JPH11112199A - 基板のクランプ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数のクランパを用いて基板をクランプする
際に、基板の欠けを有効に防止することができる基板の
クランプ装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 側部をガイド部２４で案内しながら基板
導入台２１ａ，２１ｂの所定の位置に導入した基板Ｓに
対し、ガイド部２４に沿って列設した複数のクランパ２
２を作動させガイド部２４にクランプする基板Ｓのクラ
ンプ装置５において、複数のクランパ２２の作動を制御
するコントローラ３５を備え、コントローラ３５は、複
数のクランパ２２のうち、導入方向において基板Ｓとわ
ずかにオーバーラップするクランパ２２の作動をキャン
セルする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品装着装置
などにおいて、導入した基板を基板導入台の所定の位置
に挟持固定する基板のクランプ装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の基板のクランプ装置とし
て、特開平６−３１８７９８号公報に記載したものが知
られている。このクランプ装置は、ガイド部を相互に内
向きに対向配置した一対の基板導入台と、一対の基板導
入台に、相互に対向するように列設した５組のクランパ
と、基板導入台に導入した基板の導入方向の位置（範
囲）を検出するセンサとを備えている。一方、基板は、
ガイド部に沿って基板導入台に導入され、その導入方向
の先端が最前端に位置するクランパの前端とほぼ一致す
る所定の位置に位置決めされる。基板が導入されると、
基板の位置がセンサにより検出され、この基板の位置に
対応する複数組のクランパが上動して、基板をガイド部
に押し付けるようにしてクランプする。すなわち、導入
方向において、基板とオーバーラップする（重なる）ク
ランパが、選択的に作動して基板をクランプするように
なっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このような従来の基板
のクランプ装置では、基板の長さによって、クランプ動
作した複数組のクランパのうち最後部のクランパが、基
板とわずかにオーバーラップした状態でこれをクランプ
することがある。かかる場合には、最後部のクランパの
クランプ力が、基板のオーバーラップ部分に集中的に作
用して、基板の端部に欠けが生ずるおそれがあった。特
に高速マウンタでは、基板がＸＹテーブル上にセットさ
れるため、強くクランプせざるを得ず、薄手の基板をク
ランプする場合にはクランパにより基板が欠け易い問題
があった。

【０００４】本発明は、複数のクランパを用いて基板を
クランプする際に、基板の欠けを有効に防止することが
できる基板のクランプ装置を提供することをその目的と
している。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の基板のクランプ
装置は、側部をガイド部で案内しながら基板導入台の所
定の位置に導入した基板に対し、ガイド部に沿って列設
した複数のクランパを作動させガイド部に押し当てるよ
うにクランプする基板のクランプ装置において、複数の
クランパの作動を制御するコントローラを備え、コント
ローラは、複数のクランパのうち、導入方向において基
板とわずかにオーバーラップするクランパの作動をキャ
ンセルすることを特徴とする。

【０００６】この構成によれば、基板導入台の所定の位
置に基板が導入されると、複数のクランパが作動して、
基板をガイド部に押し当てるようにクランプする。その
際、コントローラは、複数のクランパのうち、導入方向
において基板とわずかにオーバーラップするクランパの
作動をキャンセルする。このため、基板をクランプして
いるクランパのうち、基板の端部のみをクランプしてし
まうクランパは存在しなくなり、その結果、クランプ力
による基板の欠けを有効に防止することができる

【０００７】この場合、基板の寸法データを記憶する記
憶手段を更に備え、コントローラは、基板の導入方向の
先端位置と寸法データとに基づいて、クランパの作動を
キャンセルすることが、好ましい。

【０００８】この構成によれば、コントローラは、基板
の導入方向の先端位置と寸法データとに基づいて、クラ
ンパの作動をキャンセルする。このため、予め導入する
基板の先端位置を決めておけば、基板の位置を検出する
センサ等を必要とすることなく、ＮＣデータ等の既存の
データを用いて、上記のキャンセルを行うことができ
る。

【０００９】これらの場合、コントローラは、導入方向
に直交する幅方向に幅狭部を有する基板と幅方向におい
てわずかにオーバーラップするクランパがある場合に、
その旨を報知することが、好ましい。

【００１０】この構成によれば、幅方向に幅狭部を有す
る基板に対し、クランパが幅方向においてわずかにオー
バーラップする場合でも、その旨を報知することによ
り、オペレータに対処を促すことができる。基板の幅狭
部とクランパとは、多くの場合平行に位置しているた
め、幅方向においてわずかにオーバーラップしている場
合でも、導入方向においては十分にオーバーラップして
いる場合がほとんどである。このため、基板の端部にク
ランパ力が集中するような状況は極めて稀となり、かか
る場合は、クランパの作動を自動的にキャンセルするよ
り、オペレータの判断に委ねる方が、作業上好ましい。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明の一実施形態に係る基板のクランプ装置を、電子部品
装着装置（マウンタ）の基板供給部に適用した場合につ
いて説明する。図１は、いわゆる高速マウンタの基板供
給部の斜視図あり、この基板供給部１は、電子部品の装
着に際し、基板ＳをＸＹ方向に移動させるＸＹテーブル
２と、ＸＹテーブル２に基板Ｓを搬入する基板搬入機構
３と、ＸＹテーブル２から基板Ｓを搬出する基板搬出機
構４とを備えている。ＸＹテーブル２にはクランプ装置
５が搭載されており、クランプ装置５は、基板搬入機構
３および基板搬出機構４と共に基板Ｓの搬送路を構成す
ると共に、導入された基板Ｓを電子部品の装着の為にク
ランプする。

【００１２】基板搬入機構３は、相互に平行に配設した
固定搬入レール３ａと可動搬入レール３ｂとを有してお
り、基板Ｓは、幅方向の両側部をこの両搬入レール３
ａ，３ｂに支持された状態で搬送される。可動搬入レー
ル３ａは、固定搬入レール３ｂに対し平行移動可能に構
成され、搬送する基板Ｓの幅に合わせて適宜、左右方向
に移動する。同様に、基板搬出機構４は、相互に平行に
配設した固定搬出レール４ａと可動搬出レール４ｂとを
有しており、基板Ｓは、幅方向の両側部をこの両搬出レ
ール４ａ，４ｂに支持された状態で搬送される。可動搬
出レール４ａは、固定搬出レール４ｂに対し平行移動可
能に構成され、搬送する基板Ｓの幅に合わせて適宜、左
右方向に移動する。

【００１３】図外の装置から基板搬入機構３に受け渡さ
れた基板Ｓは、基板搬入機構３によりクランプ装置５の
位置まで搬送される。クランプ装置５の近傍には、図示
しないが移送装置が配設されており、移送装置は、基板
Ｓを基板搬入機構３から受け取ってクランプ装置５の所
定のクランプ位置まで搬送する。これと並行して、電子
部品の装着を完了した基板Ｓは、移送装置によりクラン
プ位置から基板搬出機構４まで搬送され、更に基板搬出
機構４に移送される。そして、基板搬出機構４は、基板
Ｓを図外の装置まで搬送してこれに受け渡す。なお、一
連の基板Ｓの搬送動作が終了し、所定の基板Ｓをクラン
プ装置５がクランプすると、ＸＹテーブル２は全体とし
て、基板搬入機構３および基板搬出機構４の位置からわ
ずかに下降して、電子部品の装着動作に移行する。

【００１４】ＸＹテーブル２は、ベーステーブル１１
と、ベーステーブル１１上に載置したＸテーブル１２
と、Ｘテーブル１２上に載置したＹテーブル１３とを有
しており、このＹテーブル１３の上面にクランプ装置５
が搭載されている。ベーステーブル１１の上面には、Ｘ
テーブル１２のＸ方向への移動を案内する一対のＸ方向
レール１４，１４と、Ｘテーブル１２をＸ方向に移動さ
せるＸ方向ボールねじ１５とが設けられ、またＸ方向ボ
ールねじ１５の端部にはＸ方向モータ１６が取り付けら
れている。Ｘ方向モータ１６によりＸ方向ボールねじ１
５が正逆回転すると、Ｘテーブル１２は、Ｙテーブル１
３を載置したままＸ方向レール１４に案内されてＸ方向
に進退する。

【００１５】同様に、Ｘテーブル１２の上面には、Ｙテ
ーブル１３のＹ方向への移動を案内する一対のＹ方向レ
ール１７，１７と、Ｙテーブル１３をＹ方向に移動させ
るＹ方向ボールねじ１８とが設けられ、またＹ方向ボー
ルねじ１８の端部にはＹ方向モータ１９が取り付けられ
ている。Ｙ方向モータ１９によりＹ方向ボールねじ１８
が正逆回転すると、Ｙテーブル１３は、クランプ装置５
を搭載したままＹ方向レール１７に案内されてＹ方向に
進退する。もちろん、電子部品の装着動作では、このＸ
方向に進退とＹ方向に進退とが同時に行われる。

【００１６】クランプ装置５は、上記の基板搬入機構３
および基板搬出機構４に対応して、固定側基板導入台２
１ａと可動側基板導入台２１ｂとを有しており、また両
基板導入台２１ａ，２１ｂには、相互に対（組）を為す
各４個のクランパ２２が連続するように、それぞれ添設
されている。可動基板導入台２１ａは、これに添設した
４個のクランパ２２と共にＹテーブル１３上において、
可動側基板導入台２１ｂに対し平行移動可能に構成さ
れ、搬送する基板Ｓの幅に合わせて適宜、左右方向に移
動する。固定基板導入台２１ａおよび可動基板導入台２
１ｂは、それぞれ導入台本体２３と、導入台本体２３の
上端部から水平に延びるガイド部２４とを有し、このガ
イド部２４同士が相互に対向するように配設されてい
る。

【００１７】図２に示すように、各ガイド部２４の下側
には、これに沿って上記の４個のクランパ２２が列設さ
れており、基板Ｓは、この各ガイド部２４と４個のクラ
ンパ２２とで構成される間隙に案内されて、クランプ装
置５に導入される。そして、導入された基板Ｓはクラン
プ位置まで搬送され、このクランプ位置において、上昇
するクランパ２２によりガイド部２４に押圧されるよう
にしてクランプされる。この場合クランプ位置は、導入
方向の最前部に位置するクランパ２２の前端に対し、基
板Ｓの導入方向の先端が合致する位置であり（図４参
照）、基板Ｓの導入方向の長さにより、実際に基板Ｓを
クランプするクランパ２２の数は区々となる。すなわ
ち、基板Ｓは常にその先端で位置決めされるようにし
て、クランプ位置に導入される。

【００１８】図２および図３に示すように、各クランパ
２２は、基板Ｓを下側から直接押圧するクランプ部材３
１と、クランプ部材３１をクランプ動作させる前後一対
のエアーシリンダ３２，３２と、一対のエアーシリンダ
３２，３２に連結されたエアー配管３３と、エアー配管
３３に介設した電磁エアー弁３４とで構成されている。
各エアー配管３３の上流側は、他のクランパ２２のエア
ー配管３３と連結され、最終的に図外の圧縮エアー供給
装置に接続されている。また、各クランパ２２の電磁エ
アー弁３４は、コントローラ３５に接続されており、計
８個の電磁エアー弁３４は、コントローラ３５により個
々に開閉制御される。さらに、コントローラ３５は、Ｎ
Ｃデータを記憶するＮＣ制御装置３６に接続されてい
る。

【００１９】電磁エアー弁３４は、例えば３方弁で構成
されており、コントローラ３５の指令に基づいて開弁動
作することで、一対のエアーシリンダ３２，３２を同時
に作動させ、クランプ部材３１を基板Ｓに向かって上動
させる。一方この状態から、コントローラ３５の指令に
基づいて閉弁動作することで、エアーシリンダ３２側の
エアー配管３３を大気に開放し、一対のエアーシリンダ
３２，３２を介して、クランプ部材３１を下動させる。

【００２０】そして、このように構成されたクランプ装
置５により、基板Ｓをクランプする場合、コントローラ
３５は、クランプ部材３１の上面が、導入された基板Ｓ
と重なるクランパ２２、すなわち基板Ｓとオーバーラッ
プするクランパ２２を作動させて、クランプ動作を行わ
せる。例えば、図４に示すように、クランプ位置に導入
した基板Ｓが、導入方向の前側から１番目、２番目およ
び３番目のクランパ２２，２２，２２とオーバーラップ
する場合、コントローラ３５は、基板Ｓの両側において
１番目から３番目までの３組、計６個のクランパ２２
を、クランプ動作させる。

【００２１】この場合、３番目のクランパ２２は、基板
Ｓの後端とわずかにオーバーラップしているだけであ
り、この３番目のクランパ２２をクランプ動作させる
と、基板Ｓが薄く損傷し易い場合には、基板Ｓの後端部
に欠け等の損傷が生ずるおそれがある。そこで、実施形
態のクランプ装置５では、クランプ位置に導入した基板
Ｓとわずかにオーバーラップするクランパ２２のクラン
プ動作をキャンセルし、あるいはアラームを表示（報
知）する。もちろん、ビーパ（ＢＥＥＰＥＲ）等により
警告音を発するなどの他の報知方法（手段）を用いるこ
ともできる。

【００２２】ここで、より具体的に説明するが、まず、
各種の基板Ｓの形状を特定する寸法データは、電子部品
の装着において必要なデータとして、予めＮＣ制御装置
３６に記憶されている。この基板Ｓには一般的な方形の
もの以外にも隅部切り欠かれた異形のものがあるので、
ここでは、考え得る異形的要素を最大限に取り込んだ形
状、すなわち、図５に示すように、四隅が適宜の寸法に
方形に切り欠かれた基板Ｓを想定する。

【００２３】一方、コントローラ３５には、各クランパ
２２の位置の他、図６（ａ）および（ｂ）に示すよう
に、導入方向（長さ方向）における「わずかにオーバー
ラップする」状態が、寸法Ｃおよび寸法Ｄ（いずれの寸
法も基板Ｓにより異なるため、オペレータが設定可能）
として設定され記憶されている。この場合、寸法Ｃおよ
び寸法Ｄの使い分けは、基板Ｓのわずかにオーバーラッ
プする部分が、搬送方向の前側（寸法Ｃ）か後側（寸法
Ｄ）かに依る。

【００２４】さらにまた、図７に示すように、幅方向に
おける「わずかにオーバーラップする」状態が、両側に
（片側のみ図示の）寸法Ｂ１＋Ｂ２（いずれの寸法も基
板Ｓにより異なるため、オペレータが設定可能）として
設定され記憶されている。なお、寸法Ｂ２は、導入した
ときの基板Ｓの微小なずれや基板Ｓの製造上の誤差を考
慮したものである。

【００２５】以下、この基板Ｓに対するコントローラ３
５の制御処理のうち、本発明の特徴となる処理、すなわ
ちＺクランプ作動クランパ選択処理について、図５ない
し図８を参照して説明する。

【００２６】図４で前述の所定のクランプ位置まで基板
Ｓが搬送されると、本処理が起動され、図８に示すよう
に、まず、ＮＣ制御装置に記憶されている基板の寸法デ
ータに基づき、基板Ｓの全長Ｌから基板Ｓが異形でない
（方形の）場合の作動クランプを選択する（Ｓ１）。

【００２７】次に、基板Ｓと「わずかにオーバーラップ
する」クランプ２２が存在するか否かを判別し（Ｓ２、
Ｓ４、Ｓ６、Ｓ８、Ｓ１０、Ｓ１２、Ｓ１４、Ｓ１
６）、存在しない場合（Ｓ２、Ｓ４、Ｓ６、Ｓ８、Ｓ１
０、Ｓ１２、Ｓ１４、Ｓ１６：全てＮｏ）には、そのま
ま本処理を終了して（Ｓ１８）、方形の場合の作動クラ
ンプを選択的に作動して基板Ｓをクランプする。

【００２８】一方、例えば、図５の長さ方向（導入方
向）の寸法Ｘ２が、図６（ａ）の寸法Ｅ２よりわずかに
大きい（Ｅ２≦Ｘ２≦Ｅ２＋Ｃ）場合、図４で前述のよ
うに、３番目のクランパ２２により損傷が生じるおそれ
がある。すなわち、寸法Ｘ２の端が３番目のクランパ２
２の寸法Ｃの範囲内となるので、このような場合、クラ
ンプ装置５のコントローラ３５は、３番目のクランプ２
２の選択をキャンセルする。

【００２９】以下、長手方向における「わずかにオーバ
ーラップする」クランプ２２が存在する場合のうち、例
えば上述の「寸法Ｘ２の端がいずれかのクランプ２２の
寸法Ｃの範囲内にある場合」を、「寸法Ｘ２がＣエリア
内にある場合」という。この種の状態としては、この
他、「寸法Ｘ１がＤエリア内にある場合」、「寸法Ｘ３
がＤエリア内にある場合」、および「寸法Ｘ４がＣエリ
ア内にある場合」を加えた合計４つの状態が考えられ
る。

【００３０】例えば、図５の寸法Ｘ１が、図６（ｂ）の
寸法Ｆ２よりわずかに大きく、同図（ａ）の寸法Ｅ２よ
りわずかに小さい（Ｆ２＋Ｄ≦Ｘ１≦Ｅ２）場合、２番
目のクランパ２２により損傷が生じるおそれがあり、こ
れは、上記の「寸法Ｘ１がＤエリア内にある場合」に該
当し、この場合、２番目のクランパ２２の選択をキャン
セルする。「寸法Ｘ３がＤエリア内にある場合」や「寸
法Ｘ４がＣエリア内にある場合」も、それぞれ上述した
寸法Ｘ１や寸法Ｘ２の場合と同様である。

【００３１】そして、これらの場合、すなわち、図８に
示すように、寸法Ｘ１がＤエリア内にある場合（Ｓ２：
Ｙｅｓ）、寸法Ｘ２がＣエリア内にある場合（Ｓ４：Ｙ
ｅｓ）、寸法Ｘ３がＤエリア内にある場合（Ｓ６：Ｙｅ
ｓ）、寸法Ｘ４がＣエリア内にある場合（Ｓ８：Ｙｅ
ｓ）には、コントローラ３５は、それぞれ基板Ｓの端部
に損傷を生じさせる可能性のある該当グランパ２２の選
択をキャンセルするため、該当するキャンセルデータを
セットする（Ｓ３、Ｓ５、Ｓ７、Ｓ９）。

【００３２】また、例えば、図５の幅方向の寸法Ｙ３の
内側（図示の上側）の端が、図７の寸法Ｂ１または寸法
Ｂ２の範囲内にある場合（このような場合を、以下「寸
法Ｙ３がＢ１ｏｒＢ２エリア内にある場合」という。寸
法Ｙ１、Ｙ２、Ｙ４についても同じ。）には、その旨
（「寸法Ｙ３がＢ１ｏｒＢ２エリア内にある」旨）のア
ラームを表示（報知）する。

【００３３】基板Ｓの幅狭部とクランパ２２とは、多く
の場合平行に位置しているため、幅方向においてわずか
にオーバーラップしている場合でも、長手方向（導入方
向）においては十分にオーバーラップしている場合がほ
とんどである。例えば、上記の場合も、図５の寸法Ｘ３
が図６（ａ）の寸法Ｅ１より十分に小さければ、長手方
向においては十分にオーバーラップし、そのような場合
がほとんどである。

【００３４】このため、基板Ｓの端部にクランパ力が集
中するような状況は極めて稀となるので、幅方向の場合
は、クランパ２２の作動を自動的にキャンセルするよ
り、オペレータの判断に委ねる方が、作業上好ましい。

【００３５】したがって、クランプ装置５のコントロー
ラ３５は、このような場合に、アラームを表示した状態
で処理を一時中断して、続行や中止または該当するクラ
ンパ２２の作動をキャンセルするか否か等の指示入力を
促し、これにより、オペレータに確認・判断の機会を与
えるとともに、指示入力後には、その指示に従った処理
を行うようにしている（ただし、図８では、これらを省
略して単に「アラーム表示」と図示している）。

【００３６】そして、上記のような場合、すなわち、図
８に示すように、寸法Ｙ１がＢ１ｏｒＢ２エリア内にあ
る場合（Ｓ１０：Ｙｅｓ）、寸法Ｙ２がＢ１ｏｒＢ２エ
リア内にある場合（Ｓ１２：Ｙｅｓ）、寸法Ｙ３がＢ１
ｏｒＢ２エリア内にある場合（Ｓ１４：Ｙｅｓ）、寸法
Ｙ４がＢ１ｏｒＢ２エリア内にある場合（Ｓ１６：Ｙｅ
ｓ）、コントローラ３５は、それらを知らせるための
「その旨」のアラームを表示（報知）する（Ｓ１１、Ｓ
１３、Ｓ１５、Ｓ１７）。

【００３７】上述のように、コントローラ３５は、Ｚク
ランプ作動クランパ選択処理において、基板Ｓと「わず
かにオーバーラップする」クランプ２２が存在するか否
かを判別し（Ｓ２、Ｓ４、Ｓ６、Ｓ８、Ｓ１０、Ｓ１
２、Ｓ１４、Ｓ１６）、存在しない場合（Ｓ２、Ｓ４、
Ｓ６、Ｓ８、Ｓ１０、Ｓ１２、Ｓ１４、Ｓ１６：全てＮ
ｏ）には、そのまま本処理を終了し（Ｓ１８）、存在す
る場合には、それぞれ該当する「わずかにオーバーラッ
プする」グランパ２２のキャンセルデータをセットし
（Ｓ３、Ｓ５、Ｓ７、Ｓ９）、あるいは「その旨」のア
ラームを表示した（Ｓ１１、Ｓ１３、Ｓ１５、Ｓ１７）
後、本処理を終了し（Ｓ１８）、選択された作動クラン
プのみを作動して基板Ｓをクランプする。

【００３８】すなわち、本実施形態の基板Ｓのクランプ
装置５では、クランプ動作する複数のクランパ２２のな
かに、クランプ位置に導入した基板Ｓと、導入方向にお
いてわずかにオーバーラップするクランパ２２が存在す
る場合に、この該当するクランパ２２のクランプ動作を
キャンセルするようにしている。このため、特定の１の
クランパ２２が、基板Ｓの端部のみをクランプするのを
防止することができ、基板Ｓの端部に欠けなどの損傷が
生ずるのを、有効に防止することができる。したがっ
て、基板Ｓの損傷による製品の歩留まりの悪化を回避す
ることができる。

【００３９】また、クランプ位置に導入した基板Ｓと、
幅方向においてわずかにオーバーラップするクランパ２
２が存在する場合に、その旨をアラーム表示（報知）す
るので、オペレータに対処を促すことができる。この場
合、オペレータは、導入方向のオーバーラップを考慮す
ることで、該当するクランパ２２の作動をキャンセルす
るか否か等、適切な対処が可能となる。

【００４０】なお、実施形態のクランプ装置は４組のク
ランパを有しているが、クランパの組数は、これに限定
されるものではない。また、基板とわずかにオーバーラ
ップするクランパのみその作動をキャンセルすればよ
く、クランプに関係しないクランパを同時に作動させる
か否かは、自由である。

【００４１】

【発明の効果】以上のように本発明の基板のクランプ装
置によれば、基板とわずかにオーバーラップするクラン
パの作動をキャンセルするようにしているため、複数の
クランパを用いて基板をクランプする際に、基板の端部
の欠けなどの損傷を有効に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係るクランプ装置を適用
した電子部品装着装置の基板供給部の斜視図である。

【図２】実施形態に係るクランプ装置の正面図である．

【図３】実施形態のクランプ装置の構成を示す説明図で
ある。

【図４】クランプ位置に基板が導入された状態のクラン
プ装置の側面図である。

【図５】異形の基板の形状と寸法をと示す平面図であ
る。

【図６】導入方向におけるオーバーラップ状態を判定す
る場合の説明図である。

【図７】幅方向におけるオーバーラップ状態を判定する
場合の説明図である。

【図８】実施形態のクランプ装置のＺクランプ作動クラ
ンパ選択処理を示すフローチャートである。

【符号の説明】

１ 基板供給部 ２ ＸＹテーブル ５ クランプ装置 ２２ クランパ ２４ ガイド部 ３１ クランプ部材 ３２ エアーシリンダ ３３ エアー配管 ３４ 電磁エアー弁 ３５ コントローラ ３６ ＮＣ制御装置 Ｓ 基板

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 側部を基板導入台のガイド部に案内しな
   がら当該基板導入台の所定の位置に導入した基板に対
   し、当該ガイド部に沿って列設した複数のクランパを作
   動させ当該ガイド部に押し当てるようにクランプする基
   板のクランプ装置において、 前記複数のクランパの作動を制御するコントローラを備
   え、 当該コントローラは、前記複数のクランパのうち、導入
   方向において基板とわずかにオーバーラップするクラン
   パの作動をキャンセルすることを特徴とする基板のクラ
   ンプ装置。
2. 【請求項２】 基板の寸法データを記憶する記憶手段を
   更に備え、 前記コントローラは、前記基板の導入方向の先端位置と
   前記寸法データとに基づいて、前記クランパの作動をキ
   ャンセルすることを特徴とする請求項１に記載の基板の
   クランプ装置。
3. 【請求項３】 前記コントローラは、導入方向に直交す
   る幅方向に幅狭部を有する基板と幅方向においてわずか
   にオーバーラップするクランパがある場合に、その旨を
   報知することを特徴とする請求項１または２に記載の基
   板のクランプ装置。