JPH11248747A - インタ―フェ―スを有するミクロ構造の試験ヘッド - Google Patents
インタ―フェ―スを有するミクロ構造の試験ヘッドInfo
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- JPH11248747A JPH11248747A JP10350650A JP35065098A JPH11248747A JP H11248747 A JPH11248747 A JP H11248747A JP 10350650 A JP10350650 A JP 10350650A JP 35065098 A JP35065098 A JP 35065098A JP H11248747 A JPH11248747 A JP H11248747A
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- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
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- G01R1/07357—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with flexible bodies, e.g. buckling beams
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
- H01R12/00—Structural associations of a plurality of mutually-insulated electrical connecting elements, specially adapted for printed circuits, e.g. printed circuit boards [PCB], flat or ribbon cables, or like generally planar structures, e.g. terminal strips, terminal blocks; Coupling devices specially adapted for printed circuits, flat or ribbon cables, or like generally planar structures; Terminals specially adapted for contact with, or insertion into, printed circuits, flat or ribbon cables, or like generally planar structures
- H01R12/70—Coupling devices
- H01R12/71—Coupling devices for rigid printing circuits or like structures
- H01R12/712—Coupling devices for rigid printing circuits or like structures co-operating with the surface of the printed circuit or with a coupling device exclusively provided on the surface of the printed circuit
- H01R12/714—Coupling devices for rigid printing circuits or like structures co-operating with the surface of the printed circuit or with a coupling device exclusively provided on the surface of the printed circuit with contacts abutting directly the printed circuit; Button contacts therefore provided on the printed circuit
Abstract
(57)【要約】
【課題】 試験中の電気部品の、好ましくは続いて近接
して配置される試験点と、接触させる装置を有する試験
ヘッドを提供する。 【解決手段】 電気部品は、試験装置の接続要素に電気
的に接続できかつ、好ましくは２つの案内パネルの少な
くとも１つの案内パネルの送り通し開口に配置される複
数個の接触要素を有し、各接触要素は案内のそれぞれ割
り当てられた送り通し開口に軸方向変位可能ふうに案内
され、各接触要素の一端は接続要素の一接触点に仕向け
られ、その他端は試験試料の各ケースの一試験点に仕向
けられることができる。試験ヘッドは、接触要素（２
５）が、固定手段を使用して、送り通し開口（２３、４
７）から離脱されないこと、および接続要素（１１）と
接触させる装置（７）とが、付属手段（９）を使用して
互いに着脱可能に接続されることを特徴とする。
して配置される試験点と、接触させる装置を有する試験
ヘッドを提供する。 【解決手段】 電気部品は、試験装置の接続要素に電気
的に接続できかつ、好ましくは２つの案内パネルの少な
くとも１つの案内パネルの送り通し開口に配置される複
数個の接触要素を有し、各接触要素は案内のそれぞれ割
り当てられた送り通し開口に軸方向変位可能ふうに案内
され、各接触要素の一端は接続要素の一接触点に仕向け
られ、その他端は試験試料の各ケースの一試験点に仕向
けられることができる。試験ヘッドは、接触要素（２
５）が、固定手段を使用して、送り通し開口（２３、４
７）から離脱されないこと、および接続要素（１１）と
接触させる装置（７）とが、付属手段（９）を使用して
互いに着脱可能に接続されることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、請求項１の前文に
よる、試験中の電気部品の、好ましくは続いて近接して
配置される試験点と、接触させる装置を有する試験ヘッ
ドに関する。
よる、試験中の電気部品の、好ましくは続いて近接して
配置される試験点と、接触させる装置を有する試験ヘッ
ドに関する。
【０００２】
【従来の技術】ここに述べる形式の試験ヘッドは、試験
中の電気部品、例えば半導体部品の続いて近接して配置
される複数個の試験点と同時に接触させるのに使用され
る。試験ヘッドは、弾性材料から構成され、試験手順中
に、各ケースの１つの割り当てられた試験点に当接され
る複数個のピン形状接触要素からなる。接触要素は接触
させる装置の部位である。接触力は、それぞれ、接触要
素が試験点に置かれ、または試験点が接触要素に置かれ
たとき、それらの縦延長部に垂直にばね延長下で接触要
素を折り込みおよび（または）曲げることにより加えら
れる。接触要素は互いに間隔をおいた２つの案内パネル
の送り通し開口に配置される。それらの機能のため、接
触要素は案内パネルの送り通し開口に軸方向可動に取り
付けられねばならない。試験ヘッドの作動できる位置、
すなわち２つの試験手順間の接触要素が重力方向に送り
通し開口から離脱する状態を防止するため、外寸が送り
通し開口の内法幅より大きい支持ヘッドを接触要素の端
部域に設けることがＤＥ２３６４７８６から周知であ
る。上案内パネルの、試験試料から離れて面する側に、
送り通し開口を被覆するカウンターベアリングが設けら
れ、このカウンターベアリングは試験ヘッドが回転した
とき送り通し開口からの離脱を防止するために使用され
る。カウンターベアリングは接触させる装置に着脱でき
ないように接続される結果、接触要素が、するとして
も、多大の消費でのみで変化できるのは、このために
は、カウンターベアリングが接触させる装置から除去さ
れねばならず、２つの部分を一体に保持する付属手段が
無効にされねばならないからである。接触要素間は比較
的長い距離のため、よく見られるように、たとえば、試
験中の半導体部品等、きわめて窮屈なスペースに配置さ
れる小さい試験点と最早接触できない。
中の電気部品、例えば半導体部品の続いて近接して配置
される複数個の試験点と同時に接触させるのに使用され
る。試験ヘッドは、弾性材料から構成され、試験手順中
に、各ケースの１つの割り当てられた試験点に当接され
る複数個のピン形状接触要素からなる。接触要素は接触
させる装置の部位である。接触力は、それぞれ、接触要
素が試験点に置かれ、または試験点が接触要素に置かれ
たとき、それらの縦延長部に垂直にばね延長下で接触要
素を折り込みおよび（または）曲げることにより加えら
れる。接触要素は互いに間隔をおいた２つの案内パネル
の送り通し開口に配置される。それらの機能のため、接
触要素は案内パネルの送り通し開口に軸方向可動に取り
付けられねばならない。試験ヘッドの作動できる位置、
すなわち２つの試験手順間の接触要素が重力方向に送り
通し開口から離脱する状態を防止するため、外寸が送り
通し開口の内法幅より大きい支持ヘッドを接触要素の端
部域に設けることがＤＥ２３６４７８６から周知であ
る。上案内パネルの、試験試料から離れて面する側に、
送り通し開口を被覆するカウンターベアリングが設けら
れ、このカウンターベアリングは試験ヘッドが回転した
とき送り通し開口からの離脱を防止するために使用され
る。カウンターベアリングは接触させる装置に着脱でき
ないように接続される結果、接触要素が、するとして
も、多大の消費でのみで変化できるのは、このために
は、カウンターベアリングが接触させる装置から除去さ
れねばならず、２つの部分を一体に保持する付属手段が
無効にされねばならないからである。接触要素間は比較
的長い距離のため、よく見られるように、たとえば、試
験中の半導体部品等、きわめて窮屈なスペースに配置さ
れる小さい試験点と最早接触できない。
【０００３】従って、本発明の目的は、接触要素が続い
て近接して配置されかつ容易に交換できる試験ヘッドを
提供することにある。
て近接して配置されかつ容易に交換できる試験ヘッドを
提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】請求項１の特長を有する
試験ヘッドは前記目的を達成するために提供される。後
者は、接触要素が固定手段を使用して送り通し開口から
離脱しないように固定されること、さらに接続要素と接
触させる装置とが付属手段を使用して互いに着脱可能に
接続されることで識別される。その結果、接続要素は接
触させる装置からまたはその逆に分離されて、それで２
つの部品の一方が容易に偏向できる。さらにまた、接続
要素と接触させる装置との分離により接触要素を、接続
要素に面する接触させる装置の側から容易にアクセスさ
せ保守修理に供される。さらに、試験装置の部分をなす
接続要素を、異なる接触させる装置に使用でき、普遍適
用性を得る。”異なる”接触させる装置は本質的に同一
構造を有し、特に、特定の試験試料の試験点の構成に適
応される接触要素の間隔構成、および（または）接触要
素数が異なる。従って、接続要素は異なる試験試料に普
遍的に使用され、それで、例えば、２つの試験手続き間
の、作動できる位置で軸方向に変位可能ふうに送り通し
開口に配置される接触要素は送り通し開口から滑り出
ず、接触要素が喪失しないように固定する固定手段が設
けられる。
試験ヘッドは前記目的を達成するために提供される。後
者は、接触要素が固定手段を使用して送り通し開口から
離脱しないように固定されること、さらに接続要素と接
触させる装置とが付属手段を使用して互いに着脱可能に
接続されることで識別される。その結果、接続要素は接
触させる装置からまたはその逆に分離されて、それで２
つの部品の一方が容易に偏向できる。さらにまた、接続
要素と接触させる装置との分離により接触要素を、接続
要素に面する接触させる装置の側から容易にアクセスさ
せ保守修理に供される。さらに、試験装置の部分をなす
接続要素を、異なる接触させる装置に使用でき、普遍適
用性を得る。”異なる”接触させる装置は本質的に同一
構造を有し、特に、特定の試験試料の試験点の構成に適
応される接触要素の間隔構成、および（または）接触要
素数が異なる。従って、接続要素は異なる試験試料に普
遍的に使用され、それで、例えば、２つの試験手続き間
の、作動できる位置で軸方向に変位可能ふうに送り通し
開口に配置される接触要素は送り通し開口から滑り出
ず、接触要素が喪失しないように固定する固定手段が設
けられる。
【０００５】試験ヘッドの好ましい典型実施例では、電
導材より構成される接触要素は、直径が大きい第１区分
と、直径が小さい第２隣接区分とを有し、直径の差は第
１区分域において電気絶縁層により引き起こされる。絶
縁層は、第１の場合、接触要素が触れたとき電気的接触
を防止することであり、接触要素の少なくともいくつか
は試験手続き中縦方向延長部と垂直に偏向される。第２
の場合、絶縁層は接触させる装置に接触装置を固定、す
なわちそれらが喪失しないように保護するために使用さ
れる。
導材より構成される接触要素は、直径が大きい第１区分
と、直径が小さい第２隣接区分とを有し、直径の差は第
１区分域において電気絶縁層により引き起こされる。絶
縁層は、第１の場合、接触要素が触れたとき電気的接触
を防止することであり、接触要素の少なくともいくつか
は試験手続き中縦方向延長部と垂直に偏向される。第２
の場合、絶縁層は接触させる装置に接触装置を固定、す
なわちそれらが喪失しないように保護するために使用さ
れる。
【０００６】試験試料の有利な実施例によれば、接触要
素は、案内のそれぞれ割り当てられた送り通し開口にお
いて、直径が小さい、それらの第２区分とともに軸方向
に変位可能ふうに案内され、送り通し開口の直径は直径
が大きい第１区分の外径より小さい。第１と第２区分間
の直径差の結果、段部、縁部等は接触要素に形成され
て、段部、縁部等は案内の面、縁部等に当接するため、
接触要素がその自重により離脱しない。この実施例によ
り、比較的大きい度合いの遊びが接触要素の第２区分と
送り通し開口との間に実現され、それで製造費は比較的
少なくで済む。
素は、案内のそれぞれ割り当てられた送り通し開口にお
いて、直径が小さい、それらの第２区分とともに軸方向
に変位可能ふうに案内され、送り通し開口の直径は直径
が大きい第１区分の外径より小さい。第１と第２区分間
の直径差の結果、段部、縁部等は接触要素に形成され
て、段部、縁部等は案内の面、縁部等に当接するため、
接触要素がその自重により離脱しない。この実施例によ
り、比較的大きい度合いの遊びが接触要素の第２区分と
送り通し開口との間に実現され、それで製造費は比較的
少なくで済む。
【０００７】第１実施例の変形によれば、直径の遷移、
すなわち接触要素の第１と第２区分間の直径差は、接触
要素の製造の面からみて、第２区分の絶縁を除去するこ
とにより形成される結果、これら要素はまず、第１作動
における絶縁層と、第２区分域の層を除去することによ
りもう１つの第２作動において設定される２つの区分の
所望長さとを備える。
すなわち接触要素の第１と第２区分間の直径差は、接触
要素の製造の面からみて、第２区分の絶縁を除去するこ
とにより形成される結果、これら要素はまず、第１作動
における絶縁層と、第２区分域の層を除去することによ
りもう１つの第２作動において設定される２つの区分の
所望長さとを備える。
【０００８】他の実施例の変形によれば、直径の遷移は
第１区分域で電気絶縁を付与することにより引き起こさ
れる。接触要素の第１と第２区分間の直径差の製作は、
ここで単一作動工程のみが必要である点で簡単化され
る。これは、例えば、接触要素を限定ふうに液化絶縁に
浸せきすることにより、第１区分に所望厚みの絶縁体を
正確に備えることよりなる。勿論、絶縁体はまた、他の
周知の製造方法を使用して、接触要素の第１区分に排他
的に付与される。
第１区分域で電気絶縁を付与することにより引き起こさ
れる。接触要素の第１と第２区分間の直径差の製作は、
ここで単一作動工程のみが必要である点で簡単化され
る。これは、例えば、接触要素を限定ふうに液化絶縁に
浸せきすることにより、第１区分に所望厚みの絶縁体を
正確に備えることよりなる。勿論、絶縁体はまた、他の
周知の製造方法を使用して、接触要素の第１区分に排他
的に付与される。
【０００９】試験ヘッドの典型的実施例は好ましくは、
案内は接触要素のため送り通し開口を備える少なくとも
２つの案内パネルを備え、各場合、案内パネルの、１つ
の接触要素に割り当てられる送り通し開口は、接触要素
が摩擦固定ふうにそれらに、またはそれらの少なくとも
１つに保持されるように、互いに分かれ出て配置される
ことにより識別される。送り通し開口とそこに配置され
る接触要素間の摩擦係合の結果接触要素に作用する保持
力が大きいので、試験ヘッドの作動できる位置におい
て、すなわち、接触要素が試験中の部品の試験点に当接
していないとき、接触要素は送り通し開口に保持され
る。これにより接触要素がその自重により試験ヘッドか
ら確実に離脱しないようにしている。摩擦係合の結果接
触要素に作用する保持力がまた同時に小さいので、接触
要素は試験手順中軸方向に変位する。これに関連して、
接触要素は、それらの縦方向延長部に垂直に、本質的に
垂直に案内パネル間の中間スペースにおいてばね延長中
に折り込みおよび（または）曲がる結果、接触力が加わ
る。試験中の部品の接触要素は、連続して近接、すなわ
ち、互いに好ましくはきわめて小さい距離で配置される
ので、試験点が小さくかつきわめて窮屈なスペースに配
置される試験用の部品の機能でも試験できる。従って、
接触要素を試験ヘッド、すなわち、案内パネルの送り通
し開口に保持するため、その直径の拡大を抑制できる。
接触要素の摩擦的固定保持より生づる他の利益は、それ
らをサービス容易に取り付けでき、すなわち、接触要素
を試験ヘッド内に導入したり必要時に交換することも容
易である。この目的のため、それぞれの接触要素を案内
パネルの送り通し開口から引き出したり、押し込むだけ
でよい。
案内は接触要素のため送り通し開口を備える少なくとも
２つの案内パネルを備え、各場合、案内パネルの、１つ
の接触要素に割り当てられる送り通し開口は、接触要素
が摩擦固定ふうにそれらに、またはそれらの少なくとも
１つに保持されるように、互いに分かれ出て配置される
ことにより識別される。送り通し開口とそこに配置され
る接触要素間の摩擦係合の結果接触要素に作用する保持
力が大きいので、試験ヘッドの作動できる位置におい
て、すなわち、接触要素が試験中の部品の試験点に当接
していないとき、接触要素は送り通し開口に保持され
る。これにより接触要素がその自重により試験ヘッドか
ら確実に離脱しないようにしている。摩擦係合の結果接
触要素に作用する保持力がまた同時に小さいので、接触
要素は試験手順中軸方向に変位する。これに関連して、
接触要素は、それらの縦方向延長部に垂直に、本質的に
垂直に案内パネル間の中間スペースにおいてばね延長中
に折り込みおよび（または）曲がる結果、接触力が加わ
る。試験中の部品の接触要素は、連続して近接、すなわ
ち、互いに好ましくはきわめて小さい距離で配置される
ので、試験点が小さくかつきわめて窮屈なスペースに配
置される試験用の部品の機能でも試験できる。従って、
接触要素を試験ヘッド、すなわち、案内パネルの送り通
し開口に保持するため、その直径の拡大を抑制できる。
接触要素の摩擦的固定保持より生づる他の利益は、それ
らをサービス容易に取り付けでき、すなわち、接触要素
を試験ヘッド内に導入したり必要時に交換することも容
易である。この目的のため、それぞれの接触要素を案内
パネルの送り通し開口から引き出したり、押し込むだけ
でよい。
【００１０】試験ヘッドの特に好ましい典型的実施例で
は、第３案内パネルが、接触させる装置の第１案内パネ
ルと第２案内パネルとの間の中間スペースに配置されて
設けられ、接触要素に割り当てられた送り通し開口の少
なくとも１つは、他の案内パネルの他の送り通し開口に
対し分かれ出されている。好ましくは、第３案内パネル
の送り通し開口は、第１と第２案内パネルの送り通し開
口に対し分かれ出でて配置され、それで試験ヘッドが組
み立てられると接触要素は制限ふうに湾曲される。その
結果、一方で、折り込み力は完全に排除され、他方、摩
擦係合が、接触要素と、各ケースで案内パネルの少なく
とも１つの割当送り通し開口との間で形成される。第３
案内パネルはまた、特に試験手順中に、接触要素が互い
に触れないようし、それで適切ならば、接触要素間の電
気絶縁をなしですませ、試験ヘッドの費用を減ずる。
は、第３案内パネルが、接触させる装置の第１案内パネ
ルと第２案内パネルとの間の中間スペースに配置されて
設けられ、接触要素に割り当てられた送り通し開口の少
なくとも１つは、他の案内パネルの他の送り通し開口に
対し分かれ出されている。好ましくは、第３案内パネル
の送り通し開口は、第１と第２案内パネルの送り通し開
口に対し分かれ出でて配置され、それで試験ヘッドが組
み立てられると接触要素は制限ふうに湾曲される。その
結果、一方で、折り込み力は完全に排除され、他方、摩
擦係合が、接触要素と、各ケースで案内パネルの少なく
とも１つの割当送り通し開口との間で形成される。第３
案内パネルはまた、特に試験手順中に、接触要素が互い
に触れないようし、それで適切ならば、接触要素間の電
気絶縁をなしですませ、試験ヘッドの費用を減ずる。
【００１１】接触要素の、試験点に対面および（また
は）離れて対面する自由端が接触先端を有する、試験ヘ
ッドの典型的実施例も好ましい。その結果、連続して接
近配置されるきわめて小さい試験点との接触がなされ
る。試験点の接触先端の小さい接触面のため、発生され
る面圧は良好な電気接触が形成されるように比較的高
い。第１の実施例変形によれば、一方または両自由端で
点にまたは先鋭にされて延び接触先端を形成する、好ま
しくはばね弾性材より構成されるピン形状接触要素が設
けられる。従って、それぞれ接触要素と接触先端は一体
構造である。他の典型的実施例において、接触先端は接
触要素の自由端に固定される別の部品である。その結
果、異なる形状および（または）異なるサイズの接触先
端を有する接触要素を各試験ヘッドに個々に使用して、
試験ヘッドの適応性を改善する。接触先端のデザインに
関係なく、その最大径または最大幅は、接触要素の直径
より小さいかまたは大きく、もしくはそれに対応する。
すなわち、接触要素から接触先端までの遷移は流体状お
よび連続し、さもなくば遷移は少なくとも１つの肩部を
有する。
は）離れて対面する自由端が接触先端を有する、試験ヘ
ッドの典型的実施例も好ましい。その結果、連続して接
近配置されるきわめて小さい試験点との接触がなされ
る。試験点の接触先端の小さい接触面のため、発生され
る面圧は良好な電気接触が形成されるように比較的高
い。第１の実施例変形によれば、一方または両自由端で
点にまたは先鋭にされて延び接触先端を形成する、好ま
しくはばね弾性材より構成されるピン形状接触要素が設
けられる。従って、それぞれ接触要素と接触先端は一体
構造である。他の典型的実施例において、接触先端は接
触要素の自由端に固定される別の部品である。その結
果、異なる形状および（または）異なるサイズの接触先
端を有する接触要素を各試験ヘッドに個々に使用して、
試験ヘッドの適応性を改善する。接触先端のデザインに
関係なく、その最大径または最大幅は、接触要素の直径
より小さいかまたは大きく、もしくはそれに対応する。
すなわち、接触要素から接触先端までの遷移は流体状お
よび連続し、さもなくば遷移は少なくとも１つの肩部を
有する。
【００１２】最後に、試験ヘッドの典型的実施例はま
た、接触要素が、固定フィルム、弾性層等に摩擦工程ふ
うに保持されることが好ましい。接触要素の固定手段の
すべての実施例変型では、柔軟で電気的に不導材で構成
される点は共通である。このような固定手段は各々、接
触要素に送り通し開口を有し、送り通し開口の直径は、
接触要素の外径よりも小さい、ある区域では少なくとも
小さい。固定手段と接触要素間にこのように形成される
摩擦係合は、たとえば、試験手続き中でも、送り通し開
口における接触要素の軸方向変位が可能である大きさで
ある。固定手段の弾性の機能として、試験手続き中、固
定手段または接触要素が刺通する固定手段の領域にとっ
て、接触要素の縦延長部で偏向され得ることである。試
験手順が終了した後、前記接触要素はその開始位置に自
動的にばね復帰する。しかし、接触要素を送り通し開口
に保持する固定力も小さくて、送り通し開口の接触要素
は試験手順中軸方向に変位される。固定手段のすべての
典型的実施例は、固定力が少なくとも、接触要素がその
自重で送り通し開口が滑りでないような大きさである点
で共通である。
た、接触要素が、固定フィルム、弾性層等に摩擦工程ふ
うに保持されることが好ましい。接触要素の固定手段の
すべての実施例変型では、柔軟で電気的に不導材で構成
される点は共通である。このような固定手段は各々、接
触要素に送り通し開口を有し、送り通し開口の直径は、
接触要素の外径よりも小さい、ある区域では少なくとも
小さい。固定手段と接触要素間にこのように形成される
摩擦係合は、たとえば、試験手続き中でも、送り通し開
口における接触要素の軸方向変位が可能である大きさで
ある。固定手段の弾性の機能として、試験手続き中、固
定手段または接触要素が刺通する固定手段の領域にとっ
て、接触要素の縦延長部で偏向され得ることである。試
験手順が終了した後、前記接触要素はその開始位置に自
動的にばね復帰する。しかし、接触要素を送り通し開口
に保持する固定力も小さくて、送り通し開口の接触要素
は試験手順中軸方向に変位される。固定手段のすべての
典型的実施例は、固定力が少なくとも、接触要素がその
自重で送り通し開口が滑りでないような大きさである点
で共通である。
【００１３】他の有利な実施例は他の従属請求項に見ら
れる。
れる。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明を以下図面を参照して詳細
に説明する。以下説明する試験ヘッドは、試験点が小さ
くて連続して配置される電子部品を試験するため使用さ
れる。試験ヘッドは、たとえば、高精度プリント回路盤
および半導体ウェーハを電気的に試験する半導体の分野
で一般に使用できる。
に説明する。以下説明する試験ヘッドは、試験点が小さ
くて連続して配置される電子部品を試験するため使用さ
れる。試験ヘッドは、たとえば、高精度プリント回路盤
および半導体ウェーハを電気的に試験する半導体の分野
で一般に使用できる。
【００１５】図１は、試験中の電気部品５の、連続して
配置される複数個の試験点３と同時に接触させる試験ヘ
ッド１の第１典型的実施例の詳細を示す略図である。試
験ヘッド１は、たとえば試験電圧源等からなる試験装置
の、接続要素１１、たとえばプリント回路盤に、付属手
段９を用いて、着脱可能に接続される、接触させる装置
７からなる。この典型的実施例において、付属手段９は
雄ねじを備えるねじにより形成され、このねじは２つだ
け図１に例示されている。ねじは、ここで各ケースにお
いて試験ヘッド１の基体１３のあけ孔に係合し、接続要
素１１に設けられる（詳細に図示しない）ネジ付きあけ
孔にねじ込まれる。もちろん、付属手段はまた、ピン接
続、軸／ハブ接続として、またはクランプ、ばね等によ
り形成される。重要なことは、接続要素１１のまた、接
触させる装置の凝集力が着脱可能接続により得られるこ
とである。そのため、付属手段は、２つの部品が互いに
分離されたとき破壊されない。
配置される複数個の試験点３と同時に接触させる試験ヘ
ッド１の第１典型的実施例の詳細を示す略図である。試
験ヘッド１は、たとえば試験電圧源等からなる試験装置
の、接続要素１１、たとえばプリント回路盤に、付属手
段９を用いて、着脱可能に接続される、接触させる装置
７からなる。この典型的実施例において、付属手段９は
雄ねじを備えるねじにより形成され、このねじは２つだ
け図１に例示されている。ねじは、ここで各ケースにお
いて試験ヘッド１の基体１３のあけ孔に係合し、接続要
素１１に設けられる（詳細に図示しない）ネジ付きあけ
孔にねじ込まれる。もちろん、付属手段はまた、ピン接
続、軸／ハブ接続として、またはクランプ、ばね等によ
り形成される。重要なことは、接続要素１１のまた、接
触させる装置の凝集力が着脱可能接続により得られるこ
とである。そのため、付属手段は、２つの部品が互いに
分離されたとき破壊されない。
【００１６】接触させる装置７は、第１案内パネル１
７、第２案内パネル１９、および第３案内パネル２１が
互いに平行にかつ互いに距離をおいて保持される、送り
通し孔１５を有するスリーブ形状基体１３からなる。試
験プローブとも言うピン形状接触要素２５が軸方向変位
可能ふうに案内される、送り通し開口２３が、案内パネ
ル１７、１９、および２１に設けられる。図１による試
験ヘッドから見て、５つの接触要素のみが示されてい
る。ここで言う試験ヘッドは数千接触要素までよりな
る。接触要素２５は、弾性、好ましくは、ばね弾性材、
たとえば、ばねメタルより構成され、ここでは座屈ワイ
ヤとして構成される。案内パネル１７、１９、及び２１
は好ましくは、電気的に不導電材、たとえば、プラスチ
ック、ガラス、セラミックまたはシリコン等より構成さ
れる。（図示しない）他の典型的実施例では、接触要素
の案内は、案内パネルに代えまたはそれに加えて、厚み
が案内パネルの厚みより厚い案内要素からなる。
７、第２案内パネル１９、および第３案内パネル２１が
互いに平行にかつ互いに距離をおいて保持される、送り
通し孔１５を有するスリーブ形状基体１３からなる。試
験プローブとも言うピン形状接触要素２５が軸方向変位
可能ふうに案内される、送り通し開口２３が、案内パネ
ル１７、１９、および２１に設けられる。図１による試
験ヘッドから見て、５つの接触要素のみが示されてい
る。ここで言う試験ヘッドは数千接触要素までよりな
る。接触要素２５は、弾性、好ましくは、ばね弾性材、
たとえば、ばねメタルより構成され、ここでは座屈ワイ
ヤとして構成される。案内パネル１７、１９、及び２１
は好ましくは、電気的に不導電材、たとえば、プラスチ
ック、ガラス、セラミックまたはシリコン等より構成さ
れる。（図示しない）他の典型的実施例では、接触要素
の案内は、案内パネルに代えまたはそれに加えて、厚み
が案内パネルの厚みより厚い案内要素からなる。
【００１７】図１に明示するように、各ケースで、それ
ぞれ第１案内パネル１７および第２案内パネル１９の、
接触要素２５に割り当てられた送り通し開口２３は互い
に平らに配置される。第１と第２案内パネル間の中間ス
ペースに配置される、第３案内パネル２１の割り当てら
れた送り通し開口２３は、案内パネル１７、１９の送り
通し開口２３に対し分かれ出される。その結果、送り通
し開口２３に配置される接触要素２５は湾曲を有する
か、または湾曲形状を有する。接触要素２５をそれらの
縦方向延長部に対し垂直に偏向することにより、接触要
素２５と案内パネル１７、１９、及び２１の割り当てら
れた送り通し開口２３の少なくとも１つとの間に摩擦係
合が引き起こされる。接触要素２５は、接触させる装置
７の基体１３に摩擦によって排他的に保持される。この
ようにして接触要素２５は送り通し開口２３からの離脱
または滑り出だしを確実に防止される。
ぞれ第１案内パネル１７および第２案内パネル１９の、
接触要素２５に割り当てられた送り通し開口２３は互い
に平らに配置される。第１と第２案内パネル間の中間ス
ペースに配置される、第３案内パネル２１の割り当てら
れた送り通し開口２３は、案内パネル１７、１９の送り
通し開口２３に対し分かれ出される。その結果、送り通
し開口２３に配置される接触要素２５は湾曲を有する
か、または湾曲形状を有する。接触要素２５をそれらの
縦方向延長部に対し垂直に偏向することにより、接触要
素２５と案内パネル１７、１９、及び２１の割り当てら
れた送り通し開口２３の少なくとも１つとの間に摩擦係
合が引き起こされる。接触要素２５は、接触させる装置
７の基体１３に摩擦によって排他的に保持される。この
ようにして接触要素２５は送り通し開口２３からの離脱
または滑り出だしを確実に防止される。
【００１８】接触要素２５は、その試験中の部品５の試
験点３に面する自由端２７と、その接続要素１１に面す
る自由端２８とに、各ケースにおいてピン形状接触要素
２５を先鋭にすることにより形成される接触先端２９を
有する。接触要素２５は、その試験点３から離れて面す
る自由端２８を各ケースにおいて１つの割り当てられた
接触点３１に押圧され、前記接触点３１は、図１に示す
実施例において、試験装置の接続要素１１に設けられ
る。接触要素２５の自由端２７は、各ケースにおいて、
試験中の部品５の１つの割り当てられた接触点３に押圧
される。
験点３に面する自由端２７と、その接続要素１１に面す
る自由端２８とに、各ケースにおいてピン形状接触要素
２５を先鋭にすることにより形成される接触先端２９を
有する。接触要素２５は、その試験点３から離れて面す
る自由端２８を各ケースにおいて１つの割り当てられた
接触点３１に押圧され、前記接触点３１は、図１に示す
実施例において、試験装置の接続要素１１に設けられ
る。接触要素２５の自由端２７は、各ケースにおいて、
試験中の部品５の１つの割り当てられた接触点３に押圧
される。
【００１９】試験ヘッドの作用を以下、試験手順を参照
してさらに詳細に説明する：図１に示される、接触をさ
せる装置７の作用位置において、接触要素２５は、試験
中の部品５の試験点３と、接続要素１１の接触点１１と
の両方と接触する。接触をさせる装置７と試験中の部品
５との間の相対移動の結果、接触要素２５は案内パネル
１９と２１の送り通し開口２３で軸方向に変位される。
第３案内パネル２１の送り通し開口の分かれ出配置によ
りすでに湾曲されている接触要素は縦方向のピン形状接
触要素への圧力の付与により偏向される。接触要素の材
料の弾性により発生される回復力により、ここでその接
触先端２９を、試験中の部品５の試験点３と接続要素１
１の接触点３２とに押圧する結果、低電気接触抵抗が得
られる。そこで、試験点３の連続性と互いのそれらの絶
縁とを試験し、また試験中の部品の作用を試験すること
ができる。試験手順が終了した後、接触をさせる装置７
と試験中の部品５は互いに分離される。ついで偏向／湾
曲接触要素２５は、それらの弾性のため、初期位置に自
動的に変位復帰される。
してさらに詳細に説明する：図１に示される、接触をさ
せる装置７の作用位置において、接触要素２５は、試験
中の部品５の試験点３と、接続要素１１の接触点１１と
の両方と接触する。接触をさせる装置７と試験中の部品
５との間の相対移動の結果、接触要素２５は案内パネル
１９と２１の送り通し開口２３で軸方向に変位される。
第３案内パネル２１の送り通し開口の分かれ出配置によ
りすでに湾曲されている接触要素は縦方向のピン形状接
触要素への圧力の付与により偏向される。接触要素の材
料の弾性により発生される回復力により、ここでその接
触先端２９を、試験中の部品５の試験点３と接続要素１
１の接触点３２とに押圧する結果、低電気接触抵抗が得
られる。そこで、試験点３の連続性と互いのそれらの絶
縁とを試験し、また試験中の部品の作用を試験すること
ができる。試験手順が終了した後、接触をさせる装置７
と試験中の部品５は互いに分離される。ついで偏向／湾
曲接触要素２５は、それらの弾性のため、初期位置に自
動的に変位復帰される。
【００２０】接続要素１１上の接触点３１が接触要素２
５の接触部として作用することが明らかになる。試験ヘ
ッドの（図示せざる）典型的実施例において、試験ヘッ
ド１の作動できる位置に、接触要素２５が接触点３１か
ら間隔をおいて配置される。その結果、試験点との接触
がなされると、接触要素２５は、接触点３１に当接する
程度まで最初軸方向に変位される。そこで、接触要素２
５をさらに曲げて、接触要素２５の接触先端２９をそれ
ぞれの試験点３またはそれぞれの接触点３１に押圧する
接触力を発生できるだけである。
５の接触部として作用することが明らかになる。試験ヘ
ッドの（図示せざる）典型的実施例において、試験ヘッ
ド１の作動できる位置に、接触要素２５が接触点３１か
ら間隔をおいて配置される。その結果、試験点との接触
がなされると、接触要素２５は、接触点３１に当接する
程度まで最初軸方向に変位される。そこで、接触要素２
５をさらに曲げて、接触要素２５の接触先端２９をそれ
ぞれの試験点３またはそれぞれの接触点３１に押圧する
接触力を発生できるだけである。
【００２１】図１に示される試験ヘッド１の典型的実施
例は、きわめてコンパクトなデザインと、たとえば、試
験中の異なる部品および（または）試験パラメータに対
する高いレベルの適応性とにより識別される。
例は、きわめてコンパクトなデザインと、たとえば、試
験中の異なる部品および（または）試験パラメータに対
する高いレベルの適応性とにより識別される。
【００２２】図２は、試験ヘッド１のもう１つの典型的
実施例の略図である。図１に相当する部品には同じ参照
符号が付され、それで、この点については、図１に係る
説明を参照されたい。以下では、異なる点についてのみ
詳細に説明する。
実施例の略図である。図１に相当する部品には同じ参照
符号が付され、それで、この点については、図１に係る
説明を参照されたい。以下では、異なる点についてのみ
詳細に説明する。
【００２３】接触させる装置７は、付属手段９を使用し
て、着脱可能ふうに接続され、この典型的実施例では、
接続要素１１にねじにより形成され、また、要素に接触
点３１が設けられる、試験装置の接続ヘッド３３により
形成される。ねじは、ここで接続ヘッドに設けられる送
り孔を介し係合し、試験ヘッド１の基体１３に設けたネ
ジ付きあけ孔にねじ込まれる。接触点３１は各々、ライ
ン３５の自由端に接続され、このラインは、直接または
（図示せざる）プラグ型コネクターに接続される。ライ
ン３５は、接続ヘッド３３の孔３７に、固定、たとえ
ば、結合される。接触点３１は、各ケースにおいて、ラ
イン３５の自由端に接続され、このラインは（図示せざ
る）プラグ型コネクターを経てまたは直接試験装置に接
続される。ライン３５は、接続ヘッド３３の孔３７に付
着、たとえば、結合される。
て、着脱可能ふうに接続され、この典型的実施例では、
接続要素１１にねじにより形成され、また、要素に接触
点３１が設けられる、試験装置の接続ヘッド３３により
形成される。ねじは、ここで接続ヘッドに設けられる送
り孔を介し係合し、試験ヘッド１の基体１３に設けたネ
ジ付きあけ孔にねじ込まれる。接触点３１は各々、ライ
ン３５の自由端に接続され、このラインは、直接または
（図示せざる）プラグ型コネクターに接続される。ライ
ン３５は、接続ヘッド３３の孔３７に、固定、たとえ
ば、結合される。接触点３１は、各ケースにおいて、ラ
イン３５の自由端に接続され、このラインは（図示せざ
る）プラグ型コネクターを経てまたは直接試験装置に接
続される。ライン３５は、接続ヘッド３３の孔３７に付
着、たとえば、結合される。
【００２４】図１と図２に示す典型的実施例は、接触さ
せる装置７が付属手段９を着脱することにより試験ヘッ
ド１の他の部品から容易に分離できる点で共通である。
そこで、接触要素２５は送り通し孔１５の２つの開口か
らアクセスでき、個々の接触要素の交換を容易にする。
接触要素２５が案内パネル１７、１９、２１の送り通し
開口２３の少なくとも１つに摩擦係合することによりだ
けで保持されるため、前記要素２５は送り通し開口から
容易に除去されて、新たな接触要素が挿入できる。
せる装置７が付属手段９を着脱することにより試験ヘッ
ド１の他の部品から容易に分離できる点で共通である。
そこで、接触要素２５は送り通し孔１５の２つの開口か
らアクセスでき、個々の接触要素の交換を容易にする。
接触要素２５が案内パネル１７、１９、２１の送り通し
開口２３の少なくとも１つに摩擦係合することによりだ
けで保持されるため、前記要素２５は送り通し開口から
容易に除去されて、新たな接触要素が挿入できる。
【００２５】要約すると、特に、接触要素が案内パネル
の送り通し開口に摩擦係合することにより、または案内
パネルのうち１つの送り通し開口に摩擦係合することに
よるだけで保持されるため、図１と図２を参照して説明
した試験ヘッド１は簡単な構成であるから、費用効果的
に製造できる。試験ヘッドを用いて、試験点がきわめて
小さくかつ、互いにわずかな距離をおいて配置されてい
る試験のため微構造部品を試験でき、接触要素と試験点
との間また接触要素と接触点との間の良好な電気的接触
が、先鋭接触要素および、それぞれ接触要素の接触先端
により、また高面圧によって達成される。
の送り通し開口に摩擦係合することにより、または案内
パネルのうち１つの送り通し開口に摩擦係合することに
よるだけで保持されるため、図１と図２を参照して説明
した試験ヘッド１は簡単な構成であるから、費用効果的
に製造できる。試験ヘッドを用いて、試験点がきわめて
小さくかつ、互いにわずかな距離をおいて配置されてい
る試験のため微構造部品を試験でき、接触要素と試験点
との間また接触要素と接触点との間の良好な電気的接触
が、先鋭接触要素および、それぞれ接触要素の接触先端
により、また高面圧によって達成される。
【００２６】図３は、試験ヘッド１の第３の典型的実施
例の基本的概要を示す。同一部品には同一参照符号が付
され、それで、この点については前記図面を参照された
い。以下では、異なる点についてのみ詳細に説明する。
試験ヘッド１は、図１と図２による典型的実施例のよう
に、互いに距離をおいて配置されかつ、試験ヘッド１の
基体１３の送り通し孔１５に付着される３つの案内パネ
ル１７、１９、２１からなる案内よりなる。この典型的
実施例では、互いに平らに配置される接触要素２５の送
り通し開口２３が、案内パネル１７、１９、２１に設け
られている。このことは、各ケースで１つの接触要素に
割り当てられる送り通し開口２３の縦軸線が、案内パネ
ルの仮想直線Ｇに前後に配置されることを意味し、この
線は図３の破線で示されている。この典型的実施例で
は、好ましくは柔軟材よりなる固定フィルム４５により
形成される固定手段４３は、案内パネル１７と２１間の
中間スペース４１に配置される。固定フィルム４５に
は、案内パネル１７、１９、２１の送り通し開口２３に
対し平らに配置され、また各ケースで、１つの接触要素
２５が摩擦固定ふうに保持されている、送り通し開口４
７が設けられる。すなわち、送り通し開口４７の直径
は、少なくともある区分では、接触要素の外径よりも小
さい。固定フィルム４５は、二重矢印４９の方向に案内
パネル１７と２１間で自由に移動できる。案内パネル１
７と２１間の固定フィルム４５の配置と、送り通し開口
４７における接触要素の摩擦固定とにより、接触要素２
５は接触させる装置７からの滑りまたは離脱が防止され
る。勿論、固定フィルム４５は、基体１３の送り通し孔
１５に非変位ふうに付着できるので、締め付け固定フィ
ルムのある区域のみが試験手順中偏向または曲げられ
る。
例の基本的概要を示す。同一部品には同一参照符号が付
され、それで、この点については前記図面を参照された
い。以下では、異なる点についてのみ詳細に説明する。
試験ヘッド１は、図１と図２による典型的実施例のよう
に、互いに距離をおいて配置されかつ、試験ヘッド１の
基体１３の送り通し孔１５に付着される３つの案内パネ
ル１７、１９、２１からなる案内よりなる。この典型的
実施例では、互いに平らに配置される接触要素２５の送
り通し開口２３が、案内パネル１７、１９、２１に設け
られている。このことは、各ケースで１つの接触要素に
割り当てられる送り通し開口２３の縦軸線が、案内パネ
ルの仮想直線Ｇに前後に配置されることを意味し、この
線は図３の破線で示されている。この典型的実施例で
は、好ましくは柔軟材よりなる固定フィルム４５により
形成される固定手段４３は、案内パネル１７と２１間の
中間スペース４１に配置される。固定フィルム４５に
は、案内パネル１７、１９、２１の送り通し開口２３に
対し平らに配置され、また各ケースで、１つの接触要素
２５が摩擦固定ふうに保持されている、送り通し開口４
７が設けられる。すなわち、送り通し開口４７の直径
は、少なくともある区分では、接触要素の外径よりも小
さい。固定フィルム４５は、二重矢印４９の方向に案内
パネル１７と２１間で自由に移動できる。案内パネル１
７と２１間の固定フィルム４５の配置と、送り通し開口
４７における接触要素の摩擦固定とにより、接触要素２
５は接触させる装置７からの滑りまたは離脱が防止され
る。勿論、固定フィルム４５は、基体１３の送り通し孔
１５に非変位ふうに付着できるので、締め付け固定フィ
ルムのある区域のみが試験手順中偏向または曲げられ
る。
【００２７】図３に示す試験ヘッドの典型的実施例の一
実施例変型において、第１と第２案内パネル１７、１９
の、各ケースにおいて接触要素２５に割り当てられた送
り通し開口２３は互いに平らに配置されること、および
案内パネル１７、１９間に配置される第３案内パネル２
１の送り通し開口２３は他の案内パネルの送り通し開口
２３に対し分かれ出されることを提供する。その結果、
送り通し開口に設けられる接触要素はその縦方向延長部
に垂直に偏向され、それで後者は円弧を持つことにな
る。その結果、接触要素は、圧力負荷を受けると偏向す
る、好ましい方向が付与される。言い換えれば、接触要
素の好ましい曲げ方向は、案内パネルまたはそこに設け
られる送り通し開口を互いに分かれ出すことにより設定
できる。試験ヘッドのこの実施例変型において、特に有
利なことは、取り付け状態において、接触要素の曲げ形
状は、接触要素を曲げるのに必要な力を排除する。固定
フィルム４５の送り通し開口４７も案内パネル１７、１
９、２１の少なくとも１つの送り通し開口２３に対し分
かれ出て配置できる。
実施例変型において、第１と第２案内パネル１７、１９
の、各ケースにおいて接触要素２５に割り当てられた送
り通し開口２３は互いに平らに配置されること、および
案内パネル１７、１９間に配置される第３案内パネル２
１の送り通し開口２３は他の案内パネルの送り通し開口
２３に対し分かれ出されることを提供する。その結果、
送り通し開口に設けられる接触要素はその縦方向延長部
に垂直に偏向され、それで後者は円弧を持つことにな
る。その結果、接触要素は、圧力負荷を受けると偏向す
る、好ましい方向が付与される。言い換えれば、接触要
素の好ましい曲げ方向は、案内パネルまたはそこに設け
られる送り通し開口を互いに分かれ出すことにより設定
できる。試験ヘッドのこの実施例変型において、特に有
利なことは、取り付け状態において、接触要素の曲げ形
状は、接触要素を曲げるのに必要な力を排除する。固定
フィルム４５の送り通し開口４７も案内パネル１７、１
９、２１の少なくとも１つの送り通し開口２３に対し分
かれ出て配置できる。
【００２８】もう１つの有利な典型的実施例において、
好ましくは柔軟材または弾性層より構成される、固定手
段４３、すなわち、たとえば、固定フィルムが案内パネ
ル１７、２１の少なくとも１つに、たとえば、中間スペ
ース４５に面するガイドパネル側に設けられる。その結
果、試験ヘッド１の製造、特に取り付けが簡単化でき
る。
好ましくは柔軟材または弾性層より構成される、固定手
段４３、すなわち、たとえば、固定フィルムが案内パネ
ル１７、２１の少なくとも１つに、たとえば、中間スペ
ース４５に面するガイドパネル側に設けられる。その結
果、試験ヘッド１の製造、特に取り付けが簡単化でき
る。
【００２９】図４は、付属手段９を使用して接続要素１
１が着脱可能に付着される基体１３と接触させる装置７
からなる試験ヘッド１のもう１つの典型的実施例の詳細
を示す。接続要素１１に設けられる接触点３１は、ここ
でリボンケーブル５１を経て試験装置に接続される。こ
の典型的実施例において、接触させる装置７は、基体１
３の送り通し孔１５に、互いに平行にかつ互いに距離を
おいて付着される、２つの案内パネル１７、１９のみか
らなる。案内パネル１７、１９に設けられる送り通し開
口２３に、縦方向延長部のある区分における電気的絶縁
層５３を備える接触要素２５が配置される。絶縁層５３
のため、接触要素２５は、直径が大きい第１区分５５
と、直径が小さい第２隣接区分５７とを有する。そのた
め、直径差は、第１区分５５の領域の絶縁層５３により
引き起こされる。接触要素２５は、案内パネル１９のそ
れぞれ割り当てられた送り通し開口２３における、直径
が小さい第２区分５７により、また案内パネル１７の送
り通し開口２３における、直径が大きい区分５５によ
り、軸方向に変位可能ふうに案内される。
１が着脱可能に付着される基体１３と接触させる装置７
からなる試験ヘッド１のもう１つの典型的実施例の詳細
を示す。接続要素１１に設けられる接触点３１は、ここ
でリボンケーブル５１を経て試験装置に接続される。こ
の典型的実施例において、接触させる装置７は、基体１
３の送り通し孔１５に、互いに平行にかつ互いに距離を
おいて付着される、２つの案内パネル１７、１９のみか
らなる。案内パネル１７、１９に設けられる送り通し開
口２３に、縦方向延長部のある区分における電気的絶縁
層５３を備える接触要素２５が配置される。絶縁層５３
のため、接触要素２５は、直径が大きい第１区分５５
と、直径が小さい第２隣接区分５７とを有する。そのた
め、直径差は、第１区分５５の領域の絶縁層５３により
引き起こされる。接触要素２５は、案内パネル１９のそ
れぞれ割り当てられた送り通し開口２３における、直径
が小さい第２区分５７により、また案内パネル１７の送
り通し開口２３における、直径が大きい区分５５によ
り、軸方向に変位可能ふうに案内される。
【００３０】案内パネル１９に設けられる送り通し開口
２３の直径は、第１区分５５の領域における接触要素の
直径よりも小さい。これにより、接触要素２５は、重力
作用により試験試料５の方向に接触させる装置７から離
脱できないようにする。試験試料５から離れて面する接
触させる装置７側で、ここで基体１３の送り通し孔１５
は、基要素１３に着脱可能に付着される接続要素１１に
より被覆されるから、接触要素２５は同様に、離脱しな
い。
２３の直径は、第１区分５５の領域における接触要素の
直径よりも小さい。これにより、接触要素２５は、重力
作用により試験試料５の方向に接触させる装置７から離
脱できないようにする。試験試料５から離れて面する接
触させる装置７側で、ここで基体１３の送り通し孔１５
は、基要素１３に着脱可能に付着される接続要素１１に
より被覆されるから、接触要素２５は同様に、離脱しな
い。
【００３１】第１区分５５は直径ｄ1 を有し、直径が小
さい第２区分５７は直径ｄ2 を有し、これは、ここで接
触要素２５の外径に相当する。図４から明らかなよう
に、第１区分の長さを選択するには、接触要素２５の非
負荷状態において、すなわち、たとえば、２つの試験手
順間で、接触要素２５の接触先端２９と接続要素１１上
の接触点３１間に隙間Ｇを設けるようにする。試験ヘッ
ド１が試験試料に、またはその逆に、嵌合されると、接
触要素２５は、接触先端１９が接触点３１に当接するま
で軸方向に変位される。接触要素２５に圧力を加えるこ
とによって、それらは、案内パネル１７と１９間の中間
スペースでその縦方向延長部に対し横方向に変位され、
それで材料の弾性により発生される回復力により接触要
素の接触先端を試験点３と接触点３１とに押圧する。
さい第２区分５７は直径ｄ2 を有し、これは、ここで接
触要素２５の外径に相当する。図４から明らかなよう
に、第１区分の長さを選択するには、接触要素２５の非
負荷状態において、すなわち、たとえば、２つの試験手
順間で、接触要素２５の接触先端２９と接続要素１１上
の接触点３１間に隙間Ｇを設けるようにする。試験ヘッ
ド１が試験試料に、またはその逆に、嵌合されると、接
触要素２５は、接触先端１９が接触点３１に当接するま
で軸方向に変位される。接触要素２５に圧力を加えるこ
とによって、それらは、案内パネル１７と１９間の中間
スペースでその縦方向延長部に対し横方向に変位され、
それで材料の弾性により発生される回復力により接触要
素の接触先端を試験点３と接触点３１とに押圧する。
【００３２】直径の差ｄ1 −ｄ2 は、この典型的実施例
において、第２区分５７の絶縁を除去することにより引
き起こされる。これは、接触要素２５が最初、完全に絶
縁層を備え、これが再び、第２区分５７において接触先
端で除去されることを意味する。しかし、また、直径差
のため、すなわち、接触要素の第１区分５５から隣接第
２区分５７までの段状遷移が、はじめから電気絶縁層が
第１区分５５のみに付与されるために実現され得る。従
って、この絶縁は接触要素の限定長さにのみ付与され、
そのため、直径差は一作動で製造できるので、接触要素
の製造は簡単化できる。
において、第２区分５７の絶縁を除去することにより引
き起こされる。これは、接触要素２５が最初、完全に絶
縁層を備え、これが再び、第２区分５７において接触先
端で除去されることを意味する。しかし、また、直径差
のため、すなわち、接触要素の第１区分５５から隣接第
２区分５７までの段状遷移が、はじめから電気絶縁層が
第１区分５５のみに付与されるために実現され得る。従
って、この絶縁は接触要素の限定長さにのみ付与され、
そのため、直径差は一作動で製造できるので、接触要素
の製造は簡単化できる。
【００３３】図４について説明される試験ヘッドの典型
的実施例の一実施例変型において、案内パネル１７、１
９における、各ケースにおいて接触要素に割り当てられ
る送り通し開口２３は、それらに設けられる接触要素が
曲げ形状を有するように互いに分かれ出て配置される。
その結果、曲げ力は完全に除去され、接触要素が、たと
えば、試験手順中、圧力がそれらの端部に加えられる
と、偏向される好ましい方向が予め限定される。
的実施例の一実施例変型において、案内パネル１７、１
９における、各ケースにおいて接触要素に割り当てられ
る送り通し開口２３は、それらに設けられる接触要素が
曲げ形状を有するように互いに分かれ出て配置される。
その結果、曲げ力は完全に除去され、接触要素が、たと
えば、試験手順中、圧力がそれらの端部に加えられる
と、偏向される好ましい方向が予め限定される。
【００３４】図１から図４について説明した試験ヘッド
１のすべての典型的実施例は、接触要素２５が、固定手
段を使用して、接触させる装置７内または上に、簡単で
費用効果的な方法で保持されて、接触要素が案内パネル
の送り通し開口から滑りでないようにする点で共通であ
る。たとえば、２つの案内パネルにより、互いに分かれ
出て配置される送り通し開口を形成し、接触要素が摩擦
固定、予曲げ捕捉ふうに保持される、固定手段の構成の
ため、接触要素は特に互いに近接して配置できるので、
試験点の狭い間隔構成を有する試験試料でも容易に試験
できる。さらにまた、特に有利なのは、接続要素１１と
接触させる装置７が互いに着脱可能に接続される結果、
基体１３の送り通し孔１５に保持される接触要素２５が
送り通し孔の両側から容易にアクセスできることであ
る。さらにまた、接触要素の実施例変型によっては、送
り通し孔１５の両側の個々の接触要素を交換できる。
１のすべての典型的実施例は、接触要素２５が、固定手
段を使用して、接触させる装置７内または上に、簡単で
費用効果的な方法で保持されて、接触要素が案内パネル
の送り通し開口から滑りでないようにする点で共通であ
る。たとえば、２つの案内パネルにより、互いに分かれ
出て配置される送り通し開口を形成し、接触要素が摩擦
固定、予曲げ捕捉ふうに保持される、固定手段の構成の
ため、接触要素は特に互いに近接して配置できるので、
試験点の狭い間隔構成を有する試験試料でも容易に試験
できる。さらにまた、特に有利なのは、接続要素１１と
接触させる装置７が互いに着脱可能に接続される結果、
基体１３の送り通し孔１５に保持される接触要素２５が
送り通し孔の両側から容易にアクセスできることであ
る。さらにまた、接触要素の実施例変型によっては、送
り通し孔１５の両側の個々の接触要素を交換できる。
【００３５】損害を与えない簡単な方法で接続要素と接
触させる装置を分離する可能性により各部品の１つを早
急に交換させる。加えて、試験ヘッドは、試験点の異な
る間隔構成を有する試験試料の複数個の実施例を試験す
るために使用できる。これをなすのに必要なことのすべ
ては、接触させる要素を、対応して異なるデザインであ
る接触させる要素と交換することである。
触させる装置を分離する可能性により各部品の１つを早
急に交換させる。加えて、試験ヘッドは、試験点の異な
る間隔構成を有する試験試料の複数個の実施例を試験す
るために使用できる。これをなすのに必要なことのすべ
ては、接触させる要素を、対応して異なるデザインであ
る接触させる要素と交換することである。
【図１】本発明による試験ヘッドの第１典型的実施例の
基本概略である。
基本概略である。
【図２】試験ヘッドの第２典型的実施例の基本概略であ
る。
る。
【図３】試験ヘッドのもう１つの典型的実施例の断面で
ある。
ある。
【図４】試験ヘッドのもう１つの典型的実施例の断面で
ある。
ある。
１ 試験ヘッド ３ 試験点 ５ 電気部品 ７ 接触させる装置 ９ 付属装置 １１ 接触要素 １３ 基体 １５ 送り通し孔 １７、１９、２１ 案内パネル ２３、４７ 送り通し開口 ２５ ピン形状接触要素 ２９ 接触先端 ３１ 接触点 ３３ 接続ヘッド ４３ 固定手段 ４５ 固定フィルム ５１ リボンケーブル ５３ 絶縁層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウルリッヒ ガウス ドイツ国 71083 ヘレンベルク アルツ エンタルストラッセ 23 (72)発明者 ハインツ ドイッヒ ドイツ国 71134 アイドリンゲン ダク テラー ベルクストラッセ 24
Claims (20)
- 【請求項１】 試験中の電気部品の、好ましくは続いて
近接して配置される試験点と、接触させる装置を有する
試験ヘッドにおいて、電気部品は、試験装置の接続要素
に電気的に接続できかつ、好ましくは２つの案内パネル
の少なくとも１つの案内パネルの送り通し開口に配置さ
れる複数個の接触要素を有し、各接触要素は案内のそれ
ぞれ割り当てられた送り通し開口に軸方向変位可能ふう
に案内され、各接触要素の一端は接続要素の一接触点に
仕向けられ、その他端は試験試料の各ケースの一試験点
に仕向けられることができ、接触要素（２５）は送り通
し開口（２３；４７）から離脱しないように固定手段を
使用して固定され、接続要素（１１）と接触させる装置
（７）は付属手段（９）を使用して互いに着脱可能に接
続されるようにしてなる、試験ヘッド。 - 【請求項２】 各接触要素は、それぞれ割り当てられた
送り通し開口（２３；４７）に摩擦固定ふうに保持され
る請求項１記載の試験ヘッド。 - 【請求項３】 導電材より構成される接触要素（２５）
は、直径が大きい第１区分（５５）と、直径が小さい隣
接第２区分（５７）とを有し、直径の差（ｄ 1 −ｄ2 ）
は第１区分（５５）の領域で電気絶縁層（５３）により
引き起こされる請求項１または２記載の試験ヘッド。 - 【請求項４】 接触要素（２５）は、案内（案内パネル
（１９））のそれぞれ割り当てられた送り通し開口（２
３）でそれらの第２区分（５７）とともに軸方向変位可
能ふうに案内され、送り通り開口（２３）の直径は第１
区分（５５）の外径（ｄ1 ）よりも小さい請求項３記載
の試験ヘッド。 - 【請求項５】 直径の遷移（ｄ1 −ｄ2 ）は第２区分
（５７）の絶縁を除去することによって形成される前記
請求項３または４の１つ記載の試験ヘッド。 - 【請求項６】 直径の遷移（ｄ1 −ｄ2 ）は第１区分
（５５）の領域で電気絶縁を付与することによって引き
起こされる前記請求項３または４の１つ記載の試験ヘッ
ド。 - 【請求項７】 案内は、接触要素のための送り出し開口
を備える少なくとも２つの案内パネルからなり、案内パ
ネル（１７、１９）の、各ケースで一方の接触要素に割
り当てられる送り通し開口（２３）は、接触要素（２
５）がそれらに、またはそれらの少なくとも１つに摩擦
固定ふうに保持される仕方で互いに分かれ出て配置され
る前記各請求項の１つに記載の試験ヘッド。 - 【請求項８】 第１案内パネル（１７）と第２案内パネ
ル（１９）との間の中間スペースに配置される第３案内
パネル（２１）を備え、接触要素（２５）に割り当てら
れる送り通し開口（２３）の少なくとも１つは、他の案
内パネルの他の送り通し開口（２３）にたいし分かれ出
される前記各請求項の１つに記載の試験ヘッド。 - 【請求項９】 第１と第２案内パネル（１７、１９）
の、各ケースにおける接触要素（２５）に割り当てられ
る送り通し開口（２３）は互いに平らに配置され、第３
案内パネル（２１）における割り当てられた送り通し開
口（２３）は他の案内パネル（１７、１９）の送り通し
開口（２３）にたいし分かれ出される前記各請求項の１
つに記載の試験ヘッド。 - 【請求項１０】 各接触要素（２５）は、弾性、好まし
くはばね弾性材により構成される前記各請求項の１つに
記載の試験ヘッド。 - 【請求項１１】 接触要素（２５）は、座屈ワイヤとし
て構成される前記各請求項の１つに記載の試験ヘッド。 - 【請求項１２】 試験点（３）に面しおよび（または）
離れて面する接触要素（２５）の自由端は、接触先端
（２９）を有する前記各請求項の１つに記載の試験ヘッ
ド。 - 【請求項１３】 試験点（３）に面する接触要素（２
５）の端部（２７）は、それぞれ割り当てられた試験点
（３）に押圧される前記各請求項の１つに記載の試験ヘ
ッド。 - 【請求項１４】 試験点（３）から離れて面する接触要
素（２５）の自由端（２８）は、試験装置と電気接触す
るために、各ケースにおいて、割り当てられた接触点
（３１）に押圧される前記各請求項の１つに記載の試験
ヘッド。 - 【請求項１５】 接触点（３１）は接続要素（１１）に
設けられる前記各請求項の１つに記載の試験ヘッド。 - 【請求項１６】 接触点（３１）は、試験装置に至るラ
イン（３５）の自由端に接続される前記各請求項の１つ
に記載の試験ヘッド。 - 【請求項１７】 接触要素は、固定フィルム（４５）、
弾性層等の送り通し開口（４７）に摩擦固定ふうに保持
される、前記各請求項の１つに記載の試験ヘッド。 - 【請求項１８】 固定フィルム（４５）または弾性層は
２つの案内パネル（１７、２１）間に設けられる請求項
１７記載の試験ヘッド。 - 【請求項１９】 固定フィルム（４５）または弾性層は
案内パネル（１７、１９、２１）の少なくとも１つに取
り付けられる前記各請求項の１つに記載の試験ヘッド。 - 【請求項２０】 案内は基体（１３）の送り通り孔（１
５）に配置され、少なくともある区域で密閉されるスペ
ースは試験試料（５）から離れて面する側と、接続要素
（１１）と、送り通し孔（１５）の壁との間で境を接
し、接触要素（２５）の第１区分（５５）はこのスペー
スに配置される、請求項４記載の試験ヘッド。
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| DE19749456.0 | 1998-07-04 | ||
| DE19748823.4 | 1998-07-04 | ||
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