JPH11317441A - 静電チャック及びその評価方法 - Google Patents
静電チャック及びその評価方法Info
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- JPH11317441A JPH11317441A JP10123151A JP12315198A JPH11317441A JP H11317441 A JPH11317441 A JP H11317441A JP 10123151 A JP10123151 A JP 10123151A JP 12315198 A JP12315198 A JP 12315198A JP H11317441 A JPH11317441 A JP H11317441A
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- aluminum nitride
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- chuck
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Abstract
(57)【要約】
【課題】室温下において優れた吸着力を示すとともに、
高温時の使用でも長寿命の静電チャックを提供するこ
と。また、その静電吸着力を絶縁性誘電層の成分によっ
て簡便に評価すること。 【解決手段】絶縁性誘電層が、ＡｌＯＮ相を含む窒化ア
ルミニウム質焼結体で構成されてなる静電チャックにお
いて、そのＡｌＯＮ相含有量に基づいて静電吸着力の大
きさを判断することを特徴とする静電チャックの評価方
法。ＡｌＯＮ相及び窒化ほう素を含有してなることを特
徴とする静電チャック用窒化アルミニウム質焼結体。セ
ラミックス基体、発熱抵抗体層、中間層、電極層及び絶
縁性誘電層が順次積層されてなる静電チャックにおい
て、上記絶縁性誘電層、上記中間層及び上記セラミック
ス基体が上記窒化アルミニウム質焼結体で構成されてな
ることを特徴とする静電チャック。
高温時の使用でも長寿命の静電チャックを提供するこ
と。また、その静電吸着力を絶縁性誘電層の成分によっ
て簡便に評価すること。 【解決手段】絶縁性誘電層が、ＡｌＯＮ相を含む窒化ア
ルミニウム質焼結体で構成されてなる静電チャックにお
いて、そのＡｌＯＮ相含有量に基づいて静電吸着力の大
きさを判断することを特徴とする静電チャックの評価方
法。ＡｌＯＮ相及び窒化ほう素を含有してなることを特
徴とする静電チャック用窒化アルミニウム質焼結体。セ
ラミックス基体、発熱抵抗体層、中間層、電極層及び絶
縁性誘電層が順次積層されてなる静電チャックにおい
て、上記絶縁性誘電層、上記中間層及び上記セラミック
ス基体が上記窒化アルミニウム質焼結体で構成されてな
ることを特徴とする静電チャック。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、静電チャック及び
その静電吸着力の評価方法に関する。
その静電吸着力の評価方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造分野においては、ウエ
ハの搬送、パターン形成及びエッチング時にウエハの吸
着、保持等を行うのに静電チャックが使用されている。
ハの搬送、パターン形成及びエッチング時にウエハの吸
着、保持等を行うのに静電チャックが使用されている。
【０００３】静電チャックに要求される特性は、ウエハ
の大型化に対応できる吸着力と、広範囲な温度域でウエ
ハを十分に保持する吸着力であり、従来より多くの提案
がある。例えば、窒化アルミニウム焼結体・膜を利用す
るものとして、電極上下に窒化アルミニウム焼結体の絶
縁性誘電層を形成させたもの（特開平４−３０４９４２
号公報）、窒化アルミニウム焼結体表面に導電層を形成
後、窒化アルミニウムの絶縁膜をＣＶＤ法により形成さ
せたもの（特開平７−３２６６５５号公報）、窒化アル
ミニウム焼結体の絶縁性誘電層の厚みを０．５〜５．０
ｍｍとするもの（特開平９−１３４９５１号公報）など
である。
の大型化に対応できる吸着力と、広範囲な温度域でウエ
ハを十分に保持する吸着力であり、従来より多くの提案
がある。例えば、窒化アルミニウム焼結体・膜を利用す
るものとして、電極上下に窒化アルミニウム焼結体の絶
縁性誘電層を形成させたもの（特開平４−３０４９４２
号公報）、窒化アルミニウム焼結体表面に導電層を形成
後、窒化アルミニウムの絶縁膜をＣＶＤ法により形成さ
せたもの（特開平７−３２６６５５号公報）、窒化アル
ミニウム焼結体の絶縁性誘電層の厚みを０．５〜５．０
ｍｍとするもの（特開平９−１３４９５１号公報）など
である。
【０００４】このような窒化アルミニウム焼結体・膜の
利用によって、ウエハの吸着力はかなり改善されてきて
おり、特に高温下での吸着力は１００ｇｆ／ｃｍ2 をこ
えるものが得られるようになってきたが、室温付近の温
度域ではその吸着力が著しく低下するため、その改善が
要望されていた。
利用によって、ウエハの吸着力はかなり改善されてきて
おり、特に高温下での吸着力は１００ｇｆ／ｃｍ2 をこ
えるものが得られるようになってきたが、室温付近の温
度域ではその吸着力が著しく低下するため、その改善が
要望されていた。
【０００５】高温下で静電チャックの機能を発現させる
ためには、加熱源としてＭｏ、ＴｉＮ等の発熱抵抗体を
中間層を介して電極下面に設けた構造がとられている。
しかしながら、これら電極層及び発熱抵抗体層の埋設さ
れた静電チャックを高温下で使用する場合、各構成材料
の熱膨張率差から発生する熱応力によって窒化アルミニ
ウム焼結体・膜が割れたり剥離したりしてその寿命は短
いものであった。
ためには、加熱源としてＭｏ、ＴｉＮ等の発熱抵抗体を
中間層を介して電極下面に設けた構造がとられている。
しかしながら、これら電極層及び発熱抵抗体層の埋設さ
れた静電チャックを高温下で使用する場合、各構成材料
の熱膨張率差から発生する熱応力によって窒化アルミニ
ウム焼結体・膜が割れたり剥離したりしてその寿命は短
いものであった。
【０００６】
【発明が解決しようとする手段】本発明は、上記に鑑み
てなされたものであり、その目的は室温下において優れ
た吸着力を示すとともに、高温時の使用でも長寿命の静
電チャックを提供することである。また、本発明の他の
目的は、窒化アルミニウム焼結体・膜を絶縁性誘電層と
する静電チャックにおいて、その静電吸着力をＡｌＯＮ
成分量から簡便に評価する方法を提供することである。
てなされたものであり、その目的は室温下において優れ
た吸着力を示すとともに、高温時の使用でも長寿命の静
電チャックを提供することである。また、本発明の他の
目的は、窒化アルミニウム焼結体・膜を絶縁性誘電層と
する静電チャックにおいて、その静電吸着力をＡｌＯＮ
成分量から簡便に評価する方法を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、絶
縁性誘電層が、ＡｌＯＮ相を含む窒化アルミニウム質焼
結体で構成されてなる静電チャックにおいて、そのＡｌ
ＯＮ相含有量に基づいて静電吸着力の大きさを判断する
ことを特徴とする静電チャックの評価法である。また、
ＡｌＯＮ相及び窒化ほう素を含有してなることを特徴と
する静電チャック用窒化アルミニウム質焼結体である。
更に、本発明は、セラミックス基体、発熱抵抗体層、中
間層、電極層及び絶縁性誘電層が順次積層されてなる静
電チャックにおいて、上記絶縁性誘電層、上記中間層及
び上記セラミックス基体が上記窒化アルミニウム質焼結
体で構成されてなることを特徴とする静電チャックであ
る。
縁性誘電層が、ＡｌＯＮ相を含む窒化アルミニウム質焼
結体で構成されてなる静電チャックにおいて、そのＡｌ
ＯＮ相含有量に基づいて静電吸着力の大きさを判断する
ことを特徴とする静電チャックの評価法である。また、
ＡｌＯＮ相及び窒化ほう素を含有してなることを特徴と
する静電チャック用窒化アルミニウム質焼結体である。
更に、本発明は、セラミックス基体、発熱抵抗体層、中
間層、電極層及び絶縁性誘電層が順次積層されてなる静
電チャックにおいて、上記絶縁性誘電層、上記中間層及
び上記セラミックス基体が上記窒化アルミニウム質焼結
体で構成されてなることを特徴とする静電チャックであ
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、更に詳しく本発明について
説明する。
説明する。
【０００９】窒化アルミニウム粉末は難焼結性であるた
め、通常、イットリア（Ｙ2 Ｏ3 ）等の焼結助剤を添加
して焼結される。得られた窒化アルミニウム焼結体の結
晶組織は、ＡｌＮが主相で、粒界相にはＹ2 Ｏ3 −Ａｌ
2 Ｏ3 化合物、例えば２Ｙ2Ｏ3 ・Ａｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3
・Ａｌ2 Ｏ3 、３Ｙ2 Ｏ3 ・５Ａｌ2 Ｏ3 が添加する
焼結助剤量に応じて析出する。このような窒化アルミニ
ウム焼結体を静電チャックの絶縁性誘電層に用いると、
高温下ではウエハの吸着力を高めることができるが、温
度が低下するに従いその吸着力が低下し、室温下では１
０ｇｆ／ｃｍ2以下の吸着力であった。
め、通常、イットリア（Ｙ2 Ｏ3 ）等の焼結助剤を添加
して焼結される。得られた窒化アルミニウム焼結体の結
晶組織は、ＡｌＮが主相で、粒界相にはＹ2 Ｏ3 −Ａｌ
2 Ｏ3 化合物、例えば２Ｙ2Ｏ3 ・Ａｌ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3
・Ａｌ2 Ｏ3 、３Ｙ2 Ｏ3 ・５Ａｌ2 Ｏ3 が添加する
焼結助剤量に応じて析出する。このような窒化アルミニ
ウム焼結体を静電チャックの絶縁性誘電層に用いると、
高温下ではウエハの吸着力を高めることができるが、温
度が低下するに従いその吸着力が低下し、室温下では１
０ｇｆ／ｃｍ2以下の吸着力であった。
【００１０】この原因について、本発明者らは、窒化ア
ルミニウム焼結体の製造条件を種々変えて異なる結晶組
織の窒化アルミニウム焼結体を製造し、その結晶組織と
吸着力との関連を究明した結果、驚くべきことに、Ａｌ
ＯＮ相の存在量に比例して室温下における吸着力が飛躍
的に向上し、また高温下の使用における長寿命化は窒化
ほう素（ＢＮ）の添加によって達成できることを見いだ
したものである。
ルミニウム焼結体の製造条件を種々変えて異なる結晶組
織の窒化アルミニウム焼結体を製造し、その結晶組織と
吸着力との関連を究明した結果、驚くべきことに、Ａｌ
ＯＮ相の存在量に比例して室温下における吸着力が飛躍
的に向上し、また高温下の使用における長寿命化は窒化
ほう素（ＢＮ）の添加によって達成できることを見いだ
したものである。
【００１１】すなわち、本発明で使用される窒化アルミ
ニウム質焼結体は、窒化アルミニウム焼結体中にＡｌＯ
Ｎ相と窒化ほう素を存在させたものであり、ＡｌＯＮ相
は少量でも室温下におけるウエハの静電吸着力を向上さ
せることができる。また、ＡｌＯＮ相の存在量に比例し
て静電吸着力が向上するので、その割合を知ることによ
って、静電チャックの静電吸着力を簡便に判断すること
ができる。
ニウム質焼結体は、窒化アルミニウム焼結体中にＡｌＯ
Ｎ相と窒化ほう素を存在させたものであり、ＡｌＯＮ相
は少量でも室温下におけるウエハの静電吸着力を向上さ
せることができる。また、ＡｌＯＮ相の存在量に比例し
て静電吸着力が向上するので、その割合を知ることによ
って、静電チャックの静電吸着力を簡便に判断すること
ができる。
【００１２】本発明において、ＡｌＯＮ相はＸ線回折分
析によってその存在を確認することができ、またその割
合は酸素含有量で規定するものとする。すなわち、本発
明における窒化アルミニウム質焼結体の結晶相は、窒化
アルミニウムの主相、ＡｌＯＮ及び窒化ほう素の副相か
らなり、その他に微量な３Ｙ2 Ｏ3 ・５Ａｌ2 Ｏ3 相が
粒界相に存在することもあるが、その割合は微量であり
それを窒化アルミニウム質焼結体中の酸素含有量に換算
しても多くても０．５重量％未満であるので、本発明に
おいては０．５重量％以上の酸素含有量がＡｌＯＮ相と
なる。
析によってその存在を確認することができ、またその割
合は酸素含有量で規定するものとする。すなわち、本発
明における窒化アルミニウム質焼結体の結晶相は、窒化
アルミニウムの主相、ＡｌＯＮ及び窒化ほう素の副相か
らなり、その他に微量な３Ｙ2 Ｏ3 ・５Ａｌ2 Ｏ3 相が
粒界相に存在することもあるが、その割合は微量であり
それを窒化アルミニウム質焼結体中の酸素含有量に換算
しても多くても０．５重量％未満であるので、本発明に
おいては０．５重量％以上の酸素含有量がＡｌＯＮ相と
なる。
【００１３】本発明の窒化アルミニウム質焼結体の好ま
しい酸素含有量は、１〜６重量％特に２〜５．５重量％
である。ＡｌＯＮ相（酸素含有量）が上記よりも少量で
は室温下の吸着力を１０ｇｆ／ｃｍ2 以上に向上させる
ことができず、また上記よりも多いと、窒化アルミニウ
ム質焼結体が緻密質でなくなってそれ自体の強度低下が
起こり、更にはリーク電流が発生するなどして静電チャ
ックには不適当なものとなる。酸素含有量は、ＬＥＣＯ
社製ＯＮ分析装置を用いて測定することができる。
しい酸素含有量は、１〜６重量％特に２〜５．５重量％
である。ＡｌＯＮ相（酸素含有量）が上記よりも少量で
は室温下の吸着力を１０ｇｆ／ｃｍ2 以上に向上させる
ことができず、また上記よりも多いと、窒化アルミニウ
ム質焼結体が緻密質でなくなってそれ自体の強度低下が
起こり、更にはリーク電流が発生するなどして静電チャ
ックには不適当なものとなる。酸素含有量は、ＬＥＣＯ
社製ＯＮ分析装置を用いて測定することができる。
【００１４】また、本発明で使用される窒化アルミニウ
ム質焼結体には、その高温下の使用時の耐熱衝撃性を高
め、静電チャックの長寿命化を達成するために窒化ほう
素が含まれている。窒化ほう素の存在によって、３００
℃をこえる高温下で繰り返し使用しても静電チャックが
割れたり、電極層又は発熱抵抗体層との界面で剥離した
りすることが著しく少なくなる。
ム質焼結体には、その高温下の使用時の耐熱衝撃性を高
め、静電チャックの長寿命化を達成するために窒化ほう
素が含まれている。窒化ほう素の存在によって、３００
℃をこえる高温下で繰り返し使用しても静電チャックが
割れたり、電極層又は発熱抵抗体層との界面で剥離した
りすることが著しく少なくなる。
【００１５】窒化ほう素は、窒化アルミニウム及びＡｌ
ＯＮ相と反応しないため、その割合は原料調製時の配合
量によって規定することができる。すなわち、窒化アル
ミニウム粉末１００重量部に対し窒化ほう素粉末１０重
量部以下であることが好ましい。これよりも多くなる
と、窒化アルミニウム質焼結体の熱伝導性が低下し、特
に大型ウエハの均熱に時間を要してしまう。なお、Ａｌ
ＯＮ相の存在によっても熱伝導性が低下するので、本発
明においては、窒化アルミニウム質焼結体の熱伝導率を
９０Ｗ／ｍ・Ｋ以上保持させて、上記割合でＡｌＯＮ相
と窒化ほう素を存在させることが好ましい。
ＯＮ相と反応しないため、その割合は原料調製時の配合
量によって規定することができる。すなわち、窒化アル
ミニウム粉末１００重量部に対し窒化ほう素粉末１０重
量部以下であることが好ましい。これよりも多くなる
と、窒化アルミニウム質焼結体の熱伝導性が低下し、特
に大型ウエハの均熱に時間を要してしまう。なお、Ａｌ
ＯＮ相の存在によっても熱伝導性が低下するので、本発
明においては、窒化アルミニウム質焼結体の熱伝導率を
９０Ｗ／ｍ・Ｋ以上保持させて、上記割合でＡｌＯＮ相
と窒化ほう素を存在させることが好ましい。
【００１６】本発明で使用される窒化アルミニウム質焼
結体は、ＡｌＯＮ相を生成させるため、窒化アルミニウ
ム粉末にアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）粉末を添加するととも
に、窒化ほう素粉末を配合し、成形後、窒素、アルゴン
等の非酸化性雰囲気下、温度１８００℃程度又はそれ以
上の高温で焼成することによって製造することができ
る。この場合、窒化アルミニウム粉末に含まれる酸素量
を考慮しアルミナ粉末の添加量を制御することが必要と
なる。具体的には、酸素含有量１重量％程度の窒化アル
ミニウム粉末１００重量部に対し、アルミナ粉末１〜９
重量部が好ましく、更に窒化アルミニウム粉末１００重
量部に対し、１重量部以下特に０．５重量部以下のイッ
トリア粉末を添加するが好ましい。
結体は、ＡｌＯＮ相を生成させるため、窒化アルミニウ
ム粉末にアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）粉末を添加するととも
に、窒化ほう素粉末を配合し、成形後、窒素、アルゴン
等の非酸化性雰囲気下、温度１８００℃程度又はそれ以
上の高温で焼成することによって製造することができ
る。この場合、窒化アルミニウム粉末に含まれる酸素量
を考慮しアルミナ粉末の添加量を制御することが必要と
なる。具体的には、酸素含有量１重量％程度の窒化アル
ミニウム粉末１００重量部に対し、アルミナ粉末１〜９
重量部が好ましく、更に窒化アルミニウム粉末１００重
量部に対し、１重量部以下特に０．５重量部以下のイッ
トリア粉末を添加するが好ましい。
【００１７】本発明の静電チャックは、セラミックス基
体、発熱抵抗体層、中間層、電極層及び絶縁性誘電層が
順次積層されてなるものにおいて、その絶縁性誘電層、
中間層及びセラミックス基体を上記窒化アルミニウム質
焼結体で構成したものである。ここで、電極層はＷ等で
あり、発熱抵抗体層はＭｏ、ＴｉＮ等である。
体、発熱抵抗体層、中間層、電極層及び絶縁性誘電層が
順次積層されてなるものにおいて、その絶縁性誘電層、
中間層及びセラミックス基体を上記窒化アルミニウム質
焼結体で構成したものである。ここで、電極層はＷ等で
あり、発熱抵抗体層はＭｏ、ＴｉＮ等である。
【００１８】
【実施例】以下、実施例、比較例をあげて更に具体的に
本発明を説明する。
本発明を説明する。
【００１９】実施例１〜４ 比較例１ 酸素含有量１．０重量％の窒化アルミニウム粉にイット
リア粉とアルミナ粉を種々混合し、更に窒化アルミニウ
ム粉１００重量部に対し窒化ほう素粉を表１の割合（重
量部）で配合し、アクリル系バインダーを用い、静電チ
ャックの絶縁性誘電層及び中間層を形成するための、厚
み５００μｍのシートをそれぞれ成形した。一方、同様
の混合物を用い、静電チャックのセラミックス基体を形
成するための、厚み４ｍｍの板状体を成形した。
リア粉とアルミナ粉を種々混合し、更に窒化アルミニウ
ム粉１００重量部に対し窒化ほう素粉を表１の割合（重
量部）で配合し、アクリル系バインダーを用い、静電チ
ャックの絶縁性誘電層及び中間層を形成するための、厚
み５００μｍのシートをそれぞれ成形した。一方、同様
の混合物を用い、静電チャックのセラミックス基体を形
成するための、厚み４ｍｍの板状体を成形した。
【００２０】次いで、絶縁性誘電層形成用シートの下面
にタングステン電極を、また中間層形成用シートの下面
にモリブデン発熱抵抗体をそれぞれペースト印刷してか
ら圧着・積層し、更にそれをセラミックス基体形成用板
状体面に圧着・積層し、脱脂処理した後、窒素雰囲気
中、１８５０℃で常圧焼成を行って、直径２００ｍｍ
で、セラミックス基体、発熱抵抗体層、中間層、電極層
及び絶縁性誘電層が順次積層されてなる静電チャックを
製造した。
にタングステン電極を、また中間層形成用シートの下面
にモリブデン発熱抵抗体をそれぞれペースト印刷してか
ら圧着・積層し、更にそれをセラミックス基体形成用板
状体面に圧着・積層し、脱脂処理した後、窒素雰囲気
中、１８５０℃で常圧焼成を行って、直径２００ｍｍ
で、セラミックス基体、発熱抵抗体層、中間層、電極層
及び絶縁性誘電層が順次積層されてなる静電チャックを
製造した。
【００２１】得られた静電チャックについて、室温下
（２５℃）で４００Ｖの電圧を印加し、静電吸着力を測
定した。また、発熱抵抗体により、室温から８００℃ま
で繰り返し通電処理を行い、静電チャックの構成部材の
割れ・剥離等の発生の有無を調べた。それらの結果を表
２に示す。
（２５℃）で４００Ｖの電圧を印加し、静電吸着力を測
定した。また、発熱抵抗体により、室温から８００℃ま
で繰り返し通電処理を行い、静電チャックの構成部材の
割れ・剥離等の発生の有無を調べた。それらの結果を表
２に示す。
【００２２】更に、絶縁性誘電層を構成している窒化ア
ルミニウム質焼結体の結晶相及び酸素含有量をＸ線回折
分析及びＬＥＣＯ社製ＯＮ分析装置により測定した。ま
た、熱伝導率を測定した。それらの結果を表１に示す。
ルミニウム質焼結体の結晶相及び酸素含有量をＸ線回折
分析及びＬＥＣＯ社製ＯＮ分析装置により測定した。ま
た、熱伝導率を測定した。それらの結果を表１に示す。
【００２３】
【表１】
【００２４】
【表２】
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、室温下における静電吸
着力が大で、高温時の使用でも長寿命な静電チャックが
提供される。
着力が大で、高温時の使用でも長寿命な静電チャックが
提供される。
フロントページの続き (72)発明者 辻村 好彦 福岡県大牟田市新開町１ 電気化学工業株 式会社大牟田工場内 (72)発明者 中村 美幸 福岡県大牟田市新開町１ 電気化学工業株 式会社大牟田工場内
Claims (3)
- 【請求項１】 絶縁性誘電層が、ＡｌＯＮ相を含む窒化
アルミニウム質焼結体で構成されてなる静電チャックに
おいて、そのＡｌＯＮ相含有量に基づいて静電吸着力の
大きさを判断することを特徴とする静電チャックの評価
方法。 - 【請求項２】 ＡｌＯＮ相及び窒化ほう素を含有してな
ることを特徴とする静電チャック用窒化アルミニウム質
焼結体。 - 【請求項３】 セラミックス基体、発熱抵抗体層、中間
層、電極層及び絶縁性誘電層が順次積層されてなる静電
チャックにおいて、上記絶縁性誘電層、上記中間層及び
上記セラミックス基体が請求項２記載の窒化アルミニウ
ム質焼結体で構成されてなることを特徴とする静電チャ
ック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12315198A JP3794823B2 (ja) | 1998-05-06 | 1998-05-06 | 静電チャック及びその評価方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12315198A JP3794823B2 (ja) | 1998-05-06 | 1998-05-06 | 静電チャック及びその評価方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11317441A true JPH11317441A (ja) | 1999-11-16 |
| JP3794823B2 JP3794823B2 (ja) | 2006-07-12 |
Family
ID=14853457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12315198A Expired - Fee Related JP3794823B2 (ja) | 1998-05-06 | 1998-05-06 | 静電チャック及びその評価方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3794823B2 (ja) |
Cited By (6)
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| JP2002110772A (ja) * | 2000-09-28 | 2002-04-12 | Kyocera Corp | 電極内蔵セラミックス及びその製造方法 |
| JP2007254190A (ja) * | 2006-03-22 | 2007-10-04 | Ngk Insulators Ltd | 窒化アルミニウム焼結体、窒化アルミニウム焼結体の製造方法、及び部材 |
| WO2008018302A1 (fr) * | 2006-08-07 | 2008-02-14 | Tokuyama Corporation | Corps fritté en nitrure d'aluminium et son procédé de production |
| JP2020126913A (ja) * | 2019-02-04 | 2020-08-20 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックス部材 |
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| JPH0846020A (ja) * | 1994-01-31 | 1996-02-16 | Applied Materials Inc | 耐食性静電チャック |
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