JPH11162057A - コレットチャック装置及びコレットチャック装置を用 いた貼り合わせディスクの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ２枚のディスクを芯出しした状態で確実にチ
ャッキングする。 【解決手段】 弾性部材を用いた円筒状爪部４ｂの中心
に中心孔４ｃを形成し、且つ、円筒状爪部４ｂの円周を
軸方向に６か所の縦長なスリット部４ｂ_１により６分割
して、下層のディスクＤ_２をチャッキングするために軸
方向に長い３つの長い爪部４ｂ_２と、上層のディスクＤ
_１をチャッキングするために軸方向に短い３つの短い爪
部４ｂ_３とをスリット部一つおきに弾性変位可能に形成
したチャック爪４をシリンダ２に同軸的に取り付けて、
第１ピストン８の先端部が３つの長い爪部４ｂ_２と係合
して、下層のディスクＤ_２の中心孔に挿入した３つの長
い爪部４ｂ_２を径方向に開くと共に、第２ピストン９の
先端部が３つの短い爪部爪部４ｂ_３と係合して、下層の
ディスクＤ_２の中心孔に挿入した３つの長い爪部４ｂ_２
を径方向に開いて、２枚のディスクＤ_１，Ｄ_２を芯出し
てチャッキングする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、２枚のディスク又
は平板状加工物の中心孔を芯出しした状態で確実にチャ
ッキングできるコレットチャック装置及びコレットチャ
ック装置を用いた貼り合わせディスクの製造方法に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】円板状の被保持物の内径保持孔にコレッ
トチャックを被嵌したチャック装置が特開昭５９ー２０
９７０７号公報に開示されている。また、ディスク１枚
をそのディスクの中心孔の内面を利用してコレットチャ
ックの爪を拡張して保持するディスク保持が特開５８ー
１５３２８３号公報に開示され、更に、ディスク状媒体
をスピンドルカップなどの支持部材上にクランプするデ
ィスクチャツク用コレットの構造が特開６３ー１２７４
５６号公報に開示されている。

【０００３】ところで、最近、２枚のディスクを貼り合
わせたＤＶＤ用のディスクが開発されている。そして、
この種の２枚のディスクを芯出しする光ディスクの製造
装置が特開平４ー２６５５４７号公報には開示されてい
るが、この公報によると、上側のディスクを吸着する吸
着板に設けた芯出し治具を、下側のディスクを吸着保持
する吸着板に凹凸嵌合させる際に、下側の吸着板と吸着
板支持体との間に摩擦力を低減させる球体又はオイルレ
スベアリングなどの物体を介入し、上側の吸着板に対し
て下側の吸着板を左右に移動させることにより２枚のデ
ィスクを芯出しするものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した従
来例におけるコレットチャック装置は、いずれも１枚の
円板状の被保持物の内径保持孔または１枚のディスクの
中心孔をチャッキングできるものの、２枚重ねてチャッ
キングできるものでない。

【０００５】そこで、２枚のディスクの中心孔の孔寸法
に多少バラツキがあっても２枚重ねて同軸的にチャッキ
ングできるコレットチャック装置が望まれている。更
に、２枚重ねてチャッキングできるコレットチャック装
置が開発できれば、２枚のディスクを貼り合わせる際
に、２枚のディスクの芯出しが確実になるものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題に鑑み
てなされたものであり、第１の発明は、２枚のディスク
又は平板状加工物に夫々形成した中心孔の孔寸法に多少
のバラッキが生じていても、２枚の前記ディスク又は前
記平板状加工物を重ねてチャッキングするコレットチャ
ック装置であって、弾性部材を用いた円筒状爪部の中心
に中心孔を形成し、且つ、前記円筒状爪部の円周を軸方
向に６か所の縦長なスリット部により６分割して、下層
の前記ディスク又は前記平板状加工物をチャッキングす
るために軸方向に長い３つの長い爪部と、上層の前記デ
ィスク又は前記平板状加工物をチャッキングするために
軸方向に短い３つの短い爪部とを前記スリット部一つお
きに弾性変位可能に形成したチャック爪と、前記チャッ
ク爪を同軸的に取り付け、且つ、圧縮空気又はオイルが
入出する入出口を形成してチャンバー内を密閉したシリ
ンダと、前記シリンダのチャンバーの内周と、前記チャ
ック爪の中心孔とに沿いながら前記圧縮空気又は前記オ
イルにより軸方向に移動自在に設けられ、一つ方向の移
動時に先端部が前記３つの短い爪部と係合して、上層の
前記ディスク又は前記平板状加工物の中心孔に挿入した
該３つの短い爪部を径方向に開く一方、一つ方向と反対
方向への移動時に該３つの短い爪部を閉じる第１ピスト
ンと、前記第１ピストンの中心に形成した中心孔に沿い
ながら前記圧縮空気又は前記オイルにより軸方向に移動
自在に設けられ、一つ方向の移動時に先端部が前記３つ
の長い爪部と係合して、下層の前記ディスク又は前記平
板状加工物の中心孔に挿入した該３つの長い爪部を径方
向に開く一方、一つ方向と反対方向への移動時に該３つ
の長い爪部を閉じる第２ピストンとを備えたことを特徴
とするコレットチャック装置である。

【０００７】また、第２の発明は、弾性部材を用いた円
筒状爪部の中心に中心孔を形成し、且つ、前記円筒状爪
部の円周を軸方向に６か所の縦長なスリット部により６
分割して、下層の前記ディスクをチャッキングするため
に軸方向に長い３つの長い爪部と、上層の前記ディスク
をチャッキングするために軸方向に短い３つの短い爪部
とを前記スリット部一つおきに弾性変位可能に形成した
チャック爪をシリンダに取り付けると共に、前記シリン
ダ内に第１，第２ピストンを軸方向に移動可能に設けた
コレットチャック装置を用い、２枚のディスクの中心孔
を芯出しした状態で貼り合わせるディスクの製造方法で
あって、下層のディスクの中心孔をターンテーブル上に
突出したセンターピンに嵌合して、前記ターンテーブル
上に載置した下層の前記ディスクを回転させながら下層
の前記ディスクの上面の内周部分に紫外線硬化樹脂を滴
下する工程と、上層のディスクの中心孔を前記センター
ピンに嵌合して、上層の前記ディスクを前記紫外線硬化
樹脂を介して下層の前記ディスクの上に重ね合わせ、且
つ、前記ターンテーブルを回転して前記紫外線硬化樹脂
を遠心力により外周端まで略均一に伸ばした後に前記タ
ーンテーブルの回転を停止する工程と、前記ターンテー
ブルの停止時に前記３つの長い爪部が前記センターピン
に接触するにつれて該センターピンを圧縮バネに抗して
前記ターンテーブルの中心孔内に下降させて、前記３つ
の長い爪部を下層の前記ディスクの中心孔に挿入させ、
且つ、前記３つの短い爪部を上層の前記ディスクの中心
孔に挿入させ、前記第１ピストンの一つ方向の移動時に
先端部が前記３つの短い爪部と係合して、上層の前記デ
ィスクの中心孔に挿入した該３つの短い爪部を径方向に
開くと共に、前記第２ピストンの一つ方向の移動時に先
端部が前記３つの長い爪部と係合して、下層の前記ディ
スクの中心孔に挿入した該３つの長い爪部を径方向に開
いて、２枚の前記ディスクの中心孔を芯出しする工程
と、２枚の前記ディスクを芯出しした後、紫外線を照射
して前記紫外線樹脂を硬化させ、２枚の前記ディスクを
貼り合わせる工程とからなるコレットチャック装置を用
いた貼り合わせディスクの製造方法である。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下に本発明に係るコレットチャ
ック装置及びコレットチャック装置を用いた貼り合わせ
ディスクの製造方法の一実施例を図１乃至図９を参照し
て＜第１実施例＞，＜第２実施例＞の順に詳細に説明す
る。

【０００９】＜第１実施例＞図１は本発明に係るコレッ
トチャック装置の外観を示した斜視図、図２（Ａ），
（Ｂ）は本発明に係るコレットチャック装置を説明する
ための図であり、（Ａ）は（Ｂ）に示した二点鎖線に沿
って断面した断面図，（Ｂ）はチャック爪の下面図、図
３（Ａ），（Ｂ）は本発明に係るコレットチャック装置
の動作を説明するための図、図４は２枚の光ディスクの
中心孔の孔寸法にバラツキが生じている際、チャック爪
で芯出した状態を示した図である。

【００１０】本発明に係るコレットチャック装置は、２
枚のディスク又は２枚の平板状加工物に夫々形成した中
心孔の孔寸法に多少のバラッキが生じていても、２枚の
ディスク又は２枚の平板状加工物を重ねて同時にチャッ
キグできるように構成したことに特徴があるものであ
る。尚、以下の説明では、２枚のディスクについて説明
し、２枚の平板状加工物についての説明を省略するもの
の、２枚の平板状加工物は必ずしも円板状でなくてもそ
れぞれの中心孔がほぼ同寸法に形成されていれば良いも
のである。

【００１１】図１及び図２に示した如く、本発明に係る
コレットチャック装置１では、図示しないモータの軸に
嵌合したセンターピン３３にターンテーブル３４が回転
可能に支持され、且つ、このターンテーブル３４上に２
枚のディスク（以下、光ディスクと記す）Ｄ_１，Ｄ_２が
積層されて、２枚の光ディスクＤ_１，Ｄ_２の中心孔
ｄ_１，ｄ_２がターンテーブル３４の中心孔３４ａ内を上
下動（出没）するセンターピン３３と対向している。

【００１２】上記コレットチャック装置１では、円筒状
のシリンダ２の上部にシリンダキャップ３がこのシリン
ダ２のチャンバー２ａを閉鎖するように取り付けられて
いる。また、シリンダ２の下部には、本発明の要部とな
るチャック爪４が複数のネジ６を介して押さえ部材５で
押さえ付けられながらシリンダ２のチャンバー２ａを閉
鎖するように取り付けられ、且つ、チャック爪４はシリ
ンダ２の中心に対して同軸的に取り付けられている。

【００１３】上記チャック爪４は、弾性部材（スプリン
グ鋼）を用いて円筒状取付部４ａより細径な円筒状爪部
４ｂが軸方向の下方に向かって突出形成され、且つ、円
筒状爪部４ｂは押さえ部材５の内周に形成した雌ネジ５
ａと螺合した雄ネジ７ａを有する爪開き制御部材７の段
付き中心孔７ｂを貫通して下方に向かって突出形成され
ている。

【００１４】また、チャック爪４は、弾性部材を用いて
形成した円筒状爪部４ｂの円周を軸方向に６か所の縦長
なスリット部４ｂ_１により６分割して、下層の光ディス
クＤ_２をチャッキングするために軸方向に長い３つの長
い爪部４ｂ_２と、上層の光ディスクＤ_１をチャッキング
するために軸方向に短い３つの短い爪部４ｂ_３とがスリ
ット部４ｂ_１を一つおきに形成されている。また、チャ
ック爪４の３つの長い爪部４ｂ_２及び３つの短い爪部４
ｂ_３は、それぞれの両側のスリット部４ｂ_１の根元を支
点として素材の弾性力により径方向に弾性変位自在に形
成されている。ここで、長い爪部４ｂ_２の寸法は、少な
くとも短い爪部４ｂ_３より光ディスクＤ_１，Ｄ_２の厚み
を考慮した分だけ軸方向の下方に長く形成されている。

【００１５】また、段付き状の第１ピストン（以下、外
側ピストンと記す）８がシリンダ２のチャンバー２ａの
内周と、チャック爪４の中心孔４ｃに沿いながら軸方向
に対して上下動可能に設けられ、更に、頭部９ａを段付
き状に形成した第２ピストン（以下、内側ピストンと記
す）９が外側ピストン８の頭部８ａの中心に形成した段
付き中心孔８ｂに沿いながら軸方向に対して上下動可能
に設けられている。

【００１６】また、シリンダ２はシール材によってチャ
ンバー２ａ内を密閉されており、且つ、シリンダ２には
外側ピストン８の頭部８ａを介した上下に圧縮空気とか
オイル（油）が入出する入出口２ｂ，２ｃが形成されて
いる。そして、例えば、シリンダ２に形成した入出口２
ｂから圧縮空気を挿入すると共に、入出口２ｃから圧縮
空気を排出すると、同一のチャンバー２ａ内に設けた両
ピストン８，９の頭部８ａ，９ａが圧縮空気により押さ
れるので両者８，９は同時に下降する一方、上記とは逆
方向に圧縮空気を操作すると両ピストン８，９が同時に
上昇するようになっている。

【００１７】また、図３（Ａ）に拡大して示した如く、
外側ピストン８の下方の先端部にテーパ部８ｃが形成さ
れている。そして、外側ピストン８の下降動作に伴っ
て、外側ピストン８のテーパ部８ｃがチャック爪４の中
心孔４ｃの下方で３つの短い爪部４ｂ_３側に形成した３
つのテーパ部４ｃ_１に係合して、素材の弾性力に抗して
３つのテーパ部４ｃ_１を押し拡げることによりチャック
爪４の３つの短い爪部４ｂ_３が同時に径方向の外側に向
って開くようになっている。従って、チャック爪４の３
つの短い爪部４ｂ_３は、ターンテーブル３４上に積層し
た２枚の光ディスクＤ_１，Ｄ_２のうちで上側の光ディス
クＤ_１の中心孔ｄ_１をチャッキングすることができる。
この際、外側ピストン８の下降動作に伴って、外側ピス
トン８に形成したテーパ部８ｃは、図２（Ｂ）にも示し
たようにチャック爪４の中心孔４ｃの下方で３つの長い
爪部４ｂ_２の内側に形成した３つの逃げ部４ｃ_２と対向
するので、チャック爪４の３つの長い爪部４ｂ_２は外側
ピストン８のテーパ部８ｃによって押し拡げられないよ
うになっている。一方、外側ピストン８が上動すれば、
外側ピストン８のテーパ部８ｃがチャック爪４のテーパ
部４ｃ_１から離れるので、チャック爪４の短い爪部４ｂ
_３が素材の弾性力により光ディスクＤ_１の中心孔ｄ_１の
孔寸法より細径の方向に閉じる。

【００１８】また、図３（Ｂ）に拡大して示した如く、
内側ピストン９の下方の先端部にテーパ部９ｂが形成さ
れている。そして、内側ピストン９の下降動作に伴っ
て、内側ピストン９のテーパ部９ｂがチャック爪４の中
心孔４ｃの下方で３つの長い爪部４ｂ_２側に形成した３
つのテーパ部４ｃ_３に係合して、素材の弾性力に抗して
３つのテーパ部４ｃ_３を押し拡げることによりチャック
爪４の３つの長い爪部４ｂ_２が同時に径方向の外側に向
って開くようになっている。従って、チャック爪４の３
つの長い爪部４ｂ_２は、ターンテーブル３４上に積層し
た２枚の光ディスクＤ_１，Ｄ_２のうちで下側の光ディス
クＤ_２の中心孔ｄ_２をチャッキングするようになってい
る。この際、チャック爪４の３つの長い爪部４ｂ_２の外
側は、上層の光ディスクＤ_１の中心孔ｄ_１に接しないよ
うに逃げ部４ｂ_２１が細径に形成されている。一方、内
側ピストン９が上動すれば、内側ピストン９のテーパ部
９ｂがチャック爪４のテーパ部４ｃ_３から離れるので、
チャック爪４の長い爪部４ｂ_２が素材の弾性力により光
ディスクＤ_２の中心孔ｄ_２の孔寸法より細径の方向に閉
じる。

【００１９】図２に戻り、前記したように、押さえ部材
５と爪開き制御部材７との雄雌ネジ嵌合により爪開き制
御部材７が回転することより軸方向に対して上下動でき
るようになっていると共に、爪開き制御部材７の段付き
中心孔７ｂの下端の内径部７ｂ_１はチャック爪４の円筒
状爪部４ｂより僅かに大径に形成されているものの、爪
開き制御部材７の内径部７ｂ_１の上下動によって、チャ
ック爪４のスリット部４ｂ_１の根元を支点として弾性変
位する３つの長い爪部４ｂ_２及び３つの短い爪部４ｂ_３
の径方向への開き具合を目的の開き外形寸法に制御して
いる。従って、爪開き制御部材７の内径部７ｂ_１により
３つの長い爪部４ｂ_２及び３つの短い爪部４ｂ_３の径方
向への開き寸法を光ディスクＤ_１，Ｄ_２の中心孔ｄ_１，
ｄ_２の最大バラツキ径寸法より僅かに大きく設定するこ
とで、外側ピストン８及び内側ピストン９の下降量を最
適な範囲以内に抑えることができる。尚、爪開き制御部
材７は必要に応じて設けられるものであり、爪開き制御
部材７を設けない場合は、光ディスクＤ_１，Ｄ_２の剛性
が外側ピストン８及び内側ピストン９の押し下げ力に勝
る位置で両ピストン８，９の下降が停止する。

【００２０】更に、シリンダ２の上下にシリンダキャプ
３，チャック爪４などを取り付けた状態で、アーム部材
１１がシリンダキャップ３に位置決めピン１２で位置規
制されながら取り付けられている。上記アーム部材１２
は図示しない駆動手段によりＸＹＺ軸方向に３次元的に
移動できるようになっている。

【００２１】従って、アーム部材１１を回動してシリン
ダ２に取り付けたチャック爪４の中心をターンテーブル
３４上に積層した２枚の光ディスクＤ_１，Ｄ_２の中心孔
ｄ_１，ｄ_２と対向させた後、アーム部材１１を下動して
チャック爪４の３つの長い爪部４ｂ_２を下層の光ディス
クＤ_２の中心孔ｄ_２に挿入すると共に、３つの短い爪部
４ｂ_３を上層の光ディスクＤ_１の中心孔ｄ_１に挿入す
る。そして、シリンダ２内の外側ピストン８及び内側ピ
ストン９を同時に下降すると、図３（Ａ）に示した動作
と、図３（Ｂ）に示した動作とが同時に行なわれ、チャ
ック爪４に形成した３つの長い爪部４ｂ_２と３つの短い
爪部４ｂ_３とで２枚の光ディスクＤ_１，Ｄ_２の中心孔ｄ
_１，ｄ_２を同時に芯出しした状態でチャッキングでき
る。この際、図４に示した如く、２枚の光ディスク
Ｄ_１，Ｄ_２の中心孔ｄ_１，ｄ_２の孔寸法にバラツキが生
じていても、チャック爪４に形成した３つの長い爪部４
ｂ_２及び３つの短い爪部４ｂ_３はそれぞれの両側のスリ
ット部４ｂ_１の根元を支点としてそれぞれ独立に弾性変
位するので、２枚の光ディスクＤ_１，Ｄ_２の中心孔
ｄ_１，ｄ_２の孔寸法のバラツキに対して何等の支障も生
じることなく、２枚の光ディスクＤ_１，Ｄ_２の中心孔ｄ
_１，ｄ_２を同時に芯出しできる。

【００２２】次に、本発明に係るコレットチャック装置
の変形例について図５を用いて簡略に説明する。

【００２３】図５（Ａ），（Ｂ）は本発明に係るコレッ
トチャック装置の変形例を説明するための図であり、
（Ａ）は（Ｂ）に示した二点鎖線に沿って断面した断面
図，（Ｂ）はチャック爪の下面図である。尚、先に説明
したコレットチャック装置１の構成部材と同一構成部材
に対して同一の符号を付して適宜説明し、この変形例で
はコレットチャック装置１と異なる点を中心に簡略に説
明する。

【００２４】先に説明したコレットチャック装置１で
は、シリンダ２の同一のチャンバー２ａ内に入出する圧
縮空気又はオイルにより外側ピストン８及び内側ピスト
ン９を同時に動作させているのに対して、本発明の変形
例のコレットチャック装置２０では、シリンダ２の異な
るチャンバー２ａ，２ｅ内に入出する圧縮空気又はオイ
ルにより外側ピストン８及び内側ピストン９を別々に動
作させていること特徴とするものである。

【００２５】即ち、図５に示した変形例のコレットチャ
ック装置２０では、シリンダ２の上下から孔明け加工を
施して、中間部２ｄを介して下方にチャンバー２ａを、
上方にチャンバー２ｅを別々に形成している。そして、
各チャンバー２ａ，２ｅには圧縮空気又はオイルが入出
する入出口（２ｂ，２ｃ），（２ｆ，２ｇ）が各チャン
バー２ａ，２ｅごとに形成されている。勿論、各チャン
バー２ａ，２ｅ内はシール部材により密閉されている。

【００２６】そして、外側ピストン８は、下方のチャン
バー２ａ内に入出する圧縮空気又はオイルにより軸方向
に移動可能に設けられている。一方、内側ピストン９
は、上方のチャンバー２ｅ内に入出する圧縮空気又はオ
イルにより軸方向に移動可能に設けられている。これに
より、外側ピストン８及び内側ピストン９は別々に移動
を制御できるばかりでなく、圧縮空気又はオイルの圧力
を別々に制御できる。これに伴って、チャック爪４に形
成した３つの長い爪部４ｂ_２及び３つの短い爪部４ｂ_３
を別々に開閉できることは明らかである。

【００２７】＜第２実施例＞図６（Ａ）〜（Ｅ）は本発
明に係るコレットチャック装置を用いた貼り合わせディ
スクの製造方法を工程順に示した工程図、図７は図６
（Ｃ）に示した工程で２枚の光ディスク間に紫外線硬化
樹脂を介在させた状態で芯ずれが生じている状態を示し
た図、図８は従来方法により２枚の光ディスクの中心孔
をセンターピンに嵌合して芯出しを行う方法を説明する
ための図、図９（Ａ），（Ｂ）は本発明に係るコレット
チャック装置を用いた貼り合わせディスクの製造方法に
よる効果を従来方法と比較するために、３０枚の芯ずれ
を測定した結果を示した図であり、（Ａ）は本発明の実
施例の方法の場合を示し、（Ｂ）は従来方法の場合を示
した図である。

【００２８】図６（Ａ）〜（Ｅ）に示した本発明に係る
コレットチャック装置を用いた貼り合わせディスクの製
造方法では、２枚の光ディスクＤ_１，Ｄ_２を貼り合わせ
するにあたって、先に説明した本発明に係るコレットチ
ャック装置１又は本発明に係る変形例のコレットチャッ
ク装置２０を用いて、２枚の光ディスクＤ_１，Ｄ_２の中
心孔の芯がずれることなく、貼り合わせすることに特徴
があるものである。

【００２９】まず、図６（Ａ）に示した如く、ベース台
３１上にモータ３２が取り付けられ、このモータ３２と
嵌合し且つ光ディスクＤ_１，Ｄ_２の中心孔ｄ_１，ｄ_２の
孔寸法より僅かに小径なセンターピン３３がターンテー
ブル３４の中心孔３４ａ内を圧縮バネ３５を介して出没
自在に設けられている。また、ターンテーブル３４の上
方で且つ内周側に接着材となる紫紫外線硬化樹脂Ｊを収
納したディスペンサー３６が設置されている。

【００３０】ここで、下層となる光ディスクＤ_２の中心
孔ｄ_２をターンテーブル３４上に突出したセンターピン
３３に嵌合して、光ディスクＤ_２をターンテーブル３４
上に載置する。次いで、ディスペンサー３６から接着材
となる紫外線硬化樹脂Ｊを光ディスクＤ_２の上面の内周
部分に滴下しながら、モータ３２を３０〜６０ｒｐｍの
回転速度で回転させる。ここで、ターンテーブル３４が
５〜６回転した時点でディスペンサー３６からの紫外線
硬化樹脂Ｊの滴下を停止し、同時にターンテーブル３４
の回転を停止する。

【００３１】次に、図６（Ｂ）に示した如く、上層とな
る光ディスクＤ_１の中心孔ｄ_１をターンテーブル３４上
に突出したセンターピン３３に嵌合して、上層となる光
ディスクＤ_１を紫外線硬化樹脂Ｊを介して下層の光ディ
スクＤ_２の上に重ね合わせて載置する。

【００３２】次に、図６（Ｃ）に示した如く、ターンテ
ーブル３４上に２枚の光ディスクＤ_１，Ｄ_２を紫外線硬
化樹脂Ｊを介して重ね合わせた状態で、モータ３２を１
０００〜４０００ｒｐｍの回転速度で回転させると、２
枚の光ディスクＤ_１，Ｄ_２の間で紫外線硬化樹脂Ｊが遠
心力によって内周から外周端に向かってほぼ均一に伸ば
され、且つ、紫外線硬化樹脂Ｊの余分な量が外周端から
外に飛ばされると共に、２枚の光ディスクＤ_１，Ｄ_２間
に介在する空気が排除される。そして、２枚の光ディス
クＤ_１，Ｄ_２間に介在する紫外線硬化樹脂Ｊの厚みが
０．０２〜０．１ｍｍの範囲内に至った時にモータ３２
の回転を停止する。ここでは、紫外線硬化樹脂Ｊが硬化
していない状態であり、図７に示したように、２枚の光
ディスクＤ_１，Ｄ_２の中心孔ｄ_１，ｄ_２の孔寸法にバラ
ツキが生じていると、２枚の光ディスクＤ_１，Ｄ_２は芯
ずれが生じたまま停止している。

【００３３】次に、図６（Ｄ）に示した如く、先に説明
した本発明に係るコレットチャック装置１又は本発明に
係る変形例のコレットチャック装置２０を用いて、チャ
ック爪４の３つの長い爪部４ｂ_２を下層の光ディスクＤ
_２の中心孔ｄ_２に挿入すると共に、３つの短い爪部４ｂ
_３を上層の光ディスクＤ_１の中心孔ｄ_１に挿入する。こ
こで、長い爪部４ｂ_２の先端部がセンターピン３３に接
触することにより、センターピン３３は圧縮バネ３５の
付勢力に抗してターンテーブル３４の中心孔３４ａ内を
下降する。この後、第１実施例で詳述したように、シリ
ンダ２内の外側ピストン８及び内側ピストン９が下降す
ると、図３（Ａ）に示した動作と、図３（Ｂ）に示した
動作とが同時に行なわれ、チャック爪４に形成した３つ
の長い爪部４ｂ_２と３つの短い爪部４ｂ_３とで２枚の光
ディスクＤ_１，Ｄ_２の中心孔ｄ_１，ｄ_２を同時に芯出し
た状態でチャッキングできる。この際、図４に示した如
く、２枚の光ディスクＤ_１，Ｄ_２の中心孔ｄ_１，ｄ_２の
孔寸法にバラツキが生じていても、チャック爪４に形成
した３つの長い爪部４ｂ_２及び３つの短い爪部４ｂ_３は
それぞれ独立に弾性変位するので、２枚の光ディスクＤ
_１，Ｄ_２の中心孔ｄ_１，ｄ_２の孔寸法のバラツキに対し
て何等の支障も生じることなく、２枚の光ディスク
Ｄ_１，Ｄ_２の中心孔ｄ_１，ｄ_２を同時に芯出しできる。
そして、２枚の光ディスクＤ_１，Ｄ_２の芯出しが終了し
たら、チャック爪４に形成した３つの長い爪部４ｂ_２及
び３つの短い爪部４ｂ_３を閉じて、コレットチャック装
置１又は変形例のコレットチャック装置２０を別な場所
に移動させる。

【００３４】次に、図６（Ｅ）に示した如く、２枚の光
ディスクＤ_１，Ｄ_２の上方から紫外線ランプ３７で紫外
線を照射して、紫外線樹脂Ｊを硬化させると、２枚の光
ディスクＤ_１，Ｄ_２が芯出しした状態で両者Ｄ_１，Ｄ_２
の貼り合わせが完了する。次に、本実施例の方法により
貼り合わせた光ディスクと従来方法により貼り合わせた
光ディスクとの芯ずれの値を測定した結果について、図
８，図９（Ａ），（Ｂ）を用いて説明する。

【００３５】まず、図８に示したように、従来方法で
は、２枚の光ディスクＤ_１，Ｄ_２の中心孔ｄ_１，ｄ_２を
ターンテーブル３４上に突出したセンターピン３３に嵌
合して芯出しを行う。この際、センターピン３３の外径
と、光ディスクＤ_１，Ｄ_２の中心孔ｄ_１，ｄ_２の孔寸法
との差により、クリアランス部分が１８０°ずれて配置
されると、最大でδ_１＋δ_２の芯ずれ値（偏芯値）が発
生する。

【００３６】本実施例では、図６（Ｄ）に示したよう
に、本発明に係るコレットチャック装置１又は本発明に
係る変形例のコレットチャック装置２０を用いて、２枚
の光ディスクＤ_１，Ｄ_２の中心孔ｄ_１，ｄ_２を芯出しし
ている。

【００３７】ここで、図９（Ａ），（Ｂ）中、Ｌ_１は上
層の光ディスクＤ_１の芯ずれ値（偏芯）を示し、Ｌ_２は
下層の光ディスクＤ_２の芯ずれ値（偏芯値）を示してい
る。

【００３８】また、２枚の光ディスクＤ_１，Ｄ_２の芯ず
れ（偏芯）の測定は、下層の光ディスクＤ_２の厚み分だ
けセンターピンが突出した測定機（図示せず）を用い
て、下層の光ディスクＤ_２の中心孔ｄ_２をセンターピン
に嵌合させた状態で、下層の光ディスクＤ_２を基準とし
て上層の光ディスクＤ_１の芯ずれ値（偏芯値）Ｌ_１を測
定している。

【００３９】一方、下層の光ディスクＤ_２の芯ずれ値
（偏芯値）Ｌ_２は、中心孔ｄ_２に対するスタンパ（図示
せず）の芯ずれに起因する光ディスク本来の芯ずれを表
している。

【００４０】従って、図９（Ａ）に示した本実施例の方
法により貼り合わせた光ディスクと、図９（Ｂ）に示し
た従来方法により貼り合わせた光ディスクとの芯ずれの
値を比較すると、いずれの場合も下層の光ディスクＤ_２
の芯ずれ値（偏芯値）Ｌ_２は上記したようにスタンパ
（図示せず）の芯ずれに起因するものであるから平均値
及び標準偏差値も差がすくないものの、上層の光ディス
クＤ_１については３０枚の芯ずれ（偏芯）を測定した平
均値は、従来方法では８４．７８μｍに対して本実施例
の方法では５２．１７μｍとなり、ほぼ３０μｍ程度改
善している。これに伴って、上層の光ディスクＤ_１の芯
ずれ（偏芯）の標準偏差値も従来方法より本実施例の方
法の方が良く、本実施例による方法の効果が顕著である
ことが証明できる。これにより、貼り合わせディスクの
ダイナミックバランス，反り性能などの品質を良好に維
持することができる。

【００４１】

【発明の効果】以上詳述した本発明に係るコレットチャ
ック装置によると、とくに、弾性部材を用いた円筒状爪
部の中心に中心孔を形成し、且つ、円筒状爪部の円周を
軸方向に６か所の縦長なスリット部により６分割して、
下層のディスク又は平板状加工物をチャッキングするた
めに軸方向に長い３つの長い爪部と、上層のディスク又
は平板状加工物をチャッキングするために軸方向に短い
３つの短い爪部とをスリット部一つおきに弾性変位可能
に形成したチャック爪をシリンダに同軸的に取り付け
て、第１ピストンの一つ方向の移動時に第１ピストンの
先端部が３つの長い爪部と係合して、下層のディスク又
は平板状加工物の中心孔に挿入した３つの長い爪部を径
方向に開くと共に、第２ピストンの一つ方向の移動時に
第２ピストンの先端部が３つの短い爪部と係合して、下
層のディスク又は平板状加工物の中心孔に挿入した３つ
の長い爪部を径方向に開くので、２枚のディスク又は平
板状加工物の中心孔を芯出しした状態で確実にチャッキ
ングできる。

【００４２】また、本発明に係わるコレットチャック装
置を用いた貼り合わせディスクの製造方法によると、２
枚のディスクを貼り合わせる際、弾性部材を用いた円筒
状爪部の中心に中心孔を形成し、且つ、円筒状爪部の円
周を軸方向に６か所の縦長なスリット部により６分割し
て、下層のディスクをチャッキングするために軸方向に
長い３つの長い爪部と、上層のディスクをチャッキング
するために軸方向に短い３つの短い爪部とをスリット部
一つおきに弾性変位可能に形成したチャック爪をシリン
ダに同軸的に取り付けて、第１ピストンの一つ方向の移
動時に第１ピストンの先端部が３つの長い爪部と係合し
て、下層のディスクの中心孔に挿入した３つの長い爪部
を径方向に開くと共に、第２ピストンの一つ方向の移動
時に第２ピストンの先端部が３つの短い爪部と係合し
て、下層のディスクの中心孔に挿入した３つの長い爪部
を径方向に開くので、２枚のディスクの中心孔を芯出し
した状態で貼り合わせることができ、これにより貼り合
わせディスクのダイナミックバランス，反り性能などの
品質を良好に維持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るコレットチャック装置の外観を示
した斜視図である。

【図２】本発明に係るコレットチャック装置を説明する
ための図である。

【図３】本発明に係るコレットチャック装置の動作を説
明するための図である。

【図４】２枚の光ディスクの中心孔の孔寸法にバラツキ
が生じている際、チャック爪で芯出しした状態を示した
図である。

【図５】本発明に係るコレットチャック装置の変形例を
説明するための図である。

【図６】本発明に係るコレットチャック装置を用いた貼
り合わせディスクの製造方法を工程順に示した工程図で
ある。

【図７】図６（Ｃ）に示した工程で２枚の光ディスク間
に紫外線硬化樹脂を介在させた状態で芯ずれが生じてい
る状態を示した図である。

【図８】従来方法により２枚の光ディスクの中心孔をセ
ンターピンに嵌合して芯出しを行う方法を説明するため
の図である。

【図９】本発明に係るコレットチャック装置を用いた貼
り合わせディスクの製造方法による効果を従来方法と比
較するために、３０枚の芯ずれを測定した結果を示した
図である。

【符号の説明】

１…本発明に係るコレットチャック装置、２…シリン
ダ、２ａ，２ｅ…チャンバー、２ｂ，２ｃ，２ｆ，２ｇ
…入出口、３…シリンダキャップ、４…チャック爪、４
ｂ…円筒状爪部、４ｂ_１…スリット部、４ｂ_２…長い爪
部、４ｂ_３…短い爪部、４ｂ_２１…３つの長い爪部の外
側に形成した逃げ部、４ｃ…中心孔、４ｃ_２…３つの長
い爪部の内側に形成した逃げ部、５…押さえ部材、７…
爪開き制御部材、７ｂ_１…内径部、８…第１ピストン
（外側ピストン）、８ｃ…先端部（テーパ部）、９…第
２ピストン（内側ピストン）、９ｂ…先端部（テーパ
部）、２０…本発明に係る変形例のコレットチャック装
置、３３…センターピン、３４…ターンテーブル、３５
…圧縮バネ、Ｄ_１，Ｄ_２…光ディスク、ｄ_１，ｄ_２…光
ディスクＤ_１，Ｄ_２の中心孔。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】２枚のディスク又は平板状加工物に夫々形
   成した中心孔の孔寸法に多少のバラッキが生じていて
   も、２枚の前記ディスク又は前記平板状加工物を重ねて
   チャッキングするコレットチャック装置であって、 弾性部材を用いた円筒状爪部の中心に中心孔を形成し、
   且つ、前記円筒状爪部の円周を軸方向に６か所の縦長な
   スリット部により６分割して、下層の前記ディスク又は
   前記平板状加工物をチャッキングするために軸方向に長
   い３つの長い爪部と、上層の前記ディスク又は前記平板
   状加工物をチャッキングするために軸方向に短い３つの
   短い爪部とを前記スリット部一つおきに弾性変位可能に
   形成したチャック爪と、 前記チャック爪を同軸的に取り付け、且つ、圧縮空気又
   はオイルが入出する入出口を形成してチャンバー内を密
   閉したシリンダと、 前記シリンダのチャンバーの内周と、前記チャック爪の
   中心孔とに沿いながら前記圧縮空気又は前記オイルによ
   り軸方向に移動自在に設けられ、一つ方向の移動時に先
   端部が前記３つの短い爪部と係合して、上層の前記ディ
   スク又は前記平板状加工物の中心孔に挿入した該３つの
   短い爪部を径方向に開く一方、一つ方向と反対方向への
   移動時に該３つの短い爪部を閉じる第１ピストンと、 前記第１ピストンの中心に形成した中心孔に沿いながら
   前記圧縮空気又は前記オイルにより軸方向に移動自在に
   設けられ、一つ方向の移動時に先端部が前記３つの長い
   爪部と係合して、下層の前記ディスク又は前記平板状加
   工物の中心孔に挿入した該３つの長い爪部を径方向に開
   く一方、一つ方向と反対方向への移動時に該３つの長い
   爪部を閉じる第２ピストンとを備えたことを特徴とする
   コレットチャック装置。
2. 【請求項２】前記第１ピストンの先端部が前記３つの短
   い爪部と係合する際、該先端部が前記３つの長い爪部と
   係合しないように該長い爪部の内側に逃げ部を形成した
   ことを特徴とする請求項１記載のコレットチャック装
   置。
3. 【請求項３】前記３つの長い爪部を下層の前記ディスク
   又は前記平板状加工物の中心孔に挿入する際、該３つの
   長い爪部が上層の前記ディスク又は前記平板状加工物の
   中心孔に接触しないように該３つの長い爪部の外側に逃
   げ部を形成したことを特徴とする請求項１記載又は請求
   項２記載のコレットチャック装置。
4. 【請求項４】前記シリンダの同一のチャンバー内に入出
   する前記圧縮空気又は前記オイルにより前記第１，第２
   ピストンを同時に移動させることを特徴とする請求項１
   乃至請求項３記載のうちでいずれか１項記載のコレット
   チャック装置。
5. 【請求項５】前記シリンダの異なるチャンバー内に夫々
   入出する前記圧縮空気又は前記オイルにより前記第１，
   第２ピストンを別々に移動させることを特徴とする請求
   項１乃至請求項３記載のうちでいずれか１項記載のコレ
   ットチャック装置。
6. 【請求項６】前記チャック爪の円筒状爪部を嵌め込んだ
   内径部を該円筒状爪部の径より僅かに大径に形成して前
   記シリンダの軸方向に移動可能に設けられ、軸方向の移
   動に応じて前記３つの長い爪部及び前記３つの短い爪部
   の径方向への開き寸法を制御する爪開き制御部材を備え
   たことを特徴とする請求項１乃至請求項５記載のうちで
   いずれか１項記載のコレットチャック装置。
7. 【請求項７】弾性部材を用いた円筒状爪部の中心に中心
   孔を形成し、且つ、前記円筒状爪部の円周を軸方向に６
   か所の縦長なスリット部により６分割して、下層の前記
   ディスクをチャッキングするために軸方向に長い３つの
   長い爪部と、上層の前記ディスクをチャッキングするた
   めに軸方向に短い３つの短い爪部とを前記スリット部一
   つおきに弾性変位可能に形成したチャック爪をシリンダ
   に取り付けると共に、前記シリンダ内に第１，第２ピス
   トンを軸方向に移動可能に設けたコレットチャック装置
   を用い、２枚のディスクの中心孔を芯出しした状態で貼
   り合わせるディスクの製造方法であって、 下層のディスクの中心孔をターンテーブル上に突出した
   センターピンに嵌合して、前記ターンテーブル上に載置
   した下層の前記ディスクを回転させながら下層の前記デ
   ィスクの上面の内周部分に紫外線硬化樹脂を滴下する工
   程と、 上層のディスクの中心孔を前記センターピンに嵌合し
   て、上層の前記ディスクを前記紫外線硬化樹脂を介して
   下層の前記ディスクの上に重ね合わせ、且つ、前記ター
   ンテーブルを回転して前記紫外線硬化樹脂を遠心力によ
   り外周端まで略均一に伸ばした後に前記ターンテーブル
   の回転を停止する工程と、 前記ターンテーブルの停止時に前記３つの長い爪部が前
   記センターピンに接触するにつれて該センターピンを圧
   縮バネに抗して前記ターンテーブルの中心孔内に下降さ
   せて、前記３つの長い爪部を下層の前記ディスクの中心
   孔に挿入させ、且つ、前記３つの短い爪部を上層の前記
   ディスクの中心孔に挿入させ、前記第１ピストンの一つ
   方向の移動時に先端部が前記３つの短い爪部と係合し
   て、上層の前記ディスクの中心孔に挿入した該３つの短
   い爪部を径方向に開くと共に、前記第２ピストンの一つ
   方向の移動時に先端部が前記３つの長い爪部と係合し
   て、下層の前記ディスクの中心孔に挿入した該３つの長
   い爪部を径方向に開いて、２枚の前記ディスクの中心孔
   を芯出しする工程と、 ２枚の前記ディスクを芯出しした後、紫外線を照射して
   前記紫外線樹脂を硬化させ、２枚の前記ディスクを貼り
   合わせる工程とからなるコレットチャック装置を用いた
   貼り合わせディスクの製造方法。