JPH1125551A - ライブラリ装置用カートリッジ移送ロボット - Google Patents

ライブラリ装置用カートリッジ移送ロボット

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JPH1125551A
JPH1125551A JP9177037A JP17703797A JPH1125551A JP H1125551 A JPH1125551 A JP H1125551A JP 9177037 A JP9177037 A JP 9177037A JP 17703797 A JP17703797 A JP 17703797A JP H1125551 A JPH1125551 A JP H1125551A
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信彦 本山
Hiroshi Shibuya
寛 渋谷
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桂一 斉藤
Daisuke Hori
大輔 堀
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    • G11B15/00Driving, starting or stopping record carriers of filamentary or web form; Driving both such record carriers and heads; Guiding such record carriers or containers therefor; Control thereof; Control of operating function
    • G11B15/675Guiding containers, e.g. loading, ejecting cassettes
    • G11B15/68Automatic cassette changing arrangements; automatic tape changing arrangements
    • G11B15/682Automatic cassette changing arrangements; automatic tape changing arrangements with fixed magazines having fixed cassette storage cells, e.g. in racks
    • G11B15/6835Automatic cassette changing arrangements; automatic tape changing arrangements with fixed magazines having fixed cassette storage cells, e.g. in racks the cassettes being transferred to a fixed recorder or player using a moving carriage
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B17/00Guiding record carriers not specifically of filamentary or web form, or of supports therefor
    • G11B17/22Guiding record carriers not specifically of filamentary or web form, or of supports therefor from random access magazine of disc records
    • G11B17/225Guiding record carriers not specifically of filamentary or web form, or of supports therefor from random access magazine of disc records wherein the disks are transferred from a fixed magazine to a fixed playing unit using a moving carriage

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数種類のカートリッジ(媒体)を確実に移
送できるようにして、利用者からの多様なニーズに応え
ることができるようにする。 【解決手段】 ライブラリ装置内で複数種類のカートリ
ッジ10を取り扱う場合に、ハンド機構7dにより把持
された状態でピッカ部7gに保持されるカートリッジ1
0の種類を識別するための種類識別機構(アクチュエー
タ36およびフォトセンサ37)を、ピッカ部7gにそ
なえる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】(目次) 発明の属する技術分野 従来の技術 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段 発明の実施の形態 〔1〕ライブラリ装置の全体構成の説明(図2) 〔2〕アクセッサの全体構成の説明(図3) 〔3〕ハンドアセンブリの説明(図4,図5) 〔4〕ハンド機構の説明(図6,図7) 〔5〕チルト機構の説明(図8〜図11) 〔6〕ピッカ部の説明(図1,図12〜図25) 〔7〕その他 発明の効果
【0002】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気テープカート
リッジ,光ディスクカートリッジ等のカートリッジを多
数格納するライブラリ装置内において、そのカートリッ
ジを、収納棚やカートリッジ投入/排出機構やドライブ
ユニットの間で移送するためのカートリッジ移送ロボッ
トに関する。
【0003】
【従来の技術】一般に、ライブラリ装置は、大容量外部
記憶装置として機能するもので、その筐体(Locker)内
の収納棚に、例えば磁気テープを記憶媒体として収容す
るカートリッジを数千巻保管し、各カートリッジ内の記
憶媒体に対して記録データの書込/読出等のアクセスが
自動で行なっている。
【0004】また、ライブラリ装置には、前述のように
カートリッジを格納する収納棚(ストレージユニット)
がそなえられるほか、カートリッジを外部から装置内へ
投入もしくは装置内から外部へ排出するための機構〔例
えば、CAS(Cartridge Access Station),DEE(Di
rect Entry/Exit),FES(Forced Exit Station)〕
や、カートリッジ内の記憶媒体(磁気テープ)に対して
記録データの書込/読出等のアクセスを行なう複数の磁
気テープドライブユニット(以下、MTUと略記)や、
これらの収納棚やカートリッジ投入/排出機構やMTU
の間でカートリッジを移送するカートリッジ移送ロボッ
ト〔自動搬送ロボット;以下、アクセッサ(ACC)と
いう〕がそなえられている。
【0005】このようなライブラリ装置では、上位装置
等から、あるカートリッジに対するアクセス要求を受け
ると、アクセッサが、収納棚へ移動して対象カートリッ
ジを探し、そのカートリッジを、ハンド機構により把持
した状態でMTUまで移送してからそのMTUに挿入す
る。これにより、MTUにおいて、カートリッジ内の記
憶媒体(磁気テープ)に対する処理が行なわれる。処理
を終了してMTUから排出されたカートリッジは、再び
アクセッサのハンド機構により把持され、このアクセッ
サにより収納棚まで移送されて所定位置に収納される。
【0006】そして、アクセッサによる移送対象となる
カートリッジは、通常、1種類のみであり、ライブラリ
装置では、その1種類のカートリッジ(媒体)によりデ
ータの大容量バックアップを行なっている。従って、必
然的に、アクセッサも、1種類のカートリッジのみの搬
送機能を有していれば十分である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ライブラリ
装置は大容量のデータをバックアップするものであるた
め、利用者が1種類の媒体だけでなく2種類以上の媒体
を使用してデータを保管することを要望することが考え
られる。しかし、前述した通り、従来、ライブラリ装置
内では1種類の媒体のみを取り扱う構成となっているの
で、そのような要望に応えることはできない。
【0008】また、媒体の種類が異なれば、当然、媒体
の大きさ(外形寸法や形状)も異なるため、異なる大き
さの媒体を確実に収納棚やMTUへ挿入するためには、
アクセッサが、各種媒体を基準となる位置に常にリセッ
トできるようにしなければならない。従って、単に、ア
クセッサ(自動搬送ロボット)が2種類以上の媒体を搬
送できるように構成されているだけでは、各種媒体を、
その種類に対応した収納棚やMTUへ確実に挿入するこ
とはできない。
【0009】本発明は、このような課題に鑑み創案され
たもので、複数種類のカートリッジ(媒体)を確実に移
送できるようにして、利用者からの多様なニーズに応え
ることのできる、ライブラリ装置用カートリッジ移送ロ
ボットを提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のライブラリ装置用カートリッジ移送ロボッ
ト(請求項1)は、少なくとも、記憶媒体を収容するカ
ートリッジを格納する収納棚とカートリッジを投入/排
出するためのカートリッジ投入/排出機構とカートリッ
ジ内の記憶媒体に対するアクセスを行なうドライブユニ
ットとを有するライブラリ装置内においてカートリッジ
を移送すべく、カートリッジを把持して挿抜するハンド
機構を含むピッカ部と、このピッカ部を所定位置に移動
させるための移動機構とをそなえてなるものであって、
ライブラリ装置内で複数種類のカートリッジを取り扱う
場合に、ハンド機構により把持された状態でピッカ部に
保持されるカートリッジの種類を識別するための種類識
別機構を、ピッカ部にそなえたことを特徴としている。
【0011】上述した本発明のライブラリ装置用カート
リッジ移送ロボットでは、種類識別機構により、ピッカ
部に保持されるカートリッジの種類を識別することがで
きるので、その識別結果に応じた処理(種類に応じた収
納棚やドライブユニットへのカートリッジ移送・挿入処
理等)を確実に行なうことができ、一つのライブラリ装
置内で複数種類のカートリッジを取り扱うことが可能に
なる。
【0012】なお、ハンド機構により把持されてピッカ
部内へ導かれるカートリッジをその両側から保持しなが
ら案内する左右一対のガイド部材をそなえ、これらの左
右一対のガイド部材の間隔を、複数種類のカートリッジ
のうちの最も大きなものよりも僅かに大きく設定すると
ともに、種類識別機構を、ピッカ部に保持されるカート
リッジの一側面の凹凸に応じて移動するアクチュエータ
と、このアクチュエータの移動量を検知する検知部と、
この検知部により検知されたアクチュエータの移動量に
基づいてカートリッジの種類を識別する識別部とから構
成してもよい(請求項2)。
【0013】上述の構成により、各種カートリッジは、
いずれも左右一対のガイド部材に案内されながら、ハン
ド機構によってピッカ部内へ導かれる。また、アクチュ
エータは、ピッカ部内へ引き込まれたカートリッジの一
側面の凹凸(外形寸法)に応じて移動(開閉)する。そ
して、本発明では、その移動量がカートリッジの外形寸
法(カートリッジの種類)に応じて変化することを利用
し、検知部により検知されたアクチュエータの移動量に
基づいて、識別部によりカートリッジの種類が識別され
る。
【0014】このとき、上述したアクチュエータを、カ
ートリッジの一側面に当接しながらカートリッジの移動
面と直交する軸まわりに回転するローラと、このローラ
を枢着されるとともにピッカ部に対してカートリッジの
移動面と直交する軸まわりに揺動可能に取り付けられカ
ートリッジの一側面の凹凸に応じて揺動するアームと、
ローラをカートリッジの一側面に押圧するようにアーム
を付勢するバネと、アームから突設されアームの揺動動
作に伴って移動するフラグとから構成し、検知部を、フ
ラグの移動に伴ってこのフラグにより遮光されるフォト
センサから構成し、識別部が、フォトセンサからの遮光
状態情報に基づいてカートリッジの種類を識別するよう
に構成してもよい(請求項3)。
【0015】上述の構成により、ハンド機構によってカ
ートリッジがピッカ部内へ引き込まれると、ローラは、
回転してカートリッジの移動を許容しながら、バネの付
勢力によりカートリッジの一側面に当接し、その凹凸に
応じてアームを揺動させる。このアームの揺動動作に同
期してフラグが移動し、このフラグの移動量が、フォト
センサにより遮光状態情報として検知され、フォトセン
サからの遮光状態情報に基づいて、識別部によりカート
リッジの種類が識別される。
【0016】また、ハンド機構を、カートリッジをピッ
カ部内へ引き込んだ状態でカートリッジを掴み直す動作
を行なうように制御し、このハンド機構によるカートリ
ッジの掴み直し動作時に、アクチュエータが、バネの付
勢力を受けカートリッジの他側面をガイド部材の一方に
押圧しカートリッジの他側面の位置をピッカ部内で常に
一定にする位置決め機構として機能するように構成して
もよい(請求項4)。
【0017】上述の構成により、ハンド機構は、カート
リッジをピッカ部内へ引き込んだ状態でカートリッジを
掴み直す動作を行なうが、このとき、カートリッジの一
側面に当接するローラが、バネの付勢力をアームを介し
て受け、カートリッジの他側面をその種類に関係なく常
に一方のガイド部材に押し付ける。これにより、各種カ
ートリッジを取り扱う場合であっても、ピッカ部内で、
カートリッジ他側面を一方のガイド部材に当接させた一
定の位置(基準位置)に各種カートリッジを常にリセッ
トすることができる。
【0018】さらに、ハンド機構によるカートリッジの
挿抜動作時にはカートリッジにより排動される一方でハ
ンド機構によるカートリッジの掴み直し動作時にはカー
トリッジを係止する係止部材を、左右一対のガイド部材
の少なくとも一方からカートリッジ側に突出するように
そなえてもよい(請求項5)。上述の構成により、前述
のごとくハンド機構によるカートリッジの掴み直し動作
を行なった場合に、万一、カートリッジがピッカ部内か
ら外方へ移動しても、カートリッジは係止部材に係止さ
れピッカ部内から外方へ落下するのを防止することがで
きる。
【0019】そして、ライブラリ装置内の所定位置に配
置された診断セルに対して診断カートリッジを出し入れ
することにより寸法精度を診断するための診断機能を有
している場合に、種類識別機構が、複数種類のカートリ
ッジのうちの一つとして診断カートリッジを識別するよ
うに構成してもよい(請求項6)。上述の構成により、
記憶媒体を収容するカートリッジのみならず、診断カー
トリッジについても、種類識別機構によって識別するこ
とが可能になり、ハンド機構が診断カートリッジを把持
している場合には、それに対応した動作を行なうことが
できる。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。 〔1〕ライブラリ装置の全体構成の説明 図2は本実施形態を適用されるライブラリ装置の全体構
成を模式的に示す斜視図であり、この図2に示すよう
に、本実施形態のライブラリ装置1は、多数の磁気テー
プカートリッジ10(図1,図15,図16等参照;記
憶媒体として磁気テープを収容するカートリッジ)を格
納し、各磁気テープカートリッジ10に対して記録デー
タの書込/読出等のアクセスを行なうものである。
【0021】そして、ライブラリ装置1は、例えば、左
右2つのアクセッサユニット(以下、それぞれLAU,
RAUと略記)2および3と、カートリッジストレージ
ユニット(以下、CSUと略記)4と、テープドライブ
マウントユニット(以下、TMUと略記)5と、アクセ
ッサエクステンドユニット(以下、AEUと略記)6と
を連結して構成されるとともに、これらのユニット2〜
6内を移動してカートリッジ10を移送するカートリッ
ジ移送ロボット(自動搬送ロボット;以下、単にアクセ
ッサという)7を左右に1台ずつ有している。
【0022】LAU2およびRAU3は、それぞれ、ア
クセッサ7のガレージとしての機能を果たすほか、RA
U3の表側(外部空間側、つまりオペレータが操作する
側)には、ライブラリ装置1に対しカートリッジ10の
投入もしくは排出を行なうための上下一対のカートリッ
ジ投入/排出機構〔CAS(Cartridge Access Statio
n)〕11,11と、不良カートリッジを強制的に外部へ
排出するためのカートリッジ強制排出機構〔FES(For
ced Exit Station)〕13とがそなえられている。ま
た、LAU2の表側にもFES13がそなえられてい
る。
【0023】CSU4は、多数のカートリッジ10を格
納するもので、本実施形態では、カートリッジ直接投入
/排出機構〔DEE(Direct Entry/Exit)〕12を上下
に5台ずつ合計10台有している。各DEE12は、ラ
イブラリ装置1に対して複数のカートリッジ10の同時
投入もしくは同時排出を行なうべく、複数のカートリッ
ジ10を収納したマガジン(図示省略)をセットされる
ものである。
【0024】また、LAU2,RAU3やCSU4の内
側壁面には、多数のカートリッジ10を収納すべく多数
のセルを有する収納棚(図示省略)が設けられ、CAS
11やDEE12から投入されたカートリッジ10は、
アクセッサ7により収納棚の所定セルに格納されるよう
になっている。TMU5は、複数(図2中では6台)の
磁気テープドライブユニット(ドライブユニット;以
下、MTUと略記)5aを有しており、各MTU5a
は、アクセッサ7により移送されてきたカートリッジ1
0内の磁気テープに対して記録データの書込/読出処理
を行なうものである。
【0025】AEU6は、アクセッサ7に作動用電力を
供給する電源(図示省略)や、アクセッサ7を制御する
ためのコントローラ(図示省略)を有している。これら
のユニット2〜6は、相互に連結され、その裏面側(前
述した表側の反対側)を壁面等に接触させるようにして
配置され、ライブラリ装置1を形成している。また、ラ
イブラリ装置1内には、ユニット2〜6を貫通するアク
セッサ7のための動作空間(アクセッサ通路)9が形成
され、この動作空間9の底面上には、各アクセッサ7が
動作空間9内を移動できるように各アクセッサ7を案内
するレール(Xレール)8が付設されている。
【0026】各アクセッサ7は、カートリッジ10を把
持して挿抜するハンド機構7d(図6および図7参照)
を有するほか、このハンド機構7dを含むハンドアセン
ブリ7aを所定位置に移動させるべく、Xレール8に沿
って水平方向に移動する台車7bと、この台車7b上で
ハンドアセンブリ7aを鉛直方向に案内する垂直コラム
7cとを移動機構として有している。本発明は、このア
クセッサ7に関するものであり、その構成や動作につい
ては、図1および図3〜図25を参照しながら後述す
る。
【0027】上述のごとく構成されたライブラリ装置1
では、CAS11やDEE12から投入されるカートリ
ッジ10は、アクセッサ7のハンド機構7dにより把持
されて取り出され、アクセッサ7により動作空間9を通
じて収納棚の所定セルに挿入・格納される。そして、収
納棚の各セルに格納された多数のカートリッジ10の中
から、上位装置により指定されたカートリッジ10が、
アクセッサ7のハンド機構7dにより把持されて取り出
され、アクセッサ7により動作空間9を通じてTMU5
のMTU5aまで移送されMTU5aに挿入される。
【0028】MTU5aにおいて、カートリッジ10に
収容された磁気テープに対する記録/再生処理が行なわ
れた後には、このMTU5a内のカートリッジ10が、
MTU5aから排出され、アクセッサ7のハンド機構7
dにより把持されて取り出され、アクセッサ7により動
作空間9を通じて収納棚の所定セルに挿入・格納され
る。
【0029】なお、収納棚に格納されているカートリッ
ジ10をライブラリ装置1の外部へ排出する際には、排
出対象のカートリッジ10は、アクセッサ7のハンド機
構7dにより把持されて収納棚から取り出され、アクセ
ッサ7により動作空間9を通じてCAS11またはDE
E12まで移送され、CAS11またはDEE12の所
定位置(セル)に挿入される。
【0030】〔2〕アクセッサの全体構成の説明 図3は本実施形態のアクセッサ7を示す正面図で、この
図3に示すように、アクセッサ7は、前述した通り、ハ
ンド機構7dを含むハンドアセンブリ7aや、台車7
b,垂直コラム7cから構成されている。ハンドアセン
ブリ7aは、支持ベース7e上に、チルトベース7fを
介して、ハンド機構7dを含むピッカ部7gを載置して
構成されている。その詳細構成については後述する。
【0031】ハンドアセンブリ7aを成す支持ベース7
eは、垂直コラム7cに沿って鉛直方向に形成されたガ
イドレール7hに案内されながら上下方向にスライド移
動できるように、垂直コラム7cに装着されている。ま
た、支持ベース7eは、ベルト(図示省略;垂直コラム
7cの上下位置に内蔵された上下一対のプーリに巻回さ
れたベルト)に連結されている。このベルトを昇降駆動
用モータ7iにより回動させることで、支持ベース7e
つまりはハンドアセンブリ7aの全体が、上下方向に移
動して所定高さに位置決めされるように構成されてい
る。
【0032】台車7bは、垂直コラム7cの下端側に一
体的に連結され、垂直コラム7cを支持しながらXレー
ル8に沿って走行するものである。この台車7bには、
Xレール8を上下から挟み込みながら台車7bの走行に
伴って回動する上下一対の走行ローラ7j,7jが、前
後2組枢着されている。また、Xレール8には、その長
手方向に沿って走行駆動用ラック(図示省略)が形成さ
れている。そして、台車7bには、そのラックに歯合し
て走行駆動用モータ7kにより回転駆動されるピニオン
(図示省略)がそなえられている。
【0033】さらに、アクセッサ7の動作空間9の上部
には、Xレール8と平行にトップレール14が敷設され
ている。そして、垂直コラム7cの上端側には、そのト
ップレール14を左右から挟み込みながら台車7bの走
行に伴って回動する左右一対のガイドローラ7m,7m
が、前後2組枢着されている。従って、走行駆動用モー
タ7kがピニオンを回転駆動することにより、ピニオン
と走行駆動用ラックとが歯み合いながら、アクセッサ7
の全体がXレール8に沿って移動する。また、昇降駆動
用モータ7iがベルトを回動させることにより、ハンド
アセンブリ7aの全体が垂直コラム7cに沿って上下方
向に移動する。このようにして、ハンドアセンブリ7a
(ハンド機構7dを含むピッカ部7g)が、Xレール8
と垂直コラム7cとを含む面内の所定位置に移動して位
置決めされる。
【0034】〔3〕ハンドアセンブリの説明 図4および図5はそれぞれ本実施形態のアクセッサ7に
おけるハンドアセンブリ7aを示す正面図および平面図
で、これらの図4および図5に示すように、本実施形態
のハンドアセンブリ7aにおいて、ハンド機構7dは、
ピッカ部7g(ピッカベース30)に対して前後進可能
に装着され、図12〜図16を参照しながら後述するご
とく、サーボモータ31およびタイミングベルト32に
よりLMガイド33に沿って前後方向(図5の左右方
向)にスライド駆動されるようになっている。
【0035】また、ピッカ部7g(ピッカベース30)
は、チルトベース7fに対して揺動可能に装着され、支
持ベース7e側にそなえられたチルトモータ26,板カ
ム27およびガイドローラ28とピッカ部7g側にそな
えられたカムフォロア29とから成る揺動駆動機構16
により、支軸(回転軸,シャフト)30aのまわりに揺
動駆動されるようになっている。上述したチルトベース
7fおよび揺動駆動機構16から成るチルト機構15の
詳細については、図8〜図11を参照しながら後述す
る。
【0036】さらに、チルトベース7fは、支持ベース
7eに対して旋回可能に装着され、旋回駆動用モータ2
0,プーリ20a,21,タイミングベルト22により
鉛直軸まわりに旋回駆動されるようになっている。つま
り、旋回駆動用モータ20は、駆動軸20bを鉛直方向
に配置した状態で支持ベース7e側に固設され、その駆
動軸20bに取り付けられたプーリ20aを鉛直軸まわ
りに回転駆動するものである。また、チルトベース7f
は、支持ベース7eに対して鉛直軸まわりに旋回可能に
支持され、プーリ21が、その旋回軸と同軸的にチルト
ベース7fに取り付けられている。そして、プーリ20
aとプーリ21とにはタイミングベルト22が巻回され
ている。
【0037】従って、旋回駆動用モータ20がプーリ2
0aを回転駆動することにより、モータ20の回転駆動
力が、タイミングベルト22およびプーリ21を介して
チルトベース7fに伝達され、このチルトベース7f
が、ピッカ部7gやハンド機構7dとともに鉛直軸まわ
りに旋回駆動される。また、プーリ21の下方には、ケ
ーブルケーシング23がそなえられるとともに、プーリ
21やチルトベース7fと一体的に回動する回動位置検
出用のスリット付き円板24が取り付けられている。
【0038】ケーブルケーシング23には、支持ベース
7e側とチルトベース7f側との間で各種信号の送受や
電力供給を行なうためのケーブル(図示省略)が、旋回
動を許容できるように、旋回軸に対して渦状に内蔵され
ている。スリット付き円板24は、支持ベース7e側に
固定されたフォトセンサ25の位置を通過するように配
置されており、この円板24に形成されたスリット(図
示省略)をフォトセンサ25にて検知することにより、
チルトベース7fの旋回位置、即ち、ピッカ部7g(ハ
ンド機構7d)がどの方向を向いているかを検知できる
ようになっている。
【0039】なお、図4および図5に示すように、ピッ
カ部7gには、前述したピッカベース30,サーボモー
タ31,タイミングベルト32およびLMガイド33の
他に、左右一対のガイド部材35a,35bと、ローラ
36a,アーム36b,コイルバネ36c,フラグ36
dおよび回転軸36eから成るカートリッジ識別用のア
クチュエータ36と、フォトセンサ37と、回転軸38
aのまわりに揺動可能で且つバネ38bにより付勢され
た爪(係止部材)38とがそなえられている。このピッ
カ部7gは本発明の特徴的な構成を含む部分であり、そ
の詳細については、図1および図12〜図25を参照し
ながら後述する。
【0040】また、図4および図5に示すように、ハン
ド機構7dには、上下一対のハンド部材40a,40b
と、ハンドベース41と、バネ42と、上下一対のカム
フォロア43a,43bと、カム44と、ハンド開閉駆
動用モータ(回転駆動機構)45と、リニアウェイ46
と、ラック51a付きのマウンタアーム51,ピニオン
52およびマウンタアーム駆動用モータから成るマウン
タ機構50と、CIP/CSPユニット55とがそなえ
られているが、これらの各部の詳細については、図6お
よび図7を参照しながら後述する。
【0041】〔4〕ハンド機構の説明 図6および図7はそれぞれ本実施形態のアクセッサ7に
おけるハンド機構7dを示す平面図および側面図で、こ
れらの図6および図7に示すように、本実施形態のハン
ド機構7dには、前述の通り、ハンド部材40a,40
b,ハンドベース41,バネ42,カムフォロア43
a,43b,カム44,ハンド開閉駆動用モータ45,
リニアウェイ46,マウンタ機構50およびCIP/C
SPユニット55がそなえられている。なお、図中、既
述の符号と同一の符号は同一もしくは略同一の部分を示
している。
【0042】上下一対のハンド部材40a,40bは、
カートリッジ10に上下から当接してこのカートリッジ
10を把持しうるものであり、これらのハンド部材40
a,40bは、左右一対のリニアウェイ46,46を介
して上下方向に摺動可能にハンドベース41に取り付け
られている。ハンド部材40a,40bの間にはバネ4
2が介設され、このバネ42によりハンド部材40a,
40bはカートリッジ10を把持する閉方向に付勢され
ている。
【0043】また、ハンド部材40a,40bには、そ
れぞれカムフォロア43a,43bが取り付けられてい
る。これら上下一対のカムフォロア43a,43bの相
互間にはカム44が配設されている。このカム44は、
バネ42の付勢力に対抗して上下一対のカムフォロア4
3a,43bの間隔を押し拡げ上下一対のハンド部材4
0a,40bを開放させる長径部と、各カムフォロア4
3a,43bとの間に隙間を空けた状態になる短径部
と、後述するロック溝44aとを有するように形成され
ている。
【0044】ロック溝44aは、上下一対のハンド部材
40a,40bによりカートリッジ10を把持した状態
で上下一対のハンド部材40a,40bをハンドベース
41に対して固定しうるロック機構として機能するもの
で、下側のカムフォロア43bを保持することによりカ
ートリッジ10を把持した状態で上下一対のハンド部材
40a,40bをハンドベース41に対して固定するも
のである。
【0045】そして、ハンド開閉駆動用モータ45は、
カムフォロア43a,43bの間に長径部を配置したハ
ンド開放位置と、カムフォロア43a,43bの間に短
径部を配置したカートリッジ把持位置と、ロック溝44
aによりカートリッジ10を把持した状態でハンド部材
40a,40bをハンドベース41に対して固定したロ
ック位置とのいずれかにカム44を配置させるべく、カ
ム44を回転駆動するものである。
【0046】また、ハンド機構7dには、カートリッジ
10に押圧力を作用させてカートリッジ10をMTU5
aに挿入させるマウンタ機構50がそなえられている。
本実施形態のマウンタ機構50は、マウンタアーム5
1,ピニオン52およびマウンタアーム駆動用モータ5
3から構成されている。ここで、マウンタアーム51
は、ハンド機構7dに把持されているカートリッジ10
の後端面に当接してカートリッジ10をMTU5aへ押
し込む方向に移動可能にそなえられている。ピニオン5
2は、マウンタアーム51に形成されたラック51aと
歯合するもので、モータ53により回転駆動され、マウ
ンタアーム51をカートリッジ押込み方向へ移動させる
ものである。
【0047】また、マウンタ機構50には、カートリッ
ジ10に所定負荷以上の押圧力が作用した場合に超過分
の押圧力を吸収しうるバッファ機構(図示省略)がそな
えられており、このバッファ機構は、例えば、ピニオン
52とモータ53の駆動軸(図示省略)との間に樹脂ベ
アリングもしくは樹脂スペーサを介設することにより構
成される。
【0048】一方、ハンド機構7dにはCIP/CSP
ユニット55がそなえられている。このCIP/CSP
ユニット55は、ハンド部材40a,40bの間にカー
トリッジ10が挿入されたことを検知するCIP(Cart
ridge In Picker,第1センサ;図示省略)と、このCI
Pによりカートリッジ10の挿入を検知した後にカート
リッジ10の後端面が所定位置に到達したことを検知す
るCSP(CartridgeSecured Position,第2センサ;
図示省略)とを有している。
【0049】これらのCIPやCSPは、それぞれ、フ
ォトセンサにより構成され、アクチュエータ55aによ
り駆動されるフラグ(図示省略)により遮光されること
で、カートリッジ10の挿入とカートリッジ10を確実
に保持した状態とを検知するようになっている。アクチ
ュエータ55aは、バネ55bにより前方向(図6の左
方向)へ押圧されており、カートリッジ10がハンド部
材40a,40bの間に挿入されてくると、カートリッ
ジ10の後端面と当接し(図15および図16参照)、
バネ55bの付勢力に対抗して押圧され、CIPおよび
CSPを順次作動させるようにフラグを駆動するように
なっている。
【0050】本実施形態のアクセッサ7のハンド機構7
dは、上述のごとく構成されるとともに、マウンタ機構
50やCIP/CSPユニット55を有しているので、
以下のような作用効果を得ることができる。モータ45
によりカム44をハンド開放位置に配置した場合、カム
44の長径部によりカムフォロア43a,43bの間隔
が押し拡げられてハンド部材40a,40bが開放され
る。カートリッジ10をハンド機構7dにより把持する
際には、開放状態のハンド部材40a,40bの相互間
にカートリッジ10を挿入してから、モータ45により
カム44をカートリッジ把持位置に配置することで、ハ
ンド部材40a,40bが、バネ42の付勢力を受けて
カートリッジ10に上下から当接し、カートリッジ10
を把持する。
【0051】このとき、カム44の短径部とカムフォロ
ア43a,43bとの間に隙間が形成されているので、
ハンド部材40a,40bは、カートリッジ10を把持
した状態で、その隙間(ガタ)分だけ上下に移動するこ
とができる。従って、MTU5aのカートリッジ挿入口
とハンド機構7dで把持されたカートリッジ10との間
に多少の位置ずれがあっても、その位置ずれは、前記隙
間分の上下移動により吸収され、その隙間をバッファと
して利用しながら、確実にカートリッジ10をMTU5
aに挿入することができる。
【0052】また、モータ45によりカム44をロック
位置に配置すれば、カム44のロック溝44aにカムフ
ォロア43bが保持され、ハンド部材40a,40b
が、カートリッジ10を把持した状態でハンドベース4
1に対して固定される。例えば、カートリッジ10を収
納棚から抜き取る際に収納棚でカートリッジ10を係止
している係止部材をカートリッジ10から外す際には、
カートリッジ10をハンド部材40a,40bにより把
持しながら微小量だけ持ち上げる必要がある。このよう
な場合、本実施形態では、上述のようにロック機構(カ
ム44のロック溝44a)によりカートリッジ10を把
持した状態でハンド部材40a,40bをハンドベース
41に対して固定すれば、ガタによってハンド機構40
a,40bが上下するのを抑止でき、カートリッジ10
を確実に持ち上げることが可能になる。
【0053】さらに、カートリッジ10をMTU5aに
挿入する際には、カートリッジ10をハンド機構7dに
よりMTU5aのカートリッジ挿入口まで搬送しハンド
部材40a,40bを開放してから、モータ53により
ピニオン52を回転駆動し、ピニオン52とこのピニオ
ン52に歯合するラック51aとによってマウンタアー
ム51をカートリッジ押込み方向へ移動させる。これに
より、カートリッジ10は、マウンタアーム51によっ
て押圧されながら、MTU5aの奥まで挿入される。こ
れにより、カートリッジ10をMTU5aの奥まで確実
に挿入することができる。
【0054】このとき、本実施形態では、カートリッジ
10に所定負荷以上の押圧力が作用すると、ピニオン5
2とモータ53側の駆動軸との間に設けたバッファ機構
によりその超過分の押圧力が吸収される。そのバッファ
機構では、ピニオン52とモータ53側の駆動軸との間
で、樹脂ベアリングや樹脂スペーサを介してスリップが
発生し、その時の摩擦力により超過分の押圧力が吸収さ
れ、過剰な押圧力がカートリッジ10に作用するのを防
止することができる。従って、カートリッジ10に対し
て過大な負荷が発生しても、カートリッジ10やその周
辺部のほか、マウンタ機構50やその駆動系(モータ5
3等)などを保護することができる。
【0055】一方、カートリッジ10がハンド部材40
a,40bの間に存在することをCIP(第1センサ)
の検知結果により保証した状態で、CSP(第2セン
サ)により、カートリッジ10の後端面が所定位置に到
達したことを敏感に検知でき、MTU5aから排出され
たカートリッジ10をハンド機構7dにより確実に把持
することができる。
【0056】上述のようにハンド機構7dを多機能化す
ることにより、カートリッジ受渡し機構(フィーダ)を
介在させることなくMTU5aとハンド機構7dとの間
でカートリッジ10の挿抜を直接的に行なうことが可能
になり、ライブラリ装置1を小型化できるとともに低コ
スト化に寄与する。 〔5〕チルト機構の説明 さて、本実施形態においては、ユニット毎にカートリッ
ジ10を挿入/排出する角度が異なるため、ハンド機構
7dによるカートリッジ挿抜角度を変える必要がある。
【0057】本実施形態のハンド機構7dによるカート
リッジ挿抜方向(角度)としては、水平方向(0°)
と、水平方向から所定角度だけ下方へ向かう方向との2
種類がある。MTU5aでは、通常、カートリッジ10
は水平方向(0°)に挿抜される一方、収納棚などで
は、カートリッジ10が地震等の振動により収納棚のセ
ルから落下しないように水平方向よりも下方へ向かった
状態(例えば12°)で収納されているため、カートリ
ッジ10はその角度で挿抜される。
【0058】そこで、本実施形態のアクセッサ7には、
水平面に対するカートリッジ挿抜方向の角度を調整する
チルト機構15として、図8〜図11に示すようなもの
がそなえられている。図8(a)および図8(b)はい
ずれも本実施形態のアクセッサ7におけるチルト機構1
5を模式的に示す側面図で、図8(a)はピッカ部7g
の水平配置状態を示し、図8(b)はピッカ部7gのチ
ルト状態(水平方向よりも12°だけ下方へ向かった状
態)を示している。また、図9〜図11も本実施形態の
アクセッサ7におけるチルト機構15を示すもので、図
9および図10はいずれもはその要部(チルトベース7
f)を示す斜視図、図11はその模式的な平面図であ
る。なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしく
は略同一の部分を示しているので、その詳細な説明は省
略する。
【0059】図8(a),図8(b),図9および図1
0にも示すごとく、ピッカ部7g(ピッカベース30)
は、チルトベース7fに対して支軸(回転軸,シャフ
ト)30aのまわりに揺動可能に装着され、支持ベース
7e側にそなえられたチルトモータ26,板カム27お
よびガイドローラ28とピッカ部7g側にそなえられた
カムフォロア29とから成る揺動駆動機構16により、
支軸30aのまわりに揺動駆動されるようになってい
る。
【0060】即ち、本実施形態のチルト機構15は、チ
ルトベース7fと揺動駆動機構16とから構成されてお
り、チルトベース7fにおいては、ピッカ部7gが、カ
ートリッジ10の挿抜先に対向するピッカ部前面側〔図
8(a),図8(b)や図11の左側〕の上部に配置さ
れた支軸30aのまわりに揺動可能に支持されている。
また、揺動駆動機構16は、ピッカ部7gの後側〔図8
(a),図8(b)や図11の右側〕の下部側面に配置
されている。
【0061】そして、揺動駆動機構16は、ピッカ部7
gの後部側面に突設されたカムフォロア29と、チルト
ベース7fに対してカートリッジ挿抜方向へ移動可能に
そなえられ前後移動に伴ってカムフォロア29を上下方
向へ案内する板カム27と、この板カム27をチルトベ
ース7fに対してカートリッジ挿抜方向へ移動させる駆
動機構17とから構成されている。
【0062】チルトベース7f側には、図8(a),図
8(b)や図10に示すように、ピッカ部7gの後部側
面において、板カム27を支持するための前後一対のガ
イドローラ28,28が上下2組枢着されている。板カ
ム27には、ガイド用長穴27aが前後方向に形成さ
れ、このガイド用長穴27aに、チルトベース7f側に
枢着された下側の前後一対のガイドローラ28,28が
嵌合している。また、板カム27の水平上縁部27cに
は、チルトベース側に枢着された上側の前後一対のガイ
ドローラ28,28が上方側から当接している。これに
より、板カム27は、ガイドローラ28によって案内さ
れながらカートリッジ挿抜方向(前後方向)へ移動でき
るように、チルトベース7fに取り付けられている。
【0063】また、図8(a),図8(b),図10お
よび図11に示すように、板カム27には、ラック27
dが形成されており、このラック27dに、図10およ
び図11に示すごとくチルトモータ26の駆動軸(図示
省略)に取り付けられたピニオン26aが歯合してい
る。なお、図11においてチルトモータ26の図示は省
略されている。
【0064】従って、チルトモータ26によりピニオン
26aを回転駆動すると、このピニオン26aと歯合す
るラック27dによって回転運動が板カム27の直線運
動に変換され、板カム27がカートリッジ挿抜方向(前
後方向)へ往復駆動されるようになっている。つまり、
チルトモータ26,ピニオン26aおよびラック27d
により、駆動機構17が構成されている。
【0065】さらに、板カム27には、カムフォロア2
9が嵌合する揺動駆動用長穴27bが形成されている。
この揺動駆動用長穴27bは、高さの異なる2つの水平
部27b−1および27b−3と、これらの水平部27
b−1,27b−3の間を結ぶ傾斜部27b−2とを有
している。前方側の水平部27b−1は、ピッカ部7g
を水平に保持するための部分である。図8(a)に示す
ように、長穴27bの水平部27b−1にカムフォロア
29が位置する状態では、ピッカ部7gは水平に配置さ
れ、ハンド機構7dによるカートリッジ挿抜方向は水平
に保持される。
【0066】また、後方側の水平部27b−3は、前方
側の水平部27b−1よりも高い位置に形成されてお
り、ピッカ部7gの前面を水平方向から所定角度(例え
ば12°)だけ下方へ向けたチルト状態にピッカ部7g
を保持するための部分である。図8(a)に示す状態か
ら板カム27を前方向〔図8(a)の左方向〕へ移動さ
せ、カムフォロア29を水平部27b−1から傾斜部2
7b−2を通じて水平部27b−3へ案内して移動させ
ることにより、図8(b)に示すように、ピッカ部7g
は支軸30aまわりに揺動してチルト状態となり、ハン
ド機構7dによるカートリッジ挿抜方向は水平方向から
所定角度(例えば12°)だけ下方へ向けた状態で保持
される。
【0067】上述のごとく構成された本実施形態のアク
セッサ7におけるチルト機構15では、ピッカ部7g
が、このピッカ部7gの後側に配置された揺動駆動機構
16により、ピッカ部前面側に配置された支軸30aの
まわりに揺動駆動され、水平面に対するカートリッジ挿
抜方向の角度が調整される。つまり、チルト動作の支点
(つまり支軸30aの位置)がピッカ部7gの前側に配
置され、力点(揺動駆動機構16による駆動位置つまり
カムフォロア29の位置)がピッカ部7gの後側に配置
されるため、支点(支軸30a)からハンド機構7d
(ハンド部材40a,40b)の先端位置までの距離L
2 に対して支点から力点(カムフォロア29)までの距
離L1 を十分に大きく設定することが可能になる。
【0068】従って、本実施形態のチルト機構15で
は、L2 /L1 を1以下に設定することが可能で、力点
(カムフォロア29)での寸法誤差dyがハンド機構7
dの先端位置で拡大・増幅されることはない。このよう
に、本実施形態のチルト機構15によれば、チルト動作
の支点,力点の位置関係を変えるだけで、極めて簡素な
構成により、ハンド機構7dによるカートリッジ挿抜角
度の精度が大幅に向上し、直接的にMTU5aに対して
カートリッジ10の挿抜を行なうのに十分な、ハンド機
構先端の位置精度を確保することができる。これによ
り、MTU5a毎にカートリッジ受渡し機構をそなえる
ことなく、ハンド機構7dから各MTU5aに対して直
接的にカートリッジ10を挿抜することが可能になり、
ライブラリ装置1の小型化や低コスト化に大きく寄与す
る。
【0069】〔6〕ピッカ部の説明 図12〜図16は本実施形態のアクセッサ7におけるピ
ッカ部7gを示すもので、図12はその正面図、図13
はその平面図、図14はその側面図、図15および図1
6はそれぞれピッカ部7gにおけるハンド機構7dの前
進状態を示す平面図および側面図である。
【0070】また、図1は本実施形態のアクセッサ7の
要部(ガイド部材35a,35b,アクチュエータ3
6,フォトセンサ37,爪38等)を取り出して示す平
面図であり、図17は図1のXVII矢視図、図18は図1
のXVIII矢視図、図19は図18のXIX矢視図である。
なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしくは略
同一の部分を示している。
【0071】図12〜図14に示すように、ハンド機構
7dは、ピッカ部7gに対して前後進可能に装着され、
サーボモータ31およびタイミングベルト32によりL
Mガイド33に沿って前後方向(図14の左右方向)に
スライド駆動されるようになっている。つまり、ハンド
機構7dのハンドベース41は、タイミングベルト32
に連結されている。また、タイミングベルト32は、図
12,図13,図15および図16に示すように、ピッ
カベース30の前後にそれぞれ配置されたプーリ32
a,32bと、サーボモータ31の駆動軸(図示省略)
に連結されたプーリ31aとに巻回されるとともに、ガ
イドローラ32cにより案内されている。
【0072】従って、タイミングベルト32をサーボモ
ータ31により回動させることで、ハンドベース41つ
まりはハンド機構7dの全体が、前後方向に移動し、図
12〜図14に示す引込み状態(後退位置)と、図15
および図16に示すカートリッジ10の受渡しを行なう
状態(前進位置)とのいずれかの位置に配置されるよう
に構成されている。
【0073】なお、ピッカベース30の後端には、ハン
ド機構7dをホーム位置(後退位置)まで引き込んだこ
とを検知するためのピッカホームセンサ(フォトセン
サ)34が取り付けられている。一方、本実施形態で
は、ライブラリ装置1内で複数種類のカートリッジ10
を取り扱うべく、ハンド機構7dにより把持された状態
でピッカ部7gに保持されるカートリッジ10の種類を
識別するための種類識別機構が、後述するごとくアクチ
ュエータ36およびフォトセンサ37から構成されて、
ピッカ部7gにそなえられている。
【0074】例えば、本実施形態のライブラリ装置1内
では、カートリッジ10として、図20に示すような第
1種のカートリッジ(CTG1)10Aと、図21に示
すような第2種のカートリッジ(CTG2)10Bと、
図22に示すような診断カートリッジ(診断CTG,基
準カートリッジ)18とがアクセッサ7により取り扱わ
れるものとする。
【0075】ここで、診断カートリッジ18は、アクセ
ッサ7の寸法精度を診断する際に用いられるものであ
る。本実施形態では、アクセッサ7に、ライブラリ装置
1内の所定位置に配置された診断セル(図示省略)に対
する診断カートリッジ18の出し入れを行なわせること
により、アクセッサ7の寸法精度を診断するための診断
機能がそなえられている。その診断結果により得られた
寸法精度を反映した、アクセッサ7の動作制御を行なう
ことにより、各種カートリッジの挿抜を確実に行なえる
ようになっている。診断カートリッジ18は、図22に
示すごとく、第1種のカートリッジ10Aと略同形かつ
略同じ重量を有するように、鉄等により堅固に形成され
ている。また、この診断カートリッジ18には、種類識
別機構により診断カートリッジ18であることを認識す
るための切り欠き部18aが形成されている。
【0076】本実施形態の種類識別機構は、ピッカ部7
gに、上述した第1種のカートリッジ10A,第2種の
カートリッジ10Bおよび診断カートリッジ18のいず
れが保持されているかを識別するものである。以下に、
このような種類識別機構を有するピッカ部7gの構成を
より詳細に説明する。図1,図12および図13に示す
ように、ピッカ部7gには、左右一対のガイド部材35
a,35bがそなえられている。これらのガイド部材3
5a,35bは、ハンド機構7dにより把持されてピッ
カ部7g内へ引き込まれるカートリッジ10を、その両
側から略真っ直ぐな状態に保持しながら案内するもので
ある。これらのガイド部材35a,35bの間隔は、複
数種類のカートリッジ10のうちの最も大きなもの(本
実施形態では、第1種のカートリッジ10Aもしくは診
断カートリッジ18)よりも僅かに大きく設定されてい
る。
【0077】なお、図1では、第2種のカートリッジ1
0Bをピッカ部7gに保持している状態が図示されてい
る。また、図15および図16では、ハンド機構7d
(ハンド部材40a,40b)が、第1種のカートリッ
ジ10Aを把持して前進した状態を図示している。ま
た、本実施形態の種類識別機構は、ピッカ部7gに保持
されるカートリッジの一側面の凹凸に応じて移動するア
クチュエータ36と、このアクチュエータ36の移動量
を検知する検知部としてのフォトセンサ37と、このフ
ォトセンサ37により検知されたアクチュエータ36の
移動量に基づいてカートリッジ10の種類を識別する識
別部(図示省略;アクセッサ7の動作を制御する制御用
CPU等)とから構成されている。
【0078】そして、本実施形態のアクチュエータ36
は、図1,図13,図14および図17に示すように、
一方のガイド部材35a側にそなえられ、前述した通
り、ローラ36a,アーム36b,コイルバネ36c,
フラグ36dおよび回転軸36eから構成されている。
ここで、ローラ36aは、ガイド部材35aからカート
リッジ側へ突出するように配置され、カートリッジ10
の一側面に当接しながらカートリッジ10の移動面と直
交する軸まわりに回転するものである。アーム36b
は、ローラ36aを枢着されるとともに、ピッカ部7g
に対してカートリッジ10の移動面と直交する回転軸3
6eのまわりに揺動可能(開閉動作可能)に取り付けら
れ、カートリッジ10の一側面の凹凸(外形寸法の差)
に応じて揺動するものである。コイルバネ36cは、ロ
ーラ36aをカートリッジ10の一側面に押圧するよう
にアーム36bを付勢するものである。フラグ36d
は、アーム36bから突設され、このアーム36bの揺
動動作に伴って移動するものである。
【0079】また、フォトセンサ37は、フラグ36d
の移動に伴ってこのフラグ36dにより遮光されるもの
で、前記識別部は、フォトセンサ37からの遮光状態情
報に基づいてカートリッジ10の種類を識別するように
構成されている。さらに、本実施形態のアクセッサ7で
は、ハンド機構7dを、カートリッジ10をピッカ部7
g内へ引き込んだ状態でカートリッジ10を掴み直す動
作を行なうように、アクセッサ7の動作が制御されるよ
うになっている。このハンド機構7dによるカートリッ
ジ10の掴み直し動作時には、アクチュエータ36が、
コイルバネ36cの付勢力を受けカートリッジ10の他
側面を他方のガイド部材35bに押圧するようになって
おり、カートリッジ10の他側面の位置をピッカ部7g
内で常に一定にする位置決め機構としての機能を果たし
ている。
【0080】このとき、カートリッジ10の掴み直し動
作時に、ハンド機構7dから一旦放されたカートリッジ
10がピッカ部7gから飛び出すのを防止すべく、図
1,図12,図13,図18および図19に示すよう
に、ガイド部材35b側には、爪(係止部材)38がそ
なえられている。この爪38は、ガイド部材35bから
カートリッジ側へ突出するように配置され、回転軸38
aのまわりに揺動可能で且つバネ38bにより適当な力
で付勢されていて、ハンド機構7dによるカートリッジ
10の挿抜動作時にはカートリッジ10により排動され
る一方で、ハンド機構7dによるカートリッジ10の掴
み直し動作時にはカートリッジ10を係止するものであ
る。
【0081】また、爪38の前後には、カートリッジ1
0がピッカ部7gから出入りし易くするためにテーパ面
38c,38dが形成されている。さらに、図18およ
び図19に示すように、爪38がカートリッジ側へ突出
し過ぎるのを規制すべく、ガイド部材35bの外側から
このガイド部材35bに当接しうる突起部38eが爪3
8に突出・形成されている。
【0082】本実施形態のアクセッサ7のピッカ部7g
は、上述のごとく、種類識別機構や、位置決め機構とし
て機能するアクチュエータ36や、飛び出し防止用の爪
38を有しているので、以下のような作用効果を得るこ
とができる。アクセッサ7は、基本動作として、収納棚
からカートリッジ10を抜き取って指示されたMTU5
aに挿入(投入)する動作と、MTU5aから排出され
たカートリッジ10を受け取り(取り出し)指示された
収納棚へ挿入(投入)する動作とを行なう。以下、これ
ら2つの動作を前提として説明する。
【0083】ハンド機構7dにより収納棚からカートリ
ッジ10を抜き取ってピッカ部7g内へ引き込む際、も
しくは、ハンド機構7dによりMTU5aからカートリ
ッジ10を受け取ってピッカ部7gへ引き込む際、カー
トリッジ10は、第1種であっても第2種であっても
(あるいは診断カートリッジ18であっても)、左右一
対のガイド部材35a,35bに案内されながらピッカ
部7g内へ導かれ、これらのガイド部材35a,35b
によりほぼ真っ直ぐの状態で収納される。
【0084】カートリッジ10をピッカ部7gに引き込
んだ時は、カートリッジ10をハンド機構7dにより掴
んでいる状態であり、さらに、正確なカートリッジ10
の位置付けを行なうために、カートリッジ10を掴んだ
ハンド部材40a,40bを開いて、一旦、カートリッ
ジ10を放す。このとき、カートリッジ10が振動や不
慮の事故、アクセッサ7自体の異常動作等により、保持
していたカートリッジ10がピッカ部7gから飛び出さ
ないように、爪38がカートリッジ10の先端を抑えて
保持する役目を果たしている。つまり、カートリッジ1
0をハンド機構7dから一旦放す掴み直し動作を行なっ
た場合に、万一、カートリッジ10がピッカ部7g内か
ら外方へ移動しても、カートリッジ10は爪38に係止
されピッカ部7g内から外方へ落下するのを防止するこ
とができる。
【0085】爪38にはバネ38bにより適当な付勢力
が作用されているため、ハンド機構7dをサーボモータ
31やタイミングベルト32により前後進させてカート
リッジ10を出し入れする際、爪38は、カートリッジ
10からサーボモータ31による駆動力を受け、バネ3
8bの付勢力に対抗して排動され、カートリッジ10の
出し入れ動作が規制されない。しかし、バネ38bの付
勢力により、カートリッジ10の自重だけでは爪38を
排動できないようになっており、カートリッジ10は爪
38に係止される。
【0086】さて、ハンド部材40a,40が開放され
てカートリッジ10を放すと、カートリッジ10は、ガ
イド部材35a,35bに対する重力摩擦分を除いてフ
リーな状態になる。この状態で、カートリッジ10の一
側面に当接するローラ36aが、コイルバネ36cの付
勢力をアーム36bを介して受け、カートリッジ10の
他側面をその種類に関係なく常にガイド部材35bに押
し付ける。
【0087】これにより、各種カートリッジ10を取り
扱う場合であっても、ピッカ部7g内で、カートリッジ
10の他側面をガイド部材35bに当接させた一定の位
置(基準位置)に各種カートリッジ10を常に位置決め
(リセット)することができる。位置決めされたカート
リッジ10は、その状態でハンド部材40a,40bに
より掴み直される。掴み直されてハンド部材40a,4
0b(つまりアクセッサ7自体)に対し正確に位置付け
られたカートリッジ10は、MTU5aや収納棚に対し
ても正確に位置付けられ、容易かつ確実に挿入されるこ
とになる。
【0088】また、アクセッサ7内でのカートリッジ1
0の位置付け(基準位置へのリセット)に際して、ハン
ド機構7dがカートリッジ10を放しても、飛び出し防
止用の爪38が機能し、カートリッジ10をピッカ部7
g内に確実に保持した状態を常に維持できるため、振動
やアクセッサ7自体の異常動作に対してもカートリッジ
10がピッカ部7gから外方へ飛び出すのを防止するこ
とができる。
【0089】ここで、カートリッジ10を収納棚から抜
き取りMTU5aに挿入する場合に行なわれるカートリ
ッジ位置決め動作について、図24に示すフローチャー
ト(ステップS1〜S11)を参照しながらより具体的
に説明する。アクセッサ7を、指示されたカートリッジ
10を収納する収納棚へ移動させるとともに、ハンドア
センブリ7aをそのカートリッジ10と対抗する位置へ
移動させる(ステップS1)。そして、ハンド部材40
a,40bを開放し(ステップS2)、ハンド機構7d
を前進させ(ステップS3)、ハンド部材40a,40
bを閉じてカートリッジ10を把持してから(ステップ
S4)、ハンド機構7dを後退させ、カートリッジ10
をピッカ部7g内に引き込んで保持する(ステップS
5)。
【0090】このようにカートリッジ10をピッカ部7
g内に保持した状態で、アクセッサ7を、指示されたM
TU5aへ移動させるとともに、ハンドアセンブリ7a
をそのMTU5aのカートリッジ挿入口と対抗する位置
へ移動させる(ステップS6)。そして、ハンド部材4
0a,40bを開放し、アクチュエータ36の位置決め
機構としての機能によりカートリッジ10をガイド部材
35bに押圧して基準位置に位置決めしリセットする
(ステップS7)。このとき、爪38がカートリッジ1
0の飛び出しを防止する機能を果たす。
【0091】カートリッジ10の位置決めを行なった
後、ハンド部材40a,40bを閉じてカートリッジ1
0を把持し直し(ステップS8)、ハンド機構7dを前
進させてカートリッジ10をMTU5aのカートリッジ
挿入口に挿入し(ステップS9)、ハンド部材40a,
40bを開放するとともにマウンタ機構50を作動させ
てカートリッジ10をMTU5a内に押し込んでから
(ステップS10)、ハンド機構7dを後退させ(ステ
ップS11)、アクセッサ7は、カートリッジ10の収
納棚からMTU5aの移送動作を終了する。
【0092】なお、MTU5aから排出されたカートリ
ッジ10を引き取り収納棚に挿入する場合にも、上述と
同様にしてカートリッジ位置決め動作が行なわれる。と
ころで、アクチュエータ36は、ピッカ部7g内へ引き
込まれたカートリッジ10の一側面の凹凸(外形寸法)
に応じて移動(開閉)する。そして、その移動量がカー
トリッジ10の外形寸法(カートリッジ10の種類)に
応じて変化することを利用し、カートリッジ10の種類
が識別される。
【0093】つまり、ハンド機構7dによってカートリ
ッジ10がピッカ部7g内へ引き込まれると、ローラ3
6aは、回転してカートリッジ10の移動を許容しなが
ら、コイルバネ36cの付勢力によりカートリッジ10
の一側面に当接し、その凹凸に応じてアーム36bを回
転軸36eまわりに揺動させる。このアーム36bの揺
動動作に同期してフラグ36dが移動し、このフラグ3
6dの移動量が、フォトセンサ37により遮光状態情報
として検知され、フォトセンサ37からの遮光状態情報
に基づいて、識別部(図示省略)によりカートリッジ1
0の種類が識別される。
【0094】次に、図20〜図23および図25を参照
しながら、本実施形態によるカートリッジ10の種類識
別手法について、より具体的に説明する。なお、図20
は、ピッカ部7gに、カートリッジ10として第1種の
カートリッジ(CTG1)10Aを保持している状態を
示す平面図、図21は、ピッカ部7gに、カートリッジ
10として第2種のカートリッジ(CTG2)10Bを
保持している状態を示す平面図、図22は、ピッカ部7
gに、カートリッジ10として診断カートリッジ(基準
カートリッジ)18を保持している状態を示す平面図で
ある。
【0095】また、図23は、各種カートリッジ10
A,10B,18の位置とフォトセンサ37からの出力
との関係を示すグラフ、図25は、本実施形態の識別部
によるカートリッジ種類識別動作を説明するためのフロ
ーチャート(ステップS21〜S28)である。図20
に示すように、第1種のカートリッジ10Aをピッカ部
7gのホーム位置(図23の0mmの位置)まで引き込ん
だ状態では、アクチュエータ36によりカートリッジ1
0Aをガイド部材35bへ押し付けても、カートリッジ
10Aとガイド部材35aとの間には僅かな隙間しかな
く、アクチュエータ36のアーム36bは開かれた状態
のままであり、アーム36bに取り付けられたフラグ3
6dは、フォトセンサ37を遮光した状態(オン状態)
になっている。また、第1種のカートリッジ10Aをピ
ッカ部7g内に保持している場合、図23の上段に示す
ように、そのカートリッジ10Aをハンド機構7dによ
り38mm以上前進させるまで、フラグ36dは、フォト
センサ37を遮光した状態(オン状態)になっている。
【0096】これに対し、図21に示すように、第2種
のカートリッジ10Bをピッカ部7gのホーム位置まで
引き込んだ状態では、このカートリッジ10Bがアクチ
ュエータ36によりガイド部材35bへ押し付けられる
と、外形寸法の違いから、アクチュエータ30のアーム
36aは閉じられた状態になり、フラグ36dは、フォ
トセンサ37を遮光しない状態(オフ状態)になってい
る。また、第2種のカートリッジ10Bをピッカ部7g
内に保持している場合、図23の中段に示すように、そ
のカートリッジ10Bをハンド機構7dにより46mm以
上前進させるまで、フラグ36dは、フォトセンサ37
を遮光しない状態(オフ状態)になっている。
【0097】さらに、図22に示すように、診断カート
リッジ18をピッカ部7gのホーム位置まで引き込んだ
状態では、第1種のカートリッジ10Aと同様、アクチ
ュエータ36のアーム36bは開かれた状態のままであ
り、アーム36bに取り付けられたフラグ36dは、フ
ォトセンサ37を遮光した状態(オン状態)になってい
るため、診断カートリッジ18と第1種のカートリッジ
10Aとを判別することはできない。
【0098】そこで、本実施形態では、アクチュエータ
36のローラ36aと当接する診断カートリッジ18側
面に切り欠き部18aを予め形成しておき、この切り欠
き部18aにより、アクチュエータ36のアーム36b
が閉じられた状態になることを利用して、診断カートリ
ッジ18と第1種のカートリッジ10Aとを判別してい
る。つまり、図23の下段に示すように、診断カートリ
ッジ18がホーム位置にある時は、フォトセンサ37の
出力はオン状態であるが、診断カートリッジ18をハン
ド機構7dにより16mm以上前進させると、アクチュエ
ータ36のアーム36bが閉じられ、フラグ36dは、
フォトセンサ37を遮光しない状態になり、フォトセン
サ37の出力はオン状態に切り換わる。
【0099】なお、本実施形態では、ピッカ部7g内に
おいて、カートリッジ10をホーム位置よりもさらに5
mmだけ内側へ引き込むことが可能になっており、その位
置よりも内側にカートリッジ10が引き込まれるのを規
制すべく、ピッカバックワードストッパ(図示省略)が
設けられている。図23に示す−5mmの位置には、カー
トリッジをそのピッカバックワードストッパまで引き込
んだ時のフォトセンサ37の出力が示されている。
【0100】本実施形態では、上述のようなフォトセン
サ37からのオン/オフ出力を用いることにより、図2
5に示すフローチャート(ステップS21〜S28)に
従ってカートリッジ10の種類を識別している。何らか
のカートリッジ10をハンド機構7dにより把持しなが
らピッカ部7g内に保持している場合に、ハンド機構7
dをホーム位置(0mmの位置)まで後退させ(ステップ
S21)、フォトセンサ37がオンか否かを判定する
(ステップS22)。このとき、フォトセンサ37がオ
フであれば(ステップS22からNOルート)、図21
および図23の中段に示すように、そのカートリッジ1
0は第2種のカートリッジ10Bであると認識され(ス
テップS25)、カートリッジ種類識別動作を終了す
る。
【0101】フォトセンサ37がオンである場合(ステ
ップS22からYESルート)、そのカートリッジ10
は、第1種のカートリッジ10Aか診断カートリッジ1
8のどちらかであり、その判別を行なうべく、ハンド機
構7dを20mmだけ前進させてから(ステップS2
3)、再び、フォトセンサ37がオンか否かを判定する
(ステップS24)。
【0102】このとき、フォトセンサ37がオンであれ
ば(ステップS24からYESルート)、図20および
図23の上段に示すように、そのカートリッジ10は第
1種のカートリッジ10Aであると認識される(ステッ
プS26)。また、フォトセンサ27がオフであれば
(ステップS25からNOルート)、図22および図2
3の下段に示すように、そのカートリッジ10は診断カ
ートリッジ18であると認識される(ステップS2
7)。
【0103】ステップS26もしくはS27の後、ハン
ド機構7dをホーム位置(0mmの位置)まで後退させて
から(ステップS28)、カートリッジ種類識別動作を
終了する。なお、上述のようなカートリッジ種類識別動
作は、通常、カートリッジ10をピッカ部7gから送り
出す際に行なわれる。
【0104】このようにして、本実施形態のアクセッサ
7によれば、ピッカ部7gに保持されるカートリッジ1
0の種類を識別することができるので、その識別結果に
応じた処理(種類に応じた収納棚やMTU5aへのカー
トリッジ移送・挿入処理等)を確実に行なうことがで
き、一つのライブラリ装置1内で複数種類のカートリッ
ジ10を同時に取り扱うことが可能になるので、複数種
類のカートリッジ10を確実に移送でき、利用者の使い
勝手の幅が広がり、利用者からの多様なニーズに応える
ことができる。
【0105】また、アクセッサ7内でカートリッジ10
の種類を認識できると同時にカートリッジ10の位置付
け(基準位置へのリセット)を行なうことができるた
め、カートリッジ10を、その種類に応じた収納棚やM
TU5aに対して容易に挿入することが可能になる。そ
して、アクセッサ7内でのカートリッジ10の位置付け
(基準位置へのリセット)に際して、ハンド機構7dが
カートリッジ10を放しても、飛び出し防止用の爪38
が機能し、カートリッジ10をピッカ部7g内に確実に
保持した状態を常に維持できるため、振動やアクセッサ
7自体の異常動作に対してもカートリッジ10がピッカ
部7gから外方へ飛び出すことなく、高い信頼性をもっ
てライブラリ装置1を運用することができる。
【0106】さらに、本実施形態のアクセッサ7では、
磁気テープ等の記憶媒体を収容するカートリッジ10の
みならず、診断カートリッジ18も識別することが可能
になり、ハンド機構7dが診断カートリッジ18を把持
している場合には、それに対応した動作を行なうことが
できる。これにより、アクセッサ7自体の寸法に異常が
ないかどうかを診断する際、診断用の特殊なカートリッ
ジ18を使用しても、そのカートリッジ18が診断用の
ものであることを認識できるため、アクセッサ7自体の
診断動作を円滑かつ確実に行なうことができる。
【0107】また、診断から正常運用に切り替わった時
に、もし診断カートリッジ18をハンド機構7dが掴ん
だままの状態であっても、それを認識できるため、診断
カートリッジ18を掴んだまま正常運用に入ってしまう
という異常行為を未然に防止することができる。 〔7〕その他 なお、上述した実施形態では、ライブラリ装置1内で、
カートリッジ10として、記憶媒体を収容する第1種の
カートリッジ10Aおよび第2種のカートリッジ10B
と、診断カートリッジ18との3種類のものを取り扱
い、これらのカートリッジ10A,10B,18を識別
する場合について説明したが、本発明は、これに限定さ
れるものではなく、さらに多くの種類のカートリッジを
取り扱う場合にも、上述した実施形態と同様に適用され
る。
【0108】そして、本発明は上述した実施形態に限定
されるものではなく、本発明とその趣旨を逸脱しない範
囲で種々変形して実施することができる。
【0109】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明のライブラ
リ装置用カートリッジ移送ロボットによれば、以下のよ
うな効果ないし利点を得ることができる。 (1)ピッカ部に保持されるカートリッジの種類を識別
することができるので、その識別結果に応じた処理を確
実に行なうことができ、一つのライブラリ装置内で複数
種類のカートリッジを取り扱うことが可能になるので、
複数種類のカートリッジ(媒体)を確実に移送でき、利
用者の使い勝手の幅が広がり、利用者からの多様なニー
ズに応えることができる(請求項1〜6)。
【0110】(2)ロボット内でカートリッジの種類を
認識することができ、同時にカートリッジの位置付け
(基準位置へのリセット)を行なうことができるため、
カートリッジを、その種類に応じた収納棚やドライブユ
ニットに対して容易に挿入することが可能になる(請求
項4)。 (3)ロボット内でのカートリッジの位置付け(基準位
置へのリセット)に際して、ハンド機構がカートリッジ
を放しても、飛び出し防止用の係止部材が機能し、カー
トリッジをピッカ部内に確実に保持した状態を常に維持
できるため、振動やロボット自体の異常動作に対しても
カートリッジがピッカ部から外方へ飛び出すことなく、
高い信頼性をもってライブラリ装置を運用することがで
きる(請求項5)。
【0111】(4)ロボット自体の寸法に異常がないか
どうかを診断する際、診断用の特殊なカートリッジを使
用しても、そのカートリッジが診断用のものであること
を認識できるため、ロボット自体の診断動作を円滑かつ
確実に行なうことができる。また、診断から正常運用に
切り替わった時に、もし診断カートリッジをハンド機構
が掴んだままの状態であっても、それを認識できるた
め、診断カートリッジを掴んだまま正常運用に入ってし
まうという異常行為を未然に防止することができる(請
求項6)。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態としてのライブラリ装置用
カートリッジ移送ロボット(アクセッサ)の要部のみを
取り出して示す平面図である。
【図2】本実施形態を適用されるライブラリ装置の全体
構成を模式的に示す斜視図である。
【図3】本実施形態のアクセッサを示す正面図である。
【図4】本実施形態のアクセッサのハンドアセンブリを
示す正面図である。
【図5】本実施形態のアクセッサのハンドアセンブリを
示す平面図である。
【図6】本実施形態のアクセッサのハンド機構を示す平
面図である。
【図7】本実施形態のアクセッサのハンド機構を示す側
面図である。
【図8】(a),(b)はいずれも本実施形態のアクセ
ッサのチルト機構を模式的に示す側面図で、(a)はピ
ッカ部の水平配置状態を示し、(b)はピッカ部のチル
ト状態を示している。
【図9】本実施形態のアクセッサのチルト機構の要部
(チルトベース)を示す斜視図である。
【図10】本実施形態のアクセッサのチルト機構の要部
(チルトベース)を示す斜視図である。
【図11】本実施形態のアクセッサのチルト機構を模式
的に示す平面図である。
【図12】本実施形態のアクセッサのピッカ部を示す正
面図である。
【図13】本実施形態のアクセッサのピッカ部を示す平
面図である。
【図14】本実施形態のアクセッサのピッカ部を示す側
面図である。
【図15】本実施形態のアクセッサのピッカ部における
ハンド機構の前進状態を示す平面図である。
【図16】本実施形態のアクセッサのピッカ部における
ハンド機構の前進状態を示す側面図である。
【図17】図1のXVII矢視図である。
【図18】図1のXVIII矢視図である。
【図19】図18のXIX矢視図である。
【図20】本実施形態のピッカ部に第1種のカートリッ
ジを保持している状態を示す平面図である。
【図21】本実施形態のピッカ部に第2種のカートリッ
ジを保持している状態を示す平面図である。
【図22】本実施形態のピッカ部に診断カートリッジ
(基準カートリッジ)を保持している状態を示す平面図
である。
【図23】本実施形態の種類識別機構によりカートリッ
ジの種類を識別する手法を説明すべく各種カートリッジ
の位置とフォトセンサ出力との関係を示すグラフであ
る。
【図24】本実施形態のピッカ部におけるカートリッジ
位置決め動作を説明するためのフローチャートである。
【図25】本実施形態の識別部によるカートリッジ種類
識別動作を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
1 ライブラリ装置 2 アクセッサユニット(LAU) 3 アクセッサユニット(RAU) 4 カートリッジストレージユニット(CSU) 5 テープドライブマウントユニット(TMU,ドライ
ブユニット) 5a 磁気テープドライブユニット(MTU) 6 アクセッサエクステンドユニット(AEU) 7 アクセッサ(カートリッジ移送ロボット,自動搬送
ロボット) 7a ハンドアセンブリ 7b 台車(移動機構) 7c 垂直コラム 7d ハンド機構 7e 支持ベース 7f チルトベース(チルト機構) 7g ピッカ部 7h ガイドレール 7i 昇降駆動用モータ(移動機構) 7j 走行ローラ 7k 走行駆動用モータ(移動機構) 7m ガイドローラ 8 レール(Xレール) 9 動作空間(アクセッサ通路) 10 磁気テープカートリッジ(カートリッジ) 10A 第1種のカートリッジ(CTG1) 10B 第2種のカートリッジ(CTG2) 11 カートリッジ投入/排出機構(CAS) 12 カートリッジ直接投入/排出機構(DEE) 13 カートリッジ強制排出機構(FES) 14 トップレール 15 チルト機構 16 揺動駆動機構 17 駆動機構 18 診断カートリッジ(基準カートリッジ) 18a 切り欠き部 20 旋回駆動用モータ 20a プーリ 20b 駆動軸 21 プーリ 22 タイミングベルト 23 ケーブルケーシング 24 スリット付き円板 25 フォトセンサ 26 チルトモータ 26a ピニオン 27 板カム 27a ガイド用長穴 27b 揺動駆動用長穴 27b−1,27b−3 水平部 27b−2 傾斜部 27c 水平上縁部 27d ラック 28 ガイドローラ 29 カムフォロア 30 ピッカベース 30a 支軸(回転軸,シャフト) 31 サーボモータ 32 タイミングベルト 33 LMガイド 34 ピッカホームセンサ(フォトセンサ) 35a,35b ガイド部材 36 アクチュエータ(種類識別機構) 36a ローラ 36b アーム 36c コイルバネ 36d フラグ 36e 回転軸 37 フォトセンサ(種類識別機構,検知部) 38 爪(係止部材) 38a 回転軸 38b バネ 38c,38d テーパ面 38e 突起部 40a,40b ハンド部材 41 ハンドベース 42 バネ 43a,43b カムフォロア 44 カム 44a ロック溝(ロック機構) 45 ハンド開閉駆動用モータ(回転駆動機構) 46 リニアウェイ 50 マウンタ機構 51 マウンタアーム 51a ラック 52 ピニオン 53 マウンタアーム 55 CIP/CSPユニット 55a アクチュエータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加藤 千勝 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 (72)発明者 斉藤 桂一 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 (72)発明者 堀 大輔 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも、記憶媒体を収容するカート
    リッジを格納する収納棚と該カートリッジを投入/排出
    するためのカートリッジ投入/排出機構と該カートリッ
    ジ内の記憶媒体に対するアクセスを行なうドライブユニ
    ットとを有するライブラリ装置内において該カートリッ
    ジを移送すべく、該カートリッジを把持して挿抜するハ
    ンド機構を含むピッカ部と、該ピッカ部を所定位置に移
    動させるための移動機構とをそなえてなるカートリッジ
    移送ロボットであって、 該ライブラリ装置内で複数種類のカートリッジを取り扱
    う場合に、該ハンド機構により把持された状態で該ピッ
    カ部に保持される該カートリッジの種類を識別するため
    の種類識別機構が、該ピッカ部にそなえられたことを特
    徴とする、ライブラリ装置用カートリッジ移送ロボッ
    ト。
  2. 【請求項2】 該ハンド機構により把持されて該ピッカ
    部内へ導かれる該カートリッジを、その両側から保持し
    ながら案内する左右一対のガイド部材がそなえられ、 該左右一対のガイド部材の間隔が、該複数種類のカート
    リッジのうちの最も大きなものよりも僅かに大きく設定
    されるとともに、 該種類識別機構が、該ピッカ部に保持される該カートリ
    ッジの一側面の凹凸に応じて移動するアクチュエータ
    と、該アクチュエータの移動量を検知する検知部と、該
    検知部により検知された該アクチュエータの移動量に基
    づいて該カートリッジの種類を識別する識別部とから構
    成されていることを特徴とする、請求項1記載のライブ
    ラリ装置用カートリッジ移送ロボット。
  3. 【請求項3】 該アクチュエータが、 該カートリッジの一側面に当接しながら該カートリッジ
    の移動面と直交する軸まわりに回転するローラと、 該ローラを枢着されるとともに、該ピッカ部に対して該
    カートリッジの移動面と直交する軸まわりに揺動可能に
    取り付けられ、該カートリッジの一側面の凹凸に応じて
    揺動するアームと、 該ローラを該カートリッジの一側面に押圧するように該
    アームを付勢するバネと、 該アームから突設され該アームの揺動動作に伴って移動
    するフラグとから構成され、 該検知部が、該フラグの移動に伴って該フラグにより遮
    光されるフォトセンサから構成され、 該識別部が、該フォトセンサからの遮光状態情報に基づ
    いて該カートリッジの種類を識別することを特徴とす
    る、請求項2記載のライブラリ装置用カートリッジ移送
    ロボット。
  4. 【請求項4】 該ハンド機構が、該カートリッジを該ピ
    ッカ部内へ引き込んだ状態で該カートリッジを掴み直す
    動作を行なうように制御され、 該ハンド機構による該カートリッジの掴み直し動作時
    に、該アクチュエータが、該バネの付勢力を受けて該カ
    ートリッジの他側面を該ガイド部材の一方に押圧し該カ
    ートリッジの他側面の位置を該ピッカ部内で常に一定に
    する位置決め機構として機能することを特徴とする、請
    求項3記載のライブラリ装置用カートリッジ移送ロボッ
    ト。
  5. 【請求項5】 該ハンド機構による該カートリッジの挿
    抜動作時には該カートリッジにより排動される一方で該
    ハンド機構による該カートリッジの掴み直し動作時には
    該カートリッジを係止する係止部材が、該左右一対のガ
    イド部材の少なくとも一方から該カートリッジ側に突出
    するようにそなえられていることを特徴とする、請求項
    4記載のライブラリ装置用カートリッジ移送ロボット。
  6. 【請求項6】 該ライブラリ装置内の所定位置に配置さ
    れた診断セルに対して診断カートリッジを出し入れする
    ことにより寸法精度を診断するための診断機能を有して
    いる場合に、該種類識別機構が、該複数種類のカートリ
    ッジのうちの一つとして該診断カートリッジを識別する
    ことを特徴とする、請求項1〜請求項5のいずれかに記
    載のライブラリ装置用カートリッジ移送ロボット。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6494663B2 (en) * 1999-07-16 2002-12-17 Storage Technology Corporation Method and system for sharing robotic mechanisms between automated storage libraries
US7162329B2 (en) * 2001-01-10 2007-01-09 International Business Machines Corporation Automated data storage system including a moveable rail system and garage
US6512962B2 (en) 2001-04-26 2003-01-28 International Business Machines Corporation Cabling picker in a library of stationary memory devices
US6941260B2 (en) * 2001-04-26 2005-09-06 International Business Machines Corporation Method and apparatus for emulating a fiber channel port
US6650601B1 (en) 2001-04-26 2003-11-18 International Business Machines Corporation Hard disk drive picking device and method
US6600703B1 (en) 2001-04-26 2003-07-29 International Business Machines Corporation Magazine for a plurality of removable hard disk drives
US6731455B2 (en) 2001-04-26 2004-05-04 International Business Machines Corporation Automated library system including a gripper assembly apparatus for interfacing with a storage device
US6754768B2 (en) 2001-04-26 2004-06-22 International Business Machines Corporation Library of hard disk drives with transparent emulating interface
US6819524B2 (en) 2001-04-26 2004-11-16 International Business Machines Corporation Storage device apparatus having multiple interfaces
US6826004B2 (en) 2001-04-26 2004-11-30 International Business Machines Corporation Gripper assembly for interfacing with portable storage devices in a storage library
US7303094B2 (en) 2002-08-09 2007-12-04 Kevin Hutchinson Vacuum pill dispensing cassette and counting machine
US7228198B2 (en) * 2002-08-09 2007-06-05 Mckesson Automation Systems, Inc. Prescription filling apparatus implementing a pick and place method
US7381022B1 (en) 2004-12-18 2008-06-03 Rodney Joe King Automated 3-dimensional multitasking, stocking, storage, and distribution system
JP4429179B2 (ja) * 2005-01-20 2010-03-10 パナソニック株式会社 カセット挿入制御方法
US9186799B2 (en) 2011-07-13 2015-11-17 Brooks Automation, Inc. Compact direct drive spindle
US20130023129A1 (en) 2011-07-20 2013-01-24 Asm America, Inc. Pressure transmitter for a semiconductor processing environment
US10714315B2 (en) 2012-10-12 2020-07-14 Asm Ip Holdings B.V. Semiconductor reaction chamber showerhead
US9108828B2 (en) * 2013-01-15 2015-08-18 International Business Machines Corporation Lift mechanism
US20160376700A1 (en) 2013-02-01 2016-12-29 Asm Ip Holding B.V. System for treatment of deposition reactor
US10941490B2 (en) 2014-10-07 2021-03-09 Asm Ip Holding B.V. Multiple temperature range susceptor, assembly, reactor and system including the susceptor, and methods of using the same
US10276355B2 (en) 2015-03-12 2019-04-30 Asm Ip Holding B.V. Multi-zone reactor, system including the reactor, and method of using the same
US10458018B2 (en) 2015-06-26 2019-10-29 Asm Ip Holding B.V. Structures including metal carbide material, devices including the structures, and methods of forming same
US10211308B2 (en) 2015-10-21 2019-02-19 Asm Ip Holding B.V. NbMC layers
US11139308B2 (en) 2015-12-29 2021-10-05 Asm Ip Holding B.V. Atomic layer deposition of III-V compounds to form V-NAND devices
US10529554B2 (en) 2016-02-19 2020-01-07 Asm Ip Holding B.V. Method for forming silicon nitride film selectively on sidewalls or flat surfaces of trenches
US11453943B2 (en) 2016-05-25 2022-09-27 Asm Ip Holding B.V. Method for forming carbon-containing silicon/metal oxide or nitride film by ALD using silicon precursor and hydrocarbon precursor
US9859151B1 (en) 2016-07-08 2018-01-02 Asm Ip Holding B.V. Selective film deposition method to form air gaps
US10612137B2 (en) 2016-07-08 2020-04-07 Asm Ip Holdings B.V. Organic reactants for atomic layer deposition
US9887082B1 (en) 2016-07-28 2018-02-06 Asm Ip Holding B.V. Method and apparatus for filling a gap
US9812320B1 (en) 2016-07-28 2017-11-07 Asm Ip Holding B.V. Method and apparatus for filling a gap
US11532757B2 (en) 2016-10-27 2022-12-20 Asm Ip Holding B.V. Deposition of charge trapping layers
US10714350B2 (en) 2016-11-01 2020-07-14 ASM IP Holdings, B.V. Methods for forming a transition metal niobium nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures
KR102546317B1 (ko) 2016-11-15 2023-06-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR20180068582A (ko) 2016-12-14 2018-06-22 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US11581186B2 (en) 2016-12-15 2023-02-14 Asm Ip Holding B.V. Sequential infiltration synthesis apparatus
US11447861B2 (en) 2016-12-15 2022-09-20 Asm Ip Holding B.V. Sequential infiltration synthesis apparatus and a method of forming a patterned structure
US10269558B2 (en) 2016-12-22 2019-04-23 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a structure on a substrate
US11390950B2 (en) 2017-01-10 2022-07-19 Asm Ip Holding B.V. Reactor system and method to reduce residue buildup during a film deposition process
US10468261B2 (en) 2017-02-15 2019-11-05 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a metallic film on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures
US10770286B2 (en) 2017-05-08 2020-09-08 Asm Ip Holdings B.V. Methods for selectively forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures
US11306395B2 (en) 2017-06-28 2022-04-19 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related deposition apparatus
KR20190009245A (ko) 2017-07-18 2019-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반도체 소자 구조물 형성 방법 및 관련된 반도체 소자 구조물
US11374112B2 (en) 2017-07-19 2022-06-28 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures
US10590535B2 (en) 2017-07-26 2020-03-17 Asm Ip Holdings B.V. Chemical treatment, deposition and/or infiltration apparatus and method for using the same
US10770336B2 (en) 2017-08-08 2020-09-08 Asm Ip Holding B.V. Substrate lift mechanism and reactor including same
US10692741B2 (en) 2017-08-08 2020-06-23 Asm Ip Holdings B.V. Radiation shield
US11769682B2 (en) 2017-08-09 2023-09-26 Asm Ip Holding B.V. Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith
US11830730B2 (en) 2017-08-29 2023-11-28 Asm Ip Holding B.V. Layer forming method and apparatus
US11295980B2 (en) 2017-08-30 2022-04-05 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a molybdenum metal film over a dielectric surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures
US10658205B2 (en) 2017-09-28 2020-05-19 Asm Ip Holdings B.V. Chemical dispensing apparatus and methods for dispensing a chemical to a reaction chamber
KR102597978B1 (ko) 2017-11-27 2023-11-06 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 배치 퍼니스와 함께 사용하기 위한 웨이퍼 카세트를 보관하기 위한 보관 장치
CN111344522B (zh) 2017-11-27 2022-04-12 阿斯莫Ip控股公司 包括洁净迷你环境的装置
US10872771B2 (en) 2018-01-16 2020-12-22 Asm Ip Holding B. V. Method for depositing a material film on a substrate within a reaction chamber by a cyclical deposition process and related device structures
TW202325889A (zh) 2018-01-19 2023-07-01 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 沈積方法
CN111630203A (zh) 2018-01-19 2020-09-04 Asm Ip私人控股有限公司 通过等离子体辅助沉积来沉积间隙填充层的方法
US11081345B2 (en) 2018-02-06 2021-08-03 Asm Ip Holding B.V. Method of post-deposition treatment for silicon oxide film
US10896820B2 (en) 2018-02-14 2021-01-19 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process
EP3737779A1 (en) 2018-02-14 2020-11-18 ASM IP Holding B.V. A method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process
KR102636427B1 (ko) 2018-02-20 2024-02-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법 및 장치
US10975470B2 (en) 2018-02-23 2021-04-13 Asm Ip Holding B.V. Apparatus for detecting or monitoring for a chemical precursor in a high temperature environment
US11473195B2 (en) 2018-03-01 2022-10-18 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor processing apparatus and a method for processing a substrate
US11629406B2 (en) 2018-03-09 2023-04-18 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor processing apparatus comprising one or more pyrometers for measuring a temperature of a substrate during transfer of the substrate
KR102646467B1 (ko) 2018-03-27 2024-03-11 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 상에 전극을 형성하는 방법 및 전극을 포함하는 반도체 소자 구조
US11230766B2 (en) 2018-03-29 2022-01-25 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus and method
TW202344708A (zh) 2018-05-08 2023-11-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 藉由循環沉積製程於基板上沉積氧化物膜之方法及相關裝置結構
KR102596988B1 (ko) 2018-05-28 2023-10-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법 및 그에 의해 제조된 장치
US11718913B2 (en) 2018-06-04 2023-08-08 Asm Ip Holding B.V. Gas distribution system and reactor system including same
US11270899B2 (en) 2018-06-04 2022-03-08 Asm Ip Holding B.V. Wafer handling chamber with moisture reduction
US11286562B2 (en) 2018-06-08 2022-03-29 Asm Ip Holding B.V. Gas-phase chemical reactor and method of using same
KR102568797B1 (ko) 2018-06-21 2023-08-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 시스템
US10797133B2 (en) 2018-06-21 2020-10-06 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a phosphorus doped silicon arsenide film and related semiconductor device structures
WO2020003000A1 (en) 2018-06-27 2020-01-02 Asm Ip Holding B.V. Cyclic deposition methods for forming metal-containing material and films and structures including the metal-containing material
US11492703B2 (en) 2018-06-27 2022-11-08 Asm Ip Holding B.V. Cyclic deposition methods for forming metal-containing material and films and structures including the metal-containing material
US10612136B2 (en) 2018-06-29 2020-04-07 ASM IP Holding, B.V. Temperature-controlled flange and reactor system including same
US10388513B1 (en) 2018-07-03 2019-08-20 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition
US10755922B2 (en) 2018-07-03 2020-08-25 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition
US11430674B2 (en) 2018-08-22 2022-08-30 Asm Ip Holding B.V. Sensor array, apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods
KR20200030162A (ko) 2018-09-11 2020-03-20 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 증착 방법
US11024523B2 (en) 2018-09-11 2021-06-01 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus and method
CN110970344A (zh) 2018-10-01 2020-04-07 Asm Ip控股有限公司 衬底保持设备、包含所述设备的系统及其使用方法
US11232963B2 (en) 2018-10-03 2022-01-25 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus and method
KR102592699B1 (ko) 2018-10-08 2023-10-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 박막 증착 장치와 기판 처리 장치
KR102605121B1 (ko) 2018-10-19 2023-11-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
KR102546322B1 (ko) 2018-10-19 2023-06-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
US11087997B2 (en) 2018-10-31 2021-08-10 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus for processing substrates
KR20200051105A (ko) 2018-11-02 2020-05-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
US11572620B2 (en) 2018-11-06 2023-02-07 Asm Ip Holding B.V. Methods for selectively depositing an amorphous silicon film on a substrate
US10818758B2 (en) 2018-11-16 2020-10-27 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a metal silicate film on a substrate in a reaction chamber and related semiconductor device structures
US10482916B1 (en) * 2018-11-20 2019-11-19 Jiangsu Fine Storage Information Technology Co., Ltd. Automatic CD processing facility
US11217444B2 (en) 2018-11-30 2022-01-04 Asm Ip Holding B.V. Method for forming an ultraviolet radiation responsive metal oxide-containing film
KR102636428B1 (ko) 2018-12-04 2024-02-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치를 세정하는 방법
US11158513B2 (en) 2018-12-13 2021-10-26 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a rhenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures
JP2020096183A (ja) 2018-12-14 2020-06-18 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 窒化ガリウムの選択的堆積を用いてデバイス構造体を形成する方法及びそのためのシステム
TWI819180B (zh) 2019-01-17 2023-10-21 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法
KR20200091543A (ko) 2019-01-22 2020-07-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
TW202044325A (zh) 2019-02-20 2020-12-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 填充一基板之一表面內所形成的一凹槽的方法、根據其所形成之半導體結構、及半導體處理設備
TW202104632A (zh) 2019-02-20 2021-02-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用來填充形成於基材表面內之凹部的循環沉積方法及設備
KR20200102357A (ko) 2019-02-20 2020-08-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 3-d nand 응용의 플러그 충진체 증착용 장치 및 방법
KR102626263B1 (ko) 2019-02-20 2024-01-16 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 처리 단계를 포함하는 주기적 증착 방법 및 이를 위한 장치
TW202100794A (zh) 2019-02-22 2021-01-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基材處理設備及處理基材之方法
KR20200108248A (ko) 2019-03-08 2020-09-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. SiOCN 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법
KR20200108242A (ko) 2019-03-08 2020-09-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체
JP2020167398A (ja) 2019-03-28 2020-10-08 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー ドアオープナーおよびドアオープナーが提供される基材処理装置
KR20200116855A (ko) 2019-04-01 2020-10-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반도체 소자를 제조하는 방법
KR20200123380A (ko) 2019-04-19 2020-10-29 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 층 형성 방법 및 장치
KR20200125453A (ko) 2019-04-24 2020-11-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
KR20200130121A (ko) 2019-05-07 2020-11-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 딥 튜브가 있는 화학물질 공급원 용기
KR20200130118A (ko) 2019-05-07 2020-11-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 비정질 탄소 중합체 막을 개질하는 방법
KR20200130652A (ko) 2019-05-10 2020-11-19 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조
JP2020188255A (ja) 2019-05-16 2020-11-19 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
USD975665S1 (en) 2019-05-17 2023-01-17 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
USD947913S1 (en) 2019-05-17 2022-04-05 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
KR20200141003A (ko) 2019-06-06 2020-12-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 가스 감지기를 포함하는 기상 반응기 시스템
KR20200143254A (ko) 2019-06-11 2020-12-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조
USD944946S1 (en) 2019-06-14 2022-03-01 Asm Ip Holding B.V. Shower plate
KR20210005515A (ko) 2019-07-03 2021-01-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법
JP2021015791A (ja) 2019-07-09 2021-02-12 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. 同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法
CN112216646A (zh) 2019-07-10 2021-01-12 Asm Ip私人控股有限公司 基板支撑组件及包括其的基板处理装置
KR20210010307A (ko) 2019-07-16 2021-01-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
KR20210010816A (ko) 2019-07-17 2021-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법
KR20210010820A (ko) 2019-07-17 2021-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법
US11643724B2 (en) 2019-07-18 2023-05-09 Asm Ip Holding B.V. Method of forming structures using a neutral beam
CN112242296A (zh) 2019-07-19 2021-01-19 Asm Ip私人控股有限公司 形成拓扑受控的无定形碳聚合物膜的方法
CN112309843A (zh) 2019-07-29 2021-02-02 Asm Ip私人控股有限公司 实现高掺杂剂掺入的选择性沉积方法
CN112309900A (zh) 2019-07-30 2021-02-02 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
CN112309899A (zh) 2019-07-30 2021-02-02 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
US11587815B2 (en) 2019-07-31 2023-02-21 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
US11227782B2 (en) * 2019-07-31 2022-01-18 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
US11587814B2 (en) 2019-07-31 2023-02-21 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
KR20210018759A (ko) 2019-08-05 2021-02-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 화학물질 공급원 용기를 위한 액체 레벨 센서
USD965044S1 (en) 2019-08-19 2022-09-27 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
USD965524S1 (en) 2019-08-19 2022-10-04 Asm Ip Holding B.V. Susceptor support
JP2021031769A (ja) 2019-08-21 2021-03-01 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. 成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置
KR20210024423A (ko) 2019-08-22 2021-03-05 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 홀을 구비한 구조체를 형성하기 위한 방법
USD949319S1 (en) 2019-08-22 2022-04-19 Asm Ip Holding B.V. Exhaust duct
USD979506S1 (en) 2019-08-22 2023-02-28 Asm Ip Holding B.V. Insulator
USD940837S1 (en) 2019-08-22 2022-01-11 Asm Ip Holding B.V. Electrode
US11286558B2 (en) 2019-08-23 2022-03-29 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a molybdenum nitride film on a surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures including a molybdenum nitride film
KR20210024420A (ko) 2019-08-23 2021-03-05 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 비스(디에틸아미노)실란을 사용하여 peald에 의해 개선된 품질을 갖는 실리콘 산화물 막을 증착하기 위한 방법
KR20210029090A (ko) 2019-09-04 2021-03-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법
KR20210029663A (ko) 2019-09-05 2021-03-16 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US11562901B2 (en) 2019-09-25 2023-01-24 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing method
CN112593212B (zh) 2019-10-02 2023-12-22 Asm Ip私人控股有限公司 通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法
TW202129060A (zh) 2019-10-08 2021-08-01 荷蘭商Asm Ip控股公司 基板處理裝置、及基板處理方法
KR20210043460A (ko) 2019-10-10 2021-04-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 포토레지스트 하부층을 형성하기 위한 방법 및 이를 포함한 구조체
KR20210045930A (ko) 2019-10-16 2021-04-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 산화물의 토폴로지-선택적 막의 형성 방법
US11637014B2 (en) 2019-10-17 2023-04-25 Asm Ip Holding B.V. Methods for selective deposition of doped semiconductor material
KR20210047808A (ko) 2019-10-21 2021-04-30 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 막을 선택적으로 에칭하기 위한 장치 및 방법
US11646205B2 (en) 2019-10-29 2023-05-09 Asm Ip Holding B.V. Methods of selectively forming n-type doped material on a surface, systems for selectively forming n-type doped material, and structures formed using same
KR20210054983A (ko) 2019-11-05 2021-05-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 도핑된 반도체 층을 갖는 구조체 및 이를 형성하기 위한 방법 및 시스템
US11501968B2 (en) 2019-11-15 2022-11-15 Asm Ip Holding B.V. Method for providing a semiconductor device with silicon filled gaps
KR20210062561A (ko) 2019-11-20 2021-05-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템
KR20210065848A (ko) 2019-11-26 2021-06-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 제1 유전체 표면과 제2 금속성 표면을 포함한 기판 상에 타겟 막을 선택적으로 형성하기 위한 방법
CN112951697A (zh) 2019-11-26 2021-06-11 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
CN112885693A (zh) 2019-11-29 2021-06-01 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
CN112885692A (zh) 2019-11-29 2021-06-01 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
JP2021090042A (ja) 2019-12-02 2021-06-10 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. 基板処理装置、基板処理方法
KR20210070898A (ko) 2019-12-04 2021-06-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
TW202125596A (zh) 2019-12-17 2021-07-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成氮化釩層之方法以及包括該氮化釩層之結構
KR20210080214A (ko) 2019-12-19 2021-06-30 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
JP2021109175A (ja) 2020-01-06 2021-08-02 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー ガス供給アセンブリ、その構成要素、およびこれを含む反応器システム
KR20210095050A (ko) 2020-01-20 2021-07-30 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 형성 방법 및 박막 표면 개질 방법
TW202130846A (zh) 2020-02-03 2021-08-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成包括釩或銦層的結構之方法
TW202146882A (zh) 2020-02-04 2021-12-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 驗證一物品之方法、用於驗證一物品之設備、及用於驗證一反應室之系統
US11776846B2 (en) 2020-02-07 2023-10-03 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing gap filling fluids and related systems and devices
US11781243B2 (en) 2020-02-17 2023-10-10 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing low temperature phosphorous-doped silicon
KR20210116240A (ko) 2020-03-11 2021-09-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 조절성 접합부를 갖는 기판 핸들링 장치
US11876356B2 (en) 2020-03-11 2024-01-16 Asm Ip Holding B.V. Lockout tagout assembly and system and method of using same
KR20210117157A (ko) 2020-03-12 2021-09-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 타겟 토폴로지 프로파일을 갖는 층 구조를 제조하기 위한 방법
KR20210124042A (ko) 2020-04-02 2021-10-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 형성 방법
TW202146689A (zh) 2020-04-03 2021-12-16 荷蘭商Asm Ip控股公司 阻障層形成方法及半導體裝置的製造方法
TW202145344A (zh) 2020-04-08 2021-12-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於選擇性蝕刻氧化矽膜之設備及方法
US11821078B2 (en) 2020-04-15 2023-11-21 Asm Ip Holding B.V. Method for forming precoat film and method for forming silicon-containing film
US11898243B2 (en) 2020-04-24 2024-02-13 Asm Ip Holding B.V. Method of forming vanadium nitride-containing layer
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KR20220027026A (ko) 2020-08-26 2022-03-07 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 금속 실리콘 산화물 및 금속 실리콘 산질화물 층을 형성하기 위한 방법 및 시스템
USD990534S1 (en) 2020-09-11 2023-06-27 Asm Ip Holding B.V. Weighted lift pin
USD1012873S1 (en) 2020-09-24 2024-01-30 Asm Ip Holding B.V. Electrode for semiconductor processing apparatus
TW202229613A (zh) 2020-10-14 2022-08-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 於階梯式結構上沉積材料的方法
KR20220053482A (ko) 2020-10-22 2022-04-29 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 바나듐 금속을 증착하는 방법, 구조체, 소자 및 증착 어셈블리
TW202223136A (zh) 2020-10-28 2022-06-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統
TW202235675A (zh) 2020-11-30 2022-09-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 注入器、及基板處理設備
US11946137B2 (en) 2020-12-16 2024-04-02 Asm Ip Holding B.V. Runout and wobble measurement fixtures
TW202231903A (zh) 2020-12-22 2022-08-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成
USD980813S1 (en) 2021-05-11 2023-03-14 Asm Ip Holding B.V. Gas flow control plate for substrate processing apparatus
USD980814S1 (en) 2021-05-11 2023-03-14 Asm Ip Holding B.V. Gas distributor for substrate processing apparatus
USD1023959S1 (en) 2021-05-11 2024-04-23 Asm Ip Holding B.V. Electrode for substrate processing apparatus
USD981973S1 (en) 2021-05-11 2023-03-28 Asm Ip Holding B.V. Reactor wall for substrate processing apparatus
USD990441S1 (en) 2021-09-07 2023-06-27 Asm Ip Holding B.V. Gas flow control plate

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4383789A (en) * 1977-03-26 1983-05-17 Itoki Kosakusho Co. Ltd. Article automatic storage and retrieval apparatus
JPH07109691B2 (ja) * 1986-10-28 1995-11-22 日立電子エンジニアリング株式会社 ディスクライブラリ装置
JPH01211364A (ja) * 1988-02-19 1989-08-24 Toshiba Corp 情報処理装置
US4984108A (en) * 1988-12-16 1991-01-08 Datatape Incorporated Apparatus for transporting magnetic tape cassettes of different sizes
US5323327A (en) * 1992-05-01 1994-06-21 Storage Technology Corporation On-the-fly cataloging of library cell contents in an automated robotic tape library
US5511183A (en) * 1992-05-12 1996-04-23 Fujitsu Limited Non-volatile memory controlling apparatus and applications of the same to electronic computer peripheral equipments
JP2583017B2 (ja) * 1993-04-14 1997-02-19 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション カートリッジ格納装置及び自動格納ライブラリ
US5680377A (en) * 1993-11-03 1997-10-21 International Business Machines Corporation Automated data storage library employing multi-direction picker with double lip gripper
JP3011842B2 (ja) * 1993-11-10 2000-02-21 富士通株式会社 磁気テープ装置
US5532931A (en) * 1994-07-29 1996-07-02 International Business Machines Corporation Low tolerance positioning system in an automated handling system
US5426581A (en) * 1994-08-15 1995-06-20 International Business Machines Corporation Using a bar code scanner to calibrate positioning of a robotic system
US5818723A (en) * 1994-12-22 1998-10-06 International Business Machines Corporation Quick access data storage library with backup capability
US5848872A (en) * 1996-11-15 1998-12-15 Storage Technology Corporation Apparatus for handling cartridges in a storage library system

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001006506A1 (en) * 1999-07-16 2001-01-25 Storage Technology Corporation Connectivity between cartridge libraries using transport robots on rail system

Also Published As

Publication number Publication date
JP3957818B2 (ja) 2007-08-15
US6022180A (en) 2000-02-08

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