JP3059916B2 - 位置測定装置 - Google Patents
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Description
する走査ユニットにより走査される少なくとも一つの増
分目盛と、多数の基準マークの間の固有な間隔により区
別できるように異なった間隔に配置された第一種の基準
マークと、少なくとも一つの他種の基準マークとを備え
た位置測定装置に関する。
具の相対位置を測定するため、および座標測定機械で検
査物体の位置と寸法を求めるために採用されている。基
準マークで発生する電気パルスは、計数器中で基準位置
を再現するため、および、測定の開始時点あるいは中断
した後、特定の位置から出発するため、計数状態を検査
または修正するため、および後続する制御装置に信号を
送るために使用される。
つの基本原理が知られている。一方の原理では、増分目
盛に平行に一連の同一基準マークが一定間隔にして設け
てある。測定過程で作用する各基準マークには、一つの
切換手段が付属している。この切換手段および基準マー
クの走査部材の電気出力端は評価ユニットに接続し、こ
の評価ユニットは基準マークの走査部材と切換手段に同
時に電気信号が出力した時のみ計数器に制御パルスを出
力する。この制御パルスは計数器中で所定の計数値をセ
ットするように働く。この種の測定装置は、例えばドイ
ツ特許第25 40 412 C3 号明細書により周知である。
準マークを有する少なくとも一つの基準マークトラック
が付属している。各基準マークは、他の基準マークに対
してその基準マークを特徴付ける特別な間隔を有する。
基準マークの間の異なった間隔は増分目盛を走査し測定
ステップ(増分刻み)を計数して決定される。この種の
測定装置は、例えばドイツ特許第 24 16 212 C号明細書
により周知である。欧州特許第 0 246 404号明細書で
は、一つの基準マークの絶対値を求めるため基準マーク
の間の連続する二つの間隔を利用している。
は、計数信号を形成する増分目盛と、絶対位置を求める
他のトラックとを備えている位置測定装置が同じように
記載されている。この他のトラックは、一実施例の場
合、間隔の異なる一列の同じ基準マークから成るので、
個々の基準マーク位置は連続する二つの基準マークの特
異な間隔により区別できる。他の実施例では、他のトラ
ックは位置を決める符号語を発生させる連続符号を形成
する目印で構成されている。
させた研究済の測定装置が既に提唱されている。これ等
の測定装置のうちの一つはドイツ特許第 39 14 739 C2
号明細書に開示されている。増分トラックに平行には、
同一の基準マークのみを順次異なった間隔で配置した基
準マークのトラックが配置されている。一基準マークか
ら隣の基準マークへの増分刻みを計数してその絶対位置
が求まる。他のトラックには、等間隔に配置された一連
の目印がある。基準マークを選択するため、これ等の目
印は一定の基準マークに付属している。これ等の目印か
ら一つを選びそれに付属する基準マークのみを作動させ
る。更に、動作モード・切換スイッチを設け、このスイ
ッチで間隔符号化の原理により全ての基準マークを評価
したり、あるいは目印を付けた基準マークのみを評価す
ることができる。
マークを選択するため、付加的なトラックが必要であ
り、更に目印の中の一つを選ぶため、第三のトラックを
必要とする点にある。更に、目印が基準マークに正確に
対応する必要があり、これはコストのかかる調整作業を
必要にする。他の難点は、測定長が長い場合、連続する
基準マークは互いに長い間隔となり、全測定長にわたり
異なった間隔になる点にある。第二トラックの目印の可
能な最短間隔は基準マークの最大の間隔に相当するの
で、目印で選択された第二測定原理の基準マークは実際
には長すぎる間隔となる。
発明の前提とする)ドイツ特許第4244 178 A1号明細書
によれば、基準マークを備えた少なくとも二つのトラッ
クをしている。この難点は、増分目盛の外に比較的大き
な場所を要し、走査ユニットの幅が大きくなる点にあ
る。
は、位置測定装置の規格を統一化することにより、製造
経費と保管経費を低減し、拡大された使用可能性を保証
し、同時に位置測定装置の形状を小さくすることにあ
る。
により、計数信号を形成するため走査ユニットで走査さ
れる少なくとも一つの増分目盛を有する一つのトラック
と、一つの他のトラックとを備えた位置測定装置にあっ
て、前記他のトラック4が、異なった間隔に配置され、
特有な間隔により個別に判別できる第一種の基準マーク
A1 〜A9 と、順次等間隔に配置されているため第一種
の基準マークと区別される第二の基準マークB1 〜B8
とを含み、前記他のトラック4を走査ユニット2で走査
すると,走査ユニットの第一走査視野8A により第一種
の基準マークA1 〜A9 の各々のところで第一基準マー
クパルスRAが発生し、第二種の基準マークB1 〜B8
の各々のところで第二基準マークパルスRBが発生せ
ず、走査ユニットの第二走査視野8B により第二種の基
準マークB1 〜B8 の各々のところで第二基準マークパ
ルスRBが発生し、第一種の基準マークA1 〜A9 の各
々のところで第一基準マークパルスRAが発生しないこ
とによって解決されている。
の範囲の従属請求項に記載されている。
づき、この発明をより詳しく説明する。図1は目盛板1
を備えた光電増分式測長装置を示す。この目盛板1は走
査ユニット2に対して測定方向Xに相対移動する。図2
に詳しく示す目盛板1の一つのトラックに増分目盛3
と、他のトラック4に多数の基準マークA1 〜A9 およ
びB1 〜B8 が付けてある。増分目盛3とトラック4を
光電走査するため、走査ユニット2が設けてある。この
走査ユニット2は光源6を備え、この光源の光をコリメ
ータ7で平行ビームにし、目盛板1に入射する。この光
は増分目盛3と基準マークA1 〜A9,B1 〜B8 の透光
領域を通過し、走査板8を通過して光電受光装置9に入
射する。
同じ幅の線条と隙間がある。光電走査を行うと、周期的
なアナログ電気信号が発生し、これ等の電気信号からト
リガーにより周知のように計数可能な矩形波信号(以後
計数信号と呼ぶ)が形成される。トラック4には増分目
盛3に平行に異なった構成の二種の基準マークA1 〜A
9 およびB1 〜B8 が付けてある。第一種の同じ基準マ
ークA1 〜A9 は順次異なる間隔a1 〜a8 にして設け
てある。第二種の同じ基準マークB1 〜B8 は順次同じ
間隔b1 〜b7 = 50 mmにして付けてある。二列の基準
マークA1 〜A9とB1 〜B8 を区別するため、図2に
両者を異なった高さの線条で示してある。実際には、個
々の基準マークA1 〜A9 とB1 〜B8 はそれぞれ不透
明な線条と透明な隙間の組み合わせで形成され、増分目
盛3の多数の増分刻みにわたり続いている。図3には、
単純な構成の基準マークA1 が、また図4には基準マー
クB1 が図示されている。実際には、これ等の基準マー
クA1,B1 は増分目盛3の8増分刻みにわたった続くだ
けでなく、多数、例えば約 70 にわたって続く。基準マ
ークA1,B1 の不透明な線条と透明な隙間を組み合わせ
ると、走査時に一増分の計数パルスを中心とする狭い基
準マークのパルスRA,RBが生じる。
するため、走査ユニット2には二つの走査視野8A,8B
が設けてある。走査視野8A は基準マークA1 〜A9 と
同じような線条と隙間の分布を有する。走査視野8B の
線条と隙間の分布は基準マークB1 〜B8 の線条と隙間
の分布に一致している。各基準マークA1 〜A9 を走査
視野8A で走査すると、図5に示す振幅Sの信号Aが付
属する受光視野9A で発生する。各基準マークB1 〜B
8 を走査視野8B で走査すると、図6に示す信号Bが付
属する受光視野9B で発生する。信号A,Bをトリガー
することにより増分目盛3の1増分刻みにほぼ等しい幅
を有するそれぞれ一つの基準マークパルスRA,RBが
発生する。二種の基準マークA1 〜A9 とB1 〜B8 は
ただ一つのトラック4に混在状態で配置されているの
で、基準マークA1 〜A9 を走査視野8B で走査する場
合、および基準マークB1 〜B8 を走査視野8A で走査
する場合、基準パルスRBやRAが発生しないように、
基準マークA1 〜A9 とB1〜B8 を形成することが重
要である。図7に示すように、上記二つのの場合、対応
する受光視野9B,9A から発生する信号CのレベルSは
基準パルスRBやRAを形成するのに必要な信号レベル
Tより低い。
二つの操作モードの間を選択できる。第一の操作モード
では、第一種の基準マークA1 〜A9 のみを評価し、た
だ基準マークパルスRAのみ評価ユニット13に導入さ
れる。周知のように、連続する二つの基準マークA1 〜
A9 の間の増分刻みを計数することにより、各基準マー
クA1 〜A9 に絶対位置が確実に対応する。このため、
各間隔a1 〜a8 に対して評価ユニット13の記憶領域
内に絶対位置が記憶されている。絶対位置を対応させる
には、欧州特許第 0 246 404 A2 号明細書に開示するよ
うに、多数の間隔a1 〜a8 によっても行える。
基準マークB1 〜B8 のみが周知の方法(ドイツ特許第
25 40 412 C3 号明細書)で評価される。この場合で
も、計数信号を発生するため増分目盛3を走査する。基
準マークB1 〜B8 の一つに選択手段11が付属してい
るので、走査ユニット2が通過すると、一連の基準マー
クB1 〜B8 から当該基準マークB1 が選択され、この
基準マークのみが作用を及ぼす。選択されたこの基準マ
ークB1 を検知すると、位置表示装置の計数状態が所定
値にセットされる。図8に模式的に示すように、これに
は評価ユニット13中に記憶領域を設け、基準マークB
1 に付属する前記絶対位置がこの記憶領域に記憶されて
いる。
の磁石は走査ユニットが通過すると、そこに取り付けて
あるホール素子12が動作する。ホール素子12は評価
ユニット13へ出力する選択信号を発生するので、選択
信号と基準マークパルスRBが同時に発生した時のみ絶
対位置を出力する。絶対位置の代わりに、制御信号のみ
を位置表示装置あるいは数値制御部に与えることもでき
る。
るため、選択手段10が設けてある。この選択手段10
は、主として走査ユニット2あるいは位置表示装置で切
換スイッチとして形成されているので、基準マークパル
スRAかRBの何れかが評価ユニット13に導入され
る。操作モードが製造メーカーで、例えば所定の接続部
分をハンダ付けすることにより走査ユニット2の中で既
に選択されている場合でも、この発明の枠内にある。
B ないしは使用しない走査視野8Aまたは8B を遮蔽し
ても選択が行える。これには、外部から操作できるスリ
ットも使用できる。操作モードを選択する他の可能性
は、ただ一つの走査視野8A または8B を有する走査板
8および/またはただ一つの受光視野9A または9B を
有する受光装置9を使用することにある。
る。更に、この発明は光電走査原理だけでなく、例えば
磁気測定装置にも使用できる。
は、位置測定装置が使用者の要請に簡単に合わせること
ができ、それにもかかわらず、その形状を小さくできる
点にある。
Claims (7)
- 【請求項1】計数信号を形成するため走査ユニットで走
査される少なくとも一つの増分目盛を有する一つのトラ
ックと、一つの他のトラックとを備えた位置測定装置に
おいて、 前記他のトラック(4)が、異なった間隔に配置され、
特有な間隔により個別に判別できる第一種の基準マーク
(A1 〜A9 )と、順次等間隔に配置されているため第
一種の基準マークと区別される第二種の基準マーク(B
1 〜B8 )とを含み、 前記他のトラック(4)を走査ユニット(2)で走査す
ると,走査ユニットの第一走査視野(8A )により第一
種の基準マーク(A1 〜A9 )の各々のところで第一基
準マークパルス(RA)が発生し、第二種の基準マーク
(B1 〜B8 )の各々のところで第二基準マークパルス
(RB)が発生せず、走査ユニットの第二走査視野(8
B )により第二種の基準マーク(B1 〜B8 )の各々の
ところで第二基準マークパルス(RB)が発生し、第一
種の基準マーク(A1 〜A9 )の各々のところで第一基
準マークパルス(RA)が発生しないことを特徴とする
位置測定装置。 - 【請求項2】 走査ユニット(2)は、第一種の基準マ
ーク(A1 〜A9 )の列を走査する間、これ等の基準マ
ークの各々で第一基準マークパルス(RA)を発生し、
第二種の基準マーク(B1 〜B8 )の列を走査する間、
これ等の基準マークの各々で第二基準マークパルス(R
B)を発生しないように指定された第一走査視野(8A
)と、第二種の基準マーク(B1 〜B8 )の列を走査
する間、これ等の基準マークの各々で第二基準マークパ
ルス(RB)を発生し、第一種の基準マーク(A1 〜A
9 )の列を走査する間、これ等の基準マークの各々で第
一基準マークパルス(RA)を発生しないように指定さ
れた第二走査視野(8B )とを有し、 第一走査視野(8A )で目盛板(1)を走査し、第一種
の基準マーク(A1 〜A9 )の列の第一基準パルス(R
A)を評価ユニット(13)に供給して、第一種の基準
マークの間でパルス信号を計数して得られた固有な間隔
から第一種の基準マーク(A1 〜A9 )の絶対位置を求
める第一操作モードと、第二走査視野(8B )で目盛板
(1)を走査し、第二種の基準マークの列の基準パルス
を評価ユニットに供給して、第二種の基準マーク(B1
〜B8 )の絶対位置を求める第二操作モードとを選択す
る第一選択手段(10)を備えていることを特徴とする
請求項1に記載の位置測定装置。 - 【請求項3】 第二種の基準マーク(B1 〜B8 )の少
なくとも一つに対して指定されている第二選択手段(1
1)を有し、この第二選択手段(11)を走査ユニット
中のホール素子(12)で走査し、この第二選択手段
(11)に対する位置測定装置の絶対位置を決定するこ
とを特徴とする請求項1または2に記載の位置測定装
置。 - 【請求項4】 前記第二選択手段(11)は磁石である
ことを特徴とする請求項3に記載の位置測定装置。 - 【請求項5】 第一種の基準マーク(A1 〜A9 )と第
二種の基準マーク(B1 〜B8 )はそれぞれ測定方向
(X)に順次配置された線条のパターンで構成され、第
一種の基準マークの線条のパターンは第二種の基準マー
クの線条のパターンとは異なり、走査ユニットの第一走
査視野は第一種の基準マークの線条のパターンと同一な
線条のパターンを有し、第二走査視野は第二種の基準マ
ークの線条のパターンと同一な線条のパターンを有する
ことを特徴とする請求項1に記載の位置測定装置。 - 【請求項6】 前記第一選択手段(10)は位置測定装
置に組み込まれた切換スイッチであることを特徴とする
請求項2に記載の位置測定装置。 - 【請求項7】 前記第一選択手段(10)は光源(6)
と前記第一走査視野(8A )に付属する第一受光視野
(9A )との間、あるいは前記光源(6)と前記第二走
査視野(8B )に付属する第二受光視野(9B )との間
に配設されているスリットであることを特徴とする請求
項2に記載の位置測定装置。
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