JP5369444B2 - Gzo焼結体の製造方法 - Google Patents
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酸化亜鉛粉末に、酸化ガリウム粉末および酸化マグネシウム粉末を添加して、GZOスパッタリングターゲットを製造する場合に、重要な点として、酸化ガリウム粉末および酸化マグネシウム粉末を用いて湿式混合をする際の分散状態の制御が挙げられる。酸化マグネシウムは、前述のように水に溶け、水酸化マグネシウムに変化したり、また、空気中の炭酸と水分を吸収する性質などを有し、湿式混合をする時に問題が発生する。
原料粉末としては、平均粒径が2μm以下の酸化亜鉛粉末、酸化ガリウム粉末、および、酸化マグネシウム粉末が好ましい。平均粒径が2μmを超えると、相対密度80%以上のGZOスパッタリングターゲットが得がたくなる。従って、いずれの原料粉末も、平均粒径が2μm以下であることが好ましい。
混合は、湿式または乾式によるボールミル、振動ミル等を用いることができるが、均一微細な結晶粒で空孔が小さいGZOスパッタリングターゲットを得るには、凝集体の解砕効率が高く、添加物の分散状態も良好となる湿式ボールミル混合法が、最も好ましい。
急速乾燥造粒するための装置としては、スプレードライヤーが広く用いられている。他の方式でも、スプレードライヤーと同程度の乾燥速度が得られれば、支障はない。
得られたスラリーは、急速乾燥造粒の後、金型または冷間プレス、冷間静水圧プレスにて、98MPa(1ton/cm2)以上の圧力で成形を行う。
本発明において、焼結方法には、ホットプレス、酸素加圧、または、熱間静水圧等の焼結方法を用いることができるが、焼結方法には、常圧焼結法を用いることが好ましい。その理由としては、常圧焼結法には、製造コストが低減できるという利点、大量生産が可能であるという利点、容易に大型のGZO焼結体を製造しやすいという利点などがある。
平均粒径が0.8μmの酸化亜鉛(ZnO)粉末中に、平均粒径が1.0μmの酸化ガリウム(Ga2O3)粉末を、Ga2O3組成が7質量%となるように配合し、バインダーとして1.5質量%のポリビニルアルコールと、1.5質量%のアクリル酸系分散剤を添加した後、樹脂製ポットに入れ、硬質ZrO2ボールを用いて、湿式ボールミル混合を22時間、行った。次に、平均粒径が1.8μmの酸化マグネシウム(MgO)粉末を、MgO組成が7.5質量%となるように配合し、さらに2時間、湿式ボールミル混合を行った。
Ga2O3粉末の添加量を3質量%とし、MgO粉末の添加量を15質量%とした以外は、実施例1と同様に、本実施例のGZOスパッタリングターゲットを得た後、スパッタリングを行った。測定結果を表1に示す。
MgO粉末の添加量を5質量%とした以外は、実施例1と同様に、本実施例のGZOスパッタリングターゲットを得た後、スパッタリングを行った。測定結果を表1に示す。
MgO粉末を添加した後の湿式ボールミル混合を1時間とした以外は、実施例1と同様に、本実施例のGZOスパッタリングターゲットを得た後、スパッタリングを行った。測定結果を表1に示す。
MgO粉末を添加した後の湿式ボールミル混合を10時間とした以外は、実施例1と同様に、本実施例のGZOスパッタリングターゲットを得た後、スパッタリングを行った。測定結果を表1に示す。
MgO粉末を添加した後の湿式ボールミル混合を0.5時間とした以外は、実施例1と同様に、本比較例のGZOスパッタリングターゲットを得た後、スパッタリングを行った。測定結果を表1に示す。
MgO粉末を添加した後の湿式ボールミル混合を18時間とした以外は、実施例1と同様に混合したところ、スラリーの粘度が上昇し、造粒することができなかった。
MgO粉末の添加量を15質量%とし、MgO粉末を添加した後の湿式ボールミル混合を0.5時間とした以外は、実施例1と同様に、本比較例のGZOスパッタリングターゲットを得た後、スパッタリングを行った。測定結果を表1に示す。
MgO粉末の添加量を16質量%とした以外は、実施例1と同様に、本比較例のGZOスパッタリングターゲットを得た後、スパッタリングを行った。測定結果を表1に示す。
分散剤をアンモニウム塩とした以外は、実施例1と同様に湿式混合をしたところ、MgOと分散剤が反応することにより、刺激臭が発生し、造粒することができなかった。
Claims (3)
- 酸化亜鉛、酸化ガリウムおよび酸化マグネシウムの質量の合計に対して、酸化マグネシウムが5〜15質量%、酸化ガリウムが1〜10質量%となるように、
平均粒径が2μm以下の酸化亜鉛粉末と、平均粒径が2μm以下の酸化ガリウム粉末とを、12時間以上72時間以下、湿式法により混合し、該混合物に、平均粒径が2μm以下の酸化マグネシウム粉末を添加し、1時間以上10時間以下、湿式法により混合を行ってスラリーを得て、該スラリーを急速乾燥造粒して造粒粉を得て、該造粒粉を成形し、750℃〜1550℃の温度範囲の昇温速度を0.5〜5℃/minとするとともに、焼結温度を1300℃以上1550℃以下として焼成することにより焼結体を得るGZO焼結体の製造方法。 - 前記酸化マグネシウム粉末の添加後の混合において、前記スラリーのスラリー濃度を20%以上40%未満とする請求項1に記載のGZO焼結体の製造方法。
- 前記酸化マグネシウム粉末の添加前後における混合において、添加される分散剤として、アンモニウム塩を含まない分散剤を使用する請求項1に記載のGZO焼結体の製造方法。
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