JPS6222018A - 変位検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【産業上の利用分野】 本発明は、変位検出装置に係り、特に、工作機械等に付
設される直線型変位測定機に用いるのに好適な、細長ケ
ースに収容された被検知体と、前記細長ケースに沿って
往復移動可能なスライダに設けられた検知体とを有し、
被検知体との相対移動に伴って発生する検知体の出力信
号を計数して、前記細長ケースとスライダとの相対移動
変位量を求めるようにした変位検出装置の改良に関する
。

【従来の技術】

一般に、物体の長さ等を測定する変位検出装置において
、その本体に対する測定子の移動量、コラムに対するス
ライダの移動量等のように、相対移動するものの移動量
を測定する場合、一方に被検知体が収容された細長ケー
ス、他方に前記被検知体に沿って往復移動可能な検知体
が設けられたスライダを固定し、被検知体との相対移動
に伴って発生する検知体の出力信号を計数して、細長ケ
ースとスライダとの相対移動変位量を、光電的、　　　
　　。 静電容量的、又はｉ！磁的に求めるようにした変位検出
装置が知られており、いずれも１μ１前後の高精度検出
が可能であるので、工作機械や光学機械及び精密測定機
器等の位置決め装置や一方部品の寸法測定装置として広
く用いられている。 このような変位検出装置のうち、光電式の変位検出装置
は、例えば第８図に示す如く、ランプ等の光源１０と、
該光源１０から照射された光線を平行光線とするための
コリメータレンズ１２と、光の透過部（明線）１６Ａ及
びｌ！ｉ蔽部（暗線）１６Ｂからなるインデックス目Ｗ
ｔ１６が形成された、例えばガラス製のインデックスス
ケール１４と、同じく光の透過部（明線）２０Ａ及び遮
蔽部（暗線）２０Ｂからなる土間！ｓ２０が形成された
、例えばガラス製のメインスケール１８と、前記インデ
ックススケール゛１４及びメインスケール１８を透過し
た光を集光する集光レンズ２２と、該集光レンズ２２に
よって集められた光を受光する受光素子２４とを主に有
してなる。 前記光源１０、コリメータレンズ１２、インデックスス
ケール１４、集光レンズ２２及び受光素子２４は、スラ
イダに固定されて、検出対象物の可動側、例えば工作機
械の送り台に取付けられ、一方、前記メインスケール１
８は、細長ケースに収容、固定されて、検出対象物の固
定側、例えば工作機械のベッドに取付けられる。 このような光電式変位検出装置によれば、検知体である
インデックススケール１４と被検知体であるメインスケ
ール１８が相対変位すると、受光素子２４における受光
信号が周期的に変化するため、この受光信号の変化から
メインスケール１８とインデックススケール１４の相対
移動変位量を検出できるものであり、例えば、前記目＠
１６．２０の明線１６Ａ、２ＯＡ及び暗線１６Ｂ、２０
Ｂの幅をいずれも１０μｍとした場合、前記受光素子２
４で得られる正弦波状の電気信号を電子回路で２０分割
することによって、１パルス当りの変位量相当１μｍの
分解能を得ることができる。 なお、光電式とは検出原理が異なる静電容量式、電磁式
等信の変位検出装置においても、それぞれ類似する方法
で、所定の分解能を得るようにしている。 このような変位検出装置においては、その精度を確保す
る上で、両スケールの相対位置関係を精密に維持するこ
とが重要である。特に、急激な停止や方向反転は過大な
誤差を生じる要因となる。 又、インクリメント方式であるため、一般的に、その都
度選択可能な絶対原点検出機構が設けられることが多い
。更に、工作機械等のベッドに対して、直接的、安定的
に固定される。又、略密閉構造とされているため、耐使
用環境性が拡大されている。更に、例えば光学格子工作
上の問題から、任意長さの製品を得ることは一般に困難
である等の特徴を有する。

【発明が解決しようとする問題点】

しかしながら、このような変位検出装置を工作機械のベ
ッドと送り台に取付けて所定寸法の工作に使用する場合
、次のような問題点を有していた。 即ち、工作機械の送り台の最大移動ストロークよりも、
変位検出装置の有効ストロークが大きくなければ、変位
検出装置の破損が免れないが、工作機械の大きさは様々
であり、且つ、任意長の変位検出装置を得ることが困難
であるため、いきおい過大長の変位検出装置を採用しな
ければならないことが多く、作業上危険であるばかりで
なく、作業者等が引掛けて変位検出装置自体の湾曲等を
ＪＲく恐れがある。 又、作業能率を向上させるには、工作機械の送り台を高
速で移動させる必要があるが、反面、慣性の問題から急
停止が困難となるため、送り速度を切換える必畏がある
。従って、工作機械には、通常、ベッドと送り台に、例
えばマグネットとり　−−ドスイッチからなるリミット
スイッチが複数組配設されている。しかも、通常、加工
すべきものの大きさに応じて各リミットスイッチの取付
は位置が変更可能とされおり、更に、その調整作業のた
め、リミットスイッチは通常手元側に配設されている。 従って、リミットスイッチの取付は位置と変位検出装置
の取付は位置が競合することが多く、いずれか一方に無
理を強いるか、解決するた　　　　「めに何らかの付加
手段を別個に設ける必要がある。 更に、変位検出装置との並設によりリミットスイッチの
位置１ｉｌｌｉが困難となり、しかも、リミットスイッ
チの点検補修用の油滴等が変位検出装置に悪影響を与え
ることがある。特に、リミットスイッチの設定位置は、
工作上尾められるので、その速度切換え段階、精度が変
位検出Ｈ置にも支障を及ぼさない範囲に設定されている
という補償はない。例えば、過激な送り方向の反転は、
瞬時的に誤差を生じさせる可能性があり、これは作業中
自動的に消えることがなく、しかも、この現象や誤差の
値は目視不能であるため、確認する方法がなく、結果と
して、製品不良を生じさせる可能性がある。 又、送り台の送り速度の切換え、停止は、工作上決定さ
れ、その位置する所は、被加工物と離れた所となるため
、工作機械上は重要視されない。 しかしながら、変位検出装置側から見ると、その端部で
の衝突が重要であり、両者は本質的に相容れないところ
があるが、機械側の要請によるリミットスイッチにおい
ては、微調整が困難である。 従って、変位検出装置側にとっては、各種各様に工作機
械に設置される場合の全てにおいて、変位検出装置に必
要な条件を守らせることは、事実上困難である。 以上要するに、変位検出装置を工作機械に用いる場合に
は、全作業的に不利、不便が内在し、結果として、変位
検出装置の破損又は工作能率の低下を生じる恐れがあり
、更には取扱い上、及び経済的に問題点があった。

【発明の目的】

本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたも
ので、作業能率上の機械側要請と、安全対策及び精度維
持上の変位検出装置側の要請を両立させることができる
変位検出装置を提供することを目的とする。

【問題点を解決するための手段１ 本発明は、細長ケースに収容された被検知体と、前記細
長ケースに沿って往復移動可能なスライダに設けられた
検知体とを有し、被検知体との相対移動に伴って発生す
る検知体の出力信号を計数して、前記細長ケースとスラ
イダとの相対移動変位量を求めるようにした変位検出装
置において、前記被検知体の長手方向に、直接的又は間
接的に位置決めされて配列された位Ｗｉｔ識別体と、該
位置識別体を検出した時に位置信号を発生するための、
前記スライダ側に設けられた位置信号発生手段と、該位
置信号に基づいて、前記細長ケースとスライダとの相対
移動用駆動装置に制御用信号を出力する制御用信号発生
手段とを備えることにより、前記目的を達成したもので
ある。 又、本発明の実施態様は、前記位置識別体を、前記被検
知体の幅方向端部側に配設したものである。 又、本発明の他の実施態様は、前記位１［別体を、前記
被検知体の長手方向に複数個配設された位置マークとし
、前記位置信号発生手段が該位置マークを検出する毎に
、前記制御用信号発生手段が制御用信号を発生ずるよう
にしたものである。 又、本発明の他の実施態様は、前記位置識別体を、前記
被検知体の長手方向に配設された位置マークとし、前記
位置信号発生手段が該位置マークを検出した時に校正し
た、舶記検知体出力信号の計数値が設定値となった時に
、前記制御用信号発生手段が制御用信号を発生するよう
にしたものである。 又、本発明の他の実施態様は、前記位置識別体を、前記
被検知体の長手方向に連続的に配設された計数目盛とし
、前記位置信号発生手段が発生する出力信号の計数値が
設定値となった時に、前記制御用信号発生手段が制御用
信号を発生するようにしたものである。 又、本発明の他の実施態様は、前記位置識別体を、前記
被検知体の絶対原点を検出するための複数の絶対原点マ
ークと共用すると共に、前記位置信号発生手段を、該絶
対原点マークを検出した時に絶対原点信号を発生する絶
対原点信号発生手段と共用し、前記制御用信号発生手段
が、前記絶対原点信号の計数値が設定値となった時に、
前記制御用信号を発生するようにしたものである。　　
　　　　　　［又、本発明の他の実施態様は、前記位Ｗ
１識別体を前記被検知体と共用すると共に、前記位置信
号発生手段を前記検知体と共用し、絶対原点信号によっ
て校正した、前記検知体出力信号の計数値が設定値とな
った時に、前記制御用信号発生手段が制御用信号を発生
するようにしたものである。 【作用］ 本発明は、細長ケースに収容された被検知体との相対移
動に伴って発生する、被検知体に沿って往復移動可能な
スライダに設けられた検知体の出力信号を計数して、細
長ケースとスライダとの相対移動変位量を求めるに際し
て、前記被検知体の長手方向に、位Ｉ！識別体を直接的
又は間接的に位置決めして配列すると共に、前記スライ
ダ側に、該位置識別体を検出した時に位置信号を発生す
る位置信号発生手段を設け、該位置信号に基づいて、細
長ケースとスライダとの相対移動用駆動装置に制御用信
号を出力するようにしている。従って、従来のリミット
スイッチの機能が変位検出装置内に設けられるので、別
途リミットスイッチを設ける必要がなくなり、作業能率
上の機械側の要請と、安全対策及び精度維持上の変位検
出装置側の！！請の双方を満足させることができる。 又、前記位置識別体を、前記被検知体の幅方向端部側に
配設した場合には、約記検知体の出力信号による被検知
体と検知体との相対移動変位置の検出精度を損うことが
ない。 又、前記位置識別体を、前記被検知体の長手方向に複数
個配設された位置マークとし、前記位置信号発生手段が
該位置マークを検出する毎に、前記制御用信号発生手段
が制御用信号を発生するようにした場合には、被検知体
と検知体との相対移動変位量検出機構に影響を与えるこ
となく、本発明を容易に適用可能である。 又、前記位置識別体を、前記被検知体の長手方向に配設
された位置マークとし、前記位置信号発生手段が該位置
マークを検出した時に校正した、前記検知体出力信号の
計数値が設定値となった時に、前記制御用信号発生手段
が制御用信号を発生するようにした場合には、制御用信
号を任意の位置で得ることができる。 又、前記位置識別体を、前記被検知体の長手方向に連続
的に配設された計数目盛とし、前記位置信号発生手段が
発生する出力信号の計数値が設定値となった時に、前記
制御用信号発生手段が制−用信号を発生づるようにした
場合には、被検知体と検知体との相対移動変位量検出機
構に影響を与えることなく、任意の位置で制御用信号を
発生することができる。 又、前記位置識別体を、前記被検知体の絶対原点を検出
するための複数の絶対原点マークと共用すると共に、前
記位置信号発生手段を、該絶対原点マークを検出した時
に絶対原点信号を発生する絶対原点信号発生手段と共用
し、前記制御用信号発生手段が、前記絶対原点信号の計
数値が設定値となった時に、前記制御用信号を発生する
ようにした場合には、専用の位置識別体や位置信号発生
手段を設けることなく、既に設けられていることの多い
絶対原点検出機構を利用して、制御用信号を発生づるこ
とができる。 又、前記位置識別体を前記被検知体と共用すると共に、
前記位置信号発生手段を前記検知体と共用し、絶対原点
信号によって校正した、前記検知体出力信号の計数値が
設定値となった時に、前記制御用信号発生手段が制御用
信号を発生するようにした場合には、専用の位置識別体
や位置信号発生手段を設けることなく、任意の位置で制
御用信号を発生することができる。 【実施例】 以下図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明する
。 ここで説明する実施例は、いずれも、第２図及び第３図
に示すような、光電式の変位検出装置に本発明を適用し
たものである。 即ち、本発明が適用される光電式変位検出装置には、は
ぼ矩形の中空断面を有すると共に、第２図の紙面と直交
方向に細長に形成され、更に長手方向の一側面に沿って
ほぼ全長に亘り開口３０Ａが形成された細長ケース３０
が備えられている。 前記細長ケース３０の開口３０Ａ側の端面には・　　　
。 移動部材としての検出機構３２が配設され、前記細長ケ
ース３０の長手方向に沿って移動可能とされている。 この検出機構３２の下面には、前記開口３０Ａから細長
ケース３０内に延在、する腕部３４が一体的に形成され
ている。 前記細長ケース３０内の長手方向に設けられた溝３０Ｂ
内には、ガラス等からなり、−側面（目盛面）１８Ａに
縦縞状の変位検出回路目＠２０（第１図参照）が形成さ
れたメインスケール１８の下端辺が挿入され、ゴムロッ
ド３６等により固定されている。 前記検出機構３２の腕部３４は、前記メインスケール１
８の付近まで延長され、この先端部には連結手段３８を
介してスライダ４０が移動可能に取付けられている。こ
の連結手段３８は、第３図に詳細に示した如く、例えば
両端が球状端部４２Ａ、４２Ｂとされ、回動自在に支持
されたロッド４２と、前記スライダ４０が前記メインス
ケール１８と当接するように前記ロッド４２を付勢する
線ばね４４とから構成されている。 前記線ばね４４は、スライダ４０に回動自在に支持され
たローラ４６Ａをメインスケール１８の第１の走査基準
面と兼用された目盛面１８Ａに押圧するようにされると
共に、スライダ４０に回動自在に支持されたローラ４６
Ｂをメインスケール１８の目盛面１８Ａと直交する第２
の走査基準面である端面側にも押圧するようにされてい
る。 前記スライダ４０には、光源１０と、互いに位相が異な
る縦縞状の変位検出用インデックス目盛１６Ａ、１６Ｂ
が形成されたインデツスクスケール１４（第１図参照）
と、受光素子２４Ａ、２４Ｂとが配設されている。 舶記検出ｍ構３２を介して検出される受光素子２４Ａ、
２４Ｂの出力は、第１図に示したような処理回路に入力
されて、変位信号とされる。即ち、この変位検出回路は
、前記受光素子２４Ａ、２４Ｂ出力の変位検出信号を波
形整形し、必要によって分割してパルス化するパルス化
回路５０Ａ、５０Ｂと、該パルス化回路５０Ａ、５０Ｂ
出力のパルス出力を計数する、公知の方向弁別機能を含
む可逆カウンタ５２と、前記可逆カウンタ５２の出力を
変位測定値としてデジタル表示するデジタル表示器５８
とを含／νでいる。 前記メインスケール１８には、更に、絶対原点検出用の
絶対原点マーク６０が形成され、インデックススケール
１４に形成された絶対原点検出用インデックス目盛６１
を介して、受光素子２４Ｃが前記絶対原点マーク６ｏを
検出した時に、絶対原点信号（以下、ＡＢＳ信号と称す
る）を発生して前記可逆カウンタ５２の出力を校正する
絶対原点信号発生回路６２が設けられている。 本発明は、上記のような光電式の変位検出装置において
、更に、第１図に示した如く、前記メインスケール１８
の絶対原点マーク６ｏと反対側の端部に、メインスケー
ル１８の長手方向に複数の位置マーク６４Ａ、６４Ｂ、
６４Ｇを配設すると共に、前記インデックススケール１
４に位置マーク検出用インデックス目盛６５を設け、更
に、前記変位検出回路に、受光素子２４Ｄの出力により
前記位置マーク６４Ａ、６４８，６４０を検出して１位
置マーク信号が発生する毎に制御用信号、例えば高速送
りと中速送りの切換え、中速送りと低速送りの切換え、
低速送りと停止の切換え信号を発生する位置マーク検出
回路６８とを付設したものである。 従って、工作機械の送りを制郊するためのリミットスイ
ッチを別途設けることなく、変位検出装置から出力され
る制御用信号を用いて、工作機械の送り台の速度を制御
することができ、作業能率上の機械側要請と安全対策及
び精度維持上の変位検出装置側の要請の双方を満足させ
ることができる。 この第１実施例においては、変位検出用主目盛２０や絶
対原点マーク６０とは別体の位置マーク６４Ａ１６４Ｂ
、６４Ｃをメインスケール１８に設けるようにしている
ので、変位検出用信号に影響を及ぼすことなく、本発明
を実現することかできる。 次１・本発明０第２実施例を詳細１説明する・　　　　
　　［この第２実施例は、前記第１実施例と同様の光電
式変位検出Ｈ＠において、第４図に示す如く、前記位置
マークを例えば１個（６４Ａ）とすると共に、前記イン
デックススケール１４に、例えば２つの位置マーク検出
用インデックス目ｇ６５Ａ、６５Ｂを設け、更に、位置
マーク検出回路６８Ａ、６８Ｂが、受光素子２４Ｄ、２
４Ｅの出力により前記位置マーク６４Ａを検出した時に
校正されるサブカウンタ７０Ａ、７０Ｂを設け、該サブ
カウンタ７０Ａ、７０Ｂで計数されている前記パルス化
回路５０Ａ、５０Ｂ出力が、設定器７２Ａ、７２Ｂで設
定された設定値となった時に、比較器７４Ａ、７４Ｂか
ら制御用信号を発生するようにしたものである。 他の点については、前記第１実施例と同様であるので説
明は省略する。 この第２実施例においては、設定器７２Ａ１７２Ｂの設
定値を変えることにより、任意の位置で制御用信号を発
生することができる。 次に、本発明の第３実施例を詳細に説明する。 本実施例は、第５図に示プ如く、前記第１実施例と同様
の光電式変位検出装置において、前記メインスケール１
８に、前記変位検出回路目ｒ１１２０と平行に位置検出
用計数目盛７６を形成すると共に、前記インデックスス
ケール１４に位置検出用インデックス目盛７７を形成し
、受光素子２４Ｆで検出され、パルス化回路５０Ｇでパ
ルス化され、サブカウンタ７８で計数された値が、設定
器８０で設定された設定値となった時に、比較器８２よ
り制御用信号を発生ずるようにしたものである。 他の点については、前記第１実施例と同様であるので説
明は省略する。 この第３実施例においては、変位検出用信号に影響を及
ぼすことなく、制御用信号を任意の位置で得ることがで
きる。 次に、本発明の第４実施例を詳細に説明する。 本実施例は、第６図に示す如く、前記第１実施例と同様
の光電式変位検出装置において、前記絶対原点マーク６
０を位置識別体として共用すると共に、前記絶対原点信
号発生回路６２を前記位置マーク検出回路として共用し
、ＡＢＳカウンタ８７で計数されたＡＢＳ信号の計数値
が、設定器８８で設定された設定値となった時に、比較
器８９が制御用信号を発生づるようにしたものである。 他の点については、前記第１実施例と同様であるので説
明は省略づる。 この第４実施例においては、専用の位置マークや位置マ
ーク検出回路を設けることなく、制御用信号を発生する
ことができる。 次に、本発明の第５実施例を詳細に説明する。 この第５実施例は、第７図に示す如く、前記第１実施例
と同様の光電式変位検出装置において、前記メインスケ
ール１８の変位検出用主目盛２０を位置識別体として共
用すると共に、前記インデックススケール１４の変位検
出用インデックス目盛１６Ａ１１６Ｂを前記位置信号発
生手段として共用し、絶対原点検出機構によって校正し
た前記変位検出信号の計数値が、設定器９２で設定され
た設定値となった時に、比較器９４から制御用信号を出
力するようにしたものである。 他の点については前記第１実施例と同様であるので説明
は省略する。 この第５実施例においては、専用の位置識別体や位置信
号発生手段を設けることなく、変位検出用目盛を利用し
て、ソフトウェアのみで制御用信号を発生することがで
きる。 なお、前記実施例においては、いずれも、本発明が光電
式の変位検出装置に適用されていたが、本発明の適用範
囲はこれに限定されず、光電式以外の静電容量式、ｉ！
磁式等他の形式の変位検出装置にも同様に通用できるこ
とは明らかである。

【発明の効果】

以上説明した通り、本発明によれば、別途リミットスイ
ッチを設けることなく、制御用信号を出力することがで
きる。従って、リミットスイッチの取付は位置と変位検
出装置の取付は位置が競合することがなく、変位検出装
置が恕影響を受けることがない。従って、作業能率上の
機械側要請と安全対策及び精度維持上の変位検出装置側
の要請との双方を満足させることができる。又、変位検
、Ｉ７．。□□８ゎ、い。。７、。□オ　　　′に作動
し、その寿命を長くすることができると共に、設定位置
を変えることが容易であり、しかも、微細且つ定量的な
設定が可能である。更に、リミットスイッチが別途設け
られている場合には、そのバックアップ機能を一持たせ
ることができ、工作機械側の事情に左右されない。又、
変位検出装置の精度保全が達成されるので、加工能率が
向上し、変位検出装置の知識の無い者にとっても、格別
の注意や教育をすることなく、変位検出精度が達成でき
る。更に、工作機械の送り速度線図を自由に（尋ること
ができ、その駆動装置も簡略化できる。 又、往動と復動とのモードを変えたり、加工面との協調
をとることも可能となる。更に、設計の自由度が広がる
等の優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明が適用された光電式変位検出装置の第
１実施例で用いられているメインスケール、インデック
ススケール及び変位検出回路の構成を示す、一部斜視図
を含むブロック線図、第２図は、前記第１実施例の機械
的構成を示す横断面図、第３図は、同じく縦断面図、第
４図は、本発明に係る第２実施例で用いられている、メ
インスケール、インデックススケール及び変位検出回路
の構成を示す、一部斜視図を含むブロック線図、第５図
は、同じく第３実施例で用いられている、メインスケー
ル、インデックススケール及び変位検出回路の要部の構
成を示づ、一部斜視図を含むブロック線図、第６図は、
同じく第４実施例で用いられている、メインスケール、
インデックススケール及び変位検出回路の構成を示す、
一部斜視図を含むブロック線図、第７図は、同じく、第
５実施例で用いられている、メインスケール、イブツク
ススケール及び変位検出回路の構成を示す、一部斜視図
を含むブロック線図、第８図は、従来の光電式変位検出
装置の主な構成を示す断面図である。 １ｏ・・・光源、 １４・・・インデックススケール、 １６Ａ、１６Ｂ・・・変位検出用インデックス目盛、１
８・・・メインスケール、 ２０・・・変位検出用主目盛、 ２４Ａ、２４Ｂ、２４Ｇ、２４Ｄ、 ２４Ｅ、２４Ｆ、２４Ｇ・・・受光素子、３０・・・細
長ケース、 ３２・・・検出機構、 ４０・・・スライダ、 ５０Ａ、５０Ｂ、５０　Ｃ・ｔ＜　ＪＬｔ　ス化Ｏｎ　
ｍ、５２・・・可逆カウンタ、 ６０．８４・・・絶対原点マーク、 ６２．８６・・・絶対原点（ＡＢＳ）信号発生回路、６
４Ａ、６４８１６４０・・・位置マーク、６８．６８Ａ
、６８Ｂ・・・位置マーク検出回路、７０．７８・・・
サブカウンタ、 ７２．８０．８８．９２・・・設定器、７４．８２．８
９．９４・・・比較器、７６・・・位置検出用計数目盛
、 ８７・・・ＡＢＳカウンタ。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）細長ケースに収容された被検知体と、前記細長ケ
   ースに沿つて往復移動可能なスライダに設けられた検知
   体とを有し、被検知体との相対移動に伴つて発生する検
   知体の出力信号を計数して、前記細長ケースとスライダ
   との相対移動変位量を求めるようにした変位検出装置に
   おいて、 前記被検知体の長手方向に、直接的又は間接的に位置決
   めされて配列された位置識別体と、該位置識別体を検出
   した時に位置信号を発生するための、前記スライダ側に
   設けられた位置信号発生手段と、 該位置信号に基づいて、前記細長ケースとスライダとの
   相対移動用駆動装置に制御用信号を出力する制御用信号
   発生手段と、 を備えたことを特徴とする変位検出装置。
2. （２）前記位置識別体が、前記被検知体の幅方向端部側
   に配設されている特許請求の範囲第１項記載の変位検出
   装置。
3. （３）前記位置識別体が、前記被検知体の長手方向に複
   数個配設された位置マークとされ、前記位置信号発生手
   段が該位置マークを検出する毎に、前記制御用信号発生
   手段が制御用信号を発生するようにされている特許請求
   の範囲第１項記載の変位検出装置。
4. （４）前記位置識別体が、前記被検知体の長手方向に配
   設された位置マークとされ、前記位置信号発生手段が該
   位置マークを検出した時に校正した、前記検知体出力信
   号の計数値が設定値となつた時に、前記制御用信号発生
   手段が制御用信号を発生するようにされている特許請求
   の範囲第１項記載の変位検出装置。
5. （５）前記位置識別体が、前記被検知体の長手方向に連
   続的に配設された計数目盛とされ、前記位置信号発生手
   段が発生する出力信号の計数値が設定値となつた時に、
   前記制御用信号発生手段が制御用信号を発生するように
   されている特許請求の範囲第１項記載の変位検出装置。
6. （６）前記位置識別体が、前記被検知体の絶対原点を検
   出するための複数の絶対原点マークと共用されると共に
   、前記位置信号発生手段が、該絶対原点マークを検出し
   た時に絶対原点信号を発生する絶対原点信号発生手段と
   共用され、前記制御用信号発生手段が、前記絶対原点信
   号の計数値が設定値となつた時に、前記制御用信号を発
   生するようにされている特許請求の範囲第１項記載の変
   位検出装置。
7. （７）前記位置識別体が前記被検知体と共用されると共
   に、前記位置信号発生手段が前記検知体と共用され、絶
   対原点信号によつて校正した、前記検知体出力信号の計
   数値が設定値となつた時に、前記制御用信号発生手段が
   制御用信号を発生するようにされている特許請求の範囲
   第１項記載の変位検出装置。