JP3506613B2 - 原点検出方式 - Google Patents
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- 230000004913 activation Effects 0.000 claims description 2
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
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- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
- H03M1/12—Analogue/digital converters
- H03M1/22—Analogue/digital converters pattern-reading type
- H03M1/24—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
- H03M1/28—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding
- H03M1/30—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding incremental
- H03M1/308—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding incremental with additional pattern means for determining the absolute position, e.g. reference marks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学式リニアエン
コーダ等の位置検出手段の基準位置を決定するための原
点検出方式に関し、特に簡素で小型のエンコーダに適し
た原点検出方式に関する。
コーダ等の位置検出手段の基準位置を決定するための原
点検出方式に関し、特に簡素で小型のエンコーダに適し
た原点検出方式に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の接触式透過型エンコーダでは、接
触式のギャップ保持機構により検出部のギャップを小さ
く且つ変動無く保持することが可能であるため、この種
のエンコーダの原点検出方式としては、基本ピッチの細
かい、即ち空間周波数の高い、ランダムパターン化され
た原点マークをスケール上に形成する方式が採用されて
いる。図８（ａ）は、この種のランダムパターンによっ
て得られる原点原信号と原点出力信号とを示す波形図で
ある。ランダムパターンを用いた場合、原点原信号に鋭
いピークが含まれるため、この信号を所定の基準レベル
でスライスしたときにシャープな原点出力信号が得られ
る。このため、比較的再現性の良い原点位置検出が可能
である。
触式のギャップ保持機構により検出部のギャップを小さ
く且つ変動無く保持することが可能であるため、この種
のエンコーダの原点検出方式としては、基本ピッチの細
かい、即ち空間周波数の高い、ランダムパターン化され
た原点マークをスケール上に形成する方式が採用されて
いる。図８（ａ）は、この種のランダムパターンによっ
て得られる原点原信号と原点出力信号とを示す波形図で
ある。ランダムパターンを用いた場合、原点原信号に鋭
いピークが含まれるため、この信号を所定の基準レベル
でスライスしたときにシャープな原点出力信号が得られ
る。このため、比較的再現性の良い原点位置検出が可能
である。
【０００３】一方、非接触反射型エンコーダ等では、非
接触状態を維持するために検出部のギャップ及びその許
容変動幅を大きく設定する必要があり、接触式透過型の
ような基本ピッチの細かいランダムパターンによる原点
検出が困難である。このため、例えば図８（ｂ）に示す
ような、粗いスリットパターンを用いることが多い。
接触状態を維持するために検出部のギャップ及びその許
容変動幅を大きく設定する必要があり、接触式透過型の
ような基本ピッチの細かいランダムパターンによる原点
検出が困難である。このため、例えば図８（ｂ）に示す
ような、粗いスリットパターンを用いることが多い。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、粗いス
リットパターンで得られた原点原信号波形を基準レベル
でスライスして原点出力信号を得る方法では、図８
（ｂ）に示すように、原点原信号のエッジの傾斜が緩慢
であるため、温度ドリフト等により原点出力信号のエッ
ジ位置が変動する。このような変動は、原点原信号の傾
斜が緩慢である程大きくなる。この変動率は、接触式透
過型のランダムパターンを用いた場合の１０〜３０倍に
も達し、原点出力信号をこのまま使用すると、ランダム
パターン方式に比べ、位置再現性が１オーダも低下する
という問題があった。
リットパターンで得られた原点原信号波形を基準レベル
でスライスして原点出力信号を得る方法では、図８
（ｂ）に示すように、原点原信号のエッジの傾斜が緩慢
であるため、温度ドリフト等により原点出力信号のエッ
ジ位置が変動する。このような変動は、原点原信号の傾
斜が緩慢である程大きくなる。この変動率は、接触式透
過型のランダムパターンを用いた場合の１０〜３０倍に
も達し、原点出力信号をこのまま使用すると、ランダム
パターン方式に比べ、位置再現性が１オーダも低下する
という問題があった。
【０００５】本発明は、このような点に鑑みなされたも
ので、簡素で小型化が可能な検出部の構造を維持しなが
ら、従来のエッジ検出による原点検出方式よりも再現性
に優れた原点検出方式を提供することを目的とする。
ので、簡素で小型化が可能な検出部の構造を維持しなが
ら、従来のエッジ検出による原点検出方式よりも再現性
に優れた原点検出方式を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係る原点検出方
式は、メインスケールとインデックススケールの相対位
置の変化に応じた位置検出信号を出力すると共に、前記
メインスケールとインデックススケールとにそれぞれ形
成された原点検出用パターンの重なりの度合いに応じて
レベルが変化する原点原信号を出力する位置検出手段
と、前記原点原信号を所定の基準レベルでスライスして
ゲート信号を生成出力するゲート信号発生手段と、この
ゲート信号発生手段で生成されたゲート信号がアクティ
ブになってから前記位置検出信号に基づく位置パルスの
計数を開始し前記ゲート信号が非アクティブになったと
きに計数値を１／２にする位置パルス計数手段と、この
位置パルス計数手段で１／２になった後の計数値を原点
検出の基準として前記位置パルス計数手段の計数値が予
め設定されたオフセット値になったら原点出力信号を出
力する原点出力手段とを備えたことを特徴とする。
式は、メインスケールとインデックススケールの相対位
置の変化に応じた位置検出信号を出力すると共に、前記
メインスケールとインデックススケールとにそれぞれ形
成された原点検出用パターンの重なりの度合いに応じて
レベルが変化する原点原信号を出力する位置検出手段
と、前記原点原信号を所定の基準レベルでスライスして
ゲート信号を生成出力するゲート信号発生手段と、この
ゲート信号発生手段で生成されたゲート信号がアクティ
ブになってから前記位置検出信号に基づく位置パルスの
計数を開始し前記ゲート信号が非アクティブになったと
きに計数値を１／２にする位置パルス計数手段と、この
位置パルス計数手段で１／２になった後の計数値を原点
検出の基準として前記位置パルス計数手段の計数値が予
め設定されたオフセット値になったら原点出力信号を出
力する原点出力手段とを備えたことを特徴とする。
【０００７】また、本発明に係る原点検出方法は、位置
検出手段の位置検出用信号から生成された位置パルスと
原点原信号を所定の基準レベルで２値化して得られたゲ
ート信号とを監視し、前記ゲート信号がアクティブにな
ってから前記位置パルスの計数を開始し前記ゲート信号
が非アクティブになったときに計数値を１／２にすると
共に、１／２になった後の計数値が予め設定されたオフ
セット値になったら原点出力信号を出力するようにした
ことを特徴とする。
検出手段の位置検出用信号から生成された位置パルスと
原点原信号を所定の基準レベルで２値化して得られたゲ
ート信号とを監視し、前記ゲート信号がアクティブにな
ってから前記位置パルスの計数を開始し前記ゲート信号
が非アクティブになったときに計数値を１／２にすると
共に、１／２になった後の計数値が予め設定されたオフ
セット値になったら原点出力信号を出力するようにした
ことを特徴とする。
【０００８】本発明によれば、原点原信号を所定の基準
レベルで２値化して得たゲート信号がアクティブである
間、位置パルスを計数し、ゲート信号の長さが計数され
た時点でその計数値を１／２することにより、ゲート信
号の立ち上がり（又は立ち下がり）からゲート信号り立
ち下がり（又は立ち上がり）までの間の丁度中間点を基
準とした計数値が得られる。一般に、原点原信号が緩や
かに変化する場合、それを２値化したときのエッジ位置
は温度ドリフトなどにより大きく変動するが、エッジと
エッジの中間点、即ち原点原信号のピーク位置は殆ど変
動しない。本発明は、この点に着目してゲート信号のエ
ッジ間の中央位置を基準としているため、原点原信号の
エッジの傾斜が緩慢であっても、それによる影響は殆ど
無い。このため、再現性にすぐれた原点検出が可能にな
る。
レベルで２値化して得たゲート信号がアクティブである
間、位置パルスを計数し、ゲート信号の長さが計数され
た時点でその計数値を１／２することにより、ゲート信
号の立ち上がり（又は立ち下がり）からゲート信号り立
ち下がり（又は立ち上がり）までの間の丁度中間点を基
準とした計数値が得られる。一般に、原点原信号が緩や
かに変化する場合、それを２値化したときのエッジ位置
は温度ドリフトなどにより大きく変動するが、エッジと
エッジの中間点、即ち原点原信号のピーク位置は殆ど変
動しない。本発明は、この点に着目してゲート信号のエ
ッジ間の中央位置を基準としているため、原点原信号の
エッジの傾斜が緩慢であっても、それによる影響は殆ど
無い。このため、再現性にすぐれた原点検出が可能にな
る。
【０００９】 また、スケールが移動して位置パルス計
数手段がゲートパルス幅を計数し、その計数値が１／２
となったあとに位置パルス計数手段の計数値が予め設定
されたオフセット値に達したら原点出力信号を出力する
原点出力手段を備えているので、スケールに対する検出
部の移動に伴ってリアルタイムで原点検出を行うことが
可能になる。
数手段がゲートパルス幅を計数し、その計数値が１／２
となったあとに位置パルス計数手段の計数値が予め設定
されたオフセット値に達したら原点出力信号を出力する
原点出力手段を備えているので、スケールに対する検出
部の移動に伴ってリアルタイムで原点検出を行うことが
可能になる。
【００１０】ゲート信号は、原点原信号を２値化して生
成されるが、ノイズによる誤検出を防止するため、この
種のレベル比較処理では、通常、ヒステリシス特性を持
たせたコンパレータの使用が望ましい。しかしながら、
本発明の場合、コンパレータがヒステリシス特性を持っ
ていると、ゲート信号の両エッジ位置がいずれかの方向
にずれてしまう。このような問題を解決するためには、
例えばゲート信号発生手段が、前記原点原信号の高レベ
ルから低レベルへの変化を前記所定の基準レベルで検出
し低レベルから高レベルへの変化を前記所定の基準レベ
ルよりも高いレベルで検出する第１のコンパレータと、
前記原点原信号の高レベルから低レベルへの変化を前記
所定の基準レベルよりも低いレベルで検出し低レベルか
ら高レベルへの変化を前記所定の基準レベルで検出する
第２のコンパレータと、前記ゲート信号がアクティブに
なってから非アクティブになるまでの間の途中の時点を
境として、その前半で前記第１のコンパレータの出力を
選択し、その後半で前記第２のコンパレータの出力を選
択することにより、これら選択された出力を前記ゲート
信号として出力する選択手段とを備えたものであると良
い。
成されるが、ノイズによる誤検出を防止するため、この
種のレベル比較処理では、通常、ヒステリシス特性を持
たせたコンパレータの使用が望ましい。しかしながら、
本発明の場合、コンパレータがヒステリシス特性を持っ
ていると、ゲート信号の両エッジ位置がいずれかの方向
にずれてしまう。このような問題を解決するためには、
例えばゲート信号発生手段が、前記原点原信号の高レベ
ルから低レベルへの変化を前記所定の基準レベルで検出
し低レベルから高レベルへの変化を前記所定の基準レベ
ルよりも高いレベルで検出する第１のコンパレータと、
前記原点原信号の高レベルから低レベルへの変化を前記
所定の基準レベルよりも低いレベルで検出し低レベルか
ら高レベルへの変化を前記所定の基準レベルで検出する
第２のコンパレータと、前記ゲート信号がアクティブに
なってから非アクティブになるまでの間の途中の時点を
境として、その前半で前記第１のコンパレータの出力を
選択し、その後半で前記第２のコンパレータの出力を選
択することにより、これら選択された出力を前記ゲート
信号として出力する選択手段とを備えたものであると良
い。
【００１１】ゲート信号発生手段がこのような構成であ
ると、ヒステリシス特性を持った２つのコンパレータの
うち第１のコンパレータの高レベルから低レベルへの変
化を検出するスレッショルドレベルと、第２のコンパレ
ータの低レベルから高レベルへの変化を検出するスレッ
ショルドレベルとが一致しており、且つこれらの変化が
それぞれ選択手段で選択されてゲート信号が生成される
ので、ヒステリシス特性による耐ノイズ性能の向上を図
りつつ、同時にゲート信号のエッジ位置が変動するのを
防止することができる。
ると、ヒステリシス特性を持った２つのコンパレータの
うち第１のコンパレータの高レベルから低レベルへの変
化を検出するスレッショルドレベルと、第２のコンパレ
ータの低レベルから高レベルへの変化を検出するスレッ
ショルドレベルとが一致しており、且つこれらの変化が
それぞれ選択手段で選択されてゲート信号が生成される
ので、ヒステリシス特性による耐ノイズ性能の向上を図
りつつ、同時にゲート信号のエッジ位置が変動するのを
防止することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照して、こ
の発明の好ましい実施の形態について説明する。図１
は、この発明の一実施例に係る原点検出方式に使用され
る位置検出手段、即ち原点原信号φＺ及び位置検出信号
としての２相正弦波信号φＡ，φＢを出力するリニアス
ケールの概略構成を示す斜視図である。このリニアスケ
ールは、透過型光電式エンコーダで、メインスケール１
とインデックススケール２とを対向配置させ、両スケー
ル１，２に所定ピッチの光学格子３，４を形成してい
る。両スケール１，２を挟んでＬＥＤ等の光源５とフォ
トダイオード等の受光素子６とが向かい合っている。イ
ンデックススケール２、光源５及び受光素子６で、メイ
ンスケール１に対して相対的に移動する検出部７が構成
されている。検出部７が移動すると、各スケール１，２
の光学格子３，４を透過する光は、格子ピッチと同じ周
期で明暗を繰り返す。受光素子６は、この変化を電気信
号に変換し、９０°位相差の位置検出信号、即ち２相正
弦波信号φＡ，φＢを出力する。また、両スケール１，
２の所定箇所に原点検出用パターン８，９がそれぞれ形
成されており、受光素子６は、これらパターン８，９の
重なり具合によって図８（ａ）又は（ｂ）に示したよう
な原点原信号φＺを出力する。
の発明の好ましい実施の形態について説明する。図１
は、この発明の一実施例に係る原点検出方式に使用され
る位置検出手段、即ち原点原信号φＺ及び位置検出信号
としての２相正弦波信号φＡ，φＢを出力するリニアス
ケールの概略構成を示す斜視図である。このリニアスケ
ールは、透過型光電式エンコーダで、メインスケール１
とインデックススケール２とを対向配置させ、両スケー
ル１，２に所定ピッチの光学格子３，４を形成してい
る。両スケール１，２を挟んでＬＥＤ等の光源５とフォ
トダイオード等の受光素子６とが向かい合っている。イ
ンデックススケール２、光源５及び受光素子６で、メイ
ンスケール１に対して相対的に移動する検出部７が構成
されている。検出部７が移動すると、各スケール１，２
の光学格子３，４を透過する光は、格子ピッチと同じ周
期で明暗を繰り返す。受光素子６は、この変化を電気信
号に変換し、９０°位相差の位置検出信号、即ち２相正
弦波信号φＡ，φＢを出力する。また、両スケール１，
２の所定箇所に原点検出用パターン８，９がそれぞれ形
成されており、受光素子６は、これらパターン８，９の
重なり具合によって図８（ａ）又は（ｂ）に示したよう
な原点原信号φＺを出力する。
【００１３】図２は、これら２相正弦波信号φＡ，φＢ
及び原点原信号φＺから原点出力信号ＰＺを生成出力す
るための原点検出回路を示す図である。２相正弦波信号
φＡ，φＢは、内挿回路１１に入力され、ここで２相正
弦波信号φＡ，φＢの周期が所定数分割されて２相方形
波信号ＰＡ，ＰＢが生成される。例えば、スケール１，
２の格子ピッチが２０μｍであると、内挿回路１１はこ
れを１００分割することにより、０．２μｍピッチで分
解能０．０５μｍの２相方形波信号ＰＡ，ＰＢを生成出
力する。これら２相方形波信号ＰＡ，ＰＢは、位相が例
えば９０°ずれていて、いずれの立ち上がりエッジが先
行しているかをもってインデックススケール２の移動方
向が定まるようになっている。位置パルス計数手段とし
てのカウンタ１２，１３は、この２相方形波信号ＰＡ，
ＰＢを導入し、これら信号ＰＡ，ＰＢの各立ち上がり及
び立ち下がりエッジを検出することで、例えば０．０５
μｍピッチの位置パルスPULSEを内部に生成すると共
に、２相方形波信号ＰＡ，ＰＢの位相関係に基づいて移
動方向ＤＩＲをデコードし、移動方向ＤＩＲに基づいて
位置パルスPULSEをアップカウント又はダウンカウント
する。
及び原点原信号φＺから原点出力信号ＰＺを生成出力す
るための原点検出回路を示す図である。２相正弦波信号
φＡ，φＢは、内挿回路１１に入力され、ここで２相正
弦波信号φＡ，φＢの周期が所定数分割されて２相方形
波信号ＰＡ，ＰＢが生成される。例えば、スケール１，
２の格子ピッチが２０μｍであると、内挿回路１１はこ
れを１００分割することにより、０．２μｍピッチで分
解能０．０５μｍの２相方形波信号ＰＡ，ＰＢを生成出
力する。これら２相方形波信号ＰＡ，ＰＢは、位相が例
えば９０°ずれていて、いずれの立ち上がりエッジが先
行しているかをもってインデックススケール２の移動方
向が定まるようになっている。位置パルス計数手段とし
てのカウンタ１２，１３は、この２相方形波信号ＰＡ，
ＰＢを導入し、これら信号ＰＡ，ＰＢの各立ち上がり及
び立ち下がりエッジを検出することで、例えば０．０５
μｍピッチの位置パルスPULSEを内部に生成すると共
に、２相方形波信号ＰＡ，ＰＢの位相関係に基づいて移
動方向ＤＩＲをデコードし、移動方向ＤＩＲに基づいて
位置パルスPULSEをアップカウント又はダウンカウント
する。
【００１４】一方、ゲート信号発生回路１４は、原点原
信号φＺを所定の基準レベルＶRefでスライスして、ゲ
ート信号Ｚを生成・出力する。このゲート信号Ｚは、カ
ウンタ１２に与えられている。カウンタ１２は、ゲート
信号Ｚがアクティブになってから位置パルスPULSEのカ
ウントを開始し、ゲート信号Ｚが非アクティブになった
ときにその計数値を１／２回路１５で１ビットシフトし
て、１／２にしてからカウンタ１３にプリセットする。
なお、この処理は、単にカウンタ１２からカウンタ１３
へ最下位ビットを除く計数値をプリセットするだけでも
よい。カウンタ１３は、プリセット後の計数値を位置パ
ルスPULSEに従って計数する。カウンタ１３の計数値
は、コンパレータ１６に供給される。コンパレータ１６
は原点出力手段となるもので、入力された計数値と予め
定めたオフセット値Ｎとを比較して、両者が一致したと
きに原点出力信号ＰＺを出力する。また、コンパレータ
１７は、カウンタ１２から出力される計数値と後述する
所定値ｍとを比較して、両者が一致したときにコントロ
ール信号ＣＮＴを出力する。このコントロール信号ＣＮ
Ｔは、ゲート信号発生回路１４に供給され、後述するよ
うに、ゲート信号Ｚを生成する際に使用される。
信号φＺを所定の基準レベルＶRefでスライスして、ゲ
ート信号Ｚを生成・出力する。このゲート信号Ｚは、カ
ウンタ１２に与えられている。カウンタ１２は、ゲート
信号Ｚがアクティブになってから位置パルスPULSEのカ
ウントを開始し、ゲート信号Ｚが非アクティブになった
ときにその計数値を１／２回路１５で１ビットシフトし
て、１／２にしてからカウンタ１３にプリセットする。
なお、この処理は、単にカウンタ１２からカウンタ１３
へ最下位ビットを除く計数値をプリセットするだけでも
よい。カウンタ１３は、プリセット後の計数値を位置パ
ルスPULSEに従って計数する。カウンタ１３の計数値
は、コンパレータ１６に供給される。コンパレータ１６
は原点出力手段となるもので、入力された計数値と予め
定めたオフセット値Ｎとを比較して、両者が一致したと
きに原点出力信号ＰＺを出力する。また、コンパレータ
１７は、カウンタ１２から出力される計数値と後述する
所定値ｍとを比較して、両者が一致したときにコントロ
ール信号ＣＮＴを出力する。このコントロール信号ＣＮ
Ｔは、ゲート信号発生回路１４に供給され、後述するよ
うに、ゲート信号Ｚを生成する際に使用される。
【００１５】次にこのように構成された原点検出回路の
動作について説明する。図３は、原点原信号φＺ及び基
準レベルＶRefと、原点検出位置との関係を説明するた
めの図である。いま、原点原信号φＺを基準レベルＶRe
f，ＶRef’，ＶRef”でそれぞれスライスした場合、左
右のエッジ位置ＸZL，ＸZL’，ＸZL”，ＸZR，ＸZR’，
ＸZR”は、検出部７の移動方向に大きく変化する。この
ことは、光源５の光量変化、光源５及び受光素子６の温
度特性等によってゲート信号Ｚのエッジ位置が大きく変
動することを示している。しかし、左右のエッジ位置Ｘ
ZL−ＸZR，ＸZL’−ＸZR’，ＸZL”−ＸZR”の各中点Ｘ
ZP，ＸZP’，ＸZP”を結んでいくと、もし原点原信号φ
Ｚが完全軸対象であるならば、中点連結線は原点原信号
φＺのピーク値を通る垂線と一致する。実際には、光量
分布の不均一性などの影響で、図示のように中点連結線
が垂線から多少傾く。しかし、この傾きΔＸZP／ΔＶRe
fは、各スライス点における傾きΔＸZL／ΔＶRefに比べ
るとはるかに小さく、中点連結線は原点原信号φＺのピ
ーク値を通る垂線にほぼ一致していると考えて良い。よ
って、原点位置を定義するには原点原信号φＺのスライ
ス位置よりもその中点を用いた方が再現性が良くなる。
動作について説明する。図３は、原点原信号φＺ及び基
準レベルＶRefと、原点検出位置との関係を説明するた
めの図である。いま、原点原信号φＺを基準レベルＶRe
f，ＶRef’，ＶRef”でそれぞれスライスした場合、左
右のエッジ位置ＸZL，ＸZL’，ＸZL”，ＸZR，ＸZR’，
ＸZR”は、検出部７の移動方向に大きく変化する。この
ことは、光源５の光量変化、光源５及び受光素子６の温
度特性等によってゲート信号Ｚのエッジ位置が大きく変
動することを示している。しかし、左右のエッジ位置Ｘ
ZL−ＸZR，ＸZL’−ＸZR’，ＸZL”−ＸZR”の各中点Ｘ
ZP，ＸZP’，ＸZP”を結んでいくと、もし原点原信号φ
Ｚが完全軸対象であるならば、中点連結線は原点原信号
φＺのピーク値を通る垂線と一致する。実際には、光量
分布の不均一性などの影響で、図示のように中点連結線
が垂線から多少傾く。しかし、この傾きΔＸZP／ΔＶRe
fは、各スライス点における傾きΔＸZL／ΔＶRefに比べ
るとはるかに小さく、中点連結線は原点原信号φＺのピ
ーク値を通る垂線にほぼ一致していると考えて良い。よ
って、原点位置を定義するには原点原信号φＺのスライ
ス位置よりもその中点を用いた方が再現性が良くなる。
【００１６】しかし、原点原信号φＺのピークを通る中
心軸は波形から割り出すことはできても、そのスライス
位置の中点は、実際に検出部７がスライス位置の２点を
通過しないと割り出せないため、リアルタイムに中心点
位置を原点信号として直接出力することができない。そ
こで、この実施例では、原点原信号φＺのピーク位置か
ら所定値Ｎだけオフセットさせた位置で原点出力信号Ｐ
Ｚを出力させるようにしている。
心軸は波形から割り出すことはできても、そのスライス
位置の中点は、実際に検出部７がスライス位置の２点を
通過しないと割り出せないため、リアルタイムに中心点
位置を原点信号として直接出力することができない。そ
こで、この実施例では、原点原信号φＺのピーク位置か
ら所定値Ｎだけオフセットさせた位置で原点出力信号Ｐ
Ｚを出力させるようにしている。
【００１７】図４は、図２の回路の原点検出動作を示す
タイミングチャートである。いまリニアスケールの検出
部７をホームポジションに移動したのち、予め決められ
た方向へ移動させることによって得られた原点原信号φ
Ｚを基準レベルＶRefでスライスすると、ゲート信号Ｚ
が得られる。ゲート信号Ｚの立ち上がりＸZLで、カウン
タ１２が位置パルスPULSEのカウント動作を開始する。
ゲート信号Ｚの立ち下がりＸZRまでのカウンタ１２のカ
ウント値が８０であるとすると、ゲート信号Ｚの立ち下
がりによって、この計数値は８０／２＝４０となってカ
ウンタ１３にプリセットされるので、カウンタ１３は、
以後４１から計数を開始する。ここで、オフセット値Ｎ
が１００であるとすると、カウンタ１３の計数値が１０
０に達した時点でコンパレータ１６が原点出力信号ＰＺ
を出力する。なお、原点出力信号ＰＺのパルス幅は、こ
の例では位置パルスPULSEで４パルス分としている。
タイミングチャートである。いまリニアスケールの検出
部７をホームポジションに移動したのち、予め決められ
た方向へ移動させることによって得られた原点原信号φ
Ｚを基準レベルＶRefでスライスすると、ゲート信号Ｚ
が得られる。ゲート信号Ｚの立ち上がりＸZLで、カウン
タ１２が位置パルスPULSEのカウント動作を開始する。
ゲート信号Ｚの立ち下がりＸZRまでのカウンタ１２のカ
ウント値が８０であるとすると、ゲート信号Ｚの立ち下
がりによって、この計数値は８０／２＝４０となってカ
ウンタ１３にプリセットされるので、カウンタ１３は、
以後４１から計数を開始する。ここで、オフセット値Ｎ
が１００であるとすると、カウンタ１３の計数値が１０
０に達した時点でコンパレータ１６が原点出力信号ＰＺ
を出力する。なお、原点出力信号ＰＺのパルス幅は、こ
の例では位置パルスPULSEで４パルス分としている。
【００１８】ここで、原点原信号がφＺ→φＺ’のよう
にレベル変動すると、ゲート信号はＺ→Ｚ’のように変
化し、その立ち上がり位置がＸZL→ＸZL’、立ち下がり
位置がＸZR→ＸZR’のように共に内側に変化する。この
場合、例えば位置パルスPULSEのカウント開始とカウン
ト値を１／２にするタイミングとが上の例とはずれるこ
とになるが、変動後の原点原信号φＺ’もφＺとピーク
位置を等しくし、中心軸に対して対称形とみなせるの
で、カウンタ１２のカウント値を１／２した時点で、同
じ重みのパルスを中点位置ＸZPから計数したのと等価と
なる。よって、カウンタ１３が１００をカウントするタ
イミングは、先の例と全く同じになる。このように本実
施例の回路を用いれば、傾斜の緩やかなエッジを持つ原
点原信号φＺが得られるスリット方式でも、原点原信号
φＺの軸対称性をある程度確保すれば、再現性に優れた
原点出力信号ＰＺを得ることができる。
にレベル変動すると、ゲート信号はＺ→Ｚ’のように変
化し、その立ち上がり位置がＸZL→ＸZL’、立ち下がり
位置がＸZR→ＸZR’のように共に内側に変化する。この
場合、例えば位置パルスPULSEのカウント開始とカウン
ト値を１／２にするタイミングとが上の例とはずれるこ
とになるが、変動後の原点原信号φＺ’もφＺとピーク
位置を等しくし、中心軸に対して対称形とみなせるの
で、カウンタ１２のカウント値を１／２した時点で、同
じ重みのパルスを中点位置ＸZPから計数したのと等価と
なる。よって、カウンタ１３が１００をカウントするタ
イミングは、先の例と全く同じになる。このように本実
施例の回路を用いれば、傾斜の緩やかなエッジを持つ原
点原信号φＺが得られるスリット方式でも、原点原信号
φＺの軸対称性をある程度確保すれば、再現性に優れた
原点出力信号ＰＺを得ることができる。
【００１９】ところで、原点原信号φＺを基準レベルＶ
Refでスライスする場合、一般にはコンパレータが用い
られる。コンパレータを用いる場合、比較する２信号の
レベルが一致もしくは非常に近接すると不安定な動作を
するため、通常、コンパレータにヒステリシス特性を持
たせることが多い。しかし、コンパレータにヒステリシ
ス特性を持たせると、ゲート信号Ｚの立ち上がり位置Ｘ
ZLと立ち下がり位置ＸZRを求めるための原信号φＺに対
するスライスレベルが異なるため、ＸZLとＸZRの中点位
置ＸZPと、原点原信号φＺのピーク位置とが一致しなく
なる。そこで、この実施例では、ゲート信号発生回路１
４を、図５のように構成している。
Refでスライスする場合、一般にはコンパレータが用い
られる。コンパレータを用いる場合、比較する２信号の
レベルが一致もしくは非常に近接すると不安定な動作を
するため、通常、コンパレータにヒステリシス特性を持
たせることが多い。しかし、コンパレータにヒステリシ
ス特性を持たせると、ゲート信号Ｚの立ち上がり位置Ｘ
ZLと立ち下がり位置ＸZRを求めるための原信号φＺに対
するスライスレベルが異なるため、ＸZLとＸZRの中点位
置ＸZPと、原点原信号φＺのピーク位置とが一致しなく
なる。そこで、この実施例では、ゲート信号発生回路１
４を、図５のように構成している。
【００２０】即ち、ゲート信号発生回路１４は、ヒステ
リシス特性を異ならせた第１のコンパレータ２１及び第
２のコンパレータ２２と、これらコンパレータ２１，２
２の出力を切り替える選択手段としてのＡＮＤゲート２
３及びＯＲゲート２４とを備えて構成されている。第１
のコンパレータ２１は、抵抗Ｒ１１，Ｒ１２，Ｒ１３、
インバータＩ１１，Ｉ１２及びダイオードＤ１によっ
て、図６に示すように、原信号φＺの立ち下がりでは基
準レベルＶRefをスライスレベルとし、立ち上がりでは
それよりも高いレベルＶTH+をスライスレベルとしてい
る。また、第２のコンパレータ２２は、抵抗Ｒ２１，Ｒ
２２，Ｒ２３、インバータＩ２１，Ｉ２２及びダイオー
ドＤ２によって、図６に示すように、原信号φＺの立ち
下がりでは基準レベルＶRefよりも低いレベルＶTH-をス
ライスレベルとし、立ち上がりでは基準レベルＶRefを
スライスレベルとしている。
リシス特性を異ならせた第１のコンパレータ２１及び第
２のコンパレータ２２と、これらコンパレータ２１，２
２の出力を切り替える選択手段としてのＡＮＤゲート２
３及びＯＲゲート２４とを備えて構成されている。第１
のコンパレータ２１は、抵抗Ｒ１１，Ｒ１２，Ｒ１３、
インバータＩ１１，Ｉ１２及びダイオードＤ１によっ
て、図６に示すように、原信号φＺの立ち下がりでは基
準レベルＶRefをスライスレベルとし、立ち上がりでは
それよりも高いレベルＶTH+をスライスレベルとしてい
る。また、第２のコンパレータ２２は、抵抗Ｒ２１，Ｒ
２２，Ｒ２３、インバータＩ２１，Ｉ２２及びダイオー
ドＤ２によって、図６に示すように、原信号φＺの立ち
下がりでは基準レベルＶRefよりも低いレベルＶTH-をス
ライスレベルとし、立ち上がりでは基準レベルＶRefを
スライスレベルとしている。
【００２１】制御信号ＣＮＴが当初ハイレベル、ゲート
信号Ｚの出力期間の途中でロウレベルに変化すると、Ｏ
Ｒゲート２４は、ゲート信号Ｚの立ち上がり時点では第
１のコンパレータ２１の出力、ゲート信号Ｚの立ち下が
り時点では第２のコンパレータ２２の出力を選択するの
で、図６に示すように、ＯＲゲート２４から最終的に得
られるゲート信号Ｚは、１つの基準レベルＶRefでスラ
イスされた信号と同じになり、その立ち上がり位置及び
立ち下がり位置の中点位置が変動することがなくなる。
信号Ｚの出力期間の途中でロウレベルに変化すると、Ｏ
Ｒゲート２４は、ゲート信号Ｚの立ち上がり時点では第
１のコンパレータ２１の出力、ゲート信号Ｚの立ち下が
り時点では第２のコンパレータ２２の出力を選択するの
で、図６に示すように、ＯＲゲート２４から最終的に得
られるゲート信号Ｚは、１つの基準レベルＶRefでスラ
イスされた信号と同じになり、その立ち上がり位置及び
立ち下がり位置の中点位置が変動することがなくなる。
【００２２】制御信号ＣＮＴは、カウンタ１２のカウン
ト値から生成すればよい。即ち、原点原信号φＺの負又
は正のエッジが比較レベルＶTHから十分に離れて、ノイ
ズや振動による不安定な状態から脱した位置で、第１の
コンパレータ２１と第２のコンパレータ２２を切り替え
る必要があるため、カウンタ１２のカウント値が０より
十分大きく、ゲート信号Ｚの幅に対応した計数値よりも
十分小さい範囲の数値ｍを予め設定しておき、この設定
値ｍとカウンタ１２のカウント値とをコンパレータ１７
で比較して、切り替え用の制御信号ＣＮＴを生成し、こ
れをゲート信号発生回路１４に出力する。
ト値から生成すればよい。即ち、原点原信号φＺの負又
は正のエッジが比較レベルＶTHから十分に離れて、ノイ
ズや振動による不安定な状態から脱した位置で、第１の
コンパレータ２１と第２のコンパレータ２２を切り替え
る必要があるため、カウンタ１２のカウント値が０より
十分大きく、ゲート信号Ｚの幅に対応した計数値よりも
十分小さい範囲の数値ｍを予め設定しておき、この設定
値ｍとカウンタ１２のカウント値とをコンパレータ１７
で比較して、切り替え用の制御信号ＣＮＴを生成し、こ
れをゲート信号発生回路１４に出力する。
【００２３】以上の実施例により、極めて簡易な構成で
再現性に優れた原点検出が可能になる。ちなみに、本発
明者等の試算によれば、ゲート信号幅ＺX＝２００μ
ｍ、原点原信号φＺと基準レベルＶRefの相対変動を５
％とすると、従来のエッジ検出による原点検出方式で
は、原点出力の位置変動幅が９．３μｍであったが、本
方式では、位置パルス分解能０．１μｍとした場合の位
置変動幅が０．５μｍまで減少し、原点位置の再現性が
１８．６倍に改善された。
再現性に優れた原点検出が可能になる。ちなみに、本発
明者等の試算によれば、ゲート信号幅ＺX＝２００μ
ｍ、原点原信号φＺと基準レベルＶRefの相対変動を５
％とすると、従来のエッジ検出による原点検出方式で
は、原点出力の位置変動幅が９．３μｍであったが、本
方式では、位置パルス分解能０．１μｍとした場合の位
置変動幅が０．５μｍまで減少し、原点位置の再現性が
１８．６倍に改善された。
【００２４】図７は、本発明の原点検出処理をソフトウ
ェアによって実現する際のフローチャートである。電源
オン（Ｓ１）ののち、カウント値COUNTと原点出力信号
ＰＺとをリセットする（Ｓ２，Ｓ３）。次に、ゲート信
号Ｚを監視し（Ｓ４）、ゲート信号ＺがＨレベルになっ
たら（Ｓ５）、位置パルスPULSEにより検出部７の移動
方向DIRを確認し、移動方向DIRが負方向であったら、も
う一度ゲート信号Ｚの監視ステップ（Ｓ４）に戻るが、
正方向であったら、次の第２ステージに進む（Ｓ６）。
第２ステージでは、位置パルスPULSEを監視し（Ｓ
７）、移動方向に応じて（Ｓ８）、カウント値COUNTを
アップカウント（Ｓ９）又はダウンカウント（Ｓ１０）
する。このカウント動作をゲート信号ＺがＬレベルにな
るまで続行する（Ｓ１１，Ｓ１２）。検出部７が正方向
移動しているときにゲート信号がＬになったことが検出
されたら（Ｓ１１）、カウント値COUNTを１／２にし
（Ｓ１３）、次の第３ステージに進む。
ェアによって実現する際のフローチャートである。電源
オン（Ｓ１）ののち、カウント値COUNTと原点出力信号
ＰＺとをリセットする（Ｓ２，Ｓ３）。次に、ゲート信
号Ｚを監視し（Ｓ４）、ゲート信号ＺがＨレベルになっ
たら（Ｓ５）、位置パルスPULSEにより検出部７の移動
方向DIRを確認し、移動方向DIRが負方向であったら、も
う一度ゲート信号Ｚの監視ステップ（Ｓ４）に戻るが、
正方向であったら、次の第２ステージに進む（Ｓ６）。
第２ステージでは、位置パルスPULSEを監視し（Ｓ
７）、移動方向に応じて（Ｓ８）、カウント値COUNTを
アップカウント（Ｓ９）又はダウンカウント（Ｓ１０）
する。このカウント動作をゲート信号ＺがＬレベルにな
るまで続行する（Ｓ１１，Ｓ１２）。検出部７が正方向
移動しているときにゲート信号がＬになったことが検出
されたら（Ｓ１１）、カウント値COUNTを１／２にし
（Ｓ１３）、次の第３ステージに進む。
【００２５】第３ステージでは、まず位置パルスPULSE
を監視し（Ｓ１４）、その方向に応じて（Ｓ１５）カウ
ント値をアップカウント（Ｓ１６）又はダウンカウント
（Ｓ１７）する。アップカウント時には、カウント値CO
UNTがＮ以上になったら（Ｓ１８）、カウント値COUNTが
Ｎ＋Ｗ（ＷはＰＺのパルス幅）以上になるまで（Ｓ１
９）、原点出力信号ＰＺをＨレベルにする（Ｓ２０）。
カウント値COUNTがＮ＋Ｗ以上になったら、原点原信号
ＰＺをＬレベルにする（Ｓ２１）と共に、カウント値CO
UNTを０にする（Ｓ２６）。また、ダウンカウント時に
は、カウント値COUNTがＮを下回ったら（Ｓ２２）、原
点出力信号ＰＺをＬレベルにし（Ｓ２３）、更にカウン
ト値COUNTが０を下回り（Ｓ２４）、且つゲート信号Ｚ
がＬレベルになったら（Ｓ２５）、カウント値COUNTを
０にする（Ｓ２６）。以上の処理により、再現性に優れ
た原点検出が可能になる。
を監視し（Ｓ１４）、その方向に応じて（Ｓ１５）カウ
ント値をアップカウント（Ｓ１６）又はダウンカウント
（Ｓ１７）する。アップカウント時には、カウント値CO
UNTがＮ以上になったら（Ｓ１８）、カウント値COUNTが
Ｎ＋Ｗ（ＷはＰＺのパルス幅）以上になるまで（Ｓ１
９）、原点出力信号ＰＺをＨレベルにする（Ｓ２０）。
カウント値COUNTがＮ＋Ｗ以上になったら、原点原信号
ＰＺをＬレベルにする（Ｓ２１）と共に、カウント値CO
UNTを０にする（Ｓ２６）。また、ダウンカウント時に
は、カウント値COUNTがＮを下回ったら（Ｓ２２）、原
点出力信号ＰＺをＬレベルにし（Ｓ２３）、更にカウン
ト値COUNTが０を下回り（Ｓ２４）、且つゲート信号Ｚ
がＬレベルになったら（Ｓ２５）、カウント値COUNTを
０にする（Ｓ２６）。以上の処理により、再現性に優れ
た原点検出が可能になる。
【００２６】なお、以上の実施例では、位置検出手段が
透過型非接触光電式エンコーダである例を挙げたが、原
点原信号φＺ及び位置情報を得るための位置検出手段
は、特にこの例に限定されるものではなく、むしろ反射
型非接触光電式エンコーダ等からの出力を利用する場合
の方が、本発明の効果がより得られると考えられる。ま
た、原点検出用パターン８，９は、単純なスリットでも
良いし、前述したランダムパターンを用いたものでも良
い。
透過型非接触光電式エンコーダである例を挙げたが、原
点原信号φＺ及び位置情報を得るための位置検出手段
は、特にこの例に限定されるものではなく、むしろ反射
型非接触光電式エンコーダ等からの出力を利用する場合
の方が、本発明の効果がより得られると考えられる。ま
た、原点検出用パターン８，９は、単純なスリットでも
良いし、前述したランダムパターンを用いたものでも良
い。
【００２７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、原
点原信号を所定の基準レベルで２値化して得たゲート信
号がアクティブである間、位置パルスをで計数し、ゲー
ト信号の長さが計数された時点でその計数値を１／２す
ることにより、ゲート信号の立ち上がり（又は立ち下が
り）からゲート信号り立ち下がり（又は立ち上がり）ま
での間の丁度中間点を基準とした計数値が得られ、中間
点は原点原信号のエッジの傾斜が緩慢であっても、それ
による影響は殆ど無いので、再現性に優れた原点検出が
可能になるという効果を奏する。
点原信号を所定の基準レベルで２値化して得たゲート信
号がアクティブである間、位置パルスをで計数し、ゲー
ト信号の長さが計数された時点でその計数値を１／２す
ることにより、ゲート信号の立ち上がり（又は立ち下が
り）からゲート信号り立ち下がり（又は立ち上がり）ま
での間の丁度中間点を基準とした計数値が得られ、中間
点は原点原信号のエッジの傾斜が緩慢であっても、それ
による影響は殆ど無いので、再現性に優れた原点検出が
可能になるという効果を奏する。
【図１】 本発明の一実施例に係る原点検出方式に適用
されるリニアエンコーダの分解斜視図である。
されるリニアエンコーダの分解斜視図である。
【図２】 同実施例に係る原点検出回路のブロック図で
ある。
ある。
【図３】 同回路で検出する原点原信号のエッジ間中央
値を説明するための図である。
値を説明するための図である。
【図４】 同回路の動作を説明するためのタイミング図
である。
である。
【図５】 同回路におけるゲート信号発生回路の詳細回
路図である。
路図である。
【図６】 同ゲート信号発生回路の動作を説明するため
の波形図である。
の波形図である。
【図７】 本発明の原点検出処理をソフトウェアで実現
するための手順を示すフローチャートである。
するための手順を示すフローチャートである。
【図８】 従来のランダムパターン及びスリットパター
ンによる原点検出方法を説明するための図である。
ンによる原点検出方法を説明するための図である。
１…メインスケール、２…インデックススケール、３，
４…回折格子、５…光源、６…受光素子、７…検出部、
８，９…原点検出パターン、１１…内挿回路、１２，１
３…カウンタ、１４…ゲート信号発生回路、１６，１７
…コンパレータ。
４…回折格子、５…光源、６…受光素子、７…検出部、
８，９…原点検出パターン、１１…内挿回路、１２，１
３…カウンタ、１４…ゲート信号発生回路、１６，１７
…コンパレータ。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭61−28811（ＪＰ，Ａ)
実開 平５−92814（ＪＰ，Ｕ)
特公 昭50−32631（ＪＰ，Ｂ１)
特公 昭58−51603（ＪＰ，Ｂ２)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01D 5/00 - 5/62
Claims (4)
- 【請求項１】 メインスケールとインデックススケール
の相対位置の変化に応じた位置検出信号を出力すると共
に、前記メインスケールとインデックススケールとにそ
れぞれ形成された原点検出用パターンの重なりの度合い
に応じてレベルが変化する原点原信号を出力する位置検
出手段と、 前記原点原信号を所定の基準レベルでスライスしてゲー
ト信号を生成出力するゲート信号発生手段と、 このゲート信号発生手段で生成されたゲート信号がアク
ティブになってから前記位置検出信号に基づく位置パル
スの計数を開始し前記ゲート信号が非アクティブになっ
たときに計数値を１／２にする位置パルス計数手段と、 この位置パルス計数手段で１／２になった後の計数値を
原点検出の基準として前記位置パルス計数手段の計数値
が予め設定されたオフセット値になったら原点出力信号
を出力する原点出力手段とを備えたことを特徴とする原
点検出方式。 - 【請求項２】 前記位置検出信号である２相正弦波信号
をそれぞれ内挿して２相方形波信号を生成出力する内挿
手段を更に備え、 前記位置パルス計数手段は、前記２相方形波信号から生
成される前記位置パルスを前記２相方形波信号の位相関
係に基づいてアップカウント又はダウンカウントするも
のであることを特徴とする請求項１記載の原点検出方
式。 - 【請求項３】 前記ゲート信号発生手段は、 前記原点原信号の高レベルから低レベルへの変化を前記
所定の基準レベルで検出し低レベルから高レベルへの変
化を前記所定の基準レベルよりも高いレベルで検出する
第１のコンパレータと、 前記原点原信号の高レベルから低レベルへの変化を前記
所定の基準レベルよりも低いレベルで検出し低レベルか
ら高レベルへの変化を前記所定の基準レベルで検出する
第２のコンパレータと、 前記ゲート信号がアクティブになってから非アクティブ
になるまでの間の途中の時点を境として、その前半で前
記第１のコンパレータの出力を選択し、その後半で前記
第２のコンパレータの出力を選択することにより、これ
ら選択された出力を前記ゲート信号として出力する選択
手段とを備えたものであることを特徴とする請求項１又
は２記載の原点検出方式。 - 【請求項４】 位置検出手段の位置検出用信号から生成
された位置パルスと原点原信号を所定の基準レベルで２
値化して得られたゲート信号とを監視し、 前記ゲート信号がアクティブになってから前記位置パル
スの計数を開始し前記ゲート信号が非アクティブになっ
たときに計数値を１／２にすると共に、 １／２になった後の計数値が予め設定されたオフセット
値になったら原点出力信号を出力するようにしたことを
特徴とする原点検出方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26696398A JP3506613B2 (ja) | 1998-09-21 | 1998-09-21 | 原点検出方式 |
| US09/398,751 US6342697B1 (en) | 1998-09-21 | 1999-09-17 | Method and apparatus for detecting origin of measurement |
| DE19945167A DE19945167B4 (de) | 1998-09-21 | 1999-09-21 | Verfahren und Vorrichtung zum Detektieren des Ursprungs einer Messung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26696398A JP3506613B2 (ja) | 1998-09-21 | 1998-09-21 | 原点検出方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000097726A JP2000097726A (ja) | 2000-04-07 |
| JP3506613B2 true JP3506613B2 (ja) | 2004-03-15 |
Family
ID=17438146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26696398A Expired - Fee Related JP3506613B2 (ja) | 1998-09-21 | 1998-09-21 | 原点検出方式 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6342697B1 (ja) |
| JP (1) | JP3506613B2 (ja) |
| DE (1) | DE19945167B4 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| US6492637B1 (en) * | 1999-05-10 | 2002-12-10 | Citizen Watch Co., Ltd. | Dimension measuring device |
| GB0103582D0 (en) * | 2001-02-14 | 2001-03-28 | Renishaw Plc | Position determination system |
| JP2004163302A (ja) * | 2002-11-14 | 2004-06-10 | Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd | 光学式エンコーダ |
| DE602005002287T2 (de) * | 2004-03-17 | 2008-05-29 | Canon K.K. | Optischer Encoder |
| JP4751032B2 (ja) * | 2004-04-22 | 2011-08-17 | 株式会社森精機製作所 | 変位検出装置 |
| US7191943B2 (en) * | 2004-07-28 | 2007-03-20 | Caterpillar Inc | Robust barcode and reader for rod position determination |
| JP4953589B2 (ja) | 2005-05-25 | 2012-06-13 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダの原点信号生成方法及び装置 |
| EP2019439A3 (en) * | 2007-07-26 | 2011-07-20 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Position detecting device capable of improving detection accuracy |
| EP2176626A4 (en) * | 2007-08-08 | 2011-03-30 | Eliezer Zeichner | CODING DEVICE, SYSTEM AND METHOD |
| NL1036404A1 (nl) * | 2008-01-10 | 2009-07-13 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus with an encoder arranged for defining a zero level. |
| JP2009220288A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-01 | Fujifilm Corp | 画像処理装置、画像形成装置、画像処理方法 |
| US8263511B2 (en) * | 2008-12-31 | 2012-09-11 | Corning Incorporated | High purity fused silica with low absolute refractive index |
| JP5466127B2 (ja) | 2010-10-12 | 2014-04-09 | 株式会社ミツトヨ | 原点位置検出回路 |
| US8772705B2 (en) * | 2010-12-01 | 2014-07-08 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Interpolation circuitry for optical encoders |
| CN102313517B (zh) * | 2011-08-23 | 2013-01-09 | 广州市诺信数字测控设备有限公司 | 双光源光栅尺 |
| US9109880B2 (en) * | 2011-09-08 | 2015-08-18 | Guangdong Rational Precision Instrument Co., Ltd. | Soft collision grating scale and measuring method thereof |
| JP5717787B2 (ja) | 2013-05-09 | 2015-05-13 | Thk株式会社 | リニアエンコーダ装置、及び基準位置検出方法 |
| US10126560B2 (en) * | 2016-02-18 | 2018-11-13 | National Engineering Research Center for Optical Instrumentation | Spectrum-generation system based on multiple-diffraction optical phasometry |
| JP6234497B2 (ja) * | 2016-03-15 | 2017-11-22 | Thk株式会社 | エンコーダ装置及びエンコーダ装置付き運動案内装置 |
| WO2018079014A1 (ja) * | 2016-10-25 | 2018-05-03 | 三菱電機株式会社 | インクリメンタル型エンコーダのパルス化変換装置およびパルス化変換方法 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| DE3245914C1 (de) | 1982-12-11 | 1984-03-29 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Messeinrichtung |
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