt und s:ur Wirkung gebracht werden.
2. Inkrementales Meßsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Nullimpuilsmarke (4), die beim Meßvorgang zur Wirkung gelangen soll, ein Magnet (9) zugeordnet ist, der beim Vorbeibewegen des Abtastkopfes (2) einen darauf angebrachten elektrischen Schalter (ILO) ansteuert, dessen elektrischer Ausgang (11) ;tusammen mit dem elektrischen Ausgang (12) des Abtastkopfes (2) an eine elektronische Baueinheit
(8) gelegt ist, die an ihrem Ausgang (13) nur dann einen Steuerimpuls (SB,) abgibt, wenn gleichzeitig am Ausgang (12) des Abtastkopfes (2) und am Ausgang (11) des Schalters (10) ein elektrisches Signal (SB bzw. SR) anliegt.
3. Inkrementales Meßsystem nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Schalter (10) am Abtastkopf (2) ein magnetisch betätigter Reed-Schalter ist.
4. Inkrementales Meßsystem nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnete
(9) in Bewegungsrichtung des Abtastkopfes (2) einstellbar angebracht sind, so daß diese der jeweils benötigten Nullimpulsmarke (4) zuordbar sind.
5. Inkrementales Meßystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem Meßsystem, dessen Maßstab (1) und Abtastkopf (2) zur Abschirmung gegen Umwelteinflüsse in einem biegesteifen Hohlkörper eingebracht sind, die den Nullimpulsmarken zugeordneten Magnete im vorgenannten Hohlkörper angebracht sind.
6. Inkrementales Meßsystem nach Anspruch 1, dadurhc gekennzeichnet, daß ein elektrischer Schalter in Reihe geschaltet ist mit einem den Nullimpulsmarken zugeordneten elektrischen Wandler des Abtastkopfes und daß ferner jeder Nullimpulsmarke, die beim Meßvorgang zur Wirkung gelangen soll, ein Magnet zugeordnet ist, der beim Vorbeibewegen des Abtastkopfes den darauf angebrachten elektrischen Schalter ansteuert und daß ein am Ausgang des elektrischen Wandlers anliegendes analoges Signal nur dann zur Wirkung gelangt, wenn der elektrische Schalter unter Einwirkung des Magnetfeldes geschlossen ist.
Die Erfindung betrifft ein inkrementales Meßsystem mit entlang der Teilungsspur vorgesehenen Nullimpulsmarken, an denen im Zusammenwirken mit einem Abtastorgan reproduzierbare Impulse erzeugt werden, deren Lage zur Teilung des Gittermaßstabes absolut festgelegt ist und die Steuervorgänge im elektronischen Zähler des Meßsystems auslösen. Diese Steuerimpulse können auf verschiedene Weise verwertet werden, z. B. zum Reproduzieren der Nullposition im Zähler, zum Anfahren einer bestimmten Position zu Beginn der Messung, zur Kontrolle auf Störimpulse usw. Der Anwendungsbereich derartiger inkrementaler Meßsysteme kann dadurch erweitert werden, daß der Nullpunkt im gesamten Arbeitsbereich frei gewählt werden kann (siehe Simon, W.: Die numerische Steuerung von Werkzeugmaschinen, C. Hanser-Verl., München 1971, S. 55).
Bei bekannten inkrementalen Meßsystemen sind demnach Anzahl und Lage der bei der Maßstabherstellung mit aufgebrachten Nullimpulsmarken entsprechend den Erfordernissen des Benutzers festgelegt. Somit besteht beim späteren Einsatz des Meßsystems keine Möglichkeit mehr, die Anzahl und Lage der Steuerimpulse zu verändern. Aufgabe der Erfindung ist es, mit besonders einfachen Mitteln die Nachteile bekannter inkrementaler Meßsysteme mit Nullimpulsmarken zu beheben und eine Meßeinrichtung 2Oi schaffen, die bei ihrer Herstellung Vorteile durch Standardisierung schafft und dem Anwender später große Variationsmöglichkeiten hinsichtlich der Bezugsmarkenfestlegung bietet.
Die Erfindung löst die gestellte Aufgabe durch die im Anspruch 1 angegebene Kombination von Merkmalen.
Die Vorteile der Erfindung liegen darin, daß der Benutzer des Meßsystems den jeweiligen Erfordernissen entsprechend sowohl die Anzahl als auch die Lage der Steuerimpulse selbst bestimmen kann. Dies erweitert den Anwendungsbereich derartiger Meßsysteme erheblich.
Die Herstellung der Gittermaßstäbe kann standardisiert werden, da eine Vielzahl von Nullimpulsmarken aufgebracht wird. Erst beim Anwender muß die Auswahl der erforderlichen Nullimpulsmarken vorgenommen werden. Darüber hinaus ist der Anwender an diese Auswahl nicht gebunden, sondern es können aus gegebenem Anlaß andere Nullimpulsmarken ausgewählt werden und die bisherigen können wieder stillgelegt werden.
Bei einer möglichen Ausführungsform ist jeder Nullimpulsmarke, die beim Meßvorgang zur Wirkung gelangen soll, ein Magnet zugeordnet, der beim Vorbeibewegen des Abtastkopfes einen darauf angebrachten elektrischen Schalter ansteuert, dessen elektrischer Ausgang zusammen mit dem elektrischen Ausgang des Abtastkopfes an eine elektronische Baueinheit gelegt ist, die an ihi em Ausgang nur dann einen Steuerimpuls abgibt, wenn gleichzeitig am Ausgang des Abtastkopfes und am Ausgang des Schalters ein elektrisches Signal anliegt.
Zweckmäßig ist der am Abtastkopf des Meßsystems vorgesehene Schalter ein Reed-Schalter bekannter Bauart, dessen Erregung durch einen Dauermagneten oder Elektromagneten erfolgen kann. Die Magnete sind vorieiihafi in Meßrichiung verschiebbar angeordnet, so daß diese der jeweils benötigten Nullimpulsmarke leicht zugeordnet werden können.
Die Nullimpulsmarken am Gittermaßstab bestehen
DE2540412A 1975-09-11 1975-09-11 Inkrementales Meßsystem Granted DE2540412B2 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2540412A DE2540412B2 (de) 1975-09-11 1975-09-11 Inkrementales Meßsystem
US05/719,847 US4101764A (en) 1975-09-11 1976-09-02 Incremental measuring system
CH1118376A CH607795A5 (de) 1975-09-11 1976-09-03
FR7626893A FR2323983A1 (fr) 1975-09-11 1976-09-07 Dispositif de mesure incrementale
GB37243/76A GB1563308A (en) 1975-09-11 1976-09-08 Incremental measurement system
JP51107968A JPS5840684B2 (ja) 1975-09-11 1976-09-10 増分式測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2540412A DE2540412B2 (de) 1975-09-11 1975-09-11 Inkrementales Meßsystem

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2540412A1 DE2540412A1 (de) 1977-03-24
DE2540412B2 true DE2540412B2 (de) 1979-08-02
DE2540412C3 DE2540412C3 (de) 1987-01-22

Family

ID=5956141

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2540412A Granted DE2540412B2 (de) 1975-09-11 1975-09-11 Inkrementales Meßsystem

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4101764A (de)
JP (1) JPS5840684B2 (de)
CH (1) CH607795A5 (de)
DE (1) DE2540412B2 (de)
FR (1) FR2323983A1 (de)
GB (1) GB1563308A (de)

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2948854A1 (de) * 1979-12-05 1981-06-11 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementales messsystem
DE2952106A1 (de) * 1979-12-22 1981-07-02 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Lichtelektrische inkrementale positioniereinrichtung
DE3035012A1 (de) * 1980-09-17 1982-04-01 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Stellungsgeber
DE3037810A1 (de) * 1980-10-07 1982-04-22 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale messeinrichtung
EP0050195A2 (de) * 1980-10-18 1982-04-28 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Einrichtung zur Auswahl von Referenzmarken bei inkrementalen Längen- oder Winkelmesseinrichtungen
DE3245914C1 (de) * 1982-12-11 1984-03-29 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Messeinrichtung
DE3245357A1 (de) * 1982-12-08 1984-06-14 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale messeinrichtung
DE3308814A1 (de) * 1983-03-12 1984-09-20 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Messeinrichtung
DE3526206A1 (de) * 1985-07-23 1987-02-05 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Wegmesseinrichtung
DE3611204A1 (de) * 1986-04-04 1987-10-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Messeinrichtung
DE3617254A1 (de) * 1986-05-22 1987-11-26 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Messeinrichtung
EP0321439A2 (de) * 1987-12-18 1989-06-21 RSF-Elektronik Gesellschaft m.b.H. Inkrementales Messsystem
AT396631B (de) * 1984-07-06 1993-10-25 Rsf Elektronik Gmbh Inkrementales messsystem
DE19538228A1 (de) * 1995-10-13 1997-04-17 Hans Dr Lochbihler Positionserfassungseinrichtung

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54100743U (de) * 1977-12-27 1979-07-16
DE3018527A1 (de) * 1980-05-14 1981-11-19 Walter Dipl.-Ing. Dr.-Ing. 8012 Ottobrunn Mehnert Verfahren und vorrichtung zur messung einer laenge
DE3104972C2 (de) * 1981-02-12 1985-06-20 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Lichtelektrische inkrementale Positioniereinrichtung
DE3144334C2 (de) * 1981-11-07 1985-06-13 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Wegmeßeinrichtung mit Referenzmarken
DE3204012C1 (de) * 1982-02-05 1983-02-03 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale Messeinrichtung
DE3337653A1 (de) * 1983-10-17 1985-05-02 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Verfahren zur signaluebertragung und einrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
JPS60120217A (ja) * 1983-12-02 1985-06-27 Mitsutoyo Mfg Co Ltd 光電式変位検出装置
US4633224A (en) * 1985-05-06 1986-12-30 Caterpillar Inc. Absolute and incremental optical encoder
SE460928B (sv) * 1986-10-13 1989-12-04 Johansson Ab C E Absolutmaetande skalsystem
AT394781B (de) * 1989-02-03 1992-06-25 Rsf Elektronik Gmbh Inkrementales messsystem
AT395071B (de) * 1989-02-09 1992-09-10 Rieder & Schwaiger Sentop Inkrementales messsystem
DE3914739A1 (de) * 1989-05-05 1990-11-08 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Inkrementale positionsmesseinrichtung mit referenzmarken
AT394446B (de) * 1990-10-11 1992-03-25 Rsf Elektronik Gmbh Inkrementales laengenmesssystem
DE4244178C2 (de) * 1992-12-24 1997-01-23 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
DE4428590C2 (de) 1994-08-12 1996-06-20 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
DE19528045C1 (de) * 1995-07-31 1996-10-02 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßvorrichtung
GB9605278D0 (en) * 1996-03-13 1996-05-15 Renishaw Plc Opto-electronic scale reading apparatus
US6181423B1 (en) 1998-10-06 2001-01-30 Jorge Uriarte Linear encoder providing engagement by engraving
DE19908328A1 (de) 1999-02-26 2000-08-31 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Optische Positionsmeßeinrichtung
ATE448466T1 (de) 1999-09-16 2009-11-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Vorrichtung zur positionsbestimmung und ermittlung von führungsfehlern
DE19962278A1 (de) 1999-12-23 2001-08-02 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
CA2510104C (en) * 2004-06-09 2010-06-01 Dean B. Mcneil Guidance system for a robot
JP4953589B2 (ja) * 2005-05-25 2012-06-13 株式会社ミツトヨ エンコーダの原点信号生成方法及び装置
US20120152308A1 (en) * 2010-12-17 2012-06-21 Greenvolts, Inc Structurally breaking up a two-axis tracker assembly in a concentrated photovoltaic system
CN108362240B (zh) * 2018-01-30 2020-12-25 深圳市圆梦精密技术研究院 获取工件坐标系方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1252423B (de) * 1967-10-19
US3024986A (en) * 1959-05-04 1962-03-13 Bernard V Strianese Measuring system employing digital electronic circuitry
US3142121A (en) * 1959-09-17 1964-07-28 Elmic Inc Micrometer
DE1214892B (de) * 1961-11-15 1966-04-21 Licentia Gmbh Anordnung zur digitalen Messung einer technisch-physikalischen Groesse
AT288050B (de) * 1968-01-29 1971-02-25 Leitz Ernst Gmbh Einrichtung zum Messen von Längen oder Winkeln
US3663803A (en) * 1970-06-22 1972-05-16 Spartanics Pitch matching detecting and counting system
US3982106A (en) * 1973-05-14 1976-09-21 Contraves Ag System for measuring the longitudinal or angular displacement of a movable component
US4012623A (en) * 1975-06-05 1977-03-15 Veeder Industries, Inc. Counting and indicating system

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2948854A1 (de) * 1979-12-05 1981-06-11 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementales messsystem
DE2952106A1 (de) * 1979-12-22 1981-07-02 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Lichtelektrische inkrementale positioniereinrichtung
DE3035012A1 (de) * 1980-09-17 1982-04-01 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Stellungsgeber
DE3037810A1 (de) * 1980-10-07 1982-04-22 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale messeinrichtung
EP0050195A3 (en) * 1980-10-18 1985-12-18 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Method and devices for the selection of reference marks at incremental length or angle measuring devices
EP0050195A2 (de) * 1980-10-18 1982-04-28 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Einrichtung zur Auswahl von Referenzmarken bei inkrementalen Längen- oder Winkelmesseinrichtungen
DE3039483A1 (de) * 1980-10-18 1982-04-29 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale laengen- oder winkelmesseinrichtung
DE3245357A1 (de) * 1982-12-08 1984-06-14 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale messeinrichtung
DE3245914C1 (de) * 1982-12-11 1984-03-29 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Messeinrichtung
DE3308814A1 (de) * 1983-03-12 1984-09-20 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Messeinrichtung
AT396631B (de) * 1984-07-06 1993-10-25 Rsf Elektronik Gmbh Inkrementales messsystem
DE3526206A1 (de) * 1985-07-23 1987-02-05 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Wegmesseinrichtung
DE3611204A1 (de) * 1986-04-04 1987-10-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Messeinrichtung
DE3617254A1 (de) * 1986-05-22 1987-11-26 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Messeinrichtung
EP0321439A2 (de) * 1987-12-18 1989-06-21 RSF-Elektronik Gesellschaft m.b.H. Inkrementales Messsystem
EP0321439A3 (de) * 1987-12-18 1991-03-20 RSF-Elektronik Gesellschaft m.b.H. Inkrementales Messsystem
DE19538228A1 (de) * 1995-10-13 1997-04-17 Hans Dr Lochbihler Positionserfassungseinrichtung
DE19538228C2 (de) * 1995-10-13 1999-07-22 Hans Dr Lochbihler Positionserfassungseinrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
DE2540412A1 (de) 1977-03-24
CH607795A5 (de) 1978-10-31
JPS5840684B2 (ja) 1983-09-07
FR2323983A1 (fr) 1977-04-08
DE2540412C3 (de) 1987-01-22
US4101764A (en) 1978-07-18
JPS5235659A (en) 1977-03-18
FR2323983B1 (de) 1981-08-21
GB1563308A (en) 1980-03-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2540412B2 (de) Inkrementales Meßsystem
DE2948854C2 (de)
DE2619494C2 (de) Vorrichtung zur Bestimmung der Lage eines beweglichen Organs
AT395071B (de) Inkrementales messsystem
DE3039483C2 (de) Inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
DE4428590C2 (de) Positionsmeßeinrichtung
DE2850940A1 (de) Bandmessgeraet
DE2732954C2 (de) Inkrementales Lagemeßsystem
EP0480904A3 (de) Inkrementales Längenmesssystem
DE2413997C3 (de) Bügelmeßschraube
EP0395844B1 (de) Positionsmesseinrichtung mit Referenzmarken
AT394781B (de) Inkrementales messsystem
DE2220934A1 (de) Mechanisch-optische einrichtung zur anzeige von digitalisierten messwerten
DD159211A1 (de) Anordnung zur lagebestimmung eines index gegenueber einer teilung
DE1274363B (de) Einrichtung zum absolut-digitalen Messen
DE4210934C1 (de)
DE3926328A1 (de) Vorrichtung zum messen von laengen, winkeln und dergleichen
DE613082C (de) Laengenmessvorrichtung
DE4244178C2 (de) Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
DE1513480C3 (de) Positioniereinrichtung fur ein bewegliches Organ einer Meß oder Werkzeugmaschine
DE1448881B2 (de)
DE4037545A1 (de) Messeinrichtung
DE3512744A1 (de) Fotometrischer rotationssensor fuer durchscheinende vorlagen
DE3829636C2 (de) Positionserfassungssystem
DE1283364B (de) Anordnung zur UEbertragung einer aus einem auf der Hochspannungsseite fliessenden Strom abgeleiteten Spannung von der Hochspannungs- auf die Niederspannungsseite

Legal Events

Date Code Title Description
AG Has addition no.

Ref country code: DE

Ref document number: 3037810

Format of ref document f/p: P

8281 Inventor (new situation)

Free format text: NELLE, GUENTER, DR.-ING., 8221 SIEGSDORF, DE

C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
8310 Action for declaration of annulment