DE69836717T2 - Elektrische Verbindungsvorrichtung - Google Patents

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Yoshiei Kawasaki-shi Hasegawa
Eichi Minamitsugaru-gun Aomori-ken Osato
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Description

  • GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Verbindungsvorrichtung zur Verwendung beim Testen einer zu inspizierenden plattenartigen Vorrichtung, wie beispielsweise einer integrierten Schaltung und eines Flüssigkristallpaneels.
  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Im Allgemeinen wird eine Inspektion oder ein Test von elektrischen Eigenschaften eines gepackten oder gekapselten Halbleiterbauteils, insbesondere einer integrierten Schaltung (IC) durchgeführt durch Verwendung einer elektrischen Verbindungsvorrichtung, wie beispielsweise eines Testsockels, d.h. eines Inspektionssockels als Hilfsvorrichtung, an der ein Halbleiterbauteil wiederabnehmbar angebracht ist.
  • Es liegt eine Verbindungsvorrichtung jenes Typs vor, der einen hebelförmigen Kontakt verwendet, d.h. ein Tester, in der ein Nadelvorderabschnitt, der in Kontakt kommt mit einem Anschluß (Elektrodenabschnitt) eines Halbleiterbauteils, sowie ein Nadelrückabschnitt, der mit einem leitenden Abschnitt einer Grundplatte verbunden ist, in gegensätzliche Richtungen gebogen sind (Japanische Patentanmeldung Veröffentlichungsnummer 7-229949).
  • Bei dieser konventionellen Verbindungsvorrichtung ist jeder Tester an einem gemeinsamen Nadelpresser mittels eines Klebstoffs in dem zwischenliegenden Abschnitt zwischen dem Nadelvorderabschnitt und dem Nadelrückabschnitt befestigt, so daß der Nadelvorderabschnitt sich nach oben erstreckt und sich der Nadelrückabschnitt nach unten erstreckt.
  • Bei dieser konventionellen Verbindungsvorrichtung benötigt allerdings eine Montagearbeit wie beispielsweise das Befestigen eines Testers an dem Nadelpresser oder das Löten des Nadelrückabschnitts an den leitenden Abschnitt der Grundplatte Erfahrung, und da die Längenabmessungen einer effektiven Fläche (von dem Spitzende des Testers bis zu einem Verbindungspunkt zum leitenden Abschnitt) groß ist, besteht eine Beschränkung hinsichtlich der Vergrößerung der Frequenz eines zum Testen verwendeten elektrischen Signals.
  • Es existiert eine weitere Verbindungsvorrichtung, die einen plattenartigen Tester verwendet, der in einer Z-förmigen Gestalt oder einer ringförmigen Gestalt ausgebildet ist (US Patent Nr. 5,336,094 und US Patent Nr. 5,388,996). Bei dieser konventionellen Verbindungsvorrichtung wird allerdings jeder Tester an seinem bogenförmig deformierten Frontabschnitt gegen einen Elektrodenabschnitt eines zu inspizierenden Bauteils gepreßt, so daß lediglich ein Wischeffekt auftritt, nicht aber eine Kratzwirkung aufgrund einer Verschiebung des deformierten Frontabschnitts bzgl. des Elektrodenabschnitts, so daß ein Film wie beispielsweise ein in dem Elektrodenabschnitt existierender Oxidfilm effektiv nicht entfernt wird. Konsequenter Weise kann ein bevorzugter elektrischer Kontakt zwischen dem Tester und dem Elektrodenabschnitt nicht erreicht werden.
  • Eine weitere Verbindungsvorrichtung verwendet Tester, die ein plattenartiges elastisches Stützelement aufweisen, sowie einen Vorderabschnitt mit einem elliptischen Querschnitt ( EP 0 407 131 A2 ). Der Vorderabschnitt ist so ausgelegt, daß er gebogen wird, wenn ein Anschluß eines elektrischen Teils von beispielsweise einem IC mittels eines Pressers auf den Vorderabschnitt gedrückt wird. Zudem kann auch das plattenartige elastische Stützelement gebogen werden. Allerdings tritt während des Biegens des Vorderabschnitts kein Wischeffekt auf.
  • Ein ähnlicher von einer Verbindungsvorrichtung verwendeten Tester ist in JP-9-232481 offenbart. Der offenbarte Tester umfaßt ein elastisches Stützelement und einen Vorderabschnitt, der einen schwenkbaren Kontakt mit einem elliptischen Querschnitt umfaßt. Wenn ein Anschluß eines zu testenden Bauteils auf den Kontakt des Testers gedrückt wird, so führt der Kontakt eine Schwenkbewegung aus, die zu einem gleitenden Kontakt zwischen dem Anschluß und dem Kontakt führt, wodurch eine Wischwirkung auftritt.
  • Es existiert eine Hilfsvorrichtung zum Testen der elektrischen Eigenschaften eines ungepackten oder ungekapselten Halbleiterbauteils, insbesondere eines IC-Chips, der einen Tester verwendet, der in eine C-förmige Gestalt gebogen ist (japanische Patentanmeldung, Offenlegungsnummer 5-299483). Gemäß dieser konventionellen Hilfsvorrichtung ist allerdings, da jeder Tester nur durch seine eigene Federkraft in einem Sockel gehalten wird, der Tester instabil, und da beide Enden der C-förmigen Gestalt weiter gekrümmt werden müssen, werden die Tester kompliziert in ihrer Gestalt und teuer.
  • Demgemäß ist es in einer Verbindungsvorrichtung wichtig, die Form eines Testers zu vereinfachen, um die Stabilität des Testers zu verbessern, um ihn für einen Hochfrequenztest geeignet zu machen, und um seine Herstellung zu vereinfachen, obgleich eine effektive Abschabwirkung an dem Elektrodenabschnitt des zu inspizierenden Bauteils bewirkt wird.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die Verbindungsvorrichtung bzgl. der vorliegenden Erfindung, wie sie in den beigefügten Ansprüchen definiert ist, zum elastischen Verbinden mehrerer Elektrodenabschnitte eines zu testenden Bauteils mit mehreren auf einer Fläche einer Grundplatte ausgebildeten leitfähigen Abschnitte, wenn das zu testende Bauteil mittels eines Pressers auf die Grundplatte hin gedrückt wird, umfaßt mehrere Tester, sowie eine Montageeinrichtung, um die Tester parallel zueinander in die Grundplatte zu montieren. Jeder Tester umfaßt einen deformierten Abschnitt, einen Nadelabschnitt mit einem Spitzende oder einer Nadelspitze, die auf einen Elektrodenabschnitt eines zu inspizierenden plattenartigen Bauteils gepreßt wird, und einen Nadelrückabschnitt, der auf das andere Ende des deformierten Abschnitts folgt. Die Montageeinrichtung hat einen Nadelpresserabschnitt zum Pressen der Tester derart, daß wenigstens ein Teil der deformierten Abschnitte der Tester mit den leitenden Abschnitten der Grundplatte in Kontakt gebracht wird, und der sich in die Anordnungsrichtung der Tester erstreckt.
  • Obgleich er einen deformierten Abschnitt aufweist, ist der Tester einfach in seiner Gestalt im Vergleich zu konventionellen C-förmigen Testern und weniger kostspielig. Die Tester werden durch den Nadelpresserabschnitt wenigstens an einem Teil des deformierten Abschnitts oder des Nadelrückabschnitts gegen die leitenden Abschnitte der Grundplatte gepreßt und werden zwischen der Grundplatte und dem Nadelpresserabschnitt eingeklemmt, um in diesem Zustand gehalten zu werden, so daß die Tester stabilisiert werden, um eine Montage der Hilfsvorrichtung zu vereinfachen.
  • Jeder Tester, ähnlich dem konventionellen hebelförmigen Tester, wird an der Nadelspitze gegen den Elektrodenabschnitt des zu inspizierenden Bauteils gepreßt. Dadurch wird jeder Tester in einem Bereich zwischen dem mit den leitenden Abschnitten in Kontakt befindlichen Abschnitt und einem Abschnitt an der Seite des Spitzendes elastisch deformiert, und die Nadelspitze wird bzgl. des Elektrodenabschnitts verschoben. Im Ergebnis wird ein Teil des Films, wie beispielsweise ein am Elektrodenabschnitt existierender Oxidfilm, durch die Nadelspitze abgeschabt (oder abgekratzt), und der Tester und der Elektrodenabschnitt werden in einem bevorzugten elektrisch verbundenen Zustand gehalten. Auch bildet sich vom mit dem leitenden Abschnitt in Kontakt stehendem Abschnitt bis zur Nadelspitze eine effektive Fläche aus, so daß der Tester eine kleinere effektive Fläche hat, als der konventionelle Tester, um ein Lecken von elektrischen Signalen zwischen benachbarten Testern zu verringern und den Tester für einen Hochfrequenztest geeignet zu machen.
  • Wie oben erwähnt wird gemäß der vorliegenden Erfindung ein bevorzugter elektrischer Verbindungszustand zwischen dem Tester und dem Elektrodenabschnitt aufrechterhalten durch eine effektive Abschabwirkung, die zwischen der Nadelspitze und dem Elektrodenabschnitt erzeugt wird.
  • Auch ist der Tester im Vergleich zu einem C-förmigen Tester einfach in seiner Gestalt und kostengünstiger. Ferner wird die effektive Fläche des Testers kleiner und geeignet für einen Hochfrequenztest. Weiterhin wird der Tester stabil gehalten, wodurch die Herstellung der Hilfsvorrichtung vereinfacht wird.
  • Die Montageeinrichtung kann eine oder mehrere Abdeckungen umfassen, die in die Grundplatte montiert sind, sowie einen oder mehrere Nadelpresser, die in einer Aussparung aufgenommen werden, so daß sie sich in der Anordnungsrichtung der Tester erstrecken. Die Aussparung kann wenigstens an der Seite der Grundplatte geöffnet werden und der Nadelpresserabschnitt kann in dem Nadelpresser ausgebildet sein. Dadurch, daß jeder Tester durch Positionieren des deformierten Abschnitts jedes Testers in einer Kehle gehalten werden kann, wird die Herstellung der Hilfsvorrichtung vereinfacht, obschon die Tester in einem stabileren Zustand gehalten werden können.
  • Ferner kann die Abdeckung in Intervallen in der Anordnungsrichtung der Tester mehrere Kehlen aufweisen, wobei diese Kehlen in Richtung beider Seiten der Grundplatte und der Öffnung geöffnet sein können, wobei die Aussparung in Richtung der Kehlen geöffnet sein kann, und wobei wenigstens die deformierten Abschnitte der Tester in den Kehlen positioniert sein können.
  • Der Nadelpresserabschnitt kann so ausgelegt sein, daß er an dem innenseitigen Abschnitt von wenigstens dem deformierten Abschnitt des Testers anschlägt, indem er aus der Aussparung der Abdeckung zur Seite der Grundplatte hervorsteht. Auch kann die Querschnittsgestalt der Aussparung der Abdeckung bogenförmig oder rechteckig gemacht werden.
  • Der Nadelpresser kann zylindrisch ausgelegt werden, und wenigstens die äußere Umfangsfläche des Nadelpressers kann elektrisch isolierend ausgebildet werden. Auf diese Weise wird der Aufbau des Nadelpressers vereinfacht und ein elektrischer Kurzschluß zwischen den Testern aufgrund des Nadelpressers kann verhindert werden.
  • Der Nadelpresser kann einen Presserstab und eine elastische Materialschicht aufweisen, die aus einem isolierenden Material um den Presserstab herum ausgebildet ist. Auf diese Weise kann nicht nur ein elektrischer Kurzschluß zwischen den Testern durch den Nadelpresser verhindert werden, auch werden die Tester durch das elastische Material gegen die Grundplatte gepreßt, so daß die Tester in einem stabileren Zustand gehalten werden können.
  • Der Nadelrückabschnitt des Testers kann durch den Nadelpresser gegen die Innenfläche der Aussparung gepreßt werden. Dadurch können relative Verschiebungen in der Längsrichtung des Testers zwischen dem Nadelpresser und dem Tester sicher verhindert werden, so daß die Tester in einem stabileren Zustand gehalten werden können.
  • Der Tester kann derart geformt sein, daß er im Allgemeinen eine gekrümmte bogenförmige Gestalt oder eine im Allgemeinen gekrümmte U- oder J-förmige Gestalt aufweist. Auch kann der Nadelvorderabschnitt jedes Testers durch die Öffnung der Abdeckung hervorstehen.
  • Jeder Tester kann aus einem leitfähigen Material mit einer nicht-leitenden Materialschicht ausgebildet sein, die in der äußeren Umfangsfläche des Nadelrückabschnitts vorliegt. Dadurch kann ein elektrischer Kurzschluß in den Nadelrückabschnitten benachbarter Tester verhindert werden.
  • Allerdings kann jeder Tester aus einem nicht-leitenden Material mit einer leitenden Materialschicht ausgebildet werden, die in der äußeren Umfangsfläche des Nadelvorderabschnitts und des deformierten Abschnitts ausgebildet ist, oder der gesamte Nadelrückabschnitt jedes Testers kann aus einem nicht-leitenden Material ausgebildet werden, wobei die Nadelrückabschnitte aus zwei oder mehreren Testern integral aus einem nicht-leitenden Material ausgebildet sind.
  • Da in keinem der oben beschriebenen Testern der Nadelrückabschnitt Leitfähigkeit aufweist, wird nicht nur ein elektrischer Kurzschluß in den Nadelrückabschnitten benachbarter Tester verhindert, sondern es werden auch die Längenabmessungen des leitfähigen Abschnitts verkürzt. Als Ergebnis liegt kein Lecken eines elektrischen Signals im Nadelrückabschnitt vor, und daneben tritt auch ein Lecken eines elektrischen Signals zwischen benachbarten Testern weniger häufig auf als bei konventionellen Vorrichtungen, so daß die Frequenz eines für einen Hochfrequenztest verwendeten elektrischen Signals erhöht werden kann.
  • Es ist allerdings auch möglich, den gesamten Nadelrückabschnitt jedes Testes aus einem nicht-leitenden Material auszubilden und die Nadelrückabschnitte von zwei oder mehreren Testern integral aus einem nicht-leitenden Material auszubilden.
  • Die Nadelrückabschnitte von zwei oder mehreren Testern können mit einem nicht-leitenden Material integral ausgebildet werden und in der Aussparung aufgenommen werden. Dadurch wird es möglich, die aus den deformierten Abschnitten von zwei oder mehreren Testern, den Nadelvorderabschnitten und den integrierten Nadelrückabschnitten aufgebaute Nadelanordnung durch Herstellung aus einem Kunstharz auf einmal herzustellen, und diese auf einmal auf der Grundplatte zu montieren, wodurch die Herstellung der Nadelanordnung vereinfacht wird und wodurch auch Montagearbeiten der Vorrichtung vereinfacht werden, und konsequenter Weise die Herstellungsarbeiten der Vorrichtung.
  • Die Montageeinrichtung kann ferner einen Rückzugsverhinderungsabschnitt aufweisen, um zu verhindern, daß sich der Tester zurückzieht, und der Rückendabschnitt des Testers kann mit dem Rückzugsverhinderungsabschnitt verbunden sein. Dadurch zieht sich der Tester selbst dann nicht zurück, wenn der Tester einer übertriebenen Einwirkung ausgesetzt wird, sondern der Tester selbst würde auf sichere Weise elastisch deformiert, oder der Nadelrückabschnitt deformiert den Nadelpresser unter Kompression. Im Ergebnis bewirkt die Nadelspitze des Testers sicher und effizient eine Abschabwirkung auf dem Elektrodenabschnitt, wodurch der Tester und der Elektrodenabschnitt in einem bevorzugten Zustand elektrischer Verbindung gehalten werden.
  • Der Tester kann einen Außenabschnitt aufweisen, der sich in einer bogenförmigen Gestalt erstreckt, und der mit dem leitenden Abschnitt in Kontakt kommt, wenn wenigstens der Elektrodenabschnitt gegen die Nadelspitze gepreßt wird. Je größer die Preßkraft durch das zu inspizierende Bauteil wird, desto mehr verlagert sich der Kontaktabschnitt des Außenabschnitts mit dem leitenden Abschnitt in Richtung der Seite der Nadelspitze.
  • Die Montageeinrichtung kann eine oder mehrere Abdeckungen aufweisen, sowie einen oder mehrere Nadelpresser mit einem Nadelpresserabschnitt, wobei die Abdeckung in die Grundplatte montiert ist und eine Aussparung aufweist, die sich in die Anordnungsrichtung der Tester sowie des Rückzugsverhinderungsabschnitts erstreckt, und die sich auf der Seite der Grundplatte öffnet. Da sich der Nadelpresser bezüglich der Abdeckung nicht verschiebt, wird der Tester deshalb stabiler und eine Montagearbeit wird vereinfacht.
  • Die Abdeckung ist ferner in Intervallen in der Längsrichtung des Nadelpressers mit mehreren Schlitzen versehen, die auf den Seiten der Grundplatte und des zu inspizierenden Bauteils offen sind und die mit der Aussparung zusammenwirken, so daß der Nadelvorderabschnitt jedes Testers durch den Schlitz hindurchtritt, so daß die Nadelspitze aus dem Schlitz hervorsteht. Da die Position des Nadelvorderabschnitts in der Anordnungsrichtung der Tester durch den Schlitz reguliert wird, wird der Tester deshalb stabiler und Montagearbeiten werden vereinfacht.
  • Stattdessen kann die Abdeckung auch mehrere der Schlitze aufweisen, die auf der Seite der Grundplatte offen sind und mit der Aussparung zusammenwirken und in Intervallen in der Längsrichtung des Nadelpressers platziert sind. Ein Teil des deformierten Abschnitts jedes Testers kann in dem Schlitz positioniert werden. Da die Positionen der Tester in der Anordnungsrichtung der Tester durch die Schlitze reguliert werden, kann dadurch der Tester auch stabiler werden und die Montagearbeit vereinfacht werden.
  • Der Rückzugsverhinderungsabschnitt kann die Innenfläche der Aussparung oder die Endfläche des Schlitzes umfassen. In diesem Fall kann der Tester die Rückendfläche umfassen, die mit dem Rückzugsverhinderungsabschnitt in Kontakt ist. Allerdings kann der zur Ausbildung des Rückzugsverhinderungsabschnitts in der Abdeckung eingerichtete Stopper in der Montageeinrichtung vorgesehen sein.
  • In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist der Tester wenigstens am deformierten Abschnitt in eine bogenförmigen Gestalt gekrümmt.
  • Die beigefügten Zeichnungen sind vorgesehen, um ein besseres Verständnis der Erfindung zu ermöglichen, sind in diese Spezifikation eingegliedert und stellen einen Teil dieser dar, um die Ausführungsbeispiele der Erfindung zusammen mit der Beschreibung zu illustrieren, um die Prinzipien der Erfindung zu erklären.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine Draufsicht, die ein erstes Ausführungsbeispiel einer Verbindungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 2 ist eine Querschnittsansicht entlang der Linie 2-2 aus 1.
  • 3 ist eine Untenansicht eines Teils der in 1 gezeigten Verbindungsvorrichtung, wobei die Grundplatte entfernt ist.
  • 4 ist eine Querschnittsansicht entlang der Linie 4-4 aus 1.
  • 5 ist eine Querschnittsansicht zur Erklärung eines Zustands eines Testers wenn ein zu inspizierendes Bauteil in die Verbindungsvorrichtung eingesetzt ist.
  • 6 ist eine Querschnittsansicht zur Erklärung eines Zustands eines Testers, wenn ein zu inspizierendes Bauteil gegen den Tester gepreßt wird.
  • 7 sind Ansichten, die das erste Ausführungsbeispiel des Testers zeigen, der in der in 1 gezeigten Verbindungsvorrichtung verwendet wird, wobei (A) ein vorderer Aufriß und (B) eine linksseitige Ansicht ist.
  • 8 sind Ansichten, die ein zweites Ausführungsbeispiel des Testers zeigen, der in der in 1 gezeigten Verbindungsvorrichtung verwendet wird, wobei (A) ein vorderer Aufriß ist und (B) eine linksseitige Ansicht ist.
  • 9 ist eine Querschnittsansicht, die einen Teil des zweiten Ausführungsbeispiels der Verbindungsvorrichtung zeigt.
  • 10 ist eine Querschnittsansicht, die einen Teil eines dritten Ausführungsbeispiels der Verbindungsvorrichtung zeigt.
  • 11 ist eine Ansicht, die einen Teil eines dritten Ausführungsbeispiels des Testers zeigt, der in der in 1 gezeigten Verbindungsvorrichtung verwendet wird.
  • 12 ist eine Querschnittsansicht, die einen Teil eines vierten Ausführungsbeispiels der Verbindungsvorrichtung zeigt.
  • 13 ist eine Querschnittsansicht, die einen Teil eines fünften Ausführungsbeispiels der Verbindungsvorrichtung zeigt.
  • 14 sind Ansichten, die ein Ausführungsbeispiel des Testers zeigen, der in der in 13 gezeigten Verbindungsvorrichtung verwendet wird, wobei (A) eine Draufsicht, (B) ein vorderer Aufriß ist, und (C) eine rechtsseitige Ansicht ist.
  • 15 sind Ansichten, die ein weiteres Ausführungsbeispiel des Testers zeigen, der in der in 13 gezeigten Verbindungsvorrichtung verwendet wird, wobei (A) eine Draufsicht ist, (B) ein vorderer Aufriß ist, und (C) eine rechtsseitige Ansicht ist.
  • 16 ist eine Querschnittsansicht, die einen Teil eines sechsten Ausführungsbeispiels der Verbindungsvorrichtung zeigt.
  • 17 sind Ansichten, die ein Ausführungsbeispiel des Testers zeigen, der in der in 16 gezeigten Verbindungsvorrichtung verwendet wird, wobei (A) eine Draufsicht ist, (B) ein vorderer Aufriß ist, und (C) eine rechtsseitige Ansicht ist.
  • 18 sind Ansichten, die ein weiteres Ausführungsbeispiel des Testers zeigen, der in der in 16 gezeigten Verbindungsvorrichtung verwendet wird, wobei (A) eine Draufsicht ist, (B) ein vorderer Aufriß ist, und (C) eine rechtsseitige Ansicht ist.
  • 19 ist eine Querschnittsansicht, die einen Teil eines siebten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 20 ist eine Querschnittsansicht, die einen Teil eines achten Ausführungsbeispiels der Verbindungsvorrichtung zeigt.
  • 21 ist eine Ansicht entlang der Linie 21-21 aus 20.
  • 22 ist eine Ansicht entlang der Linie 22-22 aus 20.
  • 23 und 24 sind Ansichten, welche die Deformierung der Verbindungsvorrichtung zeigen.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
  • Bezugnehmend auf die 1 bis 6 wird eine Verbindungsvorrichtung 10 als eine Hilfsvorrichtung zum Testen oder Inspizieren eines zu testenden plattenartigen Bauteils 12 verwendet. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist das Bauteil 12 ein Halbleiterbauteil wie beispielsweise eine gepackte oder gekapselte integrierte Schaltung, aber die vorliegende Erfindung kann auch bei einer Verbindungsvorrichtung zum Testen anderer plattenartiger Bauteile verwendet werden, wie beispielsweise eines LCD-Paneels (LCD = Flüssigkristallanzeige).
  • Das Bauteil 12 umfaßt einen Grundabschnitt 14, der in einer rechteckigen flachen Gestalt gepackt oder gekapselt ist, sowie mehrere Anschlüsse, zum Beispiel Elektrodenabschnitte 16, die aus einem Bereich hervorstehen, der den jeweiligen Seiten des Rechtecks entspricht. Die Elektrodenabschnitte 16 sind aufgeteilt in mehrere Elektrodengruppen, die den jeweiligen Seiten des Rechtecks entsprechen, und die Anschlüsse jeder Elektrodenabschnittsgruppe liegen nebeneinander.
  • Die Hilfsvorrichtung, d.h. die Verbindungsvorrichtung 10, umfaßt eine Grundplatte 20, mehrere Kontakte, d.h. Tester 22, mehrere Nadelpresser 24 zum Pressen der Tester 22 gegen die Grundplatte 20, sowie eine plattenförmige Abdeckung 26 zum Montieren der Nadelpresse 24 in die Grundplatte 20.
  • Die Grundplatte 20 ist eine Leiterplattenplatine mit einem mittels einer Leitungsplattendrucktechnik auf einem isolierenden Material ausgebildeten Leitungsstruktur auf einer Oberfläche, und weist mehrere bandförmige gedruckte leitende oder Verdrahtungsabschnitte 28 auf einer Oberfläche auf, die jeweils den Testern 22 entsprechen. Jeder leitfähige Abschnitt 28 ist ein Teil der Leitungsstruktur. Die leifähigen Abschnitte 28 sind in mehrere Leitungsabschnittsgruppen aufgeteilt, die den jeweiligen Seiten des Rechtecks der Grundplatte 14 des Bauteils 12 entsprechen, und die leitenden Abschnitte in jeder Gruppe liegen nebeneinander.
  • Jeder Tester 22 ist, wie in 7 gezeigt, in Gestalt einer elastischen nicht-leitenden dünnen Leitung ausgebildet und ist wie ein halbkreisförmiger Bogen über die gesamte Fläche von einem konischen Nadelvorderabschnitt 30 bis zu einem Nadelrückabschnitt 32 gekrümmt durch einen bogenförmigen Nadelgrundabschnitt, d.h., deformierten Abschnitt 31.
  • Jeder Tester 22 hat einen leitenden Mantel, der in anderen Bereichen als dem Nadelrückabschnitt in der Fläche ausgebildet ist, der in den 7A, 7B und 7C durch das Bezugszeichen 32 bezeichnet ist, d.h. in den gesamten Außenflächen des Nadelvorderabschnitts 30 und dem gekrümmten Abschnitt, d.h. dem deformierten Abschnitt 31. Dabei weist der Abschnitt vor dem mit dem leitfähigen Abschnitt 28 in Verbindung stehenden Abschnitt eine Leitfähigkeit auf, wogegen der Nadelrückabschnitt 32 nicht leitfähig ist. Obgleich als leitfähiger Tester wirkend gibt es deshalb kein Lecken eines zu testenden elektrischen Signals in den Nadelrückabschnitt 32, insbesondere kein Lecken eines elektrischen Signals zwischen benachbarten Testern.
  • Allerdings kann jeder Tester 22 einen Kern aufweisen, der aus einer leitfähigen dünnen Leitung besteht, vorzugsweise in Gestalt einer metallischen dünnen Leitung, mit einer in dem Nadelrückabschnitt 32 am Kern ausgebildeten nicht-leitenden Mantelung. Der Tester 22 kann aus einer dünnen Leitung aus Metall, Keramik, Kunstharz oder dergleichen ausgebildet sein, sowie mittels eines Verfahrens, wie beispielsweise einer Drucktechnik, einer Ätztechnik und dergleichen, unter Verwendung derartiger Materialien.
  • Jeder Tester 22 weist in den in den 1 bis 7 gezeigten Beispielen eine kreisförmige Querschnittsgestalt auf. Ferner ist der Tester 22 eine sogenannte Meißel-Typ-Nadel mit einer Nadelspitze, d.h. einem Spitzende, das sich unter einem rechten Winkeln zur gekrümmten Fläche des Testers 22 erstreckt.
  • Jeder Tester 22 kann allerdings, wie der in 8 gezeigte Tester 50, eine Ax-Typ-Nadel sein, deren Spitzende sich parallel zur gekrümmten Fläche des Testers 22 erstreckt, oder von einer Gestalt mit einem konischen oder pyramidalen Nadelvorderabschnitt. Die Querschnittsgestalt des Testers kann entweder kreisförmig oder rechteckig sein.
  • Die Tester 22 sind in mehrere Testergruppen aufgeteilt, die jeweils einer Seite des Rechtecks des Grundabschnitts 14 des zu inspizierenden Bauteils 12 entsprechen. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel weist das Bauteil 12 mehrere Elektrodenabschnitte an jeder der vier Seiten des Rechtecks auf und die Tester 22 sind in vier Testergruppen aufgeteilt. Aus denselben Gründen sind in dem dargestellten Ausführungsbeispiel vier Nadelpresser 24 vorgesehen.
  • Jeder Nadelpresser 24 ist zylindrisch ausgestaltet durch einen zylindrischen Presserstab 34 und eine isolierende elastische Materialschicht 36, die an der äußeren Umfangsfläche des Presserstabs 34 ausgebildet ist. Der Presserstab 34 kann ein leitfähiges oder ein nicht-leitfähiges stabförmiges Bauteil sein. Eine isolierte Schicht, d.h. die elastische Materialschicht 36, kann eine aus einem Gummimaterial wie beispielsweise einem Silikongummi gebildete Röhre sein. Der Nadelpresser 24 kann allerdings wie ein Stab aus einem einzelnen Element ausgebildet sein, wie beispielsweise aus einem elastisch deformierbarem Gummi.
  • Die Abdeckung 26 umfaßt eine Öffnung 38, die im Zentrum ausgebildet ist, um das zu inspizierende Bauteil unterzubringen, sowie mehrere Schlitze 40, die außerhalb der Öffnung 38 ausgebildet sind, so daß sie sich bezüglich der Öffnung 38 nach außen erstrecken, sowie mehrere Aussparungen 42, die außerhalb der Öffnungen ausgebildet sind und sich kontinuierlich in die Anordnungsrichtung der Schlitze 40 erstrecken. Eine derartige Abdeckung 26 kann aus einem nicht leitfähigen Material ausgebildet sein.
  • Die Öffnung 38 weist eine zum Bauteil 12 analoge rechteckige Gestalt auf, wobei ihre entsprechenden Eckabschnitte bogenförmig ausgebildet sind. Der obere Abschnitt der Öffnung 38 läuft nach unten hin konisch zu durch eine geneigte Ebene 38a, die von außen in Richtung zum Zentrum gerichtet ist. Jeder Eckenabschnitt der Öffnung 38 ist eine bogenförmige Ebene.
  • Der Schlitz 40 ist ein Schlitz zum Unterbringen von wenigstens dem deformierten Abschnitt 31 und dem Nadelrückabschnitt 32 des Testers 22. Demgemäß sind in dem dargestellten Ausführungsbeispiel genauso viele Schlitze vorgesehen, wie Tester 22. Die Schlitze 40 sind in mehrere Schlitzgruppen aufgeteilt, entsprechend jeder Seite des Rechtecks, das die Öffnung 38 bildet, und die Schlitze in jeder Gruppe liegen nebeneinander. Jeder Schlitz 40 ist auf der Seite der Grundplatte 20 offen, d.h. nach unten und an der Öffnung 38.
  • Benachbarte Schlitze 40 werden durch Trennwände 44 voneinander getrennt. Die Trennwände 44 sind in dem dargestellten Ausführungsbeispiel vorgesehen um die rückwärtige Hälfte des Schlitzes 40 aufzuteilen, und dadurch sind benachbarte Schlitze 40 im Bereich der Öffnung 38 durchgängig. Allerdings können die Trennwände 44 so ausgelegt sein, daß sie die gesamten Schlitze 40 trennen.
  • Die Aussparungen 42 entsprechen den jeweiligen Seiten des Rechtecks, das die Öffnung 38 bildet, und sie erstrecken sich entlang der entsprechenden Seite. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel sind vier Aussparungen 42 vorgesehen. Jede Aussparung 42 ist eine halbkreisförmige Kehle, die den Nadelpresser 24 unterbringt und an der Schlitzbodenfläche des entsprechenden Schlitzes 40 offen ist. Die Kehlenunterfläche jeder Aussparung 42 weist nach oben hin einen konvexen Querschnitt auf.
  • Die Verbindungsvorrichtung 10 kann montiert werden durch Positionieren jedes Nadelpressers 24 in der Aussparung 42, jedes Testers 22 in dem Schlitz 40 derart, daß dessen rückwärtiges Ende in Kontakt ist mit der tiefen Bodenfläche (in dem dargestellten Ausführungsbeispiel die obere Fläche), wobei in diesem Zustand eine Überlappung mit dem Tester 22, dem Nadelpresser 20 und der Abdeckung 26 auf der Grundplatte 20 auftritt, sowie durch Befestigen der Abdeckung 26 an der Grundplatte 20 mit mehreren Schraubelementen 46, wie beispielsweise Bolzen.
  • Jedes Schraubelement 46 dringt in die Abdeckung in ihrer Dickenrichtung ein und wird in ein Schraubloch geschraubt, das in der Grundplatte 20 ausgebildet ist. Dadurch wird der Tester 22 durch den Nadelpresser 24 in einem Bereich des bogenförmig gekrümmten Abschnitts 31 gegen den leitenden Abschnitt 28 der Grundplatte 20 gepreßt und in einem Zustand gehalten, in dem er zwischen der Grundplatte 20 und dem Nadelpresser 24 eingeklemmt ist.
  • In dem dargestellten Ausführungsbeispiel wirken der Nadelpresser 24, die Abdeckung 26 und das Schraubelement 46 als eine Montageeinrichtung zum Montieren der Tester 22 parallel in der Grundplatte 20. Da auch die Unterhälften-Abschnitte der Nadelpresser 24 in einer bogenförmigen Gestalt aus der Aussparung 42 zur Seite der Grundplatte 20 hervorstehen und sich in der Anordnungsrichtung der Tester 22 erstrecken, wirken diese ferner als ein Nadelpresserabschnitt in Kontakt mit der Innenseite des gekrümmten Abschnitts des Testers 22, um den Tester 22 gegen die Grundplatte 20 zu pressen.
  • Dadurch, daß die Tester 22 in den Schlitzen 40 so positioniert werden, daß die Nadelvorderabschnitte 30 nach oben in die Öffnung 38 hervorstehen, und dadurch, daß die Tester 22 nur durch die Nadelpresser 24 mit der Grundplatte 20 in Kontakt gebracht werden, können die Tester 22 in jeder Testergruppe korrekt aneinander gereiht werden. Deshalb ist die Herstellung der Verbindungsvorrichtung 10 einfach.
  • Da wenigstens der Nadelrückabschnitt 32 des Testers im Zustand der Montage in die Verbindungsvorrichtung 10 in einem Bereich aufgenommen wird, der durch die Trennwand 44 getrennt wird, und durch die aus einem isolierenden Material bestehende elastische Materialschicht 36 gegen die Grundplatte 20 gepreßt wird, wird der Tester 22 durch den Schlitz 40 und den Nadelpresser 24 in einem stabileren Zustand gehalten, um auf sichere Weise zu verhindern, daß er in elektrischen Kontakt mit dem benachbarten Tester gerät.
  • In einem montierten Zustand wird jeder Tester 22 an einer bogenförmigen Außenfläche des deformierten Abschnitts 31 gegen den leitfähigen Abschnitt 28 gepreßt, wo keine isolierende Schicht 32 existiert, so daß der Bereich des Grundabschnitts 31 der bogenförmigen Nadel als der deformierte Abschnitt wirkt.
  • Da jeder Tester 22 an einem Bereich gegen den leitenden Abschnitt 28 gepreßt wird, wo keine isolierende Schicht 32 existiert, ist die effektive Fläche des Testers 22 jene vom Abschnitt des Testers 22, der sich mit dem leitenden Abschnitt 28 in Kontakt befindet, bis zur Nadelspitze, und ist kleiner als bei der konventionellen Verbindungsvorrichtung. Da ferner, wie in 5 gezeigt, die elastische Materialschicht 36 gegen die Grundplatte 20, die Abdeckung 26 und den Presserstab 34 gepreßt wird, um deformiert zu werden, wird jeder Tester 22 fest gehalten. Der Presserstab 34 und die elastische Materialschicht 36 können im voraus exzentrisch zueinander gemacht werden oder können im Montagezustand exzentrisch zueinander gemacht werden.
  • Beim Inspizieren wird das Bauteil 12 von oben in die Öffnung 38 gesetzt. Dabei ist, falls die Position des Bauteils 12 bezüglich der Verbindungsvorrichtung 10 abweicht, das Bauteil 12 in Kontakt mit der geneigten Ebene 38a und wird durch die geneigte Fläche 38a zum Zentrum der Öffnung 38 geleitet. Dadurch wird das Bauteil 12, wie in 5 gezeigt, in der Verbindungsvorrichtung 10 in einem Zustand untergebracht, bei dem der Elektrodenabschnitt 16 in Kontakt mit der Nadelspitze des Testers 22 kommt.
  • Wenn das in die Verbindungsvorrichtung 10 gesetzte Bauteil 12 mittels eines Pressers 48 heruntergedrückt wird, wird jeder Tester 22 unter einer übertriebenen Einwirkung deformiert, wie es in 6 gezeigt ist. Dabei wirkt eine Kraft zum Zurückziehen des Testers entlang der bogenförmigen Außenfläche des deformierten Abschnitts 31 auf den Tester 22.
  • Das rückwärtige Ende jedes Testers 22 ist allerdings in direktem Kontakt mit der Endfläche 40a des Schlitzes 40, so daß jeder Tester 22 sich nicht in der Umfangsrichtung des Nadelpressers 24 bewegt (zurückzieht).
  • Wenn allerdings der Tester 22 und das Bauteil 12 gedrückt werden, wird jeder Tester 22 in einem Bereich vom mit dem leitfähigen Abschnitt 28 in Kontakt befindlichen Abschnitt bis zur Nadelspitzenseite elastisch deformiert, so daß der Radius vergrößert wird, ohne daß der Tester in der Umfangsrichtung (Krümmungsrichtung des deformierten Abschnitts 31) des Nadelpressers 24 zurückgezogen wird, und so daß die elastische Materialschicht 36 elastisch zu deformiert wird, um unter Kompression zu deformieren.
  • Dabei verschiebt sich die Nadelspitze jedes Testers 22 bezüglich des Elektrodenabschnitts 16, wodurch eine Abschabwirkung (oder Abkratzwirkung) bewirkt wird, um einen Teil des Films zu entfernen, der an der Oberfläche der Elektrode 16 existiert. Auch deformiert in jedem Tester 22 ein Teil von dessen rückwärtigem Ende die elastische Materialschicht 36 zu einer Beule, wodurch verhindert wird, daß der Nadelvorderabschnitt 30 in die axiale Richtung des Nadelpressers 24 fällt.
  • Wie in 6 gezeigt, verlagert sich der Abschnitt des Testers 22, der in Kontakt mit dem leitfähigen Abschnitt 28 ist, in Richtung der Seite der Nadelspitze, wenn der Tester 22 elastisch deformiert wird. Da die elastische Materialschicht 36 durch das rückwärtige Ende des Testers eingebeult wurde, tendiert ferner das rückwärtige Ende des Testers 22 dazu, von der Innenfläche der Aussparung 40 beabstandet zu sein. Allerdings wird der Tester 22 durch die rückführende Kraft des Nadelpressers 24 zurückgedrückt und gleitet leicht gegen den leitfähigen Abschnitt 28.
  • Da dieses Gleiten eine Bewegung des Testers 22 ist, bei der er seine Lage unter Beibehaltung des Kontakts mit der Innenfläche 40a verändert (also nicht eine Bewegung des Testers 22, bei der er sich entlang des Umfangs des Nadelpressers 24 zurückzuzieht), wird eine elastische Deformierung des Testers 22, bei welcher der Krümmungsradius zunimmt, nicht durch das Gleiten, wie z.B. das oben beschriebene, beeinflußt. Deshalb wird der Tester 22 sicher elastisch deformiert.
  • Gemäß der Verbindungsvorrichtung 10 ist nicht nur der Tester einfach in seiner Gestalt und kostengünstig, wie oben erwähnt wurde, sondern auch die effektive Fläche des Testers 22 ist klein, so daß er für einen Hochfrequenztest geeignet ist. Und da der Tester stabil gehalten wird, ist es einfach, die Verbindungsvorrichtung herzustellen. Auch wird das Bauteil 12 in einem natürlichen und korrekten Zustand in der Verbindungsvorrichtung 10 platziert, der Elektrodenabschnitt 16 des Bauteils 12 wird sicher mit der Nadelspitze in Kontakt gebracht, und außerdem ergibt die elastische Deformation ohne Zurückziehen auf effiziente Weise eine Abschabwirkung auf dem Elektrodenabschnitt 16. Ferner ist der Aufbau des Nadelpressers 24 einfach und ein elektrischer Kurzschluß zwischen den Testern 22 kann sicher verhindert werden.
  • Bezugnehmend auf 9 ist ein Tester 52 am Nadelrückabschnitt 32 nach oben gebogen mit einer isolierenden Schicht, im Nadelrückabschnitt 32 nach oben gebogen und bildet eine J-förmige Gestalt, die in den Nadelpresser 24 eingeführt wird, und wird an dem bogenförmigen rückwärtigen Endabschnitt seines deformierten Abschnitts 31 gegen den leitfähigen Abschnitt 28 gepreßt. Da auch bei diesem Ausführungsbeispiel verhindert wird, daß der Nadelrückabschnitt 32 sich bezüglich dem Nadelpresser 24 bewegt, verlagert sich der Bereich des Testers 52, der sich mit dem leitfähigen Abschnitt in Kontakt befindet, in Richtung der Nadelspitze, bewegt sich aber nicht in dessen Umfangsrichtung um den Nadelpresser 24.
  • Das heißt, wenn der Tester 52 durch das zu inspizierende Bauteil nach unten gepreßt wird, wirkt eine Kraft auf den Tester 52, die den Tester 52 entlang der Außenfläche des deformierten Abschnitts 31 zurückzieht. Da der rückwärtige Endabschnitt in den Nagelpresser 24 eingeführt ist, wird allerdings der Tester 52 elastisch deformiert, so daß der Krümmungsradius des deformierten Abschnitts 31 vergrößert wird, ohne daß sich der Tester in der Umfangsrichtung des Nadelpressers 24 zurückzieht. Im Ergebnis wird selbst bei Benutzung des Testers 52 ein Wirkungseffekt erzielt, der demjenigen des Falles der Verwendung des Testers 22 ähnlich ist.
  • Bezugnehmend auf 10 schlägt das rückwärtige Ende eines Testers 54 (insbesondere dessen rückwärtige Endfläche) gegen einen Stopper 56, der aus einer Blattfeder gebildet ist, um ein Zurückziehen zu verhindern. Der Stopper 56 ist in jeder Testergruppe vorgesehen und ist mit mehreren Schraubelementen 58 an der Abdeckung 26 befestigt. Der Stopper 56 kann aus einem isolierenden Plattenmaterial ausgebildet sein, kann aber auch ein leitendes Plattenmaterial mit einer auf dessen Oberfläche ausgebildeten Isolationsschicht sein, und kann auch ein leitendes Plattenmaterial sein, falls das rückwärtige Ende jedes Testers nicht-leitend ist.
  • Auch bewegt sich gemäß des in 10 gezeigten Ausführungsbeispiels der Tester 54, dadurch, daß sein rückwärtiges Ende am Stopper 56 anschlägt und damit eine Rückwärtsbewegung bezüglich des Nadelpressers 24 verhindert wird, nicht um den Nadelpresser 24 in dessen Umfangsrichtung. Wenn der Tester 54 durch das zu inspizierende Bauteil nach unten gedrückt wird, wird aus diesem Grund der Tester 54 elastisch deformiert, so daß der Krümmungsradius des deformierten Abschnitts 31 vergrößert wird. Als Ergebnis wird auch bei Verwendung des Testers 54 eine Wirkung und ein Effekt erzielt, der ähnlich jenem ist, der bei Verwendung des Testers 22 erzielt wird.
  • Bezugnehmend auf 11 weist ein Tester 60 konvexe Abschnitte 62 und einen konkaven Abschnitt 64 in dem Bereich auf, der mit dem leitfähigen Abschnitt 28 in Kontakt steht. Der Tester 60 wird am konvexen Abschnitt gegen den leitfähigen Abschnitt 22 gepreßt. Im Ergebnis wirkt im Falle des Testers 60 der Bereich mit den konvexen Abschnitten 62 als ein deformierter Abschnitt, d.h. als ein bogenförmig gekrümmter Abschnitt, der bezüglich des Nadelendabschnitts deformiert ist.
  • Gemäß des Testers 60 greifen die konvexen Abschnitte 62 mit dem leitfähigen Abschnitt 28 zusammen, so daß aufgrund des Zusammengreifens der konvexen Abschnitte 62 mit dem leitfähigen Abschnitt 28 die Bewegung des Testers 60 bezüglich des Nadelpressers 24 bewirkt, daß das rückwärtige Ende des Testers 60 an der Endfläche des Schlitzes, an der Innenfläche der Aussparung oder am Stopper anschlägt, wie der oben erwähnte Tester, und sicherer verhindert wird. Im Ergebnis wird die elektrische Verbindung zwischen dem leitfähigen Abschnitt 28 und den jeweiligen Testern 60 sicherer gewährleistet.
  • In jedem der oben erwähnten Ausführungsbeispiele ist es möglich, einen halbzylindrischen Nadelpresser statt des Nadelpressers 24 zu verwenden, wobei ein Teil des zylindrischen Abschnitts als der konvexe Abschnitt verwendet wird, oder ein rechteckiges stangenförmiges Element mit einem halbzylindrischen konvexen Abschnitt auf einer Oberfläche als Nadelpresser zu verwenden. Auch kann der Nadelpresser ein lediglich nicht-leitender Stab sein, der kein elastisches Material verwendet, solange der Nadelpresser zumindest an seinen Außenflächen nicht-leitend ist.
  • Bezugnehmend auf 12 verwendet eine Hilfsvorrichtung 70 einen näherungsweise U-förmigen Tester 72. Der Tester 72 ist derart ausgebildet, daß er näherungsweise U-förmig ist durch einen Nadelvorderabschnitt 74, einen Nadelgrundabschnitt, d.h. einen bogenförmig deformierten Abschnitt 76, und einen Nadelrückabschnitt 78. Der Nadelvorderabschnitt 74 und der Nadelrückabschnitt 78 erstrecken sich ungefähr parallel zueinander geradlinig nach oben bezüglich dem vorderen Ende und dem rückwärtigen Ende des deformierten Abschnitts 76. Der Nadelvorderabschnitt 74 und der deformierte Abschnitt 76 sind zumindest an ihren äußeren Umfangsflächen leitend ausgelegt.
  • Der deformierte Abschnitt 76 erstreckt sich von der Seite seines rückwärtigen Endes in Richtung der Seite des Nadelvorderabschnitts 74 diagonal nach oben und gekrümmt in einer konvexen Form mit einem großen Krümmungsradius diagonal nach unten. Der Nadelrückabschnitt 78 kann leitend oder nicht-leitend sein. Der Nadelrückabschnitt 78 hat eine größere Querschnittsgestalt als der Nadelvorderabschnitt und der deformierte Abschnitt 76. Der Tester 72 hat entweder eine kreisförmige oder eine rechteckige Querschnittsgestalt. Aus diesem Grund hat der Tester 72 entweder die Gestalt einer dünnen Leitung oder eines Streifens.
  • Eine Abdeckung 80 der Verbindungsvorrichtung 70 umfaßt eine Öffnung 38, die im Zentrum ausgebildet ist, um das Bauteil 12 unterzubringen, mehrere Schlitze 82, die sich von der Öffnung 38 nach außen und parallel zueinander erstrecken, und mehrere Aussparungen 84, die außerhalb der Öffnung 38 gebildet sind, um die sich durchgängig in der Anordnungsrichtung der Schlitze 82 erstrecken. Solch eine Abdeckung 80 kann aus einem nicht-leitenden Material ausgebildet sein. Die Öffnung 38 ist die gleiche, wie die Öffnung 38 der Abdeckung 26 der Hilfsvorrichtung 10. Deshalb ist der obere Bereich der Öffnung 38 so ausgelegt, daß er eine geneigte Fläche 38a ist.
  • Die Schlitze 82 sind Kehlen, die einen Teil von wenigstens dem deformierten Abschnitt 76 des Testers 72 unterzubringen, und demgemäß ist die Anzahl der vorgesehenen Schlitze 82 die gleiche, wie die der Tester 72 in dem dargestellten Ausführungsbeispiel. Die Schlitze 82 sind in mehrere Schlitzgruppen aufgeteilt, die den jeweiligen Seiten des Rechtecks entsprechen, das die Öffnung 38 bildet, und sind in jeder Schlitzgruppe parallel ausgebildet. Jeder Schlitz 82 hat eine Öffnung an der Seite der Grundplatte 20, d.h. nach unten und auf der Seite der Öffnung 38 des oberen Abschnitts des Spitzendes.
  • Benachbarte Schlitze 82 werden durch eine Trennwand 86 getrennt. Die Endbereiche von benachbarten Trennwänden 86 auf der Seite der Öffnung 38 sind mittels eines Wandabschnitts 88 verbunden, der die entsprechenden Endabschnitte der Schlitze 82 schließt. Es ist allerdings auch möglich, die Endbereiche nicht an der Seite der Öffnung 38 von benachbarten Trennwänden 86 zu verbinden, sondern die entsprechenden Endbereiche der Schlitze 82 offen zu lassen.
  • Die Aussparungen 84 entsprechen den jeweiligen Seiten des Rechtecks, das die Öffnung 38 bildet, und erstrecken sich durchgängig entlang den entsprechenden Seiten. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel sind vier Aussparungen 84 vorgesehen. Jede Aussparung 84 ist eine Kehle mit einem rechteckigen Querschnitt, die einen Nadelpresser 90 unterbringt, und ist an den Seiten des rückwärtigen Endes der Grundplatte 20 des entsprechenden Schlitzes 82 offen. Jede Aussparung 84 hat einen rechteckigen Querschnitt.
  • Jeder Nadelpresser 90 ist in einer rechteckigen Querschnittsgestalt aus einem elastischen Material wie beispielsweise Gummi ausgebildet und ist in die Aussparung 84 eingepaßt. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel hat der Nadelpresser 90 eine Kehle, die mit dem Schlitz 82 zusammenwirkt, um einen Teil des deformierten Abschnitts 76 und den Nadelrückabschnitt 78 des Testers 72 aufzunehmen. Solch eine Kehle kann allerdings auch in der Abdeckung 80 ausgebildet werden, muß aber weder in der Abdeckung 80 noch in dem Nadelpresser 90 ausgebildet werden, abhängig von der Gestalt und den Abmessungen des Testers.
  • Die Verbindungsvorrichtung 70 kann montiert werden durch Positionieren jedes Nadelpressers 90 in der Aussparung 84, Positionieren jedes Testers 72 derart, daß der deformierte Abschnitt 76 des Testers 72 in den Schlitz 82 und der Nadelendabschnitt 78 in die Aussparung 84 gelangt, wobei sich der Tester 72 , der Nadelpresser 90 und die Abdeckung 80 auf der Grundplatte 20 in diesem Zustand überlappen, sowie durch Montieren der Abdeckung 80 auf der Grundplatte 20 mit mehreren Schraubelementen, wie beispielsweise Bolzen in diesem Zustand.
  • Beim Zustand der Montage in die Verbindungsvorrichtung 70 wird jeder Tester 72 durch den Nadelpresser 90 am rückwärtigen Endabschnitt des deformierten Abschnitts 76 gegen den Verdrahtungsabschnitt auf der Grundplatte 20 gepreßt. Auch erstreckt sich die Nadelspitze jedes Testers 72 vom Schlitz 82 nach oben in die Öffnung 38, der Nadelrückabschnitt 78 jedes Testers 72 wird durch den Nadelpresser 90 gegen die Innenwandfläche gepreßt, die den Schlitz 82 bildet, und die rückwärtige Endfläche jedes Testers 72 wird vom Nadelpresser 90 aufgenommen. Im Ergebnis wird jeder Tester 72 an der rückwärtigen Endseite des deformierten Abschnitts 76 gegen die Grundplatte 20 gepreßt.
  • Wenn die Nadelspitze des Nadelvorderabschnitts 74 gegen den Elektrodenabschnitt 16 des Bauteils 12 gepreßt wird, wird der Tester 72 selbst elastisch deformiert und deformiert den Nadelpresser 90 derart, daß der Nadelvorderabschnitt 74 und der Nadelrückabschnitt 78 sich spreizen. Dadurch entfernt der Tester 72, der an seiner Nadelspitze eine Abschabwirkung auf den Elektrodenabschnitt 16 ausübt, einen Teil eines Films, wie beispielsweise einen auf der Oberfläche der Elektrode 16 existierenden Oxidfilm.
  • Die Kraft, die so gerichtet ist, daß sie den Tester 72 zurückzieht, ist die Kraft, die so gerichtet ist, daß sie den Tester 72 entlang der bogenförmigen Außenfläche des deformierten Abschnitts 76 verschiebt, aber ein Zurückziehen des Testers 72 wird verhindert, da dessen rückwärtige Endfläche über den Nadelpresser 90 indirekt mit der Innenfläche 84a der Aussparung 84 in Kontakt steht. Allerdings kann der Tester 72 durch den Nadelpresser 90 gegen die Grundplatte 20 gepreßt werden, indem die rückwärtige Endfläche des Testers 72 durch den Nadelpresser 90 indirekt in Kontakt gebracht wird mit der Innenfläche 84a der Aussparung 84.
  • Die Verbindungsvorrichtung 70 liefert nicht nur eine Wirkung und einen Effekt ähnlich der Verbindungsvorrichtung 10, sondern preßt auch durch den Nadelpresser 90 den Nadelrückabschnitt 78 gegen die Innenfläche der Aussparung 84, so daß der Tester 72 besser stabilisiert wird.
  • Bezugnehmend auf 13 verwendet eine Verbindungsvorrichtung 100 in der in den 1 bis 6 gezeigten Verbindungsvorrichtung 10 mehrere Tester 102 mit einer Gestalt, wie sie in 14 gezeigt ist, statt Tester zu verwenden, die sich einstückig vom Spitzende zum rückwärtigen Ende erstrecken, wie in der Hilfsvorrichtung 10.
  • Jeder Tester 102 ist aufgebaut aus einem Nadelvorderabschnitt 30, einem deformierten Abschnitt 31 und einem Nadelrückabschnitt 104, der am rückwärtigen Ende des deformierten Abschnitts 31 angefügt ist, und ist in einer bogenförmigen Gestalt gekrümmt mit der gleichen Krümmung über die gesamte Fläche vom vorderen Ende bis zum rückwärtigen Ende. Der Nadelrückabschnitt 104 ist aus einem isolierten Harzmaterial wie beispielsweise Kunstharzmaterial ausgebildet.
  • Der Spitzendenabschnitt des Nadelvorderabschnitts 30 jedes Testers 102 ist ein konischer Abschnitt, der in Richtung der Nadelspitze dünner wird und der Bereich auf der Rückseite der Nadelspitze ist ein stabförmiger Abschnitt mit einem kreisförmigen Querschnitt. Der rückwärtige Endabschnitt des deformierten Abschnitts 31 jedes Testers 102 hat eine Aussparung 106 auf der oberen Seite, um die Kraft beim Zusammenfügen mit dem Nadelendabschnitt 104 zu verstärken.
  • Die Innenseite des rückwärtigen Endes des deformierten Abschnitts 31 jedes Testers 102 wird vom Nadelrückabschnitt 104 bedeckt, während der äußere Bereich freigelegt ist, ohne daß er durch den Nadelrückabschnitt 104 abgedeckt wird. Solch ein Tester 102 kann hergestellt werden durch Verwendung eines isolierenden Materials, wie beispielsweise Kunstharz für den Nadelrückabschnitt 104. Die Endfläche des Testers 102 ist in direktem Kontakt mit der tiefen Bodenfläche, d.h. der Endfläche 40a des Schlitzes 40.
  • Die Verbindungsvorrichtung 100, die mehrere Tester 102 verwendet, kann wie in 13 gezeigt, auf gleiche Weise an der Verbindungsvorrichtung 10 montiert werden, abgesehen davon, daß der deformierte Abschnitt 31 jedes Testers 102 außerhalb des Bereichs gegen den Verdrahtungsabschnitt 28 gepreßt wird, der mit dem Nadelendabschnitt 104 zusammengefügt ist, wirkt ähnlich der Verbindungsvorrichtung 10 und liefert einen ähnlichen Effekt wie die Verbindungsvorrichtung 10.
  • In der Verbindungsvorrichtung 10 oder 100 können statt Verwendung mehrerer unabhängiger Tester 112 auch eine oder mehrere Nadelanordnungen 110 mit mehreren Testern verwendet werden, die an den Nadelrückabschnitten zusammengefügt sind, wie in 15 zu sehen ist.
  • Jeder in der Nadelanordnung 110 verwendete Tester 112 ist ähnlich ausgebildet wie der in 14 gezeigte Tester 102, mit dem Unterschied, daß er am rückwärtigen Ende des deformierten Abschnitts 31 mit dem rückwärtigen Endabschnitt 114 zusammengefügt ist, der den mehreren Testern 112 gemein ist.
  • Deshalb sind der Nadelvorderabschnitt 30 und der deformierte Abschnitt 31 des Testers 112 die gleichen wie jene des in 14 gezeigten Testers 102, und der deformierte Abschnitt 31 jedes Testers 112 hat einen Aussparungsabschnitt 106 als dessen obere Seite, um die Zusammenfügungskraft mit dem gemeinsamen Nadelrückabschnitt 114 zu verstärken. Der gemeinsame Nadelrückabschnitt 114 hat eine ausgedehnte Gestalt, die wie eine flache Rinne gekrümmt ist, die aus einem nicht-leitenden Material hergestellt ist, mit derselben Krümmung wie die Nadelvorderabschnitte 30 und die deformierten Abschnitte 31 der Tester 112.
  • Der gemeinsame Nadelrückabschnitt 114 kann in jeder Testergruppe der jeweiligen Seite des Rechtecks, das die Öffnung 38 der vorgenannten Abdeckung 26 bildet, gemeinsam sein, oder kann gemeinsam ausgebildet werden für jede zwei oder mehr Tester. Da benachbarte Tester 112 an den deformierten Abschnitten 31 mit dem gemeinsamen Nadelrückabschnitt 114 verbunden sind, umfaßt ferner die Abdeckung 26 der Verbindungsvorrichtung, die von der Testeranordnung 110 verwendet wird, weder den Schlitz 40 noch die Trennwand 44. Sie kann allerdings einen Schlitz zur Aufnahme lediglich des Nadelvorderabschnitts 30 und des deformierten Abschnitts 31 jedes Testers 112 umfassen.
  • Deshalb ist der Schlitz 40 ein durchgängiger gemeinsamer Schlitz. Es ist allerdings auch möglich, den Bereich, der lediglich den Nadelspitzabschnitt 30 und den deformierten Abschnitt 31 jedes Testers 112 aufnimmt, vom gemeinsamen Schlitz 40 durch die Trennwand zu separieren.
  • Während das Innere des rückwärtigen Endabschnitts jedes deformierten Abschnitts 31 mit dem gemeinsamen Nadelrückabschnitt 114 bedeckt ist, ist dessen Außenseite nicht mit dem gemeinsamen Nadelrückabschnitt 114 bedeckt, sondern freigelegt. Die Nadelanordnung 110 kann hergestellt werden durch Fertigung unter Verwendung eines isolierenden Materials wie Kunstharz als dem gemeinsamen Nadelrückabschnitt 114.
  • Die Verbindungsvorrichtung zum Testen, welche die Nadelanordnung 110 verwendet, kann ähnlich wie die Verbindungsvorrichtung 10 und 70 montiert und verwendet werden, und bewirkt außerdem Wirkungen und Effekte ähnlich der Verbindungsvorrichtung 10, wobei die Nadelrückabschnitte der Tester 112 zusammengefügt sind, so daß ein solcher Vorteil besteht, wie beispielsweise eine Vereinfachung der Herstellung und Montage der Nadelanordnung 110.
  • Bezugnehmend auf 16 verwendet eine Verbindungsvorrichtung 120 mehrere Tester 122 mit einer Gestalt, wie sie in 17 gezeigt ist, statt die Tester 72 zu verwenden, die sich einstückig von den Spitzenden zu den rückwärtigen Enden in der in 12 gezeigten Verbindungsvorrichtung 70 erstrecken.
  • Jeder Tester 122 ist so ausgebildet, daß er näherungsweise U-förmig ist durch einen Nadelvorderabschnitt 74, einen deformierten Abschnitt 76 und einen Nadelrückabschnitt 124, wie in 17 gezeigt ist. Der Nadelvorderabschnitt 74 und der deformierte Abschnitt 76 sind jeweils die gleichen wie jene des in 12 gezeigten Testers. Deshalb sind der Nadelvorderabschnitt und der deformierte Abschnitt 76 L-förmig ausgebildet, so daß der Nadelvorderabschnitt 74 sich geradlinig vom Spitzende des deformierten Abschnitts 76 nach oben erstreckt.
  • Der deformierte Abschnitt 76 des Testers 122 hat einen Aussparungsabschnitt 126 an dessen Oberseite, um die Zusammenfügungskraft mit dem Nadelrückabschnitt 124 zu verstärken. Der Oberseiten(Innenseiten)-Abschnitt des rückwärtigen Endes des deformierten Abschnitts 76 ist mit dem Nadelrückabschnitt 124 bedeckt, während die Unterseite (Außenseite) nicht mit dem Nadelrückabschnitt 124 bedeckt ist, sondern frei liegt.
  • Der Nadelrückabschnitt 124 ist aus einem nicht-leitenden Material wie beispielsweise Kunstharz ausgebildet und erstreckt sich geradlinig vom rückwärtigen Ende des deformierten Abschnitts 76 parallel zum Nadelvorderabschnitt 74 nach oben.
  • Der Tester 122 kann hergestellt werden durch Fabrikation unter Verwendung eines elektrisch isolierenden Materials, wie beispielsweise Kunstharz für den Nadelrückabschnitt 124. Die Verbindungsvorrichtung 120 kann auch ähnlich verwendet werden wie die Verbindungsvorrichtungen 10, 70 und 100 und kann außerdem Wirkungen und Effekte erzielen, die ähnlich sind zu denen der Verbindungsvorrichtungen 10, 70 und 100.
  • In der Verbindungsvorrichtung 70 oder 120 können eine oder mehrere Nadelanordnungen 130 mit mehreren Testern, die an den Nadelrückabschnitten zusammengefügt sind, verwendet werden, wie in 18 gezeigt ist, statt mehrere unabhängige Tester zu verwenden.
  • Jeder in der Nadelanordnung 130 verwendete Tester 132 ist ähnlich ausgebildet wie der in 17 gezeigte Tester 122, mit dem Unterschied, daß er am rückwärtigen Ende des deformierten Abschnitts 76 mit dem gemeinsamen Nadelrückabschnitt 134 zusammengefügt ist.
  • Der deformierte Abschnitt 76 jedes Testers 132 hat deshalb an seiner Oberseite einen Aussparungsabschnitt 126, um die Zusammenfügungskraft mit dem gemeinsamen Nadelrückabschnitt 134 zu verstärken, der so ausgelegt ist, daß er eine kammförmige Gestalt aus einem nicht-leitenden Material aufweist.
  • Die Nadelanordnung 130 weist näherungsweise eine U-förmige Gestalt auf durch die Nadelvorderabschnitte 74, die deformierten Abschnitte 76 und den gemeinsamen Nadelrückabschnitt 134 der Tester 132. Die Abdeckung der die Nadelanordnung 130 verwendende Verbindungsvorrichtung muß keinen Wandabschnitt 86 oder 88 wie in 12 aufweisen.
  • Der deformierte Abschnitt 76 jedes Testers 132 hat an seiner Oberseite einen Aussparungsabschnitt 176, um die Zusammenfügungskraft mit dem Nadelrückabschnitt 124 zu verstärken. Der Oberseiten(Innenseite)-Bereich des rückwärtigen Endes des deformierten Abschnitts 76 ist mit dem Nadelrückabschnitt 124 bedeckt, während die Unterseite (Außenseite) nicht mit dem Nadelrückabschnitt 124 bedeckt ist, sondern freigelegt ist.
  • Die Verbindungsvorrichtung, welche die Nadelanordnung 130 verwendet, kann ähnlich wie die Verbindungsvorrichtung 70 und 120 montiert und verwendet werden, und da die Nadelrückabschnitte 134 der Tester 132 zusammengefügt sind besteht ein Vorteil, wie beispielsweise eine Vereinfachung der Herstellung der Nadelanordnung 130 sowie eine Vereinfachung ihrer Montage in die Verbindungsvorrichtung, wobei außerdem Wirkungen und Effekte erzielt werden ähnlich zur Verbindungsvorrichtung 70 und 120.
  • In dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel wird die Abdeckung aus einem einzelnen Element gebildet, sie kann aber auch aus mehreren Elementen gebildet werden. Beispielsweise kann die Abdeckung gebildet werden aus einem plattenartigen Element mit der Öffnung 38 und einem Element mit einem Schlitz und einer Aussparung, oder durch ein plattenförmiges Element mit der Öffnung 38, einem Element mit einem Schlitz und einem Element mit einer Aussparung. Ferner kann sie aus einem plattenförmigen Element mit der Öffnung und einer Aussparung und einem Element mit einem Schlitz gebildet werden.
  • Bezugnehmend auf 19 verwendet die Verbindungsvorrichtung 140 mehrere Tester 142 ähnlich dem in 17 gezeigten Tester. Jeder Tester 142 ist im Allgemeinen bogenförmig gekrümmt vom Nadelvorderabschnitt 144 zum rückwärtigen Ende des deformierten Abschnitts 146. Wenigstens die Oberfläche des Nadelvorderabschnitts 144 und der deformierte Abschnitt 146 jedes Testers 142 sind leitfähig.
  • Der Nadelrückabschnitt 148 ist L-förmig ausgebildet aus einem nicht-leitenden Material wie beispielsweise Kunstharz und ist am deformierten Abschnitt 146 befestigt. Der Oberseiten (Innenseiten)-Bereich des rückwärtigen Endes des deformierten Abschnitts 146 ist mit dem Nadelrückabschnitt 148 bedeckt, während die Unterseite (Außenseite) nicht mit dem Nadelrückabschnitt 148 bedeckt ist, sondern frei liegt.
  • Der Nadelrückabschnitt 148 ist unabhängig in jedem Tester 142, kann aber für benachbarte Tester als gemeinsamer Nadelrückabschnitt 148 ausgelegt werden. Um die Zusammenfügungskraft zwischen dem deformierten Abschnitt 146 und dem Nadelrückabschnitt 148 zu verstärken, kann ein Aussparungsabschnitt 126 an der Oberseite des deformierten Abschnitts 146 ausgebildet werden, wie es in 17 oder 18 gezeigt ist.
  • Die Verbindungsvorrichtung 140 hat mehrere ausgedehnte Abdeckungen 150 wo mehrere Tester 142 nebeneinander liegen, sowie einen langen Nadelpresser 152, der auf der Innenseite jeder Abdeckung 150 angeordnet ist, sowie einen Abstandshalter 154.
  • Jede Abdeckung 150 ist im Wesentlichen eine Abdeckungsbasis. Deshalb wird ein Hilfselement mit der Öffnung 38 entweder einstückig auf der Abdeckung 150 bereitgestellt oder mittels Schraubelementen montiert. Jede Abdeckung 150 umfaßt eine erste Aussparung 156, die auf der Seite der Grundplatte 20 offen ist, einen Schlitz 158, der mit der ersten Aussparung 156 in Bezug steht, und eine zweite Aussparung 160, die an der Seite der ersten Aussparung 156 geöffnet ist, wie beispielsweise in 19 gezeigt ist. Die erste Aussparung 156, der Schlitz 158 und die zweite Aussparung 160 erstrecken sich durchgängig in der Anordnungsrichtung der Tester 142.
  • Der Nadelpresser 152 ist aus einem elastischen Material wie beispielsweise einem Hartgummi gebildet, so daß er einen rechteckigen Querschnitt hat, und in der ersten und der zweiten Aussparung 156 und 160 positioniert ist. Der Abstandshalter 154 umfaßt eine Öffnung 162 von ungefähr den gleichen Abmessungen wie die erste Aussparung 156 und ist zwischen der Abdeckung 150 und der Grundplatte 20 derart angeordnet, daß die erste Aussparung 156 und die Öffnung 162 zueinander ausgerichtet sind. Konsequenter Weise wirkt der Abstandshalter als Teil der Abdeckung 150, während die Öffnung 162 als Teil der Aussparung 154 wirkt.
  • Die Tester 142 sind in der ersten Aussparung 156 nebeneinander angeordnet. Die Tester 142 sind derart angeordnet, daß die Nadelvorderabschnitte 144 sich durch den Schlitz 158 nach oben hin hervorstehen und die Nadelrückabschnitte 148 sich in die zweite Aussparung 160 erstrecken, und das rückwärtige Ende des deformierten Abschnitts 146 wird gegen den Verdrahtungsabschnitt 28 der Grundplatte 20 gepreßt. Die Tester 142 sind an der rückwärtigen Endfläche in direktem Kontakt mit der Innenfläche 160a der zweiten Aussparung 160, so daß ein Zurückziehen verhindert wird.
  • Jede Abdeckung 150 wird an der Grundplatte 20 vom Abstandshalter 154 überlappt, wobei die Tester 142 und der Nadelpresser 152 untergebracht werden, um zusammen mit dem Abstandshalter 154 mittels geeigneter Mittel wie einem Schraubelement in die Grundplatte montiert zu werden. Dabei bilden die Tester 142, die Abdeckungen 150, der Nadelpresser 152 und der Abstandshalter 154 eine Einheit.
  • Die Verbindungsvorrichtung 140 verwendet entsprechend solche Einheiten. Jede Einheit wird so in die gemeinsame Grundplatte 20 montiert, daß die Anordnungsrichtung der Nadelspitzen der Tester 142 mit der Anordnungsrichtung des Elektrodenabschnitts eines zu inspizierenden Bauteils übereinstimmt, und daß die Nadelspitzen der Tester von sich gegenüberstehenden Einheiten sich einander gegenüberstehen können. Dadurch wird der Elektrodenabschnitt des zu inspizierenden Bauteils von der Nadelspitze eines jeweiligen Testers 142 aufgenommen.
  • In dem dargestellten Beispiel umfaßt die Abdeckung 150 keinen Schlitz zur Aufnahme des deformierten Abschnitts 146 jedes Testers 142. Deshalb hat jeder Tester 142 einen Abstandshalter 164, der am Nadelvorderabschnitt 144 am benachbarten Tester 142 anschlägt. Der Abstandshalter 164 ist aus einem nicht-leitenden Material, wie beispielsweise Kunstharz, wie eine Platte ausgebildet, und ist an einer Seite des Nadelvorderabschnitts 144 befestigt. Allerdings können der Abstandshalter 164 und der Tester 142 auch einstückig ausgebildet werden, so daß der Nadelvorderabschnitt 144 jedes Testers 142 den entsprechenden Abstandshalter 164 durchdringt.
  • In der Verbindungsvorrichtung 140 wird, wenn das zu inspizierende Bauteil gegen den Tester 142 gepreßt wird und der Tester 142 an seiner Nadelspitze einer übertriebenen Einwirkung unterliegt, der Tester 142 elastisch deformiert, so daß der Krümmungsradius des deformierten Abschnitts 146 vergrößert wird, in einem Zustand, bei dem ein Zurückziehen entlang des deformierten Abschnitts 146 verhindert wird, und drückt den Nadelpresser 152 an der gegenüberliegenden Seite der Innenfläche 160a der Aussparung 160 gegen die Innenfläche 160b. Dadurch verlagert sich der Bereich des Testers 142, der sich mit dem leitenden Abschnitt 28 in Kontakt befindet, in Richtung der Nadelspitzenseite. Ferner zieht sich der Tester 142 aufgrund der Hochverschiebung des kontaktierenden Abschnitts der Innenfläche 160a leicht bezüglich des leitfähigen Abschnitts 28 zurück. Dieses Zurückziehen verhindert allerdings aus demselben Grund wie im Falle der Verbindungsvorrichtung 10 nicht, daß der Tester 142 elastisch deformiert wird.
  • Indem der Tester 142 effektiv eine Abschabwirkung auf dem Elektrodenabschnitt des zu inspizierenden Bauteils bewirkt und die Abdeckung 150 keinen Schlitz zur Aufnahme des deformierten Abschnitts 146 des Testers 142 umfaßt, besteht keine Gefahr, daß die benachbarten Tester 142 miteinander an der Nadelspitzseite in Kontakt geraten, wenn die Nadelspitze gegen den Elektrodenabschnitt des zu inspizierenden Bauteils gepreßt wird.
  • Der Abstandshalter 164 kann in der Verbindungsvorrichtung bereitgestellt werden durch Verwendung der vorgenannten Tester 22, 50, 52, 54, 60, 72, 102, 112, 122 und 132. Auch können statt des Bereitstellens des Abstandshalters 164 in jedem Tester auch mehrere benachbarte Tester mittels eines nicht-leitenden Materials wie beispielsweise Kunstharz an einem Bereich an der Nadelspitzenseite miteinander verbunden werden.
  • Beispiele von Deformationen der Verbindungsvorrichtung 140 sind in den 20 bis 22 gezeigt.
  • Bezugnehmend auf die 20 bis 22 verwendet eine Verbindungsvorrichtung 170 eine halbierte Abdeckung 172. Das durch diese Verbindungsvorrichtung 170 getestete Bauteil 12 hat an beiden Seiten in seiner Querrichtung mehrere Elektrodenabschnitte 16. Die Elektrodenabschnitte 16 sind in mehrere Elektrodengruppen aufgeteilt, die den Breitseiten entsprechen und die in jeder Elektrodengruppe nebeneinander liegen.
  • Eine Abdeckung 172 ist in ein erstes und ein zweites Element 174, 176 aufgeteilt, wie in 20 gezeigt ist, die in einem gegenseitig überlappenden Zustand mit mehreren Schraubelementen 872 und mehreren Positionsstiften 180 in die Grundplatte 20 montiert werden (siehe 21 und 22 bzgl. beider Fälle).
  • Der Abdeckungsgrundabschnitt, d.h. das erste Element 174 ist einstückig mit der Abdeckung 150 und dem Abstandshalter 154 in 19 ausgebildet. Konsequenter Weise umfaßt das erste Element 174 eine Öffnung oder die erste Aussparung 184, die an der Seite der Grundplatte 20 offen ist, mehrere Schlitze 186, die mit der ersten Aussparung 184 in Verbindung stehen, und eine zweite Aussparung 188, in der ein Nadelpresser 182 mit kreisförmigem Querschnitt positioniert ist, in jeder Elektrodengruppe. Andererseits umfaßt ein Hilfselement oder das zweite Element 176 die Öffnung 38 mit der geneigten Ebene 38a.
  • Die Schlitze 186 stehen nicht nur mit der ersten und der zweiten Aussparung 184, 188 in Verbindung, sondern durchdringen auch das erste Element 174 in dessen Dickenrichtung. Die zweite Aussparung 188 erstreckt sich durchgehend in der Anordnungsrichtung mehrerer Tester 190 und ist an der Seite der Grundplatte 28 offen.
  • Jeder Tester 190 ist ein plattenförmiger Tester (eine Nadel des Klingentyps), der annähernd J-förmig ausgebildet ist aus einem leitenden Metallmaterial. Der Tester 190 hat einen Nadelvorderabschnitt 192 mit einer Nadelspitze, einen deformierten Abschnitt 194, der vom rückwärtigen Ende des Nadelvorderabschnitts 192 aus einstückig durchgehend ist, sowie einen Nadelrückabschnitt 196, der vom rückwärtigen Ende des deformierten Abschnitts aus einstückig durchgehend ist.
  • Der Nadelvorderabschnitt 192 durchdringt den Schlitz 186 und seine Nadelspitze steht ins Innere der Öffnung 18 vor. Der deformierte Abschnitt 194 ist bogenförmig gekrümmt und wird teilweise in der ersten Aussparung 184 aufgenommen. Die rückwärtige Endfläche des Nadelrückabschnitts 196 steht in Kontakt mit der Innenfläche 188a der zweiten Aussparung 188, um ein Zurückziehen zu verhindern.
  • Der Nadelpresser 182 ist in dem dargestellten Beispiel stabförmig ausgebildet aus einem elastischen Material wie Gummi und erstreckt sich in Längsrichtung der zweiten Aussparung 188. Der Nadelpresser 182 drückt den Tester 190 in einem Zustand bei der Montage in die Hilfsvorrichtung 170 derart, daß der Tester 190 am deformierten Abschnitt 194 mit dem Verdrahtungsabschnitt 28 in Kontakt kommt.
  • In der Verbindungsvorrichtung 170 wird der klingenförmige Tester 190 verwendet, so daß, wenn das zu inspizierende Bauteil gegen das Spitzende des Testers 190 gepreßt wird, der Nadelpresser 182 mit dem Nadelrückabschnitt 196 gegen die bogenförmige Innenfläche 188b gedrückt wird. Dadurch wird der Tester 190 so verschoben, daß der mit dem leitfähigen Abschnitt 28 in Kontakt befindliche Bereich sich in Richtung der Nadelspitzseite verlagert.
  • Zu diesem Zeitpunkt gleitet der durch die Rückführungskraft des Nadelpressers 182 am rückwärtigen Ende gegen die Innenfläche 188 gepreßte Tester 190 leicht bezüglich des leitfähigen Abschnitts 28. Dieses Gleiten verhindert allerdings nicht eine derartige Verschiebung des Testers 190, daß der mit dem leitfähigen Abschnitt 28 in Kontakt befindliche Abschnitt in Richtung der Nadelspitzseite verlagert wird. Im Ergebnis bewirkt die Verbindungsvorrichtung 170 auch eine Wirkung und einen Effekt ähnlich dem Fall der Verbindungsvorrichtung 140.
  • Andere Beispiele von Deformation der Verbindungsvorrichtung 140 sind in den 23 und 24 gezeigt. Die Verbindungsvorrichtung 200 positioniert mehrere Einheiten auf der gemeinsamen Grundplatte, umfassend mehrere plattenförmige Tester 202, die im wesentlichen J-förmig aus einem leitenden Metallmaterial ausgebildet sind, sowie eine Abdeckung 204, die den Bereich rechtsseitig der Linie 23-23 in 20 in dem ersten Element 174 entspricht, sowie den gleichen Nadelpresser 182 wie im Falle der Verbindungsvorrichtung 170.
  • Jeder Tester 202 ist eine ax-geformte Nadel mit einer sich in Längsrichtung in 23 erstreckende Nadelspitze, und ein Nadelvorderabschnitt 206 hat einen Nadelrückabschnitt 210 in Kontakt mit einem bogenförmig ausgebildeten Abschnitt 208 und einer Innenfläche 188a. Der Tester 202 ist in einer Abdeckung 204 positioniert ähnlich dem Fall des Testers 190 der Verbindungsvorrichtung 170.
  • Die Verbindungsvorrichtung 200 weist auch mehrere Einheiten auf, die in die gemeinsame Grundplatte 20 montiert sind, wie im Falle der Verbindungsvorrichtung 140. Deshalb bewirkt auch die Verbindungsvorrichtung 200 eine Wirkung und einen Effekt ähnlich dem Fall der Verbindungsvorrichtungen 140, 170. In der Verbindungsvorrichtung 40 oder 200 kann ein zweites Element mit der Öffnung 38 der Verbindungsvorrichtung 170 gemeinsam auf den Abdeckungen 150 oder 204 positioniert werden.
  • In der Verbindungsvorrichtung 140, 170, 200 kann die erste Aussparung 156, 184 als eine Aussparung ausgelegt werden, die aus mehreren Kehlen besteht, um wenigstens einen Teil des deformierten Abschnitts der Tester unabhängig aufzunehmen, entsprechend der Tester 142, 190. In diesem Fall erstrecken sich solche Kehlen in Intervallen parallel zur Längsrichtung des Nadelpressers. Die erste und die zweite Aussparung 156 und 160 sowie 184 und 188 können auch eine Aussparung sein. In der Verbindungsvorrichtung 140 kann, statt die erste Aussparung 156 zusammengesetzt aus mehrerer Kehlen auszubilden, die Öffnung 162 des Abstandshalters 154 auch eine derartige Kehle sein.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt. Beispielsweise können die Tester auch so ausgebildet sein, daß sie solch einfache Formen aufweisen wie eine Bogenform, eine einseitig offene Rechteckform, eine U-Form, eine L-Form, eine V-Form, eine W-Form, und dergleichen. Auch können die Tester in den vorstehenden Ausführungsbeispielen mit umgedrehten Gestalten verwendet werden.
  • Es ist für den Fachmann offensichtlich, daß verschiedene Modifikationen und Variationen an der Vorrichtung und dem Verfahren der vorliegenden Erfindung vorgenommen werden können, ohne den Schutzbereich der Erfindung zu verlassen. Deshalb ist vorgesehen, daß die vorliegende Erfindung die Modifikationen und Variationen dieser Erfindung umfaßt, insofern sie in den Schutzbereich der beigefügten Ansprüche fallen.

Claims (18)

  1. Verbindungsvorrichtung zum elektrischen Verbinden von mehreren Elektrodenabschnitten (16) eines zu testenden Bauteils (12) mit mehreren auf einer Fläche einer Grundplatte (20) ausgebildeten leitfähigen Abschnitten (28), wenn das zu testende Bauteil (12) mittels eines Pressers (48) auf die Grundplatte (20) hin gedrückt wird, umfassend: mehrere Tester (22, 50, 52, 54, 60, 72, 102, 112, 122, 132, 142, 190, 202); und eine Montageeinrichtung (24, 26, 80, 90, 150, 152, 154, 172, 182, 204), um die Tester parallel zueinander an der Grundplatte zu montieren, so daß die Tester in Intervallen in einer Richtung angeordnet sind, wobei jeder Tester (22, 50, 52, 54, 60, 72, 102, 112, 122, 132, 142, 190, 202) einen Testergrundabschnitt (31, 76, 146, 194, 208) aufweist, der gekrümmt ist, so daß er einen innenseitigen Abschnitt und einen außenseitigen Abschnitt aufweist, um mit den mehreren leitfähigen Abschnitten in Kontakt gebracht zu werden, einen Testervorderabschnitt (30, 74, 144, 192, 206), der durchgängig mit einem Ende des Testergrundabschnitts ausgebildet ist, sowie einen Testerrückabschnitt (32, 78, 104, 114, 124, 134, 148, 196, 210), der durchgehend mit dem anderen Ende des Testergrundabschnitts ausgebildet ist, wobei die Montageeinrichtung (24, 26, 80, 90, 150, 152, 154, 172, 182, 204) wenigstens mit einer Abdeckung versehen ist, die mit der Grundplatte (20) montierbar ist, wobei die Abdeckung eine Aussparung (42, 84, 160, 188) aufweist, die sich in die eine Richtung erstreckt, und in Intervallen in der einen Richtung mehrere Einschübe aufweist, und einen in der Aussparung (42, 84, 160, 188) aufgenommenen Nadelpresser (24, 90, 152, 182), um die Tester derart zu pressen, daß wenigstens ein Teil der Testergrundabschnitte oder der Testerrückabschnitte der Tester mit den leitfähigen Abschnitten (28) der Grundplatte (20) in Kontakt kommen, die sich in die eine Richtung erstrecken, dadurch gekennzeichnet, daß der Testervorderabschnitt (30, 74, 144, 192, 206) ein Spitzende aufweist, um gegen den Elektrodenabschnitt zu pressen, wenn das zu testende Bauteil (12) gegen die Grundplatte (20) gepreßt wird, wobei jeder Tester in den Einschub (40, 82, 158, 186) eindringen soll, so daß sein Spitzende aus dem Einschub (40, 82, 158, 186) hervorsteht, wobei die Montageeinrichtung (24, 26, 80, 90, 150, 152, 154, 172, 182, 204) ferner versehen ist mit einem Rückzugsverhinderungsabschnitt (40a, 56, 84a, 160a, 188a), um zu verhindern, daß sich die Tester, wenn der Elektrodenabschnitt gegen die Spitze gedrückt wird, sich zurückziehen, und wobei bei jedem Tester der Rückabschnitt mit dem Rückzugsverhinderungsabschnitt (40a, 56, 84a, 160a, 188a) in Kontakt gebracht wird und jeder Tester eine bogenförmige Gestalt, eine U-förmige Gestalt oder eine J-förmige Gestalt aufweist, so daß, wenn der Elektrodenabschnitt gegen das Spitzende gedrückt wird, ein Teil der Oberfläche des Elektrodenabschnitts mit dem Spitzende abgeschabt wird, wodurch selbst wenn der Tester einer übertriebenen Einwirkung ausgesetzt wird, sich der Tester nicht zurückziehen würde.
  2. Verbindungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Aussparung zur Grundplatte und zum Nadelpresser hin geöffnet wird.
  3. Verbindungsvorrichtung nach Anspruch 2, bei der der Nadelpresser (24, 152, 182) an den innenseitigen Abschnitten von wenigstens dem Grundabschnitt (31, 76, 146, 194, 208) der Tester anschlägt.
  4. Verbindungsvorrichtung nach Anspruch 3, bei der der Nadelpresser (24, 182) eine zylindrische Gestalt aufweist und wenigstens in seiner Umfangsfläche elektrisch isolierend ausgebildet ist.
  5. Verbindungsvorrichtung nach Anspruch 3, bei welcher der Nadelpresser (24) einen zylindrischen Presserstab (34) aufweist, sowie eine elastische Materialschicht (36), die aus einem elektrisch isolierenden Material um den Presserstab herum ausgebildet ist.
  6. Verbindungsvorrichtung nach Anspruch 2, bei der die Aussparung (42, 84, 160, 188) eine bogenförmige oder rechteckige Querschnittsgestalt aufweist und wenigstens zur Grundplatte (20) hin geöffnet ist.
  7. Verbindungsvorrichtung nach Anspruch 2, bei der die Abdeckung (26, 80, 150, 172, 204) ferner eine Öffnung (38) zur Aufnahme des Bauteils (12) aufweist.
  8. Verbindungsvorrichtung nach Anspruch 2, bei welcher der Nadelpresser (90, 152, 182) ferner den Testerrückabschnitt des Testers gegen einen Teil der Innenfläche drückt, welche die Aussparung (84, 160, 188) definiert.
  9. Verbindungsvorrichtung nach Anspruch 7, bei der jeder Tester (22, 50, 52, 54, 60, 72, 102, 112, 122, 132, 142, 190, 202) so ausgelegt ist, daß seine Nagelspitze in die Öffnung (38) hineinragt.
  10. Verbindungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Testerrückabschnitte (114, 134) von zwei oder mehreren Testern (112, 132) einstückig aus einem elektrisch nicht leitfähigen Material ausgebildet sind, und wobei die Tester (112, 132) an ihren Grundabschnitten mit dem leitfähigen Abschnitt (28) in Kontakt gebracht werden.
  11. Verbindungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei welcher der außenseitige Abschnitt des Testers (22, 50, 52, 54, 60, 72, 102, 112, 122, 132, 142, 190, 202) sich in einer bogenförmigen Gestalt erstreckt, so daß er mit dem leitfähigen Abschnitt (28) in Kontakt kommt, wenn wenigstens der Elektrodenabschnitt (16) gegen das Spitzende gedrückt wird.
  12. Verbindungsvorrichtung nach Anspruch 11, bei der der Tester elastisch deformierbar ist, so daß, je größer eine Preßkraft des zu testenden Bauteils (12) wird, desto mehr der Abschnitt des mit den mehreren leitfähigen Abschnitten (28) in Kontakt stehenden Außenbereichs sich in Richtung des Spitzendes bewegt.
  13. Verbindungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei der jeder Einschub (40, 82, 158, 186) zur Grundplatte (20) hin und in Richtung des zu testenden Bauteils (12) hin geöffnet wird und mit der Aussparung (42, 84, 160, 188) zusammenwirkt.
  14. Verbindungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei welcher der Rückzugsverhinderungsabschnitt einen Teil der Innenfläche umfaßt, welche die Aussparung definiert.
  15. Verbindungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei der jeder Tester in dem Einschub an einem Teil des deformierten Abschnitts (31, 76) in dem Einschub aufgenommen wird.
  16. Verbindungsvorrichtung nach Anspruch 15, bei welcher der Rückzugsverhinderungsabschnitt einen Teil der Innenfläche umfaßt, welche die Aussparung (42, 84, 160, 188) definiert, oder der Endfläche, die einen Teil des Einschubes (40, 82) definiert.
  17. Verbindungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei welcher der Rückzugsverhinderungsabschnitt mit einem Stopper (56) versehen ist, der in der Abdeckung (26) angeordnet ist.
  18. Verbindungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei welcher der Tester (22, 50, 52, 54, 60, 72, 102, 112, 122, 132, 142, 190, 202) eine hintere Endfläche aufweist, die mit dem Rückzugsverhinderungsabschnitt in Kontakt steht.
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