JPH11302835A - ＺｎＯ系焼結体の製造方法 - Google Patents
ＺｎＯ系焼結体の製造方法Info
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- JPH11302835A JPH11302835A JP10110362A JP11036298A JPH11302835A JP H11302835 A JPH11302835 A JP H11302835A JP 10110362 A JP10110362 A JP 10110362A JP 11036298 A JP11036298 A JP 11036298A JP H11302835 A JPH11302835 A JP H11302835A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 透過率が高くて抵抗値が近く、ＤＣスパッタ
リング中の異常放電の発生が長期的に少なく、特性の優
れた膜を効率よく成膜するとともに、生産性に優れ安価
であるスパッタリングターゲット用ＺｎＯ系焼結体の製
造方法を提供する。 【解決手段】 ＺｎＯ粉末とＢ2Ｏ3粉末を所望の組成に
配合し、１３００℃以下の温度で仮焼して得た平均一次
粒子径が５μｍ以下の複合化粉末を原料粉末の少なくと
も一部として焼結を行う。
リング中の異常放電の発生が長期的に少なく、特性の優
れた膜を効率よく成膜するとともに、生産性に優れ安価
であるスパッタリングターゲット用ＺｎＯ系焼結体の製
造方法を提供する。 【解決手段】 ＺｎＯ粉末とＢ2Ｏ3粉末を所望の組成に
配合し、１３００℃以下の温度で仮焼して得た平均一次
粒子径が５μｍ以下の複合化粉末を原料粉末の少なくと
も一部として焼結を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、スパッタリング法
によって透明導電性膜を形成する際に用いられるスパッ
タリング用ターゲットの製造方法に関する。
によって透明導電性膜を形成する際に用いられるスパッ
タリング用ターゲットの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶ディスプレイや太陽電池の電極材と
して用いられる透明導電性膜には、比抵抗値の低いＩｎ
2Ｏ3−ＳｎＯ2（ＩＴＯ）膜やＺｎＯ−Ａｌ2Ｏ3（ＡＺ
Ｏ）膜が使われるようになってきている。これらの膜
は、スパッタリング用ターゲットを原料としたスパッタ
リング法によって形成され、加熱した基板上に成膜する
ことにより、２×１０-4Ω・ｃｍ程度の比抵抗値を達成
させることができる。
して用いられる透明導電性膜には、比抵抗値の低いＩｎ
2Ｏ3−ＳｎＯ2（ＩＴＯ）膜やＺｎＯ−Ａｌ2Ｏ3（ＡＺ
Ｏ）膜が使われるようになってきている。これらの膜
は、スパッタリング用ターゲットを原料としたスパッタ
リング法によって形成され、加熱した基板上に成膜する
ことにより、２×１０-4Ω・ｃｍ程度の比抵抗値を達成
させることができる。
【０００３】しかし、液晶ディスプレイ太陽電池の低コ
スト化傾向にある現在では、ＩＴＯは、その主成分であ
るＩｎ2Ｏ3が高価であるため、コスト面で問題があり、
一方、ＡＺＯは、その原料粉末が安価であるのでコスト
面では問題ないが、低抵抗な膜を得るための最適な成膜
条件の範囲が狭いという問題がある。
スト化傾向にある現在では、ＩＴＯは、その主成分であ
るＩｎ2Ｏ3が高価であるため、コスト面で問題があり、
一方、ＡＺＯは、その原料粉末が安価であるのでコスト
面では問題ないが、低抵抗な膜を得るための最適な成膜
条件の範囲が狭いという問題がある。
【０００４】この欠点を解決するために、コスト面、生
産性に問題なく低抵抗かつ高透過率を有するＺｎＯ−Ｂ
2Ｏ3（ＢＺＯ）膜が、ＩＴＯやＡＺＯに代わって、注目
されつつある。ＢＺＯ膜を得るために用いられるターゲ
ット材には、結晶平均粒径を２μｍ以下とするために８
５０〜１１００℃にてホットプレスを行うＢＺＯ焼結体
が特開平６−２１３０号公報に開示されている。
産性に問題なく低抵抗かつ高透過率を有するＺｎＯ−Ｂ
2Ｏ3（ＢＺＯ）膜が、ＩＴＯやＡＺＯに代わって、注目
されつつある。ＢＺＯ膜を得るために用いられるターゲ
ット材には、結晶平均粒径を２μｍ以下とするために８
５０〜１１００℃にてホットプレスを行うＢＺＯ焼結体
が特開平６−２１３０号公報に開示されている。
【０００５】しかし、このようにして得られたＢＺＯ焼
結体をターゲットとして用いてＤＣスパッタリング成膜
を行うと、体積抵抗率が高いために異常放電が多発す
る。異常放電が頻繁に起こると、プラズマ放電状態が不
安定となって、安定した成膜が行われない。このため、
膜特性が悪化するという問題が生じている。
結体をターゲットとして用いてＤＣスパッタリング成膜
を行うと、体積抵抗率が高いために異常放電が多発す
る。異常放電が頻繁に起こると、プラズマ放電状態が不
安定となって、安定した成膜が行われない。このため、
膜特性が悪化するという問題が生じている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
従来の問題点を解決し、透過率が高くて抵抗値が近く、
ＤＣスパッタリング中の異常放電の発生が長期的に少な
く、特性の優れた膜を効率よく成膜することが可能であ
り、かつ、生産性に優れ安価であるスパッタリングター
ゲット用ＺｎＯ系焼結体の製造方法を提供することを目
的とする。
従来の問題点を解決し、透過率が高くて抵抗値が近く、
ＤＣスパッタリング中の異常放電の発生が長期的に少な
く、特性の優れた膜を効率よく成膜することが可能であ
り、かつ、生産性に優れ安価であるスパッタリングター
ゲット用ＺｎＯ系焼結体の製造方法を提供することを目
的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のＺｎＯ系焼結体
の製造方法では、ＺｎＯ粉末とＢ2Ｏ3粉末を所望の組成
に配合し、１３００℃以下の温度で仮焼して得た平均一
次粒子径が５μｍ以下の複合化粉末を原料粉末の少なく
とも一部として焼結を行う。
の製造方法では、ＺｎＯ粉末とＢ2Ｏ3粉末を所望の組成
に配合し、１３００℃以下の温度で仮焼して得た平均一
次粒子径が５μｍ以下の複合化粉末を原料粉末の少なく
とも一部として焼結を行う。
【０００８】また、Ｇａ、Ｉｎ、Ａｌ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｔ
ｉおよびＳｎからなる群から選ばれた１種類以上の元素
を含有するＺｎＯ系焼結体を製造する際に、ＺｎＯ粉末
と前記１種類以上の元素の酸化物粉末とを所望の組成に
配合し、平均一次粒子径を３μｍ以下として、原料粉末
として焼結する。
ｉおよびＳｎからなる群から選ばれた１種類以上の元素
を含有するＺｎＯ系焼結体を製造する際に、ＺｎＯ粉末
と前記１種類以上の元素の酸化物粉末とを所望の組成に
配合し、平均一次粒子径を３μｍ以下として、原料粉末
として焼結する。
【０００９】また、Ｇａ、Ｉｎ、Ａｌ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｔ
ｉおよびＳｎからなる群から選ばれた１種類以上の元素
および硼素を含有するＺｎＯ系焼結体を製造する際に、
ＺｎＯ、Ｇａ2Ｏ3、Ｉｎ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3、ＧｅＯ2、Ｓ
ｉＯ2、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2からなる群より選ばれた１種
類以上の粉末とＢ2Ｏ3粉末を所望の組成に配合し、１３
００℃以下の温度で仮焼して得た平均一次粒子径が５μ
ｍ以下の複合化粉末を、ＺｎＯ、Ｇａ2Ｏ3、Ｉｎ2Ｏ3、
Ａｌ2Ｏ3、ＧｅＯ2、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2からな
る群より選ばれた１種類以上の粉末と所望の組成に配合
して、原料粉末として焼結する。
ｉおよびＳｎからなる群から選ばれた１種類以上の元素
および硼素を含有するＺｎＯ系焼結体を製造する際に、
ＺｎＯ、Ｇａ2Ｏ3、Ｉｎ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3、ＧｅＯ2、Ｓ
ｉＯ2、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2からなる群より選ばれた１種
類以上の粉末とＢ2Ｏ3粉末を所望の組成に配合し、１３
００℃以下の温度で仮焼して得た平均一次粒子径が５μ
ｍ以下の複合化粉末を、ＺｎＯ、Ｇａ2Ｏ3、Ｉｎ2Ｏ3、
Ａｌ2Ｏ3、ＧｅＯ2、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2からな
る群より選ばれた１種類以上の粉末と所望の組成に配合
して、原料粉末として焼結する。
【００１０】なお、仮焼する温度は５００〜１０００℃
が好ましい。
が好ましい。
【００１１】また、別の態様では、本発明のＺｎＯ系焼
結体用複合化粉末の製造方法は次の各工程からなる。
結体用複合化粉末の製造方法は次の各工程からなる。
【００１２】イ）亜鉛化合物および／または金属亜鉛と
硼素化合物とを溶解して水溶液とする工程、
硼素化合物とを溶解して水溶液とする工程、
【００１３】ロ）前記水溶液中へ沈殿剤を投入して中和
を行う工程、
を行う工程、
【００１４】ハ）中和後の該水溶液から固液分離により
沈殿物を得る工程、
沈殿物を得る工程、
【００１５】ニ）前記沈殿物を濾過し、水洗し、粉砕
し、乾燥して、ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3水酸化物を得る工程、
し、乾燥して、ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3水酸化物を得る工程、
【００１６】ホ）得られたＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3水酸化物を１
３００℃以下の温度で仮焼して、平均一次粒子径が５μ
ｍ以下の複合化粉末を得る工程。
３００℃以下の温度で仮焼して、平均一次粒子径が５μ
ｍ以下の複合化粉末を得る工程。
【００１７】また、別の態様では、次の各工程からな
る。
る。
【００１８】イ）亜鉛化合物および／または金属亜鉛
と、硼素化合物、ガリウム化合物、インジウム化合物、
アルミニウム化合物、ゲルマニウム化合物、珪素化合
物、チタン化合物および錫化合物からなる群から選ばれ
た１種類以上とを溶解して水溶液とする工程、
と、硼素化合物、ガリウム化合物、インジウム化合物、
アルミニウム化合物、ゲルマニウム化合物、珪素化合
物、チタン化合物および錫化合物からなる群から選ばれ
た１種類以上とを溶解して水溶液とする工程、
【００１９】ロ）前記水溶液中へ沈殿剤を投入して中和
を行う工程、
を行う工程、
【００２０】ハ）中和後の該水溶液から固液分離により
沈殿物を得る工程、
沈殿物を得る工程、
【００２１】ニ）前記沈殿物を濾過し、水洗し、粉砕
し、乾燥して、複合水酸化物を得る工程、
し、乾燥して、複合水酸化物を得る工程、
【００２２】ホ）得られた複合水酸化物を１３００℃以
下の温度で仮焼して、平均一次粒子径が５μｍ以下の複
合化粉末を得る工程。
下の温度で仮焼して、平均一次粒子径が５μｍ以下の複
合化粉末を得る工程。
【００２３】複合化した原料粉末は、さらに平均粒径が
１μｍ以下からなるＺｎＯ、Ｇａ2Ｏ3、Ｉｎ2Ｏ3、Ａｌ
2Ｏ3、ＧｅＯ2、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2のうち１種
類以上からなる粉末中に所望の組成となるよう配合し、
混合を行った後、原料粉末として用いることができる。
さらに、ＺｎＯ粉末とＢ2Ｏ3粉末を仮焼して得た複合化
粉末、あるいは共沈法によって作製したＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3
の水酸化物を仮焼して得た複合化粉末から主として成る
原料を成形した成形体を酸素含有雰囲気あるいは無酸素
雰囲気で焼結する、あるいはＺｎＯ粉末とＢ2Ｏ3粉末を
仮焼して得た複合化粉末、あるいは共沈法によって作製
したＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3の水酸化物を仮焼して得た複合化粉
末から主として成る原料を成形した成形体を焼結した
後、酸素含有雰囲気あるいは無酸素雰囲気で一定品度に
保持することで、酸素欠損を促進させるのが好ましい。
このとき、２〜２０リットル／分の酸素を、あるいは２
〜２０リットル／分の還元ガスまたは不活性ガスを導入
するのが好ましい。
１μｍ以下からなるＺｎＯ、Ｇａ2Ｏ3、Ｉｎ2Ｏ3、Ａｌ
2Ｏ3、ＧｅＯ2、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2のうち１種
類以上からなる粉末中に所望の組成となるよう配合し、
混合を行った後、原料粉末として用いることができる。
さらに、ＺｎＯ粉末とＢ2Ｏ3粉末を仮焼して得た複合化
粉末、あるいは共沈法によって作製したＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3
の水酸化物を仮焼して得た複合化粉末から主として成る
原料を成形した成形体を酸素含有雰囲気あるいは無酸素
雰囲気で焼結する、あるいはＺｎＯ粉末とＢ2Ｏ3粉末を
仮焼して得た複合化粉末、あるいは共沈法によって作製
したＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3の水酸化物を仮焼して得た複合化粉
末から主として成る原料を成形した成形体を焼結した
後、酸素含有雰囲気あるいは無酸素雰囲気で一定品度に
保持することで、酸素欠損を促進させるのが好ましい。
このとき、２〜２０リットル／分の酸素を、あるいは２
〜２０リットル／分の還元ガスまたは不活性ガスを導入
するのが好ましい。
【００２４】
【発明の実施の形態】本発明によって作製されるＺｎＯ
系焼結体は、（１）焼結密度は４．８ｇ／ｃｍ3以上で
あること、（２）結晶平均粒径は２〜３０μｍの範囲内
にあること、（３）焼結体内部に存在する最大空孔径が
２μｍ以下であることを特徴とする。
系焼結体は、（１）焼結密度は４．８ｇ／ｃｍ3以上で
あること、（２）結晶平均粒径は２〜３０μｍの範囲内
にあること、（３）焼結体内部に存在する最大空孔径が
２μｍ以下であることを特徴とする。
【００２５】本発明において、結晶粒径、平均一次粒子
径および空孔径は、焼結体破断面を鏡面研磨した後、熱
腐食によって粒界を析出させ、ＳＥＭ観察にて測定す
る。また、抵抗値は、焼結体破断面を鏡面研磨した後、
焼結体中心付近の表面を四探針法によって測定する。
径および空孔径は、焼結体破断面を鏡面研磨した後、熱
腐食によって粒界を析出させ、ＳＥＭ観察にて測定す
る。また、抵抗値は、焼結体破断面を鏡面研磨した後、
焼結体中心付近の表面を四探針法によって測定する。
【００２６】本発明のＺｎＯ焼結体の製造方法に影響す
る各因子について以下に説明する。
る各因子について以下に説明する。
【００２７】「焼結方法」ＺｎＯ系焼結体を得る方法に
は、ホツトプレス・酸素加圧・熱間静水圧等の焼結方法
を用いることができるが、焼結法には常圧焼結法を用い
ることが好ましい。なぜなら、常圧焼結法には、製造コ
ストを低減しやすいうえ、容易に大型焼結体を製造しや
すいなどの利点があるからである。但し、常圧焼結で
は、ＨＰ法に比べて高温で焼成を行うので、Ｂ2Ｏ3の溶
融による焼結体内欠陥が生じやすい。ＨＰ法の場合、圧
力を掛けながら焼結しているので、Ｂ2Ｏ3が液相になっ
ても流動によりその周囲に空孔は発生しない。しかし、
硼素の偏析径が増加する。
は、ホツトプレス・酸素加圧・熱間静水圧等の焼結方法
を用いることができるが、焼結法には常圧焼結法を用い
ることが好ましい。なぜなら、常圧焼結法には、製造コ
ストを低減しやすいうえ、容易に大型焼結体を製造しや
すいなどの利点があるからである。但し、常圧焼結で
は、ＨＰ法に比べて高温で焼成を行うので、Ｂ2Ｏ3の溶
融による焼結体内欠陥が生じやすい。ＨＰ法の場合、圧
力を掛けながら焼結しているので、Ｂ2Ｏ3が液相になっ
ても流動によりその周囲に空孔は発生しない。しかし、
硼素の偏析径が増加する。
【００２８】「焼結密度」ＺｎＯを主成分とする焼結体
の焼結密度を４．８ｇ／ｃｍ3以上に焼結するために
は、焼結中のＺｎＯの蒸発を抑制しなければならない。
の焼結密度を４．８ｇ／ｃｍ3以上に焼結するために
は、焼結中のＺｎＯの蒸発を抑制しなければならない。
【００２９】さらに、硼素を含有するＺｎＯ系焼結体を
焼結する場合、特にＢ2Ｏ3相は６００℃で溶融し、さら
に高温中にさらされると蒸発が活発化することに留意し
なければならない。これにより焼結体内の欠陥が増加し
やすいからである。Ｂが無い場合には、固相同士の反応
で焼結が行われるが、Ｂが存在すると固相と液相との間
の反応で焼結が行われる。このため、Ｂ2Ｏ3が含まれる
と、主相との濡れ性に劣り、焼結中に揮発する。またＢ
2Ｏ3同士による融着−粗大化が行われて、焼結体内に偏
析が生じる。１０００℃以上では、液相の焼結による焼
結収縮により体積減少が生じる。液相のＢ2Ｏ3は焼結途
中で蒸発しやすい。Ｂ2Ｏ3相とＺｎＯ相は濡れ性が悪い
ので、液相部もしくは液相の周囲に空孔が生成し、焼結
の進行と共に空孔が粗大化する。
焼結する場合、特にＢ2Ｏ3相は６００℃で溶融し、さら
に高温中にさらされると蒸発が活発化することに留意し
なければならない。これにより焼結体内の欠陥が増加し
やすいからである。Ｂが無い場合には、固相同士の反応
で焼結が行われるが、Ｂが存在すると固相と液相との間
の反応で焼結が行われる。このため、Ｂ2Ｏ3が含まれる
と、主相との濡れ性に劣り、焼結中に揮発する。またＢ
2Ｏ3同士による融着−粗大化が行われて、焼結体内に偏
析が生じる。１０００℃以上では、液相の焼結による焼
結収縮により体積減少が生じる。液相のＢ2Ｏ3は焼結途
中で蒸発しやすい。Ｂ2Ｏ3相とＺｎＯ相は濡れ性が悪い
ので、液相部もしくは液相の周囲に空孔が生成し、焼結
の進行と共に空孔が粗大化する。
【００３０】蒸発抑制のためには、ＺｎＯ粉末とＢ2Ｏ3
粉末とをあらかじめ複合化させ、またはＺｎＯ粉末とＢ
2Ｏ3粉末と第三添加物すなわち、Ｇａ2Ｏ3粉末、Ｉｎ2
Ｏ3粉末、ＧｅＯ2粉末、ＳｉＯ2粉末、ＴｉＯ2粉末、Ｓ
ｎＯ2粉末およびＡｌ2Ｏ3粉末のうち少なくとも１種類
以上とをあらかじめ複合化させ、この複合化粉末を原料
として用いることによって、その焼結挙動は改善され、
高密度化、低抵抗化することができる。原料粉末の段階
で複合化させておくことによって、Ｂ2Ｏ3の蒸発を抑制
し、Ｂ2Ｏ3の焼結挙動を変えてしまうのである。
粉末とをあらかじめ複合化させ、またはＺｎＯ粉末とＢ
2Ｏ3粉末と第三添加物すなわち、Ｇａ2Ｏ3粉末、Ｉｎ2
Ｏ3粉末、ＧｅＯ2粉末、ＳｉＯ2粉末、ＴｉＯ2粉末、Ｓ
ｎＯ2粉末およびＡｌ2Ｏ3粉末のうち少なくとも１種類
以上とをあらかじめ複合化させ、この複合化粉末を原料
として用いることによって、その焼結挙動は改善され、
高密度化、低抵抗化することができる。原料粉末の段階
で複合化させておくことによって、Ｂ2Ｏ3の蒸発を抑制
し、Ｂ2Ｏ3の焼結挙動を変えてしまうのである。
【００３１】なお、複合化以外に、焼結中のＢ2Ｏ3の蒸
発を抑制する方法として、１）焼結中に酸素導入を行
う、２）昇温速度を上げる焼結方法がある。
発を抑制する方法として、１）焼結中に酸素導入を行
う、２）昇温速度を上げる焼結方法がある。
【００３２】これらの方法を取り入れることにより、抑
制効果を増大し、４．８ｇ／ｃｍ3以上の焼結密度を得
ることもできる。
制効果を増大し、４．８ｇ／ｃｍ3以上の焼結密度を得
ることもできる。
【００３３】「表面抵抗値」ＺｎＯ系焼結体が導電性を
示すのは、主成分であるＺｎＯの酸素欠損によるものと
いわれている。例えば、Ｉｎ2Ｏ3やＢ2Ｏ3を微量添加
し、高温中で焼結することによって、ＩｎやＢはＺｎＯ
相中に固溶され、Ｚｎ原子との一部置換が行われたりＺ
ｎ原子の格子間への侵入が行われたりする。これにより
酸素空孔が増加する。従って、酸素欠損を生じ、低抵抗
な焼結体が得られる。低抵抗な焼結体は、スパッタリン
グ時の投入電力が押さえられるために、成膜時のダメー
ジを少なくできる。低抵抗化効果は、Ｂ2Ｏ3、Ｇａ
2Ｏ3、Ｉｎ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3、ＧｅＯ2、ＳｉＯ2、ＴｉＯ
2、ＳｎＯ2を複合的に添加することによって増大しう
る。
示すのは、主成分であるＺｎＯの酸素欠損によるものと
いわれている。例えば、Ｉｎ2Ｏ3やＢ2Ｏ3を微量添加
し、高温中で焼結することによって、ＩｎやＢはＺｎＯ
相中に固溶され、Ｚｎ原子との一部置換が行われたりＺ
ｎ原子の格子間への侵入が行われたりする。これにより
酸素空孔が増加する。従って、酸素欠損を生じ、低抵抗
な焼結体が得られる。低抵抗な焼結体は、スパッタリン
グ時の投入電力が押さえられるために、成膜時のダメー
ジを少なくできる。低抵抗化効果は、Ｂ2Ｏ3、Ｇａ
2Ｏ3、Ｉｎ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3、ＧｅＯ2、ＳｉＯ2、ＴｉＯ
2、ＳｎＯ2を複合的に添加することによって増大しう
る。
【００３４】一方、後述のように、焼結中もしくは焼結
終了後に無酸素処理を加えることによって、酸素欠損を
促進させ、さらに低抵抗化を計ることも可能である。
終了後に無酸素処理を加えることによって、酸素欠損を
促進させ、さらに低抵抗化を計ることも可能である。
【００３５】ＺｎＯ焼結体の体積抵抗率が低くなると、
スパッタリング時の投入電力が押さえられるために、Ｚ
ｎＯ膜のダメージが少なくなって、良好な比抵抗値の成
膜が得られる。
スパッタリング時の投入電力が押さえられるために、Ｚ
ｎＯ膜のダメージが少なくなって、良好な比抵抗値の成
膜が得られる。
【００３６】「結晶平均粒径」結晶平均粒径が大きい
と、焼結体の抗折力が弱いために、成膜時に急激なパワ
ーをかけると割れが発生したり、結晶粒の脱落が生じた
りする。この結果、局所的な異常放電が多発する。よっ
て、ＺｎＯ相を主体とする複合酸化物（化合物相もしく
は固溶相を含む）の結晶平均粒径を３〜２０μｍ以内に
する。
と、焼結体の抗折力が弱いために、成膜時に急激なパワ
ーをかけると割れが発生したり、結晶粒の脱落が生じた
りする。この結果、局所的な異常放電が多発する。よっ
て、ＺｎＯ相を主体とする複合酸化物（化合物相もしく
は固溶相を含む）の結晶平均粒径を３〜２０μｍ以内に
する。
【００３７】「焼結体内の空孔径および硼素の偏析径」
焼結体内の空孔径が２μｍより大きいと、結晶粒の脱落
と同様に、異常放電が多発する。
焼結体内の空孔径が２μｍより大きいと、結晶粒の脱落
と同様に、異常放電が多発する。
【００３８】硼素の偏析径が大きいと、スパッタリング
時に問題が生じる。すなわち、硼素濃度の高い偏析部は
抵抗が高いため、偏析部で異常放電が発生し、その結
果、局部的な加熱によって偏析部は溶融して空洞を生
じ、成膜の比抵抗は悪化する。
時に問題が生じる。すなわち、硼素濃度の高い偏析部は
抵抗が高いため、偏析部で異常放電が発生し、その結
果、局部的な加熱によって偏析部は溶融して空洞を生
じ、成膜の比抵抗は悪化する。
【００３９】「原料粉末」ＺｎＯ粉末は、単体、もしく
は下記に示す複合化粉末として用いる。単体で用いる際
には平均一次粒子径が１μｍ以下の粉末を用いる。前述
したようにＢ2Ｏ3相は融点が低く焼結途中で蒸発してし
まうため、あらかじめＢ2Ｏ3粉末をＺｎＯ粉末と複合化
するか、もしくはＢ2Ｏ3粉末とＺｎＯ粉末と第三元素の
Ｇａ2Ｏ3、Ｉｎ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3、ＧｅＯ2、ＳｉＯ2、Ｔ
ｉＯ2、ＳｎＯ2の１種以上の粉末と複合化する。
は下記に示す複合化粉末として用いる。単体で用いる際
には平均一次粒子径が１μｍ以下の粉末を用いる。前述
したようにＢ2Ｏ3相は融点が低く焼結途中で蒸発してし
まうため、あらかじめＢ2Ｏ3粉末をＺｎＯ粉末と複合化
するか、もしくはＢ2Ｏ3粉末とＺｎＯ粉末と第三元素の
Ｇａ2Ｏ3、Ｉｎ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3、ＧｅＯ2、ＳｉＯ2、Ｔ
ｉＯ2、ＳｎＯ2の１種以上の粉末と複合化する。
【００４０】例えば、インジウムを０．３〜５原子％含
有させるには、Ｉｎ2Ｏ3酸化物換算で０．５〜８．４重
量％を粉末状でＺｎＯ粉末に添加する。
有させるには、Ｉｎ2Ｏ3酸化物換算で０．５〜８．４重
量％を粉末状でＺｎＯ粉末に添加する。
【００４１】なお、第三元素を添加するには、ボールミ
ル混合の段階で、酸化物単体としてＢ2Ｏ3とＺｎＯの複
合化粉末に添加することも可能である。
ル混合の段階で、酸化物単体としてＢ2Ｏ3とＺｎＯの複
合化粉末に添加することも可能である。
【００４２】［複合化方法］ＺｎＯなどの粉末を所望の
組成となるように配合し、混合を行った後、仮焼を１３
００℃以下にて行えば平均一次粒子径が５μｍ以下の複
合化粉末が得られる。必要に応じて粉砕も行える。ある
いは、共沈法等によって作製された水酸化物粉末を１０
００℃以下にて仮焼すれば複合化粉末が容易に得られ
る。ただし、上記複合化粉末を用いて常圧焼結法にて焼
結体を得る場合には、仮焼温度は５００〜１０００℃の
範囲内が好ましい。１０００℃以上で行うと粉末は粗大
化され、平均一次粒子径が５μｍより大きくなって焼結
性が失われて、所定の焼結密度を達成することができな
い場合がある。
組成となるように配合し、混合を行った後、仮焼を１３
００℃以下にて行えば平均一次粒子径が５μｍ以下の複
合化粉末が得られる。必要に応じて粉砕も行える。ある
いは、共沈法等によって作製された水酸化物粉末を１０
００℃以下にて仮焼すれば複合化粉末が容易に得られ
る。ただし、上記複合化粉末を用いて常圧焼結法にて焼
結体を得る場合には、仮焼温度は５００〜１０００℃の
範囲内が好ましい。１０００℃以上で行うと粉末は粗大
化され、平均一次粒子径が５μｍより大きくなって焼結
性が失われて、所定の焼結密度を達成することができな
い場合がある。
【００４３】この複合化粉末は、そのまま焼結原料とす
るか、あるいは、さらにＺｎＯなどの粉末単体と合わせ
て所望の組成となるように配合し、混合を行って焼結原
料とすることもできる。
るか、あるいは、さらにＺｎＯなどの粉末単体と合わせ
て所望の組成となるように配合し、混合を行って焼結原
料とすることもできる。
【００４４】「水酸化物粉末の作製」多く用いられる共
沈法での水酸化物粉末の作製方法を以下に示す。まず、
硫酸亜鉛、塩化亜鉛等を水に溶かして水溶液化するか、
もしくは硫酸、塩酸にて金属亜鉛を溶かした溶液を水で
希釈して水溶液化する。その後、水溶液中に硼酸塩、硼
酸、硼酸ナトリウム等を添加し、さらにｐＨを制御する
ためのアンモニア等のアルカリ類からなる沈殿剤を投入
して中和を行う。次に、固液分離を行い、得られた沈殿
物を濾過後、水洗、粉砕した後に乾燥して複合水酸化物
とする。また、前述したように第三元素を添加する場合
には、添加元素を同様な方法にて水溶液中に溶解させ、
複合水酸化物として用いることもできる。
沈法での水酸化物粉末の作製方法を以下に示す。まず、
硫酸亜鉛、塩化亜鉛等を水に溶かして水溶液化するか、
もしくは硫酸、塩酸にて金属亜鉛を溶かした溶液を水で
希釈して水溶液化する。その後、水溶液中に硼酸塩、硼
酸、硼酸ナトリウム等を添加し、さらにｐＨを制御する
ためのアンモニア等のアルカリ類からなる沈殿剤を投入
して中和を行う。次に、固液分離を行い、得られた沈殿
物を濾過後、水洗、粉砕した後に乾燥して複合水酸化物
とする。また、前述したように第三元素を添加する場合
には、添加元素を同様な方法にて水溶液中に溶解させ、
複合水酸化物として用いることもできる。
【００４５】「混合」混合は湿式、または乾式によるボ
ールミル、振動ミル等を用いることができるが、均一微
細な結晶粒および空孔を得るには、凝集体の解砕効率が
高く、添加物の分散状態も良好となる湿式ボールミル混
合法が最も好ましい。なお、乾湿ボールミルや振動ミル
は不純物の混入が多い。ただしホットプレスを用いる場
合には、粉末への吸湿を避けるために、乾式ボールミ
ル、Ｖブレンダー等が適用される。湿式ボールミル混合
時間は１２〜７２時間、乾式ボールミル混合時間は８〜
２４時間の範囲が好ましい。湿式混合時間が１２時間未
満であると、均一微細な結晶粒および空孔を得ることが
できない。また、湿式混合時間が７２時間を越えるの
は、混合粉末中に不純物が多く混入するため好ましくな
い。乾式混合の場合も同様な理由から混合時間が規制さ
れる。
ールミル、振動ミル等を用いることができるが、均一微
細な結晶粒および空孔を得るには、凝集体の解砕効率が
高く、添加物の分散状態も良好となる湿式ボールミル混
合法が最も好ましい。なお、乾湿ボールミルや振動ミル
は不純物の混入が多い。ただしホットプレスを用いる場
合には、粉末への吸湿を避けるために、乾式ボールミ
ル、Ｖブレンダー等が適用される。湿式ボールミル混合
時間は１２〜７２時間、乾式ボールミル混合時間は８〜
２４時間の範囲が好ましい。湿式混合時間が１２時間未
満であると、均一微細な結晶粒および空孔を得ることが
できない。また、湿式混合時間が７２時間を越えるの
は、混合粉末中に不純物が多く混入するため好ましくな
い。乾式混合の場合も同様な理由から混合時間が規制さ
れる。
【００４６】また、混合する際にはバインダーを任意量
だけ添加し、同時に混合を行う。バインダー種には、ボ
リビニルアルコール、酢酸ビニル等が用いられる。
だけ添加し、同時に混合を行う。バインダー種には、ボ
リビニルアルコール、酢酸ビニル等が用いられる。
【００４７】「成形」上記湿式混合によって得られたス
ラリーは、乾燥造粒後、金型または冷間浄水圧プレスに
て１ｔｏｎ／ｃｍ2以上の圧力で成形を行う。乾式混合
によって得られた混合粉末は、そのまま金型または冷間
静水圧プレスにて１ｔｏｎ／ｃｍ2以上の圧力で成形を
行う。
ラリーは、乾燥造粒後、金型または冷間浄水圧プレスに
て１ｔｏｎ／ｃｍ2以上の圧力で成形を行う。乾式混合
によって得られた混合粉末は、そのまま金型または冷間
静水圧プレスにて１ｔｏｎ／ｃｍ2以上の圧力で成形を
行う。
【００４８】「焼結雰囲気」常圧焼結法では、前記成形
体を大気中にて焼結を行う。但し、より高い密度を得た
い場合には、前述したように昇温過程で酸素を導入して
焼結を行うことも可能である。しかし、酸素の導入によ
り酸素欠損が抑制され、所望の抵抗値が得られない恐れ
がある。酸素を導入する場合の酸素流量としては、２〜
２０リットル／分が好ましい。２リットル／分未満であ
ると、ＺｎＯの蒸発抑制（密度増大）効果は薄れ、２０
リットル／分を超えると、その流量によって焼結炉内が
冷却され、均熱性が低下してしまう。
体を大気中にて焼結を行う。但し、より高い密度を得た
い場合には、前述したように昇温過程で酸素を導入して
焼結を行うことも可能である。しかし、酸素の導入によ
り酸素欠損が抑制され、所望の抵抗値が得られない恐れ
がある。酸素を導入する場合の酸素流量としては、２〜
２０リットル／分が好ましい。２リットル／分未満であ
ると、ＺｎＯの蒸発抑制（密度増大）効果は薄れ、２０
リットル／分を超えると、その流量によって焼結炉内が
冷却され、均熱性が低下してしまう。
【００４９】逆に、焼結体内の酸素欠損を促進し、表面
抵抗を低下させたい場合は、焼結中に無酸素処理を施
す。焼結中の無酸素処理は、昇温中において水素などの
還元ガスやアルゴン、ヘリウム、窒素などの不活性ガス
を導入して達成される。焼結中の無酸素処理では、昇温
過程に還元ガスまたは不活性ガスを２〜２０リットル／
分の割合で導入すれば良い。しかし、無酸素雰囲気にす
ると、蒸発が活発化し、焼結密度が低下する。従って、
１３００℃以上での焼結中の還元処理は行えない。
抵抗を低下させたい場合は、焼結中に無酸素処理を施
す。焼結中の無酸素処理は、昇温中において水素などの
還元ガスやアルゴン、ヘリウム、窒素などの不活性ガス
を導入して達成される。焼結中の無酸素処理では、昇温
過程に還元ガスまたは不活性ガスを２〜２０リットル／
分の割合で導入すれば良い。しかし、無酸素雰囲気にす
ると、蒸発が活発化し、焼結密度が低下する。従って、
１３００℃以上での焼結中の還元処理は行えない。
【００５０】「焼結温度」焼結温度は１０００〜１５０
０℃、好ましくは１１００〜１３００℃が良い。この際
の焼結時間は１５時間以下とする。１０００℃以下であ
ると、４．８ｇ／ｃｍ3以上の焼結密度を得ることがで
きない。一方、１５００℃を超えるかまたは焼結時間が
１５時間を超えると、蒸発の活発化により焼結密度が低
下したり、著しい結晶粒成長により結晶粒径、空孔の粗
大化を来たし、異常放電発生の原因になる。
０℃、好ましくは１１００〜１３００℃が良い。この際
の焼結時間は１５時間以下とする。１０００℃以下であ
ると、４．８ｇ／ｃｍ3以上の焼結密度を得ることがで
きない。一方、１５００℃を超えるかまたは焼結時間が
１５時間を超えると、蒸発の活発化により焼結密度が低
下したり、著しい結晶粒成長により結晶粒径、空孔の粗
大化を来たし、異常放電発生の原因になる。
【００５１】そして、焼結中の昇温速度においては、６
００〜１３００℃の温度範囲の昇温速度を１〜１０℃／
分に、好ましくは３〜５℃／分にする必要がある。つま
り、６００〜１３００℃間は、特にＺｎＯの焼結が最も
活発化する温度範囲であり、この温度範囲での昇温速度
が１℃／分より遅いと、結晶粒成長が著しくなって、本
目的を達成することができない。また、昇温速度が１０
℃／分より速いと、焼結炉内の均熱性が低下し、その結
果、焼結中の収縮量に分布が生じて、焼結体は割れてし
まう。
００〜１３００℃の温度範囲の昇温速度を１〜１０℃／
分に、好ましくは３〜５℃／分にする必要がある。つま
り、６００〜１３００℃間は、特にＺｎＯの焼結が最も
活発化する温度範囲であり、この温度範囲での昇温速度
が１℃／分より遅いと、結晶粒成長が著しくなって、本
目的を達成することができない。また、昇温速度が１０
℃／分より速いと、焼結炉内の均熱性が低下し、その結
果、焼結中の収縮量に分布が生じて、焼結体は割れてし
まう。
【００５２】ホットプレスを用いる場合の焼結温度は真
空中、Ａｒ雰囲気下で９００〜１３００℃の範囲内、そ
の際のプレス圧は２００〜４００Ｋｇ／ｃｍ2が好まし
い。
空中、Ａｒ雰囲気下で９００〜１３００℃の範囲内、そ
の際のプレス圧は２００〜４００Ｋｇ／ｃｍ2が好まし
い。
【００５３】「焼結終了後の無酸素処理」表面抵抗を低
下させたい場合には、焼結中もしくは焼結終了後に無酸
素処理を施すことでも目的は達成される。
下させたい場合には、焼結中もしくは焼結終了後に無酸
素処理を施すことでも目的は達成される。
【００５４】焼結終了後の無酸素処理は、焼結終了後、
冷却した後に、あるいは降温中に無酸素雰囲気中や真空
中にて９００℃以上で加熱すれば目的は達成される。
冷却した後に、あるいは降温中に無酸素雰囲気中や真空
中にて９００℃以上で加熱すれば目的は達成される。
【００５５】焼結終了後に無酸素処理を施す場合、例え
ば以下の方法にて行うことができる。まず、焼結終了
後、そのまま炉内で９００〜１３００℃まで５〜２０℃
／分にて降温し、該所定温度に３０分〜５時間保持しつ
つ、不活性ガスや還元ガスを２〜２０リットル／分の割
合で導入する。１３００℃以上で無酸素処理を行うと、
ＺｎＯやＢ2Ｏ3の蒸発が活発化して、焼結密度の低下、
または組成ずれを来すばかりか、炉材やヒータの寿命を
縮めて生産性を悪化させる。９００℃以下であると、無
酸素処理の効果が薄れ、表面抵抗値を大幅に低下させる
ことができない。また導入ガス量が２リットル／分未満
であると、無酸素処理の効果は薄れ、その導入量は多い
ほど該効果が高いが、２０リットル／分を超えると、そ
の流量によって焼結炉内が冷却され、均熱性が低下す
る。
ば以下の方法にて行うことができる。まず、焼結終了
後、そのまま炉内で９００〜１３００℃まで５〜２０℃
／分にて降温し、該所定温度に３０分〜５時間保持しつ
つ、不活性ガスや還元ガスを２〜２０リットル／分の割
合で導入する。１３００℃以上で無酸素処理を行うと、
ＺｎＯやＢ2Ｏ3の蒸発が活発化して、焼結密度の低下、
または組成ずれを来すばかりか、炉材やヒータの寿命を
縮めて生産性を悪化させる。９００℃以下であると、無
酸素処理の効果が薄れ、表面抵抗値を大幅に低下させる
ことができない。また導入ガス量が２リットル／分未満
であると、無酸素処理の効果は薄れ、その導入量は多い
ほど該効果が高いが、２０リットル／分を超えると、そ
の流量によって焼結炉内が冷却され、均熱性が低下す
る。
【００５６】
【実施例】［実施例１：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ2Ｏ3］
平均一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中にＢ2Ｏ3粉
末を３０重量％添加して、乾式ボールミルにて５時間混
合し、その後９００℃、３時間にて仮焼して、平均一次
粒子径が２μｍの複合化粉末を得た。この複合化粉末を
平均一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、１０重
量％添加して原料粉末とした。
平均一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中にＢ2Ｏ3粉
末を３０重量％添加して、乾式ボールミルにて５時間混
合し、その後９００℃、３時間にて仮焼して、平均一次
粒子径が２μｍの複合化粉末を得た。この複合化粉末を
平均一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、１０重
量％添加して原料粉末とした。
【００５７】次に、この原料粉末を樹脂製ポットに入
れ、硬質ＺｒＯ2ボールを用いて、湿式ボールミル混合
を１８時間行った。また混合を行う際、バインダーとし
てボリビニルアルコールを１重量％添加し、同時に混合
を行った。その後、スラリーを取り出して乾燥造粒し、
造粒物を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2の圧力
で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状の成形
体を得た。
れ、硬質ＺｒＯ2ボールを用いて、湿式ボールミル混合
を１８時間行った。また混合を行う際、バインダーとし
てボリビニルアルコールを１重量％添加し、同時に混合
を行った。その後、スラリーを取り出して乾燥造粒し、
造粒物を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2の圧力
で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状の成形
体を得た。
【００５８】さらに、この成形体を大気中にて８００℃
までは１℃／分の速度で昇温し、８００〜１１００℃の
温度範囲では３℃／分の速度で昇温した。その後、１１
００℃にて５時間の保持を行った。
までは１℃／分の速度で昇温し、８００〜１１００℃の
温度範囲では３℃／分の速度で昇温した。その後、１１
００℃にて５時間の保持を行った。
【００５９】得られた焼結体の密度を測定した後、焼結
体の一部を切断して、切断面を鏡面研磨し、試料内部の
表面抵抗値を四探針法によって測定した。また、同試料
を熱腐食して、粒界を析出させ、ＳＥＭ観察によって結
晶平均粒径を測定した。得られた結果を表１に示す。ま
た、得られた焼結体を直径７５ｍｍ、厚さ６ｍｍの円盤
状に加工して、スパッタリング用ターゲットを作製し、
このターゲットを用いてＤＣマグネトロンスパッタリン
グ法によって膜厚５０００オングストローム（Ａ）の成
膜を行った。スパッタリング条件は、投入電力２００
Ｗ、Ａｒガス圧０．７Ｐａに固定した。そして実験開始
から１０時間経過後の１０分間当たりに発生する異常放
電回数、基板温度３００℃時の膜の比抵抗値と、５５０
ｎｍおよび１０００ｎｍ波長域における透過率を測定し
た。得られた結果を表１に示す。
体の一部を切断して、切断面を鏡面研磨し、試料内部の
表面抵抗値を四探針法によって測定した。また、同試料
を熱腐食して、粒界を析出させ、ＳＥＭ観察によって結
晶平均粒径を測定した。得られた結果を表１に示す。ま
た、得られた焼結体を直径７５ｍｍ、厚さ６ｍｍの円盤
状に加工して、スパッタリング用ターゲットを作製し、
このターゲットを用いてＤＣマグネトロンスパッタリン
グ法によって膜厚５０００オングストローム（Ａ）の成
膜を行った。スパッタリング条件は、投入電力２００
Ｗ、Ａｒガス圧０．７Ｐａに固定した。そして実験開始
から１０時間経過後の１０分間当たりに発生する異常放
電回数、基板温度３００℃時の膜の比抵抗値と、５５０
ｎｍおよび１０００ｎｍ波長域における透過率を測定し
た。得られた結果を表１に示す。
【００６０】［実施例２：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ
2Ｏ3］共沈法により、すなわち硫酸亜鉛を溶かして得た
水溶液中に硼酸を溶かし込み、アンモニアにて中和させ
た後に、沈降した沈殿物を濾過し、水洗、粉砕、乾燥を
経て、Ｂ2Ｏ3として５０重量％含有するＺｎＯ・Ｂ2Ｏ3
水酸化物粉末を得た。次に、このＺｎＯ・Ｂ2Ｏ3水酸化
物を７００℃、３時間の条件にて仮焼し、平均一次粒子
径が０．７μｍの複合化粉末を得た。この複合化粉末
を、平均一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に１重
量％添加して原料粉末とした。
2Ｏ3］共沈法により、すなわち硫酸亜鉛を溶かして得た
水溶液中に硼酸を溶かし込み、アンモニアにて中和させ
た後に、沈降した沈殿物を濾過し、水洗、粉砕、乾燥を
経て、Ｂ2Ｏ3として５０重量％含有するＺｎＯ・Ｂ2Ｏ3
水酸化物粉末を得た。次に、このＺｎＯ・Ｂ2Ｏ3水酸化
物を７００℃、３時間の条件にて仮焼し、平均一次粒子
径が０．７μｍの複合化粉末を得た。この複合化粉末
を、平均一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に１重
量％添加して原料粉末とした。
【００６１】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールにより湿式ボールミル混合を１８時間行
った。なお、混合を行う際、バインダーとしてボリビニ
ルアルコールを１重量％添加し、同時に混合を行った。
その後、スラリーを取り出して乾燥造粒した後、造粒物
を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2の圧力で成形
し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状の成形体を得
た。
ＺｒＯ2ボールにより湿式ボールミル混合を１８時間行
った。なお、混合を行う際、バインダーとしてボリビニ
ルアルコールを１重量％添加し、同時に混合を行った。
その後、スラリーを取り出して乾燥造粒した後、造粒物
を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2の圧力で成形
し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状の成形体を得
た。
【００６２】さらに、この成形体を大気中にて８００℃
までは１℃／分の速度にて昇温し、８００〜１１００℃
の温度範囲では３℃／ｍｉｎの速度にて昇温した。その
後、１１００℃にて５時間の保持を行った。
までは１℃／分の速度にて昇温し、８００〜１１００℃
の温度範囲では３℃／ｍｉｎの速度にて昇温した。その
後、１１００℃にて５時間の保持を行った。
【００６３】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行った。その結果を表１に示す。
測定および試験を行った。その結果を表１に示す。
【００６４】［実施例３：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ
2Ｏ3］共沈法により、すなわち硫酸亜鉛を溶かして得た
水溶液中に硼酸を溶かし込み、アンモニアにて中和した
後に、沈降した沈殿物を濾過し、水洗、粉砕、乾燥を経
て、Ｂ2Ｏ3として５０重量％含有するＺｎＯ・Ｂ2Ｏ3水
酸化物粉末を得た。このＺｎＯ・Ｂ2Ｏ3水酸化物を７０
０℃、３時間の条件にて仮焼し、平均一次粒子径が０．
７μｍの複合化粉末を得た。この複合化粉末を平均一次
粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に６重量％添加し、
さらに平均一次粒子径が０．２μｍのＧａ2Ｏ3粉末を３
重量％添加して原料粉末とした。
2Ｏ3］共沈法により、すなわち硫酸亜鉛を溶かして得た
水溶液中に硼酸を溶かし込み、アンモニアにて中和した
後に、沈降した沈殿物を濾過し、水洗、粉砕、乾燥を経
て、Ｂ2Ｏ3として５０重量％含有するＺｎＯ・Ｂ2Ｏ3水
酸化物粉末を得た。このＺｎＯ・Ｂ2Ｏ3水酸化物を７０
０℃、３時間の条件にて仮焼し、平均一次粒子径が０．
７μｍの複合化粉末を得た。この複合化粉末を平均一次
粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に６重量％添加し、
さらに平均一次粒子径が０．２μｍのＧａ2Ｏ3粉末を３
重量％添加して原料粉末とした。
【００６５】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールにより湿式ボールミル混合を１８時間行
った。また混合を行う際、バインダーとしてポリビニル
アルコールを１重量％添加し、同時に混合を行った。そ
の後、スラリーを取り出して乾燥造粒した後、造粒物を
冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2の圧力で成形
し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状の成形体を得
た。
ＺｒＯ2ボールにより湿式ボールミル混合を１８時間行
った。また混合を行う際、バインダーとしてポリビニル
アルコールを１重量％添加し、同時に混合を行った。そ
の後、スラリーを取り出して乾燥造粒した後、造粒物を
冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2の圧力で成形
し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状の成形体を得
た。
【００６６】この成形体を大気中にて８００℃までは１
℃／分の速度にて昇温し、８００〜１３００℃の温度範
囲では３℃／分の速度にて昇温した。その後、１３００
℃にて５時間の保持を行った。得られた焼結体について
実施例１と同様の測定および試験を行った。その結果を
表１に示す。
℃／分の速度にて昇温し、８００〜１３００℃の温度範
囲では３℃／分の速度にて昇温した。その後、１３００
℃にて５時間の保持を行った。得られた焼結体について
実施例１と同様の測定および試験を行った。その結果を
表１に示す。
【００６７】［実施例４：ホットプレス、ＺｎＯ・Ｂ2
Ｏ3］共沈法により、すなわち硫酸亜鉛を溶かして得た
水溶液中に硼酸を溶かし込み、アンモニアにて中和させ
た後に、沈降した沈殿物を濾過し、水洗、粉砕、乾燥を
経て、Ｂ2Ｏ3として５０重量％含有するＺｎＯ・Ｂ2Ｏ3
水酸化物粉末を得た。このＺｎＯ・Ｂ2Ｏ3水酸化物を７
００℃、３時間の条件にて仮焼し、平均一次粒子径が
０．７μｍの複合化粉末を得た。この複合化粉末を、平
均一次粒子径が０．１μｍからなるＺｎＯ粉末中に１０
重量％添加し、乾式ボールミルにて５時間混合して複合
化粉末を得た。
Ｏ3］共沈法により、すなわち硫酸亜鉛を溶かして得た
水溶液中に硼酸を溶かし込み、アンモニアにて中和させ
た後に、沈降した沈殿物を濾過し、水洗、粉砕、乾燥を
経て、Ｂ2Ｏ3として５０重量％含有するＺｎＯ・Ｂ2Ｏ3
水酸化物粉末を得た。このＺｎＯ・Ｂ2Ｏ3水酸化物を７
００℃、３時間の条件にて仮焼し、平均一次粒子径が
０．７μｍの複合化粉末を得た。この複合化粉末を、平
均一次粒子径が０．１μｍからなるＺｎＯ粉末中に１０
重量％添加し、乾式ボールミルにて５時間混合して複合
化粉末を得た。
【００６８】この複合化粉末を原料粉末として用い、真
空中、１１００℃の温度において、φ１００ｍｍのホッ
トプレスにて４００ｋｇ／ｃｍ2の圧力を加えつつ、１
時間焼結した。得られた焼結体について実施例１と同様
の測定および試験を行った。その結果を表１に示す。
空中、１１００℃の温度において、φ１００ｍｍのホッ
トプレスにて４００ｋｇ／ｃｍ2の圧力を加えつつ、１
時間焼結した。得られた焼結体について実施例１と同様
の測定および試験を行った。その結果を表１に示す。
【００６９】［実施例５：酸素雰囲気常圧焼結、ＺｎＯ
・Ｂ2Ｏ3］ＺｎＯ粉末中にＢ2Ｏ3粉末を４０重量％添加
して、乾式ボールミルにて５時間混合し、その後７００
℃、３時間にて仮焼して、平均一次粒子径が１．５μｍ
の複合化粉末を得た。この複合化粉末を平均一次粒子径
が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に１０重量％添加して原料
粉末とした。
・Ｂ2Ｏ3］ＺｎＯ粉末中にＢ2Ｏ3粉末を４０重量％添加
して、乾式ボールミルにて５時間混合し、その後７００
℃、３時間にて仮焼して、平均一次粒子径が１．５μｍ
の複合化粉末を得た。この複合化粉末を平均一次粒子径
が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に１０重量％添加して原料
粉末とした。
【００７０】次に、この原料粉末を樹脂製ポットに入
れ、硬質ＺｒＯ2ボールを用いて、湿式ボールミル混合
を１８時間行った。なお、混合を行う際に、バインダー
としてポリビニルアルコールを１重量％添加した。
れ、硬質ＺｒＯ2ボールを用いて、湿式ボールミル混合
を１８時間行った。なお、混合を行う際に、バインダー
としてポリビニルアルコールを１重量％添加した。
【００７１】こうして作製したスラリーを取り出して乾
燥造粒し、造粒物を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃ
ｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円
盤状の成形体を得た。
燥造粒し、造粒物を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃ
ｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円
盤状の成形体を得た。
【００７２】さらに、この成形体を大気中にて６００℃
までは０．５℃／分の速度で昇温し、酸素ガスを１０リ
ットル／分の流速で導入しながら、６００〜８００℃ま
では１℃／分の速度で、さらに８００〜１１００℃の温
度範囲では３℃／分の速度で昇温した。その後、１１０
０℃にて５時間の保持を行った。
までは０．５℃／分の速度で昇温し、酸素ガスを１０リ
ットル／分の流速で導入しながら、６００〜８００℃ま
では１℃／分の速度で、さらに８００〜１１００℃の温
度範囲では３℃／分の速度で昇温した。その後、１１０
０℃にて５時間の保持を行った。
【００７３】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果が得られた。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果が得られた。
【００７４】［実施例６：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ
2Ｏ3］共沈法により、すなわち硫酸亜鉛を溶かして得た
水溶液中に硼酸を溶かし込み、アンモニアにて中和させ
た後に、沈降した沈殿物を濾過し、水洗、粉砕、乾燥す
ることにより、Ｂ2Ｏ3を３０重量％含有するＺｎＯ・Ｂ
2Ｏ3水酸化物粉末を得た。
2Ｏ3］共沈法により、すなわち硫酸亜鉛を溶かして得た
水溶液中に硼酸を溶かし込み、アンモニアにて中和させ
た後に、沈降した沈殿物を濾過し、水洗、粉砕、乾燥す
ることにより、Ｂ2Ｏ3を３０重量％含有するＺｎＯ・Ｂ
2Ｏ3水酸化物粉末を得た。
【００７５】次に、このＺｎＯ・Ｂ2Ｏ3水酸化物を６０
０℃、３時間の条件にて仮焼し、平均一次粒子径が０．
６μｍの複合化粉末を得た。この複合化粉末を、平均一
次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に２重量％添加し
て原料粉末とした。
０℃、３時間の条件にて仮焼し、平均一次粒子径が０．
６μｍの複合化粉末を得た。この複合化粉末を、平均一
次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に２重量％添加し
て原料粉末とした。
【００７６】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールにより湿式ボールミル混合を１８時間行
った。なお、混合を行う際に、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。こうして得たスラ
リーを取り出して乾燥造粒した後、造粒物を冷間静水圧
プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１０
０ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状の成形体を得た。
ＺｒＯ2ボールにより湿式ボールミル混合を１８時間行
った。なお、混合を行う際に、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。こうして得たスラ
リーを取り出して乾燥造粒した後、造粒物を冷間静水圧
プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１０
０ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状の成形体を得た。
【００７７】さらに、この成形体を大気中にて６００℃
までは０．５℃／分の速度にて昇温し、６００〜８００
℃の温度範囲では１℃／分の速度にて昇温し、８００〜
１３００℃の温度範囲では３℃／分の速度にて昇温し
た。その後、１３００℃にて５時間の保持を行った。
までは０．５℃／分の速度にて昇温し、６００〜８００
℃の温度範囲では１℃／分の速度にて昇温し、８００〜
１３００℃の温度範囲では３℃／分の速度にて昇温し
た。その後、１３００℃にて５時間の保持を行った。
【００７８】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果が得られた。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果が得られた。
【００７９】［実施例７：ホットプレス無酸素焼結、Ｚ
ｎＯ・Ｂ2Ｏ3］共沈法によりＢ2Ｏ3を３０重量％含有す
るＺｎＯ・Ｂ2Ｏ3水酸化物粉末を得た。このＺｎＯ・Ｂ
2Ｏ3水酸化物を７００℃、３時間の条件にて仮焼し、平
均一次粒子径が０．７μｍの複合化粉末を得た。この複
合化粉末を平均一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中
に５重量％添加して原料粉末とした。
ｎＯ・Ｂ2Ｏ3］共沈法によりＢ2Ｏ3を３０重量％含有す
るＺｎＯ・Ｂ2Ｏ3水酸化物粉末を得た。このＺｎＯ・Ｂ
2Ｏ3水酸化物を７００℃、３時間の条件にて仮焼し、平
均一次粒子径が０．７μｍの複合化粉末を得た。この複
合化粉末を平均一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中
に５重量％添加して原料粉末とした。
【００８０】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールにより乾式ボールミル混合を５時間行っ
た。その後、原料粉末を取り出して、１００ｍｍ径のホ
ットプレスにて４００ｋｇ／ｃｍ2の圧力を加えつつ、
１１００℃にてアルゴン中で１時間焼結した。
ＺｒＯ2ボールにより乾式ボールミル混合を５時間行っ
た。その後、原料粉末を取り出して、１００ｍｍ径のホ
ットプレスにて４００ｋｇ／ｃｍ2の圧力を加えつつ、
１１００℃にてアルゴン中で１時間焼結した。
【００８１】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果が得られた。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果が得られた。
【００８２】［実施例８：酸素雰囲気常圧焼結、ＺｎＯ
・Ｂ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−５０重量
％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて仮焼して得た平
均一次粒子径が０．６μｍの複合粉末を、平均一次粒子
径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、３重量％添加して原
料粉末とした。この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬
質ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時
間行った。また混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加し、同時に混合を行っ
た。その後、スラリーを取り出して乾燥造粒後、造粒粉
を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2の圧力で成形
し、直径１００ｍｍ厚さ８ｍｍの円盤状の成形体を得
た。さらに得られた成形体を大気中にて６００℃まで
０．５℃／分にて昇温した後、酸素ガスを１０リットル
／分で導入しながら、６００〜８００℃まで１℃／分、
８００〜１１００℃まで３℃／分にて昇温した。その後
１１００℃にて５時間保持を行った。得られた焼結体に
ついて実施例１と同様の測定および試験を行ったとこ
ろ、実施例１〜４と同様な結果が得られた。
・Ｂ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−５０重量
％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて仮焼して得た平
均一次粒子径が０．６μｍの複合粉末を、平均一次粒子
径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、３重量％添加して原
料粉末とした。この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬
質ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時
間行った。また混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加し、同時に混合を行っ
た。その後、スラリーを取り出して乾燥造粒後、造粒粉
を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2の圧力で成形
し、直径１００ｍｍ厚さ８ｍｍの円盤状の成形体を得
た。さらに得られた成形体を大気中にて６００℃まで
０．５℃／分にて昇温した後、酸素ガスを１０リットル
／分で導入しながら、６００〜８００℃まで１℃／分、
８００〜１１００℃まで３℃／分にて昇温した。その後
１１００℃にて５時間保持を行った。得られた焼結体に
ついて実施例１と同様の測定および試験を行ったとこ
ろ、実施例１〜４と同様な結果が得られた。
【００８３】［実施例９：酸素雰囲気焼結・焼結後無酸
素処理、ＺｎＯ・Ｂ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺ
ｎＯ−５０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて
仮焼して得た平均一次粒子径が０．６μｍの複合粉末
を、平均一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に３重
量％添加して原料粉末とした。この原料粉末を樹脂製ポ
ットに入れ、硬質ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミ
ル混合を１８時間行った。また混合を行う際、バインダ
ーとしてポリビニルアルコールを１重量％添加し、同時
に混合を行った。その後、スラリーを取り出して乾燥造
粒後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚さ８ｍｍの円盤状の
成形体を得た。さらに得られた成形体を大気中にて６０
０℃まで０．５℃／分にて昇温した後、酸素ガスを１０
リットル／分で導入しながら、６００〜８００℃まで１
℃／分、８００〜１１００℃まで３℃／分にて昇温し
た。その後１１００℃にて５時間保持を行った。本焼結
終了後、１０００℃まで１０℃／分にて昇温し、アルゴ
ンガスを１０リットル／分導入して無酸素雰囲気とし、
１時間保持した。得られた焼結体について実施例１と同
様の測定方法および試験を行ったところ、実施例１〜４
と同様な結果が得られた。
素処理、ＺｎＯ・Ｂ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺ
ｎＯ−５０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて
仮焼して得た平均一次粒子径が０．６μｍの複合粉末
を、平均一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に３重
量％添加して原料粉末とした。この原料粉末を樹脂製ポ
ットに入れ、硬質ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミ
ル混合を１８時間行った。また混合を行う際、バインダ
ーとしてポリビニルアルコールを１重量％添加し、同時
に混合を行った。その後、スラリーを取り出して乾燥造
粒後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚さ８ｍｍの円盤状の
成形体を得た。さらに得られた成形体を大気中にて６０
０℃まで０．５℃／分にて昇温した後、酸素ガスを１０
リットル／分で導入しながら、６００〜８００℃まで１
℃／分、８００〜１１００℃まで３℃／分にて昇温し
た。その後１１００℃にて５時間保持を行った。本焼結
終了後、１０００℃まで１０℃／分にて昇温し、アルゴ
ンガスを１０リットル／分導入して無酸素雰囲気とし、
１時間保持した。得られた焼結体について実施例１と同
様の測定方法および試験を行ったところ、実施例１〜４
と同様な結果が得られた。
【００８４】［実施例１０：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ2
Ｏ3・Ｇａ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−４
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を７００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．５μｍの複合化粉末を、平均
一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、０．５重量
％添加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍのＧａ2
Ｏ3粉末を６．９重量％添加して原料粉末とした。
Ｏ3・Ｇａ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−４
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を７００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．５μｍの複合化粉末を、平均
一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、０．５重量
％添加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍのＧａ2
Ｏ3粉末を６．９重量％添加して原料粉末とした。
【００８５】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
【００８６】その後、スラリーを取り出して乾燥し造粒
した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３トン／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気中にて８
００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３００℃ま
で３℃／分にて昇温した。その後１３００℃にて５時間
保持を行った。
した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３トン／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気中にて８
００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３００℃ま
で３℃／分にて昇温した。その後１３００℃にて５時間
保持を行った。
【００８７】得られた焼結体を実施例１と同様にして測
定したところ、実施例１〜４と同様な結果を得た。
定したところ、実施例１〜４と同様な結果を得た。
【００８８】［実施例１１：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ2
Ｏ3・Ｇａ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−５
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を７００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．５μｍの複合化粉末を２重量
％、平均一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に添加
し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍのＧａ2Ｏ3粉末
を４．６重量％添加して原料粉末とした。
Ｏ3・Ｇａ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−５
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を７００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．５μｍの複合化粉末を２重量
％、平均一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に添加
し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍのＧａ2Ｏ3粉末
を４．６重量％添加して原料粉末とした。
【００８９】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
【００９０】その後、スラリーを取り出して乾燥し造粒
した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３トン／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気中にて８
００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３００℃ま
で３℃／分にて昇温した。その後１３００℃にて５時間
保持を行った。
した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３トン／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気中にて８
００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３００℃ま
で３℃／分にて昇温した。その後１３００℃にて５時間
保持を行った。
【００９１】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【００９２】［実施例１２：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ2
Ｏ3・Ｇａ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−５
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を７００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．５μｍの複合化粉末を４重量
％、平均一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に添加
し、平均一次粒子径が０．１μｍのＧａ2Ｏ3粉末を４．
６重量％添加して原料粉末とした。
Ｏ3・Ｇａ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−５
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を７００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．５μｍの複合化粉末を４重量
％、平均一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に添加
し、平均一次粒子径が０．１μｍのＧａ2Ｏ3粉末を４．
６重量％添加して原料粉末とした。
【００９３】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
【００９４】その後、スラリーを取り出して乾燥し造粒
した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３トン／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気中にて８
００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３００℃ま
で３℃／分にて昇温した。その後、１３００℃にて５時
間の保持を行った。
した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３トン／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気中にて８
００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３００℃ま
で３℃／分にて昇温した。その後、１３００℃にて５時
間の保持を行った。
【００９５】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【００９６】［実施例１３：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｇａ
2Ｏ3・ＧｅＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＧａ2
Ｏ3粉末を４．６重量％、そして平均一次粒子径０．１
μｍからなるＧｅＯ2粉末を１．１重量％添加して原料
粉末とした。この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。また混合を行う際、バインダーとしてポリビニ
ルアルコールを１重量％添加した。その後、スラリーを
取り出して、乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プ
レスにて３トン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍ
ｍ厚さ８ｍｍの円盤状の成形体を得た。さらに得られた
成形体を大気中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、
８００〜１３００℃まで３℃／分にて昇温した。その後
１３００℃にて５時間の保持を行った。
2Ｏ3・ＧｅＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＧａ2
Ｏ3粉末を４．６重量％、そして平均一次粒子径０．１
μｍからなるＧｅＯ2粉末を１．１重量％添加して原料
粉末とした。この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。また混合を行う際、バインダーとしてポリビニ
ルアルコールを１重量％添加した。その後、スラリーを
取り出して、乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プ
レスにて３トン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍ
ｍ厚さ８ｍｍの円盤状の成形体を得た。さらに得られた
成形体を大気中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、
８００〜１３００℃まで３℃／分にて昇温した。その後
１３００℃にて５時間の保持を行った。
【００９７】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【００９８】［実施例１４：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｇａ
2Ｏ3・Ｉｎ2Ｏ3］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＧａ2
Ｏ3粉末を４．５重量％、そして平均一次粒子径０．１
μｍからなるＩｎ2Ｏ3粉末を１．７重量％添加して原料
粉末とした。この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。また混合を行う際、バインダーとしてポリビニ
ルアルコールを１重量％添加した。その後、スラリーを
取り出して、乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プ
レスにて３トン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍ
ｍ厚さ８ｍｍの円盤状の成形体を得た。さらに得られた
成形体を大気中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、
８００〜１３００℃まで３℃／分にて昇温した。その後
１３００℃にて５時間の保持を行った。
2Ｏ3・Ｉｎ2Ｏ3］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＧａ2
Ｏ3粉末を４．５重量％、そして平均一次粒子径０．１
μｍからなるＩｎ2Ｏ3粉末を１．７重量％添加して原料
粉末とした。この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。また混合を行う際、バインダーとしてポリビニ
ルアルコールを１重量％添加した。その後、スラリーを
取り出して、乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プ
レスにて３トン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍ
ｍ厚さ８ｍｍの円盤状の成形体を得た。さらに得られた
成形体を大気中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、
８００〜１３００℃まで３℃／分にて昇温した。その後
１３００℃にて５時間の保持を行った。
【００９９】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１００】［実施例１５：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｇａ
Ｏ3・Ａｌ2Ｏ3］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＧａ2
Ｏ3粉末を４．６重量％、そして平均一次粒子径が０．
１μｍのＡｌ2Ｏ3を０．６重量％添加して原料粉末とし
た。この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2
ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。
また混合を行う際、バインダーとしてポリビニルアルコ
ールを１重量％添加した。その後、スラリーを取り出し
て、乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて
３トン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚さ８
ｍｍの円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形体を
大気中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜
１３００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３００
℃にて５時間の保持を行った。得られた焼結体について
実施例１と同様の測定および試験を行ったところ、実施
例１〜４と同様な結果を得た。
Ｏ3・Ａｌ2Ｏ3］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＧａ2
Ｏ3粉末を４．６重量％、そして平均一次粒子径が０．
１μｍのＡｌ2Ｏ3を０．６重量％添加して原料粉末とし
た。この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2
ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。
また混合を行う際、バインダーとしてポリビニルアルコ
ールを１重量％添加した。その後、スラリーを取り出し
て、乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて
３トン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚さ８
ｍｍの円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形体を
大気中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜
１３００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３００
℃にて５時間の保持を行った。得られた焼結体について
実施例１と同様の測定および試験を行ったところ、実施
例１〜４と同様な結果を得た。
【０１０１】［実施例１６：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｇａ
2Ｏ3・ＳｉＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＧａ2
Ｏ3粉末を４．６重量％、そして平均一次粒子径が０．
１μｍのＳｉＯ2を０．６重量％添加して原料粉末とし
た。この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2
ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。
また混合を行う際、バインダーとしてポリビニルアルコ
ールを１重量％添加した。その後、スラリーを取り出し
て、乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて
３トン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚さ８
ｍｍの円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形体を
大気中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜
１３００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３００
℃にて５時間の保持を行った。得られた焼結体について
実施例１と同様の測定および試験を行ったところ、実施
例１〜４と同様な結果を得た。
2Ｏ3・ＳｉＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＧａ2
Ｏ3粉末を４．６重量％、そして平均一次粒子径が０．
１μｍのＳｉＯ2を０．６重量％添加して原料粉末とし
た。この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2
ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。
また混合を行う際、バインダーとしてポリビニルアルコ
ールを１重量％添加した。その後、スラリーを取り出し
て、乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて
３トン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚さ８
ｍｍの円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形体を
大気中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜
１３００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３００
℃にて５時間の保持を行った。得られた焼結体について
実施例１と同様の測定および試験を行ったところ、実施
例１〜４と同様な結果を得た。
【０１０２】［実施例１７：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｇａ
2Ｏ3・ＴｉＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＧａ2
Ｏ3粉末を４．６重量％、そして平均一次粒子径が０．
１μｍのＴｉＯ2を１．０重量％添加して原料粉末とし
た。この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2
ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。
また混合を行う際、バインダーとしてポリビニルアルコ
ールを１重量％添加した。その後、スラリーを取り出し
て、乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて
３トン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚さ８
ｍｍの円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形体を
大気中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜
１３００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３００
℃にて５時間の保持を行った。得られた焼結体について
実施例１と同様の測定および試験を行ったところ、実施
例１〜４と同様な結果を得た。
2Ｏ3・ＴｉＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＧａ2
Ｏ3粉末を４．６重量％、そして平均一次粒子径が０．
１μｍのＴｉＯ2を１．０重量％添加して原料粉末とし
た。この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2
ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。
また混合を行う際、バインダーとしてポリビニルアルコ
ールを１重量％添加した。その後、スラリーを取り出し
て、乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて
３トン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚さ８
ｍｍの円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形体を
大気中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜
１３００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３００
℃にて５時間の保持を行った。得られた焼結体について
実施例１と同様の測定および試験を行ったところ、実施
例１〜４と同様な結果を得た。
【０１０３】［実施例１８：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｇａ
2Ｏ3・ＳｎＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＧａ2
Ｏ3粉末を４．５重量％、そして平均一次粒子径が０．
１μｍのＳｎＯ2を１．８重量％添加して原料粉末とし
た。この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2
ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。
混合を行う際に、バインダーとしてポリビニルアルコー
ルを１重量％添加した。その後、スラリーを取り出し
て、乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて
３トン・ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ
８ｍｍの円盤状の成形体を得た。さらに、得られた成形
体を大気中にて８００℃まで１℃／分にして昇温し、８
００〜１３００℃まで３℃／分にて昇温した。その後、
１３００℃にて５時間の保持を行った。得られた焼結体
について実施例１と同様の測定および試験を行ったとこ
ろ、実施例１〜４と同様な結果を得た。
2Ｏ3・ＳｎＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＧａ2
Ｏ3粉末を４．５重量％、そして平均一次粒子径が０．
１μｍのＳｎＯ2を１．８重量％添加して原料粉末とし
た。この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2
ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。
混合を行う際に、バインダーとしてポリビニルアルコー
ルを１重量％添加した。その後、スラリーを取り出し
て、乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて
３トン・ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ
８ｍｍの円盤状の成形体を得た。さらに、得られた成形
体を大気中にて８００℃まで１℃／分にして昇温し、８
００〜１３００℃まで３℃／分にて昇温した。その後、
１３００℃にて５時間の保持を行った。得られた焼結体
について実施例１と同様の測定および試験を行ったとこ
ろ、実施例１〜４と同様な結果を得た。
【０１０４】［実施例１９：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ2
Ｏ3・Ｇａ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−２
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．６μｍの複合化粉末を、平均
一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、１３重量％
添加し、さらに平均一次粒子径が０．２μｍのＧａ2Ｏ3
粉末を１．１重量％添加して原料粉末とした。
Ｏ3・Ｇａ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−２
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．６μｍの複合化粉末を、平均
一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、１３重量％
添加し、さらに平均一次粒子径が０．２μｍのＧａ2Ｏ3
粉末を１．１重量％添加して原料粉末とした。
【０１０５】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
【０１０６】その後、スラリーを取り出して乾燥造粒し
た後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。
た後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。
【０１０７】さらに、得られた成形体を大気中にて６０
０℃まで０．５℃／分にて昇温し、６００〜８００℃ま
で１℃／分、８００℃〜１１００℃まで３℃／分にて昇
温した。その後、１１００℃にて１時間の保持を行っ
た。
０℃まで０．５℃／分にて昇温し、６００〜８００℃ま
で１℃／分、８００℃〜１１００℃まで３℃／分にて昇
温した。その後、１１００℃にて１時間の保持を行っ
た。
【０１０８】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１０９】［実施例２０：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ2
Ｏ3・Ａｌ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−２
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．６μｍの複合化粉末を、平均
一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、１３重量％
添加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍのＡｌ2Ｏ3
粉末を１．３重量％添加して原料粉末とした。
Ｏ3・Ａｌ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−２
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．６μｍの複合化粉末を、平均
一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、１３重量％
添加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍのＡｌ2Ｏ3
粉末を１．３重量％添加して原料粉末とした。
【０１１０】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
【０１１１】その後、スラリーを取り出して乾燥造粒し
た後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。
た後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。
【０１１２】さらに、得られた成形体を大気中にて６０
０℃まで０．５℃／分にて昇温し、６００〜８００℃ま
で１℃／分、８００℃〜１１００℃まで３℃／分にて昇
温した。その後、１１００℃にて１時間の保持を行っ
た。
０℃まで０．５℃／分にて昇温し、６００〜８００℃ま
で１℃／分、８００℃〜１１００℃まで３℃／分にて昇
温した。その後、１１００℃にて１時間の保持を行っ
た。
【０１１３】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１１４】［実施例２１：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ2
Ｏ3・Ｉｎ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−２
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．６μｍの複合化粉末を、平均
一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、１３重量％
添加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍのＩｎ2Ｏ3
粉末を１．７重量％添加して原料粉末とした。
Ｏ3・Ｉｎ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−２
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．６μｍの複合化粉末を、平均
一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、１３重量％
添加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍのＩｎ2Ｏ3
粉末を１．７重量％添加して原料粉末とした。
【０１１５】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
【０１１６】その後、スラリーを取り出して乾燥造粒し
た後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。
た後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。
【０１１７】さらに、得られた成形体を大気中にて６０
０℃まで０．５℃／分にて昇温し、６００〜８００℃ま
で１℃／分、８００℃〜１１００℃まで３℃／分にて昇
温した。その後、１１００℃にて１時間の保持を行っ
た。
０℃まで０．５℃／分にて昇温し、６００〜８００℃ま
で１℃／分、８００℃〜１１００℃まで３℃／分にて昇
温した。その後、１１００℃にて１時間の保持を行っ
た。
【０１１８】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１１９】［実施例２２：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ2
Ｏ3・ＧｅＯ2］共沈法によって作製されたＺｎＯ−２０
重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて仮焼して得
た平均一次粒子径が０．６μｍの複合化粉末を、平均一
次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、１３重量％添
加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍＧｅＯ2粉末
を１．１重量％添加して原料粉末とした。
Ｏ3・ＧｅＯ2］共沈法によって作製されたＺｎＯ−２０
重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて仮焼して得
た平均一次粒子径が０．６μｍの複合化粉末を、平均一
次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、１３重量％添
加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍＧｅＯ2粉末
を１．１重量％添加して原料粉末とした。
【０１２０】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
【０１２１】その後、スラリーを取り出して乾燥造粒し
た後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。
た後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。
【０１２２】さらに、得られた成形体を大気中にて６０
０℃まで０．５℃／分にて昇温し、６００〜８００℃ま
で１℃／分、８００℃〜１１００℃まで３℃／分にて昇
温した。その後、１１００℃にて１時間保持を行った。
０℃まで０．５℃／分にて昇温し、６００〜８００℃ま
で１℃／分、８００℃〜１１００℃まで３℃／分にて昇
温した。その後、１１００℃にて１時間保持を行った。
【０１２３】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１２４】［実施例２３：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ2
Ｏ3・ＳｉＯ2］共沈法によって作製されたＺｎＯ−２０
重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて仮焼して得
た平均一次粒子径が０．６μｍの複合化粉末を、平均一
次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、１３重量％添
加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍのＳｉＯ2粉
末を１．１重量％添加して原料粉末とした。
Ｏ3・ＳｉＯ2］共沈法によって作製されたＺｎＯ−２０
重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて仮焼して得
た平均一次粒子径が０．６μｍの複合化粉末を、平均一
次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、１３重量％添
加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍのＳｉＯ2粉
末を１．１重量％添加して原料粉末とした。
【０１２５】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
【０１２６】その後、スラリーを取り出して乾燥造粒し
た後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。
た後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。
【０１２７】さらに、得られた成形体を大気中にて６０
０℃まで０．５℃／分にて昇温し、６００〜８００℃ま
で１℃／分、８００℃〜１１００℃まで３℃／分にて昇
温した。その後、１１００℃にて１時間の保持を行っ
た。
０℃まで０．５℃／分にて昇温し、６００〜８００℃ま
で１℃／分、８００℃〜１１００℃まで３℃／分にて昇
温した。その後、１１００℃にて１時間の保持を行っ
た。
【０１２８】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１２９】［実施例２４：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ2
Ｏ3・ＴｉＯ2］共沈法によって作製されたＺｎＯ−２０
重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて仮焼して得
た平均一次粒子径が０．６μｍの複合化粉末を、平均一
次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、１３重量％添
加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍのＴｉＯ2粉
末を１重量％添加して原料粉末とした。
Ｏ3・ＴｉＯ2］共沈法によって作製されたＺｎＯ−２０
重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて仮焼して得
た平均一次粒子径が０．６μｍの複合化粉末を、平均一
次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、１３重量％添
加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍのＴｉＯ2粉
末を１重量％添加して原料粉末とした。
【０１３０】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
【０１３１】その後、スラリーを取り出して乾燥造粒し
た後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。
た後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。
【０１３２】さらに、得られた成形体を大気中にて６０
０℃まで０．５℃／分にて昇温し、６００〜８００℃ま
で１℃／分、８００℃〜１１００℃まで３℃／分にて昇
温した。その後、１１００℃にて１時間の保持を行っ
た。
０℃まで０．５℃／分にて昇温し、６００〜８００℃ま
で１℃／分、８００℃〜１１００℃まで３℃／分にて昇
温した。その後、１１００℃にて１時間の保持を行っ
た。
【０１３３】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１３４】［実施例２５：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ2
Ｏ3・Ｇａ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−５
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．６μｍの複合化粉末を、平均
一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、１２重量％
添加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍのＧａ2Ｏ3
粉末を３．６重量％添加して原料粉末とした。
Ｏ3・Ｇａ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−５
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．６μｍの複合化粉末を、平均
一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、１２重量％
添加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍのＧａ2Ｏ3
粉末を３．６重量％添加して原料粉末とした。
【０１３５】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
【０１３６】その後、スラリーを取り出して乾燥造粒し
た後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。
た後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。
【０１３７】さらに、得られた成形体を大気中にて６０
０℃まで０．５℃／分にて昇温し、６００〜８００℃ま
で１℃／分、８００℃〜１１００℃まで３℃／分にて昇
温した。その後、１１００℃にて１時間の保持を行っ
た。
０℃まで０．５℃／分にて昇温し、６００〜８００℃ま
で１℃／分、８００℃〜１１００℃まで３℃／分にて昇
温した。その後、１１００℃にて１時間の保持を行っ
た。
【０１３８】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１３９】［実施例２６：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ2
Ｏ3・Ｇａ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−１
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．５μｍの複合化粉末を、平均
一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、４重量％添
加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍからなるＧａ
2Ｏ3粉末を３．４重量％添加して原料粉末とした。
Ｏ3・Ｇａ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−１
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．５μｍの複合化粉末を、平均
一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、４重量％添
加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍからなるＧａ
2Ｏ3粉末を３．４重量％添加して原料粉末とした。
【０１４０】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
【０１４１】その後、スラリーを取り出して乾燥造粒し
た後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。
た後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。
【０１４２】さらに、得られた成形体を大気中にて６０
０℃まで０．５℃／分にて昇温し、６００〜８００℃ま
で１℃／分、８００℃〜１１００℃まで３℃／分にて昇
温した。その後、１１００℃にて１時間の保持を行っ
た。
０℃まで０．５℃／分にて昇温し、６００〜８００℃ま
で１℃／分、８００℃〜１１００℃まで３℃／分にて昇
温した。その後、１１００℃にて１時間の保持を行っ
た。
【０１４３】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１４４】［実施例２７：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ2
Ｏ3・Ｉｎ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−５
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．６μｍの複合化粉末を、平均
一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、１１重量％
添加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍのＩｎ2Ｏ3
粉末を５．３重量％添加して原料粉末とした。
Ｏ3・Ｉｎ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−５
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．６μｍの複合化粉末を、平均
一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、１１重量％
添加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍのＩｎ2Ｏ3
粉末を５．３重量％添加して原料粉末とした。
【０１４５】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
【０１４６】その後、スラリーを取り出して乾燥造粒し
た後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。
た後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。
【０１４７】さらに、得られた成形体を大気中にて６０
０℃まで０．５℃／分にて昇温し、６００〜８００℃ま
で１℃／分、８００℃〜１１００℃まで３℃／分にて昇
温した。その後、１１００℃にて１時間の保持を行っ
た。
０℃まで０．５℃／分にて昇温し、６００〜８００℃ま
で１℃／分、８００℃〜１１００℃まで３℃／分にて昇
温した。その後、１１００℃にて１時間の保持を行っ
た。
【０１４８】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１４９】［実施例２８：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ2
Ｏ3・ＧｅＯ2］共沈法によって作製されたＺｎＯ−５０
重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて仮焼して得
た平均一次粒子径が０．６μｍの複合化粉末を、平均一
次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、１２重量％添
加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍからなるＧｅ
Ｏ2粉末を１．２重量％添加して原料粉末とした。
Ｏ3・ＧｅＯ2］共沈法によって作製されたＺｎＯ−５０
重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を６００℃３時間にて仮焼して得
た平均一次粒子径が０．６μｍの複合化粉末を、平均一
次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、１２重量％添
加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍからなるＧｅ
Ｏ2粉末を１．２重量％添加して原料粉末とした。
【０１５０】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
【０１５１】その後、スラリーを取り出して乾燥造粒し
た後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。
た後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。
【０１５２】さらに、得られた成形体を大気中にて６０
０℃まで０．５℃／分にて昇温し、６００〜８００℃ま
で１℃／分、８００℃〜１１００℃まで３℃／分にて昇
温した。その後、１１００℃にて１時間の保持を行っ
た。
０℃まで０．５℃／分にて昇温し、６００〜８００℃ま
で１℃／分、８００℃〜１１００℃まで３℃／分にて昇
温した。その後、１１００℃にて１時間の保持を行っ
た。
【０１５３】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１５４】［実施例２９：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ2
Ｏ3・Ａｌ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−４
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を７００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．５μｍの複合化粉末を、平均
一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、０．５重量
％添加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍのＡｌ2
Ｏ3粉末を２．２重量％添加して原料粉末とした。
Ｏ3・Ａｌ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−４
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を７００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．５μｍの複合化粉末を、平均
一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、０．５重量
％添加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍのＡｌ2
Ｏ3粉末を２．２重量％添加して原料粉末とした。
【０１５５】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
【０１５６】その後、スラリーを取り出して乾燥し造粒
した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３トン／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。
した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３トン／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。
【０１５７】さらに、得られた成形体を大気中にて８０
０℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３００℃まで
３℃／分にて昇温した。その後、１３００℃にて５時間
保持を行った。
０℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３００℃まで
３℃／分にて昇温した。その後、１３００℃にて５時間
保持を行った。
【０１５８】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１５９】［実施例３０：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ2
Ｏ3・Ａｌ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−４
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を７００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．５μｍの複合化粉末を１重量
％、平均一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に添加
し、さらに平均一次粒子径が０．２μｍのＡｌ2Ｏ3粉末
を３重量％添加して原料粉末とした。
Ｏ3・Ａｌ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−４
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を７００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．５μｍの複合化粉末を１重量
％、平均一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に添加
し、さらに平均一次粒子径が０．２μｍのＡｌ2Ｏ3粉末
を３重量％添加して原料粉末とした。
【０１６０】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
【０１６１】その後、スラリーを取り出して乾燥し造粒
した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３トン／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気中にて８
００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３００℃ま
で３℃／分にて昇温した。その後１３００℃にて５時間
保持を行った。
した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３トン／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気中にて８
００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３００℃ま
で３℃／分にて昇温した。その後１３００℃にて５時間
保持を行った。
【０１６２】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１６３】［実施例３１：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ2
Ｏ3・Ａｌ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−５
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を７００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．５μｍの複合化粉末を２重量
％、平均一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に添加
し、平均一次粒子径が０．１μｍのＡｌ2Ｏ3粉末を４重
量％添加して原料粉末とした。
Ｏ3・Ａｌ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−５
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を７００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．５μｍの複合化粉末を２重量
％、平均一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に添加
し、平均一次粒子径が０．１μｍのＡｌ2Ｏ3粉末を４重
量％添加して原料粉末とした。
【０１６４】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
【０１６５】その後、スラリーを取り出して乾燥し造粒
した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３トン／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気中にて８
００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３００℃ま
で３℃／分にて昇温した。その後、１３００℃にて５時
間の保持を行った。
した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３トン／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気中にて８
００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３００℃ま
で３℃／分にて昇温した。その後、１３００℃にて５時
間の保持を行った。
【０１６６】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１６７】［実施例３２：大気中焼結、ＺｎＯ・Ａｌ
2Ｏ3・ＧｅＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径２μｍからなるＡｌ2Ｏ3粉
末を２．２重量％、そして平均一次粒子径０．１μｍか
らなるＧｅＯ2 粉末を１．１重量％添加して原料粉末と
した。この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ
2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行っ
た。また混合を行う際、バインダーとしてポリビニルア
ルコールを１重量％添加した。その後、スラリーを取り
出して、乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレス
にて３トン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚
さ８ｍｍの円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形
体を大気中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８０
０〜１３００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３
００℃にて５時間の保持を行った。
2Ｏ3・ＧｅＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径２μｍからなるＡｌ2Ｏ3粉
末を２．２重量％、そして平均一次粒子径０．１μｍか
らなるＧｅＯ2 粉末を１．１重量％添加して原料粉末と
した。この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ
2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行っ
た。また混合を行う際、バインダーとしてポリビニルア
ルコールを１重量％添加した。その後、スラリーを取り
出して、乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレス
にて３トン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚
さ８ｍｍの円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形
体を大気中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８０
０〜１３００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３
００℃にて５時間の保持を行った。
【０１６８】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１６９】［実施例３３：大気中焼結、ＺｎＯ・Ａｌ
2Ｏ3・Ｉｎ2Ｏ3］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径２μｍからなるＡｌ2Ｏ3粉
末を２．２重量％、そして平均一次粒子径０．１μｍか
らなるＩｎ2Ｏ3粉末を１．７重量％添加して原料粉末と
した。この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ
2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行っ
た。また混合を行う際、バインダーとしてポリビニルア
ルコールを１重量％添加した。その後、スラリーを取り
出して、乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレス
にて３トン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚
さ８ｍｍの円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形
体を大気中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８０
０〜１３００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３
００℃にて５時間の保持を行った。
2Ｏ3・Ｉｎ2Ｏ3］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径２μｍからなるＡｌ2Ｏ3粉
末を２．２重量％、そして平均一次粒子径０．１μｍか
らなるＩｎ2Ｏ3粉末を１．７重量％添加して原料粉末と
した。この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ
2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行っ
た。また混合を行う際、バインダーとしてポリビニルア
ルコールを１重量％添加した。その後、スラリーを取り
出して、乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレス
にて３トン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚
さ８ｍｍの円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形
体を大気中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８０
０〜１３００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３
００℃にて５時間の保持を行った。
【０１７０】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１７１】［実施例３４：大気中焼結、ＺｎＯ・Ａｌ
2Ｏ3・Ｇａ2Ｏ3］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径２μｍからなるＡｌ2Ｏ3粉
末を２．２重量％、そして平均一次粒子径が０．１重量
％のＧａ2Ｏ3を１．２重量％添加して原料粉末とした。
この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2ボー
ルを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。また
混合を行う際、バインダーとしてポリビニルアルコール
を１重量％添加した。その後、スラリーを取り出して、
乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ト
ン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚さ８ｍｍ
の円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気
中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３
００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３００℃に
て５時間の保持を行った。
2Ｏ3・Ｇａ2Ｏ3］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径２μｍからなるＡｌ2Ｏ3粉
末を２．２重量％、そして平均一次粒子径が０．１重量
％のＧａ2Ｏ3を１．２重量％添加して原料粉末とした。
この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2ボー
ルを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。また
混合を行う際、バインダーとしてポリビニルアルコール
を１重量％添加した。その後、スラリーを取り出して、
乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ト
ン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚さ８ｍｍ
の円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気
中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３
００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３００℃に
て５時間の保持を行った。
【０１７２】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１７３】［実施例３５：大気中焼結、ＺｎＯ・Ａｌ
2Ｏ3・ＳｉＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径２μｍからなるＡｌ2Ｏ3粉
末を２．２重量％、そして平均一次粒子径が０．１重量
％のＳｉＯ2 を０．８重量％添加して原料粉末とした。
この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2ボー
ルを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。また
混合を行う際、バインダーとしてポリビニルアルコール
を１重量％添加した。その後、スラリーを取り出して、
乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ト
ン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚さ８ｍｍ
の円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気
中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３
００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３００℃に
て５時間の保持を行った。
2Ｏ3・ＳｉＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径２μｍからなるＡｌ2Ｏ3粉
末を２．２重量％、そして平均一次粒子径が０．１重量
％のＳｉＯ2 を０．８重量％添加して原料粉末とした。
この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2ボー
ルを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。また
混合を行う際、バインダーとしてポリビニルアルコール
を１重量％添加した。その後、スラリーを取り出して、
乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ト
ン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚さ８ｍｍ
の円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気
中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３
００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３００℃に
て５時間の保持を行った。
【０１７４】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１７５】［実施例３６：大気中焼結、ＺｎＯ・Ａｌ
2Ｏ3・ＴｉＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径２μｍからなるＡｌ2Ｏ3粉
末を２．２重量％、そして平均一次粒子径が０．１重量
％のＴｉＯ2 を１重量％添加して原料粉末とした。この
原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2ボールを
用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。また混合
を行う際、バインダーとしてポリビニルアルコールを１
重量％添加した。その後、スラリーを取り出して、乾燥
し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３トン／
ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚さ８ｍｍの円
盤状の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気中に
て８００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３００
℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３００℃にて５
時間の保持を行った。
2Ｏ3・ＴｉＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径２μｍからなるＡｌ2Ｏ3粉
末を２．２重量％、そして平均一次粒子径が０．１重量
％のＴｉＯ2 を１重量％添加して原料粉末とした。この
原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2ボールを
用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。また混合
を行う際、バインダーとしてポリビニルアルコールを１
重量％添加した。その後、スラリーを取り出して、乾燥
し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３トン／
ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚さ８ｍｍの円
盤状の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気中に
て８００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３００
℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３００℃にて５
時間の保持を行った。
【０１７６】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１７７】［実施例３７：大気中焼結、ＺｎＯ・Ａｌ
2Ｏ3・ＳｎＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径２μｍからなるＡｌ2Ｏ3粉
末を２．２重量％、そして平均一次粒子径が０．１重量
％のＳｎＯ2 を１．９重量％添加して原料粉末とした。
この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2ボー
ルを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。また
混合を行う際、バインダーとしてポリビニルアルコール
を１重量％添加した。その後、スラリーを取り出して、
乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ト
ン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚さ８ｍｍ
の円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気
中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３
００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３００℃に
て５時間の保持を行った。
2Ｏ3・ＳｎＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径２μｍからなるＡｌ2Ｏ3粉
末を２．２重量％、そして平均一次粒子径が０．１重量
％のＳｎＯ2 を１．９重量％添加して原料粉末とした。
この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2ボー
ルを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。また
混合を行う際、バインダーとしてポリビニルアルコール
を１重量％添加した。その後、スラリーを取り出して、
乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ト
ン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚さ８ｍｍ
の円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気
中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３
００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３００℃に
て５時間の保持を行った。
【０１７８】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１７９】［実施例３８：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ2
Ｏ3・Ｉｎ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−４
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を７００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．５μｍの複合化粉末を、平均
一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、０．５重量
％添加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍのＩｎ2
Ｏ3粉末を９．８重量％添加して原料粉末とした。
Ｏ3・Ｉｎ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−４
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を７００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．５μｍの複合化粉末を、平均
一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に、０．５重量
％添加し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍのＩｎ2
Ｏ3粉末を９．８重量％添加して原料粉末とした。
【０１８０】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
【０１８１】その後、スラリーを取り出して乾燥し造粒
した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３トン／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気中にて８
００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３００℃ま
で３℃／分にて昇温した。その後１３００℃にて５時間
保持を行った。
した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３トン／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気中にて８
００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３００℃ま
で３℃／分にて昇温した。その後１３００℃にて５時間
保持を行った。
【０１８２】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１８３】［実施例３９：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ2
Ｏ3・Ｉｎ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−４
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を７００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．５μｍの複合化粉末を１重量
％、平均一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に添加
し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍのＩｎ2Ｏ3粉末
を５重量％添加して原料粉末とした。
Ｏ3・Ｉｎ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−４
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を７００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．５μｍの複合化粉末を１重量
％、平均一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に添加
し、さらに平均一次粒子径が０．１μｍのＩｎ2Ｏ3粉末
を５重量％添加して原料粉末とした。
【０１８４】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
【０１８５】その後、スラリーを取り出して乾燥し造粒
した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３トン／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気中にて８
００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３００℃ま
で３℃／分にて昇温した。その後１３００℃にて５時間
保持を行った。
した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３トン／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気中にて８
００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３００℃ま
で３℃／分にて昇温した。その後１３００℃にて５時間
保持を行った。
【０１８６】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１８７】［実施例４０：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｂ2
Ｏ3・Ｉｎ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−４
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を７００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．５μｍの複合化粉末を２重量
％、平均一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に添加
し、平均一次粒子径が０．１μｍのＩｎ2Ｏ3粉末を５重
量％添加して原料粉末とした。
Ｏ3・Ｉｎ2Ｏ3］共沈法によって作製されたＺｎＯ−４
０重量％Ｂ2Ｏ3水酸化物を７００℃３時間にて仮焼して
得た平均一次粒子径が０．５μｍの複合化粉末を２重量
％、平均一次粒子径が０．１μｍのＺｎＯ粉末中に添加
し、平均一次粒子径が０．１μｍのＩｎ2Ｏ3粉末を５重
量％添加して原料粉末とした。
【０１８８】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
ＺｒＯ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間
行った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビ
ニルアルコールを１重量％添加した。
【０１８９】その後、スラリーを取り出して乾燥し造粒
した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３トン／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気中にて８
００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３００℃ま
で３℃／分にて昇温した。その後、１３００℃にて５時
間の保持を行った。
した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３トン／ｃｍ2
の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状
の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気中にて８
００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３００℃ま
で３℃／分にて昇温した。その後、１３００℃にて５時
間の保持を行った。
【０１９０】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１９１】［実施例４１：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｉｎ
2Ｏ3・ＧｅＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＩｎ2
Ｏ3粉末を５重量％、そして平均一次粒子径０．１μｍ
からなるＧｅＯ2粉末を１．１重量％添加して原料粉末
とした。この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質Ｚｒ
Ｏ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行っ
た。また混合を行う際、バインダーとしてポリビニルア
ルコールを１重量％添加した。その後、スラリーを取り
出して、乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレス
にて３トン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚
さ８ｍｍの円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形
体を大気中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８０
０〜１３００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３
００℃にて５時間の保持を行った。
2Ｏ3・ＧｅＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＩｎ2
Ｏ3粉末を５重量％、そして平均一次粒子径０．１μｍ
からなるＧｅＯ2粉末を１．１重量％添加して原料粉末
とした。この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質Ｚｒ
Ｏ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行っ
た。また混合を行う際、バインダーとしてポリビニルア
ルコールを１重量％添加した。その後、スラリーを取り
出して、乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレス
にて３トン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚
さ８ｍｍの円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形
体を大気中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８０
０〜１３００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３
００℃にて５時間の保持を行った。
【０１９２】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１９３】［実施例４２：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｉｎ
2Ｏ3・Ｇａ2Ｏ3］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＩｎ2
Ｏ3粉末を５重量％、そして平均一次粒子径０．１μｍ
からなるＧａ2Ｏ3粉末を１．１重量％添加して原料粉末
とした。この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質Ｚｒ
Ｏ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行っ
た。また混合を行う際、バインダーとしてポリビニルア
ルコールを１重量％添加した。その後、スラリーを取り
出して、乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレス
にて３トン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚
さ８ｍｍの円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形
体を大気中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８０
０〜１３００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３
００℃にて５時間の保持を行った。
2Ｏ3・Ｇａ2Ｏ3］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＩｎ2
Ｏ3粉末を５重量％、そして平均一次粒子径０．１μｍ
からなるＧａ2Ｏ3粉末を１．１重量％添加して原料粉末
とした。この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質Ｚｒ
Ｏ2ボールを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行っ
た。また混合を行う際、バインダーとしてポリビニルア
ルコールを１重量％添加した。その後、スラリーを取り
出して、乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレス
にて３トン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚
さ８ｍｍの円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形
体を大気中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８０
０〜１３００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３
００℃にて５時間の保持を行った。
【０１９４】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１９５】［実施例４３：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｉｎ
2Ｏ3・Ａｌ2Ｏ3］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＩｎ2
Ｏ3粉末を５重量％、そして平均一次粒子径が０．１μ
ｍのＡｌ2Ｏ3を０．６重量％添加して原料粉末とした。
この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2ボー
ルを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。また
混合を行う際、バインダーとしてポリビニルアルコール
を１重量％添加した。その後、スラリーを取り出して、
乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ト
ン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚さ８ｍｍ
の円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気
中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３
００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３００℃に
て５時間の保持を行った。
2Ｏ3・Ａｌ2Ｏ3］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＩｎ2
Ｏ3粉末を５重量％、そして平均一次粒子径が０．１μ
ｍのＡｌ2Ｏ3を０．６重量％添加して原料粉末とした。
この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2ボー
ルを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。また
混合を行う際、バインダーとしてポリビニルアルコール
を１重量％添加した。その後、スラリーを取り出して、
乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ト
ン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚さ８ｍｍ
の円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気
中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３
００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３００℃に
て５時間の保持を行った。
【０１９６】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１９７】［実施例４４：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｉｎ
2Ｏ3・ＳｉＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＩｎ2
Ｏ3粉末を５重量％、そして平均一次粒子径が０．１μ
ｍのＳｉＯ2を０．６重量％添加して原料粉末とした。
この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2ボー
ルを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。また
混合を行う際、バインダーとしてポリビニルアルコール
を１重量％添加した。その後、スラリーを取り出して、
乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ト
ン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚さ８ｍｍ
の円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気
中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３
００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３００℃に
て５時間の保持を行った。
2Ｏ3・ＳｉＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＩｎ2
Ｏ3粉末を５重量％、そして平均一次粒子径が０．１μ
ｍのＳｉＯ2を０．６重量％添加して原料粉末とした。
この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2ボー
ルを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。また
混合を行う際、バインダーとしてポリビニルアルコール
を１重量％添加した。その後、スラリーを取り出して、
乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ト
ン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚さ８ｍｍ
の円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気
中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３
００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３００℃に
て５時間の保持を行った。
【０１９８】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０１９９】［実施例４５：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｉｎ
2Ｏ3・ＴｉＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＩｎ2
Ｏ3粉末を５重量％、そして平均一次粒子径が０．１μ
ｍのＴｉＯ2を１．０重量％添加して原料粉末とした。
この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2ボー
ルを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。また
混合を行う際、バインダーとしてポリビニルアルコール
を１重量％添加した。その後、スラリーを取り出して、
乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ト
ン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚さ８ｍｍ
の円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気
中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３
００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３００℃に
て５時間の保持を行った。
2Ｏ3・ＴｉＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＩｎ2
Ｏ3粉末を５重量％、そして平均一次粒子径が０．１μ
ｍのＴｉＯ2を１．０重量％添加して原料粉末とした。
この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2ボー
ルを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。また
混合を行う際、バインダーとしてポリビニルアルコール
を１重量％添加した。その後、スラリーを取り出して、
乾燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３ト
ン／ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ厚さ８ｍｍ
の円盤状の成形体を得た。さらに得られた成形体を大気
中にて８００℃まで１℃／分にて昇温し、８００〜１３
００℃まで３℃／分にて昇温した。その後１３００℃に
て５時間の保持を行った。
【０２００】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０２０１】［実施例４６：大気中焼結、ＺｎＯ・Ｉｎ
2Ｏ3・ＳｎＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＩｎ2
Ｏ3粉末を５重量％、そして平均一次粒子径が０．１μ
ｍのＳｎＯ2を１．８重量％添加して原料粉末とした。
この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2ボー
ルを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。混合
を行う際に、バインダーとしてポリビニルアルコールを
１重量％添加した。その後、スラリーを取り出して、乾
燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３トン
・ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍ
の円盤状の成形体を得た。さらに、得られた成形体を大
気中にて８００℃まで１℃／分にして昇温し、８００〜
１３００℃まで３℃／分にて昇温した。その後、１３０
０℃にて５時間の保持を行った。
2Ｏ3・ＳｎＯ2］平均一次粒子径０．１μｍからなるＺ
ｎＯ粉末中に平均一次粒子径０．１μｍからなるＩｎ2
Ｏ3粉末を５重量％、そして平均一次粒子径が０．１μ
ｍのＳｎＯ2を１．８重量％添加して原料粉末とした。
この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質ＺｒＯ2ボー
ルを用いて湿式ボールミル混合を１８時間行った。混合
を行う際に、バインダーとしてポリビニルアルコールを
１重量％添加した。その後、スラリーを取り出して、乾
燥し造粒した後、造粒粉を冷間静水圧プレスにて３トン
・ｃｍ2の圧力で成形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍ
の円盤状の成形体を得た。さらに、得られた成形体を大
気中にて８００℃まで１℃／分にして昇温し、８００〜
１３００℃まで３℃／分にて昇温した。その後、１３０
０℃にて５時間の保持を行った。
【０２０２】得られた焼結体について実施例１と同様の
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
測定および試験を行ったところ、実施例１〜４と同様な
結果を得た。
【０２０３】［比較例１］平均一次粒子径が０．１μｍ
のＺｎＯ粉末中に、平均一次粒子径が２μｍのＢ2Ｏ3粉
末を３重量％添加して原料粉末とした。
のＺｎＯ粉末中に、平均一次粒子径が２μｍのＢ2Ｏ3粉
末を３重量％添加して原料粉末とした。
【０２０４】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールにより湿式ボールミル混合を１８時間行
った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビニ
ルアルコールを１重量％添加し、同時に混合を行った。
その後、スラリーを取り出して、乾燥造粒した後、造粒
物を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2の圧力で成
形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状の成形体を
得た。さらに得られた成形体を大気中にて８００℃まで
は１℃／分の速度にて昇温し、８００〜１１００℃の温
度範囲では０．５℃／分の速度にて昇温した。その後、
１１００℃にて５時間の保持を行った。得られた焼結体
について実施例１と同様の測定および試験を行った。そ
の結果を表１に示す。
ＺｒＯ2ボールにより湿式ボールミル混合を１８時間行
った。なお、混合を行う際、バインダーとしてポリビニ
ルアルコールを１重量％添加し、同時に混合を行った。
その後、スラリーを取り出して、乾燥造粒した後、造粒
物を冷間静水圧プレスにて３ｔｏｎ／ｃｍ2の圧力で成
形し、直径１００ｍｍ、厚さ８ｍｍの円盤状の成形体を
得た。さらに得られた成形体を大気中にて８００℃まで
は１℃／分の速度にて昇温し、８００〜１１００℃の温
度範囲では０．５℃／分の速度にて昇温した。その後、
１１００℃にて５時間の保持を行った。得られた焼結体
について実施例１と同様の測定および試験を行った。そ
の結果を表１に示す。
【０２０５】［比較例２］平均一次粒子径が０．１μｍ
のＺｎＯ粉末中に、平均一次粒子径が２μｍのＢ2Ｏ3粉
末を３重量％添加して原料粉末とした。
のＺｎＯ粉末中に、平均一次粒子径が２μｍのＢ2Ｏ3粉
末を３重量％添加して原料粉末とした。
【０２０６】この原料粉末を樹脂製ポットに入れ、硬質
ＺｒＯ2ボールにより乾式ボールミル混合を５時間行っ
た。その後、原料粉末を取り出して、真空中、１１００
℃の温度で、１００ｍｍ径のホツトプレスにて４００ｋ
ｇ／ｃｍ2の圧力を加えつつ、１時間焼結した。得られ
た焼結体について実施例１と同様の測定および試験を行
った。その結果を表１に示す。
ＺｒＯ2ボールにより乾式ボールミル混合を５時間行っ
た。その後、原料粉末を取り出して、真空中、１１００
℃の温度で、１００ｍｍ径のホツトプレスにて４００ｋ
ｇ／ｃｍ2の圧力を加えつつ、１時間焼結した。得られ
た焼結体について実施例１と同様の測定および試験を行
った。その結果を表１に示す。
【０２０７】
【表１】
Claims (11)
- 【請求項１】 ＺｎＯ粉末とＢ2Ｏ3粉末を所望の組成に
配合し、１３００℃以下の温度で仮焼して得た平均一次
粒子径が５μｍ以下の複合化粉末を原料粉末の少なくと
も一部として焼結を行うことを特徴とするＺｎＯ系焼結
体の製造方法。 - 【請求項２】 Ｇａ、Ｉｎ、Ａｌ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｔｉお
よびＳｎからなる群から選ばれた１種類以上の元素を含
有するＺｎＯ系焼結体の製造方法において、ＺｎＯ粉末
と前記１種類以上の元素の酸化物粉末とを所望の組成に
配合し、平均一次粒子径を３μｍ以下として、原料粉末
として焼結することを特徴とするＺｎＯ系焼結体の製造
方法。 - 【請求項３】 Ｇａ、Ｉｎ、Ａｌ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｔｉお
よびＳｎからなる群から選ばれた１種類以上の元素およ
び硼素を含有するＺｎＯ系焼結体の製造方法において、
ＺｎＯ、Ｇａ2Ｏ3、Ｉｎ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3、ＧｅＯ2、Ｓ
ｉＯ2、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2からなる群より選ばれた１種
類以上の粉末とＢ2Ｏ3粉末を所望の組成に配合し、１３
００℃以下の温度で仮焼して得た平均一次粒子径が５μ
ｍ以下の複合化粉末を、ＺｎＯ、Ｇａ2Ｏ3、Ｉｎ2Ｏ3、
Ａｌ2Ｏ3、ＧｅＯ2、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2からな
る群より選ばれた１種類以上の粉末と所望の組成に配合
して、原料粉末として焼結することを特徴とするＺｎＯ
系焼結体の製造方法。 - 【請求項４】 ５００〜１０００℃の温度で仮焼する請
求項１〜３のいずれかに記載のＺｎＯ系焼結体の製造方
法。 - 【請求項５】 次の各工程からなるＺｎＯ系焼結体用複
合化粉末の製造方法。 イ）亜鉛化合物および／または金属亜鉛と硼素化合物と
を溶解して水溶液とする工程、 ロ）前記水溶液中へ沈殿剤を投入して中和を行う工程、 ハ）中和後の該水溶液から固液分離により沈殿物を得る
工程、 ニ）前記沈殿物を濾過し、水洗し、粉砕し、乾燥して、
ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3水酸化物を得る工程、 ホ）得られたＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3水酸化物を１３００℃以下
の温度で仮焼して、平均一次粒子径が５μｍ以下の複合
化粉末を得る工程。 - 【請求項６】 次の各工程からなるＺｎＯ系焼結体用複
合化粉末の製造方法。 イ）亜鉛化合物および／または金属亜鉛と、硼素化合
物、ガリウム化合物、インジウム化合物、アルミニウム
化合物、ゲルマニウム化合物、珪素化合物、チタン化合
物および錫化合物からなる群から選ばれた１種類以上と
を溶解して水溶液とする工程、 ロ）前記水溶液中へ沈殿剤を投入して中和を行う工程、 ハ）中和後の該水溶液から固液分離により沈殿物を得る
工程、 ニ）前記沈殿物を濾過し、水洗し、粉砕し、乾燥して、
複合水酸化物を得る工程、 ホ）得られた複合水酸化物を１３００℃以下の温度で仮
焼して、平均一次粒子径が５μｍ以下の複合化粉末を得
る工程。 - 【請求項７】 請求項５または６において複合化した原
料粉末を、さらに平均粒径が１μｍ以下からなるＺｎ
Ｏ、Ｇａ2Ｏ3、Ｉｎ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3、ＧｅＯ2、Ｓｉ
Ｏ2、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2のうち１種類以上からなる粉末
中に所望の組成となるよう配合し、混合を行った後、原
料粉末として用いることを特徴とするＺｎＯ系焼結体の
製造方法。 - 【請求項８】 ＺｎＯ粉末とＢ2Ｏ3粉末を仮焼して得た
複合化粉末、あるいは共沈法によって作製したＺｎＯ−
Ｂ2Ｏ3の水酸化物を仮焼して得た複合化粉末から主とし
て成る原料を成形した成形体を酸素含有雰囲気あるいは
無酸素雰囲気で焼結することを特徴とするＺｎＯ系焼結
体の製造方法。 - 【請求項９】 ＺｎＯ粉末とＢ2Ｏ3粉末を仮焼して得た
複合化粉末、あるいは共沈法によって作製したＺｎＯ−
Ｂ2Ｏ3の水酸化物を仮焼して得た複合化粉末から主とし
て成る原料を成形した成形体を焼結した後、酸素含有雰
囲気あるいは無酸素雰囲気で一定温度に保持することを
特徴とするＺｎＯ系焼結体の製造方法。 - 【請求項１０】 ２〜２０リットル／分の酸素を導入す
る請求項８または９に記載のＺｎＯ系焼結体の製造方
法。 - 【請求項１１】 ２〜２０リットル／分の還元ガスまた
は不活性ガスを導入する請求項８または９に記載のＺｎ
Ｏ系焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10110362A JPH11302835A (ja) | 1998-04-21 | 1998-04-21 | ＺｎＯ系焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10110362A JPH11302835A (ja) | 1998-04-21 | 1998-04-21 | ＺｎＯ系焼結体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11302835A true JPH11302835A (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=14533873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10110362A Pending JPH11302835A (ja) | 1998-04-21 | 1998-04-21 | ＺｎＯ系焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11302835A (ja) |
Cited By (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2006117462A (ja) * | 2004-10-20 | 2006-05-11 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ＺｎＯ焼結体およびその製造方法 |
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| JP2007056352A (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-08 | Hakusui Tech Co Ltd | 酸化亜鉛系導電膜製造用のイオンプレーティング用ターゲットとその製法、および酸化亜鉛系導電膜の製法 |
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