JP3086608B2 - 測長システム - Google Patents
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 17
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000001028 reflection method Methods 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B61—RAILWAYS
- B61L—GUIDING RAILWAY TRAFFIC; ENSURING THE SAFETY OF RAILWAY TRAFFIC
- B61L25/00—Recording or indicating positions or identities of vehicles or trains or setting of track apparatus
- B61L25/02—Indicating or recording positions or identities of vehicles or trains
- B61L25/025—Absolute localisation, e.g. providing geodetic coordinates
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
- G01D5/2454—Encoders incorporating incremental and absolute signals
- G01D5/2455—Encoders incorporating incremental and absolute signals with incremental and absolute tracks on the same encoder
- G01D5/2457—Incremental encoders having reference marks
-
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- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、多数の目盛部分片か
ら成る目盛板と、目盛部分片の高分解能増分目盛を走査
する走査ユニットとを備え、この走査ユニットが目盛板
の二つの目盛部分片の間の隙間の幅より大きい間隔の二
つのグループの走査素子を有し、増分目盛の傍に平行に
他の走査素子で走査される少なくとも一つの制御トラッ
クを設け、前記他の走査素子の出力信号に応じて切換装
置が二つのグループの走査素子の一方から他方へ切り換
える測長システムに関する。
ら成る目盛板と、目盛部分片の高分解能増分目盛を走査
する走査ユニットとを備え、この走査ユニットが目盛板
の二つの目盛部分片の間の隙間の幅より大きい間隔の二
つのグループの走査素子を有し、増分目盛の傍に平行に
他の走査素子で走査される少なくとも一つの制御トラッ
クを設け、前記他の走査素子の出力信号に応じて切換装
置が二つのグループの走査素子の一方から他方へ切り換
える測長システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の測長システムは、ドイツ特許第
１７７３４６０号明細書およびドイツ特許第２７３０７
１５号明細書により既に周知である。これ等の測長シス
テムでは、目盛板の目盛部分片の増分目盛を走査するた
め、測定方向に間隔を設けて配置した二つの走査装置が
使用されている。ドイツ特許第１７７３４６０号明細書
によれば、増分目盛の傍に前記走査装置を交互に切り換
える切換カムもしくは切換連結リンクが装着されてい
る。切換カムもしくは切換連結リンクの長さは、目盛板
の二つの目盛部分片の当接位置に達する前に、そこまで
動作していた走査装置の動作が止まり、同時に隣の目盛
板の目盛部分片上にある他方の走査装置が動作するよう
に選択されている。こうして目盛板の当接個所に関して
経費のかかる調整作業を省くことができる。何故なら、
二つの走査装置を交互に作動させると、目盛板の目盛部
分片が当接個所で走査されないからである。
１７７３４６０号明細書およびドイツ特許第２７３０７
１５号明細書により既に周知である。これ等の測長シス
テムでは、目盛板の目盛部分片の増分目盛を走査するた
め、測定方向に間隔を設けて配置した二つの走査装置が
使用されている。ドイツ特許第１７７３４６０号明細書
によれば、増分目盛の傍に前記走査装置を交互に切り換
える切換カムもしくは切換連結リンクが装着されてい
る。切換カムもしくは切換連結リンクの長さは、目盛板
の二つの目盛部分片の当接位置に達する前に、そこまで
動作していた走査装置の動作が止まり、同時に隣の目盛
板の目盛部分片上にある他方の走査装置が動作するよう
に選択されている。こうして目盛板の当接個所に関して
経費のかかる調整作業を省くことができる。何故なら、
二つの走査装置を交互に作動させると、目盛板の目盛部
分片が当接個所で走査されないからである。
【０００３】この発明の前提となるドイツ特許第２７３
０７１５号明細書では、目盛板の各目盛部分片に対して
増分目盛の傍に制御トラックが付けてある。目盛板の各
目盛部分片の上記制御トラックは、各目盛部分片の一方
の端部から黒色で始まり、つまり非透光性に形成され、
他方の端部で透光性の窓となって終わる。
０７１５号明細書では、目盛板の各目盛部分片に対して
増分目盛の傍に制御トラックが付けてある。目盛板の各
目盛部分片の上記制御トラックは、各目盛部分片の一方
の端部から黒色で始まり、つまり非透光性に形成され、
他方の端部で透光性の窓となって終わる。
【０００４】これ等の周知の測定システムには、全測定
長にわたる測定が増分式に行われるだけで、絶対位置を
求めることができないという難点がある。この難点を排
除するため、ドイツ特許第３９２８５９２号明細書の測
長システムでは切換位置を測定システムの外部に配設さ
れた外部検出器で決めている。この検出器は全測定長に
わたり絶対位置を検出する。しかし、この測定システム
には増分測長システムの外に他の絶対測定システムが必
要であるという難点がある。
長にわたる測定が増分式に行われるだけで、絶対位置を
求めることができないという難点がある。この難点を排
除するため、ドイツ特許第３９２８５９２号明細書の測
長システムでは切換位置を測定システムの外部に配設さ
れた外部検出器で決めている。この検出器は全測定長に
わたり絶対位置を検出する。しかし、この測定システム
には増分測長システムの外に他の絶対測定システムが必
要であるという難点がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この発明の主要な課題
は、構造寸法が小さくても確実に動作し、全測定長にわ
たり絶対位置を使用できるように、冒頭に述べた種類の
測長システムを改良することにある。
は、構造寸法が小さくても確実に動作し、全測定長にわ
たり絶対位置を使用できるように、冒頭に述べた種類の
測長システムを改良することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、この発明
により、冒頭に述べた種類の測長システムにあって、制
御トラック４，１４が絶対符号を有し、この絶対符号か
ら目盛板１の全測定長にわたる絶対位置Ｐを導き、前記
切換装置５へ導入し、この切換装置が絶対位置Ｐに応じ
て走査素子３．１，３．２のグループ間の切換を行い、
前記制御トラック４，１４の測定ステップが増分目盛２
の測定ステップより大きいことによって解決されてい
る。更に、上記の課題は、この発明により、冒頭に述べ
た種類の測長システムにあって、制御トラック４，１４
が増分目盛９を有し、この増分目盛９の走査信号を計数
器に導入し、この計数器の状態が全測定長にわたる絶対
位置Ｐを表し、切換装置５へ導入され、この切換装置５
が絶対位置Ｐに応じて走査素子３．１，３．２のグルー
プ間の切換を行い、前記制御トラック４，１４の測定ス
テップが増分目盛２の測定ステップより大きいことによ
って解決されている。
により、冒頭に述べた種類の測長システムにあって、制
御トラック４，１４が絶対符号を有し、この絶対符号か
ら目盛板１の全測定長にわたる絶対位置Ｐを導き、前記
切換装置５へ導入し、この切換装置が絶対位置Ｐに応じ
て走査素子３．１，３．２のグループ間の切換を行い、
前記制御トラック４，１４の測定ステップが増分目盛２
の測定ステップより大きいことによって解決されてい
る。更に、上記の課題は、この発明により、冒頭に述べ
た種類の測長システムにあって、制御トラック４，１４
が増分目盛９を有し、この増分目盛９の走査信号を計数
器に導入し、この計数器の状態が全測定長にわたる絶対
位置Ｐを表し、切換装置５へ導入され、この切換装置５
が絶対位置Ｐに応じて走査素子３．１，３．２のグルー
プ間の切換を行い、前記制御トラック４，１４の測定ス
テップが増分目盛２の測定ステップより大きいことによ
って解決されている。
【０００７】この発明による他の有利な構成は、特許請
求の範囲の従属請求項に記載されている。
求の範囲の従属請求項に記載されている。
【０００８】
【実施例】以下、図面に模式的に示す実施例に基づきこ
の発明をより詳しく説明する。図１のように、この測長
システムは、測定方向に順次配置されたガラス製の多数
の目盛部分片１．１，１．２から成る目盛板１で構成さ
れている。目盛部分片１．１，１．２は、図示していな
いが、ドイツ特許第２７３０７１５号明細書により周知
のケースの中に固定されている。これ等の目盛部分片
１．１，１．２に付けてある高分解能の増分目盛２は、
ドイツ特許第２７３０７１５号明細書にも詳しく説明す
るように、走査ユニット３で走査される。この増分目盛
２は一連の透光性および非透光性の領域で形成され、測
定方向Ｘに間隔を設けて配置された二つのグループの走
査素子３．１，３．２で走査される。この間隔は二つの
目盛部分片１．１，１．２の間にある隙間の幅より大き
い。
の発明をより詳しく説明する。図１のように、この測長
システムは、測定方向に順次配置されたガラス製の多数
の目盛部分片１．１，１．２から成る目盛板１で構成さ
れている。目盛部分片１．１，１．２は、図示していな
いが、ドイツ特許第２７３０７１５号明細書により周知
のケースの中に固定されている。これ等の目盛部分片
１．１，１．２に付けてある高分解能の増分目盛２は、
ドイツ特許第２７３０７１５号明細書にも詳しく説明す
るように、走査ユニット３で走査される。この増分目盛
２は一連の透光性および非透光性の領域で形成され、測
定方向Ｘに間隔を設けて配置された二つのグループの走
査素子３．１，３．２で走査される。この間隔は二つの
目盛部分片１．１，１．２の間にある隙間の幅より大き
い。
【０００９】光源３．３と集光レンズ３．４で生じる平
行光束は、目盛２と各走査板３．５，３．６の４つの走
査窓を通過し、そこから個々の走査窓に付属する走査素
子３．１，３．２に達する。目盛部分片１．１，１．２
が走査ユニット３に対して移動すると、二つのグループ
の走査素子３．１，３．２にそれぞれ４つの正弦波の位
相のずれた走査信号が発生する。
行光束は、目盛２と各走査板３．５，３．６の４つの走
査窓を通過し、そこから個々の走査窓に付属する走査素
子３．１，３．２に達する。目盛部分片１．１，１．２
が走査ユニット３に対して移動すると、二つのグループ
の走査素子３．１，３．２にそれぞれ４つの正弦波の位
相のずれた走査信号が発生する。
【００１０】増分目盛２に加えて、目盛部分片１．１，
１．２上には符号４の形の制御トラックが付けてある。
この制御トラックは他の走査素子３．７で走査される。
この符号４は単一ステップコード、例えばグレーコード
であると有利である。絶対位置を表すこの走査素子３．
７の出力信号Ｐに応じて、増分目盛２の走査素子３．
１，３．２の一方のグループから他方のグループへ切換
が行われる。この発明によれば、絶対位置情報Ｐが切換
装置５に導入される。この切換装置５は絶対位置情報Ｐ
に応じて切換スイッチ６を駆動し、切換スイッチ６は増
分目盛２の走査信号を走査素子の一方のグループ３．１
から他方のグループ３．２に交互に切り換えて計数器７
に導入することを指示する。その場合、切換位置を切換
装置５の記憶器の中に保管する。
１．２上には符号４の形の制御トラックが付けてある。
この制御トラックは他の走査素子３．７で走査される。
この符号４は単一ステップコード、例えばグレーコード
であると有利である。絶対位置を表すこの走査素子３．
７の出力信号Ｐに応じて、増分目盛２の走査素子３．
１，３．２の一方のグループから他方のグループへ切換
が行われる。この発明によれば、絶対位置情報Ｐが切換
装置５に導入される。この切換装置５は絶対位置情報Ｐ
に応じて切換スイッチ６を駆動し、切換スイッチ６は増
分目盛２の走査信号を走査素子の一方のグループ３．１
から他方のグループ３．２に交互に切り換えて計数器７
に導入することを指示する。その場合、切換位置を切換
装置５の記憶器の中に保管する。
【００１１】符号４は全ての目盛部分片１．１，１．２
の全測定長にわたり絶対位置Ｐを決めるので、この絶対
位置Ｐを評価ユニットの中で計数値を管理するためにも
利用できる。
の全測定長にわたり絶対位置Ｐを決めるので、この絶対
位置Ｐを評価ユニットの中で計数値を管理するためにも
利用できる。
【００１２】絶対符号４の測定ステップが増分目盛２の
測定ステップより大きく、二つの目盛部分片１．１，
１．２の隙間が絶対符号４の測定ステップより小さい
と、特に有利である。
測定ステップより大きく、二つの目盛部分片１．１，
１．２の隙間が絶対符号４の測定ステップより小さい
と、特に有利である。
【００１３】符号４は、図１によれば、増分目盛２の傍
に平行に制御トラックとして配置されている。この制御
トラック４は、周知のように符号ワードを形成する多数
の個別トラックで構成されている。この制御トラック４
は、例えばドイツ特許第ＯＳ３９０９７６７号明細書で
周知のように、擬似ランダム符号の形をした符号（チェ
ーンコードとも称される）も有する。
に平行に制御トラックとして配置されている。この制御
トラック４は、周知のように符号ワードを形成する多数
の個別トラックで構成されている。この制御トラック４
は、例えばドイツ特許第ＯＳ３９０９７６７号明細書で
周知のように、擬似ランダム符号の形をした符号（チェ
ーンコードとも称される）も有する。
【００１４】全測定長にわたる絶対位置Ｐは、図２のよ
うに微細な増分目盛２の傍に平行に配置された図示して
いない基準マークを有する粗い増分目盛９から導ける。
粗い目盛９と基準信号の走査信号を計数器に導入し、そ
の時の計数値が全測定長にわたる絶対位置Ｐを表す。こ
の場合、目盛部分片１．１，１．２は、両者の間に上記
の粗い目盛９の分解能の半分（測定ステップ、計数ステ
ップ）の隙間が生じるように組み込まれるべきである。
微細な目盛２は、例えば８μｍの目盛周期を有し、粗い
目盛９は２ｍｍの周期を有する。各周期から４つの計数
ステップ（周知の４分割）を導くなら、隙間は最大０．
２５ｍｍとなる。
うに微細な増分目盛２の傍に平行に配置された図示して
いない基準マークを有する粗い増分目盛９から導ける。
粗い目盛９と基準信号の走査信号を計数器に導入し、そ
の時の計数値が全測定長にわたる絶対位置Ｐを表す。こ
の場合、目盛部分片１．１，１．２は、両者の間に上記
の粗い目盛９の分解能の半分（測定ステップ、計数ステ
ップ）の隙間が生じるように組み込まれるべきである。
微細な目盛２は、例えば８μｍの目盛周期を有し、粗い
目盛９は２ｍｍの周期を有する。各周期から４つの計数
ステップ（周知の４分割）を導くなら、隙間は最大０．
２５ｍｍとなる。
【００１５】図１と図２の測長システムでは、制御トラ
ック４，９に対する走査素子３.7が丁度隙間のところで
動作する場合、つまり二つの目盛部分片１.1，１.2の間
に来ると、一義的な絶対値を求めることができない。誤
動作を防止するため、制御トラック４，９に平行に他の
管理トラックを設け、この管理トラックの特性が目盛部
分片１.1，１.2の全範囲で隙間の特性とは異なっている
ことが可能である。この管理トラックを、例えば乳白色
に形成してもよいが、隙間は透明である。
ック４，９に対する走査素子３.7が丁度隙間のところで
動作する場合、つまり二つの目盛部分片１.1，１.2の間
に来ると、一義的な絶対値を求めることができない。誤
動作を防止するため、制御トラック４，９に平行に他の
管理トラックを設け、この管理トラックの特性が目盛部
分片１.1，１.2の全範囲で隙間の特性とは異なっている
ことが可能である。この管理トラックを、例えば乳白色
に形成してもよいが、隙間は透明である。
【００１６】この種の管理トラックを避けるため、他の
実施例では、制御トラックに対して通しのホルダー１０
を設け、このホルダー１０を増分目盛２の傍の目盛部分
片１．１，１．２，１．３の上に載置する、もしくは貼
り付ける、もしくは自由な状態で緊張させるか、あるい
はケース１１内に貼り付けたり、ケース内の溝１２に嵌
め込む。この独立したホルダー１０は、全ての目盛部分
片１．１，１．２，１．３に対する少なくとも全測長に
相当する全長を有する。
実施例では、制御トラックに対して通しのホルダー１０
を設け、このホルダー１０を増分目盛２の傍の目盛部分
片１．１，１．２，１．３の上に載置する、もしくは貼
り付ける、もしくは自由な状態で緊張させるか、あるい
はケース１１内に貼り付けたり、ケース内の溝１２に嵌
め込む。この独立したホルダー１０は、全ての目盛部分
片１．１，１．２，１．３に対する少なくとも全測長に
相当する全長を有する。
【００１７】図３によれば、制御トラックのホルダーは
可撓性のあるスチールベルト１０である。このベルトは
増分目盛２の傍の目盛部分片１．１，１．２，１．３に
貼り付けてある。このホルダー１０には、容易に作製で
き、ガラスあるいはガラス性セラミックスの目盛部分片
１．１，１．２，１．３の目盛２に比べて粗い増分目盛
９が設けてある。
可撓性のあるスチールベルト１０である。このベルトは
増分目盛２の傍の目盛部分片１．１，１．２，１．３に
貼り付けてある。このホルダー１０には、容易に作製で
き、ガラスあるいはガラス性セラミックスの目盛部分片
１．１，１．２，１．３の目盛２に比べて粗い増分目盛
９が設けてある。
【００１８】ホルダー１０に単一トラックコード１４を
付けると、特に有利である。この構成を図４に示す。こ
の単ートラックコード１４は、擬似ランダムコードとし
ても知られているが、測定方向に間隔を設けて配置され
た多数の走査素子により走査される。走査信号から全測
定長にわたり異なるので、絶対位置Ｐを表す符号ワード
が形成される。この絶対位置Ｐに応じて微細な増分目盛
２の走査素子のグループの切換が行われる。これに関し
ては、再びドイツ特許第２７３０７１５号明細書、ドイ
ツ特許第１７７３４６０号明細書およびドイツ特許第３
９２８５９２号明細書を参照されたい。
付けると、特に有利である。この構成を図４に示す。こ
の単ートラックコード１４は、擬似ランダムコードとし
ても知られているが、測定方向に間隔を設けて配置され
た多数の走査素子により走査される。走査信号から全測
定長にわたり異なるので、絶対位置Ｐを表す符号ワード
が形成される。この絶対位置Ｐに応じて微細な増分目盛
２の走査素子のグループの切換が行われる。これに関し
ては、再びドイツ特許第２７３０７１５号明細書、ドイ
ツ特許第１７７３４６０号明細書およびドイツ特許第３
９２８５９２号明細書を参照されたい。
【００１９】図５には封止された測長システムが示して
ある。目盛部分片１.1，１.2，１.3はケース１１の中に
固定されている。単一トラック・チェーンコード１４を
有するスチールベルト１０はケース１１の溝１２に嵌め
込まれている。従って、微細な増分目盛２と符号１４は
ケース１１の中に保護された状態で取り付けてあるた
め、コンパクトな構造にできる。
ある。目盛部分片１.1，１.2，１.3はケース１１の中に
固定されている。単一トラック・チェーンコード１４を
有するスチールベルト１０はケース１１の溝１２に嵌め
込まれている。従って、微細な増分目盛２と符号１４は
ケース１１の中に保護された状態で取り付けてあるた
め、コンパクトな構造にできる。
【００２０】図示していないが、通しのホルダー上の符
号は周知の多重トラックコードであってもよい。全ての
実施例で増分目盛２は高分解能の多重コードトラックの
構成要素であってもよい。これ等のトラックには切換可
能な二つのグループの走査素子３．１と３．２が付属し
ている。
号は周知の多重トラックコードであってもよい。全ての
実施例で増分目盛２は高分解能の多重コードトラックの
構成要素であってもよい。これ等のトラックには切換可
能な二つのグループの走査素子３．１と３．２が付属し
ている。
【００２１】図示した実施例では、微細な増分目盛２と
制御トラック４，９，１４を光電走査し、微細な目盛２
は好ましくは位相格子目盛である。この場合、両方のト
ラック２；４，９，１４を光透過法あるいは光反射法で
走査できる。図３と図４に示す実施例の場合、微細な増
分目盛２を透過光で、また可撓性のホルダー１０上の制
御トラック１４，９を反射光で走査すると有利である。
微細増分目盛と制御トラックを異なった物理原理で走査
することもできる。例えば微細な目盛を光電的に、また
制御トラックを磁気的に走査してもよい。
制御トラック４，９，１４を光電走査し、微細な目盛２
は好ましくは位相格子目盛である。この場合、両方のト
ラック２；４，９，１４を光透過法あるいは光反射法で
走査できる。図３と図４に示す実施例の場合、微細な増
分目盛２を透過光で、また可撓性のホルダー１０上の制
御トラック１４，９を反射光で走査すると有利である。
微細増分目盛と制御トラックを異なった物理原理で走査
することもできる。例えば微細な目盛を光電的に、また
制御トラックを磁気的に走査してもよい。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の利点
は、コンパクトに形成された測長システムにより、絶対
位置を十分正確に確認でき、切換位置を正確に確認でき
る。
は、コンパクトに形成された測長システムにより、絶対
位置を十分正確に確認でき、切換位置を正確に確認でき
る。
【図１】 二つの目盛部分片で形成された目盛板を有す
る測長システムの模式斜視図、
る測長システムの模式斜視図、
【図２】 微細な増分目盛と他の粗い増分目盛を有する
他の二つの目盛部分片の平面図、
他の二つの目盛部分片の平面図、
【図３】 可撓性のコードホルダーを有する多数の目盛
部分片の平面図、
部分片の平面図、
【図４】 他の可撓性のコードホルダーを有する多数の
目盛部分片の平面図、
目盛部分片の平面図、
【図５】 測長システムのケース内にある多数の目盛部
分片を示す斜視図である。
分片を示す斜視図である。
１ 目盛板 １．１，１．２，１．３ 目盛部分片 ２ 増分目盛 ３．１，３．２，３．７ 走査素子 ３．３ 光源 ３．４ 集光レンズ ３．５，３．６ 走査板 ４ 符号（コード） ５ 切換装置 ６ 切換スイッチ ７ 計数器 ８ 評価ユニット ９ 粗い増分目盛 １０ スチールベルト（ホル
ダー） １１ ケース １２ 溝 １４ 単一トラックコード Ｐ 絶対位置
ダー） １１ ケース １２ 溝 １４ 単一トラックコード Ｐ 絶対位置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アルフォンス・エルンスト ドイツ連邦共和国、83301 トラウンロ イト、トラウンリング、62 (72)発明者 ギュンター・ネレ ドイツ連邦共和国、83346 ベルゲン、 アイヒエンヴエーク、12 (56)参考文献 特開 平６−194186（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−137899（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−180717（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−18709（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−64405（ＪＰ，Ａ) 特開 昭48−42761（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01D 5/00 - 5/62 G01B 11/00 - 11/30 G01B 21/00
Claims (9)
- 【請求項１】 多数の目盛部分片（１．１，１．２）か
ら成る目盛板（１）と、目盛部分片（１．１，１．２）
の高分解能増分目盛（２）を走査する走査ユニット
（３）とを備え、この走査ユニット（３）が目盛板
（１）の二つの目盛部分片（１．１，１．２）の間の隙
間の幅より大きい間隔の二つのグループの走査素子
（３．１，３．２）を有し、増分目盛（２）の傍に平行
に他の走査素子（３．７）で走査される少なくとも一つ
の制御トラック（４，１４）を設け、前記他の走査素子
（３．７）の出力信号に応じて切換装置（５）が二つの
グループの走査素子（３．１，３．２）の一方から他方
へ切り換える測長システムにおいて、制御トラック
（４，１４）が絶対符号を有し、この絶対符号から目盛
板（１）の全測定長にわたる絶対位置（Ｐ）を導き、前
記切換装置（５）へ導入し、この切換装置が絶対位置
（Ｐ）に応じて走査素子（３．１，３．２）のグループ
間の切換を行い、前記制御トラック（４，１４）の測定
ステップが増分目盛（２）の測定ステップより大きいこ
とを特徴とする測長システム。 - 【請求項２】 各目盛部分片（１．１，１．２）には、
多重トラックコード（４）の形をした絶対符号が付けて
あることを特徴とする請求項１に記載の測長システム。 - 【請求項３】 各目盛部分片（１．１，１．２）には、
単一トラックのチェーンコードの形をした絶対符号が付
けてあることを特徴とする請求項１に記載の測長システ
ム。 - 【請求項４】 二つの目盛部分片（１．１，１．２）の
間の間隔は、制御トラック（４，１４）の測定ステップ
より小さいことを特徴とする請求項２または３に記載の
測長システム。 - 【請求項５】 多数の目盛部分片（１．１，１．２）か
ら成る目盛板（１）と、目盛部分片（１．１，１．２）
の高分解能増分目盛（２）を走査する走査ユニット
（３）とを備え、この走査ユニット（３）が目盛板
（１）の二つの目盛部分片（１．１，１．２）の間の隙
間の幅より大きい間隔の二つのグループの走査素子
（３．１，３．２）を有し、増分目盛（２）の傍に平行
に他の走査素子（３．７）で走査される少なくとも一つ
の制御トラック（４，１４）を設け、前記他の走査素子
（３．７）の出力信号に応じて切換装置（５）が二つの
グループの走査素子（３．１，３．２）の一方から他方
へ切り換える測長システムにおいて、制御トラック
（４，１４）が増分目盛（９）を有し、この増分目盛
（９）の走査信号を計数器に導入し、この計数器の状態
が全測定長にわたる絶対位置（Ｐ）を表し、切換装置
（５）へ導入され、この切換装置（５）が絶対位置
（Ｐ）に応じて走査素子（３．１，３．２）のグループ
間の切換を行い、前記制御トラック（４，１４）の測定
ステップが増分目盛（２）の測定ステップより大きいこ
とを特徴とする測長システム。 - 【請求項６】 粗い増分目盛（９）の形をした制御トラ
ックを各目盛部分片（１．１，１．２）に付け、二つの
目盛部分片（１．１，１．２）の間の間隔が前記の粗い
増分目盛（９）の測定ステップより小さいことを特徴と
する請求項５に記載の測長システム。 - 【請求項７】 制御トラック（９，１４）は独立したホ
ルダー（１０）に取り付けてあり、このホルダー（１
０）は全ての目盛部分片（１．１，１．２，１．３）に
対して少なくとも全測定長に対応する長さを有すること
を特徴とする請求項１または５に記載の測長システム。 - 【請求項８】 前記ホルダーは可撓性のあるスチールベ
ルトであることを特徴とする請求項７に記載の測長シス
テム。 - 【請求項９】 目盛部分片（１．１，１．２）はガラス
で作製され、ケース（１１）内に取り付けてあり、前記
スチールベルトはケース（１１）の溝（１２）の中に配
置されていることを特徴とする請求項８に記載の測長シ
ステム。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP93119731A EP0662603B1 (de) | 1993-12-08 | 1993-12-08 | Längenmesssystem |
| DE93119731:3 | 1993-12-08 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07209025A JPH07209025A (ja) | 1995-08-11 |
| JP3086608B2 true JP3086608B2 (ja) | 2000-09-11 |
Family
ID=8213470
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06297114A Expired - Fee Related JP3086608B2 (ja) | 1993-12-08 | 1994-11-30 | 測長システム |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5553390A (ja) |
| EP (1) | EP0662603B1 (ja) |
| JP (1) | JP3086608B2 (ja) |
| DE (2) | DE59305801D1 (ja) |
Families Citing this family (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19507613C2 (de) * | 1995-03-04 | 1997-01-23 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
| DE19621015C2 (de) * | 1996-05-24 | 1999-07-08 | Braun Paul W | Verfahren und Vorrichtung zur Positionierung von bewegten Maschinenteilen |
| US6151128A (en) * | 1996-10-16 | 2000-11-21 | Johannes Heidenhain GmbH | Optical position indicator |
| DE19830925A1 (de) | 1997-08-07 | 1999-02-11 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Abtasteinheit für eine optische Positionsmeßeinrichtung |
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| ES2701307T3 (es) * | 2016-06-07 | 2019-02-21 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Medida materializada así como dispositivo de medición de posición |
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| WO2023227486A1 (de) * | 2022-05-21 | 2023-11-30 | Flux Gmbh | Mehrspuranordnung für linear- und winkelmesssysteme |
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| DE293190C (ja) * | ||||
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-
1993
- 1993-12-08 EP EP93119731A patent/EP0662603B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1993-12-08 DE DE59305801T patent/DE59305801D1/de not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-10-26 DE DE4438156A patent/DE4438156A1/de not_active Withdrawn
- 1994-11-14 US US08/339,982 patent/US5553390A/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-11-30 JP JP06297114A patent/JP3086608B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0662603B1 (de) | 1997-03-12 |
| US5553390A (en) | 1996-09-10 |
| DE4438156A1 (de) | 1995-06-14 |
| JPH07209025A (ja) | 1995-08-11 |
| DE59305801D1 (de) | 1997-04-17 |
| EP0662603A1 (de) | 1995-07-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000530 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080707 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080707 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090707 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |