JPH11204301A - 抵抗器 - Google Patents

抵抗器

Info

Publication number
JPH11204301A
JPH11204301A JP10008314A JP831498A JPH11204301A JP H11204301 A JPH11204301 A JP H11204301A JP 10008314 A JP10008314 A JP 10008314A JP 831498 A JP831498 A JP 831498A JP H11204301 A JPH11204301 A JP H11204301A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode layer
upper electrode
substrate
layer
resistor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10008314A
Other languages
English (en)
Inventor
Shogo Nakayama
祥吾 中山
Seiji Tsuda
清二 津田
Akio Fukuoka
章夫 福岡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP10008314A priority Critical patent/JPH11204301A/ja
Priority to MYPI99000111A priority patent/MY120172A/en
Priority to TW088100789A priority patent/TW434586B/zh
Priority to US09/233,429 priority patent/US6242999B1/en
Publication of JPH11204301A publication Critical patent/JPH11204301A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C1/00Details
    • H01C1/14Terminals or tapping points or electrodes specially adapted for resistors; Arrangements of terminals or tapping points or electrodes on resistors
    • H01C1/142Terminals or tapping points or electrodes specially adapted for resistors; Arrangements of terminals or tapping points or electrodes on resistors the terminals or tapping points being coated on the resistive element
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C1/00Details
    • H01C1/14Terminals or tapping points or electrodes specially adapted for resistors; Arrangements of terminals or tapping points or electrodes on resistors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Non-Adjustable Resistors (AREA)
  • Details Of Resistors (AREA)
  • Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高密度配線回路に用いられる抵抗器におい
て、優れた電気特性を保持したまま、長期の熱的振幅の
かかる環境および腐食環境などの過酷な使用環境におい
ても信頼性の高い抵抗器を提供することを目的とする。 【解決手段】 抵抗層14と接続する一対の上面電極層
12を、基板11との密着力が強く、熱的応力、腐食雰
囲気にも耐え得るガラスフリットを混入した金系材料に
より、基板11の上面の側部から側縁にかけて形成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、高密度配線回路に
用いられる抵抗器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の技術は、特開平3−62901号
に開示されたものが知られている。
【0003】図8は従来の抵抗器の断面図である。以
下、従来の抵抗器について、図7に基づいてそれを参照
しながら工程順に説明する。
【0004】まず、絶縁材料として、セラミックス製の
チップ基板2上の両端部に周知のフォト・エッチング法
あるいはスクリーン印刷法などにより金属有機物材料と
して金を含有した金レジネートペーストをパターン印刷
し、850℃程度の焼成温度で焼成して、一対のベース
電極3を形成する。ここで、ベース電極3の膜厚は、金
属有機物材料の特性上、金属成分に比べ有機物成分が多
いため、薄い膜となり、金消費量を抑えることができ、
安価に製造できる。
【0005】次に、前記一対のベース電極3に、両端部
が重なるようにRu系ペーストをスクリーン印刷法によ
り、パターン印刷し、850℃程度で焼成して抵抗膜4
を形成する。このとき、ベース電極3に金系材料を使用
しているため、銀系電極のような電極から抵抗膜4への
銀拡散が発生しないため、抵抗膜4の電気的特性を劣化
させることなく、抵抗膜4を形成できる。さらに、後に
行うトリミングが抵抗膜4に及ぼす影響をできる限り緩
和するため、抵抗膜4上にガラスコートを施してアンダ
ーコート膜5を形成する。なお、抵抗膜4は蒸着法等に
より形成したNi−Cr系等の薄膜抵抗であってもよ
く、この場合には上記アンダーコート膜5を形成しな
い。
【0006】次に、硬化温度150〜250℃程度の導
電性樹脂材料とて無機材料との密着力が強いAg樹脂ペ
ースト6をベース電極3上の全面に被覆し焼き付ける。
この場合、ベース電極3上に850℃程度の高温焼成に
よって、AgあるいはAg/Pdの導体膜を形成する
と、これらの境界面において電気的諸特性に変化をきた
すため、低温焼付可能な導電性樹脂材料を使用した。さ
らにベース電極3は数100Å程度の極薄い膜からなる
ため、Ag樹脂ペースト6で被覆することにより、トリ
ミングを行う際の測定用プローブとベース電極3との電
気的コンタクトが改善されるとともに、金を含有するベ
ース電極3の摩耗性が弱いという欠点を補うことができ
る。
【0007】次に、周知の方法でトリミングを行い所望
の抵抗値に調節し、この後に行うめっき処理時における
抵抗膜4の保護及び種々の使用環境に耐え得るためのオ
ーバーコート膜8を形成する。
【0008】さらに、チップ基板2の両端面に端面電極
7を形成した後、端面電極7上にめっき処理を施してめ
っき膜9を形成し、抵抗器を完成させていた。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成では、抵抗層の電気的特性の劣化を防止するた
めに、ベース電極として金属レジネートペーストなどを
使用しているため、焼成膜厚が薄く、また基板との密着
性が低いため、長期の熱的振幅が抵抗器に印加された場
合にベース電極自身にクラックが発生したりして、抵抗
器の抵抗値が大きく変化し、ひどい場合には断線に至る
という課題を有していた。
【0010】また、上記従来の構成では、ベース電極3
は非常に薄い膜となるため、端面電極との導通は不安定
もしくは導通しない。すなわち、抵抗膜への導電経路
は、Ag樹脂ペーストによる膜を介するものである。そ
のため、硫化雰囲気、塩化雰囲気などの腐食性の強い雰
囲気での使用に際して、Ag樹脂ペースト膜が腐食され
ると、ベース電極との接続が不安定になり、抵抗層への
導電経路が絶たれ、抵抗値が大きく変化するという課題
を有していた。本来、めっき膜で電極が覆われているた
め、電極は表面に露出することはないが、実使用におい
て、はんだ付け時の熱履歴によるストレスのため、めっ
き層とオーバーコート層の一部に隙間が生じ、電極層の
一部が表面に露出するため、上に述べたように、Ag樹
脂ペースト膜が腐食される。
【0011】本発明は、上記従来の課題を解決するもの
で、優れた電気的特性は保持したまま、長期の熱的振幅
のかかる環境および腐食環境などの過酷な使用環境にお
いても信頼性の高い抵抗器を提供することを目的とする
ものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、基板と、前記基板の上面の側部から側縁に
かけて設けられた一対のガラスフリットを混入した金系
ペーストを焼き付けてなる上面電極層と、この上面電極
層に一部が重なるように上面電極層間に形成された抵抗
層と、少なくとも前記抵抗層を覆うように設けられた保
護層とを有するものである。
【0013】また、上記目的を達成するために本発明
は、基板と、前記基板の上面の側部から側縁にかけて設
けられた一対のガラスフリットを混入した金系ペースト
を焼き付けてなる上面電極層と、この上面電極層に一部
が重なるように上面電極層間に形成された抵抗層と、前
記基板の両側部に前記上面電極層の一部または全面を覆
い、上面電極層と電気的に接続するように設けられた再
上面電極層と、少なくとも前記抵抗層を覆うように設け
られた保護層とを有するものである。
【0014】
【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、基板と、前記基板の上面の側部から側縁にかけて設
けられた一対のガラスフリットを混入した金系ペースト
を焼き付けてなる上面電極層と、この上面電極層に一部
が重なるように上面電極層間に形成された抵抗層と、少
なくとも前記抵抗層を覆うように設けられた保護層とか
らなるものである。
【0015】また、本発明の請求項2に記載の発明は、
基板と、前記基板の上面の側部から側縁にかけて設けら
れた一対のガラスフリットを混入した金系ペーストを焼
き付けてなる上面電極層と、この上面電極層に一部が重
なるように上面電極層間に形成された抵抗層と、前記基
板の両側部に前記上面電極層の一部または全面を覆い、
上面電極層と電気的に接続するように設けられた再上面
電極層と、少なくとも前記抵抗層を覆うように設けられ
た保護層とからなるものである。
【0016】本発明の請求項3に記載の発明は、請求項
1または2記載のガラスフリットを混入した金系ペース
トは、前記ガラスフリットを10〜30体積%混入させ
たペーストであるものである。
【0017】本発明の請求項4に記載の発明は、請求項
1または2記載の上面電極層の層厚は、5〜15μmで
あるものである。
【0018】本発明の請求項5に記載の発明は、請求項
1または2記載の上面電極層の形状は、基板の幅方向に
対して平行に上辺部を有するT字状であり、抵抗層と前
記T字状の上面電極層の上辺部で接続し、T字状の上辺
部ではない縦棒部が前記基板の側縁にかけて設けられて
なるものである。
【0019】本発明の請求項6に記載の発明は、請求項
1または2記載の上面電極層の形状は、上下逆のL字状
であり、前記L字状の上面電極層の基板の幅方向に対し
て平行な横棒部で接続し、前記横棒部でない縦棒部が前
記基板の側縁にかけて設けられてなるものである。
【0020】本発明の請求項7に記載の発明は、請求項
1または2記載の上面電極層の形状は、H字状であり、
2辺ある縦棒部は基板の幅方向に対して平行に設けら
れ、一方は抵抗層と接続し、他方は基板の側縁部に設け
られてなるものである。
【0021】本発明の請求項8に記載の発明は、請求項
2記載の再上面電極層は、基板側縁を除く側部に上面電
極層の一部を覆い、上面電極層と電気的に接続するよう
に設けられてなるものである。
【0022】本発明の請求項9に記載の発明は、請求項
1記載の保護層は、樹脂系材料からなるものである。
【0023】本発明の請求項10に記載の発明は、請求
項2記載の再上面電極層は、導電性樹脂材料からなり、
かつ、保護層は樹脂系材料からなるものである。
【0024】本発明の請求項11に記載の発明は、請求
項1または2記載の基板側面全面または基板側面の上部
に上面電極層と電気的に接続するように側面電極層を設
けてなるものである。
【0025】以上の構成により、優れた電気的特性は保
持したまま、長期の熱的振幅のかかる環境および腐食環
境などの過酷な使用環境においても信頼性の高い抵抗器
を提供できるものである。
【0026】(実施の形態1)以下、本発明の実施の形
態1における抵抗器及びその製造方法について、図面を
参照しながら説明する。
【0027】図1は本発明の実施の形態1における抵抗
器の断面図である。図1において、11はアルミナ等か
らなる基板である。12は基板11の上面の側部から側
縁にかけて設けられたガラスフリットを混入した金系材
料等からなる一対の上面電極層である。13は必要によ
り基板11の下面の側部に設けられた銀とガラスの混合
材料等からなる一対の下面電極層である。14は基板1
1の上面に上面電極層12に一部が重畳して電気的に接
続するように設けられた酸化ルテニウムとガラスとの混
合材料または銀、パラジウムとガラスとの混合材料等か
らなる抵抗層である。15は少なくとも抵抗層14を覆
うように設けられたホウケイ酸鉛ガラス材料等からなる
プリコート層である。16は抵抗値を所定の抵抗値に修
正するためにレーザ等によってプリコート層15および
前記抵抗層14を切削して設けられたトリミング溝であ
る。17は少なくとも抵抗層14を覆うように設けられ
たホウケイ酸鉛ガラス材料等からなる保護層である。1
8は必要により基板11の側面に上面電極層12および
下面電極層13を電気的に接続するように設けられた銀
とガラスの混合材料からなる側面電極層である。19は
必要により側面電極層18、上面電極層12および下面
電極層13の露出部を覆うように設けられたニッケルめ
っき等からなる第1のめっき層である。20は必要によ
り第1のめっき層19を覆うように設けられた第2のめ
っき層である。
【0028】以上のように構成された抵抗器について、
以下にその製造方法を図面を参照しながら説明する。
【0029】図2は本発明の実施の形態1における抵抗
器の製造方法を示す工程図である。まず、図2(a)に
示すように、アルミナ等からなる基板31の上面の両側
部に側縁まで達するようにガラスフリットを混入した金
系ペースト材料をスクリーン印刷し、約850℃の温度
で焼成して、一対の上面電極層32を形成する。このと
き、ガラスフリットの量を10体積%以下にすると、基
板との密着力が低下し、また、30体積%以上にすると
上面電極層の抵抗値が大きくなってしまうため、金系ペ
ーストに含有するガラスの量は10〜30体積%にする
ことが望ましい。また、上面電極層の層厚を5μm以下
にすると電極の抵抗値が大きくなり、また、15μm以
上にすると後に抵抗層33を設ける際に基板31と上面
電極層32の段差のため、上面電極層32と抵抗層33
の接続が不安定になり、また、高価な金の使用量増加に
より、製造コストが増加するため、上面電極層の膜厚は
5〜15μmにすることが望ましい。
【0030】このとき、必要により、基板31の下面の
両側部に銀とガラスとの混合ペースト材料をスクリーン
印刷し、約850℃の温度で焼成して、一対の下面電極
層(図示せず)を形成しても良い。
【0031】次に、図2(b)に示すように、上面電極
層32間を電気的に接続するように、酸化ルテニウムと
ガラスとの混合ペーストを上面電極層32の一部に重畳
するように基板の上面にスクリーン印刷し、約850℃
の温度で焼成して、抵抗層33を形成する。このとき、
上面電極層32は金系材料からなるため、上面電極材料
に銀を使用した場合に比べ、抵抗層33への上面電極材
料の拡散が少なく、抵抗層33の電気的特性の劣化が少
ない。
【0032】次に、図2(c)に示すように、少なくと
も抵抗層33を覆うように、ホウケイ酸ガラスペースト
材料をスクリーン印刷し、約600℃の温度で焼成し
て、プリコート層34を形成する。
【0033】次に、図2(d)に示すように、抵抗層3
3の抵抗値を修正するために、レーザ等により、プリコ
ート層34および抵抗層33を切削して、トリミング溝
35を形成する。
【0034】次に、図2(e)に示すように、抵抗層3
3を覆うように、ホウケイ酸ガラスペースト材料をスク
リーン印刷し、約600℃の温度で焼成して、保護層3
6を形成する。
【0035】次に、必要により、図2(f)に示すよう
に、基板31の長手方向の側面に、上面電極層32の一
部および、もしくは下面電極層を設けた場合には下面電
極層の一部にも重畳するように、銀とガラスの混合ペー
スト材料をローラー転写印刷し、約600℃の温度で焼
成して、側面電極層37を形成しても良い。
【0036】最後に、必要により、上面電極層32の露
出部および側面電極層37を覆うようにニッケルめっき
等からなるバリア層(図示せず)を形成するとともに、
このバリア層を覆うようにスズと鉛の合金めっき等から
なるはんだ層(図示せず)を形成して、抵抗器を製造す
るものである。
【0037】以上のように、構成、製造された抵抗器に
ついて、以下に、作用を説明する。本発明によれば、上
面電極層32がガラスフリットを混入してなる金系材料
を使用しているため、基板31との密着力が強く、かつ
十分に膜厚が厚いため、熱的な振幅が本発明の実施の形
態1による抵抗器に加わっても、抵抗値がほとんど変動
しない。
【0038】また、本発明によれば、上面電極層32が
ガラスフリットを混入してなる金系材料を使用している
ため、腐食雰囲気での使用において、本発明の実施の形
態1による抵抗器は腐食されず、ほとんど抵抗値が変動
しない。
【0039】以上のような作用を有する抵抗器につい
て、以下に、実際の特性を従来の抵抗器と比較して説明
する。
【0040】(実験方法1)従来の抵抗器と本発明の実
施の形態1における抵抗器を−55℃の温度で30分
間、125℃の温度で30分間という条件を1サイクル
とし、それを1000サイクル繰り返す熱衝撃試験を実
施したときの抵抗値変化率を測定した。
【0041】また、従来の抵抗器と本発明の実施の形態
1における抵抗器を硫黄分3%、塩素分5%を含んだ油
と蒸留水の存在する温度96℃の雰囲気内で1000時
間放置する腐食雰囲気放置試験を実施したときの抵抗値
変化率を測定した。
【0042】(実験結果)(表1)に熱衝撃試験、(表
2)に腐食雰囲気放置試験を実施したときの従来の抵抗
器と本発明の実施の形態1による抵抗器の抵抗値変化率
を示す。(表1)、(表2)より明らかなように、いず
れの試験においても本発明の実施の形態1による抵抗器
の抵抗値変化率は従来の抵抗器よりも小さく、過酷な環
境下でも信頼性の高い抵抗器が得られる。また、電気的
特性については、本発明の実施の形態1における抵抗器
は抵抗層33と接続する電極に金系材料を用いており、
従来の抵抗器と同様の特性が得られるため、省略する。
【0043】
【表1】
【0044】
【表2】
【0045】なお、本発明の一実施の形態では保護層は
ホウケイ酸鉛ガラス材料等と説明したが、これはエポキ
シまたはフェノール系樹脂材料として、約200℃の温
度で硬化形成しても同様の効果が得られる。
【0046】なお、本発明の一実施の形態では側面電極
層は銀とガラスとの混合ペースト材料と説明したが、こ
れは、ニッケル系導電樹脂材料として、ローラー転写印
刷し、約180℃の温度で硬化して、形成しても同様の
効果が得られ、また、ニッケルクロム系材料をスパッタ
リング工法により形成しても同様の効果が得られる。
【0047】なお、上に記載した樹脂材料による保護層
形成法、および、樹脂材料またはニッケルクロムによる
側面電極層形成法によれば、トリミング工程以降の抵抗
層に約400℃以上の熱が加わらないため、トリミング
以後の抵抗器の抵抗値変化がなく、抵抗器の抵抗値精度
を向上させることができ、歩留まりを向上させることが
できる。
【0048】なお、以上の説明中にある下面電極層、側
面電極層、バリア層およびはんだ層を設けることによっ
て、抵抗器実装時に抵抗器とランドとの接続面積を増加
させることができるため実装時の信頼性を向上させるこ
とができる。
【0049】なお、本発明の実施の形態1では側面電極
層を基板31の側面全面に設けたが、側面電極層を基板
31の側面の上部のみに設けることにより、本発明の実
施の形態による抵抗器を保護層36を下にして実装した
とき、フィレットが小さくなるため、その実装面積を小
さくすることができ、実装密度を向上させることができ
る。
【0050】(実施の形態2)以下、本発明の実施の形
態2における抵抗器及びその製造方法について、図面を
参照しながら説明する。
【0051】図3は本発明の実施の形態2における抵抗
器の断面図である。図3において、41はアルミナ等か
らなる基板である。42は基板41の上面の側部から側
縁にかけて設けられたガラスフリットを混入した金系材
料等からなる一対の上面電極層である。43は必要によ
り基板41の下面の側部に設けられた銀とガラスの混合
材料等からなる一対の下面電極層である。44は基板4
1の上面に上面電極層42に一部が重畳して電気的に接
続するように設けられた酸化ルテニウムとガラスとの混
合材料または銀、パラジウムとガラスとの混合材料等か
らなる抵抗層である。45は少なくとも抵抗層44を覆
うように設けられたホウケイ酸鉛ガラス材料等からなる
プリコート層である。46は基板41の両側部に上面電
極層42の一部または全面を覆い、上面電極層と電気的
に接続するように設けられた一対の再上面電極層であ
る。47は抵抗値を所定の抵抗値に修正するためにレー
ザ等によってプリコート層45および前記抵抗層44を
切削して設けられたトリミング溝である。48は少なく
とも抵抗層44を覆うように設けられたホウケイ酸鉛ガ
ラス材料等からなる保護層である。49は必要により基
板41の側面に上面電極層42および下面電極層43を
電気的に接続するように設けられた銀とガラスの混合材
料からなる側面電極層である。50は必要により側面電
極層49、上面電極層42および下面電極層43の露出
部を覆うように設けられたニッケルめっき等からなる第
1のめっき層である。51は必要により第1のめっき層
50を覆うように設けられた第2のめっき層である。
【0052】以上のように構成された抵抗器について、
以下にその製造方法を図面を参照しながら説明する。
【0053】図4は本発明の実施の形態2における抵抗
器の製造方法を示す工程図である。まず、図4(a)に
示すように、アルミナ等からなる基板61の上面の両側
部に側縁まで達するようにガラスフリットを混入した金
系ペースト材料をスクリーン印刷し、約850℃の温度
で焼成して、一対の上面電極層62を形成する。このと
き、上面電極のパターンをT字状にすることにより、高
価な金系材料の使用量を削減することができ、本発明に
よる抵抗器を安価に製造することができる。また、上面
電極層62のガラスフリットの量を10体積%以下にす
ると、基板との密着力が低下し、また、30体積%以上
にすると上面電極層の抵抗値が大きくなってしまうた
め、金系ペーストに含有するガラスの量は10〜30体
積%にすることが望ましい。また、上面電極層の層厚を
5μm以下にすると電極の抵抗値が大きくなり、また、
15μm以上にすると後に抵抗層63を設ける際に基板
61と上面電極層32の段差のため、上面電極層62と
抵抗層63の接続が不安定になり、また、高価な金の使
用量増加により、製造コストが増加するため、上面電極
層の膜厚は5〜15μmにすることが望ましい。
【0054】また、このとき、必要により、基板61の
下面の両側部に銀とガラスとの混合ペースト材料をスク
リーン印刷し、約850℃の温度で焼成して、一対の下
面電極層(図示せず)を形成しても良い。
【0055】次に、図4(b)に示すように、上面電極
層62間を電気的に接続するように、酸化ルテニウムと
ガラスとの混合ペーストを上面電極層62の一部に重畳
するように基板の上面にスクリーン印刷し、約850℃
の温度で焼成して、抵抗層63を形成する。このとき、
上面電極層62は金系材料からなるため、上面電極材料
に銀を使用した場合に比べ、抵抗層63への上面電極材
料の拡散が少なく、抵抗層63の電気的特性の劣化が少
ない。
【0056】次に、図4(c)に示すように、少なくと
も抵抗層63を覆うように、ホウケイ酸ガラスペースト
材料をスクリーン印刷し、約600℃の温度で焼成し
て、プリコート層64を形成する。
【0057】次に、図4(d)に示すように、基板61
の両側部に上面電極層62の一部または全面を覆い、上
面電極層62と電気的に接続するように、導電性銀樹脂
ペースト材料等をスクリーン印刷し、約200℃の温度
で硬化して、一対の再上面電極層65を形成する。この
再上面電極層65により、トリミング時の抵抗測定用プ
ローブの接触面積を確保することができる。また、ここ
では、再上面電極層65は側縁まで設けているが、側縁
部の上面電極層62が露出するように、再上面電極層6
5を設けることによって、さらに上面電極層62と後に
設ける側面電極層68やバリア層との電気的接続の信頼
性が増し、腐食雰囲気での使用においてより信頼性を高
くすることができる。
【0058】次に、図4(e)に示すように、抵抗層6
3の抵抗値を修正するために、レーザ等により、プリコ
ート層64および抵抗層63を切削して、トリミング溝
66を形成する。
【0059】次に、図4(f)に示すように、抵抗層6
3を覆うように、ホウケイ酸ガラスペースト材料をスク
リーン印刷し、約600℃の温度で焼成して、保護層6
7を形成する。
【0060】次に、必要により、図4(g)に示すよう
に、基板61の長手方向の側面に、上面電極層62の一
部および、もしくは下面電極層を設けた場合には下面電
極層の一部にも重畳するように、銀とガラスの混合ペー
スト材料をローラー転写印刷し、約600℃の温度で焼
成して、側面電極層68を形成しても良い。
【0061】最後に、必要により、上面電極層62の露
出部および側面電極層68を覆うようにニッケルめっき
等からなるバリア層(図示せず)を形成するとともに、
このバリア層を覆うようにスズと鉛の合金めっき等から
なるはんだ層(図示せず)を形成して、抵抗器を製造す
るものである。
【0062】本発明によれば、上面電極層32がガラス
フリットを混入してなる金系材料を使用しているため、
基板31との密着力が強く、かつ十分に膜厚が厚いた
め、熱的な振幅が本発明の実施の形態1による抵抗器に
加わっても、抵抗値がほとんど変動しない。
【0063】また、本発明によれば、上面電極層がガラ
スを含有してなる金系材料を使用しているため、腐食雰
囲気での使用において、本発明の実施の形態1による抵
抗器は、電極部が腐食されず、そのため、ほとんど抵抗
値が変動しない。
【0064】以上のように、構成、製造された抵抗器に
ついて、以下に、作用を説明する。本発明によれば、上
面電極層62がガラスフリットを混入してなる金系材料
を使用しているため、基板61との密着力が強く、かつ
十分に膜厚が厚いため、熱的な振幅が本発明の実施の形
態2による抵抗器に加わっても、ほとんど抵抗値が変動
しない。
【0065】また、本発明によれば、腐食雰囲気での使
用において、再上面電極層65が腐食されても、ガラス
フリットを混入した金系材料を使用している上面電極層
62が側縁部にまで設けられており、再上面電極層65
を介さずとも、安定に電気的接続されているため、ほと
んど抵抗値が変動しない。
【0066】以上のような作用を有する抵抗器につい
て、以下に、実際の特性を従来の抵抗器と比較して説明
する。
【0067】(実験方法2)従来の抵抗器と本発明の実
施の形態2における抵抗器を−55℃の温度で30分
間、125℃の温度で30分間という条件を1サイクル
とし、それを1000サイクル繰り返す熱衝撃試験を実
施したときの抵抗値変化率を測定した。
【0068】また、従来の抵抗器と本発明の実施の形態
2における抵抗器を硫黄分3%、塩素分5%を含んだ油
と蒸留水の存在する温度96℃の雰囲気内で1000時
間放置する腐食雰囲気試験を実施したときの抵抗値変化
率を測定した。
【0069】(実験結果)(表3)に熱衝撃試験、(表
4)に腐食雰囲気放置試験を実施したときの従来の抵抗
器と本発明の実施の形態2による抵抗器の抵抗値変化率
を示す。(表3)、(表4)より明らかなように、いず
れの試験においても本発明の実施の形態2による抵抗器
の抵抗値変化率は従来の抵抗器よりも小さく、過酷な環
境下でも信頼性の高い抵抗器が得られる。また、電気的
特性については、本発明の実施の形態2における抵抗器
は抵抗層63と接続する電極に金系材料を用いており、
従来の抵抗器と同様の特性が得られるため、省略する。
【0070】
【表3】
【0071】
【表4】
【0072】なお、図5に示すように、上面電極層62
をL字状に設けることによっても、高価な金系材料の使
用を少なくすることができ、安価に本発明の実施の形態
2による抵抗器を得ることができる。
【0073】なお、図6に示すように、上面電極層62
をH字状に設けることによって、側縁部の上面電極層6
2の面積が増加するため、再上面電極層65を介さずに
直接上面電極層62と電気的に接続する部分の面積も増
加し、その接続の信頼性も向上する。そのため、腐食雰
囲気の使用において、より信頼性の高い本発明の実施の
形態2による抵抗器を得ることができる。
【0074】なお、図7に示すように、再上面電極層6
5を基板側縁部の上面電極層62が露出するように設け
ることにより、再上面電極層65を介さずに直接上面電
極層62と電気的に接続する部分の面積を増加させるこ
とができるため、その接続の信頼性も向上する。そのた
め、腐食雰囲気の使用において、より信頼性の高い本発
明の実施の形態2による抵抗器を得ることができる。
【0075】なお、本発明の実施の形態2でも本発明の
実施の形態1同様、保護層をエポキシまたはフェノール
系樹脂材料としても同様の効果が得られる。
【0076】なお、本発明の実施の形態2でも本発明の
実施の形態1同様、側面電極層をニッケル系導電樹脂材
料またはスパッタリングによる形成法としても同様の効
果が得られる。
【0077】なお、上に記載した樹脂材料による保護層
形成法、および、樹脂材料またはニッケルクロムによる
側面電極層形成法によれば、本発明の実施の形態1同
様、抵抗器の抵抗値精度を向上させることができ、抵抗
値歩留まりを向上させることができる。
【0078】なお、本発明の実施の形態2でも本発明の
実施の形態1同様、下面電極層、側面電極層、バリア層
およびはんだ層を設けることによって、実装時の信頼性
を向上させることができる。
【0079】なお、本発明の実施の形態1では側面電極
層を基板11の側面全面に設けたが、側面電極層を基板
11の側面の上部のみに設けることにより、本発明の実
施の形態による抵抗器を保護層17を下にして実装した
とき、フィレットが小さくなるため、その実装面積を小
さくすることができ、実装密度を向上させることができ
る。
【0080】
【発明の効果】以上のように本発明は、優れた電気的特
性は保持したまま、長期の熱的振幅のかかる環境および
腐食環境などの過酷な使用環境においても信頼性の高い
抵抗器を提供できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1における抵抗器の断面図
【図2】同製造方法を示す工程図
【図3】本発明の実施の形態2における抵抗器の断面図
【図4】同製造方法を示す工程図
【図5】同抵抗器の別の実施の形態の上面電極層の構造
を示す上面図
【図6】同抵抗器の別の実施の形態の上面電極層の構造
を示す上面図
【図7】同抵抗器の別の実施の形態の上面図
【図8】従来の抵抗器の断面図
【符号の説明】
11 基板 12 上面電極層 14 抵抗層 15 プリコート層 16 トリミング溝 17 保護層

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板と、前記基板の上面の側部から側縁
    にかけて設けられた一対のガラスフリットを混入した金
    系材料からなる上面電極層と、この上面電極層に一部が
    重なるように上面電極層間に形成された抵抗層と、少な
    くとも前記抵抗層を覆うように設けられた保護層とから
    なる抵抗器。
  2. 【請求項2】 基板と、前記基板の上面の側部から側縁
    にかけて設けられた一対のガラスフリットを混入した金
    系材料からなる上面電極層と、この上面電極層に一部が
    重なるように上面電極層間に形成された抵抗層と、前記
    基板の両側部に前記上面電極層の一部または全面を覆
    い、上面電極層と電気的に接続するように設けられた再
    上面電極層と、少なくとも前記抵抗層を覆うように設け
    られた保護層とからなる抵抗器。
  3. 【請求項3】 ガラスフリットを混入した金系ペースト
    は、前記ガラスフリットを10〜30体積%混入してな
    るペーストである請求項1または2記載の抵抗器。
  4. 【請求項4】 上面電極層の層厚は、5〜15μmであ
    る請求項1または2記載の抵抗器。
  5. 【請求項5】 上面電極層の形状は、基板の幅方向に対
    して平行に上辺部を有するT字状であり、抵抗層と前記
    T字状の上面電極層の上辺部で接続し、T字状の上辺部
    ではない縦棒部が前記基板の側縁にかけて設けられた請
    求項1または2記載の抵抗器。
  6. 【請求項6】 上面電極層の形状は、上下逆のL字状で
    あり、抵抗層と前記L字状の上面電極層の基板の幅方向
    に対して平行な横棒部で接続し、前記横棒部でない縦棒
    部が前記基板の側縁にかけて設けられた請求項1または
    2記載の抵抗器。
  7. 【請求項7】 上面電極層の形状は、H字状であり、2
    辺ある縦棒部は基板の幅方向に対して平行に設けられ、
    一方は抵抗層と接続し、他方は基板の側縁部に設けられ
    た請求項1または2記載の抵抗器。
  8. 【請求項8】 再上面電極は、基板側縁を除く側部に上
    面電極層の一部を覆い、上面電極層と電気的に接続する
    ように設けられた請求項2記載の抵抗器。
  9. 【請求項9】 保護層は、樹脂系材料からなる請求項1
    記載の抵抗器。
  10. 【請求項10】 再上面電極層は導電性樹脂材料からな
    り、かつ、保護層は樹脂系材料からなる請求項2記載の
    抵抗器。
  11. 【請求項11】 基板側面全面または基板側面の上部に
    上面電極層と電気的に接続するように側面電極層を設け
    てなる請求項1または2記載の抵抗器。
JP10008314A 1998-01-20 1998-01-20 抵抗器 Pending JPH11204301A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10008314A JPH11204301A (ja) 1998-01-20 1998-01-20 抵抗器
MYPI99000111A MY120172A (en) 1998-01-20 1999-01-12 Resistor
TW088100789A TW434586B (en) 1998-01-20 1999-01-19 Resistor
US09/233,429 US6242999B1 (en) 1998-01-20 1999-01-20 Resistor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10008314A JPH11204301A (ja) 1998-01-20 1998-01-20 抵抗器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11204301A true JPH11204301A (ja) 1999-07-30

Family

ID=11689706

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10008314A Pending JPH11204301A (ja) 1998-01-20 1998-01-20 抵抗器

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6242999B1 (ja)
JP (1) JPH11204301A (ja)
MY (1) MY120172A (ja)
TW (1) TW434586B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007027501A (ja) * 2005-07-19 2007-02-01 Tateyama Kagaku Kogyo Kk チップ抵抗器

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002025802A (ja) * 2000-07-10 2002-01-25 Rohm Co Ltd チップ抵抗器
JP2002260901A (ja) * 2001-03-01 2002-09-13 Matsushita Electric Ind Co Ltd 抵抗器
JP3967553B2 (ja) * 2001-03-09 2007-08-29 ローム株式会社 チップ型抵抗器の製造方法、およびチップ型抵抗器
JP4078042B2 (ja) * 2001-06-12 2008-04-23 ローム株式会社 複数の素子を有するチップ型電子部品の製造方法
JP2003124010A (ja) * 2001-10-18 2003-04-25 Rohm Co Ltd チップ型電子部品の製造方法、およびチップ型電子部品
JP3846312B2 (ja) * 2002-01-15 2006-11-15 松下電器産業株式会社 多連チップ抵抗器の製造方法
TW540829U (en) * 2002-07-02 2003-07-01 Inpaq Technology Co Ltd Improved chip-type thick film resistor structure
WO2004023498A1 (en) * 2002-09-03 2004-03-18 Vishay Intertechnology, Inc. Flip chip resistor and its manufacturing method
EP1855294A1 (en) * 2005-03-02 2007-11-14 Rohm Co., Ltd. Chip resistor and manufacturing method thereof
JP3983264B2 (ja) * 2005-09-27 2007-09-26 北陸電気工業株式会社 チップ状電気部品の端子構造
US7982582B2 (en) * 2007-03-01 2011-07-19 Vishay Intertechnology Inc. Sulfuration resistant chip resistor and method for making same
TWI508109B (zh) * 2013-12-25 2015-11-11 Yageo Corp Chip resistors
US9336931B2 (en) 2014-06-06 2016-05-10 Yageo Corporation Chip resistor
US9818512B2 (en) 2014-12-08 2017-11-14 Vishay Dale Electronics, Llc Thermally sprayed thin film resistor and method of making
US9552908B2 (en) * 2015-06-16 2017-01-24 National Cheng Kung University Chip resistor device having terminal electrodes
JP6695122B2 (ja) * 2015-10-15 2020-05-20 サンコール株式会社 シャント抵抗器の製造方法
KR101883040B1 (ko) * 2016-01-08 2018-07-27 삼성전기주식회사 칩 저항 소자
JP2017168817A (ja) * 2016-03-15 2017-09-21 ローム株式会社 チップ抵抗器およびその製造方法
US10290403B2 (en) * 2016-12-15 2019-05-14 National Cheng Kung University Methods of fabricating chip resistors using aluminum terminal electrodes
CN110024055B (zh) * 2017-02-08 2021-08-24 松下知识产权经营株式会社 片式电阻器的制造方法及片式电阻器
US10340330B2 (en) 2017-10-13 2019-07-02 International Business Machines Corporation Precision BEOL resistors

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4659435A (en) * 1983-02-18 1987-04-21 Corning Glass Works Integrally heated electrochemical cell method and apparatus
JPS6147859A (ja) * 1984-08-09 1986-03-08 日本板硝子株式会社 導電性ガラス繊維マツト
JPS61210601A (ja) * 1985-03-14 1986-09-18 進工業株式会社 チツプ抵抗器
US4613844A (en) * 1985-08-26 1986-09-23 Rca Corporation High power RF thick film resistor and method for the manufacture thereof
US4910643A (en) * 1988-06-06 1990-03-20 General Electric Company Thick film, multi-layer, ceramic interconnected circuit board
JPH07111921B2 (ja) * 1989-08-01 1995-11-29 釜屋電機株式会社 チップ抵抗器
JPH02110903A (ja) * 1989-08-31 1990-04-24 Murata Mfg Co Ltd 抵抗体の製造方法
JP3223199B2 (ja) * 1991-10-25 2001-10-29 ティーディーケイ株式会社 多層セラミック部品の製造方法および多層セラミック部品
US5287083A (en) * 1992-03-30 1994-02-15 Dale Electronics, Inc. Bulk metal chip resistor
JPH07176402A (ja) 1993-12-20 1995-07-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角形チップ固定抵抗器

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007027501A (ja) * 2005-07-19 2007-02-01 Tateyama Kagaku Kogyo Kk チップ抵抗器
JP4512004B2 (ja) * 2005-07-19 2010-07-28 立山科学工業株式会社 チップ抵抗器

Also Published As

Publication number Publication date
TW434586B (en) 2001-05-16
MY120172A (en) 2005-09-30
US6242999B1 (en) 2001-06-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH11204301A (ja) 抵抗器
WO2007034759A1 (ja) チップ抵抗器
KR910006223B1 (ko) 가스센서 및 그 제조방법
KR100908345B1 (ko) 칩 저항기와 그 제조 방법
US6861941B2 (en) Chip resistor
US20230274861A1 (en) Chip resistor
JP3665591B2 (ja) チップ抵抗器
JP3845030B2 (ja) チップ抵抗器の製造方法
US6469614B2 (en) Printed circuit boards having at least one metal layer
JP4512004B2 (ja) チップ抵抗器
JP5261947B2 (ja) 低抵抗チップ抵抗器およびその製造方法
JP2002064003A (ja) チップ抵抗器及びその製造方法
JP2641530B2 (ja) チップ状電子部品の製造方法
JP4295145B2 (ja) チップ抵抗器の製造方法
JP4051783B2 (ja) ジャンパー抵抗器
JP2984914B2 (ja) チップ型ヒューズ抵抗器とその電極構造
JP2003282302A (ja) チップ抵抗器
CN217485176U (zh) 芯片电阻器基材层和电阻层的强化结合结构
JP2806802B2 (ja) チップ抵抗器
JP2000138102A (ja) 抵抗器およびその製造方法
JP3353037B2 (ja) チップ抵抗器
JP3867587B2 (ja) チップ抵抗器
JP2000106302A (ja) 低抵抗チップ抵抗器及びその製造方法
JPH02265207A (ja) チップ抵抗器
JP2023004230A (ja) 硫化検出センサ

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20041122

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050125

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050328

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20050627

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20060110