JPH0310108A - 基準マークを備えた増分式位置測定装置 - Google Patents
基準マークを備えた増分式位置測定装置Info
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- JPH0310108A JPH0310108A JP2115327A JP11532790A JPH0310108A JP H0310108 A JPH0310108 A JP H0310108A JP 2115327 A JP2115327 A JP 2115327A JP 11532790 A JP11532790 A JP 11532790A JP H0310108 A JPH0310108 A JP H0310108A
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- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 4
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 4
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 241001289717 Hypolimnas Species 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008094 contradictory effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/366—Particular pulse shapes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、少なくとも一列の基準マークとこノマーク
に付属し、基準マークを選択するために使用されるマー
クとを有する測定目盛付き目盛板と、評価装置と、目盛
板を走査する走査装置とを備えた位置測定装置に関する
。
に付属し、基準マークを選択するために使用されるマー
クとを有する測定目盛付き目盛板と、評価装置と、目盛
板を走査する走査装置とを備えた位置測定装置に関する
。
（従来の技術〕
これに関する多数の文献の一つに対する例として、西独
特許第３０３９４８３−Ｃ２号明細書を引用できる。こ
こには、個々の基準マークを符号化するマークが付属し
ている位置測定装置が記載されている。対応する符号を
評価装置に入力することによって、符号化したマークを
介してどんな任意ノ基準マークも選択でき、動作させる
ことができる。
特許第３０３９４８３−Ｃ２号明細書を引用できる。こ
こには、個々の基準マークを符号化するマークが付属し
ている位置測定装置が記載されている。対応する符号を
評価装置に入力することによって、符号化したマークを
介してどんな任意ノ基準マークも選択でき、動作させる
ことができる。
１点に関する絶対位置は、この符号によって突き止める
ことができる。
ことができる。
選択される基準マークの絶対位置を突き止めることがで
きない場合、個々の基準マークの選択を光り及び／又は
磁気回路素子を介して行うこともできる。この技術は西
独特許第２５４０旧２−Ｃ３号明細書に開示されている
。
きない場合、個々の基準マークの選択を光り及び／又は
磁気回路素子を介して行うこともできる。この技術は西
独特許第２５４０旧２−Ｃ３号明細書に開示されている
。
他の位置測定装置は、西独特許第２４１６２１２−Ｃ３
号明細書に開示されている。ここでは、基準マークが距
離として符号化されている。評価装置中では、二つの基
準マークの間隔を増分的に検出して、一つの基準点に関
して前記間隔の絶対位置を測定できる。
号明細書に開示されている。ここでは、基準マークが距
離として符号化されている。評価装置中では、二つの基
準マークの間隔を増分的に検出して、一つの基準点に関
して前記間隔の絶対位置を測定できる。
更に、もっと多くの変形種は特許文献から公知である。
基準マークを選択する多様な可能性は、位置測定装置の
購買者（−船釣には工作機械の製造メーカー）に個別に
選択できる。
購買者（−船釣には工作機械の製造メーカー）に個別に
選択できる。
しかしながら、メーカーに対してこのタイプの多様性は
、製造コストと在庫コストを比較的高くすると言う難点
がある。
、製造コストと在庫コストを比較的高くすると言う難点
がある。
それ故、この発明の課題は位置測定装置の構成要素をコ
ストに焦点を合わせて単純化して、上に述べたコストを
低減するが、顧客に対して多様なタイプを維持すること
にある。
ストに焦点を合わせて単純化して、上に述べたコストを
低減するが、顧客に対して多様なタイプを維持すること
にある。
［課題を解決する手段］
それ自体相矛盾する上記の課題は、多数の切換状態に対
する動作様式切換器（Ｂ、２Ｂ、３Ｂ）を装備し、この
切換器を用いて動作様式、ａ）全ての基準マーク（Ｒｉ
）を評価する、ｂ）符号化された又は符号化されていな
い基準マーク（Ｒｉ、Ｒｉ＋４．Ｒｉ＋８）を評価する
、 の少な（とも一つを選択できることによって解決されて
いる。
する動作様式切換器（Ｂ、２Ｂ、３Ｂ）を装備し、この
切換器を用いて動作様式、ａ）全ての基準マーク（Ｒｉ
）を評価する、ｂ）符号化された又は符号化されていな
い基準マーク（Ｒｉ、Ｒｉ＋４．Ｒｉ＋８）を評価する
、 の少な（とも一つを選択できることによって解決されて
いる。
この発明の有利な諸構成は、従属請求項に記載されてい
る。
る。
（発明の効果〕
特に著しい利点は、測定目盛板が種々の基準マークの評
価様式に対する全ての情報を既に包含していて、ｖＪ作
様式を切り換えることによって何時でも評価様式を決定
できる点にある。このことは、規格統一された目盛板を
作製し、この目盛板を組み込むことができ、全ての（符
号化された）基準マークを選択するか、あるいはただ単
一のマークのみを評価するかは、その後の時点で選択で
きることを意味する。
価様式に対する全ての情報を既に包含していて、ｖＪ作
様式を切り換えることによって何時でも評価様式を決定
できる点にある。このことは、規格統一された目盛板を
作製し、この目盛板を組み込むことができ、全ての（符
号化された）基準マークを選択するか、あるいはただ単
一のマークのみを評価するかは、その後の時点で選択で
きることを意味する。
〔実施例］
実施例の助けを借りて、この発明を以下に図面に基づき
より詳しく説明する。
より詳しく説明する。
第１Ａ〜ＩＧ図には、増分式の位置測定装置Ｐが示しで
ある。これ等の部分図面には、詳細と信号グラフが示し
である。第１Ａ図には多数の情報トラックを有する目盛
板１が示しである。これ等のトラックの一つには、増分
目盛２が線条格子の形にして取り付けである。第ニドラ
ック３には、−列の符号化された基準マークＲｉ ’（
ｉ ＝２＋ ３・・・ｎ）がある。これ等のマークは一
定のグリッドに配置しである。切換トラック４として示
しであるもう一つ別なトラックには、マークＭｉ（ｉ＝
１．２．３． ・・・ｎ）が取り付けである。
ある。これ等の部分図面には、詳細と信号グラフが示し
である。第１Ａ図には多数の情報トラックを有する目盛
板１が示しである。これ等のトラックの一つには、増分
目盛２が線条格子の形にして取り付けである。第ニドラ
ック３には、−列の符号化された基準マークＲｉ ’（
ｉ ＝２＋ ３・・・ｎ）がある。これ等のマークは一
定のグリッドに配置しである。切換トラック４として示
しであるもう一つ別なトラックには、マークＭｉ（ｉ＝
１．２．３． ・・・ｎ）が取り付けである。
これ等のマークは基準マークＲｉのグリッドであるもう
一つのグリッドに配設しである。実際に近い実施例では
、線条格子として形成した測定目盛２は２０μｍの目盛
間隔を有する。この場合、線条格子は同じ間隔の光非透
過性の線条と光透過性の隙間で構成されている。測定目
盛２に平行に延びるトラック３の基準マークＲｉの間隔
は一定ではなくて、むしろ異なっている。測定ステップ
（増分）を基準マークＲｉから次の基準マークＲｉ＋１
まで計数して、その絶対位置を測定できる。
一つのグリッドに配設しである。実際に近い実施例では
、線条格子として形成した測定目盛２は２０μｍの目盛
間隔を有する。この場合、線条格子は同じ間隔の光非透
過性の線条と光透過性の隙間で構成されている。測定目
盛２に平行に延びるトラック３の基準マークＲｉの間隔
は一定ではなくて、むしろ異なっている。測定ステップ
（増分）を基準マークＲｉから次の基準マークＲｉ＋１
まで計数して、その絶対位置を測定できる。
これに反して、二つの基準マークの間隔は必ず２０ ｍ
ｍの一定間隔まで加算する。このことは、約１０ ｍｍ
毎に一個の基準マークＲｉがトラック３上に存在するこ
とを意味する。基準マークＲｉより長い間隔であるマー
クＭｉを有する、平行に進む切換トラック４は目盛板１
を作製する時、格子目盛２と基準マークＲｉと一緒にこ
の目盛板の上に組み入れておく。
ｍの一定間隔まで加算する。このことは、約１０ ｍｍ
毎に一個の基準マークＲｉがトラック３上に存在するこ
とを意味する。基準マークＲｉより長い間隔であるマー
クＭｉを有する、平行に進む切換トラック４は目盛板１
を作製する時、格子目盛２と基準マークＲｉと一緒にこ
の目盛板の上に組み入れておく。
第１Ｂ図には、位置測定装置Ｐの断面が模式的に示しで
ある。目盛Ｆｉｌはケース５の内部に保護されて配設し
である。この視点からは見えない第八図の情報トラック
は走査装置６によって光電的に走査される。この種の走
査は従来の技術に属するので詳しくは説明しない。走査
装置６には、主として光電素子７がある。この素子の出
力電圧がランプ８の照明強度に依存している。この出力
電圧は基準マークの走査に対するトリガしきい値を表す
ので、この電圧をプッシュプル電圧として表せ、従って
光電素子７は基準マークのプッシュプル光電素子７とし
て表せる。
ある。目盛Ｆｉｌはケース５の内部に保護されて配設し
である。この視点からは見えない第八図の情報トラック
は走査装置６によって光電的に走査される。この種の走
査は従来の技術に属するので詳しくは説明しない。走査
装置６には、主として光電素子７がある。この素子の出
力電圧がランプ８の照明強度に依存している。この出力
電圧は基準マークの走査に対するトリガしきい値を表す
ので、この電圧をプッシュプル電圧として表せ、従って
光電素子７は基準マークのプッシュプル光電素子７とし
て表せる。
他の光電素子は、基準マーク光電素子９と称されるが、
この素子はトラック３の基準マークＲｉを走査するため
に使用される。更に、信号ダイヤグラムの説明を更によ
り詳しく説明する開閉光電素子Ｓ１とＳ２が装備しであ
る。
この素子はトラック３の基準マークＲｉを走査するため
に使用される。更に、信号ダイヤグラムの説明を更によ
り詳しく説明する開閉光電素子Ｓ１とＳ２が装備しであ
る。
第１Ｄ図には、逆並列に接続された光電素子７と９、つ
まり基準マーク光電素子９と基準マークプッシュプル光
電素子７が示しである。両方ともランプ８によって照明
され、走査装置６と目盛板ｌの間に相対運動があると、
第１Ｅ図に示すような信号ダイアダラムが生じる。この
場合、水平な線７′は光電素子７から供給されるトリガ
しきい値電圧のレベルを表す。基準マーク光電素子９は
基準マークＲｉを走査して約１０ ｍｍ毎に一個のパル
スを供給する。このパルスの位置は前に説明した計数に
よって絶対的に定まる。このことは線分９′で示しであ
る。この動作様式では、全ての基準マークＲｉが評価さ
れる。
まり基準マーク光電素子９と基準マークプッシュプル光
電素子７が示しである。両方ともランプ８によって照明
され、走査装置６と目盛板ｌの間に相対運動があると、
第１Ｅ図に示すような信号ダイアダラムが生じる。この
場合、水平な線７′は光電素子７から供給されるトリガ
しきい値電圧のレベルを表す。基準マーク光電素子９は
基準マークＲｉを走査して約１０ ｍｍ毎に一個のパル
スを供給する。このパルスの位置は前に説明した計数に
よって絶対的に定まる。このことは線分９′で示しであ
る。この動作様式では、全ての基準マークＲｉが評価さ
れる。
第１Ｆ図と第１Ｇ図には、光電素子回路ともう一つ別な
動作様式の信号グラフが示しである。第１Ｄ図から光電
そし７と９に対して、別な光電素子が切換光電素子Ｓ１
とＳ２として接続されている。
動作様式の信号グラフが示しである。第１Ｄ図から光電
そし７と９に対して、別な光電素子が切換光電素子Ｓ１
とＳ２として接続されている。
動作方式の切換は、開閉器を用いて走査ユニット中で行
われるが、充電素子をハンダ付けするかあるいは外部切
換指令によっても行える。動作方式の切換器の構成に無
関係に、この発明により種々の様式の基準マーク評価の
間の切換が包含される。
われるが、充電素子をハンダ付けするかあるいは外部切
換指令によっても行える。動作方式の切換器の構成に無
関係に、この発明により種々の様式の基準マーク評価の
間の切換が包含される。
補助的な切換光電素子Ｓ１とＳ２によって、トリガーレ
ベルが上がる。補助ランプ１０は光電素子Ｓ１を照らす
ので、トリガーレベルが上昇する（破線の水平な直線）
。しかし、切換光電素子Ｓ１の照明は、他の部品構成の
場合、ランプ８でも行える。このランプはここでも切換
光電素子Ｓ２を更に照らす。このことがトリガーレベル
を更に高くする（−点鎖線の水平な直線）。しかし、基
準マークＲｉを評価するために必要なトリガしきい値電
圧のレベルは、元のような基準マークのプッシュプル光
電素子７の電圧によって維持されている（実線の水平な
直線）。
ベルが上がる。補助ランプ１０は光電素子Ｓ１を照らす
ので、トリガーレベルが上昇する（破線の水平な直線）
。しかし、切換光電素子Ｓ１の照明は、他の部品構成の
場合、ランプ８でも行える。このランプはここでも切換
光電素子Ｓ２を更に照らす。このことがトリガーレベル
を更に高くする（−点鎖線の水平な直線）。しかし、基
準マークＲｉを評価するために必要なトリガしきい値電
圧のレベルは、元のような基準マークのプッシュプル光
電素子７の電圧によって維持されている（実線の水平な
直線）。
上記レベルの上にある基準マークパルスは、評価されな
い。このレベルを一般的に達成するためには、位置測定
装置Ｐのケース５（第１Ｂ図）中で移動可能な絞り１１
が配設しである。この種の絞り１１は冒頭に評価された
従来の技術からそれ自体公知である。
い。このレベルを一般的に達成するためには、位置測定
装置Ｐのケース５（第１Ｂ図）中で移動可能な絞り１１
が配設しである。この種の絞り１１は冒頭に評価された
従来の技術からそれ自体公知である。
選択された動作方式は、以下の処置によって一連の全基
準マークＲｉからただ一個の基準マークＲｋを選択させ
ることができる。
準マークＲｉからただ一個の基準マークＲｋを選択させ
ることができる。
各基準マークＲｉで、動作しない基準パルスが発生する
。何故なら、照らされた光電素子７゜ＳｌとＳ２によっ
てトリガーレベルが非常に高くなるからである。
。何故なら、照らされた光電素子７゜ＳｌとＳ２によっ
てトリガーレベルが非常に高くなるからである。
基準マークＲｉに並列に、切換トラック４中に若干の基
準マークＲｉ、Ｒｉ＋４．Ｒｉ＋８等でマークＭｉ−１
，Ｍｉ、Ｍｉ＋１が付けである。この様なマークＭｉを
走査すると、トリガーレベルが低下する。何故なら、付
属する切換光電素子Ｓ１が暗くなるからである。それで
も、基準パルスは動作しない。何故ならトリガーしきい
値に未だ到達していないからである。
準マークＲｉ、Ｒｉ＋４．Ｒｉ＋８等でマークＭｉ−１
，Ｍｉ、Ｍｉ＋１が付けである。この様なマークＭｉを
走査すると、トリガーレベルが低下する。何故なら、付
属する切換光電素子Ｓ１が暗くなるからである。それで
も、基準パルスは動作しない。何故ならトリガーしきい
値に未だ到達していないからである。
絞り１１は、マークＭｉに付属させる（又は多数の絞り
は多数のマークに付属させる）ことができる。その時、
走査によってこの付属切換光電素子Ｓ２も暗くなり、ト
リガーレベルは基準パルスＲｉ＋８がトリガーレベルを
越え、動作に達する程度に低下する。
は多数のマークに付属させる）ことができる。その時、
走査によってこの付属切換光電素子Ｓ２も暗くなり、ト
リガーレベルは基準パルスＲｉ＋８がトリガーレベルを
越え、動作に達する程度に低下する。
この動作方式は、余計でない場合、状況によって一回で
出現する。何故なら、当業者は個々の基準マー・りＲｉ
を公知の方法で同じ絞り１１または類似なものに付属さ
せることができるからである。
出現する。何故なら、当業者は個々の基準マー・りＲｉ
を公知の方法で同じ絞り１１または類似なものに付属さ
せることができるからである。
しかし、この可能性は公知の方法を用いて課題設定する
ことによって実現させることができない。何故なら、一
方で標準化した構造様式の距離を符号化した基準マーク
が、また他方で簡単な手段で自由な基準マークの選択が
必要とされるからである。
ことによって実現させることができない。何故なら、一
方で標準化した構造様式の距離を符号化した基準マーク
が、また他方で簡単な手段で自由な基準マークの選択が
必要とされるからである。
絞り又は磁石開閉器は、それ等の構造様式により、個々
の基準マークＲｋが説明した方法で距離符号化される場
合、これ等のマークを選択的に付属させることが不可能
となる切換特性を有する。それ故、目盛板１を作製する
場合に既に基準マークＲｉに、後で絞り等で選択できる
マークＭｉが付属している。それ故、マークＭｉは基準
マークＲｉより長い相互の間隔を保有している。こうし
て、距離を符号化した基準マークＲｉ又は他のグリッド
の基準マーク、例えばＲｉ＋４を評価できる目盛板１が
提供される。
の基準マークＲｋが説明した方法で距離符号化される場
合、これ等のマークを選択的に付属させることが不可能
となる切換特性を有する。それ故、目盛板１を作製する
場合に既に基準マークＲｉに、後で絞り等で選択できる
マークＭｉが付属している。それ故、マークＭｉは基準
マークＲｉより長い相互の間隔を保有している。こうし
て、距離を符号化した基準マークＲｉ又は他のグリッド
の基準マーク、例えばＲｉ＋４を評価できる目盛板１が
提供される。
更に、マークＭｉのグリッドに相当するグリッドＲｉ＋
４を有する基準マークからもう一度選択に遭遇させるこ
とができる。利用者は基準マークを選択できる少なくと
も三回の可能性を有する。他方、メーカーはただ一つの
タイプの目盛板１を製造するはずである。
４を有する基準マークからもう一度選択に遭遇させるこ
とができる。利用者は基準マークを選択できる少なくと
も三回の可能性を有する。他方、メーカーはただ一つの
タイプの目盛板１を製造するはずである。
第２図には、位置測定装置の変形種２Ｐが示しである。
説明を簡略にするため、この発明に対する基本的な説明
を繰り返さない。類似によって第１図の説明を参照でき
る。同じ構成要素には、第１図に示した引用符号を付け
、その前に図の引用数字「２」又は「３」を付ける。
を繰り返さない。類似によって第１図の説明を参照でき
る。同じ構成要素には、第１図に示した引用符号を付け
、その前に図の引用数字「２」又は「３」を付ける。
目盛板２１には他の切換トラック２４ａがある。
一定のグリッド中に付属する切換光電素子２Ｓ１を走査
時に暗くするマーク２Ｍｉを有する切換トラック２０４
に反して、切換トラック２４ａは付属する切換光電素子
２Ｓ１ａを何時も暗くし、マーク２Ｍｉの前記グリッド
中でのみそれが照明される。この切換トラック２４ａは
所謂切換トラック２４の補完体である。動作様式の切換
に応じて、これは第２Ｄ図と第２図に示すような信号の
グラフとなる。
時に暗くするマーク２Ｍｉを有する切換トラック２０４
に反して、切換トラック２４ａは付属する切換光電素子
２Ｓ１ａを何時も暗くし、マーク２Ｍｉの前記グリッド
中でのみそれが照明される。この切換トラック２４ａは
所謂切換トラック２４の補完体である。動作様式の切換
に応じて、これは第２Ｄ図と第２図に示すような信号の
グラフとなる。
これ等の変形種の場合でも、予備選定した個々の基準マ
ーク２Ｒｔに一個の絞り又は類似のものを付属させるこ
とができる可能性が生じることが判る。更に、もちろん
ここでも全ての基準マーク２Ｒｉを評価する動作様式を
選択できる可能性が生じる。
ーク２Ｒｔに一個の絞り又は類似のものを付属させるこ
とができる可能性が生じることが判る。更に、もちろん
ここでも全ての基準マーク２Ｒｉを評価する動作様式を
選択できる可能性が生じる。
第３図には位置測定装Ｗ３Ｐが示しである。この装置で
は、ただ−個の切換トラック３４を用いた第２図での例
に似て補完形成を行う。この切換トラック３４は、これ
に対して、マーク３Ｍｉが反射され、中間室を透過する
ように構成されている。
は、ただ−個の切換トラック３４を用いた第２図での例
に似て補完形成を行う。この切換トラック３４は、これ
に対して、マーク３Ｍｉが反射され、中間室を透過する
ように構成されている。
信号を得るには、切換トラック３４の透過領域に対する
切換光電素子３Ｓ１はランプ３８に対向する目盛板３１
の側に装備しである。これに反して、反射マーク３Ｍｉ
に切換光電素子３Ｓ２が付属ランプ３８と同じ目盛板の
側にある。発光ダイオード３１０の形で独立した照明も
装備できる。
切換光電素子３Ｓ１はランプ３８に対向する目盛板３１
の側に装備しである。これに反して、反射マーク３Ｍｉ
に切換光電素子３Ｓ２が付属ランプ３８と同じ目盛板の
側にある。発光ダイオード３１０の形で独立した照明も
装備できる。
動作様式の切換に応じて、第３Ｅ図又は第３Ｇ図の信号
図が生じる。
図が生じる。
この実施例でも、当然既に説明した他の動作様式を選択
でき、主として基準マークを評価しない動作様式も選択
できることがどの実施例に対しても当てはまる。
でき、主として基準マークを評価しない動作様式も選択
できることがどの実施例に対しても当てはまる。
既に説明したように、動作様式の切換器はどんなように
も形成できるので、ただ模式的に切換器Ｂ又は２Ｂ及び
３Ｂとして示しあり、その電気接続は構造に依存する。
も形成できるので、ただ模式的に切換器Ｂ又は２Ｂ及び
３Ｂとして示しあり、その電気接続は構造に依存する。
符号化した基準マークによってこれ等の実施例の増分式
位置測定装置から卓絶対位置測定装置になるので、この
発明は増分式位置測定装置に制限されることもない。
位置測定装置から卓絶対位置測定装置になるので、この
発明は増分式位置測定装置に制限されることもない。
第１Ａ図、目盛板の模式平面図、
第１Ｂ図、増分式位置測定装置の横断面図。
第１Ｃ図、第１Ｂ図の位置測定装置の平面図。
第１Ｄ図、逆並列接続した光電素子の配置図。
第１Ｅ図、第１Ｄ図の光電素子を用いた走査の信号図。
第１Ｆ図、多数の光電素子の配置図。
第１Ｇ図、第１Ｆ図の光電素子を用いた走査の信号図。
第２Ａ図、他の目盛板の模式平面図。
第２Ｂ図、他の・位置測定装置の横断面図。
第２Ｃ図、光電素子回路図。
第２Ｄ図、第２Ｃ図の光電素子を用いる走査の信号図。
第２Ｅ図、他の光電素子回路図。
第２Ｆ図、第２Ｅ図の光電素子を用いる走査の信号図。
第３Ａ図、他の目盛板の平面図。
第３Ｂ図、他の位置測定装置の横断面図。
第３Ｃ図、第３Ｂ図の位置測定装置の平面図。
第３Ｄ図、光電素子回路図。
第３Ｅ図、第３Ｄ図の光電素子を用いる走査の信号図。
第３Ｆ図、他の光電素子回路図。
第３Ｇ図、第３Ｆ図の光電素子を用いる走査の信号図。
図中参照符号：
Ｐ、２Ｐ、３Ｐ・・・位置測定装置、
１．２１．３１・・・目盛板、
２．２２．３２・・ ・目盛、
３．２３．３３・・・基準マークトラック、４．２４．
３４・・・切換トラック、 ２４ａ・・・相補切換トラック、 Ｒｉ、２Ｒｉ、３Ｒｉ ・・・基準マーク、Ｍｉ、２Ｍ
ｉ、３Ｍｉ ・ ・ ・マーク、２Ｍａ・・・相補マー
ク、 ５．２５．３５・・・ケース、 ６．２６．３６・・・走査装置、 ７．２７．３７・・・基準マークプッシュプル光電素子 ８．２８．３８・・・ランプ、 ９．２９．３９・・・基準マーク光電素子、１０．３１
０・・・補助照明、 ＳＬ、２Ｓ１，２Ｓ１ａ、３３１・・・切換光電素子 Ｓ２，２Ｓ２，３Ｓ２・・・切換光電素子。
３４・・・切換トラック、 ２４ａ・・・相補切換トラック、 Ｒｉ、２Ｒｉ、３Ｒｉ ・・・基準マーク、Ｍｉ、２Ｍ
ｉ、３Ｍｉ ・ ・ ・マーク、２Ｍａ・・・相補マー
ク、 ５．２５．３５・・・ケース、 ６．２６．３６・・・走査装置、 ７．２７．３７・・・基準マークプッシュプル光電素子 ８．２８．３８・・・ランプ、 ９．２９．３９・・・基準マーク光電素子、１０．３１
０・・・補助照明、 ＳＬ、２Ｓ１，２Ｓ１ａ、３３１・・・切換光電素子 Ｓ２，２Ｓ２，３Ｓ２・・・切換光電素子。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、少なくとも一列の基準マークとこのマークに付属し
、基準マークを選択するために使用されるマークとを有
する測定目盛付き目盛板と、評価装置と、目盛板を走査
する走査装置とを備えた位置測定装置において、多数の
切換状態に対する動作様式切換器（Ｂ、２Ｂ、３Ｂ）を
装備し、この切換器を用いて動作様式、 ａ）全ての基準マーク（Ｒｉ）を評価する、ｂ）符号化
された又は符号化されていない基準マーク（Ｒｉ、Ｒｉ
＋４、Ｒｉ＋８）を評価する、 の少なくとも一つを選択できることを特徴とする位置測
定装置。 ２、マーク（Ｍｉ、２Ｍｉ、２Ｍｉａ、３Ｍｉ）は予備
選択に使用され、これ等のマークには最終選択のために
それ自体公知の光電及び／又は磁気選択素子（１１）が
配設してあることを特徴とする請求項１記載の位置測定
装置。 ３、マーク（Ｍｉ、２Ｍｉ、２Ｍｉａ、３Ｍｉ）は目盛
（２、２２、３２）に平行な切換トラック（４、２４、
２４ａ、３４）上に配設してあることを特徴とする請求
項１記載の位置測定装置。 ４、切換トラック（２、２４、２４ａ）はマーク（Ｍｉ
、２Ｍｉ、２４ａ）の形にした透過性と非透過性の部分
から成ることを特徴とする請求項３記載の位置測定装置
。 ５、切換トラック（３４）は透過性と非透過性の部分（
３Ｍｉ）から成ることを特徴とする請求項３記載の位置
測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3914739.8 | 1989-05-05 | ||
| DE3914739A DE3914739A1 (de) | 1989-05-05 | 1989-05-05 | Inkrementale positionsmesseinrichtung mit referenzmarken |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0310108A true JPH0310108A (ja) | 1991-01-17 |
| JP2675177B2 JP2675177B2 (ja) | 1997-11-12 |
Family
ID=6380088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2115327A Expired - Fee Related JP2675177B2 (ja) | 1989-05-05 | 1990-05-02 | 基準マークを備えた増分式位置測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4999623A (ja) |
| EP (1) | EP0395844B1 (ja) |
| JP (1) | JP2675177B2 (ja) |
| AT (1) | ATE82065T1 (ja) |
| DE (2) | DE3914739A1 (ja) |
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1989
- 1989-05-05 DE DE3914739A patent/DE3914739A1/de active Granted
-
1990
- 1990-02-15 EP EP90102926A patent/EP0395844B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1990-02-15 AT AT90102926T patent/ATE82065T1/de not_active IP Right Cessation
- 1990-02-15 DE DE9090102926T patent/DE59000423D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-05-02 US US07/517,942 patent/US4999623A/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2675177B2 (ja) | 1997-11-12 |
| DE3914739C2 (ja) | 1992-06-11 |
| US4999623A (en) | 1991-03-12 |
| EP0395844B1 (de) | 1992-11-04 |
| DE59000423D1 (de) | 1992-12-10 |
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| EP0395844A3 (en) | 1990-12-12 |
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