JPH10233599A - 基板位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】基板を撓みなく正しく位置決めを行う基板位置
決め装置を提供する。 【解決手段】本体装置内に基板６０を搬入して定位置に
停止させた後、テーブル上下動シリンダ４１を上昇駆動
して位置決めテーブル３７と共に基板支持ピン４２及び
クランプ部材４３ａ、４３ｂを上昇させる。基板支持ピ
ン４２は基板６０下面を支持すべき位置に停止し、クラ
ンプ部材４３ａ及び４３ｂは天板３４ａ及び３４ｂとで
基板６０の両側部を把持する。基板牽引シリンダ３３を
進出駆動して可動フレーム３２を固定の基板案内レール
２３ａから離隔する方向へ付勢し、クランプ部材４３ｂ
及び天板３４ｂにより基板６０の側部を幅出し方向に緊
張させ、基板６０を平らに矯正して位置決めする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板に電
子部品を搭載する部品搭載装置における基板位置決め装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、ＩＣ、抵抗、コンデンサ等多
数のチップ状電子部品を自動的に回路基板に搭載して、
その搭載した電子部品を半田付けして基板ユニットを製
造する製造ラインがある。このような製造ラインは、回
路基板を供給する基板供給装置、その供給された回路基
板上の所定位置にペースト状の半田等を塗布するディス
ペンサ、その半田等が塗布された回路基板上に電子部品
を搭載する部品搭載装置、その搭載された電子部品を回
路基板上に固定するリフロー炉、搭載された電子部品が
固定されて完成した基板ユニットを収納する基板収納装
置等からなる。

【０００３】これらの装置は、装置基台上の中央に、左
右方向（製造ラインの流れ方向）に延在する２本の平行
する案内レール及びコンベアベルトを備えており、これ
らによって回路基板を装置内に搬入して所定位置に停止
させる。

【０００４】中でもディスペンサや部品搭載装置は、装
置基台上方の作業空間を前後左右及び上下に自在に移動
する作業ヘッドを備えており、装置内に搬入された回路
基板上の所定位置に、ペースト状の半田（又は電子部
品）を自動的かつ迅速に塗布（又は搭載）する。この場
合、回路基板は、前後左右の位置が正確でなくてはなら
ないことは勿論であるが、前後左右のみでなく上下の位
置も正確に固定されて位置決めされていないと作業ヘッ
ドは微細な作業を正しく行うことができない。

【０００５】図８(a),(b) は、これら諸装置（以下、本
体装置という）における回路基板の搬送とその位置決め
に係る要部の構成を示す図であり、同図(a) はその上面
図、同図(b) はその側面図である。同図(a),(b) に示す
ように、本体装置は、回路基板１を搬送するためのコン
ベアベルト２ａ及び２ｂを有している。コンベアベルト
２ａ及び２ｂは、回路基板搬送路３の両側に対向して設
けられる固定レール４ａと可動レール４ｂの下部にそれ
ぞれ配設され、駆動プーリ５ａと従動プーリ６ａ間及び
駆動プーリ５ｂと従動プーリ６ｂ間に夫々張設され、モ
ータ７ａ及び７ｂによって夫々図の矢印Ａで示す搬送方
向に循環走行するように駆動される。

【０００６】可動レール４ｂは、固定レール４ａとの間
に、工程により大きさの異なる回路基板１の幅に対応し
て、多少余裕のある間隔を保つべく調節シリンダ８によ
って予め幅寄せされる。回路基板１は、両側を固定レー
ル４ａと可動レール４ｂに案内され且つ両側部下面を夫
々コンベアベルト２ａ及び２ｂによって下方から支持さ
れて本体装置内に搬入される。本体装置内に搬入された
回路基板１は下方からせり上がる停止装置９により所定
位置に停止して前後を位置決めされる。コンベアベルト
２ａ及び２ｂは回路基板上の作業が終了するまで一時的
に停止する。

【０００７】ところで、前述したように、回路基板１
は、前後の位置ばかりでなく、左右及び上下にも正しい
位置に正しい姿勢で固定しなければならないが、このた
めの位置決め装置として、搬送路３の下方に位置決めテ
ーブル１０が設けられている。この位置決めテーブル１
０は、本体装置側のスライド溝１２ａ及び１２ｂに夫々
滑動自在に嵌合するスライドレール１１ａ及び１１ｂを
備え、シリンダ１３の進退駆動により上下に昇降する。
位置決めテーブル１０は、上面に複数本の支持ピン１４
を立設配置され、回路基板１が停止装置９により所定位
置に停止すると下方から上昇する。そして、支持ピン１
４により回路基板１の下面の要所要所を支持しながら回
路基板１を上に押し上げ、その両側を天板１５ａ及び１
５ｂに押し付けて上下の位置決めを行う。更に調整シリ
ンダ８が図の矢印Ｂで示す固定レール４ａ方向に駆動さ
れる。これにより、回路基板１は、固定レール４ａに押
し付けられて固定され左右方向を位置決めされる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、一般に電子
部品のサイズは０．５ｍｍ×１ｍｍと極めて小さいか、
または、サイズが４ｃｍ角というように大きい場合でも
電子部品に配設されている多数のリード線（又は電極）
の間隔は数百ミクロンというように極めて狭く、電子部
品の設計寸法は年々微細化されている。これに伴って、
ディスペンサや部品搭載装置における回路基板の位置決
めには厳しい精度が要求される。

【０００９】ところが、上述した位置決めの方法では、
調整シリンダ８が回路基板１を固定レール４ａに押し付
けて固定したとき、回路基板１が、図８(b) に示すよう
に、しばしば反り返って上に撓むという欠点を有してい
る。

【００１０】このように、回路基板１に撓みがあると、
例えば、ディスペンサの場合では、ペースト状の半田を
塗布する吐出口と回路基板との間隔を正しく保つことが
できず、したがって、正確な塗布作業が不可能となる。
また、部品搭載装置の場合は、電子部品を回路基板に当
接させて載置するから、回路基板の反力で搭載した電子
部品に位置ズレを生じ、これによって回路間に接続不良
を招来し、完成した基板ユニットに不良品が発生すると
いう問題を引き起こす。

【００１１】本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、
回路基板に撓みを発生させることなく正しく位置決めを
行う基板位置決め装置を提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】以下に、本発明の基板位
置決め装置の構成を述べる。本発明の基板位置決め装置
は、基板の両側縁を夫々把持する把持手段と、上記基板
の撓みを矯正すべく上記把持手段を基板の幅出し方向に
付勢する付勢手段とを備えて構成される。

【００１３】上記把持手段は、例えば請求項２記載のよ
うに、基板に加わる他の外力に対して基板が位置ずれし
ない程度に摩擦係数が高い材質の部材から成る。また、
上記付勢手段は、例えば基板牽引シリンダ等で構成され
る。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。図１は、一実施の形態におけ
る基板位置決め装置を配設した部品装着装置の主要部の
外観斜視図である。同図に示す部品装着装置（以下、本
体装置）２０は、下部の基台２１の内部には、後述する
位置決めテーブルや各部を制御する制御回路等を備えて
いる。また上方を覆う保護カバーの図示を省略している
が、この保護カバーには、前面に液晶ディスプレイやタ
ッチパネルからなる入力装置等が配設されており、外部
操作により各種の指示を入力することができる。

【００１５】基台２１の上には、中央に、固定と可動の
１対の平行する基板案内レール２３ａ及び２３ｂが回路
基板（以下、単に基板という）の搬送方向（Ｘ軸方向、
図の斜め右下から斜め左上方向）に水平に延在して配設
される。これらの基板案内レール２３ａ及び２３ｂの下
部に接してループ状の搬送ベルト（コンベアベルト）が
走行可能に配設される。搬送ベルトは、それぞれ数ミリ
幅のベルト脇部を基板案内レール２３ａ又は２３ｂの下
から基板搬送路に覗かせて、ベルト駆動モータにより駆
動され、基板搬送方向に走行し、基板の裏面両側を下か
ら支持しながら基板を搬送する。

【００１６】上記１対の基板案内レール２３ａ及び２３
ｂを跨いで、基板搬送方向（図の矢印Ｃで示す斜め右下
から斜め左上方向）と直角の方向（前後方向）に平行に
延在する左右一対の固定レール（Ｙ軸レール）２４ａ及
び２４ｂが配設されている。これらＹ軸レール２４ａ及
び２４ｂに移動レール（Ｘ軸レール）２５がＹ軸レール
に沿って滑動自在に係合し、このＸ軸レール２５に、基
板に電子部品（以下、単に部品という）を搭載する作業
を行う作業ヘッド２６がＸ軸レールに沿って滑動自在に
懸架されている。

【００１７】図には定かに示していないが、上記のＸ軸
レール２５には、その長手方向（Ｘ軸方向）に沿って作
業ヘッド２６を自在に移動させるＸ軸方向駆動サーボモ
ータが配設され、基台２１上には、Ｘ軸レール２５をＹ
軸レール２４ａ及び２４ｂに沿って前後（Ｙ軸方向）に
進退させるＹ軸方向駆動サーボモータが配設されてい
る。これらのＸ軸方向駆動サーボモータ及びＹ軸方向駆
動サーボモータが制御回路からの指示により正逆両方向
に自在に回転することにより、作業ヘッド２６がＸ軸方
向及びＹ軸方向に自在に移動する。この基台２１上の前
部と後部には夫々部品カセット台２７ａ及び２７ｂが配
設されている。これら部品カセット台２７ａ及び２７ｂ
には、特には図示しないが部品を収納したテープを巻着
した複数種類の部品供給装置が載設される。

【００１８】作業ヘッド２６は、その先端に着脱自在に
装着する吸着ノズル２８により、部品カセット台２７ａ
及び２７ｂ上に載設された部品供給装置から適宜の部品
を吸着して基板上に搭載する。

【００１９】図２は、上記の部品装着装置２０に配置さ
れている基板位置決め装置の側面図（図１のＣ矢視図）
である。同図に示すように、図１に示した基板案内レー
ル２３ａ及び２３ｂの一方の基板案内レール２３ａは、
本体装置２０のフレーム３１に固定されており、他方の
基板案内レール２３ｂは、可動フレーム３２に支持され
て、上記固定の基板案内レール２３ａに接離する方向に
摺動可能に配置される。この可動フレーム３２の内側に
対向し、可動フレーム３２を図の矢印Ｄで示す基板案内
レール２３ａから離隔する方向へ付勢すべく、基板牽引
シリンダ３３が配設される。

【００２０】上記の基板案内レール２３ａ及び２３ｂの
上部には天板３４ａ及び３４ｂが配設され、下部には基
板を搬送するループ状の搬送ベルト３５ａ及び３５ｂが
張設されている。

【００２１】基板搬送路３６の下方に、位置決めテーブ
ル３７が配設されており、位置決めテーブル３７は、本
体装置２０側のスライド溝３８ａ及び３８ｂに夫々滑動
自在に嵌合するスライドレール３９ａ及び３９ｂを備
え、テーブル上下動シリンダ４１の進退駆動により上下
に昇降する。この位置決めテーブル３７は、上面に立設
する複数の基板支持ピン４２と少なくとも一本の位置決
めピンを有し、側部にはクランプ部材４３ａ及び４３ｂ
を備えている。クランプ部材４３ａ及び４３ｂは、基板
案内レール２３ａ及び２３ｂの下方に配置されているス
ライドレール４４ａ及び４４ｂに係合するスライドナッ
ト４５ａ及び４５ｂを備えており、位置決めテーブル３
７の昇降に伴われて昇降する。

【００２２】上記の天板３４ａ及び３４ｂの搬送路３６
に張り出している下面、及びクランプ部材４３ａ及び４
３ｂの上端は、焼結ダイヤ、電着ダイヤ、或は表面ブラ
スト処理をしたファインセラミックス等の、摩擦係数が
高く且つ摩耗し難い耐久性に優れた素材により形成され
ている。

【００２３】図３は、上記構成の各部を駆動制御する部
品装着装置２０の基台２１内部に配設されている制御回
路のブロック図である。同図において、ＣＰＵ５０は、
マイクロプロセッサ等からなる。このＣＰＵ５０には、
ＲＡＭ(Random Access Memory)等からなるメモリ部５
１、各種のデータを入力するための入力キーを備えたキ
ー入力部５２、及び各種の入出力装置の入出力を仲介す
るインタフェース５３が接続されている。ＣＰＵ５０
は、内蔵のＲＯＭ(Read Only Memory)に格納されている
プログラムに基づき、上記各部を制御する。

【００２４】インタフェース５３は、ＣＰＵ５０から入
力される駆動制御信号を、コンアベルトを駆動する基板
搬送モータ５４ａ、５４ｂ、及び、特には図示しない
が、ストッパ駆動モータ、レール幅可変駆動モータ等へ
出力する。また、電磁弁マニホルド（manifold：分割多
岐管）５５は、ＣＰＵ５０から入力される空圧制御信号
により電磁弁を開閉して不図示の空圧ポンプから補給さ
れる単一の圧縮空気流を所定の吐き出し管を介して、テ
ーブル上下動シリンダ４１、後述する基板ストッパーシ
リンダ５６、Ｙ方向引張りシリンダ（基板牽引シリン
ダ）３３等を駆動する。また、インタフェース５３に
は、テーブル上下動シリンダ４１に組み込まれている磁
気センサ４７ａ及び４７ｂの出力が入力する。磁気セン
サ４７ａ及び４７ｂは、テーブル上下動シリンダ４１の
ピストン駒に埋設されているマグネットの磁気によりシ
リンダの作動（ピストンの上下動位置）を検知する。

【００２５】続いて、上述した構成の本実施の形態にお
けるＣＰＵ５０からの制御による基板位置決め装置の処
理動作を説明する。図４(a),(b),(c) 及び図５(a),(b)
は、基板位置決め装置の動作状態図であり、図６及び図
７は、ＣＰＵ５０の処理動作を示すフローチャートであ
る。尚、図４(a),(b),(c) には、各部の動作説明に応じ
て図２に示した番号を順次付記することとし、その他の
番号の付記は省略する。また、図５(b) は、図４(c) の
状態において図４(c) の向う側から見た図であり、図５
(a) はその上面図である。

【００２６】先ず、基板搬入及び位置決め処理について
説明する。図６のフローチャートにおいて、基板搬入及
び位置決め処理の開始後における搬送ベルト３５ａ及び
３５ｂの停止時間をＣＰＵ２０に内蔵のタイマに設定す
る（ステップＳ１）。続いて、基板ストッパーシリンダ
５６（図５参照）を押し出し駆動して、ストッパー５７
を搬送路３６内に進出させる（ステップＳ２）。

【００２７】次に（以下、図５(a) 参照）、基板搬送モ
ータ５４ａ及び５４ｂを駆動する（ステップＳ３）。こ
れにより、駆動プーリ５８ａ及び５８ｂを夫々介して搬
送ベルト３５ａ及び３５ｂが走行駆動される。搬送ベル
ト３５ａ及び３５ｂは、駆動プーリ５８ａと従動プーリ
５９ａ及び駆動プーリ５８ｂと従動プーリ５９ｂ間に夫
々張設されている。この搬送ベルト３５ａ及び３５ｂの
走行により、ライン前段の装置から搬入された基板６０
が基板案内レール２３ａ及び２３ｂに案内されながら搬
送され、搬送方向前端をストッパー５７に当接させて停
止する。

【００２８】この後、前述のタイマから出力される時間
切れ信号に基づいて、基板搬送モータ５４ａ及び５４ｂ
を停止させる（ステップＳ４）。これにより、搬送ベル
ト３５ａ及び３５ｂが停止する（図４(a) 参照）。

【００２９】次に（以下、図４(b) 参照）、テーブルア
ップ命令を出力して、テーブル上下動シリンダ４１を図
の矢印Ｅで示すように上昇駆動する（ステップＳ５）。
これにより、位置決めテーブル３７が上昇し、位置決め
テーブル３７と共に基板支持ピン４２及びクランプ部材
４３ａ、４３ｂが上昇する。

【００３０】上記に続いて磁気センサ４７ａ（テーブル
ＵＰセンサ）を駆動（ＯＮ）し、ピストン駒６１が所定
の位置まで上昇したことを示す検知信号（ＯＫ）が磁気
センサ４７ａから出力されているかを監視する（ステッ
プＳ６）。

【００３１】そして、磁気センサ４７ａから検知信号が
出力されていれば（Ｓ６がＹＥＳ）、位置決めテーブル
３７が所定の位置まで上昇したのであり、基板支持ピン
４２の先端が基板６０の下面を支持すべき位置に在り、
位置決めピンが基板の位置決め孔に嵌入しており、クラ
ンプ部材４３ａ及び４３ｂが天板３４ａ及び３４ｂに基
板６０の側部を押圧して天板３４ａ及び３４ｂとで基板
６０の両側部を把持している。

【００３２】前述したように、天板３４ａ及び３４ｂの
搬送路３６に張り出している下面、及びクランプ部材４
３ａ及び４３ｂの上端は、焼結ダイヤ、電着ダイヤ、或
は表面ブラスト処理をしたファインセラミックス等の、
摩擦係数の高い部材で形成されているので、上記基板６
０への把持力は強固である。

【００３３】そして、上記の検知信号の出力を確認した
ことにより、次に（以下、図４(c)参照）、基板牽引シ
リンダ（Ｙ方向引張りシリンダ）３３へのＯＮ命令を出
力する（ステップＳ７）。これにより、基板牽引シリン
ダ３３が進出駆動されて、可動フレーム３２を図の矢印
Ｆで示す固定の基板案内レール２３ａから離隔する方向
へ付勢する。この付勢力により、クランプ部材４３ｂ及
び天板３４ｂが、その把持する基板６０の側部を、幅出
し方向に緊張させる。すなわち、基板６０はクランプ部
材４３ａ及び天板３４ａとクランプ部材４３ｂ及び天板
３ｂとの間に張設される。

【００３４】このように、基板６０がクランプ部材４３
ａ及び天板３４ａとクランプ部材４３ｂ及び天板３ｂと
の間に張設されることにより、基板６０に、例えば同図
(a),(b) に示すような撓みが発生していたとしても、同
図(c) 及び図５(b) に示すように、平らに矯正されて定
位置に位置決めされる。

【００３５】この後、基板牽引シリンダ３３への空気圧
を一定に維持したまま（ステップＳ８）、位置決め処理
を終了する。この後、部品搭載処理が行われるが、これ
は通常の処理動作であるので説明は省略する。

【００３６】尚、上記ステップＳ６で、所定の時間経過
後においても磁気センサ４７ａから検知信号が出力され
ないときは（Ｓ６がＮＯ）、いずれかの箇所に異常が発
生したのであり、この場合は、モータ、空圧弁等の全て
のアクチュエータを非作動（ＯＦＦ）として（ステップ
Ｓ９）、警告灯を点滅させ或は表示装置にエラー表示を
行う等のエラー処理を行って（ステップＳ１０）、処理
を終了する。

【００３７】続いて、部品搭載処理後の基板排出処理に
ついて説明する。図７のフローチャートにおいて、先
ず、基板ストッパーシリンダ５６を退縮駆動して、スト
ッパー５７を搬送路３６内から下降させる（ステップＳ
１０１）。

【００３８】次に、基板牽引シリンダ（Ｙ方向引張りシ
リンダ）３３へのＯＦＦ命令を出力する（ステップＳ１
０２）。これにより、可動フレーム３２への付勢力が解
除されて、基板６０の幅出し方向への緊張が解除され
る。基板６０は、もし撓みがあれば撓みがあるままの状
態に戻される。

【００３９】続いて、テーブルダウン命令を出力して、
テーブル上下動シリンダ４１を退縮させる（ステップＳ
１０３）。これにより、位置決めテーブル３７が下降
し、位置決めテーブル３７の下降に伴って基板支持ピン
４２及びクランプ部材４３ａ、４３ｂが下降を開始す
る。

【００４０】上記に続いて磁気センサ４７ｂ（テーブル
ＤＯＷＮセンサ）を駆動（ＯＮ）し、ピストン駒６１が
所定の位置まで下降したことを示す検知信号（ＯＫ）が
磁気センサ４７ｂから出力されているかを監視する（ス
テップＳ１０４）。

【００４１】そして、磁気センサ４７ｂから検知信号が
出力されていれば（Ｓ１０４がＹＥＳ）、位置決めテー
ブル３７が所定の待機位置に戻っており、したがって、
基板６０の把持が解除され、基板６０の両側端が搬送ベ
ルト３５ａ、３５ｂ上に載置されている。

【００４２】上記検知信号の出力を確認したことによ
り、基板搬送モータ５４ａ及び５４ｂを駆動して、搬送
ベルト３５ａ及び３５ｂを搬送方向に走行させる（ステ
ップＳ１０５）。これにより、処理の終えた基板６０
が、基板案内レール２３ａ及び２３ｂに案内されながら
搬送ベルト３５ａ及び３５ｂに搬送され、不図示のセン
サによりライン後段の装置への排出が確認されて（ステ
ップＳ１０６）、排出処理が終了する。

【００４３】上記ステップＳ１０４で、所定の時間経過
後においても磁気センサ４７ｂから検知信号が出力され
ないときは（Ｓ１０４がＮＯ）、いずれかの箇所に異常
が発生したのであり、この場合は、モータ、空圧弁等の
全てのアクチュエータを非作動（ＯＦＦ）として（ステ
ップＳ１０７）、警告灯を点滅させ或は表示装置にエラ
ー表示を行う等のエラー処理を行って（ステップＳ１０
８）、処理を終了する。

【００４４】尚、上記実施の形態においては、部品搭載
装置の基板位置決め装置について説明しているが、これ
に限ることなく、ディスペンサの基板位置決め装置につ
いても全く同様であり、また他に基板を位置決めする必
要のある装置本体の基板位置決め装置にも適用できる。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
基板の位置決めの際に基板を強制的に平に矯正するの
で、搬入された基板に撓みがあっても作業時には撓みが
解消され、したがって、ディスペンサによるペースト半
田の塗布作業や部品搭載装置による部品の搭載作業等に
おいて基板の経時変化等による撓みに拘りなく正しい作
業を安定して行うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施の形態における基板位置決め装置を配設
した部品装着装置の主要部の外観斜視図である。

【図２】部品装着装置に配置された基板位置決め装置の
側面図（図１のＣ矢視図）である。

【図３】部品装着装置の基台内部に配設されている制御
回路のブロック図である。

【図４】(a),(b),(c) は基板位置決め装置の動作状態図
である。

【図５】(b) は図４(c) の向う側から見た図、(a) はそ
の上面図である。

【図６】ＣＰＵの処理動作を示すフローチャート（その
１）である。

【図７】ＣＰＵの処理動作を示すフローチャート（その
２）である。

【図８】従来の回路基板の位置決めに係る要部の構成を
示す図であり、(a) はその上面図、(b) はその側面図で
ある。

【符号の説明】

１ 回路基板 ２ａ、２ｂ コンベアベルト ３ 回路基板搬送路 ４ａ 固定レール ４ｂ 可動レール ５ａ、５ｂ 駆動プーリ ６ａ、６ｂ 従動プーリ ７ａ、７ｂ モータ ８ 調節シリンダ ９ 停止装置 １０ 位置決めテーブル １１ａ、１１ｂ スライドレール １２ａ、１２ｂ スライド溝 １４ 支持ピン １５ａ、１５ｂ 天板 ２０ 部品装着装置（本体装置） ２１ 基台 ２３ａ、２３ｂ 基板案内レール ２４ａ、２４ｂ 固定レール（Ｙ軸レール） ２５ 移動レール（Ｘ軸レール） ２６ 作業ヘッド ２７ａ、２７ｂ 部品カセット台 ２８ 吸着ノズル ３１ 本体装置のフレーム ３２ 可動フレーム ３３ 基板牽引シリンダ（Ｙ方向引張りシリンダ、付勢
手段） ３４ａ、３４ｂ 天板 ３５ａ、３５ｂ 搬送ベルト ３６ 基板搬送路 ３７ 位置決めテーブル ３８ａ、３８ｂ スライド溝 ３９ａ、３９ｂ スライドレール ４１ テーブル上下動シリンダ ４２ 基板支持ピン ４３ａ、４３ｂ クランプ部材 ４４ａ、４４ｂ スライドレール ４５ａ、４５ｂ スライドナット ４７ａ、４７ｂ 磁気センサ ５０ ＣＰＵ ５１ メモリ部 ５２ キー入力部 ５３ インタフェース ５４ａ、５４ｂ 基板搬送モータ ５５ 電磁弁マニホルド（manifold：分割多岐管） ５６ 基板ストッパーシリンダ ５７ ストッパー ５８ａ、５８ｂ 駆動プーリ ５９ａ、５９ｂ 従動プーリ ６０ 回路基板（基板） ６１ ピストン駒

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板の両側縁を夫々把持する把持手段
   と、前記基板の撓みを矯正すべく前記把持手段を基板の
   幅出し方向に付勢する付勢手段と、を備えたことを特徴
   とする基板位置決め装置。
2. 【請求項２】 前記把持手段は、基板に加わる他の外力
   に対して基板が位置ずれしない程度に摩擦係数が高い材
   質の部材から成ることを特徴とする請求項１記載の基板
   位置決め装置。