JP4689116B2

JP4689116B2 - 基板固定装置

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Publication number: JP4689116B2
Application number: JP2001303467A
Authority: JP
Inventors: 潔黒田
Original assignee: Juki Corp
Current assignee: Juki Corp
Priority date: 2001-09-28
Filing date: 2001-09-28
Publication date: 2011-05-25
Anticipated expiration: 2021-09-28
Also published as: JP2003110294A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板を所定位置に固定する基板固定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、例えば、基板上に電子部品等を装着するための電子部品実装装置は、基板を搬送経路上の所定位置まで搬送し、固定するための基板固定装置を備えている。
図６に示すように、このような基板固定装置１００は、所定位置において基板１０１を固定するために以下のような構造を備える。なお、以下の説明において、ベルトコンベヤ１０３による基板１０１の搬送方向を左右方向とし、水平面に直交する方向を上下方向とし、水平面内で左右方向に直交する方向を前後方向とする。
【０００３】
基板固定装置１００は搬送経路の前後両側に配設される搬送レール１０２、ベルトコンベヤ１０３、バックアッププレート１０４、バックアッププレート１０４上面に配設される支持棒１０５、搬送レール１０２側の図示しないガイド部材によって上下方向への移動が案内される支持板１０６、搬送レール１０２の上面に配設される上昇規制部材１０７等を備えている。
【０００４】
そして、基板１０１を所定位置に固定するには、まず基板１０１をベルトコンベヤ１０３の無端ベルト１０３ａの上面に載置した状態で、この無端ベルト１０３ａを駆動し、基板１０１を所定位置まで搬送する。そして、所定位置において、図示しないモータ等を駆動し、バックアッププレート１０４をほぼ水平状態を保ちながら上昇させる。
すると、まず、バックアッププレート１０４上の支持棒１０５が支持板１０６の下面に当接することで支持板１０６が上昇する。次に、支持板１０６の上面が基板１０１の下面に当接し、基板１０１自体を上方に押し上げる。
【０００５】
そして、基板１０１上面の前後両縁部分が上昇規制部材１０７の下面に当接することで、基板１０１が上昇規制部材１０７と支持板１０６とによって上下方向から挟まれ、所定位置に固定される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、例えば、図７に示すように基板１０１に反りや波打ちがある場合や、基板１０１の前後両側縁部分で厚みが異なっている場合には、上述のように、バックアッププレート１０４はほぼ水平状態を保って上下動することから、支持板１０６も同様にほぼ水平状態を保って上下動し、基板１０１の前後両縁部分に上昇規制部材１０７及び支持板１０６が不均一に当接することとなり、基板１０１の固定が不十分な場合があった。
【０００７】
本発明の課題は、上述の問題を考慮し、基板を所定位置に確実に固定できる基板固定装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、請求項１記載の基板固定装置（３０）は、基板（１２）の下面側に配設され、基板に対して上下動するバックアッププレート（３１）と、前記バックアッププレートの上面に配設される第一の固定手段（３３）と、基板の上面側に配設される第二の固定手段（３４）とを備え、前記バックアッププレートの上昇により前記第一の固定手段と前記第二の固定手段とで基板を上下両側から固定する基板固定装置であって、前記バックアッププレートの下面側において上下動する駆動板（３５）と、前記駆動板と前記バックアッププレートとの間に介在する複数の弾性部材（３６）とを備え、前記バックアッププレートが略矩形状に形成され、前記弾性部材が前記バックアッププレートの四隅に配設されることを特徴とする。
【０００９】
請求項１記載の基板固定装置によれば、駆動板とバックアッププレートとの間に複数の弾性部材が介在するので、基板に反りや波打ちがある場合や、基板の前後両側縁部分で厚さが異なる場合でも、バックアッププレート及び第一の固定手段を、基板の形状に対応して傾斜させることができ、基板を正確かつ確実に固定することができる。
また、弾性部材がバックアッププレートの四隅、即ち、バックアッププレートの四辺の中心から離れた位置に配設されるので、大きな回転モーメントを第一の固定手段に作用させることができ、基板を固定する力を大きくすることができる。
【００１０】
請求項２記載の基板固定装置は、基板の下面側に配設され、基板に対して上下動するバックアッププレートと、前記バックアッププレートの上面に配設される第一の固定手段と、基板の上面側に配設される第二の固定手段とを備え、前記バックアッププレートの上昇により前記第一の固定手段と前記第二の固定手段とで基板を上下両側から固定する基板固定装置であって、前記バックアッププレートの下面側において上下動する駆動板と、前記駆動板と前記バックアッププレートとの間に介在する複数の弾性部材とを備え、前記バックアッププレートが、少なくとも二以上の板体に分割され、各板体に少なくとも一つの前記弾性部材が配設されると共に、各板体同士が分離せずに、一体性を保つように連結されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項２記載の基板固定装置によれば、駆動板とバックアッププレートとの間に複数の弾性部材が介在するので、基板に反りや波打ちがある場合や、基板の前後両側縁部分で厚さが異なる場合でも、バックアッププレート及び第一の固定手段を、基板の形状に対応して傾斜させることができ、基板を正確かつ確実に固定することができる。
また、バックアッププレートが少なくとも二以上の板体に分割され、各板体同士が分離せず、一体性を保つように連結されているので、各板体は基板の形状に対応して独立して傾斜して、より確実に基板を固定できる。
【００１２】
請求項３記載の基板固定装置は、請求項１記載の基板固定装置であって、前記バックアッププレートが、少なくとも二以上の板体（３１ａ）に分割され、各板体に少なくとも一つの前記弾性部材が配設されると共に、各板体同士が分離せずに、一体性を保つように連結されていることを特徴とする。
【００１３】
請求項３記載の基板固定装置によれば、請求項１と同様の効果を得られると共に、バックアッププレートが少なくとも二以上の板体に分割され、各板体同士が分離せず、一体性を保つように連結されているので、各板体は基板の形状に対応して独立して傾斜して、より確実に基板を固定できる。
【００１４】
請求項４記載の基板固定装置は、請求項２または３記載の基板固定装置であって、前記各板体同士が弾性を有する接着部材（３２）により連結されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項４記載の基板固定装置によれば、請求項２または３と同様の効果を得られると共に、各板体同士が弾性を有する接着部材により連結されているので、例えば、各板体同士を金具等の連結手段を用いて連結する場合と比較して、各板体への加工作業の工数を減らすことができ、また、接着部材の弾性力により、バックアッププレートの水平状態を常時維持することが可能となるので、水平状態を維持した基板の上昇を容易に行うことができる。
【００１６】
請求項５記載の基板固定装置は、請求項１〜４のいずれかひとつに記載の基板固定装置であって、前記弾性部材がばねであることを特徴とする。
【００１７】
請求項５記載の基板固定装置によれば、請求項１〜４のいずれかひとつと同様の効果を得られると共に、弾性部材としてばねを用いるので、例えば、弾性部材としてシリンダ等の機械的手段を用いる場合と比較して、基板固定装置の部品点数やコストを抑えることができる。
【００１８】
請求項６記載の基板固定装置は、請求項１〜４のいずれかひとつに記載の基板固定装置であって、前記弾性部材がエアシリンダであることを特徴とする。
【００１９】
請求項６記載の基板固定装置によれば、請求項１〜４のいずれかひとつと同様の効果を得られると共に、弾性部材としてエアシリンダを用いるので、大きな回転モーメントを第一の固定手段に作用させることができ、基板を固定する力を大きくすることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明にかかる基板固定装置を一般的な電子部品実装装置に適用した場合について説明する。
【００２１】
図１に示すように、電子部品実装装置１０は、電子部品などを備える電子部品供給手段１１（テープフィーダ）、電子部品を真空吸着して基板１２上の所定位置に装着する吸着ノズル１３、基板１２を搬送するための搬送手段１４、搬送手段１４を跨ぐようにして設けられる二本の支持梁１５、左右方向へ移動自在となるように二本の支持梁１５間に架け渡されるビーム１６、ビーム１６の長さ方向に移動自在に取り付けられ、前記吸着ノズル１３を支持すると共に、吸着ノズル１３を上下動及び回動させるヘッド部１７、前記ビーム１６の前後方向への移動や、ヘッド部１７の左右方向への移動のための回転型モータ１８やタイミングベルト１９等からなる駆動手段２０、ヘッド部１７の位置を検出するための位置検出手段２１、駆動手段の駆動を制御する制御手段２２、搬送手段１４により所定位置（吸着ノズル１３により基板１２への電子部品の装着が実行される位置）まで搬送された基板１２を固定するための基板固定装置３０（図２を参照）等から概略構成される。
なお、電子部品実装装置１０による基板１２への電子部品の実装動作に付いては周知であるため説明を省略し、以下、搬送手段１４及び基板固定装置３０についておもに説明する。
【００２２】
搬送手段１４は、図２に示すように、基板１２を搬送するために設けられ、搬送レール１４ａ、ベルトコンベヤ１４ｂ、回転型モータ（図示せず）等から概略構成される。
搬送レール１４ａは基板搬送経路の左右の側縁部に配設されており、基板１２の左右側縁部分を下面側から支持するために設けられる略矩形状の支持板３３ｂが摺動可能に取り付けられている。搬送レール１４ａの内側の前後両端部分にはプーリ１４ｃが取り付けられ、これらプーリ１４ｃに無端ベルト１４ｄ（一部を破断して図示）が掛け回されて、ベルトコンベヤ１４ｂの一部を構成する。そして、回転型モータ（図示せず）を駆動させることにより、プーリ１４ｃを介して無端ベルト１４ｄが回転し、無端ベルト１４ｄの上面に載置された基板１２を搬送する構造となっている。
【００２３】
基板固定装置３０は、図２〜図４に示すように、バックアッププレート３１、接着部材３２、第一の固定手段３３、第二の固定手段３４、駆動板３５、弾性部材３６等から概略構成される。
【００２４】
バックアッププレート３１は、第一の固定手段３３を上下動させるために使用されるものであり、基板１２に対して上下動する略矩形状の板体３１ａである。
バックアッププレート３１は搬送レール１４ａの内側であって、所定位置まで搬送された状態の基板１２の下面側に略水平に配設される。
バックアッププレート３１は略四等分、即ち、ほぼ同一形状の４つの板体３１ａに分割されており、各板体３１ａ同士は、その側面部分において弾性を有する接着部材３２により、互いに分離せず、一体性を保つように連結されている。ここで、弾性を有する接着部材３２とは、例えば、変成シリコーン・エポキシ樹脂系接着剤等の周知の弾性接着剤や、あるいは、弾性を有するゴムに両面接着テープを張り合わせたものなどが挙げられる。
【００２５】
第一の固定手段３３は、基板１２を下方から固定するために設けられ、支持棒３３ａと支持板３３ｂとを備える。
支持棒３３ａは、バックアッププレート３１上面の前後両側縁部分に配設される略円柱形の棒状部材であり、バックアッププレート３１を構成する各板体３１ａに少なくともひとつ配設される。そして、各支持棒３３ａはバックアッププレート３１と一体に上下動し、上下方向の所定位置において、上端面が支持板３３ｂの下面に当接する構造となっている。
【００２６】
支持板３３ｂは、基板１２を上下方向に固定する際に、上下方向の所定位置において基板１２の下面に当接し、基板１２を上方に押し上げた状態で支持するために設けられる平面視略矩形状の板体である。
支持板３３ｂは搬送レール１４ａの側面それぞれに配設され、搬送レール１４ａに取り付けられたガイド部材（図示せず）によって、ほぼ上下方向に一定範囲内で移動可能に支持されている。
【００２７】
第二の固定手段３４は、基板１２を上方から固定するために設けられ上昇規制部材３４ａを備える。
上昇規制部材３４ａは、基板１２を固定する際に、基板１２の上面に当接し、基板１２の上方への移動を規制するために設けられる平面視略矩形状の板体である。
上昇規制部材３４ａは各搬送レール１４ａの上縁部分に接合しており、搬送経路側に延出した部分が、所定位置まで搬送された基板１２の前後両側縁の上方を覆う構造となっている。
【００２８】
駆動板３５は、バックアッププレート３１を上下動させるために、搬送レール１４ａの内側であって、バックアッププレート３１の下方に略水平に配設される略矩形状の板体である。
駆動板３５の下方側には駆動装置（図示せず。）が配設されており、この駆動装置により駆動板３５が上下動する構造となっている。なお、駆動装置としては、例えば、エアシリンダや、あるいはラックとピニオンの組合せなど、周知の駆動装置を用いるものとする。
【００２９】
弾性部材３６は、駆動板３５とバックアッププレート３１の間に介在し、駆動板３５の上下動（駆動力）をバックアッププレート３１に伝達すると共に、バックアッププレート３１を構成する各板体３１ａ同士をある程度の一体性を保った状態で、一定の範囲内で独立して駆動（移動）させるための部材である。本実施の形態においては、弾性部材３６としてばね（圧縮ばね）を用いている。
バックアッププレート３１を構成する各板体３１ａには少なくともひとつのばね３６が配設されており、各ばね３６は、その上方側の端部において各板体３１ａに接合し、下方側の端部において駆動板３５に接合している。本実施の形態においては、バックアッププレート３１の四隅にばね３６が配設されているものとする。
【００３０】
次に、このような構造を備える基板固定装置３０の動作について説明する。なお、基板１２は搬送手段１４によって所定位置まで搬送されているものとする。
まず、駆動手段を駆動することで駆動板３５が上方に移動する。
そして、駆動板３５の駆動力が、ばね３６を介して各板体３１ａに伝達される。上述のように、各板体３１ａ同士は接着部材３２により一体性を保つように連結されているので、一体となった各板体３１ａ、即ちバックアッププレート３１は略水平状態を保って上方に移動する。
【００３１】
そして、バックアッププレート３１と一体に上下方向の所定位置まで上昇した支持棒３３ａの上端面が支持板３３ｂの下面に当接する。そして、これら支持棒３３ａと支持板３３ｂが一体となって上方に移動し、支持板３３ｂの上面が基板１２の下面に当接する。
そして、この状態からさらに支持板３３ｂを上昇させることで、基板１２は上方に押し上げられていき、所定の高さまで上昇した時点で基板１２の上面が上昇規制部材３４ａの下面に当接し、基板１２が固定される。
【００３２】
ここで、図４に示すように、例えば、基板１２の上昇規制部材３４ａと支持板３３ｂに当接する部分に反りや波打ちが生じている場合について説明する。
支持板３３ｂによって押し上げられる基板１２の上面が上昇規制部材３４ａの下面に当接した時点では、基板１２の反りや波打ち等の原因により、基板１２の下面は複数箇所で支持板３３ｂの上面に当接し、一方、基板１２の上面は、一箇所、即ち、基板１２が最も上方に突出した部分のみで支持板３３ｂの上面に当接した状態となる。
【００３３】
この状態では基板１２が上下方向に微小範囲内で移動可能であり、基板１２の固定が不完全な状態である。
そして、この状態からさらに支持板３３ｂを上昇させていくと、上述のように、バックアッププレート３１を構成する各板体３１ａ及び各板体３１ａに配設された支持棒３３ａは、ばね３６によって一定の範囲内で独立して駆動できるように支持されているので、特定の板体３１ａ及び支持棒３３ａから支持板３３ｂを介して、基板１２に対して、上昇規制部材３４ａと当接した部分を中心として回転（傾斜）させる力が作用する。
【００３４】
そして、最終的に基板１２の上面が上昇規制部材３４ａ下面の複数箇所に当接する位置まで傾斜して基板１２の固定が完了する。
なお、基板１２が固定された状態では、バックアッププレート３１には、支持棒３３ａを介して伝達される基板１２からの反力とばね３６の反発力とが作用しており、これら２つの力がほぼ相殺されるようにバックアッププレート３１を構成する各板体３１ａは傾斜した状態で静止することになる。
【００３５】
また、基板１２の上昇規制部材３４ａと支持板３３ｂに当接する部分の厚さが、基板１２の前後両側縁部分において異なっている場合は、バックアッププレート３１を構成する４つの板体３１ａのうち、前側に位置する２枚の板体３１ａはほぼ一体に駆動し、同様に後側に位置する２枚の板体３１ａもほぼ一体に駆動する。そして、異なる基板１２の厚さに対応すべく、これら前側の板体３１ａと後側の板体３１ａとが、それぞれ独立して傾斜することで、基板１２が固定されることになる。
【００３６】
本実施の形態で示した基板固定装置３０によれば、基板１２に反りや波打ちがある場合や、基板１２の前後両側縁部分で厚さが異なる場合でも、基板１２を正確かつ確実に固定することができる。
また、各ばね３６がバックアッププレート３１の四隅、即ち、バックアッププレート３１の四辺の中心から離れた位置に配設されるので、大きな回転モーメントを支持板３３ｂに作用させることができ、基板１２を固定する力を大きくすることができる。
【００３７】
また、バックアッププレート３１がほぼ同一形状の４つの板体３１ａに分割され、各板体３１ａ同士が、互いに分離せず、一体性を保つように連結されているので、各板体３１ａは基板１２の形状に対応して独立して傾斜して、より確実に基板１２を固定できる。
また、各板体３１ａ同士が弾性を有する接着部材３２により連結されているので、例えば、各板体３１ａ同士を金具等の連結手段を用いて連結する場合と比較して、各板体３１ａへの加工作業の工数を減らすことができ、また、接着部材３２の弾性力により、バックアッププレート３１の水平状態を常時維持することが可能となるので、水平状態を維持した基板１２の上昇が容易となる。
また、弾性部材３６としてばねを用いるので、例えば、弾性部材３６としてシリンダ等の機械的手段を用いる場合と比較して、基板固定装置３０の部品点数やコストを抑えることができる。
【００３８】
なお、本実施の形態においては、バックアッププレート３１が４枚の板体３１ａから構成されるものとしたが、これに限らず、２枚、あるいは２枚以上の板体３１ａから構成されるものとしても良く、あるいは、図５に示すように、バックアッププレート３１が１枚の板体から構成されるものとしても良い。この場合は、バックアッププレート３１の製造工程を簡略化することができる。
また、各板体３１ａが弾性を有する接着部材３２により連結されるものとしたが、これに限らず、例えば、ヒンジや板ばねを、隣り合う２枚の板体３１ａの側縁部分を覆うように配設しても良い。
【００３９】
また、弾性部材３６がバックアッププレート３１の四隅に配設されるものとしたが、これに限らず、任意の位置に配設可能である。
また、弾性部材３６としては、ばねに限らず、弾性を有するゴムやスポンジ状の部材等、あるいはエアシリンダ等の機械的手段を用いるものとしても良い。機械的手段を用いた場合は、弾性部材３６としてばねを用いる場合と比較して、より大きな回転モーメントを支持板３３ｂに作用させることができ、基板１２を固定する力を大きくすることができる。
また、バックアッププレート３１及び駆動板３５の形状は略矩形状に限られるものではなく、また、第一の固定手段３３及び第二の固定手段３４を構成する部材の形状や配設位置についても任意に変更可能である。
【００４０】
また、バックアッププレート３１の上面に、固定された状態の基板１２の下面に当接することで、基板１２の下方へのたわみを防止する複数の棒状部材（バックアップピン）を配設するものとしても良い。
また、本実施の形態においては、基板固定装置３０を電子部品実装装置１０に適用した場合について説明したが、これに限らず、基板１２に接着剤を塗布するためのディスペンサー等、基板１２を所定位置に固定する必要がある装置であればどのようなものにも適用可能である。
【００４１】
【発明の効果】
請求項１記載の基板固定装置によれば、駆動板とバックアッププレートとの間に複数の弾性部材が介在するので、基板に反りや波打ちがある場合や、基板の前後両側縁部分で厚さが異なる場合でも、バックアッププレート及び第一の固定手段を、基板の形状に対応して傾斜させることができ、基板を正確かつ確実に固定することができる。
また、弾性部材がバックアッププレートの四隅、即ち、バックアッププレートの四辺の中心から離れた位置に配設されるので、大きな回転モーメントを第一の固定手段に作用させることができ、基板を固定する力を大きくすることができる。
【００４２】
請求項２記載の基板固定装置によれば、駆動板とバックアッププレートとの間に複数の弾性部材が介在するので、基板に反りや波打ちがある場合や、基板の前後両側縁部分で厚さが異なる場合でも、バックアッププレート及び第一の固定手段を、基板の形状に対応して傾斜させることができ、基板を正確かつ確実に固定することができる。
また、バックアッププレートが少なくとも二以上の板体に分割され、各板体同士が分離せず、一体性を保つように連結されているので、各板体は基板の形状に対応して独立して傾斜して、より確実に基板を固定できる。
【００４３】
請求項３記載の基板固定装置によれば、請求項１と同様の効果を得られると共に、バックアッププレートが少なくとも二以上の板体に分割され、各板体同士が分離せず、一体性を保つように連結されているので、各板体は基板の形状に対応して独立して傾斜して、より確実に基板を固定できる。
【００４４】
請求項４記載の基板固定装置によれば、請求項２または３と同様の効果を得られると共に、各板体同士が弾性を有する接着部材により連結されているので、例えば、各板体同士を金具等の連結手段を用いて連結する場合と比較して、各板体への加工作業の工数を減らすことができ、また、接着部材の弾性力により、バックアッププレートの水平状態を常時維持することが可能となるので、水平状態を維持した基板の上昇を容易に行うことができる。
【００４５】
請求項５記載の基板固定装置によれば、請求項１〜４のいずれかひとつと同様の効果を得られると共に、弾性部材としてばねを用いるので、例えば、弾性部材としてシリンダ等の機械的手段を用いる場合と比較して、基板固定装置の部品点数やコストを抑えることができる。
【００４６】
請求項６記載の基板固定装置によれば、請求項１〜４のいずれかひとつと同様の効果を得られると共に、弾性部材としてエアシリンダを用いるので、大きな回転モーメントを第一の固定手段に作用させることができ、基板を固定する力を大きくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態にかかる電子部品実装装置を示す要部斜視図である。
【図２】基板固定装置の構造を示す要部斜視図である。
【図３】基板固定装置の構造を示す要部斜視図である。
【図４】基板の固定状態を示す要部正面図である。
【図５】基板の固定状態を示す要部正面図である。
【図６】従来の基板固定装置の構造を示す要部斜視図である。
【図７】基板の固定状態を示す要部正面図である。
【符号の説明】
１２基板
３０基板固定装置
３１バックアッププレート
３１ａ板体
３２接着部材
３３第一の固定手段
３４第二の固定手段
３５駆動板
３６弾性部材

Claims

基板の下面側に配設され、基板に対して上下動するバックアッププレートと、前記バックアッププレートの上面に配設される第一の固定手段と、基板の上面側に配設される第二の固定手段とを備え、前記バックアッププレートの上昇により前記第一の固定手段と前記第二の固定手段とで基板を上下両側から固定する基板固定装置であって、
前記バックアッププレートの下面側において上下動する駆動板と、
前記駆動板と前記バックアッププレートとの間に介在する複数の弾性部材とを備え、
前記バックアッププレートが略矩形状に形成され、
前記弾性部材が前記バックアッププレートの四隅に配設されることを特徴とする基板固定装置。
基板の下面側に配設され、基板に対して上下動するバックアッププレートと、前記バックアッププレートの上面に配設される第一の固定手段と、基板の上面側に配設される第二の固定手段とを備え、前記バックアッププレートの上昇により前記第一の固定手段と前記第二の固定手段とで基板を上下両側から固定する基板固定装置であって、
前記バックアッププレートの下面側において上下動する駆動板と、
前記駆動板と前記バックアッププレートとの間に介在する複数の弾性部材とを備え、
前記バックアッププレートが、少なくとも二以上の板体に分割され、各板体に少なくとも一つの前記弾性部材が配設されると共に、各板体同士が分離せずに、一体性を保つように連結されていることを特徴とする基板固定装置。
請求項１記載の基板固定装置であって、
前記バックアッププレートが、少なくとも二以上の板体に分割され、各板体に少なくとも一つの前記弾性部材が配設されると共に、各板体同士が分離せずに、一体性を保つように連結されていることを特徴とする基板固定装置。
請求項２または３記載の基板固定装置であって、
前記各板体同士が弾性を有する接着部材により連結されていることを特徴とする基板固定装置。
請求項１〜４のいずれかひとつに記載の基板固定装置であって、
前記弾性部材がばねであることを特徴とする基板固定装置。
請求項１〜４のいずれかひとつに記載の基板固定装置であって、
前記弾性部材がエアシリンダであることを特徴とする基板固定装置。