DD287774A5 - Inkrementales laengenmesssystem - Google Patents
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 title description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 6
- 239000011295 pitch Substances 0.000 abstract 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 235000010678 Paulownia tomentosa Nutrition 0.000 description 1
- 240000002834 Paulownia tomentosa Species 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
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- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34776—Absolute encoders with analogue or digital scales
- G01D5/34792—Absolute encoders with analogue or digital scales with only digital scales or both digital and incremental scales
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
- H03M1/12—Analogue/digital converters
- H03M1/22—Analogue/digital converters pattern-reading type
- H03M1/24—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
- H03M1/28—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding
- H03M1/287—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding using gradually changing slit width or pitch within one track; using plural tracks having slightly different pitches, e.g. of the Vernier or nonius type
Abstract
Ein inkrementales Laengenmeszsystem zur Messung groszer Laengen fuer Werkzeugmaschinen und Meszgeraete umfaszt einen Skalentraeger 1 mit einer Inkrementspur 2 und einer ersten und einer zweiten Referenzspur 4 und 6 mit Referenzmarken 5; 5; 7. Dabei ist der Absolutwert der Referenzmarken 5; 5 der Referenzspur 4 von einer Nullposition aus festgelegt. Die Abstaende der Referenzmarken 5; 5 der Referenzspur 4 sind in einer jeden Gruppe jeweils e; e2k; * enk. Die Abstaende der Referenzmarken 7 der zweiten Referenzspur 6 haben innerhalb einer Gruppe der Referenzspur 4 gleiche Abstaende lg. Diese Abstaende aendern sich von Gruppe zu Gruppe der Referenzmarken 5; 5, naemlich 1g; 12g; * 1ng. l und e sind Basisabstaende, g und k sind AEnderungseinheiten und nO; 1; 2; * Fig. 1{Laengenmeszsystem, inkremental; Skalentraeger; Inkrementspur; Referenzspur, erste, zweite; Referenzmarke; Abtasteinrichtung; Laenge, grosz}
Description
Hierzu 1 Seite Zeichnungen
Bei einem Inkrementalen Meßsystem nach der CH-PS 472021 Ist auf einem Skalenträger parallel zu einer Inkrementskala eine zweite Spur mit ebstandsglelchen Referenzmarken vorgesehen, wobei die Intervalle zwischen den Referenzmarken objektiv unterscheidbar sind. Diase zweite *>pur besteht aus breiten Marken, deren einer Rand als Hilfsmarke dient, und aus Inkromentmarkon, deren Anzahl jeweils als Absolutwertangabe für die zugeordnete Hilfsmarke dient. Die Abtastvorrichtung für die zweite Spur ist dabei so ausgebildet, daß einzelne Inkremente ablesbar sind. Nachteilig ist u.a., daß bei enggeteilter Inkrementskala ein hohes Auflösungsvermögen und eine hohe Empfindlichkeit der Abtastvorrichtung für die zweite Spur erforderlich sind. Da nur jeweils eine Mirko abgetastet wird, ist dieses Meßsystem gegen Verschmutzung empfindlich. Eine Längen- und Winkelmeßeinrichtunu nach der DE-OS 2416212 vormeidet diesen Nachteil dadurch, daß der Skalenträger in einer zweiten zur Inkrementskala parallelen Spur (Referenzspur) eine Mehrzahl von Absolutwertmarkierungen enthält, deren jede von der nächstfolgenden einen besonderen, den Absolutwert ihres Abstandes von einer Nullstelle kennzeichnenden, in Tellungsschritton derInkrementskalageiähltenAbstand'hat. EineAbtast- und'Auswerteeinrichtungstelltdie jeweiligeAnzahl der seit dem OvuchUvU Ugorvd eirvei Ataso\vrtwerVn\aiVüe\ui\a Wa ium Ouic\\\(\\V dei nacV\s\\o\gev\den Waso\uVwöi\n\aiY.\ötur\g \n einem Inkrementzähiwerk vorzelchengerocht gezählten Inkremento der Inkrementskala fest, ermittelt für diesen Abstandswert den zugeordneten richtigen Absolutwert nus einer entsprechend fest programmierten Zuordnungsvorrichtung und korrigiert gegebenenfalls den vorher unrichtigen Zählerstand des Inkrementzählwerkes auf den richtigen Absolutwert. Die Absolutwertmarkierungen können auch als Code-Kombination von Hell- und Dunkelstreifen ausgebildet sein und sich längenmäßig über eine Vielzahl von Inkrementen der Inkrementskala erstrecken.
Diese Meßeinrichtung besitzt jedoch eine begrenzte Meßlänge, da der Informationsgehalt der Codierung in Abhängigkeit vom Abstand der Ahsolutwertmarkierungen und der der Inkrementskala zugeordneten Ziffernschritten begrenzt ist. Der begrenzte Informationsgehalt einer so kodierten Referenzspur bedingt jedoch, das die Abstände der Markierungen zum Erlangen brauchbarer großer Meßlängen groß gehalten werden müssen. Der technische Aufwand zum Ermitteln der Startposition, z. B. zum Auslenken des Abtastkopfes der Abtasteinrichtung, ist hoch, und die benötigte Zeit belastet den Meß- und Positioniervorgang.
Aus der DE-OS 3G17254 goht hervor, daft bei einem Meßsystem zur Bestimmung des Absolutwertes einer Referenzmarke mindestens zwei Abstände zwischen dieser Referenzmnrke und zwei woiteren Referenzmarken hinzugezogen werden. Es ist hier nur eine Referenzspur vorgesehen. Die Erzeugung gut auswertbarer Referenzsignale bereitet jedoch bei sehr kleinen Reforenzmarkenabständen Schwierigkeiten.
Ziel der Erfindung Ist es, die Nachteile des Standes der Technik zu beseitigen und den Gebrauchswert von Meßsystemen durch Vergrößerung der Meßlänge zu erhöhen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein inkremental Längenmeßsystem zu schaffen, welches einen Skalenträger mit abstandskodierten Referenzmarken der Referenzspur mit großem Wertevorrat besitzt und welches für die absolute Messung praktisch beliebiger Längen bzw. für kleine Abstände der Referenzmarken verwendbar ist. Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe der Erfindung bei einem inkrementalen Längenmeßsystem, umfassend einen Skalenträger mit einer Inkrementspur und einer dazu parallel angeordneten ersten Referenzspur mit Referenzmarken, deren jede von der nächst folgenden einen besonderen, den Absolutwert ihres Abstandes von einer Nullposition kennzeichnenden, in Teilungs- oder Ziffernschritten der Inkrementspur gezählten Abstand ha', und eine die Inkrementspur und die Referenzspuren abtastende Abtasteinrichtung, welche mit einer Auswerteeinrichtung verbunden ist, wobei der Skalenträger und die Abtasteinrichtung relativ zueinander verschiebbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Skalenträger parallel zur Inkrementspur und zur ersten Referenzspur eine zweite, vorzugsweise gleichartig aufgebaute Referenzspur mit Referonzmarken vorgesehen ist, und die Referenzmarken der ersten Referenzspur fortlaufend Abstände e + k; e + 2 k;...; β + k;...; e + nk; e + k;... besitzen und die Referenzmarken der zweiten Referenzspur innerhalb einer Gruppe e + k;...; e + nk von Referenzmarken der ersten Referenzspur vorzugsweise gleiche Abstände I besitzen, wobei diese Abstände I von Gruppe zu Gruppe der Referonzmarken der ersten Referenzspur um jeweils eine Änderungseinheit g verändert sind, nämlich I + g;l + 2g; ...;l + ng; I + (n + Dg;...; I + 2g;...; I + n'g, wobei e und I Basisabstände der Referenzmarken der Referenzspuren g und k Änderungseinheiten und η = 0; 1; 2; 3;... sind.
Dabei ist es vorteilhaft, wenn die Basisabstände e und I bzw. die Änderungseinheiten g und k jeweils gleich groß, nämlich e = I undg - k, sind.
Eine weitere vorteilhafte Ausführung der Erfindung ergibt sich, wenn beiderseitig alternierend und parallel zur Inkrementspur jeweils Referenzspuren auf dem Skalenträger angeordnet sind.
Das erfindungsgemäße inkremental Längenmeßsystem besitzt einen praktisch unbegrenzten Wertevorrat, mittels dessen praktisch jede beliebige an Werkstücken und mit Meßgeräten zu messende Länge bestimmt werden kann. Bei diesen abstandskodierten Skalenträgern ist eine starke Verkürzung der Abstände der Marken der Referenzspuren möglich, ohne daß diu Signalbildung negativ beeinflußt wird. Verkürzte Referenzmarkenabstände sind ferner eine Voraussetzung für optimal ausgebildete Abtastköpfe zum Ermitteln der Startposition des Meßvorganges.
Das inkremental Längenmeßsystem, von dem in der Zeichnung nur der Skalenträger 1 dargestellt ist, umfaßt ferner eine die Teilungsspuren des Skalenträgers 1 abtastende Abtasteinrichtung, welche mit einer Auswerteeinrichtung zur Verarbeitung der durch die Abtasteinrichtung erzeugten elektrischen Signale verbunden ist.
Der Skalenträger 1 besitzt eine Inkrementspur 2 als Meßteilung mit Teilungsmarken 3. Parallel zu dieser Inkrementspur 2 ist eine erste Referenzspur 4 mit Referenzmarken 5 auf dem Skalenträger 1 vorgesehen, wobei eine jede Referenzmarke 5 von einer ihr benachbarten Referenzmarke 5' einen besonderen, den Absolutwert ihres Abstandos von einer Nullposition kennzeichnenden, in Teilungs- bzw. Ziffernschritten der Inkrementskala der Inkrementspur 2 gezählten Abstand hat. Skalenträger 1 und Abtasteinrichtung sind relativ zueinander verschiebbar.
Auf dem Skalenträger 11st weiterhin parallel zur ersten Inkrementspur 2 und parallel zur ersten Referenzspur 4 eine zweite, vorzugsweise gleichartig aufgebaute Referenzspur β mit Referenzmarken 7 angeordnet. Die Referenzmarken 5; 5' der ersten Referenzspur 4 besitzen fortlaufend folgende Abstände e + k; θ + 2k;...; e + nk; ο + k; ο + 2k; ...,wobei Referenzmarken 5; 5' der Abstände e + k;...;e + nk jeweils eine Gruppe bilden. Die Referenzmarken 7 der zweiten Referenzspur β besitzen innerhalb des Bereiches einer Gruppe e + k;...; e + nk von Referenzmarken 5; 6' der ersten Referenzspur 4 vorzugsweise gleiche Abstände I. Die Abstände der Roferenzmarken 7 der zweiten Referenzspur 6 verändern jedoch von Gruppe zu Gruppe von Referenzmarken S; 5' der ersten Roferenzspur 4 ihren Abstand voneinander um eine Änderungseinheit g. e und I sind hierbei Basisabslinde undg und k sind Änderungseinheiten und η = 0; 1; 2; 3...
Gruppe | 1. Referenzspur | .;e + nk .;e + nk .; e + nk | 2. Referenzspur |
1 2 3 | e + k;. e + k;. e + k;. | .;e + nk .;e + nk | 1+ g I+ 2g I+ 3g |
η (n + 1) | e + k;. e + k;. | .;e + nk | I+ ng l + (n+1)g |
ή2 . | o + k;. | l + n'g |
Die Basisabotinde e und I bzw. die Änderungseinheiten g und k können jeweils gleich groß, nämlich e = I und g = k sein. Bei dem Meßsystem bestimmt die Referenzspur 4 die Schaltpunkte P0; P1; P2;...; Pn; Pn +1; ·· ; Pm; · ·; Pn/ denen absolute Positionswerte zugeordnet sind. Diese werden beim Überfahren der Schaltpunkte von der Auswerteinrichtung abgerufen und dort zur Korrektur bzw. zur Bildung des Meßwertes dem Zähler Oberschrieben. Zur Schaltpunktbestimmung kann nicht nur die erste Referenzspur 4, sondern auch die zweite Referenzspur 6 oder beide Spuren genutzt werden.
Die in Fig.2 dargestellte Abtastplatte 8 der Abtasteinrichtung umfaßt eine Maske 9 zur Abtastung der ersten Referenzspur 4, eine Maske 10 zur Abtastung der zweiten Referenzspur β und ein Gegengitter 11 mit vier um 90° phasenverschobenen Bereichen 12; 13; 14; 15 zur Abtastung derlnkrementspur 2.
Zur Erzeugung weiterverarbeitbarer elektrischer Signale sind, wie In Fig.3 schematisch dargestellt, vorzugsweise auf einer Leiterplatte 16 fotoelektrische Empfänger vorgesehen, die mit einer Auswerteeinrichtung elektrisch verbunden sind. So sind ein Empfänger 18 der zweiten Referenzspur 6 und ein Empfänger 17 der ersten Referenzspur 4 zugeordnet. Ein Empfängerarray 19 ist der Inkrementspur 2 zugeordnet.
In der Abtasteinricl.tung des Meßsystems sind die Abtastplatte 8 und die Leiterplatte 16 so angeordnet, daß sich die Abtastplatte 8zwischen dem Skalenträger 1 und der Leiterplatte 16 befindet. Dabei sind die Maske 9 dem Empfänger 17 und die Maske 10 dem Empfänger 18 zugeordnet.
Dor Skalenträger nach Fig.4 ist aus zwei gleichartigen Teilen 20 und 20' zusammengesetzt, von denen jedes der Teile 20 und 20' eine Inkrementspur 21 und Referenzspuren 22 bzw. 23 besitzt, welche abstandskodierte Referenzmarken 24 und 25 aufweisen. An einer unter einem Winkel von 45° zur Längsachse des Skalenträgers angeordneten Trennfläche 26 sind die beiden Teile 20 und 20' durch ein Verbindungsstück 27 zusammengefügt, derart, daß eine durchgehende Inkrementspur 21 für den zusammengesetzten Skaltmträger gebildet wird. Damit wird eine Verdopplung der Meßlänge erreicht. Hierbei tritt für die Referenzspur 23 des Teiles 20' gegenüber der Referenzspur 22 des Teiles 20 ein Seiten- und Richtungswechsel auf. Im Abstand a von der letzten Referenzmaske des Teiles 20 bis zur ersten Referenzmarke des Teiles 20' wird dann beim ersten Überfahren mit der Abtasteinrichtung ein Wert in den Speicher der Auswerteeinrichtung nicht dargestellt eingespeichert. Die Abtastung der einzelnen Spuren des Skalenträgers nach Fig.4 kann In der zu den Fig. 2 und 3 ausgeführten Weise erfolgen. DerSkalenträger nach Flg.4 kann auch aus einem Stück ohne dlo Trennfläche 26 bestehen, wobei die Referenzspuren 22 und 23 ebenfalls beiderseitig alternierend und parallel zur Inkrementspur 21 angeordnet sind.
Claims (3)
1. Inkrementales Längenmeßsystem, umfassend einen Skalenträger mit einer Inkrementspur und einer dazu parallel angeordneten ersten Referenzspur mit Referenzmarken, deren [ede von der nächstf o\genden emen besonderen, den Abso\utovert Ihres Abstandes von einer NuNposition kennzeichnenden, in Teilungs- oder Ziffernschritten der Inkrementspur gezählten Abstand hat, und eine die Inkrementspur und die Referenzspuren abtastende Abtasteinrichtung, welche mit einer Auswerteeinrichtung verbunden ist, wobei die Skalenträger und die Abtasteinrichtung relativ zueinander verschiebbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Skalenträger (1) parallel zur Inkrementspur (2) und zur ersten Referenzspur (4) eine zweite, vorzugsweise (7) vorgesehen ist, und die Referenzmarken (5; 5') der ersten Referenzspur (4) fortlaufend Abstände β + k; e + 2 k;...; e + nk; β + k;...; e + nk; e + k;... besitzen und die Referenzmarken (7) der zweiten Referenzspur (6) innerhalb einer Gruppe β + k;...; β + nk von Referenzmarken (5; 5') der ersten Referenzspur (4) vorzugsweise gleiche Abstände 1 besitzen, wobei diese Abstände 1 von Gruppe zu Gruppe der Referenzmarken (5; 5') der ersten Referenzspur (4) um jeweils eine Änderungseinheit g verändert sind, nämlich I + g, I + 2g;...; I + ng; I + (n + Dg;...; I + 2g;...; I + n2g, wobei e und I Basisabstände der Referenzmarken (5; 5'; 7) der Referenzspuren (4 und 6), g und k Änderungseinheiten und η = 0; 1; 2; 3;... sind.
2. Längenmeßsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Basisabstände e und I bzw. die Anderungseinheiten g und k jeweils gleich groß, nämlich β = I und g = k, sind.
3. Längenmeßsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß beiderseitig alternierend und parallel zur Inkrementspur (21) jeweils Referenzspuren (22; 23) auf dem Skalenträger angeordnet sind.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DD89332404A DD287774A5 (de) | 1989-09-06 | 1989-09-06 | Inkrementales laengenmesssystem |
DE4021010A DE4021010A1 (de) | 1989-09-06 | 1990-07-02 | Inkrementales laengenmesssystem |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DD89332404A DD287774A5 (de) | 1989-09-06 | 1989-09-06 | Inkrementales laengenmesssystem |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DD287774A5 true DD287774A5 (de) | 1991-03-07 |
Family
ID=5612099
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DD89332404A DD287774A5 (de) | 1989-09-06 | 1989-09-06 | Inkrementales laengenmesssystem |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DD (1) | DD287774A5 (de) |
DE (1) | DE4021010A1 (de) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DD297700B5 (de) * | 1990-09-07 | 1994-03-31 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Verfahren zum messen von laengen |
DE4200616C2 (de) * | 1992-01-13 | 2001-12-06 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Wegmesssystem mit Grenzwegmarken zum Schutz gegen ein Überfahren einer oder mehrerer Grenzlagen eines Arbeitsbereiches durch bewegte Teile einer Maschine oder eines Messgerätes |
DE4208918A1 (de) * | 1992-03-20 | 1993-09-23 | Siemens Ag | Dreh- oder linearpositionsgebereinrichtung fuer ein bewegliches geraeteteil |
DE4244178C2 (de) * | 1992-12-24 | 1997-01-23 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
EP1056989B1 (de) | 1998-02-21 | 2002-12-18 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Verfahren zum betrieb eines positionsmesssystems und geeignetes positionsmesssystem hierzu |
DE10230614B3 (de) * | 2002-07-03 | 2004-02-12 | Institut für Mikroelektronik und Mechatronik Systeme gGmbH | Anordnung von Referenzmarken auf Messrasterplatten und von Referenzmarkensensoren auf einem dazugehörigen optoelektronisch arbeitenden Messkopf |
US7858922B2 (en) | 2006-11-20 | 2010-12-28 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Position-measuring device |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3039483C2 (de) * | 1980-10-18 | 1986-09-11 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
DE3245914C1 (de) * | 1982-12-11 | 1984-03-29 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Messeinrichtung |
DE3526206A1 (de) * | 1985-07-23 | 1987-02-05 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Wegmesseinrichtung |
DE3914739A1 (de) * | 1989-05-05 | 1990-11-08 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Inkrementale positionsmesseinrichtung mit referenzmarken |
-
1989
- 1989-09-06 DD DD89332404A patent/DD287774A5/de not_active IP Right Cessation
-
1990
- 1990-07-02 DE DE4021010A patent/DE4021010A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4021010A1 (de) | 1991-03-07 |
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Date | Code | Title | Description |
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ENJ | Ceased due to non-payment of renewal fee |