JP3396371B2 - ディスク貼り合わせにおける２枚のディスクの移載方法、ディスク貼り合わせ装置およびその装置における移載機構 - Google Patents

ディスク貼り合わせにおける２枚のディスクの移載方法、ディスク貼り合わせ装置およびその装置における移載機構

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、第１のディスクと
第２のディスクとを接着剤によって貼り合わせて１枚の
ディスクを製造するディスク貼り合わせ方法および装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】下側ディスクと上側ディスクとを貼り合
わせて１枚のディスクを作る場合、従来は、まず、下側
ディスクを回転装置（スピンコータ）上に載置し、回転
装置を低速回転させながら、この下側ディスク上に接着
剤を供給した後、回転装置を再び停止させ、この下側デ
ィスク上に上側ディスクを重ね、この状態で回転装置を
所定時間、高速回転させ、上下ディスク間に接着剤を充
分行き渡らせる。その後に、回転を再び停止させ、接着
剤を介して密着した上下ディスクを紫外線照射装置へ送
り、紫外線を照射して接着剤を硬化させ、このようにし
て、貼り合わせディスクを完成させる。
【０００３】上記のように、回転装置を高速回転させる
ことによって、均一な厚さの接着剤の層を形成でき、平
坦性のよい貼り合わせディスクを得ることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例において
は、回転装置を停止させた後に、その回転装置上に下側
ディスクを載置してから、その上に上側ディスクを載置
するまでの間、回転装置の本来の機能である高速回転処
理を行うことができない。したがって、上記従来例にお
いては、回転装置が高速回転できない時間が長くなり、
装置全体の動作時間のうちで、回転装置が機能している
割合が低下し、ディスク貼り合わせ装置全体の効率が低
下するという問題がある。
【０００５】また、下側ディスク上に供給された接着剤
の粘性が低い場合、下側ディスクと上側ディスクとを互
いに密着させると接着剤が中央穴方向にも広がり、ディ
スクの中央穴から接着剤が流れ出すことがあるという問
題がある。一方、下側ディスク上に供給された接着剤の
粘性が高い場合、接着剤が供給されている下側ディスク
を回転装置に載置した後、この下側ディスク上に上側デ
ィスクを載置してから、その回転装置を回転させると、
接着剤の粘性が高いので、ディスク中心部の塗布必要範
囲までその接着剤が充分に広がるまでの時間が長くなる
という問題がある。
【０００６】本発明は、回転装置が高速回転しない時間
を短くすることによって、回転装置の効率が向上し、デ
ィスク貼り合わせ装置全体の効率を向上できるディスク
貼り合わせ方法および装置を提供することを目的とする
ものである。
【０００７】また、本発明は、下側ディスク上に供給さ
れた接着剤の粘性が低い場合でも、ディスクの中央穴か
ら接着剤が流れ出すことがなく、また、下側ディスク上
に供給された接着剤の粘性が高い場合でも、下側ディス
ク上に上側ディスクを載置した状態で回転装置を回転さ
せたときに、その接着剤が必要範囲に充分に広がるまで
の時間を短くすることができるディスク貼り合わせ方法
および装置を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、第１のディス
クと第２のディスクとを接着剤によって貼り合わせて１
枚のディスクを製造する場合、第２のディスクを吸着す
る吸着手段と、この吸着手段とともに運動可能に配置さ
れ、放射方向に運動して、第１のディスクの内径端をチ
ャックする複数の爪部を具備するメカチャック手段とを
有するものである。
【０００９】
【発明の実施の形態および実施例】図６は、本発明の一
実施例である移載機構Ｒ１が適用されているディスク貼
り合わせ装置１００を示す平面図である。
【００１０】ディスク貼り合わせ装置１００は、基本的
には、第１のスタッカＳＴ１、第２のスタッカＳＴ２か
ら回転テーブルＴ３に向ってディスクが流れる装置であ
る。つまり、第１のスタッカＳＴ１に載置されている下
側ディスクＤＳ１が、吐出テーブルＴ１に送られ、液状
の接着剤ＦＬが塗布され、一方、第２のスタッカＳＴ２
に載置されている上側ディスクＤＳ２が、切り替えテー
ブルＴ２に送られた後に、吐出テーブルＴ１に載置され
ている下側ディスクＤＳ１の上に、下側ディスクＤＳ１
と対向した状態で保持され、コータハウスＣＨ１または
ＣＨ２内の回転装置（スピンコータ）に移載され、接着
剤ＦＬをディスクＤＳ１とＤＳ２との間に行き渡らせ接
着ディスクＤＳ３になる。すなわち、接着ディスクＤＳ
３は、下側ディスクＤＳ１と上側ディスクＤＳ２とが液
状の接着剤ＦＬを挟み、これら全体で１枚のディスクを
構成したものである。この接着ディスクＤＳ３が端面処
理ハウスＥＨに運ばれ、接着ディスクＤＳ３の端面処理
が済むと、回転テーブルＴ３に移載される。
【００１１】回転テーブルＴ３の回転部分に、８つの石
英台（石英で作られた台であり、図４では省略してあ
る）が等間隔で固定され、これら８つの石英台の１つに
１枚の接着ディスクＤＳ３が載置され、この接着ディス
クＤＳ３の上に石英板ＱＵが載置され、つまり、石英台
と石英板ＱＵとの間に接着ディスクＤＳ３が挟まれた状
態で、紫外線照射装置ＵＶ１を通過し、接着ディスクＤ
Ｓ３の上に載置されていた石英板ＱＵが除去され、接着
ディスクＤＳ３が排出用スタッカＳＴ３に積み上げられ
る。
【００１２】次に、ディスク貼り合わせ装置１００をよ
り具体的に説明する。
【００１３】まず、多数の下側ディスクＤＳ１が第１の
スタッカＳＴ１に積み上げられ、このうちの位置Ｐ１に
存在する第１のスタッカＳＴ１のディスクＤＳ１が第１
のディスクリフタＤＬ１によって、最上位のディスクＤ
Ｓ１が設定レベルに位置するように持ち上げられてお
り、この状態で、位置Ｐ１に存在する最上位のディスク
ＤＳ１がディスク供給アームＤＳＡ１によって、位置Ｐ
２に載置される。位置Ｐ２に載置されたディスクＤＳ１
は、デスク反転ユニットＤＩによって、その上面と下面
との位置が逆転され、吐出テーブルＴ１の位置Ｐ３に載
置される。なお、塵埃の付着を少なくするためにディス
クＤＳ１の記録面を下に向けてスタッカＳＴ１に収納し
てあり、接着時にディスクＤＳ１の記録面を上に向ける
ために反転させる。なお、ディスク製造工程の構成の仕
方によってはディスクの記録面を上に向けて収納した方
が都合がよい場合もある。この場合には、ディスク反転
ユニットＤＩは、後述する位置Ｐ１１とＰ１２との間に
設置される。
【００１４】吐出テーブルＴ１の位置Ｐ３に載置された
ディスクＤＳ１は、吐出テーブルＴ１によって１２０度
反時計方向に回動され位置Ｐ４に達する。この位置Ｐ４
において、ディスクＤＳ１の中心近傍に、接着剤吐出ノ
ズルＮから液状の接着剤ＦＬが環状に吐出される。
【００１５】つまり、ノズルＮは、それを支持する部材
がＸ軸方向とＹ軸方向とに独立にスライドし、この独立
的なスライドによって、ノズルＮの吐出先端が円運動を
行う。この円運動の過程で、ノズルＮから液体状の接着
剤ＦＬが吐出され、ディスクＤＳ１の上に環状に塗布さ
れる。この場合、位置Ｐ４に下側ディスクＤＳ１が到達
する前に、ノズルＮは円運動を開始している。このよう
に、位置Ｐ４にディスクＤＳ１が到達する前に、ノズル
Ｎの円運動を開始させることによって、ノズルＮが一定
速度で円運動するまでの待ち時間を排除できる。
【００１６】ディスクＤＳ１の上に液状の接着剤ＦＬが
環状に塗布された後、ディスクＤＳ１は、反時計方向に
１２０度回動し、位置Ｐ５で待機する。
【００１７】一方、多数の上側ディスクＤＳ２が第２の
スタッカＳＴ２に積み上げられ、このうちの位置Ｐ１１
に存在するディスクＤＳ２が第２のディスクリフタＤＬ
２によって、第１のスタッカＳＴ１の場合と同様に、ス
タッカＳＴ２の最上位に持ち上げられており、この状態
で、第２のディスク供給アームＤＳＡ２によって、切り
替えテーブルＴ２の位置Ｐ１２に載置される。位置Ｐ１
２に載置されたディスクＤＳ２は、切り替えテーブルＴ
２が１８０度回動して、位置Ｐ１３に達すると、位置Ｐ
１３上のディスクＤＳ２は、移載機構Ｒ１によって保持
され、位置Ｐ５の上方に移動する。このとき、位置Ｐ５
に載置されているディスクＤＳ１は、ディスクＤＳ２の
下方に、所定の間隔を空けた状態で、移載機構Ｒ１に保
持される。なお、ここで言う所定の間隔とは、ディスク
ＤＳ１上の接着剤ＦＬがディスクＤＳ２に接触する間隔
か、または、ディスクＤＳ１上の接着剤ＦＬがディスク
ＤＳ２に接触しないような間隔であり、そのいずれの間
隔が選定されるかは、後述の条件に応じて選定される。
【００１８】図１は、本発明の一実施例である移載機構
Ｒ１を示す正面図であり、上側ディスクＤＳ２と下側デ
ィスクＤＳ１とともに示す図である。図２は、移載機構
Ｒ１の要部拡大図である。
【００１９】移載機構Ｒ１は、上側ディスクＤＳ２を吸
着する吸着手段１０と、下側ディスクＤＳ１の内径端Ｉ
Ｅ１をチャックするために放射方向に拡がる爪部Ｎ１、
Ｎ２を具備するメカチャック手段２０と、吸着手段１０
とメカチャック手段２０とを一体的に移動する上下動手
段３０と、吸着手段１０とメカチャック手段２０と上下
動手段３０とを制御する制御手段（図示せず）とを有す
る。
【００２０】吸着手段１０は、筐体１１と、吸引パイプ
１２と、筐体１１の下部に設けられ、吸引パイプ１２と
連通し上側ディスクＤＳ２を吸着する吸着パット１３、
１４とを有する。実際には、吸着パット１３、１４の他
に、第３または第４の吸着パットが設けられている。
【００２１】メカチャック手段２０は、筐体１１に固定
されている筐体２１と、筐体２１から垂下する爪部Ｎ
１、Ｎ２とを有する。爪部Ｎ１、Ｎ２は、吸着手段１０
とともに運動可能であり、放射外方向に運動することに
よって下側ディスクＤＳ１の内径端ＩＥ１をチャックす
るものである。なお、図１、図２においては、説明の都
合上、爪部として２つの爪部Ｎ１、Ｎ２を示してある
が、実際には、図５に示すように、爪部として３つの爪
部Ｎ１１、Ｎ１２、Ｎ１３が設けられ、爪部Ｎ１１、Ｎ
１２、Ｎ１３は、吸着手段１０とともに運動可能であ
り、ほぼ１２０度間隔で配置され、放射方向に拡がるこ
とによって下側ディスクＤＳ１の内径端ＩＥ１をチャッ
クするものである。また、爪部を４つ以上設けるように
してもよい。
【００２２】上記制御手段は、吸着手段１０に上側ディ
スクＤＳ２を吸着させ、上下動手段３０によって、下側
ディスクＤＳ１から所定間隔離れた位置に上側ディスク
ＤＳ２を移動させ、メカチャック手段２０によって、爪
部Ｎ１、Ｎ２を拡がらせ、下側ディスクＤＳ１の内径端
ＩＥ１を爪部Ｎ１、Ｎ２がチャックすることによって、
下側ディスクＤＳ１と上側ディスクＤＳ２との間隔を制
御するものである。
【００２３】なお、上記制御手段は、吸着手段１０に上
側ディスクＤＳ２を吸着させる前に、爪部Ｎ１、Ｎ２を
上側ディスクＤＳ２の中央穴Ｈ２内に位置させ、メカチ
ャック手段２０によって爪部Ｎ１、Ｎ２を拡がらせるこ
とによって、上側ディスクＤＳ２の心合わせを行ない、
その後、吸着手段１０に上側ディスクＤＳ２を吸着させ
るように制御するものである次に、移載機構Ｒ１の動作
について説明する。
【００２４】図３は、移載機構Ｒ１の動作を示す図であ
る。
【００２５】まず、図３（１）の状態から、吸着手段１
０が上側ディスクＤＳ２に接触し、その後、吸着手段１
０が上側ディスクＤＳ２を吸着し（図３（２））、メカ
チャック手段２０が爪部Ｎ１、Ｎ２を拡がらせることに
よって、上側ディスクＤＳ２の中心を合わせ（図３
（３））、上下動手段３０を駆動することによって、下
側ディスクＤＳ１の上に所定間隔をあけて上側ディスク
ＤＳ２を載置する（図３（４））。そして、メカチャッ
ク手段２０が爪部Ｎ１、Ｎ２を拡がらせて、下側ディス
クＤＳ１を中心合わせするとともに、下側ディスクＤＳ
１の内径端ＩＥ１を爪部Ｎ１、Ｎ２がチャックする（図
３（５））。このようにして、下側ディスクＤＳ１と上
側ディスクＤＳ２との間隔を制御するものである。
【００２６】このように下側ディスクＤＳ１と上側ディ
スクＤＳ２との間隔を所定の値に設定した状態で、コー
タハウスＣＨ１またはＣＨ２における回転装置受台（ス
ピンコータ受台）４０の上に、下側ディスクＤＳ１と上
側ディスクＤＳ２とを移動させる（図３（６））。そし
て、回転装置受台４０の位置合わせ用突起４１に、下側
ディスクＤＳ１の中央穴Ｈ１と上側ディスクＤＳ２の中
央穴Ｈ２とを導く。また、位置合わせ用突起４１の上部
には、凹部４２が設けられ、この凹部４２に爪部Ｎ１、
Ｎ２の先端が没入し、突起４１が下側ディスクＤＳ１の
中央穴Ｈ１と上側ディスクＤＳ２の中央穴Ｈ２と入り易
くなっている。また、位置合わせ用突起４１の上部に凹
部４２を設ける代わりに、突起４１の上部を平坦（平
面）にするようにしてもよい。
【００２７】なお、上記動作説明では、吸着手段１０に
上側ディスクＤＳ２を吸着させる前に、爪部Ｎ１、Ｎ２
を拡げて上側ディスクＤＳ２の中心を合わせているが、
この爪部Ｎ１、Ｎ２を拡げることによる上側ディスクＤ
Ｓ２の中心を合わせ動作を省略するようにしてもよい。
この場合、吸着手段１０に上側ディスクＤＳ２を吸着さ
せる前に、上側ディスクＤＳ２を位置Ｐ１２に載置する
ときに、爪部Ｎ１、Ｎ２の使用とは別の手法で、上側デ
ィスクＤＳ２の中心合わせを実行するようにしてもよ
い。
【００２８】移載機構Ｒ１では、爪部Ｎ１、Ｎ２にそれ
ぞれ突起が設けられておらず、下側ディスクＤＳ１と上
側ディスクＤＳ２とが対向しているときに、下側ディス
クＤＳ１の内径端ＩＥ１と上側ディスクＤＳ２の内径端
ＩＥ２とに爪部Ｎ１が当接しているとともに、下側ディ
スクＤＳ１の内径端ＩＥ１と上側ディスクＤＳ２の内径
端ＩＥ２とに爪部Ｎ２が当接しているので、爪部だけに
よって下側ディスクＤＳ１と上側ディスクＤＳ２とをチ
ャックすることができる。したがって、爪部Ｎ１、Ｎ２
によってディスクＤＳ１とＤＳ２とをチャックした後
は、吸着手段１０による吸着動作を停止させることがで
きる。この場合、爪部Ｎ１、Ｎ２におけるディスクＤＳ
１、ＤＳ２の内径端と当接する部分にゴム等の摩擦係数
が高い部材を使用すれば、ディスクＤＳ１、ＤＳ２の移
動時における滑りが少なくなる。
【００２９】上記実施例において、下側ディスクＤＳ１
に塗布されている接着剤ＦＬが上側ディスクＤＳ２に接
触しない程度の僅かな間隙を保持しながら、ディスクＤ
Ｓ１とＤＳ２とをコータハウスＣＨ１、ＣＨ２に運び、
このコータハウスＣＨ１、ＣＨ２において両ディスクＤ
Ｓ１、ＤＳ２を互いに密接させれば、密接させた後に運
ぶ場合と時間は殆ど同じである。
【００３０】また、爪部Ｎ１、Ｎ２によって下側ディス
クＤＳ１を取り上げる位置Ｐ５に、第１のディスク用受
台（図示せず）が設置され、上記第１のディスク用受台
が上下方向に可動であり、しかも上記第１のディスク用
受台の上下位置と上下動の速度とを任意に設定できる。
そして、上側ディスクＤＳ２が上記第１のディスク用受
台に移動したときに、上側ディスクＤＳ２の高さを一定
の値に調整しておけば、上記第１のディスク用受台の上
下位置を所望の高さに設定することによって、下側ディ
スクＤＳ１と上側ディスクＤＳ２との間隔を制御するこ
とができる。
【００３１】つまり、第１のディスク用受台には、図示
しないサーボモーター等を使用した昇降駆動装置が設け
られ、この昇降駆動装置のレベル設定値に応じて、下側
ディスクＤＳ１を掴む下側ディスクＤＳ１のレベルが決
定され、このようにすることによって、下側ディスクＤ
Ｓ１と上側ディスクＤＳ２との間隔が制御される。ま
た、上記昇降駆動装置の速度設定値に応じて、下側ディ
スクＤＳ１を掴むスピードが決定される。
【００３２】図４は、本発明の他の実施例である移載機
構Ｒ１２の要部を拡大して示す図である。
【００３３】移載機構Ｒ１２は、移載機構Ｒ１における
爪部Ｎ１、Ｎ２の代わりに、爪部Ｎ３、Ｎ４を有するも
のである。爪部Ｎ３は、その下端部分に突起５１が設け
られ、突起５１よりも上部分が細径部５３を構成するも
のであり、同様に、爪部Ｎ４は、その下端部分に突起５
２が設けられ、突起５２よりも上部分が細径部５４を構
成するものである。つまり、爪部Ｎ３、Ｎ４の端部には
段差が設けられている。この場合、突起５１、５２は、
爪部Ｎ３、Ｎ４を互いに拡げる方向に突出している。
【００３４】上記のように、爪部Ｎ３、Ｎ４の端部にそ
れぞれ突起５１、５２が設けられていると、爪部Ｎ３、
Ｎ４を互いに拡げたときに、下側ディスクＤＳ１の内径
端ＩＥ１を爪部Ｎ３、Ｎ４の突起５１、５２がチャック
し、このように下側ディスクＤＳ１をチャックしている
ときに、細径部５３、５４が上側ディスクＤＳ２の内径
端ＩＥ２と接触しない。このようにしてあれば、下側デ
ィスクＤＳ１と上側ディスクＤＳ２との穴径のバラツキ
が比較的大きいような場合でも、下側ディスクＤＳ１を
安定して保持できる利点がある。また、下側ディスクＤ
Ｓ１の高さ位置とは無関係に、上側ディスクＤＳ２の高
さ位置を制御することもできる。つまり、下側ディスク
ＤＳ１と上側ディスクＤＳ２とを対向させて移動させて
いる間に、下側ディスクＤＳ１と上側ディスクＤＳ２と
の間隔を自由に制御することができ、処理速度をさらに
向上させることができる。具体的には、メカチャック手
段２０を駆動する駆動手段を、移載機構Ｒ１２に内蔵す
れば、２枚のディスクＤＳ１、ＤＳ２を対向させて移載
している途中で、ディスクＤＳ１とＤＳ２との間隔を調
整可能である。
【００３５】また、移載機構Ｒ１２においては、２枚の
ディスクを保持した状態でも、上下２枚のディスクＤＳ
１、ＤＳ２の間隔を自由に設定できるので、上下動手段
３０をアームによって移動する過程においても、ディス
クＤＳ１に塗布されている接着剤をディスクＤＳ２に接
触させる接液動作を実行することができる。これによっ
て、上下２枚のディスクＤＳ１、ＤＳ２を重ね合わせる
段階における処理時間を短縮することができる。
【００３６】次に、上記各実施例において、ディスクＤ
Ｓ１とＤＳ２とが移載機構Ｒ１によって、コータハウス
ＣＨ１の回転装置の受台４０の位置Ｐ１４に載置された
後の動作について説明する。
【００３７】なお、回転装置の受台４０の位置Ｐ１４に
ディスクＤＳ１とＤＳ２とが載置される直前には、その
回転装置が停止を完了している。そして、回転装置の受
台４０の位置Ｐ１４に、ディスクＤＳ１とＤＳ２とが対
向した状態で載置されると、直ちに、回転装置が回転を
開始する。したがって、上記実施例においては、回転装
置が回転を停止している時間が極めて短く、このため
に、回転装置の効率が向上し、ディスク貼り合わせ装置
１００の全体の効率が向上する。
【００３８】回転装置の回転によって、ディスクＤＳ１
とＤＳ２とから飛び散った余分な液状接着剤ＦＬを回収
する手段が、コータハウスＣＨ１内に設けられている。
コータハウスＣＨ１における回転によって、ディスクＤ
Ｓ１とＤＳ２との間に液状接着剤ＦＬが充分に行き渡る
ために必要な所定時間が経過すると、回転装置が停止す
る。このとき、ディスクＤＳ１とＤＳ２とは、１枚の接
着ディスクＤＳ３となっている。その後、移載機構Ｒ２
が、位置Ｐ１４のディスクＤＳ３を端面処理ハウスＥＨ
の位置Ｐ１５に移載する。
【００３９】この端面処理ハウスＥＨでは、接着ディス
クＤＳ３の端面に付着している液状接着剤ＦＬを拭き取
ったり、削り取ったりして、接着ディスクＤＳ３の端面
から液状接着剤ＦＬを除去する。その後、位置Ｐ１５に
存在する接着ディスクＤＳ３を、移載アームＡ１が、回
転テーブルＴ３上の位置Ｐ２１に載置する。
【００４０】コータハウスＣＨ１でディスクＤＳ３から
余分な液状接着剤ＦＬをコータハウスＣＨ１で除去して
いる間に、移載機構Ｒ１は、切り替えテーブルＴ２の位
置Ｐ１３に載置されている新たな上側ディスクＤＳ２
を、吐出テーブルＴ１の位置Ｐ３に載置されている新た
な下側ディスクＤＳ１の上に対向するように重ねられ、
対向配置されたこれらディスクＤＳ１とＤＳ２とは、移
載機構Ｒ１が反時計方向に回動する（逆回動する）こと
によって、コータハウスＣＨ２の回転装置の受台の位置
Ｐ１６に載置される。なお、回転装置の受台４０の位置
Ｐ１６にディスクＤＳ１とＤＳ２とが載置される直前に
は、その回転装置が停止を完了し、回転装置の受台の位
置Ｐ１６にディスクＤＳ１とＤＳ２とが載置されると、
直ちに、回転装置が回転を開始する。
【００４１】コータハウスでは他の部分よりも処理時間
が比較的長くかかるが、上記のように、コータハウスを
２つ設けることによって、コータハウスがスムースな流
れのネックになることを防止している。そして、コータ
ハウスＣＨ２における回転が停止されると、移載機構Ｒ
２が位置Ｐ１６に存在する接着ディスクＤＳ３を端面処
理ハウスＥＨに送る。
【００４２】図５は、本発明の別の実施例を示す図であ
り、図５（１）は、ディスクＤＳ１と爪部Ｎ１１、Ｎ１
２、Ｎ１３との関係を示す図である。図５（２）は、回
転装置受台４０における位置合わせ用突起４１の変形例
である位置合わせ用突起６０を示す図である。
【００４３】位置合わせ用突起６０は、コータハウスＣ
Ｈ１またはＣＨ２の受台４０に載置され、ディスクＤＳ
１、ＤＳ２のそれぞれの中央穴Ｈ１、Ｈ２と嵌合するも
のであり、起立片６１、６２、６３と、空間６１Ｓ、６
２Ｓ、６３Ｓと、シャフト６４とを有する。起立片６
１、６２、６３は、断面が扇状を形成し、その外周が中
央穴Ｈ１、Ｈ２よりもやや小さくなっている。また、起
立片６１と６２との間に空間６２Ｓが形成され、起立片
６２と６３との間に空間６３Ｓが形成され、起立片６３
と６１との間に空間６１Ｓが形成されている。空間６１
Ｓ、６２Ｓ、６３Ｓは、それぞれに、爪部Ｎ１１、Ｎ１
２、Ｎ１３が挿入されるように配置されている。
【００４４】つまり、第１のディスクＤＳ１、第２のデ
ィスクＤＳ２を載置し、回転する受台４０をスピンコー
タが有し、受台４０の中央部に、位置合わせ用突起６０
が設けられ、位置合わせ用突起６０は、第１のディスク
ＤＳ１、第２のディスクＤＳ２のそれぞれの中央穴Ｈ
１、Ｈ２と嵌合する複数の起立片６１、６２、６３と、
複数の起立片６１、６２、６３のうちの２つの起立片に
よって挟まれる空間６１Ｓ、６２Ｓ、６３Ｓとを有し、
複数の爪部Ｎ１１、Ｎ１２、Ｎ１３のそれぞれが空間６
１Ｓ、６２Ｓ、６３Ｓのそれぞれに没入することによっ
て、第１のディスクＤＳ１、第２のディスクＤＳ２のそ
れぞれが位置合わせ用突起６０に嵌合されるようになっ
ている。
【００４５】上記実施例では、下側ディスクＤＳ１と上
側ディスクＤＳ２とを対向させた状態で、コータハウス
ＣＨ１、ＣＨ２に移載するようにしているが、その間隔
は必要に応じて選定できる。つまり、下側ディスクＤＳ
１と上側ディスクＤＳ２との間の所定の空隙について
は、ディスクＤＳ１上の接着剤ＦＬの頂部にディスクＤ
Ｓ２を接触させた状態にすることもでき、ディスクＤＳ
２が、ディスクＤＳ１の接着剤ＦＬに接触しない状態に
することもできる。
【００４６】接着剤ＦＬが高粘度である場合には、下側
ディスクＤＳ１上の接着剤ＦＬを上側ディスクＤＳ２に
接触させてから、接着剤ＦＬがディスク内周側の塗布す
べき位置まで広がるのに時間がかかるので、ここでディ
スクＤＳ２を接着剤ＦＬに接触させておけば回転処理の
時間を短縮させることができる。すなわち、ディスクＤ
Ｓ１とＤＳ２とを重ねた瞬間には、接着剤ＦＬの層の形
が乱れ、この状態で高速回転すると気泡を巻き込み易く
なるので、接着剤ＦＬの層をある程度は広げる必要があ
るということと、そのために、接着剤ＦＬを塗布すべき
位置よりも外側に供給しなければならないこととに起因
して、ディスクＤＳ１とＤＳ２とを重ねてから、上記デ
ィスク内周側の塗布すべき位置まで接着剤ＦＬが広がる
までは、高速回転を行えないという事情による。
【００４７】一方、接着剤ＦＬが低粘度である場合に
は、下側ディスクＤＳ１の上に供給されている接着剤Ｆ
Ｌが上側ディスクＤＳ２に接触しないようにして対向さ
せ、この対向している状態を保持しながら回転装置へ移
載すればよく、回転装置上でディスクＤＳ１とＤＳ２と
を重ねた後、１秒以内程度で高速可能となるので、上記
のような高速回転前の待ち時間は問題にならない。
【００４８】また、上記実施例は、第１のディスクと第
２のディスクとを接着剤によって貼り合わせて１枚のデ
ィスクを製造する場合、第２のディスクＤＳ２を吸着す
る吸着段階と、第１のディスクＤＳ１から所定間隔離れ
た位置に第２のディスクを移動させる第２のディスク移
動段階と、複数の爪部を放射方向に動作させ、第１のデ
ィスクＤＳ１の内径端に複数の爪部を当接することによ
って、第１のディスクＤＳ１と第２のディスクＤＳ２と
の間隔を制御する間隔制御段階とを有するディスク貼り
合わせにおける２枚のディスクの移載方法として把握す
ることができる。
【００４９】この場合、第１のディスクＤＳ１に液状の
接着剤ＦＬを塗布した後、第２のディスクＤＳ２を接着
剤ＦＬに接触させた状態または、第２のディスクＤＳ２
を接着剤ＦＬに接触させない状態で、第１のディスクＤ
Ｓ１と第２のディスクＤＳ２とを対向させて両ディスク
を移動させるようにしてもよい。
【００５０】また、上記実施例は、ＲＯＭ型のＤＶＤ、
追記型のＤＶＤ、書き込み型のＤＶＤのいずれにも適用
できるものである。
【００５１】上記実施例において、下側ディスクＤＳ１
を把持する場合、その内径端ＩＥ１に複数の爪部を当接
させるようにしているが、このようにする代わりに、下
側ディスクＤＳ１の外径端を複数の爪部等で把持するよ
うにしてもよく、また、下側ディスクＤＳ１の内径端Ｉ
Ｅ１と、外径端とをそれぞれ爪部等で把持するようにし
てもよい。
【００５２】
【発明の効果】本発明によれば、回転装置が高速回転し
ない時間が短くなり、回転装置の効率が向上し、ディス
ク貼り合わせ装置全体の効率を向上できるという効果を
奏し、また、一方のディスク上に供給された接着剤の粘
性が低い場合でも、ディスクの中央穴から接着剤が流れ
出すことがなく、また、上記接着剤の粘性が高い場合で
も、一方のディスク上に他方のディスクを載置した状態
で回転装置を回転させたときに、その接着剤が充分に広
がるまでの時間を短くすることができるという効果を奏
する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例である移載機構Ｒ１を示す正
面図であり、上側ディスクＤＳ２と下側ディスクＤＳ１
とともに示す図である。
【図２】移載機構Ｒ１の要部拡大図である。
【図３】移載機構Ｒ１の動作を示す図である。
【図４】本発明の他の実施例である移載機構Ｒ１２の要
部拡大図である。
【図５】本発明の別の実施例を示す図であり、ディスク
ＤＳ１と爪部Ｎ１１、Ｎ１２、Ｎ１３との関係と、回転
装置受台４０における位置合わせ用突起４１の変形例と
を示す図である。
【図６】本発明の一実施例である移載機構Ｒ１が適用さ
れているディスク貼り合わせ装置１００を示す平面図で
ある。
【符号の説明】
Ｒ１、Ｒ１２…移載機構、 １００…ディスク貼り合わせ装置、 ＤＳ１…下側のディスク、 ＤＳ２…上側のディスク、 ＤＳ３…接着ディスク、 ＣＨ１、ＣＨ２…コータハウス、 １０…吸着手段、 １３、１４…吸着パット、 ２０…メカチャック手段、 ３０…上下動手段、 Ｎ１、Ｎ２、Ｎ３、Ｎ４、Ｎ１１、Ｎ１２、Ｎ１３…爪
部、 ５１、５２…突起、 ＩＥ１、ＩＥ２…内径端、 Ｈ１、Ｈ２…中央穴。
フロントページの続き (72)発明者 西村 博信 東京都豊島区高田１丁目18番１号 オリ ジン電気株式会社内 (56)参考文献 特開 平４−38731（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−5930（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−20714（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−105892（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−169107（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−36118（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−302022（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−16045（ＪＰ，Ａ) 登録実用新案3017492（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 7/26

Claims (13)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 第１のディスクと第２のディスクとを接
    着剤によって貼り合わせて１枚のディスクを製造する装
    置において、 上記第２のディスクを吸着する吸着手段と；この吸着手
    段とともに運動可能に配置され、放射方向に運動し、上
    記第１のディスクの内径端をチャックする複数の爪部を
    具備するメカチャック手段と；を有することを特徴とす
    るディスク貼り合わせ装置における移載機構。
  2. 【請求項２】 請求項１において、 上記吸着手段と上記メカチャック手段とは、それらの保
    持するディスクが同心状かつ上下に対向するように配置
    されていることを特徴とするディスク貼り合わせ装置に
    おける移載機構。
  3. 【請求項３】 請求項１または請求項２において、 上記吸着手段と上記メカチャック手段とを一体的に移動
    する上下動手段と；上記吸着手段と上記メカチャック手
    段と上記上下動手段とを制御する制御手段と；を有し、
    上記制御手段は、上記吸着手段に上記第２のディスクを
    吸着させ、上記上下動手段によって、上記第１のディス
    クから所定間隔離れた位置に上記第２のディスクを移動
    させ、上記メカチャック手段によって、上記複数の爪部
    を拡がらせ、上記第１のディスクの内径端を上記複数の
    爪部がチャックすることによって、上記第１のディスク
    と上記第２のディスクとの間隔を制御する手段であるこ
    とを特徴とするディスク貼り合わせ装置における移載機
    構。
  4. 【請求項４】 請求項３において、 上記制御手段は、上記吸着手段に上記第２のディスクを
    吸着させながら、上記複数の爪部を上記第２のディスク
    の中央穴内に位置させ、上記メカチャック手段によって
    上記複数の爪部を上記第２のディスクの内径端まで拡が
    らせることによって、上記第２のディスクの心合わせを
    行なう手段であることを特徴とするディスク貼り合わせ
    装置における移載機構。
  5. 【請求項５】 請求項１または請求項２において、 上記爪部は、放射方向に運動し、上記第１のディスクの
    内径端をチャックする突出部を有するものであることを
    特徴とするディスク貼り合わせ装置における移載機構。
  6. 【請求項６】 請求項１または請求項２において、 上記爪部によって上記第１のディスクを取り上げる位置
    に、第１のディスク用受台が設置され、上記第１のディ
    スク用受台が上下方向に可動であり、しかも上記第１の
    ディスク用受台の上下位置と上下動の速度とを任意に設
    定でき、上記第１のディスク用受台の上下位置の設定に
    よって、上記第１のディスクと上記第２のディスクとの
    間隔が設定されることを特徴とするディスク貼り合わせ
    装置における移載機構。
  7. 【請求項７】 請求項１または請求項２において、 上記第１のディスクは下側ディスクであり、上記第２の
    ディスクは上側ディスクであることを特徴とするディス
    ク貼り合わせ装置における移載機構。
  8. 【請求項８】 請求項１において、 上記メカチャック手段の爪部の先端部分を受け入れる空
    隙を有する位置合わせ突起が、上記第１のディスクと第
    ２のディスクとを回転する回転装置の受台に設けられて
    いることを特徴とするディスク貼り合わせ装置における
    移載機構。
  9. 【請求項９】 第１のディスクと第２のディスクとを接
    着剤によって貼り合わせて１枚のディスクを製造する装
    置において、 第２のディスクを吸着する吸着手段と；この吸着手段と
    ともに運動可能に配置され、放射方向に運動し、上記第
    １のディスクの内径端をチャックする複数の爪部を具備
    するメカチャック手段と；上記第１のディスク、上記第
    ２のディスクのうちの少なくとも一方に供給されている
    液体状の接着剤を遠心力によって拡げるスピンコータ
    と；上記吸着手段によって吸着された上記第２のディス
    クと、上記メカチャック手段によってチャックされた上
    記第１のディスクとが互いに対向した状態で、上記第１
    のディスクと上記第２のディスクとを上記スピンコータ
    に移動するディスク移動手段と；を有することを特徴と
    するディスク貼り合わせ装置。
  10. 【請求項１０】 請求項９において、 上記スピンコータは、上記第１のディスク、第２のディ
    スクを載置し、回転する受台を有し、上記受台は、その
    中央部に、位置合わせ用突起を有し、 上記位置合わせ用突起は、上記第１のディスク、上記第
    ２のディスクのそれぞれの中央穴と嵌合する複数の起立
    片と、上記複数の起立片のうちの２つの起立片によって
    挟まれる空間とを有し、上記複数の爪部のそれぞれが上
    記空間のそれぞれに没入することによって、上記第１の
    ディスク、上記第２のディスクのそれぞれが上記位置合
    わせ用突起に嵌合されることを特徴とするディスク貼り
    合わせ装置。
  11. 【請求項１１】 第１のディスクと第２のディスクとを
    接着剤によって貼り合わせて１枚のディスクを製造する
    方法において、 上記第２のディスクを吸着する吸着段階と；上記第１の
    ディスクから所定間隔離れた位置に上記第２のディスク
    を移動させる第２のディスク移動段階と；複数の爪部を
    放射方向に動かして、上記第１のディスクの内径端に上
    記複数の爪部を当接することによって上記第１のディス
    クを固定し、上記第１のディスクと上記第２のディスク
    との間隔を制御する間隔制御段階と；を有することを特
    徴とするディスク貼り合わせにおける２枚のディスクの
    移載方法。
  12. 【請求項１２】 請求項１１において、 上記第１のディスクに液状の接着剤を塗布した後、上記
    第２のディスクを上記接着剤の頂部に接触させた状態、
    または上記第２のディスクを上記接着剤に接触させない
    状態で、上記第１のディスクと上記第２のディスクとを
    対向させて両ディスクを移動させることを特徴とするデ
    ィスク貼り合わせにおける２枚のディスクの移載方法。
  13. 【請求項１３】 第１のディスクと第２のディスクとを
    接着剤によって貼り合わせて１枚のディスクを製造する
    方法において、 上記第２のディスクの吸着前または吸着後に、上記第２
    のディスクの中央穴に位置する複数の爪部を放射方向に
    拡がらせて上記第２のディスクの内径端に一旦当接させ
    る第２のディスク心合わせ段階と；上記第２のディスク
    の接着面とは反対の面を吸着する第２のディスク保持段
    階と；上記第１のディスクの接着面から所定間隔離れた
    位置で、上記第２のディスクの接着面が上記第１のディ
    スクと対面するように、上記第２のディスクを移動させ
    る第２のディスク移動段階と；上記メカチャック手段の
    複数の爪部を放射方向に拡がらせ、上記第１のディスク
    の内径端に上記複数の爪部を当接させることによって、
    上記第１のディスクと上記第２のディスクとの間を所定
    間隔に保持する第１のディスク保持段階と；上記第１の
    ディスクと上記第２のディスクとをスピンコータへ一緒
    に移動する移動段階と；を有することを特徴とするディ
    スク貼り合わせにおける２枚のディスクの移載方法。
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