JPH1131566A

JPH1131566A - 被検査体試験用補助装置

Info

Publication number: JPH1131566A
Application number: JP9338224A
Authority: JP
Inventors: Yoshie Hasegawa; 義栄長谷川; Moritomo Oosato; 衛知大里
Original assignee: Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 1997-02-10
Filing date: 1997-11-25
Publication date: 1999-02-02
Anticipated expiration: 2017-11-25
Also published as: JP3379897B2

Abstract

(57)【要約】【課題】被検査体の電極部に効果的な擦り作用を
与えるにもかかわらず、プローブの形状を単純化し、プ
ローブの安定性を高め、高周波試験に適合させ、製作を
容易にすることにある。【解決手段】試験用補助装置は、複数の配線部を一方
の面に有する基板と、複数のプローブと、該プローブを
基板に並列的に組み付ける組み付け手段とを含む。組み
付け手段は、プローブの配列方向へ伸びる針押え部によ
り、プローブを押圧して、プローブの湾曲された変形部
の少なくとも一部を基板の配線部に接触させ、各プロー
ブはその変形部の一端部に続く針先部の先端を被検査体
の電極部に押圧される。これにより、プローブは、基板
と針押え部とにより挟持されて、その状態に維持される
とともに、電極部に存在する酸化膜のような膜を針先部
の先端により擦り取る。プローブの有効範囲は、配線部
への接触部より針先側の部分となり、従来のプローブに
比べ小さい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路、液晶表
示パネル等の平板状被検査体の試験に用いる補助装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】パッケージまたはモールドされた半導体
デバイス、特に集積回路（ＩＣ）の電気的特性の検査す
なわち試験は、一般に、半導体デバイスを着脱可能に装
着する検査用すなわち試験用のソケットすなわち補助装
置を利用して行われる。

【０００３】この種の補助装置の１つとして、半導体デ
バイスのリード（電極部）に接触される針先部と基板の
配線部に接続される針後部とを逆方向に曲げたクランク
状の接触子すなわちプローブを用いるものがある（特開
平７−２２９９４９号公報）。

【０００４】この従来の補助装置において、各プローブ
は、針先部が上方へ伸び、針後部が下方へ伸びるよう
に、針先部と針後部との間の中央部において接着剤によ
り共通の針押えに装着される。しかし、この従来の補助
装置では、プローブを針押えに装着する作業、針後部を
基板の配線部に半田付けする作業等、組み立てに熟練を
必要とし、また、プローブの有効範囲（針先から配線部
への接続点まで）の長さ寸法が大きいから、試験に用い
る電気信号の周波数を高めることに限度がある。

【０００５】試験用補助装置の他の１つとして、Ｚ字状
または環状に形成された板状のプローブを用いるものが
ある（米国特許５３３６０９４号、米国特許第５３８８
９９６号）。しかし、この従来の補助装置では、各プロ
ーブがその弧状の変形面部において被検査体の電極部に
押圧されるから、変形面部を被検査体の電極部に押圧し
ても、電極部に対する変形面部の変位に起因する擦り作
用が生じないから、電極部に存在する酸化膜のような膜
が効果的に削除されず、その結果プローブと電極部との
間に良好な電気的接触が得られない。

【０００６】パッケージまたはモールドされない半導体
デバイス、特にＩＣチップの電気的特性の試験用の補助
装置の１つとして、Ｃ字状に曲げられたプローブを用い
るものがある（特開平５−２９９４８３号公報）。しか
し、この従来の補助装置では、各プローブをそのばね力
によりソケットに維持させるにすぎないから、プローブ
が不安定であり、また、プローブのＣ状の両端をさらに
湾曲させなければならないから、プローブの形状が複雑
であり、高価である。

【０００７】

【解決しようとする課題】それゆえに、被検査体試験用
補助装置において、被検査体の電極部に効果的な擦り作
用を与えるにもかかわらず、プローブの形状を単純化
し、プローブの安定性を高め、高周波試験に適合させ、
製作を容易にすることが重要である。

【０００８】

【解決手段、作用、効果】本発明の被検査体試験用補助
装置は、複数の配線部を一方の面に有する基板と、複数
のプローブと、該プローブを基板に並列的に組み付ける
組み付け手段とを含む。各プローブは、湾曲された変形
部と、該変形部の一端部に続く針先部であって被検査体
の電極部に押圧される先端を有する針先部と、変形部の
他端部に続く針後部とを備える。組み付け手段は、プロ
ーブの変形部の少なくとも一部を基板の配線部に接触さ
せるべくプローブを押圧する針押え部であってプローブ
の配列方向へ伸びる針押え部を備える。

【０００９】プローブは、変形部を有するものの、その
形状が従来のＣ字状プローブに比べ単純であり、廉価に
なる。プローブは、針押え部により変形部の少なくとも
一部を基板の配線部に押圧され、基板と針押え部とによ
り挟持されて、その状態に維持されるから、プローブが
安定化し、補助装置の組立が容易になる。

【００１０】各プローブは、従来のクランク状のプロー
ブと同様に、針先部の先端を被検査体の電極部に押圧さ
れる。これにより、各プローブは配線部への接触部より
針先側の部位において弾性変形して、先端が電極部に対
して変位し、その結果電極部に存在する酸化膜のような
膜の一部が針先部の先端により擦り取られ（または掻き
取られ）、プローブと電極部とが良好な電気的接続状態
に維持される。また、配線部への接触部より針先側がプ
ローブの有効範囲となるから、プローブの有効範囲が従
来のプローブに比べ小さくなり、隣り合うプローブ間に
おける電気信号の漏洩が少なく、高周波試験に適する。

【００１１】上記のように、本発明によれば、先端と電
極部との間に生じる効果的な擦り作用により、プローブ
と電極部との間に良好な電気的接続状態が維持される。
また、Ｃ字状のプローブに比べプローブの形状が単純で
あり、プローブが廉価になる。さらに、プローブの有効
範囲が小さくなり、高周波試験に適する。さらにまた、
プローブが安定に維持され、補助装置の製作が容易であ
る。

【００１２】組み付け手段は、基板に組み付けられた１
以上のカバーであってプローブの配列方向へ伸びる凹所
を有するカバーと、プローブの配列方向へ伸びる状態に
凹所に受け入れられた１以上の針押えとを備え、凹所を
少なくとも基板の側に開放させ、針押え部を針押えに形
成することができる。これにより、各プローブの変形部
を溝に配置することにより、各プローブを維持すること
ができるから、プローブがより安定に維持されるにもか
かわらず、補助装置の製作がより容易である。

【００１３】カバーは、さらに、プローブの配列方向に
間隔をおいて形成された複数の溝を備え、これらの溝を
基板の側に開放させるとともに開口に開放させ、凹所を
溝に開放させ、プローブの少なくとも変形部を溝に配置
してもよい。

【００１４】針押え部を、カバーの凹所から基板の側に
突出させてプローブの少なくとも変形部の内側部分に当
接させることができる。また、カバーの凹所の断面形状
を弧状または矩形とすることができる。

【００１５】針押えを円柱状の形状とし、また針押えの
少なくとも外周部を電気絶縁性とすることができる。こ
のようにすれば、針押えの構造が単純になり、また針押
えによるプローブ同士の電気的短絡を防止することがで
きる。

【００１６】針押えは、円柱状の押え棒と、電気絶縁性
の材料により押え棒の周りに形成された弾性材料層とを
有することができる。このようにすれば、針押えによる
プローブ同士の電気的短絡を防止することができるのみ
ならず、プローブが弾性材料を介して基板に押し付けら
れるから、プローブがより安定に維持される。

【００１７】プローブの針後部を針押えにより凹所の内
面に押圧することができる。これにより、プローブの長
手方向への針押えとプローブとの相対的変位が確実に阻
止されるから、プローブがより安定に維持される。

【００１８】プローブは、全体的に弧状に湾曲された形
状を有していてもよいし、全体的にＵ字状に湾曲された
形状を有していてもよい。また、各プローブの針先部を
カバーの開口に突出させることができる。

【００１９】各プローブを導電性材料から形成し、針後
部の外周に非導電性材料の層を形成することができる。
これにより、隣り合うプローブの針後部における電気的
短絡を防止することができる。

【００２０】しかし、各プローブを非導電性材料から形
成し、針先部及び変形部の外周に導電性材料の層を形成
してもよいし、各プローブの針後部全体を非導電性材料
で形成し、２以上のプローブの針後部を非導電性材料で
一体的に形成してもよい。

【００２１】上記のいずれのプローブも、針後部が導電
性を有しないから、隣り合うプローブの針後部における
電気的短絡を防止することができるのみならず、導電性
を有する部分の長さ寸法が短くなる。その結果、針後部
における電気信号の漏洩が存在しないことと相まって、
隣り合うプローブ間における電気信号の漏洩が従来の装
置に比べて著しく少なくなり、高周波試験に用いる電気
信号の周波数を高めることができる。

【００２２】しかし、各プローブの針後部全体を非導電
性材料で形成し、２以上のプローブの針後部を非導電性
材料で一体的に形成することができる。

【００２３】２以上のプローブの針後部を非導電性材料
で一体的に形成し、また凹所に受け入れさせることがで
きる。これにより、２以上のプローブの変形部及び針先
部並びに一体的に形成された針後部からなる針組立体を
合成樹脂による成形加工により一度に製作することがで
きるし、一度に基板に組み付けることができるから、針
組立体の製作が容易になるし、装置の組立作業ひいては
装置の製作作業がより容易になる。

【００２４】組み付け手段は、基板に組み付けられた１
以上のカバーと、針押え部を有する１以上の針押えとを
備え、カバーは、プローブの配列方向へ伸びかつ基板の
側に開口する第１の凹所と、該第１の凹所に連通するス
ロットと、プローブの配列方向へ伸びかつ第１の凹所の
側に開口する第２の凹所とを有し、プローブは針先をス
ロットから突出させた状態に前記第１の凹所に並列的に
配置し、針押えは少なくとも第２の凹所に配置すること
ができる。複数のプローブと、カバーと、針押えとをユ
ニット化して、それらを基板に組み付けることができ
る。

【００２５】各プローブは、隣のプローブに当接するス
ペーサを針先側に有することができる。これにより、プ
ローブが被検査体の電極部に押圧されたとき、プローブ
が被検査体の電極部に擦り作用を効果的に与えるにもか
かわらず、隣り合うプローブが針先側において接触する
ことが防止される。

【００２６】

【発明の実施の形態】図１〜図６を参照するに、試験用
補助装置１０は、平板状被検査体１２の検査すなわち試
験のための補助装置として用いられる。被検査体１２
は、図示の例では、パッケージまたはモールドをされた
集積回路のような半導体デバイスであるが、本発明は液
晶表示パネルのような他の平板状被検査体の試験用補助
装置にも適用することができる。

【００２７】被検査体１２は、長方形の平面形状にパッ
ケージまたはモールドをされた本体部１４と、長方形の
各辺に対応する部位から外方へ突出する複数のリードす
なわち電極部１６とを有する。電極部１６は、長方形の
辺毎に対応された複数の電極部群に分けられており、ま
た電極部群毎に並列的に配置されている。

【００２８】試験用補助装置１０は、基板２０と、複数
の接触子すなわちプローブ２２と、プローブ２２を基板
１２に押圧する複数の針押え２４と、該針押えを基板２
０に組み付ける平板状のカバー２６とを含む。

【００２９】基板２０は、配線パターンを電気絶縁材料
の一方の面に印刷配線技術により形成した配線基板であ
り、それぞれがプローブ２２に対応された複数の配線部
２８を一方の面に有する。各配線部２８は、配線パター
ンの一部である。配線部２８は、被検査体１２の本体１
４の長方形の辺毎に対応された複数の配線部群に分けら
れており、また配線部群毎に並列的に配置されている。

【００３０】各プローブ２２は、弾力性を有する非導電
性の細線の形に形成されており、また先端部分がテーパ
状の針先部３０から針主体部すなわち変形部３１を経て
針後部３２までの全範囲にわたって半円弧状に湾曲され
ている。

【００３１】各プローブ２２は、図７に符号３２で示す
領域の針後部以外の部分、すなわち針先部３０および変
形部３１の全外表面に導電性の皮膜を形成している。こ
れにより、配線部２８に接触する部分から前方の部分は
導電性を有するが、針後部３２は非導電性を有するか
ら、導電性を有するプローブとして作用するにもかかわ
らず、針後部３２における試験用電気信号の漏洩、特に
隣り合うプローブ間の電気信号の漏洩がなくなる。

【００３２】しかし、各プローブ２２は、心材を導電性
の細線、好ましくは金属細線の形にし、この心材のうち
針後部３２の部分に非導電性の皮膜を形成してもよい。
プローブ２２は、金属、セラミック、合成樹脂等の細線
から形成してもよいし、それらの材料を用いるプレス加
工、エッチング加工等他の加工法により形成してもよ
い。

【００３３】各プローブ２２は、図１〜図７に示す例で
は円形の断面形状を有する。また、プローブ２２は図１
〜図７に示す例では針先面すなわち先端面がプローブ２
２の湾曲面と直角に伸びるいわゆるノミ型針である。

【００３４】しかし、プローブ２２及び後に説明する各
プローブは、図８に示すプローブ５０のように、先端面
がプローブ２２の湾曲面と平行に伸びるいわゆるオノ型
針であってもよく、また、円錐形または角錐形の針先部
を有する形状であってもよい。プローブの断面形状は、
円形であってもよいし、四角形であってもよい。

【００３５】プローブ２２は、被検査体１２の本体部１
４の長方形の辺毎に対応された複数のプローブ群に分け
られている。図示の例では、被検査体１２が長方形の４
つの辺のそれぞれに複数の電極部を有することから、プ
ローブ２２は４つのプローブ群に分けられている。同じ
理由から、図示の例では４つの針押え２４が設けられて
いる。

【００３６】各針押え２４は、円柱状の押え棒３４と、
押え棒３４の外周面に形成された電気絶縁性の弾性材料
層３６とにより、円柱状に形成されている。押え棒３４
は、導電性または非導電性の棒状部材とすることができ
る。電気絶縁層すなわち弾性材料層３６は、シリコンゴ
ムのようなゴム材料により形成したチューブとすること
ができる。しかし、針押え２４を単一の部材で棒状に形
成してもよい。

【００３７】カバー２６は、被検査体１２を収容するよ
うに中央に形成された開口３８と、開口３８の外側に形
成されて開口３８に対して外方へ伸びる複数の溝４０
と、開口３８の外側に形成されて溝４０の配列方向へ伸
びる複数の凹所４２とを有する。このようなカバー２６
は、非導電性材料から形成することができる。

【００３８】開口３８は、被検査体１２と相似の矩形の
形状を有しており、また各隅角部を弧状にされている。
開口３８の上部は、外側から中心側へ向く傾斜面３８ａ
により下方ほど小さくされている。開口３８の各隅角部
は、弧面とされている。

【００３９】溝４０は、少なくともプローブ２２の変形
部３１および針後部３２を収容する溝であり、したがっ
て図示の例ではプローブ２２と同数設けられている。溝
４０は、開口３８を形成する矩形の辺毎に対応された複
数の溝群に分けられており、また溝群毎に並列的に形成
されている。各溝４０は基板２０の側すなわち下方に開
放するとともに、開口３８に開放している。

【００４０】隣り合う溝４０は、仕切り壁４４により区
画されている。仕切り壁４４は、図示の例では、溝４０
の後半部を区画するように設けられており、したがって
隣り合う溝４０は開口３８の部位において連続してい
る。しかし、溝４０全体を区画するように仕切り壁４４
を設けてもよい。

【００４１】凹所４２は、開口３８を形成する矩形の辺
毎に対応されており、また対応する辺に沿って伸びる。
図示の例では、４つの凹所４２が設けられている。各凹
所４２は、針押え２４を収容するかまぼこ型の溝であ
り、対応する溝４０の溝底面に開放している。各凹所４
２の溝底面は、上方に凸の断面形状をしている。

【００４２】補助装置１０は、各針押え２４を凹所４２
に配置し、各プローブ２２をその後端が溝４０の奥底面
（図示の例では、上面）に当接した状態に溝４０に配置
し、その状態で、プローブ２２、針押え２４およびカバ
ー２６を基板２０に重ね、その状態でカバー２６をボル
トのような複数のねじ部材４６により基板２０に装着す
ることにより、組み立てることができる。

【００４３】各ねじ部材４６は、カバー２６をその厚さ
方向へ貫通しており、また基板２０に形成されたねじ穴
に螺合される。これにより、プローブ２２は、針押え２
４により弧状湾曲部の一部において基板２０の配線部２
８に押圧され、基板２０と針押え２４とにより挟持され
て、その状態に維持される。

【００４４】図示の例では、針押え２４とカバー２６と
は、プローブ２２を基板２０に並列的に組み付ける組み
付け手段として作用する。また、各針押え２４の下半部
は、凹所４２から基板２０の側に弧状に突出しかつプロ
ーブ２２の配列方向に伸びるから、プローブ２２を基板
２０に押圧すべくプローブ２２の湾曲部内側に当接する
針押え部として作用する。

【００４５】プローブ２２をその針先部３０が開口３８
内に上方へ突出する状態に溝４０に配置し、針押え２４
で基板２０に押圧するだけで、プローブ２２をプローブ
群毎に並列的に正しく配列させることができる。このた
め、補助装置１０の製作が容易である。

【００４６】プローブ２２は、補助装置１０に組み立て
られた状態において、少なくとも針後部３２が溝４０の
仕切り壁４４により区画された部分に受け入れられてい
るとともに、電気絶縁材料からなる弾性材料層３６を介
して基板２０に押圧されているから、溝４０と針押え２
４とにより安定に維持され、また隣りのプローブとの電
気的接触を確実に防止される。

【００４７】組み立てられた状態において、各プローブ
２２は電気絶縁層３２が存在しない変形部３１の部位に
おいて配線部２８に押圧されるから、弧状の針主体部３
１のその部位は変形部として作用する。

【００４８】各プローブ２２は電気絶縁層３２が存在し
ない部位において配線部２８に押圧されるから、プロー
ブ２２の有効範囲は、配線部２８へのプローブ２２の接
触部から針先までであり、従来の補助装置に比べ小さ
い。また、図５に示すように、弾性材料層３６が基板２
０とカバー２６と押え棒３４とにより挟圧されて弾性変
形するから、各プローブ２２は強固に維持される。押え
棒３４と弾性材料層３６とは、図５に示すように予め相
互に偏心させておいてもよいし、組み立てた状態におい
て相互に偏心するようにしてもよい。

【００４９】検査時、被検査体１２は、上方から開口３
８に入れられる。このとき、補助装置１０に対する被検
査体１２の位置がずれていると、被検査体１２は、傾斜
面３８ａに当接し、傾斜面３８ａにより開口３８の中央
に案内される。これにより、被検査体１２は、図５に示
すように、電極部１６がプローブ２２の針先すなわち先
端に当接した状態に補助装置１０に収容される。

【００５０】補助装置１０に配置された被検査体１２が
押圧体４８により押し下げられると、各プローブ２２
は、図６に示すように変形される。このとき、各プロー
ブ２２の後端が溝４０の奥底面に当接しているから、各
プローブ２２は針押え２４の周りをその周方向へ移動し
ない。

【００５１】しかし、プローブ２２と被検査体１２とが
押圧されると、各プローブ２２はその曲率半径が大きく
なるように配線部２８の接触部より針先側の部位におい
て弾性変形し、それにより各プローブ２２の針先は、該
針先が電極部１６に対して変位するから、電極部１６の
表面に存在する膜の一部を削除する擦り作用（または掻
き取り作用）を生じる。また、各プローブ２２は、その
後端の一部が弾性材料層３６にくい込むことにより、針
先部３０が針押え２４の軸線方向へ倒れることを防止さ
れる。

【００５２】補助装置１０によれば、上記したように、
プローブの形状が単純であり、プローブが廉価になるの
みならず、プローブ２２の有効範囲が小さく、高周波試
験に適しており、しかもプローブが安定に維持されるに
もかかわらず、補助装置の製作が容易である。また、被
検査体１２が補助装置１０に自然に正しく配置され、被
検査体１２の電極部１６が針先に確実に接触し、しかも
擦り作用が生じる。さらに、針押え２４の構造が単純で
あり、プローブ２２同士の電気的短絡が確実に防止され
る。

【００５３】図９を参照するに、プローブ５２は、電気
絶縁層を有する針後部３２を上方へ曲げて針押え２４に
差し込んでおり、変形部３１の後端部において配線部２
８に押圧されている。この実施例によっても、プローブ
５２は、その針後部３２が針押え２４に対する移動を阻
止されているから、針押え２４の周りをその周方向へ移
動しない。このため、プローブ５２が被検査体により押
し下げられると、プローブ５２は曲率半径が大きくなる
ように弾性変形される。

【００５４】図１０を参照するに、プローブ５４は、そ
の後端を板ばね５６に当接させている。板ばね５６は、
プローブ群毎に備えられており、また複数のねじ部材５
８によりカバー２６に取り付けられている。板ばね５６
は、電気絶縁性の板材から形成することができるが、導
電性の板材の表面の電気絶縁層を形成したものであって
もよく、さらには各プローブの後端が非導電性を有する
ならば導電性の板材としてもよい。

【００５５】図１０に示す実施例によっても、プローブ
５４は、その後端が板ばね５６に当接して針押え２４に
対する移動を阻止されているから、針押え２４の周りを
その周方向へ移動しない。このため、プローブ５４が被
検査体により押し下げられると、プローブ５４は曲率半
径が大きくなるように弾性変形される。

【００５６】図１１を参照するに、プローブ６０は、配
線部２８に当接する部位に凸部６２と凹部６４とを有す
る。プローブ６０は、凸部６２において配線部６２に押
圧される。このため、プローブ６０の場合、凸部６２を
有する部位が変形部として作用する。

【００５７】プローブ６０によれば、凸部６２が配線部
２８に係合しているから、針押え２４に対するプローブ
６０の移動が凸部６２と配線部２８との係合により阻止
される。このため、配線部２８と各プローブ６０との電
気的接続がより確実になる。また、前記したプローブの
ように、プローブの後端を溝の奥底面または板ばねに当
接させたり、プローブの針後部を針押えに差し込むこと
なく、プローブ６０が被検査体により押圧されたときの
針押え２４に対するプローブの移動が阻止される。

【００５８】上記各実施例において、円柱状の部分の一
部を針押え部として用いる凸部とする針押え２４の代わ
りに、かまぼこ型の形状を有する針押えを用いてもよい
し、かまぼこ型の凸部を１つの面に有する四角柱状の部
材を針押えとして用いてもよい。また、針押えは、少な
くとも外表面が非導電性を有する限り、弾性材料を用い
ない単なる非導電性の棒状部材であってもよい。

【００５９】図１２を参照するに、試験用補助装置７０
は、ほぼＵ字状に形成されたプローブ７２を用いる。プ
ローブ７２は、針先部７４と、針主体部すなわち変形部
７６と、針後部７８とによりほぼＵ字状に形成されてい
る。針先部７４及び針後部７８は、それぞれ、変形部７
６の先端部及び後端から上方へ互いにほぼい平行に直線
的に伸びている。針先部７４と変形部７６とは、少なく
とも外周面を導電性とされている。

【００６０】変形部７６は、その後端側から針先部７４
の側に向けて、斜め上方へ伸びており、また大きな曲率
半径で斜め下方へ凸の形に湾曲されている。針後部７８
は、導電性であってもよいし、非導電性であってもよ
い。針後部７８は、針先部及び変形部７６より大きい断
面形状を有する。プローブ７２は、円形または矩形のい
ずれか一方の横断面形状を有する。このため、プローブ
７２は、細線または帯状のいずれか一方の形状を有す
る。

【００６１】補助装置７０のカバー８０は、被検査体１
２を収容するように中央に形成された開口３８と、開口
３８から外方へ並列的に伸びる複数の溝８２と、開口３
８の外側に形成されて溝８２の配列方向へ伸びる複数の
凹所８４とを有する。このようなカバー８０は、非導電
性材料から形成することができる。開口３８は、試験用
補助装置１０におけるカバー２６の開口３８と同じであ
る。このため、開口３８の上部は傾斜面３８ａとされて
いる。

【００６２】溝８２は、プローブ７２の少なくとも変形
部７６の一部を収容する溝であり、したがって図示の例
ではプローブ７２と同数設けられている。溝８２は、開
口３８を形成する矩形の辺毎に対応された複数の溝群に
分けられており、また溝群毎に並列的に形成されてい
る。各溝８２は基板２０の側すなわち下方に開放すると
ともに、先端上部において開口３８に開放している。

【００６３】隣り合う溝８２は、仕切り壁８６により区
画されている。隣り合う仕切り壁８６の開口３８の側の
端部は、溝８２の対応する端部を閉鎖する壁部８８によ
り連結されている。しかし、隣り合う仕切り壁８６の開
口３８の側の端部を連結せず、溝８２の対応する端部を
開放させてもよい。

【００６４】凹所８４は、開口３８を形成する矩形の辺
毎に対応されており、また対応する辺に沿って伸びる。
図示の例では、実際には４つの凹所８４が設けられてい
る。各凹所８４は、針押え９０を収容する矩形断面形状
の溝であり、対応する溝８２の後端と基板２０の側とに
開口している。各凹所８４は、矩形の断面形状をしてい
る。

【００６５】各針押え９０は、ゴムのような弾性材料に
より矩形の断面形状に形成されており、凹所８４に嵌め
込まれている。図示の例では、針押え９０は、変形部７
６の一部とプローブ７２の針後部７８とを受け入れるた
めの溝８２に連通する溝を有する。しかし、そのような
溝は、カバー８０に形成してもよいし、プローブの形状
および寸法によってはカバー８０および針押え９０のい
ずれにも形成しなくてもよい。

【００６６】補助装置７０は、各針押え９０を凹所８４
に配置するとともに、プローブ７２の変形部７６が溝８
２内になり、針後部７８が凹所８４内となるように各プ
ローブ７２を配置し、その状態でプローブ７２、針押え
９０およびカバー８０を基板２０に重ね、その状態でカ
バー８０をボルトのような複数のねじ部材により基板２
０に装着することにより、組み立てることができる。

【００６７】補助装置７０に組み立てられた状態におい
て、各プローブ７２は、変形部７６の後端部において針
押え９０により基板２０の配線部に押圧される。また、
各プローブ７２の先端は溝８２から開口３８内に上方へ
突出し、各プローブ７２の針後部７８は針押え９０によ
り溝８２を形成する内壁面に押圧され、各プローブ７２
の後端面は針押え９０に受けられる。このため、各プロ
ーブ７２は、変形部７６の後端側において基板２０に押
圧される。

【００６８】針先部７４の先端が被検査体１２の電極部
１６に押圧されると、プローブ７２は、針先部７４と針
後部７８とが開くように弾性変形される。これにより、
プローブ７２は、その先端で電極部１６に擦り作用を与
え、電極部１６の表面に存在する酸化膜のような膜の一
部を除去する。

【００６９】補助装置７０は、補助装置１０と同様の作
用及び効果を奏するのみならず、針後部７８を針押え９
０により凹所８４の内面に押圧しているから、プローブ
７２がより安定化する。

【００７０】図１３を参照するに、試験用補助装置１０
０は、図１から図６に示す補助装置１０において、先端
から後端まで一体的に伸びるプローブを用いる代わり
に、図１４に示す形状を有する複数のプローブ１０２を
用いる。

【００７１】各プローブ１０２は、弾力性を有する導電
性の細線から形成された針先部３０及び変形部３１と、
変形部３１の後端に結合された針後部１０４とからな
り、また針先から後端までの全範囲にわたって同じ曲率
で弧状に湾曲されている。針後部１０４は、合成樹脂の
ような電気絶縁性の樹脂材料により形成されている。

【００７２】各プローブ１０２の針先部３０の先端部分
は、先端ほど薄くなるテーパ状部であり、その先端部分
より後方の部分は切欠部１０６を上側に有する。

【００７３】各プローブ１０２の変形部３１の後端部の
内側部分は針後部１０４により覆われているが、外側部
分は針後部１０４により覆われることなく露出されてい
る。このようなプローブ１０２は、針後部１０４として
合成樹脂のような電気絶縁材料を用いた成形加工により
製作することができる。

【００７４】複数のプローブ１０２を用いる補助装置１
００は、図１３に示すように、各プローブ１０２の変形
部３１が針後部１０４への結合部の外側部分において配
線部２８に押圧されることを除いて、補助装置１０と同
様に組み立てることができ、補助装置１０と同様に作用
し、補助装置１０と同様の効果を生じる。

【００７５】補助装置１０または１００において、独立
した複数のプローブを用いる代わりに、図１５に示すよ
うに、複数のプローブを針後部において結合した１以上
の針組立体１１０を用いてもよい。

【００７６】針組立体１１０で用いる各プローブ１１２
は、変形部３１の後端部において複数のプローブ１１２
で共通の針後部１１４により結合されていることを除い
て、図１４に示すプローブ１０２と同様に形成されてい
る。

【００７７】それゆえに、各プローブ１１２の針先部３
０及び変形部３１は、図１４に示すプローブ１０２のそ
れらと同じであり、各プローブ１１２の変形部３１は、
共通の針後部１１４との結合力を高めるための切欠部１
０６を上側に有する。共通の針後部１１４は、非導電性
材料により浅い樋状に湾曲された細長い形状を有してお
り、複数のプローブ１１２の針先部３０及び変形部３１
とともに同じ曲率で弧状に湾曲されている。

【００７８】共通の針後部１１４は、前記したカバー２
６の開口３８により形成される長方形の各辺のプローブ
群毎に共通にしてもよいし、２以上のプローブ毎に共通
にしてもよい。また、隣り合うプローブ１１２が変形部
３１において共通の針後部１１４に連結されていること
から、プローブ組立体１１０を用いる補助装置のカバー
２６は溝４０および隔壁４４を備えていない。しかし、
各プローブ１１２の針先部３０及び変形部３１のみを受
け入れる溝を備えていてもよい。

【００７９】各変形部３１の後端部の内側部分は共通の
針後部１１４により覆われているが、外側は共通の針後
部１１４により覆われることなく露出されている。針組
立体１１０も、共通の針後部１１４として合成樹脂のよ
うな電気絶縁材料を用いた成形加工により製作すること
ができる。

【００８０】針組立体１１０を用いる試験用補助装置
は、試験用補助装置１０及び７０と同様に組み立てかつ
利用することができるし、試験用補助装置１０と同様の
作用および効果を奏する以外に、複数のプローブ１１２
の針後部１１４が共通に結合されているから、針組立体
１１０の製作および補助装置への組立が容易になる、と
いう利点を生じる。

【００８１】図１６を参照するに、試験用補助装置１２
０は、図１２に示す補助装置７０において、先端から後
端まで一体的に伸びるプローブ７２を用いる代わりに、
図１７に示す形状を有する複数のプローブ１２２を用い
る。

【００８２】各プローブ１２２は、図１７に示すよう
に、針先部７４と、変形部７６と、針後部１２４とによ
りほぼＵ字状に形成されている。針先部７４及び変形部
７６は、それぞれ、図１２に示すプローブ７２のそれら
と同じである。従って、針先部７４及び変形部７６は、
針先部７４が変形部７６の先端から上方へ直線的に伸び
るＬ字状に形成されている。

【００８３】各プローブ１２２の変形部７６は、針後部
１２４との結合力を高めるための切欠部１２６を上側に
有する。変形部７６の後端部の上側（内側）部分は針後
部１２４により覆われているが、下側（外側）は針後部
１２４により覆われることなく露出されている。

【００８４】針後部１２４は、合成樹脂のような非導電
性材料により形成されており、また変形部７６の後端か
ら上方へ針先部７４とほぼ平行に直線的に伸びている。

【００８５】プローブ１２２も、図１４に示すプローブ
１０２と同様に、針後部１２４として合成樹脂のような
電気絶縁材料を用いた成形加工により製作することがで
きる。また、補助装置１２０も、補助装置１０，７０及
び１００等と同様に利用することができるとともに、補
助装置１０，７０及び１００等と同様の作用および効果
を奏する。

【００８６】補助装置７０または１２０において、独立
した複数のプローブを用いる代わりに、図１８に示すよ
うに、複数のプローブを針後部において結合した１以上
の針組立体１３０を用いてもよい。

【００８７】針組立体１３０で用いる各プローブ１３２
は、変形部７６の後端部において複数のプローブ１３２
で共通の針後部１３４により結合されていることを除い
て、図１７に示すプローブ１２２と同様に形成されてい
る。

【００８８】それゆえに、各プローブ１３２の変形部７
６は共通の針後部１３４との結合力を高めるための切欠
部１２６を上側に有し、共通の針後部１３４は非導電性
材料により板板に形成されている。

【００８９】針組立体１３０は、複数のプローブ１３２
の針先部７４及び変形部７６並びに共通の針後部１３４
とによりほぼＵ字状の形状を有する。針組立体１３０を
用いる試験用補助装置のカバーは、図１２に示す壁部８
６または８８を有していなくてもよい。

【００９０】各プローブ１３２の変形部７６は、針後部
１２４との結合力を高めるための切欠部１２６を上側に
有する。変形部７６の後端部の上側（内側）部分は針後
部１２４により覆われているが、下側（外側）は針後部
１２４により覆われることなく露出されている。

【００９１】針組立体１３０を用いる試験用補助装置
は、試験用補助装置７０及び１２０と同様に組み立てか
つ利用することができるし、試験用補助装置７０及び１
２０と同様の作用および効果を奏する以外に、複数のプ
ローブ１３２の針後部１３４が共通に結合されているか
ら、針組立体１３０の製作および補助装置への組立が容
易になる、という利点を生じる。

【００９２】上記実施例では、カバーを単一の部材によ
り形成しているが、カバーを、複数の部材により形成し
てもよい。たとえば、カバーを、開口３８を有する板状
部材と、溝および凹所を有する部材とにより形成しても
よいし、開口３８を有する板状部材と、溝を有する部材
と、凹所を有する部材とにより形成してもよく、さらに
は、開口３８および凹所を有する板状部材と、溝を有す
る部材とにより形成してもよい。

【００９３】図１９を参照するに、試験用補助装置１４
０は、図１７に示すプローブ１２２に類似した複数のプ
ローブ１４２を用いる。各プローブ１４２は、針先部１
４４から変形部１４６の後端まで全体的に弧状に湾曲さ
れている。各プローブ１４２の針先部１４４及び変形部
１４６の少なくとも表面は、導電性を有する。

【００９４】針後部１４８は、合成樹脂のような非導電
性材料によりＬ字状に形成されており、また変形部１４
６に固定されている。変形部１４６の後端部の上側（内
側）部分は針後部１４８により覆われているが、下側
（外側）は針後部１４８により覆われることなく露出さ
れている。

【００９５】針後部１４８は、プローブ１４２毎に独立
している。しかし、隣り合うプローブで共通の針後部１
４８としてもよい。変形部１４６と針後部１４８との結
合力を高めるために、図１７または図１８に示すような
切欠部１２６を変形部１４６の上側に形成してもよい。

【００９６】試験用補助装置１４０は、複数のプローブ
１４２が並列的に配置された細長い複数のカバー１５０
と、各カバー１５０内に配置された長い針押え１５２
と、スペーサ１５４とを備える。

【００９７】各カバー１５０は、図１９にその１つを示
すように、基板２０の側に開口する第１の凹所１５６
と、第１の凹所１５６に連通するスロット１５８と、第
１の凹所１５６の側に開口する第２の凹所１６０とを有
する。第１の凹所１５６、スロット１５８及び第２の凹
所１６０は、プローブ１４２の配列方向へ伸びる。

【００９８】針押え１５２は、硬質ゴムのような弾性材
料により矩形の断面形状に形成されており、また、第１
及び第２の凹所１５６及び１６０に配置されている。ス
ペーサ１５４は、第１の凹所１５６とほぼ同じ大きさを
有する開口１６２を有しており、また、第１の凹所１５
６と開口１６２が整合する状態に、カバー１５０と基板
２０との間に配置される。

【００９９】第１の凹所１５６には、複数のプローブ１
４２が並列的に配置される。プローブ１４２は、針先部
１４４がスロット１５８を介して上方へ突出し、針後部
１４８が第２の凹所１６０内に伸びるように、並列的に
配置され、第２の凹所１６０に配置された針押え１５２
により変形部１４４の後端部を基板２０の配線部２８に
押圧される。

【０１００】カバー１５０は、複数のプローブ１４２及
び針押え１５２を収容した状態で、基板２０にスペーサ
１５４を介して重ねられ、ねじ部材にような適宜な手段
によりスペーサ１５４とともに基板に組み付けられる。
これにより、複数のプローブ１４２と、カバー１５０
と、針押え１５２と、スペーサ１５４とがユニット化さ
れる。

【０１０１】試験用補助装置１４０は、それぞれが、上
記のような複数のユニットを用いる。各ユニットは、プ
ローブ１４２の針先の配列方向が被検査体の電極部の配
列方向と一致しかつ対向するユニット同士のプローブの
針先が対向するように基板２０に組み付けられる。これ
により、被検査体の電極部は各プローブ１４２の針先に
受けられる。

【０１０２】図示の例では、カバー１５０は、各プロー
ブ１４２の変形部１４６を受け入れる溝を備えていな
い。このため、各プローブ１４２は、隣のプローブ１４
２に当接するスペーサ１６４を針先部１４４に有する。
スペーサ１６４は、合成樹脂のような非導電性材料によ
り板状に形成されており、また、プローブ１４２の一方
側に固定されている。しかし、プローブ１４２の針先部
が対応するスペーサ１６４を貫通する状態に、スペーサ
１７４を形成してもよい。

【０１０３】プローブ１４２によれば、プローブ１４２
が被検査体の電極部に擦り作用を効果的に与えるにもか
かわらず、及び、カバー１５０がプローブ１４２の変形
部１４６を受け入れる溝を備えていないにもかかわら
ず、針先が被検査体の電極部に押圧されたとき、隣り合
うプローブ１４２が針先側において接触するおそれがな
い。

【０１０４】スペーサ１６４は、既に述べたプローブ２
２，５０，５２，５４，６０，７２，１０２，１１２，
１２２，１３２に設けてもよい。また、各プローブにス
ペーサ１６４を設けるかわりに、隣り合う複数のプロー
ブを針先側の部位において合成樹脂のような非導電性材
料により連結してもよい。

【０１０５】本発明は、上記実施例に限定されない。た
とえば、プローブは、弧状、コ字状、Ｕ字状、Ｌ字状、
Ｖ字状、Ｗ字状等、単純な形状とすることができる。ま
た、上下の側を上記した実施例と逆にした状態で用いて
もよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る試験用補助装置の第１の実施例を
示す平面図である。

【図２】図１の２−２線に沿って得た断面図である。

【図３】図１に示す試験用補助装置の基板を取り外した
状態の一部の底面図である。

【図４】図１の４−４線に沿って得た断面図である。

【図５】被検査体を補助装置に配置したときのプローブ
の状態を説明するための断面図である。

【図６】被検査体をプローブに押圧したときのプローブ
の状態を説明するための断面図である。

【図７】図１に示す補助装置で用いるプローブの第１の
実施例を示す図であって、（Ａ）は正面図であり、
（Ｂ）は左側面図である。

【図８】図１に示す補助装置で用いるプローブの第２の
実施例を示す図であって、（Ａ）は正面図であり、
（Ｂ）は左側面図である。

【図９】試験用補助装置の第２の実施例の一部を示す断
面図である。

【図１０】試験用補助装置の第３の実施例の一部を示す
断面図である。

【図１１】図１に示す補助装置で用いるプローブの第３
の実施例の一部を示す図である。

【図１２】試験用補助装置の第４の実施例の一部を示す
断面図である。

【図１３】試験用補助装置の第５の実施例の一部を示す
断面図である。

【図１４】図１３に示す補助装置で用いるプローブの一
実施例を示す図であって、（Ａ）は平面図であり、
（Ｂ）正面図であり、（Ｃ）は右側面図である。

【図１５】図１３に示す補助装置で用いるプローブの他
の実施例を示す図であって、（Ａ）は平面図であり、
（Ｂ）正面図であり、（Ｃ）は右側面図である。

【図１６】試験用補助装置の第６の実施例の一部を示す
断面図である。

【図１７】図１６に示す補助装置で用いるプローブの一
実施例を示す図であって、（Ａ）は平面図であり、
（Ｂ）正面図であり、（Ｃ）は右側面図である。

【図１８】図１６に示す補助装置で用いるプローブの他
の実施例を示す図であって、（Ａ）は平面図であり、
（Ｂ）正面図であり、（Ｃ）は右側面図である。

【図１９】試験用補助装置の第７の実施例の一部を示す
断面図である。

【符号の説明】

１０，７０，１００，１２０，１４０試験用補助装置１２被検査体１４本体１６電極部２０基板２２，５０，５２，５４，６０，７２，１０２，１１
２，１２２，１３２，１４２プローブ２４，９０，１５２針押え２６，８０，１５０カバー２８配線部３０，７４，１４４針先部３１，７６，１４６変形部３２，７８，１０４，１１４，１２４，１３４，１４８
針後部３４押え棒３６弾性材料層３８開口４０，８２溝４２，８４凹所４４，８６仕切り壁４６ねじ部材１５６第１の凹所１５８スロット１６０第２の凹所

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の配線部を一方の面に有する基板
と、複数のプローブと、該プローブを前記基板に並列的
に組み付ける組み付け手段とを含み、各プローブは、湾
曲された変形部と、該変形部の一端部に続く針先部であ
って被検査体の電極部に押圧される先端を有する針先部
と、前記変形部の他端部に続く針後部とを備え、前記組
み付け手段は、前記プローブの前記変形部の少なくとも
一部を前記基板の配線部に接触させるべく前記プローブ
を押圧する針押え部であって前記プローブの配列方向へ
伸びる針押え部を備える、被検査体試験用補助装置。
【請求項２】前記組み付け手段は、前記基板に組み付
けられた１以上のカバーであって前記プローブの配列方
向へ伸びる凹所を有するカバーと、前記凹所に受け入れ
られた１以上の針押えとを備え、前記凹所は前記基板の
側に開放しており、前記針押えは、前記プローブの配列
方向へ伸びており、また、前記針押え部を有する、請求
項１に記載の補助装置。
【請求項３】前記針押え部は、前記プローブの少なく
とも前記変形部の内側部分に当接している、請求項２に
記載の補助装置。
【請求項４】前記針押えは、円柱状の形状を有し、ま
た少なくとも外周部を電気絶縁性とされている、請求項
３に記載の補助装置。
【請求項５】前記針押えは、円柱状の押え棒と、電気
絶縁性の材料により前記押え棒の周りに形成された弾性
材料層とを有する、請求項３に記載の補助装置。
【請求項６】前記凹所は、弧状または矩形の断面形状
を有し、また、少なくとも前記基板の側に開放してい
る、請求項２に記載の補助装置。
【請求項７】前記カバーは、さらに、被検査体を受け
入れる開口を有し、またそれぞれが前記針押えを受け入
れた複数の前記凹所を有する、請求項２に記載の補助装
置。
【請求項８】前記針押えは、さらに、前記プローブの
針後部を前記凹所の内面に押圧している、請求項２に記
載の補助装置。
【請求項９】前記プローブは全体的に弧状に湾曲され
ている、請求項１に記載の補助装置。
【請求項１０】前記プローブは全体的にＵ字状に湾曲
されている、、請求項１に記載の補助装置。
【請求項１１】各プローブはその針先部を前記開口に
突出させている、請求項７に記載の補助装置。
【請求項１２】各プローブの針後部は非導電性材料で
形成されている、請求項１に記載の補助装置。
【請求項１３】各プローブは、導電性材料から形成さ
れており、また、前記針後部の外周に非導電性材料の層
を有する、請求項１に記載の補助装置。
【請求項１４】各プローブは、非導電性材料から形成
されており、また、前記針先部及び前記変形部の外周に
導電性材料の層を有する、請求項１に記載の補助装置。
【請求項１５】２以上のプローブの針後部は非導電性
材料で一体的に形成されている、請求項１に記載の補助
装置。
【請求項１６】２以上のプローブの針後部は、非導電
性材料で一体的に形成されており、また、前記凹所に受
け入れられている、請求項２に記載の補助装置。
【請求項１７】前記組み付け手段は、前記基板に組み
付けられた１以上のカバーと、前記針押え部を有する１
以上の針押えとを備え、前記カバーは、前記プローブの
配列方向へ伸びかつ前記基板の側に開口する第１の凹所
と、該第１の凹所に連通するスロットと、前記プローブ
の配列方向へ伸びかつ前記第１の凹所の側に開口する第
２の凹所とを有し、前記プローブは針先を前記スロット
から突出させた状態に前記第１の凹所に並列的に配置さ
れており、前記針押えは少なくとも前記第２の凹所に受
け入れられている、請求項１に記載の補助装置。
【請求項１８】各プローブは、隣のプローブに当接す
るスペーサを針先側に有する、請求項１に記載の補助装
置。