-
GEBIET DER
ERFINDUNG
-
Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Verbindungsvorrichtung
zur Verwendung beim Testen einer zu inspizierenden plattenartigen
Vorrichtung, wie beispielsweise einer integrierten Schaltung und
eines Flüssigkristallpaneels.
-
HINTERGRUND
DER ERFINDUNG
-
Im
Allgemeinen wird eine Inspektion oder ein Test von elektrischen
Eigenschaften eines gepackten oder gekapselten Halbleiterbauteils,
insbesondere einer integrierten Schaltung (IC) durchgeführt durch Verwendung
einer elektrischen Verbindungsvorrichtung, wie beispielsweise eines
Testsockels, d.h. eines Inspektionssockels als Hilfsvorrichtung,
an der ein Halbleiterbauteil wiederabnehmbar angebracht ist.
-
Es
liegt eine Verbindungsvorrichtung jenes Typs vor, der einen hebelförmigen Kontakt
verwendet, d.h. ein Tester, in der ein Nadelvorderabschnitt, der
in Kontakt kommt mit einem Anschluß (Elektrodenabschnitt) eines
Halbleiterbauteils, sowie ein Nadelrückabschnitt, der mit einem
leitenden Abschnitt einer Grundplatte verbunden ist, in gegensätzliche Richtungen
gebogen sind (Japanische Patentanmeldung Veröffentlichungsnummer 7-229949).
-
Bei
dieser konventionellen Verbindungsvorrichtung ist jeder Tester an
einem gemeinsamen Nadelpresser mittels eines Klebstoffs in dem zwischenliegenden
Abschnitt zwischen dem Nadelvorderabschnitt und dem Nadelrückabschnitt
befestigt, so daß der
Nadelvorderabschnitt sich nach oben erstreckt und sich der Nadelrückabschnitt
nach unten erstreckt.
-
Bei
dieser konventionellen Verbindungsvorrichtung benötigt allerdings
eine Montagearbeit wie beispielsweise das Befestigen eines Testers
an dem Nadelpresser oder das Löten
des Nadelrückabschnitts
an den leitenden Abschnitt der Grundplatte Erfahrung, und da die
Längenabmessungen
einer effektiven Fläche
(von dem Spitzende des Testers bis zu einem Verbindungspunkt zum
leitenden Abschnitt) groß ist,
besteht eine Beschränkung
hinsichtlich der Vergrößerung der
Frequenz eines zum Testen verwendeten elektrischen Signals.
-
Es
existiert eine weitere Verbindungsvorrichtung, die einen plattenartigen
Tester verwendet, der in einer Z-förmigen Gestalt
oder einer ringförmigen Gestalt
ausgebildet ist (US Patent Nr. 5,336,094 und US Patent Nr. 5,388,996).
Bei dieser konventionellen Verbindungsvorrichtung wird allerdings
jeder Tester an seinem bogenförmig
deformierten Frontabschnitt gegen einen Elektrodenabschnitt eines
zu inspizierenden Bauteils gepreßt, so daß lediglich ein Wischeffekt
auftritt, nicht aber eine Kratzwirkung aufgrund einer Verschiebung
des deformierten Frontabschnitts bzgl. des Elektrodenabschnitts,
so daß ein
Film wie beispielsweise ein in dem Elektrodenabschnitt existierender
Oxidfilm effektiv nicht entfernt wird. Konsequenter Weise kann ein
bevorzugter elektrischer Kontakt zwischen dem Tester und dem Elektrodenabschnitt
nicht erreicht werden.
-
Eine
weitere Verbindungsvorrichtung verwendet Tester, die ein plattenartiges
elastisches Stützelement
aufweisen, sowie einen Vorderabschnitt mit einem elliptischen Querschnitt
(
EP 0 407 131 A2 ). Der
Vorderabschnitt ist so ausgelegt, daß er gebogen wird, wenn ein
Anschluß eines
elektrischen Teils von beispielsweise einem IC mittels eines Pressers
auf den Vorderabschnitt gedrückt
wird. Zudem kann auch das plattenartige elastische Stützelement
gebogen werden. Allerdings tritt während des Biegens des Vorderabschnitts
kein Wischeffekt auf.
-
Ein ähnlicher
von einer Verbindungsvorrichtung verwendeten Tester ist in JP-9-232481
offenbart. Der offenbarte Tester umfaßt ein elastisches Stützelement
und einen Vorderabschnitt, der einen schwenkbaren Kontakt mit einem
elliptischen Querschnitt umfaßt.
Wenn ein Anschluß eines
zu testenden Bauteils auf den Kontakt des Testers gedrückt wird,
so führt
der Kontakt eine Schwenkbewegung aus, die zu einem gleitenden Kontakt
zwischen dem Anschluß und
dem Kontakt führt,
wodurch eine Wischwirkung auftritt.
-
Es
existiert eine Hilfsvorrichtung zum Testen der elektrischen Eigenschaften
eines ungepackten oder ungekapselten Halbleiterbauteils, insbesondere eines
IC-Chips, der einen
Tester verwendet, der in eine C-förmige Gestalt gebogen ist (japanische
Patentanmeldung, Offenlegungsnummer 5-299483). Gemäß dieser
konventionellen Hilfsvorrichtung ist allerdings, da jeder Tester
nur durch seine eigene Federkraft in einem Sockel gehalten wird,
der Tester instabil, und da beide Enden der C-förmigen Gestalt weiter gekrümmt werden
müssen,
werden die Tester kompliziert in ihrer Gestalt und teuer.
-
Demgemäß ist es
in einer Verbindungsvorrichtung wichtig, die Form eines Testers
zu vereinfachen, um die Stabilität
des Testers zu verbessern, um ihn für einen Hochfrequenztest geeignet
zu machen, und um seine Herstellung zu vereinfachen, obgleich eine
effektive Abschabwirkung an dem Elektrodenabschnitt des zu inspizierenden
Bauteils bewirkt wird.
-
ZUSAMMENFASSUNG
DER ERFINDUNG
-
Die
Verbindungsvorrichtung bzgl. der vorliegenden Erfindung, wie sie
in den beigefügten
Ansprüchen
definiert ist, zum elastischen Verbinden mehrerer Elektrodenabschnitte
eines zu testenden Bauteils mit mehreren auf einer Fläche einer
Grundplatte ausgebildeten leitfähigen
Abschnitte, wenn das zu testende Bauteil mittels eines Pressers
auf die Grundplatte hin gedrückt
wird, umfaßt
mehrere Tester, sowie eine Montageeinrichtung, um die Tester parallel
zueinander in die Grundplatte zu montieren. Jeder Tester umfaßt einen
deformierten Abschnitt, einen Nadelabschnitt mit einem Spitzende
oder einer Nadelspitze, die auf einen Elektrodenabschnitt eines zu
inspizierenden plattenartigen Bauteils gepreßt wird, und einen Nadelrückabschnitt,
der auf das andere Ende des deformierten Abschnitts folgt. Die Montageeinrichtung
hat einen Nadelpresserabschnitt zum Pressen der Tester derart, daß wenigstens
ein Teil der deformierten Abschnitte der Tester mit den leitenden
Abschnitten der Grundplatte in Kontakt gebracht wird, und der sich
in die Anordnungsrichtung der Tester erstreckt.
-
Obgleich
er einen deformierten Abschnitt aufweist, ist der Tester einfach
in seiner Gestalt im Vergleich zu konventionellen C-förmigen Testern
und weniger kostspielig. Die Tester werden durch den Nadelpresserabschnitt
wenigstens an einem Teil des deformierten Abschnitts oder des Nadelrückabschnitts
gegen die leitenden Abschnitte der Grundplatte gepreßt und werden
zwischen der Grundplatte und dem Nadelpresserabschnitt eingeklemmt,
um in diesem Zustand gehalten zu werden, so daß die Tester stabilisiert werden,
um eine Montage der Hilfsvorrichtung zu vereinfachen.
-
Jeder
Tester, ähnlich
dem konventionellen hebelförmigen
Tester, wird an der Nadelspitze gegen den Elektrodenabschnitt des
zu inspizierenden Bauteils gepreßt. Dadurch wird jeder Tester
in einem Bereich zwischen dem mit den leitenden Abschnitten in Kontakt
befindlichen Abschnitt und einem Abschnitt an der Seite des Spitzendes
elastisch deformiert, und die Nadelspitze wird bzgl. des Elektrodenabschnitts verschoben.
Im Ergebnis wird ein Teil des Films, wie beispielsweise ein am Elektrodenabschnitt
existierender Oxidfilm, durch die Nadelspitze abgeschabt (oder abgekratzt),
und der Tester und der Elektrodenabschnitt werden in einem bevorzugten
elektrisch verbundenen Zustand gehalten. Auch bildet sich vom mit
dem leitenden Abschnitt in Kontakt stehendem Abschnitt bis zur Nadelspitze
eine effektive Fläche aus,
so daß der
Tester eine kleinere effektive Fläche hat, als der konventionelle
Tester, um ein Lecken von elektrischen Signalen zwischen benachbarten
Testern zu verringern und den Tester für einen Hochfrequenztest geeignet
zu machen.
-
Wie
oben erwähnt
wird gemäß der vorliegenden
Erfindung ein bevorzugter elektrischer Verbindungszustand zwischen
dem Tester und dem Elektrodenabschnitt aufrechterhalten durch eine
effektive Abschabwirkung, die zwischen der Nadelspitze und dem Elektrodenabschnitt
erzeugt wird.
-
Auch
ist der Tester im Vergleich zu einem C-förmigen Tester einfach in seiner
Gestalt und kostengünstiger.
Ferner wird die effektive Fläche
des Testers kleiner und geeignet für einen Hochfrequenztest. Weiterhin
wird der Tester stabil gehalten, wodurch die Herstellung der Hilfsvorrichtung
vereinfacht wird.
-
Die
Montageeinrichtung kann eine oder mehrere Abdeckungen umfassen,
die in die Grundplatte montiert sind, sowie einen oder mehrere Nadelpresser,
die in einer Aussparung aufgenommen werden, so daß sie sich
in der Anordnungsrichtung der Tester erstrecken. Die Aussparung
kann wenigstens an der Seite der Grundplatte geöffnet werden und der Nadelpresserabschnitt
kann in dem Nadelpresser ausgebildet sein. Dadurch, daß jeder
Tester durch Positionieren des deformierten Abschnitts jedes Testers
in einer Kehle gehalten werden kann, wird die Herstellung der Hilfsvorrichtung
vereinfacht, obschon die Tester in einem stabileren Zustand gehalten
werden können.
-
Ferner
kann die Abdeckung in Intervallen in der Anordnungsrichtung der
Tester mehrere Kehlen aufweisen, wobei diese Kehlen in Richtung
beider Seiten der Grundplatte und der Öffnung geöffnet sein können, wobei
die Aussparung in Richtung der Kehlen geöffnet sein kann, und wobei
wenigstens die deformierten Abschnitte der Tester in den Kehlen
positioniert sein können.
-
Der
Nadelpresserabschnitt kann so ausgelegt sein, daß er an dem innenseitigen Abschnitt
von wenigstens dem deformierten Abschnitt des Testers anschlägt, indem
er aus der Aussparung der Abdeckung zur Seite der Grundplatte hervorsteht.
Auch kann die Querschnittsgestalt der Aussparung der Abdeckung bogenförmig oder
rechteckig gemacht werden.
-
Der
Nadelpresser kann zylindrisch ausgelegt werden, und wenigstens die äußere Umfangsfläche des
Nadelpressers kann elektrisch isolierend ausgebildet werden. Auf
diese Weise wird der Aufbau des Nadelpressers vereinfacht und ein
elektrischer Kurzschluß zwischen
den Testern aufgrund des Nadelpressers kann verhindert werden.
-
Der
Nadelpresser kann einen Presserstab und eine elastische Materialschicht
aufweisen, die aus einem isolierenden Material um den Presserstab herum
ausgebildet ist. Auf diese Weise kann nicht nur ein elektrischer
Kurzschluß zwischen
den Testern durch den Nadelpresser verhindert werden, auch werden
die Tester durch das elastische Material gegen die Grundplatte gepreßt, so daß die Tester
in einem stabileren Zustand gehalten werden können.
-
Der
Nadelrückabschnitt
des Testers kann durch den Nadelpresser gegen die Innenfläche der Aussparung
gepreßt
werden. Dadurch können
relative Verschiebungen in der Längsrichtung
des Testers zwischen dem Nadelpresser und dem Tester sicher verhindert
werden, so daß die
Tester in einem stabileren Zustand gehalten werden können.
-
Der
Tester kann derart geformt sein, daß er im Allgemeinen eine gekrümmte bogenförmige Gestalt
oder eine im Allgemeinen gekrümmte
U- oder J-förmige
Gestalt aufweist. Auch kann der Nadelvorderabschnitt jedes Testers
durch die Öffnung
der Abdeckung hervorstehen.
-
Jeder
Tester kann aus einem leitfähigen
Material mit einer nicht-leitenden Materialschicht ausgebildet sein,
die in der äußeren Umfangsfläche des Nadelrückabschnitts
vorliegt. Dadurch kann ein elektrischer Kurzschluß in den
Nadelrückabschnitten
benachbarter Tester verhindert werden.
-
Allerdings
kann jeder Tester aus einem nicht-leitenden Material mit einer leitenden
Materialschicht ausgebildet werden, die in der äußeren Umfangsfläche des
Nadelvorderabschnitts und des deformierten Abschnitts ausgebildet
ist, oder der gesamte Nadelrückabschnitt
jedes Testers kann aus einem nicht-leitenden Material ausgebildet
werden, wobei die Nadelrückabschnitte
aus zwei oder mehreren Testern integral aus einem nicht-leitenden
Material ausgebildet sind.
-
Da
in keinem der oben beschriebenen Testern der Nadelrückabschnitt
Leitfähigkeit
aufweist, wird nicht nur ein elektrischer Kurzschluß in den
Nadelrückabschnitten
benachbarter Tester verhindert, sondern es werden auch die Längenabmessungen des
leitfähigen
Abschnitts verkürzt.
Als Ergebnis liegt kein Lecken eines elektrischen Signals im Nadelrückabschnitt
vor, und daneben tritt auch ein Lecken eines elektrischen Signals
zwischen benachbarten Testern weniger häufig auf als bei konventionellen Vorrichtungen,
so daß die
Frequenz eines für
einen Hochfrequenztest verwendeten elektrischen Signals erhöht werden
kann.
-
Es
ist allerdings auch möglich,
den gesamten Nadelrückabschnitt
jedes Testes aus einem nicht-leitenden Material auszubilden und
die Nadelrückabschnitte
von zwei oder mehreren Testern integral aus einem nicht-leitenden
Material auszubilden.
-
Die
Nadelrückabschnitte
von zwei oder mehreren Testern können
mit einem nicht-leitenden Material integral ausgebildet werden und
in der Aussparung aufgenommen werden. Dadurch wird es möglich, die
aus den deformierten Abschnitten von zwei oder mehreren Testern,
den Nadelvorderabschnitten und den integrierten Nadelrückabschnitten
aufgebaute Nadelanordnung durch Herstellung aus einem Kunstharz
auf einmal herzustellen, und diese auf einmal auf der Grundplatte
zu montieren, wodurch die Herstellung der Nadelanordnung vereinfacht
wird und wodurch auch Montagearbeiten der Vorrichtung vereinfacht
werden, und konsequenter Weise die Herstellungsarbeiten der Vorrichtung.
-
Die
Montageeinrichtung kann ferner einen Rückzugsverhinderungsabschnitt
aufweisen, um zu verhindern, daß sich
der Tester zurückzieht,
und der Rückendabschnitt
des Testers kann mit dem Rückzugsverhinderungsabschnitt
verbunden sein. Dadurch zieht sich der Tester selbst dann nicht
zurück, wenn
der Tester einer übertriebenen
Einwirkung ausgesetzt wird, sondern der Tester selbst würde auf
sichere Weise elastisch deformiert, oder der Nadelrückabschnitt
deformiert den Nadelpresser unter Kompression. Im Ergebnis bewirkt
die Nadelspitze des Testers sicher und effizient eine Abschabwirkung auf
dem Elektrodenabschnitt, wodurch der Tester und der Elektrodenabschnitt
in einem bevorzugten Zustand elektrischer Verbindung gehalten werden.
-
Der
Tester kann einen Außenabschnitt
aufweisen, der sich in einer bogenförmigen Gestalt erstreckt, und
der mit dem leitenden Abschnitt in Kontakt kommt, wenn wenigstens
der Elektrodenabschnitt gegen die Nadelspitze gepreßt wird.
Je größer die
Preßkraft
durch das zu inspizierende Bauteil wird, desto mehr verlagert sich
der Kontaktabschnitt des Außenabschnitts
mit dem leitenden Abschnitt in Richtung der Seite der Nadelspitze.
-
Die
Montageeinrichtung kann eine oder mehrere Abdeckungen aufweisen,
sowie einen oder mehrere Nadelpresser mit einem Nadelpresserabschnitt,
wobei die Abdeckung in die Grundplatte montiert ist und eine Aussparung
aufweist, die sich in die Anordnungsrichtung der Tester sowie des
Rückzugsverhinderungsabschnitts
erstreckt, und die sich auf der Seite der Grundplatte öffnet. Da
sich der Nadelpresser bezüglich
der Abdeckung nicht verschiebt, wird der Tester deshalb stabiler
und eine Montagearbeit wird vereinfacht.
-
Die
Abdeckung ist ferner in Intervallen in der Längsrichtung des Nadelpressers
mit mehreren Schlitzen versehen, die auf den Seiten der Grundplatte
und des zu inspizierenden Bauteils offen sind und die mit der Aussparung
zusammenwirken, so daß der
Nadelvorderabschnitt jedes Testers durch den Schlitz hindurchtritt,
so daß die
Nadelspitze aus dem Schlitz hervorsteht. Da die Position des Nadelvorderabschnitts
in der Anordnungsrichtung der Tester durch den Schlitz reguliert
wird, wird der Tester deshalb stabiler und Montagearbeiten werden
vereinfacht.
-
Stattdessen
kann die Abdeckung auch mehrere der Schlitze aufweisen, die auf
der Seite der Grundplatte offen sind und mit der Aussparung zusammenwirken
und in Intervallen in der Längsrichtung
des Nadelpressers platziert sind. Ein Teil des deformierten Abschnitts
jedes Testers kann in dem Schlitz positioniert werden. Da die Positionen
der Tester in der Anordnungsrichtung der Tester durch die Schlitze
reguliert werden, kann dadurch der Tester auch stabiler werden und
die Montagearbeit vereinfacht werden.
-
Der
Rückzugsverhinderungsabschnitt
kann die Innenfläche
der Aussparung oder die Endfläche des
Schlitzes umfassen. In diesem Fall kann der Tester die Rückendfläche umfassen,
die mit dem Rückzugsverhinderungsabschnitt
in Kontakt ist. Allerdings kann der zur Ausbildung des Rückzugsverhinderungsabschnitts
in der Abdeckung eingerichtete Stopper in der Montageeinrichtung
vorgesehen sein.
-
In
einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist
der Tester wenigstens am deformierten Abschnitt in eine bogenförmigen Gestalt
gekrümmt.
-
Die
beigefügten
Zeichnungen sind vorgesehen, um ein besseres Verständnis der
Erfindung zu ermöglichen,
sind in diese Spezifikation eingegliedert und stellen einen Teil
dieser dar, um die Ausführungsbeispiele
der Erfindung zusammen mit der Beschreibung zu illustrieren, um
die Prinzipien der Erfindung zu erklären.
-
KURZE BESCHREIBUNG DER
ZEICHNUNGEN
-
1 ist
eine Draufsicht, die ein erstes Ausführungsbeispiel einer Verbindungsvorrichtung
der vorliegenden Erfindung zeigt.
-
2 ist
eine Querschnittsansicht entlang der Linie 2-2 aus 1.
-
3 ist
eine Untenansicht eines Teils der in 1 gezeigten
Verbindungsvorrichtung, wobei die Grundplatte entfernt ist.
-
4 ist
eine Querschnittsansicht entlang der Linie 4-4 aus 1.
-
5 ist
eine Querschnittsansicht zur Erklärung eines Zustands eines Testers
wenn ein zu inspizierendes Bauteil in die Verbindungsvorrichtung
eingesetzt ist.
-
6 ist
eine Querschnittsansicht zur Erklärung eines Zustands eines Testers,
wenn ein zu inspizierendes Bauteil gegen den Tester gepreßt wird.
-
7 sind Ansichten, die das erste Ausführungsbeispiel
des Testers zeigen, der in der in 1 gezeigten
Verbindungsvorrichtung verwendet wird, wobei (A) ein vorderer Aufriß und (B)
eine linksseitige Ansicht ist.
-
8 sind Ansichten, die ein zweites Ausführungsbeispiel
des Testers zeigen, der in der in 1 gezeigten
Verbindungsvorrichtung verwendet wird, wobei (A) ein vorderer Aufriß ist und
(B) eine linksseitige Ansicht ist.
-
9 ist
eine Querschnittsansicht, die einen Teil des zweiten Ausführungsbeispiels
der Verbindungsvorrichtung zeigt.
-
10 ist
eine Querschnittsansicht, die einen Teil eines dritten Ausführungsbeispiels
der Verbindungsvorrichtung zeigt.
-
11 ist
eine Ansicht, die einen Teil eines dritten Ausführungsbeispiels des Testers
zeigt, der in der in 1 gezeigten Verbindungsvorrichtung
verwendet wird.
-
12 ist
eine Querschnittsansicht, die einen Teil eines vierten Ausführungsbeispiels
der Verbindungsvorrichtung zeigt.
-
13 ist
eine Querschnittsansicht, die einen Teil eines fünften Ausführungsbeispiels der Verbindungsvorrichtung
zeigt.
-
14 sind Ansichten, die ein Ausführungsbeispiel
des Testers zeigen, der in der in 13 gezeigten
Verbindungsvorrichtung verwendet wird, wobei (A) eine Draufsicht,
(B) ein vorderer Aufriß ist,
und (C) eine rechtsseitige Ansicht ist.
-
15 sind Ansichten, die ein weiteres Ausführungsbeispiel
des Testers zeigen, der in der in 13 gezeigten
Verbindungsvorrichtung verwendet wird, wobei (A) eine Draufsicht
ist, (B) ein vorderer Aufriß ist,
und (C) eine rechtsseitige Ansicht ist.
-
16 ist
eine Querschnittsansicht, die einen Teil eines sechsten Ausführungsbeispiels
der Verbindungsvorrichtung zeigt.
-
17 sind Ansichten, die ein Ausführungsbeispiel
des Testers zeigen, der in der in 16 gezeigten
Verbindungsvorrichtung verwendet wird, wobei (A) eine Draufsicht
ist, (B) ein vorderer Aufriß ist, und
(C) eine rechtsseitige Ansicht ist.
-
18 sind Ansichten, die ein weiteres Ausführungsbeispiel
des Testers zeigen, der in der in 16 gezeigten
Verbindungsvorrichtung verwendet wird, wobei (A) eine Draufsicht
ist, (B) ein vorderer Aufriß ist,
und (C) eine rechtsseitige Ansicht ist.
-
19 ist
eine Querschnittsansicht, die einen Teil eines siebten Ausführungsbeispiels
der vorliegenden Erfindung zeigt.
-
20 ist
eine Querschnittsansicht, die einen Teil eines achten Ausführungsbeispiels
der Verbindungsvorrichtung zeigt.
-
21 ist
eine Ansicht entlang der Linie 21-21 aus 20.
-
22 ist
eine Ansicht entlang der Linie 22-22 aus 20.
-
23 und 24 sind
Ansichten, welche die Deformierung der Verbindungsvorrichtung zeigen.
-
DETAILLIERTE
BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
-
Bezugnehmend
auf die 1 bis 6 wird eine
Verbindungsvorrichtung 10 als eine Hilfsvorrichtung zum
Testen oder Inspizieren eines zu testenden plattenartigen Bauteils 12 verwendet.
In dem dargestellten Ausführungsbeispiel
ist das Bauteil 12 ein Halbleiterbauteil wie beispielsweise
eine gepackte oder gekapselte integrierte Schaltung, aber die vorliegende
Erfindung kann auch bei einer Verbindungsvorrichtung zum Testen
anderer plattenartiger Bauteile verwendet werden, wie beispielsweise
eines LCD-Paneels
(LCD = Flüssigkristallanzeige).
-
Das
Bauteil 12 umfaßt
einen Grundabschnitt 14, der in einer rechteckigen flachen
Gestalt gepackt oder gekapselt ist, sowie mehrere Anschlüsse, zum Beispiel
Elektrodenabschnitte 16, die aus einem Bereich hervorstehen,
der den jeweiligen Seiten des Rechtecks entspricht. Die Elektrodenabschnitte 16 sind
aufgeteilt in mehrere Elektrodengruppen, die den jeweiligen Seiten
des Rechtecks entsprechen, und die Anschlüsse jeder Elektrodenabschnittsgruppe
liegen nebeneinander.
-
Die
Hilfsvorrichtung, d.h. die Verbindungsvorrichtung 10, umfaßt eine
Grundplatte 20, mehrere Kontakte, d.h. Tester 22,
mehrere Nadelpresser 24 zum Pressen der Tester 22 gegen
die Grundplatte 20, sowie eine plattenförmige Abdeckung 26 zum
Montieren der Nadelpresse 24 in die Grundplatte 20.
-
Die
Grundplatte 20 ist eine Leiterplattenplatine mit einem
mittels einer Leitungsplattendrucktechnik auf einem isolierenden
Material ausgebildeten Leitungsstruktur auf einer Oberfläche, und
weist mehrere bandförmige
gedruckte leitende oder Verdrahtungsabschnitte 28 auf einer
Oberfläche
auf, die jeweils den Testern 22 entsprechen. Jeder leitfähige Abschnitt 28 ist
ein Teil der Leitungsstruktur. Die leifähigen Abschnitte 28 sind
in mehrere Leitungsabschnittsgruppen aufgeteilt, die den jeweiligen
Seiten des Rechtecks der Grundplatte 14 des Bauteils 12 entsprechen,
und die leitenden Abschnitte in jeder Gruppe liegen nebeneinander.
-
Jeder
Tester 22 ist, wie in 7 gezeigt,
in Gestalt einer elastischen nicht-leitenden dünnen Leitung ausgebildet und
ist wie ein halbkreisförmiger
Bogen über
die gesamte Fläche
von einem konischen Nadelvorderabschnitt 30 bis zu einem
Nadelrückabschnitt 32 gekrümmt durch
einen bogenförmigen
Nadelgrundabschnitt, d.h., deformierten Abschnitt 31.
-
Jeder
Tester 22 hat einen leitenden Mantel, der in anderen Bereichen
als dem Nadelrückabschnitt
in der Fläche
ausgebildet ist, der in den 7A, 7B und 7C durch das Bezugszeichen 32 bezeichnet
ist, d.h. in den gesamten Außenflächen des
Nadelvorderabschnitts 30 und dem gekrümmten Abschnitt, d.h. dem deformierten
Abschnitt 31. Dabei weist der Abschnitt vor dem mit dem
leitfähigen
Abschnitt 28 in Verbindung stehenden Abschnitt eine Leitfähigkeit
auf, wogegen der Nadelrückabschnitt 32 nicht
leitfähig
ist. Obgleich als leitfähiger
Tester wirkend gibt es deshalb kein Lecken eines zu testenden elektrischen
Signals in den Nadelrückabschnitt 32,
insbesondere kein Lecken eines elektrischen Signals zwischen benachbarten
Testern.
-
Allerdings
kann jeder Tester 22 einen Kern aufweisen, der aus einer
leitfähigen
dünnen
Leitung besteht, vorzugsweise in Gestalt einer metallischen dünnen Leitung,
mit einer in dem Nadelrückabschnitt 32 am
Kern ausgebildeten nicht-leitenden Mantelung. Der Tester 22 kann
aus einer dünnen
Leitung aus Metall, Keramik, Kunstharz oder dergleichen ausgebildet
sein, sowie mittels eines Verfahrens, wie beispielsweise einer Drucktechnik,
einer Ätztechnik und
dergleichen, unter Verwendung derartiger Materialien.
-
Jeder
Tester 22 weist in den in den 1 bis 7 gezeigten Beispielen eine kreisförmige Querschnittsgestalt
auf. Ferner ist der Tester 22 eine sogenannte Meißel-Typ-Nadel mit einer Nadelspitze, d.h.
einem Spitzende, das sich unter einem rechten Winkeln zur gekrümmten Fläche des
Testers 22 erstreckt.
-
Jeder
Tester 22 kann allerdings, wie der in 8 gezeigte
Tester 50, eine Ax-Typ-Nadel sein, deren Spitzende sich
parallel zur gekrümmten
Fläche des
Testers 22 erstreckt, oder von einer Gestalt mit einem
konischen oder pyramidalen Nadelvorderabschnitt. Die Querschnittsgestalt
des Testers kann entweder kreisförmig
oder rechteckig sein.
-
Die
Tester 22 sind in mehrere Testergruppen aufgeteilt, die
jeweils einer Seite des Rechtecks des Grundabschnitts 14 des
zu inspizierenden Bauteils 12 entsprechen. In dem dargestellten
Ausführungsbeispiel
weist das Bauteil 12 mehrere Elektrodenabschnitte an jeder
der vier Seiten des Rechtecks auf und die Tester 22 sind
in vier Testergruppen aufgeteilt. Aus denselben Gründen sind
in dem dargestellten Ausführungsbeispiel
vier Nadelpresser 24 vorgesehen.
-
Jeder
Nadelpresser 24 ist zylindrisch ausgestaltet durch einen
zylindrischen Presserstab 34 und eine isolierende elastische
Materialschicht 36, die an der äußeren Umfangsfläche des
Presserstabs 34 ausgebildet ist. Der Presserstab 34 kann
ein leitfähiges
oder ein nicht-leitfähiges stabförmiges Bauteil sein.
Eine isolierte Schicht, d.h. die elastische Materialschicht 36,
kann eine aus einem Gummimaterial wie beispielsweise einem Silikongummi
gebildete Röhre
sein. Der Nadelpresser 24 kann allerdings wie ein Stab
aus einem einzelnen Element ausgebildet sein, wie beispielsweise
aus einem elastisch deformierbarem Gummi.
-
Die
Abdeckung 26 umfaßt
eine Öffnung 38, die
im Zentrum ausgebildet ist, um das zu inspizierende Bauteil unterzubringen,
sowie mehrere Schlitze 40, die außerhalb der Öffnung 38 ausgebildet sind,
so daß sie
sich bezüglich
der Öffnung 38 nach außen erstrecken,
sowie mehrere Aussparungen 42, die außerhalb der Öffnungen
ausgebildet sind und sich kontinuierlich in die Anordnungsrichtung
der Schlitze 40 erstrecken. Eine derartige Abdeckung 26 kann
aus einem nicht leitfähigen
Material ausgebildet sein.
-
Die Öffnung 38 weist
eine zum Bauteil 12 analoge rechteckige Gestalt auf, wobei
ihre entsprechenden Eckabschnitte bogenförmig ausgebildet sind. Der
obere Abschnitt der Öffnung 38 läuft nach unten
hin konisch zu durch eine geneigte Ebene 38a, die von außen in Richtung
zum Zentrum gerichtet ist. Jeder Eckenabschnitt der Öffnung 38 ist
eine bogenförmige
Ebene.
-
Der
Schlitz 40 ist ein Schlitz zum Unterbringen von wenigstens
dem deformierten Abschnitt 31 und dem Nadelrückabschnitt 32 des
Testers 22. Demgemäß sind in
dem dargestellten Ausführungsbeispiel
genauso viele Schlitze vorgesehen, wie Tester 22. Die Schlitze 40 sind
in mehrere Schlitzgruppen aufgeteilt, entsprechend jeder Seite des
Rechtecks, das die Öffnung 38 bildet,
und die Schlitze in jeder Gruppe liegen nebeneinander. Jeder Schlitz 40 ist
auf der Seite der Grundplatte 20 offen, d.h. nach unten
und an der Öffnung 38.
-
Benachbarte
Schlitze 40 werden durch Trennwände 44 voneinander
getrennt. Die Trennwände 44 sind
in dem dargestellten Ausführungsbeispiel
vorgesehen um die rückwärtige Hälfte des Schlitzes 40 aufzuteilen,
und dadurch sind benachbarte Schlitze 40 im Bereich der Öffnung 38 durchgängig. Allerdings
können
die Trennwände 44 so ausgelegt
sein, daß sie
die gesamten Schlitze 40 trennen.
-
Die
Aussparungen 42 entsprechen den jeweiligen Seiten des Rechtecks,
das die Öffnung 38 bildet,
und sie erstrecken sich entlang der entsprechenden Seite. In dem
dargestellten Ausführungsbeispiel
sind vier Aussparungen 42 vorgesehen. Jede Aussparung 42 ist
eine halbkreisförmige
Kehle, die den Nadelpresser 24 unterbringt und an der Schlitzbodenfläche des
entsprechenden Schlitzes 40 offen ist. Die Kehlenunterfläche jeder
Aussparung 42 weist nach oben hin einen konvexen Querschnitt
auf.
-
Die
Verbindungsvorrichtung 10 kann montiert werden durch Positionieren
jedes Nadelpressers 24 in der Aussparung 42, jedes
Testers 22 in dem Schlitz 40 derart, daß dessen rückwärtiges Ende
in Kontakt ist mit der tiefen Bodenfläche (in dem dargestellten Ausführungsbeispiel
die obere Fläche),
wobei in diesem Zustand eine Überlappung
mit dem Tester 22, dem Nadelpresser 20 und der
Abdeckung 26 auf der Grundplatte 20 auftritt,
sowie durch Befestigen der Abdeckung 26 an der Grundplatte 20 mit mehreren
Schraubelementen 46, wie beispielsweise Bolzen.
-
Jedes
Schraubelement 46 dringt in die Abdeckung in ihrer Dickenrichtung
ein und wird in ein Schraubloch geschraubt, das in der Grundplatte 20 ausgebildet
ist. Dadurch wird der Tester 22 durch den Nadelpresser 24 in
einem Bereich des bogenförmig gekrümmten Abschnitts 31 gegen
den leitenden Abschnitt 28 der Grundplatte 20 gepreßt und in
einem Zustand gehalten, in dem er zwischen der Grundplatte 20 und
dem Nadelpresser 24 eingeklemmt ist.
-
In
dem dargestellten Ausführungsbeispiel wirken
der Nadelpresser 24, die Abdeckung 26 und das
Schraubelement 46 als eine Montageeinrichtung zum Montieren
der Tester 22 parallel in der Grundplatte 20.
Da auch die Unterhälften-Abschnitte der Nadelpresser 24 in
einer bogenförmigen
Gestalt aus der Aussparung 42 zur Seite der Grundplatte 20 hervorstehen
und sich in der Anordnungsrichtung der Tester 22 erstrecken,
wirken diese ferner als ein Nadelpresserabschnitt in Kontakt mit
der Innenseite des gekrümmten
Abschnitts des Testers 22, um den Tester 22 gegen
die Grundplatte 20 zu pressen.
-
Dadurch,
daß die
Tester 22 in den Schlitzen 40 so positioniert
werden, daß die
Nadelvorderabschnitte 30 nach oben in die Öffnung 38 hervorstehen,
und dadurch, daß die
Tester 22 nur durch die Nadelpresser 24 mit der
Grundplatte 20 in Kontakt gebracht werden, können die
Tester 22 in jeder Testergruppe korrekt aneinander gereiht
werden. Deshalb ist die Herstellung der Verbindungsvorrichtung 10 einfach.
-
Da
wenigstens der Nadelrückabschnitt 32 des
Testers im Zustand der Montage in die Verbindungsvorrichtung 10 in
einem Bereich aufgenommen wird, der durch die Trennwand 44 getrennt
wird, und durch die aus einem isolierenden Material bestehende elastische
Materialschicht 36 gegen die Grundplatte 20 gepreßt wird,
wird der Tester 22 durch den Schlitz 40 und den
Nadelpresser 24 in einem stabileren Zustand gehalten, um
auf sichere Weise zu verhindern, daß er in elektrischen Kontakt
mit dem benachbarten Tester gerät.
-
In
einem montierten Zustand wird jeder Tester 22 an einer
bogenförmigen
Außenfläche des
deformierten Abschnitts 31 gegen den leitfähigen Abschnitt 28 gepreßt, wo keine
isolierende Schicht 32 existiert, so daß der Bereich des Grundabschnitts 31 der
bogenförmigen
Nadel als der deformierte Abschnitt wirkt.
-
Da
jeder Tester 22 an einem Bereich gegen den leitenden Abschnitt 28 gepreßt wird,
wo keine isolierende Schicht 32 existiert, ist die effektive
Fläche
des Testers 22 jene vom Abschnitt des Testers 22,
der sich mit dem leitenden Abschnitt 28 in Kontakt befindet,
bis zur Nadelspitze, und ist kleiner als bei der konventionellen
Verbindungsvorrichtung. Da ferner, wie in 5 gezeigt,
die elastische Materialschicht 36 gegen die Grundplatte 20,
die Abdeckung 26 und den Presserstab 34 gepreßt wird,
um deformiert zu werden, wird jeder Tester 22 fest gehalten. Der
Presserstab 34 und die elastische Materialschicht 36 können im
voraus exzentrisch zueinander gemacht werden oder können im
Montagezustand exzentrisch zueinander gemacht werden.
-
Beim
Inspizieren wird das Bauteil 12 von oben in die Öffnung 38 gesetzt.
Dabei ist, falls die Position des Bauteils 12 bezüglich der
Verbindungsvorrichtung 10 abweicht, das Bauteil 12 in
Kontakt mit der geneigten Ebene 38a und wird durch die
geneigte Fläche 38a zum
Zentrum der Öffnung 38 geleitet.
Dadurch wird das Bauteil 12, wie in 5 gezeigt,
in der Verbindungsvorrichtung 10 in einem Zustand untergebracht,
bei dem der Elektrodenabschnitt 16 in Kontakt mit der Nadelspitze
des Testers 22 kommt.
-
Wenn
das in die Verbindungsvorrichtung 10 gesetzte Bauteil 12 mittels
eines Pressers 48 heruntergedrückt wird, wird jeder Tester 22 unter
einer übertriebenen
Einwirkung deformiert, wie es in 6 gezeigt
ist. Dabei wirkt eine Kraft zum Zurückziehen des Testers entlang
der bogenförmigen
Außenfläche des
deformierten Abschnitts 31 auf den Tester 22.
-
Das
rückwärtige Ende
jedes Testers 22 ist allerdings in direktem Kontakt mit
der Endfläche 40a des
Schlitzes 40, so daß jeder
Tester 22 sich nicht in der Umfangsrichtung des Nadelpressers 24 bewegt (zurückzieht).
-
Wenn
allerdings der Tester 22 und das Bauteil 12 gedrückt werden,
wird jeder Tester 22 in einem Bereich vom mit dem leitfähigen Abschnitt 28 in
Kontakt befindlichen Abschnitt bis zur Nadelspitzenseite elastisch
deformiert, so daß der
Radius vergrößert wird,
ohne daß der
Tester in der Umfangsrichtung (Krümmungsrichtung des deformierten
Abschnitts 31) des Nadelpressers 24 zurückgezogen
wird, und so daß die
elastische Materialschicht 36 elastisch zu deformiert wird,
um unter Kompression zu deformieren.
-
Dabei
verschiebt sich die Nadelspitze jedes Testers 22 bezüglich des
Elektrodenabschnitts 16, wodurch eine Abschabwirkung (oder
Abkratzwirkung) bewirkt wird, um einen Teil des Films zu entfernen,
der an der Oberfläche
der Elektrode 16 existiert. Auch deformiert in jedem Tester 22 ein
Teil von dessen rückwärtigem Ende
die elastische Materialschicht 36 zu einer Beule, wodurch
verhindert wird, daß der
Nadelvorderabschnitt 30 in die axiale Richtung des Nadelpressers 24 fällt.
-
Wie
in 6 gezeigt, verlagert sich der Abschnitt des Testers 22,
der in Kontakt mit dem leitfähigen
Abschnitt 28 ist, in Richtung der Seite der Nadelspitze,
wenn der Tester 22 elastisch deformiert wird. Da die elastische
Materialschicht 36 durch das rückwärtige Ende des Testers eingebeult
wurde, tendiert ferner das rückwärtige Ende
des Testers 22 dazu, von der Innenfläche der Aussparung 40 beabstandet
zu sein. Allerdings wird der Tester 22 durch die rückführende Kraft
des Nadelpressers 24 zurückgedrückt und gleitet leicht gegen
den leitfähigen
Abschnitt 28.
-
Da
dieses Gleiten eine Bewegung des Testers 22 ist, bei der
er seine Lage unter Beibehaltung des Kontakts mit der Innenfläche 40a verändert (also nicht
eine Bewegung des Testers 22, bei der er sich entlang des
Umfangs des Nadelpressers 24 zurückzuzieht), wird eine elastische
Deformierung des Testers 22, bei welcher der Krümmungsradius zunimmt, nicht
durch das Gleiten, wie z.B. das oben beschriebene, beeinflußt. Deshalb
wird der Tester 22 sicher elastisch deformiert.
-
Gemäß der Verbindungsvorrichtung 10 ist nicht
nur der Tester einfach in seiner Gestalt und kostengünstig, wie
oben erwähnt
wurde, sondern auch die effektive Fläche des Testers 22 ist
klein, so daß er für einen
Hochfrequenztest geeignet ist. Und da der Tester stabil gehalten
wird, ist es einfach, die Verbindungsvorrichtung herzustellen. Auch
wird das Bauteil 12 in einem natürlichen und korrekten Zustand
in der Verbindungsvorrichtung 10 platziert, der Elektrodenabschnitt 16 des
Bauteils 12 wird sicher mit der Nadelspitze in Kontakt
gebracht, und außerdem
ergibt die elastische Deformation ohne Zurückziehen auf effiziente Weise
eine Abschabwirkung auf dem Elektrodenabschnitt 16. Ferner
ist der Aufbau des Nadelpressers 24 einfach und ein elektrischer
Kurzschluß zwischen
den Testern 22 kann sicher verhindert werden.
-
Bezugnehmend
auf 9 ist ein Tester 52 am Nadelrückabschnitt 32 nach
oben gebogen mit einer isolierenden Schicht, im Nadelrückabschnitt 32 nach
oben gebogen und bildet eine J-förmige
Gestalt, die in den Nadelpresser 24 eingeführt wird,
und wird an dem bogenförmigen
rückwärtigen Endabschnitt
seines deformierten Abschnitts 31 gegen den leitfähigen Abschnitt 28 gepreßt. Da auch
bei diesem Ausführungsbeispiel
verhindert wird, daß der Nadelrückabschnitt 32 sich
bezüglich
dem Nadelpresser 24 bewegt, verlagert sich der Bereich
des Testers 52, der sich mit dem leitfähigen Abschnitt in Kontakt
befindet, in Richtung der Nadelspitze, bewegt sich aber nicht in
dessen Umfangsrichtung um den Nadelpresser 24.
-
Das
heißt,
wenn der Tester 52 durch das zu inspizierende Bauteil nach
unten gepreßt
wird, wirkt eine Kraft auf den Tester 52, die den Tester 52 entlang
der Außenfläche des
deformierten Abschnitts 31 zurückzieht. Da der rückwärtige Endabschnitt
in den Nagelpresser 24 eingeführt ist, wird allerdings der Tester 52 elastisch
deformiert, so daß der
Krümmungsradius
des deformierten Abschnitts 31 vergrößert wird, ohne daß sich der
Tester in der Umfangsrichtung des Nadelpressers 24 zurückzieht.
Im Ergebnis wird selbst bei Benutzung des Testers 52 ein Wirkungseffekt
erzielt, der demjenigen des Falles der Verwendung des Testers 22 ähnlich ist.
-
Bezugnehmend
auf 10 schlägt
das rückwärtige Ende
eines Testers 54 (insbesondere dessen rückwärtige Endfläche) gegen einen Stopper 56,
der aus einer Blattfeder gebildet ist, um ein Zurückziehen zu
verhindern. Der Stopper 56 ist in jeder Testergruppe vorgesehen
und ist mit mehreren Schraubelementen 58 an der Abdeckung 26 befestigt.
Der Stopper 56 kann aus einem isolierenden Plattenmaterial
ausgebildet sein, kann aber auch ein leitendes Plattenmaterial mit
einer auf dessen Oberfläche
ausgebildeten Isolationsschicht sein, und kann auch ein leitendes
Plattenmaterial sein, falls das rückwärtige Ende jedes Testers nicht-leitend
ist.
-
Auch
bewegt sich gemäß des in 10 gezeigten
Ausführungsbeispiels
der Tester 54, dadurch, daß sein rückwärtiges Ende am Stopper 56 anschlägt und damit
eine Rückwärtsbewegung
bezüglich
des Nadelpressers 24 verhindert wird, nicht um den Nadelpresser 24 in
dessen Umfangsrichtung. Wenn der Tester 54 durch das zu
inspizierende Bauteil nach unten gedrückt wird, wird aus diesem Grund
der Tester 54 elastisch deformiert, so daß der Krümmungsradius
des deformierten Abschnitts 31 vergrößert wird. Als Ergebnis wird
auch bei Verwendung des Testers 54 eine Wirkung und ein
Effekt erzielt, der ähnlich
jenem ist, der bei Verwendung des Testers 22 erzielt wird.
-
Bezugnehmend
auf 11 weist ein Tester 60 konvexe Abschnitte 62 und
einen konkaven Abschnitt 64 in dem Bereich auf, der mit
dem leitfähigen Abschnitt 28 in
Kontakt steht. Der Tester 60 wird am konvexen Abschnitt
gegen den leitfähigen
Abschnitt 22 gepreßt.
Im Ergebnis wirkt im Falle des Testers 60 der Bereich mit
den konvexen Abschnitten 62 als ein deformierter Abschnitt,
d.h. als ein bogenförmig
gekrümmter
Abschnitt, der bezüglich
des Nadelendabschnitts deformiert ist.
-
Gemäß des Testers 60 greifen
die konvexen Abschnitte 62 mit dem leitfähigen Abschnitt 28 zusammen,
so daß aufgrund
des Zusammengreifens der konvexen Abschnitte 62 mit dem
leitfähigen
Abschnitt 28 die Bewegung des Testers 60 bezüglich des
Nadelpressers 24 bewirkt, daß das rückwärtige Ende des Testers 60 an
der Endfläche
des Schlitzes, an der Innenfläche
der Aussparung oder am Stopper anschlägt, wie der oben erwähnte Tester,
und sicherer verhindert wird. Im Ergebnis wird die elektrische Verbindung
zwischen dem leitfähigen
Abschnitt 28 und den jeweiligen Testern 60 sicherer
gewährleistet.
-
In
jedem der oben erwähnten
Ausführungsbeispiele
ist es möglich,
einen halbzylindrischen Nadelpresser statt des Nadelpressers 24 zu
verwenden, wobei ein Teil des zylindrischen Abschnitts als der konvexe
Abschnitt verwendet wird, oder ein rechteckiges stangenförmiges Element
mit einem halbzylindrischen konvexen Abschnitt auf einer Oberfläche als Nadelpresser
zu verwenden. Auch kann der Nadelpresser ein lediglich nicht-leitender
Stab sein, der kein elastisches Material verwendet, solange der
Nadelpresser zumindest an seinen Außenflächen nicht-leitend ist.
-
Bezugnehmend
auf 12 verwendet eine Hilfsvorrichtung 70 einen
näherungsweise
U-förmigen
Tester 72. Der Tester 72 ist derart ausgebildet, daß er näherungsweise
U-förmig
ist durch einen Nadelvorderabschnitt 74, einen Nadelgrundabschnitt, d.h.
einen bogenförmig
deformierten Abschnitt 76, und einen Nadelrückabschnitt 78.
Der Nadelvorderabschnitt 74 und der Nadelrückabschnitt 78 erstrecken
sich ungefähr
parallel zueinander geradlinig nach oben bezüglich dem vorderen Ende und
dem rückwärtigen Ende
des deformierten Abschnitts 76. Der Nadelvorderabschnitt 74 und
der deformierte Abschnitt 76 sind zumindest an ihren äußeren Umfangsflächen leitend
ausgelegt.
-
Der
deformierte Abschnitt 76 erstreckt sich von der Seite seines
rückwärtigen Endes
in Richtung der Seite des Nadelvorderabschnitts 74 diagonal nach
oben und gekrümmt
in einer konvexen Form mit einem großen Krümmungsradius diagonal nach
unten. Der Nadelrückabschnitt 78 kann
leitend oder nicht-leitend sein. Der Nadelrückabschnitt 78 hat eine
größere Querschnittsgestalt
als der Nadelvorderabschnitt und der deformierte Abschnitt 76.
Der Tester 72 hat entweder eine kreisförmige oder eine rechteckige
Querschnittsgestalt. Aus diesem Grund hat der Tester 72 entweder
die Gestalt einer dünnen Leitung
oder eines Streifens.
-
Eine
Abdeckung 80 der Verbindungsvorrichtung 70 umfaßt eine Öffnung 38,
die im Zentrum ausgebildet ist, um das Bauteil 12 unterzubringen,
mehrere Schlitze 82, die sich von der Öffnung 38 nach außen und
parallel zueinander erstrecken, und mehrere Aussparungen 84,
die außerhalb
der Öffnung 38 gebildet
sind, um die sich durchgängig
in der Anordnungsrichtung der Schlitze 82 erstrecken. Solch
eine Abdeckung 80 kann aus einem nicht-leitenden Material
ausgebildet sein. Die Öffnung 38 ist
die gleiche, wie die Öffnung 38 der
Abdeckung 26 der Hilfsvorrichtung 10. Deshalb
ist der obere Bereich der Öffnung 38 so
ausgelegt, daß er
eine geneigte Fläche 38a ist.
-
Die
Schlitze 82 sind Kehlen, die einen Teil von wenigstens
dem deformierten Abschnitt 76 des Testers 72 unterzubringen,
und demgemäß ist die Anzahl
der vorgesehenen Schlitze 82 die gleiche, wie die der Tester 72 in
dem dargestellten Ausführungsbeispiel.
Die Schlitze 82 sind in mehrere Schlitzgruppen aufgeteilt,
die den jeweiligen Seiten des Rechtecks entsprechen, das die Öffnung 38 bildet,
und sind in jeder Schlitzgruppe parallel ausgebildet. Jeder Schlitz 82 hat
eine Öffnung
an der Seite der Grundplatte 20, d.h. nach unten und auf
der Seite der Öffnung 38 des
oberen Abschnitts des Spitzendes.
-
Benachbarte
Schlitze 82 werden durch eine Trennwand 86 getrennt.
Die Endbereiche von benachbarten Trennwänden 86 auf der Seite
der Öffnung 38 sind
mittels eines Wandabschnitts 88 verbunden, der die entsprechenden
Endabschnitte der Schlitze 82 schließt. Es ist allerdings auch
möglich, die
Endbereiche nicht an der Seite der Öffnung 38 von benachbarten
Trennwänden 86 zu
verbinden, sondern die entsprechenden Endbereiche der Schlitze 82 offen
zu lassen.
-
Die
Aussparungen 84 entsprechen den jeweiligen Seiten des Rechtecks,
das die Öffnung 38 bildet,
und erstrecken sich durchgängig
entlang den entsprechenden Seiten. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel
sind vier Aussparungen 84 vorgesehen. Jede Aussparung 84 ist
eine Kehle mit einem rechteckigen Querschnitt, die einen Nadelpresser 90 unterbringt,
und ist an den Seiten des rückwärtigen Endes
der Grundplatte 20 des entsprechenden Schlitzes 82 offen.
Jede Aussparung 84 hat einen rechteckigen Querschnitt.
-
Jeder
Nadelpresser 90 ist in einer rechteckigen Querschnittsgestalt
aus einem elastischen Material wie beispielsweise Gummi ausgebildet
und ist in die Aussparung 84 eingepaßt. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel
hat der Nadelpresser 90 eine Kehle, die mit dem Schlitz 82 zusammenwirkt,
um einen Teil des deformierten Abschnitts 76 und den Nadelrückabschnitt 78 des
Testers 72 aufzunehmen. Solch eine Kehle kann allerdings
auch in der Abdeckung 80 ausgebildet werden, muß aber weder
in der Abdeckung 80 noch in dem Nadelpresser 90 ausgebildet
werden, abhängig
von der Gestalt und den Abmessungen des Testers.
-
Die
Verbindungsvorrichtung 70 kann montiert werden durch Positionieren
jedes Nadelpressers 90 in der Aussparung 84, Positionieren
jedes Testers 72 derart, daß der deformierte Abschnitt 76 des
Testers 72 in den Schlitz 82 und der Nadelendabschnitt 78 in
die Aussparung 84 gelangt, wobei sich der Tester 72 ,
der Nadelpresser 90 und die Abdeckung 80 auf der
Grundplatte 20 in diesem Zustand überlappen, sowie durch Montieren
der Abdeckung 80 auf der Grundplatte 20 mit mehreren
Schraubelementen, wie beispielsweise Bolzen in diesem Zustand.
-
Beim
Zustand der Montage in die Verbindungsvorrichtung 70 wird
jeder Tester 72 durch den Nadelpresser 90 am rückwärtigen Endabschnitt
des deformierten Abschnitts 76 gegen den Verdrahtungsabschnitt
auf der Grundplatte 20 gepreßt. Auch erstreckt sich die
Nadelspitze jedes Testers 72 vom Schlitz 82 nach
oben in die Öffnung 38,
der Nadelrückabschnitt 78 jedes
Testers 72 wird durch den Nadelpresser 90 gegen
die Innenwandfläche
gepreßt, die
den Schlitz 82 bildet, und die rückwärtige Endfläche jedes Testers 72 wird
vom Nadelpresser 90 aufgenommen. Im Ergebnis wird jeder
Tester 72 an der rückwärtigen Endseite
des deformierten Abschnitts 76 gegen die Grundplatte 20 gepreßt.
-
Wenn
die Nadelspitze des Nadelvorderabschnitts 74 gegen den
Elektrodenabschnitt 16 des Bauteils 12 gepreßt wird,
wird der Tester 72 selbst elastisch deformiert und deformiert
den Nadelpresser 90 derart, daß der Nadelvorderabschnitt 74 und
der Nadelrückabschnitt 78 sich
spreizen. Dadurch entfernt der Tester 72, der an seiner
Nadelspitze eine Abschabwirkung auf den Elektrodenabschnitt 16 ausübt, einen
Teil eines Films, wie beispielsweise einen auf der Oberfläche der
Elektrode 16 existierenden Oxidfilm.
-
Die
Kraft, die so gerichtet ist, daß sie
den Tester 72 zurückzieht,
ist die Kraft, die so gerichtet ist, daß sie den Tester 72 entlang
der bogenförmigen Außenfläche des
deformierten Abschnitts 76 verschiebt, aber ein Zurückziehen
des Testers 72 wird verhindert, da dessen rückwärtige Endfläche über den
Nadelpresser 90 indirekt mit der Innenfläche 84a der
Aussparung 84 in Kontakt steht. Allerdings kann der Tester 72 durch
den Nadelpresser 90 gegen die Grundplatte 20 gepreßt werden,
indem die rückwärtige Endfläche des
Testers 72 durch den Nadelpresser 90 indirekt
in Kontakt gebracht wird mit der Innenfläche 84a der Aussparung 84.
-
Die
Verbindungsvorrichtung 70 liefert nicht nur eine Wirkung
und einen Effekt ähnlich
der Verbindungsvorrichtung 10, sondern preßt auch
durch den Nadelpresser 90 den Nadelrückabschnitt 78 gegen die
Innenfläche
der Aussparung 84, so daß der Tester 72 besser
stabilisiert wird.
-
Bezugnehmend
auf 13 verwendet eine Verbindungsvorrichtung 100 in
der in den 1 bis 6 gezeigten
Verbindungsvorrichtung 10 mehrere Tester 102 mit
einer Gestalt, wie sie in 14 gezeigt ist,
statt Tester zu verwenden, die sich einstückig vom Spitzende zum rückwärtigen Ende
erstrecken, wie in der Hilfsvorrichtung 10.
-
Jeder
Tester 102 ist aufgebaut aus einem Nadelvorderabschnitt 30,
einem deformierten Abschnitt 31 und einem Nadelrückabschnitt 104,
der am rückwärtigen Ende
des deformierten Abschnitts 31 angefügt ist, und ist in einer bogenförmigen Gestalt gekrümmt mit
der gleichen Krümmung über die
gesamte Fläche
vom vorderen Ende bis zum rückwärtigen Ende.
Der Nadelrückabschnitt 104 ist
aus einem isolierten Harzmaterial wie beispielsweise Kunstharzmaterial
ausgebildet.
-
Der
Spitzendenabschnitt des Nadelvorderabschnitts 30 jedes
Testers 102 ist ein konischer Abschnitt, der in Richtung
der Nadelspitze dünner
wird und der Bereich auf der Rückseite
der Nadelspitze ist ein stabförmiger
Abschnitt mit einem kreisförmigen Querschnitt.
Der rückwärtige Endabschnitt
des deformierten Abschnitts 31 jedes Testers 102 hat
eine Aussparung 106 auf der oberen Seite, um die Kraft beim
Zusammenfügen
mit dem Nadelendabschnitt 104 zu verstärken.
-
Die
Innenseite des rückwärtigen Endes
des deformierten Abschnitts 31 jedes Testers 102 wird vom
Nadelrückabschnitt 104 bedeckt,
während
der äußere Bereich
freigelegt ist, ohne daß er
durch den Nadelrückabschnitt 104 abgedeckt
wird. Solch ein Tester 102 kann hergestellt werden durch
Verwendung eines isolierenden Materials, wie beispielsweise Kunstharz
für den
Nadelrückabschnitt 104.
Die Endfläche
des Testers 102 ist in direktem Kontakt mit der tiefen
Bodenfläche,
d.h. der Endfläche 40a des Schlitzes 40.
-
Die
Verbindungsvorrichtung 100, die mehrere Tester 102 verwendet,
kann wie in 13 gezeigt, auf gleiche Weise
an der Verbindungsvorrichtung 10 montiert werden, abgesehen
davon, daß der
deformierte Abschnitt 31 jedes Testers 102 außerhalb
des Bereichs gegen den Verdrahtungsabschnitt 28 gepreßt wird,
der mit dem Nadelendabschnitt 104 zusammengefügt ist,
wirkt ähnlich
der Verbindungsvorrichtung 10 und liefert einen ähnlichen
Effekt wie die Verbindungsvorrichtung 10.
-
In
der Verbindungsvorrichtung 10 oder 100 können statt
Verwendung mehrerer unabhängiger Tester 112 auch
eine oder mehrere Nadelanordnungen 110 mit mehreren Testern
verwendet werden, die an den Nadelrückabschnitten zusammengefügt sind, wie
in 15 zu sehen ist.
-
Jeder
in der Nadelanordnung 110 verwendete Tester 112 ist ähnlich ausgebildet
wie der in 14 gezeigte Tester 102,
mit dem Unterschied, daß er
am rückwärtigen Ende
des deformierten Abschnitts 31 mit dem rückwärtigen Endabschnitt 114 zusammengefügt ist,
der den mehreren Testern 112 gemein ist.
-
Deshalb
sind der Nadelvorderabschnitt 30 und der deformierte Abschnitt 31 des
Testers 112 die gleichen wie jene des in 14 gezeigten
Testers 102, und der deformierte Abschnitt 31 jedes
Testers 112 hat einen Aussparungsabschnitt 106 als
dessen obere Seite, um die Zusammenfügungskraft mit dem gemeinsamen
Nadelrückabschnitt 114 zu
verstärken. Der
gemeinsame Nadelrückabschnitt 114 hat
eine ausgedehnte Gestalt, die wie eine flache Rinne gekrümmt ist,
die aus einem nicht-leitenden Material hergestellt ist, mit derselben
Krümmung
wie die Nadelvorderabschnitte 30 und die deformierten Abschnitte 31 der
Tester 112.
-
Der
gemeinsame Nadelrückabschnitt 114 kann
in jeder Testergruppe der jeweiligen Seite des Rechtecks, das die Öffnung 38 der
vorgenannten Abdeckung 26 bildet, gemeinsam sein, oder
kann gemeinsam ausgebildet werden für jede zwei oder mehr Tester.
Da benachbarte Tester 112 an den deformierten Abschnitten 31 mit
dem gemeinsamen Nadelrückabschnitt 114 verbunden
sind, umfaßt
ferner die Abdeckung 26 der Verbindungsvorrichtung, die
von der Testeranordnung 110 verwendet wird, weder den Schlitz 40 noch
die Trennwand 44. Sie kann allerdings einen Schlitz zur
Aufnahme lediglich des Nadelvorderabschnitts 30 und des
deformierten Abschnitts 31 jedes Testers 112 umfassen.
-
Deshalb
ist der Schlitz 40 ein durchgängiger gemeinsamer Schlitz.
Es ist allerdings auch möglich, den
Bereich, der lediglich den Nadelspitzabschnitt 30 und den
deformierten Abschnitt 31 jedes Testers 112 aufnimmt,
vom gemeinsamen Schlitz 40 durch die Trennwand zu separieren.
-
Während das
Innere des rückwärtigen Endabschnitts
jedes deformierten Abschnitts 31 mit dem gemeinsamen Nadelrückabschnitt 114 bedeckt ist,
ist dessen Außenseite
nicht mit dem gemeinsamen Nadelrückabschnitt 114 bedeckt, sondern
freigelegt. Die Nadelanordnung 110 kann hergestellt werden
durch Fertigung unter Verwendung eines isolierenden Materials wie
Kunstharz als dem gemeinsamen Nadelrückabschnitt 114.
-
Die
Verbindungsvorrichtung zum Testen, welche die Nadelanordnung 110 verwendet,
kann ähnlich
wie die Verbindungsvorrichtung 10 und 70 montiert
und verwendet werden, und bewirkt außerdem Wirkungen und Effekte ähnlich der
Verbindungsvorrichtung 10, wobei die Nadelrückabschnitte
der Tester 112 zusammengefügt sind, so daß ein solcher Vorteil
besteht, wie beispielsweise eine Vereinfachung der Herstellung und
Montage der Nadelanordnung 110.
-
Bezugnehmend
auf 16 verwendet eine Verbindungsvorrichtung 120 mehrere
Tester 122 mit einer Gestalt, wie sie in 17 gezeigt
ist, statt die Tester 72 zu verwenden, die sich einstückig von
den Spitzenden zu den rückwärtigen Enden
in der in 12 gezeigten Verbindungsvorrichtung 70 erstrecken.
-
Jeder
Tester 122 ist so ausgebildet, daß er näherungsweise U-förmig ist
durch einen Nadelvorderabschnitt 74, einen deformierten
Abschnitt 76 und einen Nadelrückabschnitt 124, wie
in 17 gezeigt ist. Der Nadelvorderabschnitt 74 und
der deformierte Abschnitt 76 sind jeweils die gleichen
wie jene des in 12 gezeigten Testers. Deshalb
sind der Nadelvorderabschnitt und der deformierte Abschnitt 76 L-förmig ausgebildet,
so daß der
Nadelvorderabschnitt 74 sich geradlinig vom Spitzende des
deformierten Abschnitts 76 nach oben erstreckt.
-
Der
deformierte Abschnitt 76 des Testers 122 hat einen
Aussparungsabschnitt 126 an dessen Oberseite, um die Zusammenfügungskraft
mit dem Nadelrückabschnitt 124 zu
verstärken.
Der Oberseiten(Innenseiten)-Abschnitt des rückwärtigen Endes des deformierten
Abschnitts 76 ist mit dem Nadelrückabschnitt 124 bedeckt,
während
die Unterseite (Außenseite)
nicht mit dem Nadelrückabschnitt 124 bedeckt
ist, sondern frei liegt.
-
Der
Nadelrückabschnitt 124 ist
aus einem nicht-leitenden Material wie beispielsweise Kunstharz
ausgebildet und erstreckt sich geradlinig vom rückwärtigen Ende des deformierten
Abschnitts 76 parallel zum Nadelvorderabschnitt 74 nach
oben.
-
Der
Tester 122 kann hergestellt werden durch Fabrikation unter
Verwendung eines elektrisch isolierenden Materials, wie beispielsweise
Kunstharz für
den Nadelrückabschnitt 124.
Die Verbindungsvorrichtung 120 kann auch ähnlich verwendet
werden wie die Verbindungsvorrichtungen 10, 70 und 100 und
kann außerdem
Wirkungen und Effekte erzielen, die ähnlich sind zu denen der Verbindungsvorrichtungen 10, 70 und 100.
-
In
der Verbindungsvorrichtung 70 oder 120 können eine
oder mehrere Nadelanordnungen 130 mit mehreren Testern,
die an den Nadelrückabschnitten
zusammengefügt
sind, verwendet werden, wie in 18 gezeigt
ist, statt mehrere unabhängige
Tester zu verwenden.
-
Jeder
in der Nadelanordnung 130 verwendete Tester 132 ist ähnlich ausgebildet
wie der in 17 gezeigte Tester 122,
mit dem Unterschied, daß er
am rückwärtigen Ende
des deformierten Abschnitts 76 mit dem gemeinsamen Nadelrückabschnitt 134 zusammengefügt ist.
-
Der
deformierte Abschnitt 76 jedes Testers 132 hat
deshalb an seiner Oberseite einen Aussparungsabschnitt 126,
um die Zusammenfügungskraft mit
dem gemeinsamen Nadelrückabschnitt 134 zu verstärken, der
so ausgelegt ist, daß er
eine kammförmige
Gestalt aus einem nicht-leitenden Material aufweist.
-
Die
Nadelanordnung 130 weist näherungsweise eine U-förmige Gestalt auf durch die
Nadelvorderabschnitte 74, die deformierten Abschnitte 76 und den
gemeinsamen Nadelrückabschnitt 134 der
Tester 132. Die Abdeckung der die Nadelanordnung 130 verwendende
Verbindungsvorrichtung muß keinen Wandabschnitt 86 oder 88 wie
in 12 aufweisen.
-
Der
deformierte Abschnitt 76 jedes Testers 132 hat
an seiner Oberseite einen Aussparungsabschnitt 176, um
die Zusammenfügungskraft
mit dem Nadelrückabschnitt 124 zu
verstärken.
Der Oberseiten(Innenseite)-Bereich des rückwärtigen Endes des deformierten
Abschnitts 76 ist mit dem Nadelrückabschnitt 124 bedeckt,
während
die Unterseite (Außenseite)
nicht mit dem Nadelrückabschnitt 124 bedeckt ist,
sondern freigelegt ist.
-
Die
Verbindungsvorrichtung, welche die Nadelanordnung 130 verwendet,
kann ähnlich
wie die Verbindungsvorrichtung 70 und 120 montiert
und verwendet werden, und da die Nadelrückabschnitte 134 der
Tester 132 zusammengefügt
sind besteht ein Vorteil, wie beispielsweise eine Vereinfachung
der Herstellung der Nadelanordnung 130 sowie eine Vereinfachung
ihrer Montage in die Verbindungsvorrichtung, wobei außerdem Wirkungen
und Effekte erzielt werden ähnlich
zur Verbindungsvorrichtung 70 und 120.
-
In
dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel
wird die Abdeckung aus einem einzelnen Element gebildet, sie kann
aber auch aus mehreren Elementen gebildet werden. Beispielsweise
kann die Abdeckung gebildet werden aus einem plattenartigen Element
mit der Öffnung 38 und
einem Element mit einem Schlitz und einer Aussparung, oder durch
ein plattenförmiges
Element mit der Öffnung 38,
einem Element mit einem Schlitz und einem Element mit einer Aussparung.
Ferner kann sie aus einem plattenförmigen Element mit der Öffnung und
einer Aussparung und einem Element mit einem Schlitz gebildet werden.
-
Bezugnehmend
auf 19 verwendet die Verbindungsvorrichtung 140 mehrere
Tester 142 ähnlich
dem in 17 gezeigten Tester. Jeder
Tester 142 ist im Allgemeinen bogenförmig gekrümmt vom Nadelvorderabschnitt 144 zum
rückwärtigen Ende des
deformierten Abschnitts 146. Wenigstens die Oberfläche des
Nadelvorderabschnitts 144 und der deformierte Abschnitt 146 jedes
Testers 142 sind leitfähig.
-
Der
Nadelrückabschnitt 148 ist
L-förmig
ausgebildet aus einem nicht-leitenden Material wie beispielsweise
Kunstharz und ist am deformierten Abschnitt 146 befestigt.
Der Oberseiten (Innenseiten)-Bereich des rückwärtigen Endes des deformierten
Abschnitts 146 ist mit dem Nadelrückabschnitt 148 bedeckt,
während
die Unterseite (Außenseite) nicht
mit dem Nadelrückabschnitt 148 bedeckt
ist, sondern frei liegt.
-
Der
Nadelrückabschnitt 148 ist
unabhängig in
jedem Tester 142, kann aber für benachbarte Tester als gemeinsamer Nadelrückabschnitt 148 ausgelegt
werden. Um die Zusammenfügungskraft
zwischen dem deformierten Abschnitt 146 und dem Nadelrückabschnitt 148 zu
verstärken,
kann ein Aussparungsabschnitt 126 an der Oberseite des
deformierten Abschnitts 146 ausgebildet werden, wie es
in 17 oder 18 gezeigt
ist.
-
Die
Verbindungsvorrichtung 140 hat mehrere ausgedehnte Abdeckungen 150 wo
mehrere Tester 142 nebeneinander liegen, sowie einen langen
Nadelpresser 152, der auf der Innenseite jeder Abdeckung 150 angeordnet
ist, sowie einen Abstandshalter 154.
-
Jede
Abdeckung 150 ist im Wesentlichen eine Abdeckungsbasis.
Deshalb wird ein Hilfselement mit der Öffnung 38 entweder
einstückig
auf der Abdeckung 150 bereitgestellt oder mittels Schraubelementen
montiert. Jede Abdeckung 150 umfaßt eine erste Aussparung 156,
die auf der Seite der Grundplatte 20 offen ist, einen Schlitz 158,
der mit der ersten Aussparung 156 in Bezug steht, und eine
zweite Aussparung 160, die an der Seite der ersten Aussparung 156 geöffnet ist,
wie beispielsweise in 19 gezeigt ist. Die erste Aussparung 156,
der Schlitz 158 und die zweite Aussparung 160 erstrecken
sich durchgängig
in der Anordnungsrichtung der Tester 142.
-
Der
Nadelpresser 152 ist aus einem elastischen Material wie
beispielsweise einem Hartgummi gebildet, so daß er einen rechteckigen Querschnitt hat,
und in der ersten und der zweiten Aussparung 156 und 160 positioniert
ist. Der Abstandshalter 154 umfaßt eine Öffnung 162 von ungefähr den gleichen Abmessungen
wie die erste Aussparung 156 und ist zwischen der Abdeckung 150 und
der Grundplatte 20 derart angeordnet, daß die erste
Aussparung 156 und die Öffnung 162 zueinander
ausgerichtet sind. Konsequenter Weise wirkt der Abstandshalter als
Teil der Abdeckung 150, während die Öffnung 162 als Teil der
Aussparung 154 wirkt.
-
Die
Tester 142 sind in der ersten Aussparung 156 nebeneinander
angeordnet. Die Tester 142 sind derart angeordnet, daß die Nadelvorderabschnitte 144 sich
durch den Schlitz 158 nach oben hin hervorstehen und die Nadelrückabschnitte 148 sich
in die zweite Aussparung 160 erstrecken, und das rückwärtige Ende
des deformierten Abschnitts 146 wird gegen den Verdrahtungsabschnitt 28 der
Grundplatte 20 gepreßt.
Die Tester 142 sind an der rückwärtigen Endfläche in direktem
Kontakt mit der Innenfläche 160a der
zweiten Aussparung 160, so daß ein Zurückziehen verhindert wird.
-
Jede
Abdeckung 150 wird an der Grundplatte 20 vom Abstandshalter 154 überlappt,
wobei die Tester 142 und der Nadelpresser 152 untergebracht werden,
um zusammen mit dem Abstandshalter 154 mittels geeigneter
Mittel wie einem Schraubelement in die Grundplatte montiert zu werden.
Dabei bilden die Tester 142, die Abdeckungen 150,
der Nadelpresser 152 und der Abstandshalter 154 eine
Einheit.
-
Die
Verbindungsvorrichtung 140 verwendet entsprechend solche
Einheiten. Jede Einheit wird so in die gemeinsame Grundplatte 20 montiert,
daß die Anordnungsrichtung
der Nadelspitzen der Tester 142 mit der Anordnungsrichtung
des Elektrodenabschnitts eines zu inspizierenden Bauteils übereinstimmt,
und daß die
Nadelspitzen der Tester von sich gegenüberstehenden Einheiten sich
einander gegenüberstehen
können.
Dadurch wird der Elektrodenabschnitt des zu inspizierenden Bauteils
von der Nadelspitze eines jeweiligen Testers 142 aufgenommen.
-
In
dem dargestellten Beispiel umfaßt
die Abdeckung 150 keinen Schlitz zur Aufnahme des deformierten
Abschnitts 146 jedes Testers 142. Deshalb hat
jeder Tester 142 einen Abstandshalter 164, der am
Nadelvorderabschnitt 144 am benachbarten Tester 142 anschlägt. Der
Abstandshalter 164 ist aus einem nicht-leitenden Material,
wie beispielsweise Kunstharz, wie eine Platte ausgebildet, und ist
an einer Seite des Nadelvorderabschnitts 144 befestigt. Allerdings
können
der Abstandshalter 164 und der Tester 142 auch
einstückig
ausgebildet werden, so daß der
Nadelvorderabschnitt 144 jedes Testers 142 den
entsprechenden Abstandshalter 164 durchdringt.
-
In
der Verbindungsvorrichtung 140 wird, wenn das zu inspizierende
Bauteil gegen den Tester 142 gepreßt wird und der Tester 142 an
seiner Nadelspitze einer übertriebenen
Einwirkung unterliegt, der Tester 142 elastisch deformiert,
so daß der
Krümmungsradius
des deformierten Abschnitts 146 vergrößert wird, in einem Zustand,
bei dem ein Zurückziehen
entlang des deformierten Abschnitts 146 verhindert wird,
und drückt
den Nadelpresser 152 an der gegenüberliegenden Seite der Innenfläche 160a der Aussparung 160 gegen
die Innenfläche 160b.
Dadurch verlagert sich der Bereich des Testers 142, der sich
mit dem leitenden Abschnitt 28 in Kontakt befindet, in
Richtung der Nadelspitzenseite. Ferner zieht sich der Tester 142 aufgrund
der Hochverschiebung des kontaktierenden Abschnitts der Innenfläche 160a leicht
bezüglich
des leitfähigen
Abschnitts 28 zurück. Dieses
Zurückziehen
verhindert allerdings aus demselben Grund wie im Falle der Verbindungsvorrichtung 10 nicht,
daß der
Tester 142 elastisch deformiert wird.
-
Indem
der Tester 142 effektiv eine Abschabwirkung auf dem Elektrodenabschnitt
des zu inspizierenden Bauteils bewirkt und die Abdeckung 150 keinen
Schlitz zur Aufnahme des deformierten Abschnitts 146 des
Testers 142 umfaßt,
besteht keine Gefahr, daß die
benachbarten Tester 142 miteinander an der Nadelspitzseite
in Kontakt geraten, wenn die Nadelspitze gegen den Elektrodenabschnitt
des zu inspizierenden Bauteils gepreßt wird.
-
Der
Abstandshalter 164 kann in der Verbindungsvorrichtung bereitgestellt
werden durch Verwendung der vorgenannten Tester 22, 50, 52, 54, 60, 72, 102, 112, 122 und 132.
Auch können
statt des Bereitstellens des Abstandshalters 164 in jedem
Tester auch mehrere benachbarte Tester mittels eines nicht-leitenden
Materials wie beispielsweise Kunstharz an einem Bereich an der Nadelspitzenseite
miteinander verbunden werden.
-
Beispiele
von Deformationen der Verbindungsvorrichtung 140 sind in
den 20 bis 22 gezeigt.
-
Bezugnehmend
auf die 20 bis 22 verwendet
eine Verbindungsvorrichtung 170 eine halbierte Abdeckung 172.
Das durch diese Verbindungsvorrichtung 170 getestete Bauteil 12 hat
an beiden Seiten in seiner Querrichtung mehrere Elektrodenabschnitte 16.
Die Elektrodenabschnitte 16 sind in mehrere Elektrodengruppen
aufgeteilt, die den Breitseiten entsprechen und die in jeder Elektrodengruppe
nebeneinander liegen.
-
Eine
Abdeckung 172 ist in ein erstes und ein zweites Element 174, 176 aufgeteilt,
wie in 20 gezeigt ist, die in einem
gegenseitig überlappenden Zustand
mit mehreren Schraubelementen 872 und mehreren Positionsstiften 180 in
die Grundplatte 20 montiert werden (siehe 21 und 22 bzgl.
beider Fälle).
-
Der
Abdeckungsgrundabschnitt, d.h. das erste Element 174 ist
einstückig
mit der Abdeckung 150 und dem Abstandshalter 154 in 19 ausgebildet.
Konsequenter Weise umfaßt
das erste Element 174 eine Öffnung oder die erste Aussparung 184,
die an der Seite der Grundplatte 20 offen ist, mehrere Schlitze 186,
die mit der ersten Aussparung 184 in Verbindung stehen,
und eine zweite Aussparung 188, in der ein Nadelpresser 182 mit
kreisförmigem Querschnitt
positioniert ist, in jeder Elektrodengruppe. Andererseits umfaßt ein Hilfselement
oder das zweite Element 176 die Öffnung 38 mit der
geneigten Ebene 38a.
-
Die
Schlitze 186 stehen nicht nur mit der ersten und der zweiten
Aussparung 184, 188 in Verbindung, sondern durchdringen
auch das erste Element 174 in dessen Dickenrichtung. Die
zweite Aussparung 188 erstreckt sich durchgehend in der
Anordnungsrichtung mehrerer Tester 190 und ist an der Seite
der Grundplatte 28 offen.
-
Jeder
Tester 190 ist ein plattenförmiger Tester (eine Nadel des
Klingentyps), der annähernd J-förmig ausgebildet
ist aus einem leitenden Metallmaterial. Der Tester 190 hat
einen Nadelvorderabschnitt 192 mit einer Nadelspitze, einen
deformierten Abschnitt 194, der vom rückwärtigen Ende des Nadelvorderabschnitts 192 aus
einstückig
durchgehend ist, sowie einen Nadelrückabschnitt 196, der
vom rückwärtigen Ende
des deformierten Abschnitts aus einstückig durchgehend ist.
-
Der
Nadelvorderabschnitt 192 durchdringt den Schlitz 186 und
seine Nadelspitze steht ins Innere der Öffnung 18 vor. Der
deformierte Abschnitt 194 ist bogenförmig gekrümmt und wird teilweise in der ersten
Aussparung 184 aufgenommen. Die rückwärtige Endfläche des Nadelrückabschnitts 196 steht
in Kontakt mit der Innenfläche 188a der
zweiten Aussparung 188, um ein Zurückziehen zu verhindern.
-
Der
Nadelpresser 182 ist in dem dargestellten Beispiel stabförmig ausgebildet
aus einem elastischen Material wie Gummi und erstreckt sich in Längsrichtung
der zweiten Aussparung 188. Der Nadelpresser 182 drückt den
Tester 190 in einem Zustand bei der Montage in die Hilfsvorrichtung 170 derart,
daß der
Tester 190 am deformierten Abschnitt 194 mit dem
Verdrahtungsabschnitt 28 in Kontakt kommt.
-
In
der Verbindungsvorrichtung 170 wird der klingenförmige Tester 190 verwendet,
so daß,
wenn das zu inspizierende Bauteil gegen das Spitzende des Testers 190 gepreßt wird,
der Nadelpresser 182 mit dem Nadelrückabschnitt 196 gegen
die bogenförmige
Innenfläche 188b gedrückt wird.
Dadurch wird der Tester 190 so verschoben, daß der mit
dem leitfähigen
Abschnitt 28 in Kontakt befindliche Bereich sich in Richtung
der Nadelspitzseite verlagert.
-
Zu
diesem Zeitpunkt gleitet der durch die Rückführungskraft des Nadelpressers 182 am
rückwärtigen Ende
gegen die Innenfläche 188 gepreßte Tester 190 leicht
bezüglich
des leitfähigen
Abschnitts 28. Dieses Gleiten verhindert allerdings nicht
eine derartige Verschiebung des Testers 190, daß der mit dem
leitfähigen
Abschnitt 28 in Kontakt befindliche Abschnitt in Richtung
der Nadelspitzseite verlagert wird. Im Ergebnis bewirkt die Verbindungsvorrichtung 170 auch
eine Wirkung und einen Effekt ähnlich
dem Fall der Verbindungsvorrichtung 140.
-
Andere
Beispiele von Deformation der Verbindungsvorrichtung 140 sind
in den 23 und 24 gezeigt.
Die Verbindungsvorrichtung 200 positioniert mehrere Einheiten
auf der gemeinsamen Grundplatte, umfassend mehrere plattenförmige Tester 202,
die im wesentlichen J-förmig
aus einem leitenden Metallmaterial ausgebildet sind, sowie eine Abdeckung 204,
die den Bereich rechtsseitig der Linie 23-23 in 20 in
dem ersten Element 174 entspricht, sowie den gleichen Nadelpresser 182 wie
im Falle der Verbindungsvorrichtung 170.
-
Jeder
Tester 202 ist eine ax-geformte Nadel mit einer sich in
Längsrichtung
in 23 erstreckende Nadelspitze, und ein Nadelvorderabschnitt 206 hat
einen Nadelrückabschnitt 210 in
Kontakt mit einem bogenförmig
ausgebildeten Abschnitt 208 und einer Innenfläche 188a.
Der Tester 202 ist in einer Abdeckung 204 positioniert ähnlich dem
Fall des Testers 190 der Verbindungsvorrichtung 170.
-
Die
Verbindungsvorrichtung 200 weist auch mehrere Einheiten
auf, die in die gemeinsame Grundplatte 20 montiert sind,
wie im Falle der Verbindungsvorrichtung 140. Deshalb bewirkt
auch die Verbindungsvorrichtung 200 eine Wirkung und einen
Effekt ähnlich
dem Fall der Verbindungsvorrichtungen 140, 170.
In der Verbindungsvorrichtung 40 oder 200 kann
ein zweites Element mit der Öffnung 38 der
Verbindungsvorrichtung 170 gemeinsam auf den Abdeckungen 150 oder 204 positioniert
werden.
-
In
der Verbindungsvorrichtung 140, 170, 200 kann
die erste Aussparung 156, 184 als eine Aussparung
ausgelegt werden, die aus mehreren Kehlen besteht, um wenigstens
einen Teil des deformierten Abschnitts der Tester unabhängig aufzunehmen,
entsprechend der Tester 142, 190. In diesem Fall
erstrecken sich solche Kehlen in Intervallen parallel zur Längsrichtung
des Nadelpressers. Die erste und die zweite Aussparung 156 und 160 sowie 184 und 188 können auch
eine Aussparung sein. In der Verbindungsvorrichtung 140 kann,
statt die erste Aussparung 156 zusammengesetzt aus mehrerer
Kehlen auszubilden, die Öffnung 162 des
Abstandshalters 154 auch eine derartige Kehle sein.
-
Die
vorliegende Erfindung ist nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele
beschränkt.
Beispielsweise können
die Tester auch so ausgebildet sein, daß sie solch einfache Formen
aufweisen wie eine Bogenform, eine einseitig offene Rechteckform,
eine U-Form, eine L-Form, eine V-Form, eine W-Form, und dergleichen.
Auch können die
Tester in den vorstehenden Ausführungsbeispielen
mit umgedrehten Gestalten verwendet werden.
-
Es
ist für
den Fachmann offensichtlich, daß verschiedene
Modifikationen und Variationen an der Vorrichtung und dem Verfahren
der vorliegenden Erfindung vorgenommen werden können, ohne den Schutzbereich
der Erfindung zu verlassen. Deshalb ist vorgesehen, daß die vorliegende
Erfindung die Modifikationen und Variationen dieser Erfindung umfaßt, insofern
sie in den Schutzbereich der beigefügten Ansprüche fallen.