JPH11258771A - 露光データ作成方法、露光データ作成装置、及び、記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ショット数を少なくして露光時間の短縮を図る
ことのできる露光データ作成方法を提供すること。 【解決手段】設計パターンが表現不可形状である場合
に、その表現不可形状を表現可能形状に補正可能か否か
を判定する。その判定結果に基づいて、補正可能と判定
した場合に表現不可形状を表現可能形状に補正した後、
その表現可能形状を分割ブロックパターンの形状に補正
可能か否かを判定する。その判定結果に基づいて、補正
可能と判定した場合に表現可能形状を分割ブロックパタ
ーンの形状に補正する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路の
設計パターンを露光媒体に対して露光するために用いら
れる露光データを作成する露光データ作成方法、露光デ
ータ作成装置、及び、記録媒体に関するものである。

【０００２】近年の半導体集積回路（ＬＳＩ）において
は、大規模化及び高集積化が進められ、そのＬＳＩのパ
ターンを露光する際のショット数、即ちＬＳＩを作成す
るために必要な露光データのデータ量も増大している。
ショット数の増加は露光時間の長時間化、ひいてはＬＳ
Ｉの製造時間の長時間化を招くことから、ショット数を
低減して露光時間を短くすることが要求されている。

【０００３】

【従来の技術】図４３は、電子ビーム（ＥＢ）露光装置
の概略構成図である。ＥＢ露光装置は、プレート１１及
びステンシルマスク（又はブロックマスクという）１２
を備えている。プレート１１には、所定面積の矩形形状
の開口１３が形成されている。図４４に示すように、ス
テンシルマスク１２には、複数の第１透過孔１４と複数
のブロック領域１５が形成されている。第１透過孔１４
は、所定面積の矩形形状に形成されている。

【０００４】ブロック領域１５には、第２透過孔１６又
は第３透過孔１７が形成されている。第２透過孔１６の
形状は、ＬＳＩのレイアウトパターンデータから共通部
分を抽出した「繰り返しパターン」の形状に形成されて
いる。繰り返しパターンには、複数種類のパターンが含
まれる。この第２透過孔１６が形成されたブロック領域
を「繰り返しブロック」という。

【０００５】第３透過孔１７の形状は、斜辺を含む「分
割パターン」の形状に形成されている。分割パターン
は、ＬＳＩのレイアウトパターンデータから斜辺を含む
レイアウトパターンを、ブロック領域１４の大きさに対
応して斜辺を含むように分割したパターンである。この
第３透過孔１７が形成されたブロック領域を「分割ブロ
ック」という。

【０００６】露光装置は、図４３の第１，第２電磁偏向
器１９，２０を制御し、プレート１１により成形したビ
ームとステンシルマスク１２の第１〜第３透過孔１４〜
１６との重なり具合を変え、各透過孔を透過するビーム
の断面形状、即ち露光パターンを制御する。そして、露
光装置は、第３電磁偏向器２１を制御して透過ビームを
偏向させると共に、ステージ２２をＸ，Ｙ軸方向に移動
させ、該ステージ２２上に載置された露光媒体としての
ウェハ２３に所望のパターンを露光する。

【０００７】露光装置は、第１透過孔１４を透過したビ
ームにより、矩形形状のパターンを露光する。また、露
光装置は、プレート１１により成形したビームと第１透
過孔１４の重なり具合を変えることにより、ウェハ２３
上に露光される矩形パターンの大きさを制御する。これ
により、露光装置は、可変矩形方式による露光方法を提
供する。

【０００８】露光装置は、第２透過孔１５を透過したビ
ームにより、複数種類のパターンをを含む繰り返しパタ
ーンを一度のショットにて露光する。また、露光装置
は、第３電磁偏向器２１，ステージ２２を制御し、第２
透過孔１５を透過したビームにより同一形状の繰り返し
パターンを複数露光する。これにより、露光装置は、
「繰り返しブロック」を用いたブロック露光による露光
方法を提供する。このブロック露光は、ショット数を少
なくして露光時間を短縮する。

【０００９】又、露光装置は、第３透過孔１６を透過し
たビームにより、斜辺を含む分割パターンを一度のショ
ットにて露光する。露光装置は、分割パターンを組み合
わせることにより、所望の形状のパターンを露光する。
これにより、露光装置は、「分割ブロック」を用いたブ
ロック露光による露光方法を提供する。

【００１０】一般に、図４５上段に示すように、斜辺を
有するパターン２４を図４３のウェハ２３に露光する場
合、可変矩形露光を行う露光装置はパターン２４をショ
ット分割し、図４５左下に示すごとく複数の矩形パター
ン２５を露光する。即ち、この露光装置は、１つのパタ
ーン２４を複数の矩形パターン２５に分割して露光す
る。このことは、ショット数を増加させ、露光時間の長
時間化を招く。また、矩形パターン２５によるショット
分割は、基のパターン２４の斜辺が階段状に露光され
る。この斜辺の段差を小さくするためには矩形パターン
２５の幅を狭くする必要があるが、これにより基のパタ
ーン２４を矩形パターン２５に分割する分割数が多くな
るため、ショット数を更に増加させる。

【００１１】そこで、図４５右下に示すように、基のパ
ターン２４に含まれる斜辺と同じ傾きの斜辺を有する直
角三角形状の第３透過孔１７ａを図４４のステンシルマ
スク１２に形成する。露光装置は、この第３透過孔１７
ａの形状に基づいて、基のパターン２４を三角形のパタ
ーン２６ａ，２６ｂと矩形のパターン２７ａ，２７ｂに
ショット分割する。このときの分割数は、左側の矩形パ
ターン２５のみによるショット分割の分割数に比べて少
ない。即ち、ショット数が少ない。

【００１２】露光装置は、第３透過孔１７ａを透過した
ビームにより三角形状のパターン２６ａを、図４３のプ
レート１１を透過したビームと第３透過孔１７ａの重な
り具合を変え、小さな三角形状のパターン２６ｂを露光
する。また、露光装置は、プレート１１を透過したビー
ムと図４４の第１透過孔１４の重なり具合を変え、矩形
状のパターン２７ａ，２７ｂを露光する。これにより、
基のパターン２４に含まれる斜辺が第３透過孔１７ａの
斜辺にて露光されるため、斜辺の精度が良くなる。

【００１３】ＬＳＩの露光データは、図示しない露光デ
ータ作成装置により作成され、上記の露光装置に供給さ
れる。露光データ作成装置は、ＬＳＩのレイアウトパタ
ーンの形状が表現可能形状か表現不可形状かを判断す
る。表現可能形状は露光装置にて露光可能な形状であ
り、表現不可形状は露光装置にて露光不可能な形状であ
る。

【００１４】露光装置は、表現可能形状のレイアウトデ
ータに対応する露光データを上記の繰り返しパターン，
分割パターンをそのまま、又は分割パターン，矩形パタ
ーンによりショット分割して露光する。このレイアウト
データの表現可能形状は水平，垂直な辺を含む図形であ
り、例えば図４６に示すように、矩形、直角三角形、平
行四辺形、台形等のパターン２９ａ〜２９ｎを含む。ま
た、分割ブロックに搭載される第３透過孔１７の形状も
表現可能形状である。従って、水平，垂直な辺を含まな
い任意図形は表現不可形状である。

【００１５】表現不可形状は露光装置にて露光不可能で
あるため、露光データ作成装置は、表現不可形状のパタ
ーンデータを露光装置における表現可能形状にショット
分割して露光データを作成する。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、レイア
ウトデータから露光データを作成する際に、誤差が含ま
れる場合がある。即ち、露光データ作成装置は、ＬＳＩ
のレイアウトデータを基に、サイジングやシュリンク等
の図形処理，露光装置が扱うデータのグリッド（座標
値）にレイアウトデータの座標値を合わせる丸め処理等
を施して露光データを作成する。これらの処理により作
成される露光データは、基のレイアウトデータに対して
誤差を含む場合がある。この露光データに含まれる誤差
により表現可能形状であったレイアウトデータの座標値
がずれることにより、レイアウトデータの形状が分割ブ
ロックを利用することができない表現不可形状となる。
特に、４５度の倍角ではない斜辺含むレイアウトパター
ンの場合、そのレイアウトパターンに基づく第３透過孔
１６をステンシルマスク１２に形成しておいても、僅か
な誤差により斜辺の傾きが変化してしまい、表現不可形
状となる。

【００１７】上記により、第３透過孔１７を利用する事
ができなくなる。すると、露光データ作成装置は、表現
不可形状のレイアウトデータに基づく露光データに対し
て、矩形パターンを用いたショット分割処理を実施し、
矩形パターンによる露光データを作成する。これによ
り、露光装置におけるショット数が増加し、１枚のウェ
ハに対する露光時間が長くなる。

【００１８】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであって、その目的はショット数を少なくして
露光時間の短縮を図ることのできる露光データ作成方
法、露光データ作成装置、及び、記録媒体を提供するこ
とにある。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明は、露光媒体に半導体集積回
路を作成するための設計パターンを予め形状が設定され
た分割ブロックパターンを搭載したマスクを用いて露光
するブロック露光のための露光データを作成する露光デ
ータ作成方法であって、前記設計パターンが露光データ
を作成する際にパターンを短冊状の複数の矩形パターン
に分割するショット分割を必要とする表現不可形状であ
る場合に、その表現不可形状を前記ショット分割が不要
な表現可能形状に補正可能か否かを判定する第１判定ス
テップと、前記第１判定ステップにおける判定結果に基
づいて、補正可能と判定された場合に前記表現不可形状
を表現可能形状に補正する第１補正ステップと、前記補
正された表現可能形状を分割ブロックパターンの形状に
補正可能か否かを判定する第２判定ステップと、前記第
２判定ステップにおける判定結果に基づいて、補正可能
と判定された場合に前記表現可能形状を分割ブロックパ
ターンの形状に補正する第２補正ステップと、前記分割
ブロックパターンのデータに基づいて露光データを作成
する露光データ作成ステップとを含む。

【００２０】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の露光データ作成方法において、前記第１判定ステップ
は、前記表現不可形状と前記表現可能形状とを形状比較
し、前記表現不可形状を前記表現可能形状に変更するの
に必要とする変化量を計算するステップと、前記変化量
と予め設定された誤差範囲値を比較し、その比較結果に
基づいて前記表現不可形状を前記表現可能形状に補正可
能か否かを判定するステップとを含む。

【００２１】請求項３に記載の発明は、請求項１又は２
に記載の露光データ作成方法において、前記第２判定ス
テップは、前記分割ブロックパターンの形状の大きさを
前記表現可能形状の大きさに対応させ、その対応する大
きさの形状と前記表現可能形状とを比較し、前記表現可
能形状と前記分割ブロックパターンの形状の間の相違値
を計算するステップと、前記相違値と予め設定された誤
差範囲値を比較し、その比較結果に基づいて前記表現可
能形状を前記分割ブロックパターンの形状に補正可能か
否かを判定するステップとを含む。

【００２２】請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３
のうちの何れか１項に記載の露光データ作成方法におい
て、前記設計パターンの形状は三角形形状であり、前記
第１判定ステップにおいて、前記三角形形状の設計パタ
ーンを直角三角形の表現可能形状に補正可能か否かを判
定し、前記第２判定ステップにおいて、前記直角三角形
の表現可能形状を、直角三角形の分割ブロックパターン
の形状に補正可能か否かを判定するようにした。

【００２３】請求項５に記載の発明は、請求項１乃至３
のうちの何れか１項に記載の露光データ作成方法におい
て、前記設計パターンの形状は四角形形状であり、前記
第１判定ステップにおいて、前記四角形形状の設計パタ
ーンを平行四辺形の表現可能形状に補正可能か否かを判
定し、前記第２判定ステップにおいて、前記平行四辺形
の表現可能形状を、平行四辺形の分割ブロックパターン
の形状に補正可能か否かを判定するようにした。

【００２４】請求項６に記載の発明は、請求項１乃至３
のうちの何れか１項に記載の露光データ作成方法におい
て、前記設計パターンの形状は四角形形状であり、前記
第１判定ステップにおいて、前記四角形形状の設計パタ
ーンを平行四辺形の表現可能形状に補正可能か否かを判
定し、前記第２判定ステップにおいて、前記平行四辺形
の表現可能形状を、直角三角形の分割ブロックパターン
の形状に補正可能か否かを判定するようにした。

【００２５】請求項７に記載の発明は、請求項１乃至３
のうちの何れか１項に記載の露光データ作成方法におい
て、前記設計パターンの形状は四角形形状であり、前記
第１判定ステップにおいて、前記四角形形状の設計パタ
ーンを台形の表現可能形状に補正可能か否かを判定し、
前記第２判定ステップにおいて、前記台形の表現可能形
状を、直角三角形の分割ブロックパターンの形状に補正
可能か否かを判定するようにした。

【００２６】請求項８に記載の発明は、請求項１乃至７
のうちの何れか１項に記載の露光データ作成方法におい
て、前記第２補正ステップは、前記表現可能形状を前記
第２判定ステップにおいて前記表現可能形状の大きさに
前記分割ブロックパターンの大きさを対応させた形状に
変更し、その変更後の形状を前記分割ブロックパターン
を用いて露光するための分割パターンデータを作成する
ようにした。

【００２７】請求項９に記載の発明は、請求項１乃至８
のうちの何れか１項に記載の露光データ作成方法におい
て、前記第２判定ステップの判定結果に基づいて、補正
不可能と判定された場合に、前記表現可能形状を前記分
割ブロックパターンの形状の大きさに縮小した縮小パタ
ーンを作成し、その縮小パターンが前記分割ブロックパ
ターンの形状に補正可能か否かを判定し、その判定結果
に基づいて、補正可能と判定された場合に、前記表現可
能形状を前記分割ブロックパターンの形状で分割した分
割ブロックパターンデータを作成するステップを含む。

【００２８】請求項１０に記載の発明は、請求項１乃至
８のうちの何れか１項に記載の露光データ作成方法にお
いて、前記第２判定ステップの判定結果に基づいて、補
正不可能と判定された場合に、前記表現可能形状と前記
分割ブロックパターンの形状の相違値が前記誤差範囲値
以内となる分割用の縮小パターンを作成し、その縮小パ
ターンにより前記表現可能形状を分割した分割ブロック
パターンデータを作成するステップを含む。

【００２９】請求項１１に記載の発明は、露光媒体に半
導体集積回路を作成するための設計パターンを予め形状
が設定された分割ブロックパターンを搭載したマスクを
用いて露光するブロック露光のための露光データを作成
する露光データ作成装置であって、前記設計パターンが
露光データを作成する際にパターンを短冊状の複数の矩
形パターンに分割するショット分割を必要とする表現不
可形状である場合に、その表現不可形状を前記ショット
分割が不要な表現可能形状に補正可能か否かを判定する
第１判定手段と、前記第１判定手段における判定結果に
基づいて、補正可能と判定された場合に前記表現不可形
状を表現可能形状に補正する第１補正手段と、前記補正
された表現可能形状を分割ブロックパターンの形状に補
正可能か否かを判定する第２判定手段と、前記第２判定
手段における判定結果に基づいて、補正可能と判定され
た場合に前記表現可能形状を分割ブロックパターンの形
状に補正する第２補正手段と、前記分割ブロックパター
ンのデータに基づいて露光データを作成する露光データ
作成手段とを備えた。

【００３０】請求項１２に記載の発明は、請求項１１に
記載の露光データ作成装置において、前記第１判定手段
は、前記表現不可形状と前記表現可能形状とを形状比較
し、前記表現不可形状を前記表現可能形状に変更するの
に必要とする変化量を計算する手段と、前記変化量と予
め設定された誤差範囲値を比較し、その比較結果に基づ
いて前記表現不可形状を前記表現可能形状に補正可能か
否かを判定する手段とを備えた。

【００３１】請求項１３に記載の発明は、請求項１１又
は１２に記載の露光データ作成装置において、前記第２
判定手段は、前記分割ブロックパターンの形状の大きさ
を前記表現可能形状の大きさに対応させ、その対応する
大きさの形状と前記表現可能形状とを比較し、前記表現
可能形状と前記分割ブロックパターンの形状の間の相違
値を計算する手段と、前記相違値と予め設定された誤差
範囲値を比較し、その比較結果に基づいて前記表現可能
形状を前記分割ブロックパターンの形状に補正可能か否
かを判定する手段とを備えた。

【００３２】請求項１４に記載の発明は、請求項１１乃
至１３のうちの何れか１項に記載の露光データ作成装置
において、前記第２補正手段は、前記表現可能形状を前
記第２判定ステップにおいて前記表現可能形状の大きさ
に前記分割ブロックパターンの大きさを対応させた形状
に変更し、その変更後の形状を前記分割ブロックパター
ンを用いて露光するための分割パターンデータを作成す
るようにした。

【００３３】請求項１５に記載の発明は、請求項１１乃
至１４のうちの何れか１項に記載の露光データ作成装置
において、前記第２判定手段の判定結果に基づいて、補
正不可能と判定された場合に、前記表現可能形状を前記
分割ブロックパターンの形状の大きさに縮小した縮小パ
ターンを作成し、その縮小パターンが前記分割ブロック
パターンの形状に補正可能か否かを判定し、その判定結
果に基づいて、補正可能と判定された場合に、前記表現
可能形状を前記分割ブロックパターンの形状で分割した
分割ブロックパターンデータを作成する手段を備えた。

【００３４】請求項１６に記載の発明は、請求項１１乃
至１４のうちの何れか１項に記載の露光データ作成装置
において、前記第２判定手段の判定結果に基づいて、補
正不可能と判定された場合に、前記表現可能形状と前記
分割ブロックパターンの形状の相違値が前記誤差範囲値
以内となる分割用の縮小パターンを作成し、その縮小パ
ターンにより前記表現可能形状を分割した分割ブロック
パターンデータを作成する手段を備えた。

【００３５】請求項１７に記載の発明は、記録媒体に
は、請求項１乃至１０のうちのいずれか１項に記載のス
テップよりなるプログラムを記録した。（作用）従っ
て、請求項１に記載の発明によれば、設計パターンが露
光データを作成する際にパターンを短冊状の複数の矩形
パターンに分割するショット分割を必要とする表現不可
形状である場合に、その表現不可形状をショット分割が
不要な表現可能形状に補正可能か否かが判定される。そ
の判定結果に基づいて、補正可能と判定された場合に表
現不可形状を表現可能形状に補正される。補正された表
現可能形状を分割ブロックパターンの形状に補正可能か
否かが判定され、その判定結果に基づいて、補正可能と
判定された場合に表現可能形状を分割ブロックパターン
の形状に補正される。これにより、露光データのデータ
量が少なくなる。

【００３６】請求項２に記載の発明によれば、表現不可
形状と表現可能形状とが形状比較され、表現不可形状を
表現可能形状に変更するのに必要とする変化量が計算さ
れる。その変化量と予め設定された誤差範囲値が比較さ
れ、その比較結果に基づいて表現不可形状を表現可能形
状に補正可能か否かが判定される。

【００３７】請求項３に記載の発明によれば、分割ブロ
ックパターンの形状の大きさを表現可能形状の大きさに
対応させ、その対応する大きさの形状と表現可能形状と
が比較され、表現可能形状と分割ブロックパターンの形
状の間の相違値が計算される。その相違値と予め設定さ
れた誤差範囲値が比較され、その比較結果に基づいて表
現可能形状を分割ブロックパターンの形状に補正可能か
否かが判定される。

【００３８】請求項４に記載の発明によれば、設計パタ
ーンの形状は三角形形状であり、第１判定ステップにお
いて、三角形形状の設計パターンを直角三角形の表現可
能形状に補正可能か否かが判定され、第２判定ステップ
において、直角三角形の表現可能形状を、直角三角形の
分割ブロックパターンの形状に補正可能か否かが判定さ
れる。

【００３９】請求項５に記載の発明によれば、設計パタ
ーンの形状は四角形形状であり、第１判定ステップにお
いて、四角形形状の設計パターンを平行四辺形の表現可
能形状に補正可能か否かが判定され、第２判定ステップ
において、平行四辺形の表現可能形状を、平行四辺形の
分割ブロックパターンの形状に補正可能か否かが判定さ
れる。

【００４０】請求項６に記載の発明によれば、設計パタ
ーンの形状は四角形形状であり、第１判定ステップにお
いて、四角形形状の設計パターンを平行四辺形の表現可
能形状に補正可能か否かが判定され、第２判定ステップ
において、平行四辺形の表現可能形状を、直角三角形の
分割ブロックパターンの形状に補正可能か否かが判定さ
れる。

【００４１】請求項７に記載の発明によれば、設計パタ
ーンの形状は四角形形状であり、第１判定ステップにお
いて、四角形形状の設計パターンを台形の表現可能形状
に補正可能か否かが判定され、第２判定ステップにおい
て、台形の表現可能形状を、直角三角形の分割ブロック
パターンの形状に補正可能か否かが判定される。

【００４２】請求項８に記載の発明によれば、第２補正
ステップにおいて、表現可能形状を、その表現可能形状
の大きさに分割ブロックパターンの大きさを対応させた
形状に変更され、その変更後の形状を分割ブロックパタ
ーンを用いて露光するための分割パターンデータが作成
される。

【００４３】請求項９に記載の発明によれば、第２判定
ステップの判定結果に基づいて、補正不可能と判定され
た場合に、表現可能形状を分割ブロックパターンの形状
の大きさに縮小した縮小パターンが作成され、その縮小
パターンが分割ブロックパターンの形状に補正可能か否
かが判定され、その判定結果に基づいて、補正可能と判
定された場合に、表現可能形状を分割ブロックパターン
の形状で分割した分割ブロックパターンデータが作成さ
れる。

【００４４】請求項１０に記載の発明によれば、第２判
定ステップの判定結果に基づいて、補正不可能と判定さ
れた場合に、表現可能形状と分割ブロックパターンの形
状の相違値が誤差範囲値以内となる分割用の縮小パター
ンが作成され、その縮小パターンにより表現可能形状を
分割した分割ブロックパターンデータが作成される。

【００４５】請求項１１に記載の発明によれば、第１判
定手段は、設計パターンが露光データを作成する際にパ
ターンを短冊状の複数の矩形パターンに分割するショッ
ト分割を必要とする表現不可形状である場合に、その表
現不可形状をショット分割が不要な表現可能形状に補正
可能か否かを判定する第１補正手段は、第１判定手段に
おける判定結果に基づいて、補正可能と判定された場合
に表現不可形状を表現可能形状に補正する。第２判定手
段は、補正された表現可能形状を分割ブロックパターン
の形状に補正可能か否かを判定する。そして、第２補正
手段は、第２判定手段における判定結果に基づいて、補
正可能と判定された場合に表現可能形状を分割ブロック
パターンの形状に補正する。これにより、露光データの
データ量が少なくなる。

【００４６】請求項１２に記載の発明によれば、第１判
定手段には、表現不可形状と表現可能形状とを形状比較
し、表現不可形状を表現可能形状に変更するのに必要と
する変化量を計算する手段と、変化量と予め設定された
誤差範囲値を比較し、その比較結果に基づいて表現不可
形状を表現可能形状に補正可能か否かを判定する手段と
が備えられる。

【００４７】請求項１３に記載の発明によれば、第２判
定手段には、分割ブロックパターンの形状の大きさを表
現可能形状の大きさに対応させ、その対応する大きさの
形状と表現可能形状とを比較し、表現可能形状と分割ブ
ロックパターンの形状の間の相違値を計算する手段と、
相違値と予め設定された誤差範囲値を比較し、その比較
結果に基づいて表現可能形状を分割ブロックパターンの
形状に補正可能か否かを判定する手段とが備えられる。

【００４８】請求項１４に記載の発明によれば、第２補
正手段は、表現可能形状を、第２判定ステップにおいて
表現可能形状の大きさに分割ブロックパターンの大きさ
を対応させた形状に変更し、その変更後の形状を分割ブ
ロックパターンを用いて露光するための分割パターンデ
ータを作成する。

【００４９】請求項１５に記載の発明によれば、第２判
定手段の判定結果に基づいて、補正不可能と判定された
場合に、表現可能形状を分割ブロックパターンの形状の
大きさに縮小した縮小パターンが作成され、その縮小パ
ターンが分割ブロックパターンの形状に補正可能か否か
が判定され、その判定結果に基づいて、補正可能と判定
された場合に、表現可能形状を分割ブロックパターンの
形状で分割した分割ブロックパターンデータが作成され
る。

【００５０】請求項１６に記載の発明によれば、第２判
定手段の判定結果に基づいて、補正不可能と判定された
場合に、表現可能形状と分割ブロックパターンの形状の
相違値が誤差範囲値以内となる分割用の縮小パターンが
作成され、その縮小パターンにより表現可能形状を分割
した分割ブロックパターンデータが作成される。

【００５１】請求項１７に記載の発明によれば、記録媒
体には、請求項１乃至９のうちのいずれか１項に記載の
ステップよりなるプログラムが記録され提供される。

【００５２】

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
の形態を図１〜図４２に従って説明する。図３は、露光
データ作成装置の概略構成図である。露光データ作成装
置３１は、中央演算処理装置（以下、ＣＰＵという）３
２、メモリ装置３３、ＭＴ装置３４、端末装置３５、デ
ィスク装置３６を備え、各装置３３〜３６はＣＰＵ３２
に接続されている。

【００５３】ディスク装置３６には、図１に示す露光デ
ータ作成処理のプログラムデータが予め記憶されてい
る。その露光データ作成処理のプログラムデータは、図
３の記録媒体としての磁気テープ（ＭＴ）３７に記録さ
れている。磁気テープ３７は、ＭＴ装置３４にセットさ
れ、ＣＰＵ３２はＭＴ装置３４により磁気テープ３７か
らプログラムデータを読み出し、ディスク装置３６に格
納する。そして、ＣＰＵ３２は、端末装置３５の操作に
基づいて起動され、図１，２の各ステップに従って露光
データ作成処理を実行する。

【００５４】図３のディスク装置３６には、図１に示す
第１データファイル４１が記憶されている。第１データ
ファイル４１には、例えば図示しないＣＡＤ装置により
回路設計及びレイアウト設計されたメモリ等の繰り返し
の多いパターンを含む半導体装置（ＬＳＩ）チップの設
計データが予め格納されている。図３のＣＰＵ３２は、
データフィル４１から設計データであるパターンデータ
を入力し、そのパターンデータに基づいて図１に示され
る露光データ作成処理を実行する。

【００５５】また、図３中のディスク装置３６には、図
１に示す第２〜第７データファイル４２〜４７が格納さ
れる。ＣＰＵ３２は、図１に示されるフローチャートの
ステップＳ１〜Ｓ８に従って露光データ作成処理を実行
し、その処理において作成した各データを第２〜第７デ
ータファイル４２〜４７に格納する。

【００５６】即ち、図１に示されるステップＳ１は処理
データ入力処理（処理データ入力手段）であって、図３
中のＣＰＵ３２は、データフィル４１からパターンデー
タを基データとして入力する。

【００５７】次に、図１に示されるステップＳ２におい
て、ＣＰＵ３２は、全てのパターンデータに対して、所
定の図形処理、例えば、ＯＲ処理、サイジング処理、リ
サイズ処理等のように、ＬＳＩの露光データを作成する
上で必要となる図形処理を施す。また、ＣＰＵ３２は、
５角形以上の多角形のレイアウトデータに対してパター
ン分割処理を施し、三角形のレイアウトデータと四角形
のレイアウトデータに分割する。そして、ＣＰＵ３２
は、処理後のレイアウトデータを中間データとしてディ
スク装置３６上の第２データファイル４２に格納する。
中間データの格納を終了すると、ＣＰＵ３２は、ステッ
プＳ２からステップＳ３に移る。

【００５８】次に、図１に示されるステップＳ３におい
て、ＣＰＵ３２は、第２データファイル４２から中間デ
ータを入力する。中間データの入力を終了すると、ＣＰ
Ｕ３２は、ステップＳ３からステップＳ４に移る。

【００５９】ステップＳ４は繰り返しデータ抽出処理
（繰り返しデータ抽出手段）であって、図３中のＣＰＵ
３２は、入力した中間データから繰り返し性のあるレイ
アウトパターンデータを認識及び抽出する。そして、Ｃ
ＰＵ３２は、抽出したレイアウトパターンデータを繰り
返しブロックデータとして図１中の第４データファイル
４４に格納する。

【００６０】また、ＣＰＵ３２は、入力した中間データ
から繰り返しブロックデータを除くレイアウトパターン
データを第１パターンデータとして第３データファイル
４３に格納する。そして、繰り返しブロックデータ，第
１パターンデータの格納を終了すると、ＣＰＵ３２は、
図１に示されるステップＳ４からステップＳ５に移る。

【００６１】ステップＳ５は分割ブロックデータ入力処
理であって、図３中のＣＰＵ３２は、図４４のステンシ
ルマスク１２に搭載する分割ブロックパターンの形状デ
ータを入力する。形状データの入力を終了すると、ＣＰ
Ｕ３２は、ステップＳ５からステップＳ６に移る。

【００６２】ステップＳ６は、形状補正処理（形状補正
手段）であり、先ずＣＰＵ３２は、第３データファイル
４３に格納された第１パターンデータを入力する。次
に、ＣＰＵ３２は、第１パターンデータの形状認識を行
い、第１パターンデータの形状が表現可能形状か表現不
可形状かを判断する。その判断結果に基づいて、ＣＰＵ
３２は、表現不可形状の第１パターンデータを表現可能
形状のデータに補正する。

【００６３】詳しくは、ＣＰＵ３２は、先ず第１パター
ンデータの形状を表現可能形状への補正が可能かを判定
する。その判定結果に基づいて、ＣＰＵ３２は、補正可
能な場合に、第１パターンデータの形状を表現可能形状
に補正し、補正後のデータを第２パターンデータとして
第５データファイル４５に格納する。

【００６４】次に、ＣＰＵ３２は、第２パターンデータ
と、ステップＳ５にて入力した分割ブロックパターンの
形状データとを比較する。その比較結果に基づいて、Ｃ
ＰＵ３２は、第２パターンデータの形状を分割ブロック
パターンの形状に補正可能か否かを判断する。

【００６５】補正可能な場合、ＣＰＵ３２は、第２パタ
ーンデータの形状を分割ブロックパターンの形状に補正
し、その補正後のデータを分割ブロックパターンデータ
として第６データファイル４６に格納する。このよう
に、分割ブロックパターンに補正することにより、分割
ブロックを用いた露光が可能となる。これにより、矩形
パターンにショット分割する場合に比べて、斜辺を精度
良く露光することができるとともに、ショット数が少な
くなる。上記した表現可能形状への補正が可能か否かを
判定した判定結果に基づいて、第１パターンデータの形
状を表現可能形状に補正不可能な場合、図３中のＣＰＵ
３２は、図１のステップＳ６からステップＳ７に移る。
そのステップＳ７はショット分割処理であって、ＣＰＵ
３２は、第１パターンデータを矩形パターンにてショッ
ト分割する。ＣＰＵ３２は、ショット分割により生成し
たデータを第２パターンデータとして第５データファイ
ル４５に格納する。

【００６６】全ての第１パターンデータに対して補正処
理又はショット分割処理を施すと、図３中のＣＰＵ３２
は、図１のステップＳ６，Ｓ７からステップＳ８に移
る。ステップＳ８は露光データ作成処理である。ここ
で、図３中のＣＰＵ３２は、第４〜第６データファイル
４４〜４６から各パターンデータを読み込み、各データ
を露光データに変換する。そして、ＣＰＵ３２は、その
露光データを図１の第７データファイル４７に格納す
る。その後、ＣＰＵ３２は露光データ作成処理を終了す
る。

【００６７】第７データファイル４７に格納された露光
データは、露光媒体としてのウェハ２３を露光する場合
に利用される。即ち、図２２に示す露光装置において、
第７データファイル４７に格納された露光データに基づ
いて、第１〜第３電磁偏向器１９〜２１及びステージ２
２が制御され、ウェハ２３の所定位置に所望の露光パタ
ーンが露光される。

【００６８】表現不可形状を分割ブロックパターンの形
状に補正することにより、矩形パターンによるショット
分割を行う場合に比べてショット数が少なくなる。これ
により、ウェハ１枚当たりの露光時間が短縮される。

【００６９】次に、図１中のステップＳ６における形状
補正処理を、図２に示すフローチャートのステップＳ１
１〜Ｓ２０に従って詳述する。先ず、図２に示されるス
テップＳ１１〜Ｓ２０は図１中のステップＳ６における
形状補正処理のサブステップである。先ず、図３中のＣ
ＰＵ３２は、図２中のステップＳ１１で第３データファ
イル４３に格納された第１パターンデータを読み込む。
そのデータの読み込みを終了すると、ＣＰＵ３２は図２
のステップＳ１１からステップＳ１２に移る。

【００７０】ステップＳ１２は形状認識処理（形状認識
手段）であり、図３のＣＰＵ３２は、ステップＳ１１で
入力した１つのパターンデータに対する形状認識処理を
行う。この形状認識処理において、ＣＰＵ３２は、入力
した第１パターンデータの形状が三角形か四角形かを判
断する。第１パターンデータの形状によって、補正処理
の方法が異なるからである。ＣＰＵ３２は、第１パター
ンデータの形状を認識すると、図２のステップＳ１２か
らステップＳ１３に移る。

【００７１】ステップＳ１３は矩形判定処理（矩形判定
手段）であり、図３のＣＰＵ３２は、ステップＳ１２に
おいて認識した第１パターンデータの形状が矩形か否か
を判定する。矩形は表現可能形状である。従って、ＣＰ
Ｕ３２は、矩形形状の第１パターンデータに対して形状
補正処理を行う必要がない。そのため、ＣＰＵ３２は、
第１パターンデータの形状が矩形の場合、次の第１パタ
ーンデータを読み込むためにステップＳ１３からステッ
プＳ２０に移る。そして、ＣＰＵ３２は、第１パターン
データの形状が矩形ではない場合にその第１パターンデ
ータに対する形状補正処理を行うためにステップＳ１３
からステップＳ１４に移る。

【００７２】ステップＳ１４は変化量計算処理（変化量
計算手段）であり、図３のＣＰＵ３２は、表現可能形状
への補正が可能か否かを判断するための補正判定値とす
る変化量を求める。変化量は、第１パターンデータの形
状を表現可能形状に変形した場合に、元の第１パターン
データの形状と変形後の形状の差である。パターンデー
タの形状は、辺の座標値、辺の角度等によりに示され
る。尚、本実施形態では第１パターンデータの辺の座標
値と表現可能形状の辺の座標値の差を変化量とする。

【００７３】そして、ＣＰＵ３２は、第１パターンデー
タに含まれる各辺のうち、その第１パターンデータの形
状に応じた辺を特定する。特定する辺は、第１パターン
データの形状が三角形の場合、最も大きな角度の内角を
構成する２辺であり、その形状が四角形の場合には相対
向する２辺である。ＣＰＵ３２は、特定した辺を水平
（Ｘ軸と平行）又は垂直（Ｘ軸に対して垂直であってＹ
軸と平行）に変更するときの変化量を求める。

【００７４】例えば、第１パターンデータの形状が図４
（ａ）に実線で示す三角形の場合、第１パターンデータ
は、辺Ａ，Ｂ，Ｃのデータを含む。辺Ａ，Ｂ，Ｃは、両
端の座標値（＝各頂点の座標値）にてそれぞれの位置が
指定される。従って、第１パターンデータは、辺Ａ〜Ｃ
を示す座標値（＝各頂点の座標値）を格納するための領
域を含む。

【００７５】図４（ａ）において、辺Ａ〜Ｃのうち、最
も大きな角度の内角を構成する２辺は辺Ａ，Ｂである。
そして、図４（ａ）では、辺Ａは水平である。従って、
図３のＣＰＵ３２は、形状補正処理において、第１パタ
ーンデータの形状を、図４（ａ）に一点差線で示す直角
三角形の表現可能形状に補正する。この場合、ＣＰＵ３
２は、辺Ｂが辺Ａと直角をなすように、辺Ｂ，Ｃに挟ま
れた頂点Ｔ１を表現可能形状の頂点Ｔ２まで各辺Ｂ，Ｃ
を移動させる。

【００７６】そして、第１パターンデータの頂点Ｔ１の
座標値（ｘ１，ｙ１）と、表現可能形状の頂点Ｔ２の座
標値（ｘ２，ｙ２）の差ΔＸ（＝ｘ１−ｘ２），Δｙ
（＝ｙ１−ｙ２）を辺Ｂにおける変化量とする。そし
て、この辺Ｂにおける変化量を、変化量ＢΔｘ，ＢΔｙ
として表す。尚、辺Ａが水平ではない場合、ＣＰＵ３２
は、辺Ｂと同様に辺Ａにおける変化量ＡΔｘ，ＡΔｙを
求める。

【００７７】また、第１パターンデータの形状が図４
（ｂ）に実線で示す四角形の場合、第１パターンデータ
は辺Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄのデータを含む。図３のＣＰＵ３２
は、形状補正処理において、第１パターンデータの形状
を、図４（ｂ）に一点鎖線で示す四角形（図４（ｂ）で
は平行四辺形）の表現可能形状に補正する。この場合、
ＣＰＵ３２は、辺Ａ，Ｂ，Ｄを移動させると共に、辺
Ａ，Ｃを平行にする。従って、図４（ｂ）に示す形状の
第１パターンデータの場合、辺Ａ，Ｃの右端点の座標値
のＹ軸方向の差Δｙが変化量となる。

【００７８】また、変化量として第１パターンデータの
辺の角度と表現可能形状の辺の角度の差（図４（ａ）に
示す角度θ）、第１パターンデータの辺と表現可能形状
の辺に挟まれた領域の面積（図４（ａ）にハッチングに
て示した領域の面積）を用いても良い。

【００７９】図３中のＣＰＵ３２は、図２のステップＳ
１１において読み込んだ第１パターンデータに対する変
化量を求めると、図２のステップＳ１４からステップＳ
１５に移る。

【００８０】ステップＳ１５は第１補正判定処理（第１
補正判定手段）であり、図３中のＣＰＵ３２は、ステッ
プＳ１４にて求めた第１パターンデータの変化量と予め
設定した誤差範囲値により、第１パターンデータの形状
が表現可能形状に補正可能か否か判定する。誤差範囲値
は、変形後の形状の第１パターンデータに基づいて実際
のパターンを形成した場合に、そのパターンがＬＳＩの
性能に影響を与えない範囲の値である。

【００８１】例えば、補正後の第１パターンデータに基
づいて形成した実際の配線パターンが設計上の第１パタ
ーンデータの形状よりもはるかに大きく隣接するパター
ン等に近づいた場合、両パターン間の信号が干渉する。
また、実際のパターンの幅が第１パターンデータのそれ
よりも極端に狭くなると、そのパターンを通過する信号
が大きく減衰する。これらは、ＬＳＩの性能に影響を与
える。

【００８２】従って、第１パターンデータの変化量が所
定の範囲値内にある時、その第１パターンデータに基づ
いて形成される実際の配線パターン等は、ＬＳＩの性能
に影響を与えない。このような範囲を示す値が誤差範囲
値である。

【００８３】図３中のＣＰＵ３２は、第１パターンデー
タの変化量が誤差範囲値以内である場合、その第１パタ
ーンデータの形状を表現可能形状に補正可能であると判
定する。その場合、ＣＰＵ３２は、補正処理を行うため
に図２のステップＳ１５からステップＳ１６へ移る。

【００８４】一方、ＣＰＵ３２は、第１パターンデータ
の変化量が誤差範囲値を越えている場合、その第１パタ
ーンデータの形状を表現可能形状に補正不可能であると
判定する。その場合、ＣＰＵ３２は、第１パターンデー
タをショット分割するために図２のステップＳ１５から
ステップＳ７へ移る。

【００８５】ステップＳ１６は第１補正処理（第１補正
手段）であり、図３中のＣＰＵ３２は、第１パターンデ
ータの形状を表現可能形状に補正する。そして、ＣＰＵ
３２は、補正後の第１パターンデータを第２パターンデ
ータとして第５データファイル４５に格納する。

【００８６】具体的には、ＣＰＵ３２は、第１パターン
データに含まれる各辺の座標値を格納するための領域
に、表現可能形状を構成する辺の座標値を格納する。例
えば、図４（ａ）に示す形状の場合、第１パターンデー
タに含まれる辺Ｂ，Ｃの座標値（ｘ１，ｙ１）が格納さ
れた領域に座標値（ｘ２，ｙ２）を格納する。そして、
この座標値（ｘ２，ｙ２）を含む第１パターンデータを
第２パターンデータとして図２の第５データファイル４
５に格納する。第２パターンデータの格納を終了する
と、図３中のＣＰＵ３２は、ステップＳ１６からステッ
プＳ１７に移る。

【００８７】ステップＳ１７は相違値計算処理（相違値
計算手段）であり、図３中のＣＰＵ３２は、第２パター
ンデータの形状をブロックパターンの形状に補正可能で
あるか否かを判定するために用いる相違値を計算する。
相違値は、第２パターンデータの形状とブロックパター
ンの形状の差分であり、本実施形態では上記した変化量
と同様に、両図形の頂点の座標値の差である。尚、変化
量と同様に、相違値に角度、面積が用いられても良い。

【００８８】この相違値計算処理について詳述すれば、
先ず、図３中のＣＰＵ３２は、第５データファイル４５
に格納した第２パターンデータを読み込む。そして、Ｃ
ＰＵ３２は、第２パターンデータの形状に類似した形
状、又は組み合わせにより第２パターンデータの形状を
表現することができる形状のブロックパターンを選択す
る。

【００８９】例えば、第２パターンデータの形状が直角
三角形の場合、ＣＰＵ３２は、その直角三角形と相似し
た直角三角形の透過孔を有するブロックパターンを選択
する。第２パターンデータの形状が平行四辺形の場合、
ＣＰＵ３２はその平行四辺形と相似した平行四辺形の透
過孔を有するブロックパターンを選択する。平行四辺形
は、直角三角形を組み合わせることにより表現可能であ
る。従って、ＣＰＵ３２は、組み合わせにより平行四辺
形を表現することができる直角三角形の透過孔を有する
ブロックパターンを選択する。

【００９０】図６は、登録された分割ブロックパターン
を示す。各分割ブロックパターンは、それぞれ所定の形
状の透過孔（図のハッチング部分）を有している。そし
て、各ブロックパターンには、それぞれ固有のブロック
番号が付けられている。このブロック番号は、図５に示
す分割ブロックパターンデータ５２の領域５２ａに格納
される。そして、図４３に示すブロック露光装置は、分
割ブロックパターンデータ５２の領域５２ａに格納され
たブロック番号に基づいて図４４に示すステンシルマス
ク１２に搭載されたブロック領域１５のうち、該当する
透過孔１７が形成されたブロック領域１５を選択する。
これにより、ブロック番号に対応する形状のパターンが
図４３のウェハ２３に露光される。尚、露光データに
は、図５に示す分割ブロックパターンデータ５２以外
に、繰り返しブロックデータ５１、パターンデータ５３
が含まれる。

【００９１】次に、ＣＰＵ３２は、選択したブロックパ
ターンの大きさを、第２パターンデータの大きさと同じ
にする。具体的には、ＣＰＵ３２は、選択したブロック
パターンのデータをＸ，Ｙ方向に拡大又は縮小し、その
Ｘ，Ｙ方向のサイズを第２パターンデータの形状のＸ，
Ｙ方向のサイズと同じにする。そして、ＣＰＵ３２は、
拡大又は縮小したブロックパターンの各辺の座標値と、
第２パターンデータの各辺の座標値の差を計算する。

【００９２】ステップＳ１８は第２補正判定処理（第２
補正判定手段）であり、図３中のＣＰＵ３２は、第２パ
ターンデータの形状が分割ブロックパターンデータの形
状に補正可能か否かを判定する。このとき、ＣＰＵ３２
は、ステップＳ１７において求めた第２パターンデータ
の相違値と予め設定した誤差範囲値とを比較する。そし
て、ＣＰＵ３２は、相違値が誤差範囲値内の場合に第２
パターンデータの形状を分割ブロックパターンデータの
形状に補正可能であると判定する。その場合、ＣＰＵ３
２は、補正処理を行うために図２のステップＳ１８から
ステップＳ１９へ移る。

【００９３】一方、ＣＰＵ３２は、第２パターンデータ
の相違値が誤差範囲値を越えている場合、その第２パタ
ーンデータの形状を分割ブロックパターンデータの形状
に補正不可能であると判定する。そして、ＣＰＵ３２
は、ステップＳ１８からステップＳ２０に移る。

【００９４】この場合、ＣＰＵ３２は、図１のステップ
Ｓ８において第２パターンデータを露光データにデータ
変換し、その露光データを第７データファイル４７に格
納する。この露光データは形状を示すデータであるた
め、露光データのデータ量はショット分割した場合のデ
ータ量に比べて少ない。そして、露光データは、入力し
たデータから所定の矩形パターンに矩形分割した分割デ
ータを作成し、その作成した分割データに基づいて露光
を行う。

【００９５】ステップＳ１９は第２補正処理（第２補正
手段）であり、図３中のＣＰＵ３２は、ステップＳ１８
において補正可能と判断した第２パターンデータの形状
を分割ブロックパターンデータの形状に変更する補正処
理を行う。そして、補正処理後のデータを分割ブロック
パターンデータとして第６データファイル４６に格納す
る。

【００９６】このとき、ＣＰＵ３２は、第２パターンデ
ータのデータ形式を分割ブロックパターンデータのデー
タ形式に変更し、第６データファイル４６に格納する。
図５は、露光データ作成処理にて扱われる各データのデ
ータ形式を示す。

【００９７】繰り返しブロックデータ５１は、図４４の
「繰り返しブロック」である第２透過孔１６が形成され
たブロック領域を用いて繰り返し性のあるパターンを露
光するためのデータである。分割ブロックデータ５２
は、図４４の分割ブロックである第３透過孔１７が形成
されたブロック領域を用いてパターンを露光するための
データである。第１パターンデータは、繰り返しブロッ
クデータとならない、即ち繰り返しブロックを用いるこ
とができない形状のパターンを露光するためのデータで
ある。第２パターンデータは、分割ブロックパターンデ
ータとはならない、即ち、分割ブロックを用いることが
できない形状のパターンを露光するためのデータであ
る。

【００９８】繰り返しブロックデータ５１は、ステンシ
ルマスク上に搭載されている繰り返しブロックの番号、
ブロックの種類、チップ上の配置位置のデータを格納す
るための領域５１ａ〜５１ｄを有する。

【００９９】分割ブロックパターンデータ５２は、ステ
ンシルマスク上に搭載されている分割ブロックの番号と
ブロックの種類、その分割ブロックで露光されるパター
ンデータの情報（ブロックの形状、配置位置、大きさ）
を格納するための領域５２ａ〜５２ｆを有する。

【０１００】パターンデータ５３は、第１，第２パター
ンデータであり、パターンの形状、配置位置、パターン
の大きさのデータを格納するための領域５３ａ〜５３ｄ
を有する。

【０１０１】図３中のＣＰＵ３２は、パターンデータ５
３の領域５３ａ〜５３ｄに格納されたデータを分割ブロ
ックパターンデータ５２の領域５２ｃ〜５２ｆに格納す
るとともに、分割ブロックパターンデータ５２に固有の
領域５２ａ，５２ｂにそれぞれ対応する情報を格納す
る。

【０１０２】即ち、ＣＰＵ３２は、分割ブロックパター
ンデータ５２の領域５２ａに、図２のステップＳ１７に
おいて選択したブロック番号を格納する。ＣＰＵ３２
は、領域５２ｂに分割ブロックを示す情報を格納し、領
域５２ｃに露光する第１パターンデータの形状を示す情
報を格納する。更に、ＣＰＵ３２は、パターンデータ５
３の領域５３ｂ〜５３ｄに格納された配置座標（ｘ、
ｙ）とパターンの大きさをそれぞれ分割ブロックパター
ンデータ５２の領域５２ｄ〜５２ｆに格納する。

【０１０３】上記のステップＳ１４〜Ｓ１９の処理を、
図７〜図１０に従って説明する。先ず、第１パターンの
形状が三角形の場合を、図７，図８に従って説明する。
図７（ａ）は、図２のステップＳ１１において第３デー
タファイル４３から読み出された三角形の第１パターン
６１を示す。先ず、図３中のＣＰＵ３２は、第１パター
ン６１に対する変化量を求める。この第１パターン６１
の場合、最も大きな角度の内角を構成する辺Ａ，Ｂを特
定する。そして、ＣＰＵ３２は、辺Ａ，Ｂにおける変化
量ＡΔｘ，ＡΔｙ、ＢΔｘ，ＢΔｙを求める。ここで、
第１パターン６１において、辺Ａは水平であるため、Ｃ
ＰＵ３２は、辺Ａにおける変化量ＡΔｘ，ＡΔｙを共に
「０」とする。

【０１０４】次に、ＣＰＵ３２は、ステップＳ１５にお
いて求めた辺Ｂにおける変化量ＢΔｘ，ＢΔｙが誤差範
囲値内であるか否かを判定し、その判定結果に基づいて
第１パターンデータ６１を図７（ｂ）に一点鎖線で示す
表現可能形状の第２パターンデータ６１ａに補正する。

【０１０５】次に、ＣＰＵ３２は、第２パターン６１ａ
の形状に類似した形状の透過孔を有する分割ブロックパ
ターンを選択する。この場合、ＣＰＵ３２は、図６に示
す番号「２」の分割ブロックパターンＢＰを選択する。
この分割ブロックパターンＢＰ（２）を図７（ｂ）に点
線で示す。尚、括弧内の数字は、選択した番号「２」を
示す。

【０１０６】次に、ＣＰＵ３２は、第２パターン６１ａ
の形状を分割ブロックパターンＢＰ（２）の形状に補正
可能か否かを判定するために両形状の相違値を求める。
図７（ｂ）の場合、ＣＰＵ３２は、透過孔領域６２の大
きさを拡大した拡大パターン６３を生成する。この拡大
パターン６３の底辺の長さは、辺Ａの長さと一致する。
そして、ＣＰＵ３２は、辺Ｂ１とその辺Ｂ１に対応する
拡大パターン６３の辺のＹ軸方向の長さの差（＝Δｙ）
を相違値として求める。ＣＰＵ３２は、相違値Δｙが誤
差範囲値内であるため、図２のステップＳ１８において
第２パターンの形状を分割ブロックパターンＢＰ（２）
の形状に補正可能であると判定し、ステップＳ１９の第
２補正処理を実施する。このようにして、図７（ｃ）に
示すように、元の第１パターン６１を分割ブロックパタ
ーンＢＰ（２）を用いて露光することとする。

【０１０７】この第２補正処理において、ＣＰＵ３２
は、図８に示すデータ形式にて分割ブロックパターンデ
ータを図２の第６データファイル４６に格納する。即
ち、ＣＰＵ３２は、領域６４ａに選択したブロックパタ
ーンデータＢＰ（２）の番号「２」を、領域６４ｂにブ
ロックの種類である「分割」を示す情報を、領域６４ｃ
にパターン形状である「三角形」を示す情報を格納す
る。更に、ＣＰＵ３２は、領域６４ｄ，６４ｅに第２パ
ターンを配置するＸ座標，Ｙ座標を、領域６４ｆに第２
パターンの大きさを示す情報を格納する。

【０１０８】次に、第１パターンの形状が四角形の場合
を、図９，図１０に従って説明する。図９（ａ）は、図
２のステップＳ１１において第３データファイル４３か
ら読み出された四角形の第１パターン７１を示す。先
ず、図３中のＣＰＵ３２は、第１パターン７１に対する
変化量を求める。この第１パターン７１の場合、ＣＰＵ
３２は、垂直又は水平な辺とその辺に対向する辺を特定
する。

【０１０９】図９（ａ）において、辺Ｄが垂直である。
従って、ＣＰＵ３２は、辺Ｂ，Ｄを特定する。ＣＰＵ３
２は、辺Ｂを垂直に補正可能であるか否かを判定するた
めに、辺Ｂにおける変化量ＢΔｘを求める。そして、Ｃ
ＰＵ３２は、求めた変化量ＢΔｘと誤差範囲値とを比較
し、第１パターン７１を表現可能形状に補正可能か否か
を判定する。

【０１１０】次に、ＣＰＵ３２は、第１パターン７１を
表現可能形状の内の平行四辺形に補正可能か否かを判定
する。ＣＰＵ３２は、辺Ｂを垂直に補正した場合におけ
る斜辺の辺Ａ，Ｃの相違値を求める。この場合、ＣＰＵ
３２は、図９（ｂ）に示すように、辺Ａ，Ｃの一端を重
ね合わせ、他端の座標値の差を相違値Δｙ１を求める。
ＣＰＵ３２は、求めた相違値Δｙ１が誤差範囲値以下で
あれば第１パターン７１の形状を平行四辺形に補正し、
相違値Δｙ１が誤差範囲値以上のであれば台形に補正す
る。

【０１１１】次に、ＣＰＵ３２は、第２パターン７２の
形状に類似した形状の透過孔を有する分割ブロックパタ
ーンを選択する。この場合、ＣＰＵ３２は、図６に示す
番号「１１」の分割ブロックパターンＢＰを選択する。
この分割ブロックパターンＢＰ（１１）を図９（ｃ）に
点線で示す。

【０１１２】次に、ＣＰＵ３２は、第２パターン７２の
形状を分割ブロックパターンＢＰ（１１）の形状に補正
可能か否かを判定するために両形状の相違値を求める。
図９（ｃ）に示すように、ＣＰＵ３２は、透過孔領域７
３の大きさを拡大した拡大パターン７４を生成する。Ｃ
ＰＵ３２は、拡大パターン７４の左辺の長さを、辺Ｄの
長さと一致させる。ＣＰＵ３２は、辺Ａ１（又は辺Ｃ
１）におけるＹ軸方向の差（＝Δｙ２）を相違値として
求める。ＣＰＵ３２は、相違値Δｙ２が誤差範囲値内で
あるため、図２のステップＳ１８において第２パターン
の形状を分割ブロックパターンＢＰ（１１）の形状に補
正可能であると判定し、ステップＳ１９の第２補正処理
を実施する。このようにして、図９（ｄ）に示すよう
に、第２パターン７２を分割ブロックパターンＢＰ（１
１）を用いて露光することとする。

【０１１３】この第２補正処理において、ＣＰＵ３２
は、図１０に示すデータ形式にて分割ブロックパターン
データを図２の第６データファイル４６に格納する。即
ち、ＣＰＵ３２は、領域７５ａに選択した分割ブロック
パターンＢＰ（１１）の番号「１１」を、領域７５ｂに
ブロックの種類である「分割」を示す情報を、領域７５
ｃにパターン形状である「平行四辺形」を示す情報を格
納する。更に、ＣＰＵ３２は、領域７５ｄ，７５ｅに第
２パターンを配置するＸ座標，Ｙ座標を、領域７５ｆに
パターンの大きさを示す情報を格納する。

【０１１４】ステップＳ２０は終了判定処理（終了判定
手段）であり、図３中のＣＰＵ３２は、全ての第１パタ
ーンデータに対する形状補正処理を終了したか否かを判
定する。ＣＰＵ３２は、まだ処理を行っていない第１パ
ターンデータが存在している場合、図２のステップＳ２
０からステップＳ１１に移る。そして、ＣＰＵ３２は、
ステップＳ１１において、次の第１パターンデータを第
３データファイル４３から読み込む。

【０１１５】即ち、ＣＰＵ３２は、ステップＳ１１から
ステップＳ２０のループを繰り返し実行する。そして、
ＣＰＵ３２は、全ての第１パターンデータに対して補正
処理を実施した場合、形状補正処理を終了する。

【０１１６】次に、図２中のステップＳ１４〜Ｓ１９の
各処理を、第１パターンデータの形状に対応して詳述す
る。 ［第１パターンデータの形状が三角形の場合］先ず、第
１パターンデータの形状が三角形の時の形状補正処理
を、図１１のフローチャート及び図１２〜図１６に従っ
て詳述する。

【０１１７】（１）第１パターンデータの形状が図１２
（ａ）に示す形状の場合。 図１１のステップＳ２１〜Ｓ２３は、図２のステップＳ
１４のサブステップであり、変化量計算処理である。ま
た、図１１のステップＳ２４，Ｓ２５は、図２のステッ
プ１５のサブステップであり、第１補正判定処理であ
る。更に、図１１のステップＳ２６〜Ｓ２９は、図２の
ステップＳ１６〜Ｓ１９にそれぞれ対応している。

【０１１８】先ず、図１１のステップＳ２１において、
図３中のＣＰＵ３２は、図１２（ａ）に示す三角形形状
の第１パターン８１の内角の内、最も大きい角度を構成
している辺Ａと辺Ｂを求める。次に、ステップＳ２２に
おいて、ＣＰＵ３２は、辺Ａの変化量ＡΔｘ，ＡΔｙを
求める。この時、辺Ａは水平であるため、ＣＰＵ３２
は、変化量ＡΔｙを「０」とする。更に、ＣＰＵ３２
は、辺Ａの端点を水平方向に移動させないため、変化量
ＡΔｘを「０」とする。同様に、ステップＳ２３におい
て、ＣＰＵ３２は、辺Ｂの変化量ＢΔｘ，ＢΔｙを求め
る。

【０１１９】ステップＳ２４において、ＣＰＵ３２は、
辺Ａ，Ｂの変化量ＡΔｙ，ＢΔｘが共に誤差範囲値以下
であるため、第１パターン８１が表現可能形状に補正可
能であると判断する。そして、ＣＰＵ３２は、ステップ
Ｓ２４からステップＳ２５に移る。そのステップＳ２５
において、ＣＰＵ３２は、辺Ｂを垂直に補正した時に辺
Ａと辺Ｂが構成する内角が９０度となるため、ステップ
Ｓ２５からステップＳ２６に移る。

【０１２０】ステップＳ２６において、ＣＰＵ３２は、
第１パターン８１の形状から辺Ｂを垂直にした直角三角
形の形状に補正変更した第２パターン８１ａ（図１２
（ｂ）参照）を生成する。更に、ＣＰＵ３２は、補正変
更後の第２パターンの形状を示すデータを第２パターン
データとして図１１の第５データファイル４５に格納す
る。そして、ＣＰＵ３２は、ステップＳ２６からステッ
プＳ２７に移る。

【０１２１】次に、ステップＳ２７において、ＣＰＵ３
２は、補正により生成した第２パターン８１ａに類似す
る分割ブロックパターンを選択する。この場合、ＣＰＵ
３２は、図６中のブロック番号２の分割ブロックパター
ンＢＰを選択する。そして、ＣＰＵ３２は、第２パター
ン８１ａの形状と選択した分割ブロックパターンＢＰ
（２）の形状との比較を行う。

【０１２２】この時、図１２（ｃ）に示すように、ＣＰ
Ｕ３２は、分割ブロックパターンＢＰ（２）の透過孔の
形状を補正後の第２パターン８１ａの大きさまで拡大し
た拡大パターン８１ｂを生成する。そして、ＣＰＵ３２
は、生成した拡大パターン８１ｂと第２パターン８１ａ
を重ね合わせて、先端の差分Δｙを求める。この差分Δ
ｙを相違値と呼ぶ。

【０１２３】ステップＳ２８において、ＣＰＵ３２は、
求めた相違値（＝Δｙ）が誤差範囲値以内であるため第
２パターン８１ａを分割ブロックパターンＢＰ（２）の
形状に補正可能であると判定する。その判定結果に基づ
いて、ＣＰＵ３２は、ステップＳ２８からステップＳ２
９へ移る。

【０１２４】ステップＳ２９において、ＣＰＵ３２は、
図１２（ｄ）に示すように、第２パターン８１ａの斜辺
の傾きを分割ブロックパターンＢＰ（２）と同じ傾きに
補正変更する。そして、ＣＰＵ３２は、補正変更した第
２パターン８１ａのための分割ブロックパターンデータ
８２（図１３参照）を作成する。ＣＰＵ３２は、分割ブ
ロックパターンデータ８２を図１１の第６データファイ
ル４６に格納する。そして、分割ブロックパターンデー
タの格納を終了すると、ＣＰＵ３２は、形状補正処理を
終了する。

【０１２５】（２）第１パターンデータの形状が図１４
（ａ）に示す形状の場合。 図１１のステップＳ２１において、図３中のＣＰＵ３２
は、図１４（ａ）に示す三角形形状の第１パターン８３
の内角のうち、最も大きい角度を構成している辺Ａと辺
Ｂを求める。次に、ＣＰＵ３２は、ステップＳ２２にお
いて辺Ａの変化量ＡΔｘ，ＡΔｙを求め、ステップＳ２
３において辺Ｂの変化量ＢΔｘ，ＢΔｙを求める。

【０１２６】ステップＳ２４において、ＣＰＵ３２は、
辺Ａの変化量ＡΔｘ，ＡΔｙが共に誤差範囲値より大き
いため、第１パターン８３の形状を表現可能形状に補正
不可能と判断する。そして、ＣＰＵ３２は、図１１のス
テップＳ２４からステップＳ７に移る。

【０１２７】ステップＳ７において、ＣＰＵ３２は、図
１４（ｂ）に示すように、第１パターン８３を複数の短
冊状の矩形パターン８４にショット分割する。そして、
ＣＰＵ３２は、複数の矩形パターン８４のパターンデー
タを第２パターンデータとして図１１の第５データファ
イル４５に格納する。そして、第２パターンデータの格
納を終了すると、ＣＰＵ３２は、形状補正処理を終了す
る。

【０１２８】（３）第１パターンデータの形状が図１５
（ａ）に示す形状の場合。 図１１のステップＳ２１において、図３中のＣＰＵ３２
は、図１５（ａ）に示す三角形形状の第１パターン８５
の内角のうち、最も大きい角度を構成している辺Ａと辺
Ｂを求る。次に、ＣＰＵ３２は、ステップＳ２２におい
て辺Ａの変化量ＡΔｘ，ＡΔｙを求め、ステップＳ２３
において辺Ｂの変化量ＢΔｘ，ＢΔｙを求める。

【０１２９】ステップＳ２４において、ＣＰＵ３２は、
辺Ａの変化量ＡΔｘと辺Ｂの変化量ＢΔｙが共に誤差範
囲値以内であるため、第１パターン８５の形状を表現可
能形状に補正可能と判定する。その判定結果に基づい
て、ＣＰＵ３２は、ステップＳ２４からステップＳ２５
に移る。そのステップＳ２５において、ＣＰＵ３２は、
辺Ｂを水平な辺Ｂ１に補正したとき、辺Ａと辺Ｂ１が構
成する内角は９０度であるため、ステップＳ２５からス
テップＳ２６に移る。

【０１３０】ステップＳ２６において、ＣＰＵ３２は、
辺Ａ，Ｂ１を含む直角三角形に形状を変更した第２パタ
ーン８５ａ（図１５（ｂ）参照）を生成する。そして、
ＣＰＵ３２は、生成した第２パターン８５ａのパターン
データを第２パターンデータとして図１１の第５データ
ファイル４５に格納する。そして、ＣＰＵ３２は、ステ
ップ２６からステップ２７に移る。

【０１３１】次に、ステップＳ２７において、ＣＰＵ３
２は、第２パターン８５ａに類似したブロック番号８の
ブロックパターンＢＰ（図６参照）を選択する。そし
て、ＣＰＵ３２は、図１５（ｃ）に示すように、分割ブ
ロックパターンＢＰ（８）を拡大した拡大パターン８５
ｂを生成し、その拡大パターンと第２パターン８５ａを
比較して相違値Δｘを求める。

【０１３２】ステップＳ２８において、ＣＰＵ３２は、
ステップＳ２７において求めた相違値Δｘが誤差範囲値
以内であるため、第２パターン８５ａを分割ブロックパ
ターンＢＰ（８）の形状に補正可能であると判定する。
その判定結果に基づいて、ＣＰＵ３２は、ステップＳ２
８からステップＳ２９へ移る。

【０１３３】ステップＳ２９において、ＣＰＵ３２は、
図１５（ｄ）に示すように、第２パターン８５ａの斜辺
の傾きを分割ブロックパターンＢＰ（８）と同じ傾きに
補正変更する。そして、ＣＰＵ３２は、補正変更した第
２パターン８５ｂのための分割ブロックパターンデータ
８６（図１６参照）を生成する。ＣＰＵ３２は、分割ブ
ロックパターンデータ８６を図１１の第６データファイ
ル４６に格納する。

【０１３４】［第１パターンデータの形状が四角形であ
り、四角形の分割ブロックパターンに補正する場合］次
に、第１パターンデータの形状が四角形の時の形状補正
処理を詳述する。

【０１３５】第１パターンデータの形状が四角形の場
合、補正に用いる分割ブロックパターンの形状に対応し
て処理が異なる。先ず、平行四辺形の分割ブロックパタ
ーンを用いる場合を、図１７のフローチャート及び図１
８〜図２１に従って説明する。

【０１３６】図１７のステップＳ３１，Ｓ３２は、図２
のステップＳ１４のサブステップであり、変化量計算処
理である。また、図１７のステップＳ３３〜Ｓ３９は、
図２のステップＳ１５のサブステップであり、第１補正
判定処理である。更に、図１７のステップＳ４０，Ｓ４
４は、図２のステップＳ１６のサブステップであり、第
１補正処理である。また、図１７のステップＳ４１〜Ｓ
４３は、図２のステップＳ１７〜Ｓ１９にそれぞれ対応
している。

【０１３７】（１）第１パターンデータの形状が図１８
（ａ）に示す形状の場合。 先ず、図１７のステップＳ３１において、図３中のＣＰ
Ｕ３２は、図１８（ａ）に示す四角形形状の第１パター
ン９１を構成する４つの辺Ａ〜Ｄの変化量ＡΔｘ，ＡΔ
ｙ、ＢΔｘ，ＢΔｙ、ＣΔｘ，ＣΔｙ、ＤΔｘ，ＤΔｙ
を求める。

【０１３８】次に、ステップＳ３２において、ＣＰＵ３
２は、辺Ｂ，Ｄを判定の対象とし、各辺Ｂ，Ｄの変化量
ＢΔｘ，ＤΔｘが誤差範囲値以下か否かを判定する。次
に、ステップＳ３３において、ＣＰＵ３２は、辺Ｂの変
化量ＢΔｘと辺Ｄの変化量ＤΔｘが共に誤差判定値以下
であるため、第１パターン９１を表現可能形状に補正可
能であると判定する。更に、ＣＰＵ３２は、補正可能な
辺の組み合わせが辺Ｂと辺Ｄであるため、ステップＳ３
３からステップＳ３４に移る。

【０１３９】ステップＳ３４において、ＣＰＵ３２は、
辺Ｂを垂直な辺Ｂ１に補正した第２パターン９１ａ（図
１８（ｂ）参照）を生成する。次に、ステップＳ３６に
おいて、ＣＰＵ３２は、第２パターン９１ａの形状が平
行四辺形形状に類似しているか否かを認識するために辺
Ａと辺Ｃの傾斜方向が同じであるか否かを判定する。こ
の場合、辺Ａ，Ｃは傾斜方向が同じであるため、ＣＰＵ
３２は、図１７のステップＳ３６からステップＳ３８へ
移る。

【０１４０】ステップＳ３８において、ＣＰＵ３２は、
斜辺である辺Ａ、辺Ｃを、図１８（ｃ）に示すように、
一端（左端）を重ね合わせた時の他端（右端）の座標値
の差を相違値Δｙとしてを求める。

【０１４１】ステップＳ３９において、ＣＰＵ３２は、
求めた相違値Δｙが誤差範囲値以内であるため、第２パ
ターン９１ａを平行四辺形に補正可能と判定し、ステッ
プＳ３９からステップＳ４０へ移る。

【０１４２】ステップＳ４０において、ＣＰＵ３２は、
辺Ｃの傾きを辺Ａの傾きに一致させ、第２パターン９１
ａの形状を平行四辺形形状に補正変更した第３パターン
９１ｂ（図１８（ｄ）参照）を生成する。そして、ＣＰ
Ｕ３２は、生成した第３パターン９１ｂの形状を示すパ
ターンデータを第２パターンデータとして図１７の第５
データファイル４５に格納する。

【０１４３】次に、ステップＳ４１において、ＣＰＵ３
２は、補正により生成した第３パターン９１ｂに類似し
た形状の分割ブロックパターンを選択する。この場合、
ＣＰＵ３２は、図６中のブロック番号１２の分割ブロッ
クパターンＢＰを選択する。そして、ＣＰＵ３２は、第
３パターン９１ｂの形状と選択した分割ブロックパター
ンＢＰ（１２）の形状との比較を行う。

【０１４４】この時、分割ブロックパターンＢＰ（１
２）の透過孔形状を第３パターン９１ｂの大きさまで拡
大した拡大パターン９１ｃを生成し、その拡大パターン
９１ｃと第３パターン９１ｂを重ね合わせ、図１８
（ｅ）に示すように先端（右端）の差分である相違値Δ
ｙを求める。

【０１４５】次に、図１７のステップＳ４２において、
ＣＰＵ３２は、求めた相違値Δｙと誤差範囲値を比較す
る。この場合、相違値Δｙが誤差範囲値以内であるた
め、ＣＰＵ３２は第３パターン９１ｂの形状を分割ブロ
ックパターンＢＰ（１２）の形状に補正可能と判定し、
ステップＳ４２からステップＳ４３へ移る。

【０１４６】ステップＳ４３において、ＣＰＵ３２は、
図１８（ｆ）に示すように、第３パターン９１ｂの斜辺
の傾きを分割ブロックパターンＢＰ（１１）と同じに補
正変更した補正パターン（この場合は拡大パターン９１
ｃと同じ形状であるため同じ符号を付す）９１ｃを生成
する。そして、ＣＰＵ３２は、補正パターン９１ｃのデ
ータを、パターンデータ形式から図１９に示す分割パタ
ーンデータ用のデータ形式に変更したデータ９２を生成
し、その変更後のデータ９２を分割ブロックパターンデ
ータとして図１７の第６データファイル４６に格納す
る。

【０１４７】（２）第１パターンデータの形状が図２０
（ａ）に示す形状の場合。 先ず、図１７のステップＳ３１において、図３中のＣＰ
Ｕ３２は、図２０（ａ）に示す四角形形状の第１パター
ン９３を構成するから４つの辺Ａ〜Ｄの変化量を求め
る。この第１パターン９３は平行四辺形であるため、Ｃ
ＰＵ３２はステップＳ３２，Ｓ３３，Ｓ３４，Ｓ３６の
各処理を実行した後、ステップＳ３６からステップＳ３
８へ移る。

【０１４８】ステップＳ３８において、ＣＰＵ３２は、
斜辺である辺Ａと辺Ｃを図２０（ｂ）に示すように左端
を重ねた時の右端における相違値Δｙを求める。この相
違値Δｙは誤差範囲値より大きいため、ＣＰＵ３２は、
ステップＳ３９において平行四辺形への補正が不可能と
判定し、ステップＳ３９からステップＳ４４へ移る。

【０１４９】ステップＳ４４において、ＣＰＵ３２は、
台形形状のパターンデータとして第１パターン９３のパ
ターンデータを図１７の第５データファイル４５に格納
する。

【０１５０】（３）第１パターンデータの形状が図２１
（ａ）に示す形状の場合。 先ず、図１７のステップＳ３１において、図３中のＣＰ
Ｕ３２は、図２１（ａ）に示す四角形形状の第１パター
ン９４を構成する４つの辺Ａ〜Ｄの変化量を求める。

【０１５１】次に、ステップＳ３２において、ＣＰＵ３
２は、変化量ＡΔｙ（＝０）のみが誤差範囲値以内であ
るため、第１パターン９４を表現可能形状に補正不可能
と判定する。その判定結果に基づいて、ＣＰＵ３２は、
ステップＳ３３からステップＳ７へ移る。

【０１５２】ステップＳ７において、ＣＰＵ３２は、表
現不可形状である第１パターン９４を図２１（ｂ）に示
すようにショット分割して複数の矩形パターン９５を生
成する。そして、ＣＰＵ３２は、全ての矩形パターン９
５のデータを第２パターンデータとして図１７の第５デ
ータファイル４５に格納する。

【０１５３】［第１パターンデータの形状が四角形であ
り、直角三角形の分割ブロックパターンの形状に補正す
る場合］次に、直角三角形の分割ブロックパターンを用
いる場合を、図２２のフローチャート及び図２３〜図２
６に従って説明する。尚、図２２のフローチャートに示
す処理において、図１７のフローチャートと同じ処理に
ついては同じ符号を付し、その詳細な説明を省略する。

【０１５４】図２２のステップＳ３１，Ｓ３２は、図２
のステップＳ１４のサブステップであり、変化量計算処
理である。また、図２２のステップＳ３３〜Ｓ３９は、
図２のステップＳ１５のサブステップであり、第１補正
判定処理である。更に、図２２のステップＳ４０，Ｓ４
４は、図２のステップＳ１６のサブステップであり、第
１補正処理である。また、図２２のステップＳ５１，Ｓ
５２は、図２のステップＳ１７のサブステップであり、
相違値計算処理である。更にまた、図２２のステップＳ
４２，Ｓ５３は、図２のステップＳ１８，Ｓ１９にそれ
ぞれ対応している。

【０１５５】（１）第１パターンに対する第１補正処理
後の形状が図２３（ａ）に示す形状の場合。 図２２のステップＳ３１〜Ｓ３９の各処理は、図１７の
それらの処理と同じであるため説明を省略する。そし
て、ステップＳ４０において、図３中のＣＰＵ３２は、
図２３（ａ）に示すように、第１補正処理を施した平行
四辺形形状の第１パターン１０１を生成する。

【０１５６】次に、図２２のステップＳ５１において、
図２３（ａ）に示すように、ＣＰＵ３２は、第１パター
ン１０１の斜辺である辺Ａを含む第１直角三角形１０１
ａを発生させる。ＣＰＵ３２は、この第１直角三角形１
０１ａと類似した図６中のブロック番号４の分割ブロッ
クパターンＢＰを選択する。

【０１５７】図２３（ｂ）に示すように、ＣＰＵ３２
は、選択した分割ブロックパターンＢＰ（４）の透過孔
形状の大きさを、第１直角三角形１０１ａの大きさに拡
大した拡大パターン１０１ｃを生成する。ＣＰＵ３２
は、拡大パターン１０１ｃと第１直角三角形１０１ａを
形状比較し、相違値ＡΔｙを求める。

【０１５８】次に、ステップＳ５２において、図２３
（ａ）に示すように、ＣＰＵ３２は、第１パターン１０
１の斜辺である辺Ｃを含む第２直角三角形１０１ｂを発
生させる。ＣＰＵ３２は、この第２直角三角形１０１ｂ
と類似した形状の図６中のブロック番号２の分割ブロッ
クパターンＢＰを選択する。図２３（ｃ）に示すよう
に、ＣＰＵ３２は、選択した分割ブロックパターンＢＰ
（２）の透過孔形状の大きさを、第２直角三角形１０１
ｂの大きさに拡大した拡大パターン１０１ｄを生成す
る。ＣＰＵ３２は、拡大パターン１０１ｄと第２直角三
角形１０１ｂを形状比較し、相違値ＣΔｙを求める。

【０１５９】ステップＳ４２において、ＣＰＵ３２は、
ステップＳ５１，５２において求めた相違値ＡΔｙ，Ｃ
Δｙが誤差範囲値以内であるため、第１パターン１０１
を分割ブロックパターンの形状に補正可能であると判定
する。その判定結果に基づいて、ＣＰＵ３２は、ステッ
プＳ４２からステップＳ５３へ移る。

【０１６０】ステップＳ５３において、ＣＰＵ３２は、
図２３（ｄ）に示すように、第１パターン１０１を分割
ブロックパターンＢＰ（４），ＢＰ（２）の透過孔形状
と相似の直角三角形形状の分割パターン１０２，１０３
にパターン分割する。そして、ＣＰＵ３２は、各分割パ
ターン１０２，１０３のデータ１０２ａ，１０３ａを、
パターンデータ形式から図２４に示す分割ブロックパタ
ーン形式に変更し、その変更後のデータを分割ブロック
パターンデータとして図２２の第６データファイル４６
に格納する。

【０１６１】尚、図２２のステップＳ５３におけるパタ
ーン分割処理により、分割の具合によって図２３（ｄ）
に示す矩形形状のパターン１０４が生じる場合がある。
この場合、ＣＰＵ３２は、生じた矩形形状のパターン１
０４のデータ１０４ａを第２パターンデータとして図２
２の第５データファイル４５に格納する。

【０１６２】（２）第１パターンデータの形状が図２５
（ａ）に示す形状の場合。 この場合、ＣＰＵ３２は、ステップＳ５１，Ｓ５２にお
いて、第１パターン１０５を斜辺である辺Ｂ，Ｄを含む
第１，第２直角三角形１０５ａ, １０５ｂを生成する。
そして、ＣＰＵ３２は、生成した第１，第２直角三角形
１０５ａ，１０５ｂの類似した図６中のブロック番号
５，１の分割ブロックパターンＢＰをそれぞれ選択す
る。

【０１６３】そして、ＣＰＵ３２は、図２５（ｃ）、
（ｂ）に示すように、それぞれ第１，第２直角三角形１
０５ａ，１０５ｂを選択した分割ブロックパターンＢＰ
（５）、ＢＰ（１）の透過孔形状を拡大した形状の拡大
パターン１０６，１０７と形状比較する。その比較結果
に基づいて、ＣＰＵ３２は、図２３（ｄ）に示すよう
に、第１，第２直角三角形１０５ａ，１０５ｂを補正し
た補正パターン１０６．１０７を生成する。そして、Ｃ
ＰＵ３２は、補正パターン１０６，１０７の分割ブロッ
クパターンデータ１０６ａ，１０７ａ（図２６参照）を
図２２の第６データファイル４６に格納する。また、Ｃ
ＰＵ３２は、図２３（ｄ）の補正パターン１０６，１０
７に含まれない矩形パターン１０５ｃのパターンデータ
１０５ｃａ（図２６参照）を第２パターンデータとして
図２２の第５データファイル４５に格納する。

【０１６４】［第１パターンデータの形状が四角形であ
り、台形の分割ブロックパターンの形状に補正する場
合］次に、台形の分割ブロックパターンを用いる場合
を、図２７のフローチャート及び図２８〜図３１に従っ
て説明する。尚、図２７のフローチャートに示す処理に
おいて、図１７，２２のフローチャートと同じ処理につ
いては同じ符号を付し、その詳細な説明を省略する。

【０１６５】図２７のステップＳ３１，Ｓ３２は、図２
のステップＳ１４のサブステップであり、変化量計算処
理である。また、図２７のステップＳ３３〜Ｓ３７，Ｓ
６３は、図２のステップＳ１５のサブステップであり、
第１補正判定処理である。更に、図２７のステップＳ６
１，Ｓ６４は、図２のステップＳ１６のサブステップで
あり、第１補正処理である。また、図２７のステップＳ
５１，５２は、図２のステップＳ１７のサブステップで
あり、相違値計算処理である。更にまた、図２７のステ
ップＳ４２，Ｓ６２は、図２のステップＳ１８，Ｓ１９
にそれぞれ対応している。

【０１６６】（１）第１パターンデータの形状が図２８
（ａ）に示す形状の場合。 先ず、図２７のステップＳ３１において、図３中のＣＰ
Ｕ３２は、図２８（ａ）に示す四角形形状の第１パター
ン１１１を構成する４つの辺Ａ〜Ｄの変化量ＡΔｘ，Ａ
Δｙ、ＢΔｘ，ＢΔｙ、ＣΔｘ，ＣΔｙ、ＤΔｘ，ＤΔ
ｙを求める。

【０１６７】次に、ステップＳ３２において、ＣＰＵ３
２は、辺Ａ，Ｃを判定の対象とし、各辺Ａ，Ｃの変化量
ＡΔｙ，ＣΔｙが誤差範囲値以下か否かを判定する。次
に、ステップＳ３３において、ＣＰＵ３２は、辺Ａの変
化量ＡΔｙと辺Ｃの変化量ＣΔｙが共に誤差判定値以下
であるため、第１パターン１１１を表現可能形状に補正
可能であると判定する。その判定結果に基づいて、ＣＰ
Ｕ３２はステップＳ３３からステップＳ３５に移る。

【０１６８】ステップＳ３５において、ＣＰＵ３２は、
辺Ｃを水平な辺Ｃ１に補正した第２パターン１１１ａ
（図２８（ｂ）参照）を生成する。次に、ステップＳ３
７において、ＣＰＵ３２は、第２パターン１１１ａの形
状が台形形状か否かを認識するために辺Ｂと辺Ｄの傾斜
方向が同じであるかを判定する。この場合、辺Ｂ，Ｄは
傾斜方向が異なるため、ＣＰＵ３２は、第２パターン１
１１ａを台形と判定し、図２７のステップＳ３７からス
テップＳ６１へ移る。

【０１６９】ステップＳ６１において、ＣＰＵ３２は、
補正変更した台形形状の第２パターン１１１ａを生成す
る。そして、ＣＰＵ３２は、生成した第２パターン１１
１ａの形状を示すパターンデータを第２パターンデータ
として図２７の第５データファイル４５に格納する。

【０１７０】次に、ステップＳ５１において、図２８
（ｂ）に示すように、ＣＰＵ３２は、第２パターン１１
１ａの辺Ｂを含む第１直角三角形１１１ｂを生成する。
ＣＰＵ３２は、この第１直角三角形１１１ｂと類似した
図６中のブロック番号７の分割ブロックパターンＢＰを
選択する。

【０１７１】図２８（ｃ）に示すように、ＣＰＵ３２
は、選択した分割ブロックパターンＢＰ（７）の透過孔
形状の大きさを第１直角三角形１１１ｂの大きさに拡大
した拡大パターン１１２を生成する。ＣＰＵ３２は、拡
大パターン１１２と第１直角三角形１１１ｂを形状比較
し、相違値ＢΔｙ２を求める。

【０１７２】次に、ステップＳ５２において、図２８
（ｂ）に示すように、ＣＰＵ３２は、第２パターンデー
タ１１１ａの辺Ｄを含む第２直角三角形１１１ｃを生成
する。ＣＰＵ３２は、この第２直角三角形１１１ｃと類
似した図６中のブロック番号３の分割ブロックパターン
ＢＰを選択する。

【０１７３】図２８（ｃ）に示すように、ＣＰＵ３２
は、選択した分割ブロックパターンＢＰ（３）の透過孔
形状の大きさを第２直角三角形１１１ｃの大きさに拡大
した拡大パターン１１３を生成する。ＣＰＵ３２は、拡
大パターン１１３と第２直角三角形１１１ｃを形状比較
し、相違値ＤΔｘ２を求める。

【０１７４】ステップＳ４２において、ＣＰＵ３２は、
ステップＳ５１，５２において求めた相違値ＢΔｙ２，
ＤΔｘ２が誤差範囲値以内であるため、第２パターン１
１１ａを分割ブロックパターンの形状に補正可能である
と判定する。その判定結果に基づいて、ＣＰＵ３２は、
ステップＳ４２からステップＳ６２へ移る。

【０１７５】ステップＳ６２において、ＣＰＵ３２は、
図２８（ｄ）に示すように、第２パターン１１１ａを分
割ブロックパターンＢＰ（３），ＢＰ（７）の透過孔形
状と相似の直角三角形形状の分割パターン１１３，１１
２にパターン分割する。そして、ＣＰＵ３２は、各分割
パターンのデータを、パターンデータ形式から図２９に
示す分割ブロックパターン形式に変更した分割ブロック
パターンデータ１１３ａ，１１２ａをそれぞれ生成す
る。そして、ＣＰＵ３２は、両データ１１３ａ，１１２
ａを図２７の第６データファイル４６に格納する。

【０１７６】尚、図２７のステップＳ６２におけるパタ
ーン分割処理により、図２８（ｄ）に示す矩形形状のパ
ターン１１１ｄが残る。ＣＰＵ３２は、矩形パターン１
１１ｄのデータ１１１ｄａ（図２９参照）を第２パター
ンデータとして図２７の第５データファイル４５に格納
する。

【０１７７】（２）第１パターンの形状が図３０（ａ）
に示す形状の場合。 先ず、図２７のステップＳ３１において、図３中のＣＰ
Ｕ３２は、図３０（ａ）に示す四角形形状の第１パター
ン１１４を構成する４つの辺Ａ〜Ｄの変化量ＡΔｘ，Ａ
Δｙ、ＢΔｘ，ＢΔｙ、ＣΔｘ，ＣΔｙ、ＤΔｘ，ＤΔ
ｙを求める。この第１パターン１１４は、辺Ａ，Ｃが平
行である台形形状であるため、ＣＰＵ３２は、ステップ
Ｓ３２，Ｓ３３，Ｓ５３，Ｓ３７，Ｓ６１の各処理を実
行した後、ステップＳ５１へ移る。

【０１７８】ステップＳ５１，Ｓ５２において、図３０
（ｂ）（ｃ）に示すように、ＣＰＵ３２は、辺Ｂ，Ｄを
含む第１，第２直角三角形１１４ａ，１１４ｂを生成す
る。しかしながら、第１，第２直角三角形１１４ａ，１
１４ｂに類似した分割ブロックパターンは存在しない。
そのため、ＣＰＵ３２は、各直角三角形１１４ａ，１１
４ｂの各辺における相違値を求めることができない。そ
のため、ＣＰＵ３２は、ステップＳ４２における判定処
理により形状補正処理を終了する。

【０１７９】この場合、図２７のステップＳ６１におい
て、台形形状の第１パターン１１４のデータ第２パター
ンデータとして第５データファイル４５に格納されてい
る。これにより、第１パターン１１４は、露光装置にて
第２パターンデータに基づいてショット分割され所望の
パターンが露光される。

【０１８０】（３）第１パターンデータの形状が図３１
（ａ）に示す形状の場合。 先ず、図２７のステップＳ３１において、図３中のＣＰ
Ｕ３２は、図３１（ａ）に示す四角形形状の第１パター
ン１１５を構成する４つの辺Ａ〜Ｄの変化量ＡΔｘ，Ａ
Δｙ、ＢΔｘ，ＢΔｙ、ＣΔｘ，ＣΔｙ、ＤΔｘ，ＤΔ
ｙを求める。この第１パターン１１５の場合、誤差範囲
以内である変化量はＡΔｙだけであるので、ＣＰＵ３２
はステップＳ３３において表現可能形状に補正不可能と
判定し、ステップＳ３３からステップＳ７へ移る。

【０１８１】ステップＳ７において、ＣＰＵ３２は、表
現不可形状である第１パターン１１５を図３１（ｂ）に
示すようにショット分割して複数の矩形パターン１１６
を生成する。そして、ＣＰＵ３２は、全ての矩形パター
ン１１６のデータを第２パターンデータとして図２７の
第５データファイル４５に格納する。

【０１８２】［ブロック分割による補正処理を行う第１
の場合］次に、分割ブロックパターンを用いてブロック
分割により補正処理を行う第１の場合を、図３２のフロ
ーチャート及び図３３〜図３６に従って説明する。尚、
図２７のフローチャートに示す処理において、図１７，
２２のフローチャートと同じ処理については同じ符号を
付し、その詳細な説明を省略する。

【０１８３】図３２のステップＳ７１〜Ｓ７４は、図２
のステップＳ１２，Ｓ１４〜Ｓ１６にそれぞれ対応して
いる。また、図３２のステップＳ７５，Ｓ７８は、図２
のステップＳ１７のサブステップであり、相違値計算処
理である。更に、図３２のステップＳ７６，Ｓ７９は、
図２のステップＳ１８のサブステップであり、第２補正
判定処理である。また、図３２のステップＳ７７，Ｓ８
０，Ｓ８１は、図２のステップＳ１９のサブステップで
あり、第２補正処理である。

【０１８４】（１）第１パターンに対する第１補正処理
後の形状が図３３（ａ）に示す形状の場合。 先ず、図３２のステップＳ７１において、図３中のＣＰ
Ｕ３２は、第１パターンの形状認識を行い、その結果に
基づいて、第１パターンが矩形形状以外の場合にステッ
プＳ７２における変化量計算処理を実行し変化量を求め
る。

【０１８５】次に、ステップＳ７３において、ＣＰＵ３
２は、ステップＳ７２において求めた変化量に基づい
て、第１パターンの形状を表現可能形状に補正可能か否
かを判定する。そして、その判定結果に基づいて、補正
可能な場合にＣＰＵ３２はステップＳ７５における第１
補正処理を実行する。その第１補正処理により補正され
た第１パターン１２１の図形を図３３（ａ）に示す。

【０１８６】次に、図３２のステップＳ７５において、
図３中のＣＰＵ３２は、第１パターン１２１の形状に類
似した図６中のブロック番号１９の分割ブロックパター
ンＢＰを選択する。そして、図３３（ｂ）に示すよう
に、ＣＰＵ３２は、選択した分割ブロックパターンＢＰ
（１９）の透過孔パターンを拡大した拡大パターン１２
２を生成する。ＣＰＵ３２は、拡大パターン１２２と第
１パターン１２１を形状比較し、下端の座標値の差を第
１相違値Δｘ１として求める。次に、ステップＳ７６に
おいて、ＣＰＵ３２は、第１相違値Δｘ１と誤差範囲値
を比較する。この時、相違値Δｘ１は誤差範囲値より大
きいので、ＣＰＵ３２はステップＳ７６からステップＳ
７８に移る。

【０１８７】ステップＳ７８において、ＣＰＵ３２は、
ステップＳ７５における処理とは逆に、第１パターン１
２１を分割ブロックＢＰ（１９）のパターンと同じ大き
さに縮小した縮小パターン１２２を生成する。そして、
ＣＰＵ３２は、図３３（ｃ）に示すように、縮小パター
ン１２３と分割ブロックＢＰ（１９）の透過孔パターン
を比較し、第２相違値Δｘ２を求める。

【０１８８】次に、ステップＳ７９において、ＣＰＵ３
２は、ステップＳ７８において求めた第２相違値Δｘ２
と誤差範囲値を比較する。この場合、相違値Δｘ２は誤
差範囲値以内であるため、ＣＰＵ３２はステップＳ７９
からステップＳ８０へ移る。

【０１８９】ステップＳ８０において、ＣＰＵ３２は、
図３３（ｄ）に示すように、第１パターン１２１を分割
ブロックＢＰ（１９）のパターン１２４のサイズで分割
するパターン分割を行う。更に、ＣＰＵ３２は、パター
ン分割した複数のパターン１２４のための分割ブロック
パターン１２４ａ（図３４参照）を生成する。ＣＰＵ３
２は、分割ブロックパターンデータ１２４ａを図３２の
第６データファイル４６に格納する。

【０１９０】（２）第１パターンに対する第１補正処理
後の形状が図３５（ａ）に示す形状の場合。 先ず、ＣＰＵ３２は、図３２のステップＳ７１〜Ｓ７４
の各処理を実行し、図３５（ａ）に示す第１パターン１
２５を生成する。

【０１９１】次に、ステップＳ７５において、ＣＰＵ３
２は、第１パターン１２５の形状に類似した図６中のブ
ロック番号１の分割ブロックＢＰを選択する。そして、
図３５（ｂ）に示すように、ＣＰＵ３２は、選択した分
割ブロックＢＰ（１）の透過孔パターンを拡大した拡大
パターン１２６を生成する。

【０１９２】ＣＰＵ３２は、拡大パターン１２６と第１
パターン１２５を形状比較し、右端の座標値の差を第１
相違値Δｙ１として求める。次に、ステップＳ７６にお
いて、ＣＰＵ３２は、第１相違値Δｙ１と誤差範囲値を
比較する。この時、相違値Δｙ１は誤差範囲値より大き
いので、ＣＰＵ３２はステップＳ７６からステップＳ７
８に移る。

【０１９３】ステップＳ７８において、ＣＰＵ３２は、
ステップＳ７５における処理とは逆に、第１パターン１
２５を分割ブロックＢＰ（１）の透過孔パターンと同じ
大きさに縮小した縮小パターン１２７を生成する。そし
て、ＣＰＵ３２は、図３５（ｃ）に示すように、縮小パ
ターン１２７と分割ブロックＢＰ（１）の透過孔パター
ンを比較し、第２相違値Δｙ２を求める。

【０１９４】次に、ステップＳ７９において、ＣＰＵ３
２は、ステップＳ７８において求めた第２相違値Δｙ２
と誤差範囲値を比較する。この場合、相違値Δｙ２は誤
差範囲値以内であるため、ＣＰＵ３２はステップＳ７９
からステップＳ８０へ移る。

【０１９５】ステップＳ８０において、ＣＰＵ３２は、
図３５（ｄ）に示すように、第１パターン１２５を分割
ブロックＢＰ（１）のパターン１２８と矩形パターン１
２９で分割するパターン分割を行う。更に、ＣＰＵ３２
は、パターン分割した複数のパターン１２８のための分
割ブロックパターンデータ１２８ａと、矩形パターン１
２９のためのパターンデータ１２９ａを生成する。ＣＰ
Ｕ３２は、分割ブロックパターンデータ１２８ａを図３
２の第６データファイル４６に格納し、パターンデータ
１２９ａを第２パターンデータとして第５データファイ
ル４５に格納する。

【０１９６】［ブロック分割による補正処理を行う第２
の場合］次に、分割ブロックパターンを用いてブロック
分割により補正処理を行う第２の場合を、図３７のフロ
ーチャート及び図３８〜図４１に従って説明する。尚、
図３７のフローチャートに示す処理において、図３２の
フローチャートと同じ処理については同じ符号を付し、
その詳細な説明を省略する。

【０１９７】図３７のステップＳ７１〜Ｓ７６は、図２
のステップＳ１２，Ｓ１４〜Ｓ１８にそれぞれ対応して
いる。また、図３７のステップＳ７７，Ｓ８０，Ｓ８１
は、図２のステップＳ１９のサブステップであり、第２
補正処理である。

【０１９８】（１）第１補正処理後の形状が図３８
（ａ）に示す三角形形状の場合。 先ず、ＣＰＵ３２は、図３２のステップＳ７１〜Ｓ７４
の各処理を実行し、図３８（ａ）に示す第１パターン１
３１を生成する。

【０１９９】次に、ステップＳ７５において、ＣＰＵ３
２は、第１パターン１３１の形状に類似した図６中のブ
ロック番号１０の分割ブロックＢＰを選択する。そし
て、図３８（ｂ）に示すように、ＣＰＵ３２は、選択し
た分割ブロックＢＰ（１０）の透過孔パターンを拡大し
た拡大パターン１３２を生成する。

【０２００】ＣＰＵ３２は、拡大パターン１３２と第１
パターン１３１を形状比較し、右端の座標値の差を第１
相違値Δｘ１として求める。次に、ステップＳ７６にお
いて、ＣＰＵ３２は、第１相違値Δｘ１と誤差範囲値を
比較する。この時、相違値Δｘ１は誤差範囲値より大き
いので、ＣＰＵ３２はステップＳ７６からステップＳ８
２に移る。

【０２０１】ステップＳ８２において、ＣＰＵ３２は、
図３８（ｃ）に示すように、第１パターン１３１と分割
ブロックＢＰ（１０）の透過孔形状のパターン１３３の
相違値Δｘ２が誤差範囲値を越えた位置で第１パターン
１３１を分割する。即ち、ＣＰＵ３２は、分割ブロック
パターンＢＰ（１０）の透過孔形状に基づくパターン１
３３の大きさを、そのパターン１３３と第１パターン１
３１との相違値が誤差範囲値を越えないように決定す
る。

【０２０２】次に、ステップＳ８３において、ＣＰＵ３
２は、ステップＳ８２において分割したパターン１３３
のための分割ブロックパターンデータ１３３ａ（図３９
参照）を生成する。ＣＰＵ３２は、分割ブロックパター
ンデータ１３３ａを図３７の第６データファイル４６に
格納する。

【０２０３】尚、図３８（ｃ）に示すように、ＣＰＵ３
２は、上記のように第１パターン１３１を分割する際に
矩形パターン１３４を用いて分割する。ＣＰＵ３２は、
この矩形パターン１３４のパターンデータ１３４ａ（図
３９参照）を第２パターンデータとして図３７の第５デ
ータファイル４５に格納する。

【０２０４】（２）第１補正処理後の形状が図４０
（ａ）に示す四角形形状の場合。 先ず、ＣＰＵ３２は、図３２のステップＳ７１〜Ｓ７４
の各処理を実行し、図４０（ａ）に示す第１パターン１
３５を生成する。

【０２０５】次に、ステップＳ７５において、ＣＰＵ３
２は、第１パターン１３５の形状に類似した図６中のブ
ロック番号１４の分割ブロックＢＰを選択する。そし
て、図４０（ｂ）に示すように、ＣＰＵ３２は、選択し
た分割ブロックＢＰ（１４）の透過孔パターンを拡大し
た拡大パターン１３６を生成する。

【０２０６】ＣＰＵ３２は、拡大パターン１３６と第１
パターン１３５を形状比較し、右端の座標値の差を第１
相違値Δｙ１として求める。次に、ステップＳ７６にお
いて、ＣＰＵ３２は、第１相違値Δｙ１と誤差範囲値を
比較する。この時、相違値Δｙ１は誤差範囲値より大き
いので、ＣＰＵ３２はステップＳ７６からステップＳ８
２に移る。尚、第１パターン１３５を分割ブロックパタ
ーンＢＰ（１４）の大きさに縮小した縮小パターン１３
７においても、相違値が誤差範囲値以上であるため、図
３２に示す補正処理においてはＣＰＵ３２は補正不可能
と判定する。

【０２０７】ステップＳ８２において、ＣＰＵ３２は、
図４０（ｃ）に示すように、第１パターン１３５と分割
ブロックＢＰ（１４）の透過孔形状のパターン１３８の
相違値が誤差範囲値を越えた位置で第１パターン１３５
を分割する（図４０（ｄ）参照）。即ち、ＣＰＵ３２
は、分割ブロックパターンＢＰ（１４）の透過孔形状に
基づく縮小パターン１３８の大きさを、その縮小パター
ン１３８と第１パターン１３５との相違値が誤差範囲値
を越えないように決定する。次に、ステップＳ８３にお
いて、ＣＰＵ３２は、ステップＳ８２において分割した
パターン１３８のための分割ブロックパターン１３８ａ
を生成する。そして、ＣＰＵ３２は、分割ブロックパタ
ーンデータ１３８ａを図３７の第６データファイル４６
に格納する。

【０２０８】以上記述したように、本実施の形態によれ
ば、以下の効果を奏する。 （１）設計パターンが表現不可形状である場合に、その
表現不可形状を表現可能形状に補正可能か否かを判定す
る。その判定結果に基づいて、補正可能と判定した場合
に表現不可形状を表現可能形状に補正した後、その表現
可能形状を分割ブロックパターンの形状に補正可能か否
かを判定する。その判定結果に基づいて、補正可能と判
定した場合に表現可能形状を分割ブロックパターンの形
状に補正するようにした。これにより、露光データのデ
ータ量が少なくなるため、露光装置におけるショット時
間を短くすることができる。

【０２０９】（２）表現不可形状と表現可能形状とを形
状比較して変化量を求め、その変化量と予め設定された
誤差範囲値を比較して表現不可形状を表現可能形状に補
正可能か否かを判定するようにした。その結果、判定の
ための時間を短縮することができ、露光データの作成に
要する時間を短くすることができる。

【０２１０】（３）分割ブロックパターンの形状の大き
さを表現可能形状の大きさに対応させて相違値を求め、
その相違値と予め設定された誤差範囲値を比較して表現
可能形状を分割ブロックパターンの形状に補正可能か否
かを判定するようにした。その結果、判定のための時間
を短縮することができ、露光データの作成に要する時間
を短くすることができる。

【０２１１】（４）表現可能形状を分割ブロックパター
ンの形状に補正不可能と判定した場合に、表現可能形状
を分割ブロックパターンの形状の大きさに縮小した縮小
パターンを作成し、その縮小パターンが分割ブロックパ
ターンの形状に補正可能か否かを判定する。そして、そ
の判定結果に基づいて、補正可能と判定した場合に、表
現可能形状を縮小パターンの形状で分割した分割ブロッ
クパターンデータを作成するようにした。その結果、多
くの種類のパターンから分割ブロックパターンデータを
生成することができるため、露光データのデータ量が少
なくなり、露光装置におけるショット時間を短くするこ
とができる。

【０２１２】（５）表現可能形状を分割ブロックパター
ンの形状に補正不可能と判定した場合に、表現可能形状
と分割ブロックパターンの形状の相違値が誤差範囲値以
内となる分割用の縮小パターンを作成し、その縮小パタ
ーンにより表現可能形状を分割した分割ブロックパター
ンデータを作成するようにした。その結果、多くの種類
のパターンから分割ブロックパターンデータを生成する
ことができるため、露光データのデータ量が少なくな
り、露光装置におけるショット時間を短くすることがで
きる。

【０２１３】尚、本発明は前記実施形態の他、以下の態
様で実施してもよい。 ○上記実施の形態では、四角形形状のパターンの一部を
分割した直角三角形を生成し、その三角形が補正可能か
否かを判定するようにしたが、三角形形状のパターンを
複数の直角三角形に分割した後、その複数の直角三角形
が補正可能か否か判断するようにしてもよい。例えば、
図４２に示す三角形形状のパターン１４１〜１４４は、
上記各処理では表現可能形状に補正不可能と判定され
る。しかしながら、各パターン１４１〜１４４において
点線にてそれぞれ直角三角形１４１ａ，１４１ｂ〜１４
４ａ，１４４ｂに分割する。これらの直角三角形１４１
ａ〜１４４ｂは表現可能形状である。これにより、更に
各直角三角形１４１ａ〜１４４ｂが分割ブロックパター
ンに補正可能であり、露光データのデータ量を少なくす
ると共に露光時間を短縮することができる。

【０２１４】また、図１４（ａ）の三角形形状の第１パ
ターン８３は、図の点線から辺Ａを含む三角形形状のパ
ターンと、辺Ｂを含む直角三角形パターンに分割する。
これにより、辺Ｂを含むパターンは表現可能形状である
ため更に分割ブロックパターンに補正が可能である。こ
れにより、露光データのデータ量を少なくすると共に露
光時間を短縮することができる。

【０２１５】○上記実施形態では、四角形をその２つの
斜辺を含む三角形状のパターンに分割した時に、２つの
パターンをともの補正可能な場合において分割ブロック
パターンの形状に補正するようにしたが、一方のパター
ンのみに対して補正判定を行うようにしても良い。

【０２１６】○上記実施の形態では、出力する分割ブロ
ックパターンデータの領域に格納するブロック種類を
「分割」としたが、分割ブロックパターン形状と一致し
ている場合には繰り返しブロックパターンデータ形式と
して出力しても良い。これにより、露光装置におけるシ
ョット分割の際にショット分割の判定及び計算が不要と
なり、露光時間の短縮が図られる。

【０２１７】○上記実施形態では、表現不可形状に対す
るショット分割処理を露光データ作成装置にて行うよう
にしたが、露光装置にて行うようにするべく露光データ
を作成する処理構成としても良い。逆に、表現可能形状
に対するショット分割を露光装置にて行うようにするべ
く露光データを作成したが、露光データ作成装置３１に
て表現可能形状のショット分割を行い、その処理後のデ
ータを露光データに変換して露光装置に供給する構成と
してもよい。

【０２１８】○上記実施形態では、露光媒体としてウェ
ハ２３にＬＳＩのレイアウトパターンを露光する場合に
ついて説明したが、露光媒体としてはウェハ以外の物で
もよく、例えば、ＬＣＤやＰＤＰ等に用いられる基板に
パターンを露光する場合に用いてもよい。

【０２１９】○上記実施形態のプログラムを記録した記
録媒体は、コンピュータソフトウエアを記録できるもの
ならどのようなものでもよい。具体的には、半導体メモ
リ、フロッピ−デイスク（ＦＤ）、ハードディスク（Ｈ
Ｄ）、光ディスク（ＣＤ，ＤＶＤ）、光磁気ディスク
（ＭＯ，ＭＤ）、相変化ディスク（ＰＤ）、磁気テープ
等が含まれる。

【０２２０】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１〜１０に
記載の発明によれば、ショット数を少なくして露光時間
の短縮を図ることの可能な露光データ作成方法を提供す
ることができる。

【０２２１】請求項１１〜１６に記載の発明によれば、
ショット数を少なくして露光時間の短縮を図ることの可
能な露光データ作成装置を提供することができる。請求
項１７に記載の発明によれば、ショット数を少なくして
露光時間の短縮を図ることの可能なプログラムを記録し
た記録媒体を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 露光データ作成処理の概略フローチャート。

【図２】 補正処理の詳細なフローチャート。

【図３】 露光データ作成装置の概略構成図。

【図４】 （ａ）（ｂ）は、誤差範囲値を示す説明図。

【図５】 データ形式を示す説明図。

【図６】 登録されたブロックの形状を示す説明図。

【図７】 （ａ）〜（ｃ）は、三角形に対する補正処理
の説明図。

【図８】 図７（ｃ）のパターンデータを示す説明図。

【図９】 （ａ）〜（ｄ）は、四角形に対する補正処理
の説明図。

【図１０】 図９（ｄ）のパターンデータを示す説明
図。

【図１１】 三角形のパターンに対する補正処理のフロ
ーチャート。

【図１２】 （ａ）〜（ｄ）は、三角形に対する補正処
理の説明図。

【図１３】 図１２（ｄ）のパターンデータを示す説明
図。

【図１４】 （ａ），（ｂ）は、三角形に対する補正処
理の説明図。

【図１５】 （ａ）〜（ｄ）は、三角形に対する補正処
理の説明図。

【図１６】 図１５（ｄ）のパターンデータを示す説明
図。

【図１７】 四角形のパターンに対する補正処理のフロ
ーチャート。

【図１８】 （ａ）〜（ｆ）は、四角形に対する補正処
理の説明図。

【図１９】 図１８（ｆ）のパターンデータを示す説明
図。

【図２０】 （ａ）〜（ｄ）は、四角形に対する補正処
理の説明図。

【図２１】 （ａ）〜（ｄ）は、四角形に対する補正処
理の説明図。

【図２２】 四角形のパターンに対する補正処理のフロ
ーチャート。

【図２３】 （ａ）〜（ｄ）は、四角形に対する補正処
理の説明図。

【図２４】 図２４（ｄ）のパターンデータを示す説明
図。

【図２５】 （ａ）〜（ｄ）は、四角形に対する補正処
理の説明図。

【図２６】 図２５（ｄ）のパターンデータを示す説明
図。

【図２７】 四角形のパターンに対する補正処理のフロ
ーチャート。

【図２８】 （ａ）〜（ｄ）は、四角形に対する補正処
理の説明図。

【図２９】 図２８（ｄ）のパターンデータを示す説明
図。

【図３０】 （ａ）〜（ｃ）は、四角形に対する補正処
理の説明図。

【図３１】 （ａ），（ｂ）は、四角形に対する補正処
理の説明図。

【図３２】 分割ブロックへの補正処理を示すフローチ
ャート。

【図３３】 （ａ）〜（ｄ）は、分割ブロックへの補正
処理の説明図。

【図３４】 図３３（ｄ）のパターンデータを示す説明
図。

【図３５】 （ａ）〜（ｄ）は、分割ブロックへの補正
処理の説明図。

【図３６】 図３５（ｄ）のパターンデータを示す説明
図。

【図３７】 分割ブロックへの補正処理を示すフローチ
ャート。

【図３８】 （ａ）〜（ｃ）は、分割ブロックへの補正
処理の説明図。

【図３９】 図３８（ｃ）のパターンデータを示す説明
図。

【図４０】 （ａ）〜（ｄ）は、分割ブロックへの補正
処理の説明図。

【図４１】 図４０（ｄ）のパターンデータを示す説明
図。

【図４２】三角形のパターンを表現可能形状に分割する
説明図。

【図４３】 ブロック露光装置の概略構成図。

【図４４】 ステンシルマスクの平面図。

【図４５】 従来の露光データ作成処理を示す説明図。

【図４６】 表現可能パターンの形状を示す説明図。

【符号の説明】

Ｓ１４ 第１判定ステップとしての変化量計算処理 Ｓ１５ 第１判定ステップとしての第１判定処理 Ｓ１６ 第１補正ステップとしての第１補正処理 Ｓ１７ 第２判定ステップとしての相違値計算処理 Ｓ１８ 第２判定ステップとしての第２判定処理 Ｓ１９ 第２補正ステップとしての第２補正処理

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 露光媒体に半導体集積回路を作成するた
   めの設計パターンを予め形状が設定された分割ブロック
   パターンを搭載したマスクを用いて露光するブロック露
   光のための露光データを作成する露光データ作成方法で
   あって、 前記設計パターンが露光データを作成する際にパターン
   を短冊状の複数の矩形パターンに分割するショット分割
   を必要とする表現不可形状である場合に、その表現不可
   形状を前記ショット分割が不要な表現可能形状に補正可
   能か否かを判定する第１判定ステップと、 前記第１判定ステップにおける判定結果に基づいて、補
   正可能と判定された場合に前記表現不可形状を表現可能
   形状に補正する第１補正ステップと、 前記補正された表現可能形状を分割ブロックパターンの
   形状に補正可能か否かを判定する第２判定ステップと、 前記第２判定ステップにおける判定結果に基づいて、補
   正可能と判定された場合に前記表現可能形状を分割ブロ
   ックパターンの形状に補正する第２補正ステップと、 前記分割ブロックパターンのデータに基づいて露光デー
   タを作成する露光データ作成ステップとを含む露光デー
   タ作成方法。
2. 【請求項２】 前記第１判定ステップは、 前記表現不可形状と前記表現可能形状とを形状比較し、
   前記表現不可形状を前記表現可能形状に変更するのに必
   要とする変化量を計算するステップと、 前記変化量と予め設定された誤差範囲値を比較し、その
   比較結果に基づいて前記表現不可形状を前記表現可能形
   状に補正可能か否かを判定するステップとを含む請求項
   １に記載の露光データ作成方法。
3. 【請求項３】 前記第２判定ステップは、 前記分割ブロックパターンの形状の大きさを前記表現可
   能形状の大きさに対応させ、その対応する大きさの形状
   と前記表現可能形状とを比較し、前記表現可能形状と前
   記分割ブロックパターンの形状の間の相違値を計算する
   ステップと、 前記相違値と予め設定された誤差範囲値を比較し、その
   比較結果に基づいて前記表現可能形状を前記分割ブロッ
   クパターンの形状に補正可能か否かを判定するステップ
   とを含む請求項１又は２に記載の露光データ作成方法。
4. 【請求項４】 前記設計パターンの形状は三角形形状で
   あり、 前記第１判定ステップにおいて、前記三角形形状の設計
   パターンを直角三角形の表現可能形状に補正可能か否か
   を判定し、 前記第２判定ステップにおいて、前記直角三角形の表現
   可能形状を、直角三角形の分割ブロックパターンの形状
   に補正可能か否かを判定するようにした請求項１乃至３
   のうちの何れか１項に記載の露光データ作成方法。
5. 【請求項５】 前記設計パターンの形状は四角形形状で
   あり、 前記第１判定ステップにおいて、前記四角形形状の設計
   パターンを平行四辺形の表現可能形状に補正可能か否か
   を判定し、 前記第２判定ステップにおいて、前記平行四辺形の表現
   可能形状を、平行四辺形の分割ブロックパターンの形状
   に補正可能か否かを判定するようにした請求項１乃至３
   のうちの何れか１項に記載の露光データ作成方法。
6. 【請求項６】 前記設計パターンの形状は四角形形状で
   あり、 前記第１判定ステップにおいて、前記四角形形状の設計
   パターンを平行四辺形の表現可能形状に補正可能か否か
   を判定し、 前記第２判定ステップにおいて、前記平行四辺形の表現
   可能形状を、直角三角形の分割ブロックパターンの形状
   に補正可能か否かを判定するようにした請求項１乃至３
   のうちの何れか１項に記載の露光データ作成方法。
7. 【請求項７】 前記設計パターンの形状は四角形形状で
   あり、 前記第１判定ステップにおいて、前記四角形形状の設計
   パターンを台形の表現可能形状に補正可能か否かを判定
   し、 前記第２判定ステップにおいて、前記台形の表現可能形
   状を、直角三角形の分割ブロックパターンの形状に補正
   可能か否かを判定するようにした請求項１乃至３のうち
   の何れか１項に記載の露光データ作成方法。
8. 【請求項８】 前記第２補正ステップは、前記表現可能
   形状を前記第２判定ステップにおいて前記表現可能形状
   の大きさに前記分割ブロックパターンの大きさを対応さ
   せた形状に変更し、その変更後の形状を前記分割ブロッ
   クパターンを用いて露光するための分割パターンデータ
   を作成するようにした請求項１乃至７のうちの何れか１
   項に記載の露光データ作成方法。
9. 【請求項９】 前記第２判定ステップの判定結果に基づ
   いて、補正不可能と判定された場合に、前記表現可能形
   状を前記分割ブロックパターンの形状の大きさに縮小し
   た縮小パターンを作成し、その縮小パターンが前記分割
   ブロックパターンの形状に補正可能か否かを判定し、そ
   の判定結果に基づいて、補正可能と判定された場合に、
   前記表現可能形状を前記分割ブロックパターンの形状で
   分割した分割ブロックパターンデータを作成するステッ
   プを含む請求項１乃至８のうちの何れか１項に記載の露
   光データ作成方法。
10. 【請求項１０】 前記第２判定ステップの判定結果に基
    づいて、補正不可能と判定された場合に、前記表現可能
    形状と前記分割ブロックパターンの形状の相違値が前記
    誤差範囲値以内となる分割用の縮小パターンを作成し、
    その縮小パターンにより前記表現可能形状を分割した分
    割ブロックパターンデータを作成するステップを含む請
    求項１乃至８のうちの何れか１項に記載の露光データ作
    成方法。
11. 【請求項１１】 露光媒体に半導体集積回路を作成する
    ための設計パターンを予め形状が設定された分割ブロッ
    クパターンを搭載したマスクを用いて露光するブロック
    露光のための露光データを作成する露光データ作成装置
    であって、 前記設計パターンが露光データを作成する際にパターン
    を短冊状の複数の矩形パターンに分割するショット分割
    を必要とする表現不可形状である場合に、その表現不可
    形状を前記ショット分割が不要な表現可能形状に補正可
    能か否かを判定する第１判定手段と、 前記第１判定手段における判定結果に基づいて、補正可
    能と判定された場合に前記表現不可形状を表現可能形状
    に補正する第１補正手段と、 前記補正された表現可能形状を分割ブロックパターンの
    形状に補正可能か否かを判定する第２判定手段と、 前記第２判定手段における判定結果に基づいて、補正可
    能と判定された場合に前記表現可能形状を分割ブロック
    パターンの形状に補正する第２補正手段と、 前記分割ブロックパターンのデータに基づいて露光デー
    タを作成する露光データ作成手段とを備えた露光データ
    作成装置。
12. 【請求項１２】 前記第１判定手段は、 前記表現不可形状と前記表現可能形状とを形状比較し、
    前記表現不可形状を前記表現可能形状に変更するのに必
    要とする変化量を計算する手段と、 前記変化量と予め設定された誤差範囲値を比較し、その
    比較結果に基づいて前記表現不可形状を前記表現可能形
    状に補正可能か否かを判定する手段とを備えた請求項１
    １に記載の露光データ作成装置。
13. 【請求項１３】 前記第２判定手段は、 前記分割ブロックパターンの形状の大きさを前記表現可
    能形状の大きさに対応させ、その対応する大きさの形状
    と前記表現可能形状とを比較し、前記表現可能形状と前
    記分割ブロックパターンの形状の間の相違値を計算する
    手段と、 前記相違値と予め設定された誤差範囲値を比較し、その
    比較結果に基づいて前記表現可能形状を前記分割ブロッ
    クパターンの形状に補正可能か否かを判定する手段とを
    備えた請求項１１又は１２に記載の露光データ作成装
    置。
14. 【請求項１４】 前記第２補正手段は、前記表現可能形
    状を前記第２判定ステップにおいて前記表現可能形状の
    大きさに前記分割ブロックパターンの大きさを対応させ
    た形状に変更し、その変更後の形状を前記分割ブロック
    パターンを用いて露光するための分割パターンデータを
    作成するようにした請求項１１乃至１３のうちの何れか
    １項に記載の露光データ作成装置。
15. 【請求項１５】 前記第２判定手段の判定結果に基づい
    て、補正不可能と判定された場合に、前記表現可能形状
    を前記分割ブロックパターンの形状の大きさに縮小した
    縮小パターンを作成し、その縮小パターンが前記分割ブ
    ロックパターンの形状に補正可能か否かを判定し、その
    判定結果に基づいて、補正可能と判定された場合に、前
    記表現可能形状を前記分割ブロックパターンの形状で分
    割した分割ブロックパターンデータを作成する手段を備
    えた請求項１１乃至１４のうちの何れか１項に記載の露
    光データ作成装置。
16. 【請求項１６】 前記第２判定手段の判定結果に基づい
    て、補正不可能と判定された場合に、前記表現可能形状
    と前記分割ブロックパターンの形状の相違値が前記誤差
    範囲値以内となる分割用の縮小パターンを作成し、その
    縮小パターンにより前記表現可能形状を分割した分割ブ
    ロックパターンデータを作成する手段を備えた請求項１
    １乃至１４のうちの何れか１項に記載の露光データ作成
    装置。
17. 【請求項１７】 請求項１乃至１０のうちのいずれか１
    項に記載のステップよりなるプログラムを記録した記憶
    媒体。