JPH11214900A - カメラ位置の偏差補正方法およびその装置、並びにカメラ位置補正用のダミー部品 - Google Patents
カメラ位置の偏差補正方法およびその装置、並びにカメラ位置補正用のダミー部品Info
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- JPH11214900A JPH11214900A JP10029339A JP2933998A JPH11214900A JP H11214900 A JPH11214900 A JP H11214900A JP 10029339 A JP10029339 A JP 10029339A JP 2933998 A JP2933998 A JP 2933998A JP H11214900 A JPH11214900 A JP H11214900A
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- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
- H05K13/081—Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines
- H05K13/0818—Setup of monitoring devices prior to starting mounting operations; Teaching of monitoring devices for specific products; Compensation of drifts during operation, e.g. due to temperature shifts
Abstract
座標系との相互間における偏差を、簡単かつ迅速に補正
することができると共に、精度良く補正することができ
るカメラ位置の偏差補正方法およびその装置、並びにカ
メラ位置補正用のダミー部品を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 撮像することにより各認識カメラ11,
13の認識中心に対する部品中心の座標系上のずれ量を
認識可能なダミー部品40を用い、ダミー部品40の姿
勢を保持した状態で且つそれぞれの既座標系上で、ダミ
ー部品40を基板認識カメラ11および部品認識カメラ
13でそれぞれ撮像する撮像工程と、ダミー部品40の
部品中心と、基板認識カメラ11および部品認識カメラ
13の認識中心とのずれ量を算出する算出工程と、ずれ
量に基づいて、基板認識カメラ11および/または部品
認識カメラ13の座標系を補正する補正工程とを備えた
ものである。
Description
などにおいて、部品認識カメラの座標系と基板認識カメ
ラの座標系との相互間における偏差を補正するカメラ位
置の偏差補正方法およびその装置、並びにカメラ位置補
正用のダミー部品に関するものである。
した基板のマークを基板認識カメラで撮像して基板の位
置認識を行うと共に、基板に装着する電子部品を部品認
識カメラで撮像して位置認識を行い、これらの認識結果
に基づいて、電子部品の位置補正を行った後これを基板
に装着するようにしている。この場合、部品認識カメラ
の座標系と基板認識カメラの座標系とが、X・Y方向お
よび角度θ(以下「θ」を「Z」として表現する)にお
いて完全に一致していないと、たとえ補正を行っても基
板に電子部品を正確に装着することはできない。
装置を設置したとき或いは温度変化等を考慮して定期的
(装置稼働時等)に、部品認識カメラの座標系と基板認
識カメラの座標系との相互間の偏差を補正するようにし
ている。具体的には、装置本体に導入したダミー基板
に、実際の電子部品を上記の手順で装着し、ダミー基板
上における設計上の装着位置と実際の装着位置とのずれ
量を、別途用意した計測装置で計測し、この計測結果を
電子部品装着装置に入力して、部品認識カメラの座標系
および基板認識カメラの座標系の偏差の補正を行うよう
にしている(同時に装置本体の絶対基準座標系に対する
補正も行う)。
部品装置では、両カメラの座標系を補正するのに、計測
装置が必要となると共に、ダミー基板の移送や計測等、
その補正作業が煩雑かつ時間がかかるものとなってい
た。しかも、実際の電子部品を用いるため、電子部品の
製造上の誤差を考慮する必要があり、複数の電子部品を
用いて上記の装着および計測を複数回行い、ずれ量の平
均値を出す必要があった。
認識カメラの座標系との相互間における偏差を、簡単か
つ迅速に補正することができると共に、精度良く補正す
ることができるカメラ位置の偏差補正方法およびその装
置、並びにカメラ位置補正用のダミー部品を提供するこ
とをその目的としている。
差補正方法は、基板を位置認識する基板認識カメラの座
標系と、基板に装着する電子部品を位置認識する部品認
識カメラの座標系との相互間の偏差を補正するカメラ位
置の偏差補正方法において、撮像することにより各認識
カメラの認識中心に対する部品中心の座標系上のずれ量
を認識可能なダミー部品を用い、ダミー部品の姿勢を保
持した状態で且つそれぞれの既座標系上で、ダミー部品
を基板認識カメラおよび部品認識カメラでそれぞれ撮像
する撮像工程と、撮像工程で撮像した撮像結果から、ダ
ミー部品の部品中心と、基板認識カメラおよび部品認識
カメラの認識中心とのずれ量をそれぞれ算出するずれ量
算出工程と、ずれ量算出工程で算出したずれ量に基づい
て、基板認識カメラおよび/または部品認識カメラの座
標系を補正する補正工程とを備えたことを特徴とする。
系上において、ダミー部品を基板認識カメラおよび部品
認識カメラによりそれぞれ撮像することで、各認識カメ
ラの認識中心に対する部品中心の座標系上のずれ量が認
識される。この撮像は、ダミー部品の姿勢を保持した状
態で行われるため、両認識カメラは、基本的に同一条件
でダミー部品を撮像することになる。したがって、ダミ
ー部品の部品中心に対する基板認識カメラの認識中心と
部品認識カメラの認識中心とのずれ量の総和が、両認識
カメラ相互間の偏位となる。そして、この偏位に基づい
て基板認識カメラおよび/または部品認識カメラの座標
系を補正すれば、基板認識カメラの座標系と部品認識カ
メラの座標系とが合致する。すなわち、既座標系(設計
上の座標系)の偏差を、両認識カメラによりダミー部品
をそれぞれ認識することで補正することができる。な
お、ダミー部品は、実際の電子部品でもよいが、専用に
製作したものが精度上好ましい。
板を位置認識する基板認識カメラの座標系と、基板に装
着する電子部品を位置認識する部品認識カメラの座標系
との相互間の偏差を補正するカメラ位置の偏差補正装置
において、撮像することにより各認識カメラの認識中心
に対する部品中心の座標系上のずれ量を認識可能なダミ
ー部品と、ダミー部品の姿勢を保持した状態で且つそれ
ぞれの既座標系上で、ダミー部品を基板認識カメラおよ
び部品認識カメラでそれぞれ撮像する撮像制御手段と、
撮像制御手段で撮像した撮像結果から、ダミー部品の部
品中心と、基板認識カメラおよび部品認識カメラの認識
中心とのずれ量を算出するずれ量算出手段と、ずれ量算
出手段で算出したずれ量に基づいて、基板認識カメラお
よび/または部品認識カメラの座標系を補正する補正手
段とを備えたことを特徴とする。
り、基板認識カメラおよび部品認識カメラを制御して、
それぞれの既座標系上において、ダミー部品を撮像させ
る。次に、ずれ量算出手段により、この撮像結果に基づ
いて、各認識カメラの認識中心に対する部品中心の座標
系上のずれ量を認識する。そして、補正手段により、こ
のずれ量に基づいて、各認識カメラの座標系を補正す
る。この撮像は、ダミー部品の姿勢を保持した状態で行
われるため、両認識カメラは、基本的に同一条件でダミ
ー部品を撮像することになる。したがって、ダミー部品
の部品中心に対する基板認識カメラの認識中心と部品認
識カメラの認識中心とのずれ量の総和が、両認識カメラ
相互間の偏位となる。そして、この偏位に基づいて基板
認識カメラおよび/または部品認識カメラの座標系を補
正すれば、基板認識カメラの座標系と部品認識カメラの
座標系とが合致する。すなわち、既座標系(設計上の座
標系)の偏差を、両認識カメラによりダミー部品をそれ
ぞれ認識することで補正することができる。
識カメラの座標系および部品認識カメラの座標系には、
水平面内における回転角度が含まれていることが、好ま
しい。
認識カメラの取付角度および部品認識カメラの取付角度
の誤差に基づく偏差をも補正することができ、ひいて
は、電子部品の基板への装着を、より高精度で行うこと
ができる。
識カメラは、装置本体の絶対基準座標系に基づいて装置
本体に固定的に設けられ、基板認識カメラは、装置本体
の絶対基準座標系に基づいて装置本体に可動的に設けら
れており、装置本体に絶対基準座標系に基づいて導入可
能なダミー基板と、基板認識カメラの座標系と部品認識
カメラの座標系との相互間の偏差の補正に先立ち、導入
したダミー基板を介して絶対基準座標系に対する基板認
識カメラの座標系の偏差の補正を行う絶対補正手段と
を、更に備えることが好ましい。
ダミー基板を介して、絶対基準座標系に対する基板認識
カメラの座標系の偏差の補正することができ、且つその
後の基板認識カメラの座標系と部品認識カメラの座標系
との相互間の偏差の補正により、絶対基準座標系に対す
る両認識カメラの座標系の補正を行うことができる。す
なわち、電子部品の基板への装着を、装置本体の絶対基
準座標系に基づいて行うことができる。
識カメラの座標系、部品認識カメラの座標系および装置
本体の絶対基準座標系には、水平面内における回転角度
が含まれていることが、好ましい。
標系に対し、水平面内における基板認識カメラの取付角
度および部品認識カメラの取付角度の誤差に基づく偏差
をも補正することができる。
て、基板認識カメラをXY方向に移動させるXY移動手
段を、更に備えており、絶対補正手段は、絶対基準座標
系に対する基板認識カメラの座標系の偏差の補正を行う
と同時に、導入したダミー基板を介して絶対基準座標系
に対するXY移動手段の移動座標系の角度偏差の補正を
行うことが、好ましい。
るXXY移動手段の移動座標系の角度偏差の補正を行う
ことで、XY移動手段により移動する基板認識カメラの
移動誤差を補正することができる。
置において、電子部品を基板に装着する装着ヘッドが、
支持部材を介して基板認識カメラと共にユニット化され
且つ基板認識カメラと共に装置本体に可動的に設けられ
ており、装着ヘッドは、絶対基準座標系に基づいて支持
部材に固定されていることが、好ましい。
準座標系に基づいて支持部材に固定されているため、電
子部品の基板への装着を、より高精度で行うことができ
る。
置において、ダミー部品が、透光性のベースとベースに
描いた被撮像パターンとから成ることが、好ましい。
ターンがベースに描いたものであるため、各認識カメラ
は厚みの無いパターンを撮像することになり、厚みのあ
る実際の電子部品などに比して、パターン認識を、より
正確に行うことができる。すなわち、補正の精度を高め
ることができる。
置において、ダミー部品をストックするストッカと、基
板認識カメラによる撮像の為にダミー部品を載置する撮
像テーブルとを、更に備えており、撮像テーブルは、ダ
ミー部品を載置する載置台と載置台を透過してダミー部
品を照明するバックライトとを有することが、好まし
い。
本体に備えておくことができると共に、基板認識カメラ
による撮像に際し、バックライトによりダミー部品を照
明することで、パターン認識を、より正確に行うことが
できる。すなわち、補正の精度を高めることができる。
は、撮像することにより認識カメラの認識中心に対する
部品中心のずれ量を認識可能なカメラ位置補正用のダミ
ー部品であって、透光性のベースとベースに描いた被撮
像パターンとから成ることを特徴とする。
ターンがベースに描いたものであるため、認識カメラは
厚みの無いパターンを撮像することになり、厚みのある
実際の電子部品などに比して、パターン認識を、より正
確に行うことができる。
パターンは、ベースの下面に描かれていることが、好ま
しい。
の電子部品の認識と同一の形態で、被撮像パターンの認
識を行うことができ、撮像形態に基づく実際の電子部品
とダミー部品との認識誤差を、より小さくすることがで
きる。
て、ベースはガラスで構成されており、被撮像パターン
は、ベースに酸化クロムを蒸着したものであることが、
好ましい。
し、耐久性を有する被撮像パターンを精度良く描くこと
ができ、正確なパターン認識が可能になる。
において、被撮像パターンは、方形の多数のパターン要
素を方形の輪郭となるように並べて構成されていること
が、好ましい。
識が可能であると共に、単一の被撮像パターンであって
も、多数のパターン要素により多数のパターン認識が可
能になり、これら多数のパターン認識を平均化すること
で、より正確なパターン認識が可能になる。
において、被撮像パターンは、それぞれがずれ量を認識
可能で且つ中心を同一とする大小複数のパターン部で構
成されていることが、好ましい。
る複数の認識カメラで撮像する場合に、その解像度に対
応したパターン認識が可能になる。
明の一実施形態に係るカメラ位置の偏差補正方法および
その装置、並びにカメラ位置補正用のダミー部品を適用
した電子部品装着装置について説明する。この電子部品
装着装置は、いわゆる多機能チップマウンタであり、チ
ップコンデンサやチップ抵抗などの表面実装部品、およ
びフラットパックICなどの多リード部品などの各種の
電子部品を実装可能に構成されている。図1は電子部品
装着装置の平面図であり、同図に示すように、電子部品
装着装置1は、機台2と、機台2の中央部に左右方向に
延在するコンベア部3と、機台2の前部(図示の下側)
に配設した第1部品供給部4aと、機台2の後部(図示
の上側)に配設した第2部品供給部4bと、機台2の前
部に移動自在に配設した第1XYステージ6aと、機台
2の後部に移動自在に配設した第2XYステージ6bと
を備えている。
着および装置するための第1ヘッドユニット8aが、同
様に第2XYステージ6bには、第2ヘッドユニット8
bがそれぞれ搭載されている。各ヘッドユニット8a,
8bには、支持部材10に取り付けるようにして、1台
の基板認識カメラ11と2台の装着ヘッド12,12と
が搭載されている。また、機台2上には、コンベア部3
を挟んで、各一対2組の部品認識カメラ13,13,1
3,13と、2台のノズルストッカ14,14とが、そ
れぞれ配設されている。この場合、前部に位置する両部
品認識カメラ13,13およびノズルストッカ14は第
1ヘッドユニット8aに対応し、後部に位置する両部品
認識カメラ13,13およびノズルストッカ14は第2
ヘッドユニット8bに対応している。また、前部のノズ
ルストッカ14の近傍には、後述するダミー部品40を
収容する治具ユニット15が配設されている。
品などの小さい電子部品は、第1部品供給部4aおよび
第2部品供給部4bから供給され、多リード部品など大
きい電子部品は、図示しないトレイ形式の部品供給部か
ら供給される。また、基板は、コンベア部3により左方
から供給されて機台2中央に不動にセットされ、右方に
排出される。例えば、第1XYステージ6aを用いる電
子部品の実装では、第1XYステージ6aにより、第1
ヘッドユニット8aを第1部品供給部(他の部品供給部
でも可)4aに臨ませ、所望の電子部品を吸着し、次に
この電子部品を部品認識カメラ13に臨ませて位置認識
し、更に第1ヘッドユニット8aを基板の所定の位置ま
で移動させて、基板認識カメラ11で基板位置を認識し
た後、電子部品を基板に装着する。その際、部品認識カ
メラ13の認識結果に基づいて、設計値(装着ヘッドの
ノズル位置)と吸着した電子部品との間の位置補正が行
われ、基板認識カメラ11の認識結果に基づいて、設計
値と基板の実装位置との間の位置補正が行われる。な
お、通常、第1XYステージ6aと第2XYステージ6
bとは交互運転となる。
6と、左側の搬入搬送路17と、右側の搬出搬送路18
とを有している。基板は、搬入搬送路17からセットテ
ーブル16に供給され、セットテーブル16で電子部品
の装着を受けるべく不動にかつ所定の高さにセットされ
る。そして、電子部品の装着が完了した基板は、セット
テーブル16から搬出搬送路18を介して排出される。
この場合、搬入搬送路17には供給待機状態の基板が有
り、また搬出搬送路18には排出待機状態の基板が有り
(図示では省略)、これら基板は順送りで搬送される。
なお、詳細は後述するが、セットテーブル16における
基板の突当端が装置全体の絶対基準座標系の原点とな
る。
4bは、いずれも多数のテープカセット19を横並びに
配設したものである。各テープカセット19には、キャ
リアテープ(図示では省略)に装填された状態で電子部
品が収容され、電子部品はテープカセット19の先端か
ら1つずつ供給される。通常の運転において、第1ヘッ
ドユニット8aが装着動作している場合には、第2部品
供給部4bでテープカセット19の交換作業が行われ、
第2ヘッドユニット8bが装着動作している場合には、
第1部品供給部4aでテープカセット19の交換作業が
行われる。
ージ6bは、機台2の左右両端部に配設した一対のY軸
ガイドレール21,21に案内されて、前後方向(Y軸
方向)に移動するY動ビーム22,22を、それぞれ有
している。第1XYステージ6aのY動ビーム22は、
左部のボールねじおよびこれを回転させるY軸モータ
(いずれも図示省略)により、Y軸方向(前後方向)に
進退する。同様に、第2XYステージ6bのY動ビーム
22は、右部のボールねじおよびこれを回転させるY軸
モータ(いずれも図示省略)により、Y軸方向に進退す
る。
のものであり、それぞれX軸ガイドレール23を有し、
上記の駆動系と同様に、ボールねじおよびX軸モータ
(いずれも図示省略)の構成で、上記の各ヘッドユニッ
ト8a,8bをX軸方向(左右方向)に進退させる。こ
のように、各ヘッドユニット8a,8bは、X軸方向お
よびY軸方向、すなわち水平面内において移動自在とな
っている。
ム22によりX軸方向に移動する支持部材10と、支持
部材10に取り付けられた2個の装着ヘッド12,12
および両装着ヘッド12,12間に配置した1個の基板
認識カメラ11とを備えている。基板認識カメラ11
は、各基板の基準マークを認識するものであり、基準マ
ークが電子部品の装着位置の基準となる。そして、各装
着ヘッド12の下端部には、図外の真空吸引装置に接続
された吸着ノズル25が着脱自在に取り付けられてい
る。なお、各装着ヘッド12には、吸着ノズル25を介
して電子部品を水平面内で回転させるモータ(図示省
略)が組み込まれている。
トックするダミーストッカ31と、ダミー部品40を撮
像するための撮像テーブル32とで構成されている。ダ
ミーストッカ31の表面には、ダミー部品40が嵌り込
む浅い溝が形成され、浅い溝にダミー部品40が載置さ
れている。撮像テーブル32は、光を拡散透過可能な載
置台33と、載置台33の下側に配設したLEDアレイ
などから成るバックライト34とで構成されている。詳
細は後述するが、ダミー部品40を基板認識カメラ11
で撮像する場合には、載置台33上に載置したダミー部
品40をバックライト34で照明し、これを上側から撮
像する。
5は、基板を位置認識する基板認識カメラ11の座標系
と、電子部品を位置認識する部品認識カメラ13の座標
系との相互間の偏差を補正するためのものであり、この
補正は、装着ヘッド12で移送したダミー部品40を、
それぞれ基板認識カメラ11および部品認識カメラ13
で撮像し、これを認識することにより行われる。また、
この補正に先立ち、ダミー基板50をセットテーブル1
6に導入し、ダミー基板50の所定の部位を基板認識カ
メラ11で認識して、機台2の絶対基準座標系に対する
基板認識カメラ11の座標系の偏差を補正するようにし
ている。
部を面取りした方形のベース41と、ベース41の裏面
に描いた被撮像パターン42とで構成されている。ベー
ス41は、剛性を考慮して1〜2mm厚程度のガラスで
構成され、被撮像パターン42は、このベース41に酸
化クロムを蒸着して構成されている。被撮像パターン4
2は、中心を同一とする大パターン部43と、大パター
ン部43の中抜き部分に描いた小パターン部44とで構
成されている。大小両パターン部43,44は、リード
部品に似せた図柄となっており、外周部にリードに相当
する方形の多数のパターン要素45を等間隔に並べ、全
体として方形の輪郭を有している。
は、装着する電子部品により、部品認識カメラ13の撮
像倍率を変えている。例えば、多リードの電子部品を扱
う場合には、その解像度を高めるべく部品認識カメラ1
3の撮像倍率を大きくしている。かかる場合には、部品
認識カメラ13の視野に被撮像パターン42が適切に納
まるように小パターン部44を撮像対象とし、また逆の
場合には、大パターン部43を撮像対象とする。これに
より、各認識カメラ11,13の解像度に合わせたパタ
ーン認識が可能になる。また、各パターン部43,44
を方形のパターン要素45を並べて構成することによ
り、各パターン要素45を用いて、単一のパターン部4
3,44に対し複数の認識が可能になる。このため、複
数の認識結果を平均化することにより、より正確なパタ
ーン認識が可能になる。なお、ダミー部品40は、その
被撮像パターン42が下側になるようにしてストックさ
れると共に、この姿勢で吸着され且つ撮像される。
に形成され、基板として平均的な大きさを有している。
ダミー基板50の表面には、その中央に上記の小パター
ン部44と同様な認識パターン51が描かれ、また長手
方向に離れて一対の認識マーク52,52が描かれてい
る。一方、セットテーブル16に導入したダミー基板5
0の搬送方向の先端は、セットテーブル16のストッパ
(図示省略)に突き当てられ、機台2の絶対基準座標系
上でセットされている。したがって、基板認識カメラ1
1で上記の認識パターン51を認識することにより、絶
対基準座標系に対する基板認識カメラ11の座標系の補
正が可能になり、また左右方向に離間した一対の認識マ
ーク52,52をそれぞれ認識することにより、各XY
ステージ6の移動角度ずれに基づく基板認識カメラ11
の座標系の補正が可能になる。
0を用いた上記の補正方法を説明する前に、図4を参照
して、この電子部品装着装置1の制御装置100につい
て簡単に説明する。なお、この説明では第1XYステー
ジ6a側についてのみ説明する。同図に示すように、制
御装置100には、XYステージ6を介してヘッドユニ
ット8をXY方向に移動させるXモータ101およびY
モータ102と、装着ヘッド12に搭載したZモータ
(回転)103とが接続されている。Xモータ101、
Yモータ102およびZモータ103は、それぞれXモ
ータドライバ104、Yモータドライバ105およびZ
モータドライバ106を介して、これらを統括制御する
CPU107に接続されている。同様に、基板認識カメ
ラ11および部品認識カメラ13は、それぞれ基板画像
処理部108および部品画像処理部109を介して、C
PU107に接続されている。なお、図示では省略した
が、CPU107には、ドライバを介してバックライト
34も接続されている。
続されており、メモリ110には、これらモータ10
4,105,106や認識カメラ11,13を制御する
ための設計値データやその他の各種データが記憶される
と共に、後述するオフセットデータが記憶されるように
なっている。オフセットデータは、後述する偏位の算出
作業により更新され、CPU107は設計値データをオ
フセットデータで補正して、これらモータ104,10
5,106や認識カメラ11,13を制御する。なお、
各認識カメラ(CCDカメラ)11,13による撮像対
象物の認識は、撮像結果を各画像処理部108,109
で二値化等の処理を行った後、これをCPU107で演
算処理することで、行われる。
カメラ13の偏差補正方法について、説明する。この偏
差補正方法では、先ず図3に示すダミー基板50を用い
て、絶対基準座標系に対する基板認識カメラ11の座標
系の偏位の補正が行われると共に、絶対基準座標系に対
するY動ビーム22の移動座標系の角度偏差の補正が行
われる。その後図2に示すダミー部品40を用いて、基
板認識カメラ11の座標系に対する部品認識カメラ13
の座標系の偏位の補正が行われる。
1の座標系の補正において、XYステージ6の移動に基
づく偏位(角度ずれ)を考慮しない状態では、基板認識
カメラ11で撮像したダミー基板50の認識パターン5
1をCPU107で認識すれば、この認識結果と設計値
とのずれ量(オフセットデータ)を持って、簡単に補正
が可能になる。したがって、ここでは、絶対基準座標系
に対するXYステージ6の移動角度ずれ、すなわち絶対
基準座標系に対するY動ビーム22の移動座標系に基づ
くもののみ説明する。同様に、実際の座標系の補正で
は、吸着ノズル25の中心位置の補正も行われるが、こ
の場合も部品認識カメラ13で、装着ヘッド12に装着
した吸着ノズル25を下側から撮像すればよく、この説
明も省略する。
6と、セットテーブル16にセットされたダミー基板5
0とを表したイメージ図であり、ダミー基板50は、絶
対基準座標系(基板位置決め座標系)上で正確に位置決
めされている。この場合、基板位置決めXY座標(PL-X
Y:原点P0 )からみたY動ビーム22の駆動XY座標(Be
amA-XY)の設計寸法に対する位置ずれおよび角度ずれを
調整するためのオフセットデータを求め、このオフセッ
トデータに基づいて、PL-XY 座標系を基準として補正を
行う。なお、Y動ビーム(すなわちヘッドユニット8)
22に搭載された基板認識カメラ11の走査座標センタ
ーが、Y動ビーム(すなわちヘッドユニット8)22の
駆動XY座標の原点と一致する。
めXY座標上に位置決めし、図6の動作フローでオフセッ
トデータを求める。同図に示すように、先ずY動ビーム
22に搭載された基板認識カメラ11を、そのセンター
位置(視野中心)が一方(右側)の認識マーク52位置
に合致するように、設計値に従って移動させる(S
1)。ここで、基板認識カメラ11により認識マーク5
2を撮像して、その認識を行う(S2)。そして、この
認識結果(基板認識カメラ11の走査座標でのカメラセ
ンターからみたマークセンター位置座標)をメモリ11
0に 「dx1,dy1」として、一時保存する(S3)。
ー位置(視野中心)が他方(左側)の認識マーク52位
置に合致するように、設計値に従って移動させる(S
4)。ここで、基板認識カメラ11により認識マーク5
2の認識を行う(S5)と共に、この認識結果(基板認
識カメラ11の走査座標でのカメラセンターからみたマ
ークセンター位置座標)をメモリ110に 「dx2,dy2」
として、一時保存する(S6)。
ータ(オフセット量)を求める(S7)。 Y動ビームのX(横)、Y(縦)オフセットを下記
計算式で求める。 dx1'= dx1 * COS(-(CAMA3 角度オフセット:基板認
識カメラ)-dy1 * SIN(-(CAMA3 角度オフセット:基板
認識カメラ) dy1'= dy1 * COS(-(CAMA3 角度オフセット:基板認
識カメラ)+dy1 * SIN(-(CAMA3 角度オフセット:基板
認識カメラ) 認識マークの1点目と2点目とのX方向ピッチをP
として(Y方向はゼロ)、Y動ビームの角度オフセット
を以下の計算式により求める。 dz= tan-1 { P * (dy1'-dy2')/P * ( P + (dx1'-dx
2'))} このようにして求めた「」および「」のオフセット
量をオフセットデータとしてメモリ110に記憶してお
き、このオフセットデータに基づいて設計値が補正され
る。
る部品認識カメラ13の座標系の補正について説明す
る。この場合には、ダミー部品40をダミーストッカ3
1から吸着した後、Y動ビーム22を上記のビームオフ
セット[X(横)、Y(縦)、角度]を考慮して、PL-X
Y 座標系でみた部品認識カメラ13の設計位置に移動さ
せて認識を行う。そして、この時の認識結果を[Prec_
1x, Prec_1y, Prec_1z]とする。次に、ダミー部品4
0の吸着姿勢をそのままのに状態に保ち、Y動ビーム2
2を撮像テーブル(バックライトプレート)32の設計
位置(オフセットなし)に移動(ビームオフセット考
慮)させ、ダミー部品40を撮像テーブル32に載置
(装着)する。次に、Y動ビーム22により基板認識カ
メラ11を撮像テーブル32の設計位置に移動(ビーム
オフセット考慮)させ、ダミー部品40を認識する。そ
して、この時の認識結果を[Prec_2x, Prec_2y, Prec
_2z]とする。
フセットデータを求める。なお、図7の動作フローの説
明に用いるデータは次の通りである(これらは全て基板
位置決めXY座標系上の値)。 ・ Bmoff_x : ビームオフセットX、Bmoff_y : ビー
ムオフセットY、Bmoff_z : ビームオフセット角度 ・ STK_X : ダミーストッカ設計位置X、 STK_Y : ダ
ミーストッカ設計位置Y ・ CAM_X : 部品認識カメラ設計位置X、 CAM_Y : 部
品認識カメラ設計位置Y ・ BLT_X : バックライトプレート設計位置X、 BLT_
Y : バックライトプレート設計位置Y ・ BM_X : ビーム原点設計位置X、 BM_Y : ビーム
原点設計位置Y ・ HD_X : ビームピボット点A0からのヘッド設計位置
X、 HD_Y : ビームピボット点A0からのヘッド設計位
置Y
ム22により装着ヘッド12をダミーストッカ31の位
置まで移動させ(S11)、ダミー部品40をダミース
トッカ31から吸着する(S12)。この場合のY動ビ
ーム22の移動目的値(X、Y)は次のようになる。 X = (STK_X - (BM_X + HD_X + Bmoff_x)) * COS(Bm
off_z)-(STK_Y - (BM_Y + HD_Y + Bmoff_y)) * SI
N(Bmoff_z) Y = (STK_Y - (BM_Y + HD_Y + Bmoff_y)) * COS(Bm
off_z)-(STK_X - (BM_X + HD_X + Bmoff_x)) * SI
N(Bmoff_z)
1の位置から部品認識カメラ13の位置に移動させ(S
13)、これを部品認識カメラ13で認識する(S1
4)。この場合のY動ビーム22の移動目的値(X、
Y)は次のようになる。 X = (CAM_X - (BM_X + HD_X + Bmoff_x)) * COS(Bm
off_z)-(CAM_Y - (BM_Y + HD_Y + Bmoff_y)) * SI
N(Bmoff_z) Y = (CAM_Y - (BM_Y + HD_Y + Bmoff_y)) * COS(Bm
off_z)-(CAM_X - (BM_X + HD_X + Bmoff_x)) * SI
N(Bmoff_z) そして、この認識結果(部品認識カメラ13の走査座標
でのカメラセンターからみた部品センター位置座標)を
[Prec_1x, Prec_1y, Prec_1z]として、一時保存す
る(S15)。
ド12を撮像テーブル(バックライトプレート)32の
位置に移動させ(S16)、ダミー部品40を撮像テー
ブル32に載置する(S17)。この場合のY動ビーム
22の移動目的値(X、Y)は次のようになる。 X = (BLT_X - (BM_X + HD_X + Bmoff_x)) * COS(Bm
off_z)-(BLT_Y - (BM_Y + HD_Y + Bmoff_y)) * SI
N(Bmoff_z) Y = (BLT_Y - (BM_Y + HD_Y + Bmoff_y)) * COS(Bm
off_z)-(BLT_X - (BM_X + HD_X + Bmoff_x)) * SI
N(Bmoff_z)
32の位置に移動させ(S18)、基板認識カメラ11
でダミー部品40を認識する(S19)。その際、バッ
クライト34を点灯しダミー部品40を照明する。この
場合のY動ビーム22の移動目的値(X、Y)は次のよ
うになる。 X = (BLT_X - (BM_X + Bmoff_x)) * COS(Bmoff_z)-
(BLT_Y - (BM_Y + Bmoff_y)) * SIN(Bmoff_z) Y = (BLT_Y - (BM_Y + Bmoff_y)) * COS(Bmoff_z)-
(BLT_X - (BM_X + Bmoff_x)) * SIN(Bmoff_z) そして、この認識結果(基板認識カメラ11の走査座標
でのカメラセンターからみた部品センター位置座標)を
[Prec_2x, Prec_2y, Prec_2z]として、一時保存す
る(S20)。
タ(オフセット量)を求める(S21)。 部品認識カメラのX(横)、Y(縦)、角度を下記
計算式で求める。 Θ' = Prec_2z - Prec_1z + CAMA3 Z(角度) :基板認
識カメラのオフセットとすると Rcnv_1x = Prec_1x * COS(-Θ' ) - Prec_1y * SIN
(-Θ' ) Rcnv_1y = Prec_1y * COS(-Θ' ) + Prec_1x * SIN
(-Θ' ) Rcnv_2x = Prec_2x * COS(-CAMA3 Z) - Prec_2y * S
IN(-CAMA3 Z) Rcnv_2y = Prec_2y * COS(-CAMA3 Z) + Prec_2x * S
IN(-CAMA3 Z) 求める部品認識カメラのオフセットX(横)、Y
(縦)、角度は、 Cmoff_x = Rcnv_2x - Rcnv_1x Cmoff_y = Rcnv_2y - Rcnv_1y Cmoff_z = Θ' = Prec_2z - Prec_1z + CAMA3 Z(角
度) このようにして求めたオフセット量をオフセットデータ
としてメモリ110に記憶しておき、このオフセットデ
ータに基づいて設計値が補正される。
ヘッド12を撮像テーブル32の位置に移動させ(S2
2)、装着ヘッド12によりダミー部品40を吸着する
(S23)。続いて、装着ヘッド12を撮像テーブル3
2からダミーストッカ31の位置に移動させ(S2
4)、ダミー部品40をダミーストッカ31に収容する
(S25)。このようにして、ダミー部品40が元の位
置に戻され、一連の補正作業が終了する。
ー基板50を用いて、絶対基準座標系に対する基板認識
カメラ11の座標系の偏位およびXYステージ6の角度
偏位(基板認識カメラ11のカメラ中心の軌跡)の補正
が行われ、その後ダミー部品40を用いて、基板認識カ
メラ11の座標系に対する部品認識カメラ13の座標系
の偏位の補正が行われるため、基板認識カメラ11の座
標系と部品認識カメラ13との間の偏位、およびこれら
認識カメラ11,13の座標系と絶対基準座標系との間
の偏位を、極めて正確に補正することができる。
認識カメラ13との間の偏位は、ダミー部品40をそれ
ぞれの認識カメラ11,13で認識することで検出可能
となるため、簡単かつ迅速に補正することができる。ま
た、専用のダミー部品40を用い、且つこれを照明して
撮像するようにしているので、ダミー部品40の認識も
正確に行われ、全体として補正を精度良く行うことがで
きる。したがって、電子部品を基板に高精度で且つ安定
して実装することができる。
補正方法およびその装置によれば、両認識カメラのそれ
ぞれの既座標系(設計上の座標系)を、両認識カメラに
よりダミー部品をそれぞれ認識することで補正すること
ができるため、部品認識カメラの座標系と基板認識カメ
ラの座標系との相互間における偏差を、簡単かつ迅速に
補正することができると共に、精度良く補正することが
できる。したがって、電子部品を基板に高精度で且つ安
定して装着することができ、装置の信頼性を高めること
ができる。
部品によれば、厚みのある実際の電子部品などに比し
て、パターン認識を正確に行うことができ、電子部品等
における位置補正等の信頼性を向上させることができ
る。
正方法およびその装置、並びにカメラ位置補正用のダミ
ー部品を適用した電子部品装着装置の平面図である。
平面図である。
平面図である。
である。
ーブルにセットされたダミー基板とを表したイメージ図
である。
識カメラの座標系の偏位を求める動作フロー図である。
とを考慮した状態で、基板認識カメラの座標系および部
品認識カメラの座標系の偏位を求める動作フロー図であ
る。
Claims (14)
- 【請求項1】 基板を位置認識する基板認識カメラの座
標系と、基板に装着する電子部品を位置認識する部品認
識カメラの座標系との相互間の偏差を補正するカメラ位
置の偏差補正方法において、 撮像することにより各認識カメラの認識中心に対する部
品中心の座標系上のずれ量を認識可能なダミー部品を用
い、 前記ダミー部品の姿勢を保持した状態で且つそれぞれの
既座標系上で、当該ダミー部品を前記基板認識カメラお
よび前記部品認識カメラでそれぞれ撮像する撮像工程
と、 前記撮像工程で撮像した撮像結果から、前記ダミー部品
の部品中心と、前記基板認識カメラおよび前記部品認識
カメラの認識中心とのずれ量を算出するずれ量算出工程
と、 前記ずれ量算出工程で算出したずれ量に基づいて、前記
基板認識カメラおよび/または前記部品認識カメラの座
標系を補正する補正工程とを備えたことを特徴とするカ
メラ位置の偏差補正方法。 - 【請求項2】 基板を位置認識する基板認識カメラの座
標系と、基板に装着する電子部品を位置認識する部品認
識カメラの座標系との相互間の偏差を補正するカメラ位
置の偏差補正装置において、 撮像することにより各認識カメラの認識中心に対する部
品中心の座標系上のずれ量を認識可能なダミー部品と、 前記ダミー部品の姿勢を保持した状態で且つそれぞれの
既座標系上で、当該ダミー部品を前記基板認識カメラお
よび前記部品認識カメラでそれぞれ撮像する撮像制御手
段と、 前記撮像制御手段で撮像した撮像結果から、前記ダミー
部品の部品中心と、前記基板認識カメラおよび前記部品
認識カメラの認識中心とのずれ量を算出するずれ量算出
手段と、 前記ずれ量算出手段で算出したずれ量に基づいて、前記
基板認識カメラおよび/または前記部品認識カメラの座
標系を補正する補正手段とを備えたことを特徴とするカ
メラ位置の偏差補正装置。 - 【請求項3】 前記基板認識カメラの座標系および前記
部品認識カメラの座標系には、水平面内における回転角
度が含まれていることを特徴とする請求項2に記載のカ
メラ位置の偏差補正装置。 - 【請求項4】 前記部品認識カメラは、装置本体の絶対
基準座標系に基づいて当該装置本体に固定的に設けら
れ、前記基板認識カメラは、当該装置本体の絶対基準座
標系に基づいて当該装置本体に可動的に設けられてお
り、 前記装置本体に前記絶対基準座標系に基づいて導入可能
なダミー基板と、 前記基板認識カメラの座標系と前記部品認識カメラの座
標系との相互間の偏差の補正に先立ち、導入した前記ダ
ミー基板を介して前記絶対基準座標系に対する前記基板
認識カメラの座標系の偏差の補正を行う絶対補正手段と
を、更に備えたことを特徴とする請求項2に記載のカメ
ラ位置の偏差補正装置。 - 【請求項5】 前記基板認識カメラの座標系、前記部品
認識カメラの座標系および前記装置本体の絶対基準座標
系には、水平面内における回転角度が含まれていること
を特徴とする請求項4に記載のカメラ位置の偏差補正装
置。 - 【請求項6】 前記基板認識カメラをXY方向に移動さ
せるXY移動手段を、更に備えており、 前記絶対補正手段は、前記絶対基準座標系に対する前記
基板認識カメラの座標系の偏差の補正を行うと同時に、
導入した前記ダミー基板を介して前記絶対基準座標系に
対するXY移動手段の移動座標系の角度偏差の補正を行
うことを特徴とする請求項4または5に記載のカメラ位
置の偏差補正装置。 - 【請求項7】 電子部品を基板に装着する装着ヘッド
が、支持部材を介して前記基板認識カメラと共にユニッ
ト化され且つ当該基板認識カメラと共に前記装置本体に
可動的に設けられており、 前記装着ヘッドは、前記絶対基準座標系に基づいて前記
支持部材に固定されていることを特徴とする請求項2な
いし6のいずれかに記載のカメラ位置の偏差補正装置。 - 【請求項8】 前記ダミー部品が、透光性のベースと当
該ベースに描いた被撮像パターンとから成ることを特徴
とする請求項2ないし7のいずれかに記載のカメラ位置
の偏差補正装置。 - 【請求項9】 前記ダミー部品をストックするストッカ
と、 前記基板認識カメラによる撮像の為に前記ダミー部品を
載置する撮像テーブルとを、更に備えており、 前記撮像テーブルは、前記ダミー部品を載置する載置台
と当該載置台を透過して前記ダミー部品を照明するバッ
クライトとを有することを特徴とする請求項2ないし8
のいずれかに記載のカメラ位置の偏差補正装置。 - 【請求項10】 撮像することにより認識カメラの認識
中心に対する部品中心のずれ量を認識可能なカメラ位置
補正用のダミー部品であって、 透光性のベースと当該ベースに描いた被撮像パターンと
から成ることを特徴とするカメラ位置補正用のダミー部
品。 - 【請求項11】 前記被撮像パターンは、前記ベースの
下面に描かれていることを特徴とする請求項10に記載
のカメラ位置補正用のダミー部品。 - 【請求項12】 前記ベースはガラスで構成されてお
り、 前記被撮像パターンは、前記ベースに酸化クロムを蒸着
したものであることを特徴とする請求項10または11
に記載のカメラ位置補正用のダミー部品。 - 【請求項13】 前記被撮像パターンは、方形の多数の
パターン要素を方形の輪郭となるように並べて構成され
ていることを特徴とする請求項10、11または12に
記載のカメラ位置補正用のダミー部品。 - 【請求項14】 前記被撮像パターンは、それぞれが前
記ずれ量を認識可能で且つ中心を同一とする大小複数の
パターン部で構成されていることを特徴とする請求項1
0、11または12に記載のカメラ位置補正用のダミー
部品。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001227982A (ja) * | 1999-12-24 | 2001-08-24 | Robert Bosch Gmbh | センサシステムの校正方法 |
CN1318820C (zh) * | 2003-03-20 | 2007-05-30 | 重机公司 | 照相机位置偏差校正方法、装置及所用夹具部件 |
JP2008205134A (ja) * | 2007-02-19 | 2008-09-04 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 電子回路部品装着装置および精度検査用ユニット |
JP2014086687A (ja) * | 2012-10-26 | 2014-05-12 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 部品装着装置 |
WO2019155643A1 (ja) * | 2018-02-12 | 2019-08-15 | 株式会社Fuji | 装着精度測定用チップおよび装着精度測定用キット |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4322092B2 (ja) * | 2002-11-13 | 2009-08-26 | 富士機械製造株式会社 | 電子部品実装装置における校正方法および装置 |
EP1583412A4 (en) * | 2002-12-02 | 2007-08-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | DEVICE AND METHOD FOR PARTS ASSEMBLY |
DE102004013222A1 (de) * | 2004-03-17 | 2005-10-13 | Siemens Ag | Kontrolleinrichtung und Verfahren zum Überprüfen von optischen Abtastvorrichtungen für Werkstücke in einer Montageeinrichtung für elektrische Baugruppen |
JP4128156B2 (ja) * | 2004-06-03 | 2008-07-30 | 松下電器産業株式会社 | 部品実装方法及び装置 |
JP5301329B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2013-09-25 | Juki株式会社 | 電子部品の実装方法 |
JP5206620B2 (ja) * | 2009-08-05 | 2013-06-12 | 三菱電機株式会社 | 部材の位置認識装置、位置決め装置、接合装置および部材の接合方法 |
TWI459164B (zh) * | 2012-03-14 | 2014-11-01 | Giga Byte Tech Co Ltd | 電路板定位校正系統及方法 |
JP5918622B2 (ja) * | 2012-05-11 | 2016-05-18 | ヤマハ発動機株式会社 | 部品または基板の作業装置および部品実装装置 |
JP5852505B2 (ja) * | 2012-05-14 | 2016-02-03 | ヤマハ発動機株式会社 | 部品または基板の作業装置および部品実装装置 |
TWI567859B (zh) * | 2014-02-10 | 2017-01-21 | 新川股份有限公司 | 安裝裝置及其偏移量修正方法 |
JP2019046836A (ja) * | 2017-08-30 | 2019-03-22 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 生産システムおよび生産方法ならびに生産ライン管理装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5189707A (en) * | 1985-10-11 | 1993-02-23 | Hitachi, Ltd. | Method of loading surface mounted device and an apparatus therefor |
JP3477321B2 (ja) * | 1996-07-25 | 2003-12-10 | 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ | 電子部品装着装置 |
EP0883333B1 (en) * | 1997-06-05 | 2004-08-04 | Hitachi High-Tech Instruments Co., Ltd. | Electronic component-mounting apparatus and component-feeding device therefor |
-
1998
- 1998-01-27 JP JP02933998A patent/JP3523480B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-01-25 US US09/237,177 patent/US6563530B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001227982A (ja) * | 1999-12-24 | 2001-08-24 | Robert Bosch Gmbh | センサシステムの校正方法 |
CN1318820C (zh) * | 2003-03-20 | 2007-05-30 | 重机公司 | 照相机位置偏差校正方法、装置及所用夹具部件 |
JP2008205134A (ja) * | 2007-02-19 | 2008-09-04 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 電子回路部品装着装置および精度検査用ユニット |
JP2014086687A (ja) * | 2012-10-26 | 2014-05-12 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 部品装着装置 |
WO2019155643A1 (ja) * | 2018-02-12 | 2019-08-15 | 株式会社Fuji | 装着精度測定用チップおよび装着精度測定用キット |
CN111543125A (zh) * | 2018-02-12 | 2020-08-14 | 株式会社富士 | 安装精度测定用芯片及安装精度测定用套件 |
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